精品课程
【自营】表面分析系列讲座
讲师：姚文清
剩余时间：
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299.0
讲师介绍
课程描述：
电子能谱（photoelectron spectroscopy），利用光电效应的原理测量单色辐射从样品上打出来的光电子的动能（并由此测定其结合能）、光电子强度和这些电子的角分布，并应用这些信息来研究原子、分子、凝聚相，尤其是固体表面的电子结构的技术。对固体而言，光电子能谱是一项表面灵敏的技术。
电子能谱技术主要用于表征纳米材料表面的化学组分、原子排列以及电子状态等信息。利用X射线光电子能谱（XPS）和俄歇电子能谱（AES）对表面元素做出一次性的定性和定量分析，并通过离子束溅射获得元素深度的化学成分分布信息，利用高空间分辨率进行微区选点分析、线扫描分析以及元素面分布分析。电子能谱技术是应用于微电子器件、催化剂、材料保护、表面改性以及功能薄膜材料等方面表面分析和价态分析的重要分析方法。
本讲座主要介绍XPS和AES在纳米材料研究中的应用，并结合本课题组的研究工作进一步揭示利用电子能谱技术对器件表面失效的评价方法。
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