HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列
HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时,提供异常压力控制功能,该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 产品优点:1. 机械预设、遥控过渡阀位2. 三个位置都有指示器3. 标准或者定制法兰4. 至少一百万使用周期 5. 任意位置安装HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 技术参数:阀门材质:阀门主体304不锈钢焊接波纹管轴封AM-350驱动轴和驱动销硬质不绣钢阀门密封方式:高真空 氟橡胶漏率2×10-9 mbar l/s差压关闭1 bar真空:压力范围高真空1x10-9 mbar漏率 2x10-9 mbar l/S差压关闭1 bar (任意位置)开启前最大压力≤ 30 mbar烘烤温度(不含电磁阀):阀门主体150 °c驱动方式气动 60 °c使用寿命:100,000启闭次数公称通径:DN100-320 mmHVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 构成部件:订货号HVA 三位真空闸阀 21700 系列订货号及2D,3D展示图DNModelKF/ISO-FISO-KCF-F*mminchNumber3 (Bolted)6 (Clamped)0 or 4 (Conflat)1004.0021712-040_R2D3D2D3D2D3D1606.0021712-060_R2D3D2D3D2D3D2008.0021712-080_R2D3D2D3D2D3D25010.0021712-100_R2D3D-2D3D32012.0021712-120_R2D3D-2D3D 构成部件HVA 三位真空闸阀 21700 系列部件图: 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东罗先生伯东版权所有, 翻拷必究!