承载比定仪

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“承载装置及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年5月7日，申请公布号为CN117987807A。本申请公开了一种承载装置及半导体工艺设备，涉及半导体装备领域。一种承载装置，包括：承载件、第一气道和限位组件；承载件设有用于容纳晶圆的容纳槽，容纳槽的槽底面为承载面；第一气道的出气口位于承载面上，用于通气，以使晶圆悬浮；容纳槽的边缘处设有多个滑道，多个滑道围绕容纳槽的周向排布，承载件内设有多个第二气道，多个第二气道与多个滑道分别连通；限位组件包括用于与晶圆的外缘周面抵接的多个限位件，多个限位件一一对应地滑动连接于多个滑道，通过向第二气道内通气，使限位件朝向或背离容纳槽的中心可移动。一种半导体工艺设备，包括上述承载装置。本申请能够解决托盘与晶圆的间隙不重复导致晶圆的圆周膜厚不均匀等问题。

天眼查显示，上海积塔半导体有限公司“晶圆承载设备及半导体机台”专利公布，申请公布日为2024年7月23日，申请公布号为CN118380367A。背景技术目前，半导体机台面临许多快恢复二极管(Fast recovery diode，简称FRD)工艺，且产品越来越薄，致使产品制程中形成的薄片只要进入半导体机台的预抽真空(XC)平台就会由于受到向下的真空压差而产生位移。因此，如何避免薄片在预抽真空平台中产生位移是当前亟需解决的问题。发明内容本申请涉及一种晶圆承载设备及半导体机台。该晶圆承载设备包括：承载平台，用于承载目标晶圆；预抽真空室，固定设置于承载平台上方；预抽真空室预抽真空后形成真空压差，对目标晶圆施加位移驱动力；承载平台表面具有预设晶圆放置区域，用于放置目标晶圆；预设晶圆放置区域上设有间隔排列的多个防滑结构，多个防滑结构与目标晶圆之间形成的摩擦力大于或等于位移驱动力。该晶圆承载设备可以抵消真空压差，不必对预设晶圆放置区进行整体打磨，即可限制目标晶圆相对承载平台发生滑动，避免因目标晶圆位移影响线宽量测结果，提升了线宽量测的准确性和可靠性，又可以节约时间和成本；同时，由于防滑结构的存在，还可以减少对目标晶圆的污染。

近日，中共中央办公厅、国务院办公厅印发了《关于推进以县城为重要载体的城镇化建设的意见》（简称《意见》），并发出通知，要求各地区各部门结合实际认真贯彻落实。《意见》指出要科学把握功能定位，分类引导县城发展方向，支持位于城市群和都市圈范围内的县城融入邻近大城市建设发展，主动承接人口、产业、功能特别是一般性制造业、区域性物流基地、专业市场、过度集中的公共服务资源疏解转移，强化快速交通连接，发展成为与邻近大城市通勤便捷、功能互补、产业配套的卫星县城。此外，《意见》提出，培育发展特色优势产业，稳定扩大县城就业岗位。其中特别提出，提升产业平台功能，依托各类开发区、产业集聚区、农民工返乡创业园等平台，引导县域产业集中集聚发展，支持符合条件的县城建设产业转型升级示范园区，根据需要配置公共配套设施，健全标准厂房、通用基础制造装备、共性技术研发仪器设备、质量基础设施、仓储集散回收设施。鼓励农民工集中的产业园区及企业建设集体宿舍。卫星县城或将承载共性技术研发仪器设备产业，并融入临近大城市建设发展中。科学仪器产业主要服务科研院所、大学、医院、政府机构等客户。与其他产业相比，科学仪器产业其实是一个市场容量和需求量较小的行业。科学仪器固然同汽车一样是高度集成型产品（需要各种原材料和技术的集成），但单靠科学仪器产业自身，却很难像汽车一样养活或带动庞大的原材料和配件产业。换言之，科学仪器产业较难像汽车产业一样——出现由“原料—零部件—原型—批量加工”上下游聚集而成的产业聚集区。科学仪器产业的聚集，往往依附科学研究的“主产业”，比如化学、光学、生命科学等，形成伴生聚集的场景。新兴的前沿科学或创新产业往往是“嫌贫爱富”的。比如，目前热门的生物医药产业，本身是一个“既冒险又烧钱”的游戏，具有高技术、高投入、高风险、高回报的特点。在布局影响因素上呈现出“科研人才＞投融资金＞政商环境＞生物资源”的规律。因此，生物医药产业往往偏爱既有科研和人才底气又“财大气粗”担得起风险的玩家。因此，具有综合实力优势的大城市，更容易在这类产业抢夺中先发获胜。虽然在前沿产业的城市竞争中大城市占尽风头，但是如果转向科学仪器产业，城市“战局”则有可能不一样。这是因为，以科学“服务”为己任的科学仪器产业，虽然需要与主产业伴生聚集，但是不一定非要在创新中心或大城市之中。虽然作为与科研和用户强关联性的服务产业，科学仪器产业需要靠近创新中心城市和主产业，需要处于大城市区域的产业生态群落中，以便于把握科研源头的需求，也便于利用大城市的展会市场进行信息、渠道、资源的集散和前沿跟进，但是科学仪器产业并不是科研创新的直接前端，而是作为类似“助理”的角色，属于技术支持服务且具有一定的制造属性，对于城市能级的要求也较低。因此，科学仪器产业虽然需要邻近创新中心，但是可以适度空间脱离，选择周边郊区或卫星城市聚集。而这种科学仪器与主产业伴生聚集的逻辑特点，能够给作为卫星城市的县城带来以科学服务逆袭的新路径。实际上类似的案例早已出现在国外，沃尔瑟姆是位于波士顿西部约14千米的一个小镇，曾经是北美工业革命早期的重镇之一，拥有美国第一个综合纺织厂——波士顿制造公司（Boston Manufacturing Company）、美国第一辆摩托车制造商梅斯汽车公司（Metz）、美国军火公司雷神等公司，尤其以“钟表之镇”名声大噪——1854年在这里成立建厂的沃尔瑟姆钟表公司（Waltham Watch Company）是第一家用生产线制作钟表的公司，至1957年关闭时共制作了超过4000万只手表。其所生产的钟和其他精密仪器，在1876年费城大陆展览中还赢得过金牌。但是同大部分传统工业小镇一样，在20世纪中期，沃尔瑟姆因制造企业的接连倒闭而陷入困境——失业率急剧上升、房价直跌、人口流失，成为波士顿旁边一个一无所有、再普通不过的没落小镇。不过，沃尔瑟姆的故事并没有就此结束。在科学创新时代到来后，沃尔瑟姆虽然单靠自身的传统工业基础很难“出头”，但是它拥有一个最大机遇——邻近波士顿。波士顿是全美生物医药产业的领头羊，位居2019年全美生命科学领域市场第一、生命科学人才池第一。尤其是波士顿剑桥区，依托哈佛和麻省理工两大名校，在肯德尔广场区域成为“地球上最具创新性的1平方英里”，拥有渤健（Biogen）等众多生物医药巨头。在波士顿这一创新中心的产业版图上分一杯羹，成为沃尔瑟姆产业“翻盘”的机会。不过，沃尔瑟姆没有“硬碰硬”，而是在依托波士顿生物医药主产业优势的同时，巧妙地选择以科学服务业进行突破——吸引赛默飞这类的科仪企业入驻。赛默飞自身的定位就是“全球科学服务领域的领导者”，专门为医药和生物公司、医院和临床诊断实验室、大学、科研院所、政府机构等客户提供相关的科学服务，包括高端科研仪器、实验室设备、试剂、耗材、专业诊断等在内的综合解决方案。经过长期的创新发展，赛默飞几乎集齐了生命科学领域的所有先进技术和相关仪器，包括PROSIS红外传感器、BetaPlus系列穿透式定量传感器、荧光定量PCR仪、冷冻电镜等，成为世界科仪领域无人能出其右的老大。除了赛默飞，小城沃尔瑟姆还吸引来了全球最大的分析仪供应商珀金埃尔默（PerkinElmer）、全球健康诊断服务龙头艾利尔（Alere，2017年被雅培收购）等数十家科学仪器企业，成为波士顿区域著名的科学服务明星。沃尔瑟姆的成功正是科仪产业聚集规律的印证。进一步分析，沃尔瑟姆的成功更是抓住波士顿这一创新中心并以此进行产业赛道选择的成功。