透明薄膜样品的价带谱测试方法

讲师：段建霞

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段建霞，中共党员，工程师。2016年硕士毕业于西南科技大学材料工程专业，同年加入清华大学分析中心从事表面分析工作，主要负责X射线光电子能谱仪的日常操作、维护保养和使用管理。完成制定国家标准2项、团体标准1项。发表SCI论文6篇、EI论文2篇。完成国际比对VAMAS项目1项（排名2）。获清华大学分析中心2018年度“先进个人”。2022年11月获得中国分析测试协会高校分析测试分会高校分析测试优秀青年人才奖三等奖。

材料的价带谱既可以利用紫外光电子能谱（UPS）得到，也可以在测量 X 射线光电子能谱（XPS）时测得。透明薄膜样品在测量价带谱时存在对焦困难的问题，如果调节高度有误将导致谱峰灵敏度降低、信噪比变差，因此透明薄膜样品的高度调节技巧非常重要。本作品以 ITO为基底的透明薄膜样品，介绍价带谱的检测方法，包括样品制备和安装注意事项、XPS 价带谱和 UPS 谱测试中的高度调节技巧和参数设置方法以及 XPS 价带谱和 UPS 谱结果对比。

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第一章

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