精品课程
扫描电镜不导电样品磁控溅射镀膜仪常见问题解决
讲师：李丽
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讲师介绍
随着电镜技术和应用快速发展，越来越多电镜用户对样品前处理提出了更高的要求。其中磁控溅射镀膜仪就专用来给场发射扫描电镜不导电样品进行喷金镀膜。
本作品主要从两大方面介绍磁控溅射镀膜仪。
1.简易演示真空磁控溅射镀膜过程。这点往往是仪器培训中学员最需要了解并最感兴趣。
2介绍常见问题和解决办法：
1）真空问题；2）Ar气进气排气；3）靶材；4）成膜厚度；5）溅射速率
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