粗糙轮廓仪

[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

[font=宋体][size=16px][color=black]粗糙度轮廓仪使用干货：[/color][/size][/font]轮廓更换测针操作步骤（1）测杆安装注意：装到位后会听到定位声（机械声），手摸一下吸合处高低位置要对齐。[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/9311208da3fe4dbfae4af733c97e3a4d~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=JJLap7%2B31x44j9UsN1qQ6HCxxm0%3D[/img]（2）测杆拆卸[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/579ed6a4e3e345168b8b287d4ab3c976~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=x4RwSKenZBUjt0%2BeVKatZ17J300%3D[/img]（3）测针安装[img]https://p3-sign.toutiaoimg.com/tos-cn-i-qvj2lq49k0/d7e32312b28b4660906d1df71e7d1aab~noop.image?_iz=58558&from=article.pc_detail&x-expires=1675760702&x-signature=5cbkAg7DebtrXrjT6wcQlImnZZE%3D[/img]（4）在软件中创建测针（5）在软件中切换测针【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

有没有能同时测轮廓度和粗糙度的仪器呢，准确度都要很高的那种

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

“摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

粗糙度∶以前一般叫表面光洁度，是用来评定工件表面质量的专业术语，最早一般用对比样板来评定工件表面粗糙度，从▲1到▲14一共分为14个等级，随着科技的发展使用者对工件表面质量要求也越来越高，原来的检测手段已经不能满足我们的需求，这也就加快了表面粗糙度仪的诞生。粗糙度仪是检测工件表面粗糙度的数字化电子仪器，由于准确度高、稳定性好、便于操作等优点迅速普及开来。　　粗糙度仪分类：　　粗糙度仪又叫表面粗糙度仪、表面光洁度仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、粗糙度测试仪等多种名称，国外先研发生产后来才引进国内，目前市场上粗糙度仪品牌主要有：英国泰勒粗糙度仪、德国马尔粗糙度仪、德国霍梅尔表面粗糙度仪、日本三丰粗糙度仪、东京精密粗糙度、瑞士泰萨粗糙度仪、英国易高粗糙度这些都是国外生产厂商品牌；国内生产厂家品牌主要有：北京时代粗糙度仪、哈量粗糙度仪、宁波联合、上海泰明、304、威尔逊、兰泰等。其中时代集团生产的粗糙度仪（时代粗糙度仪）在国内占有80%左右的市场份额。粗糙度仪从测量原理上主要分为两大类：接触式和非接触式，接触式粗糙度仪主要是主机和传感器的形式，非接触式粗糙度仪主要是光学原理例如激光表面粗糙度仪。从测量使用的方便性上说又可分为：袖珍式表面粗糙度仪（代表性产品主要有：时代TR100、TR101、TR110、TR150袖珍式表面粗糙度仪和现已停产的英国泰勒DUO袖珍式表面粗糙度仪）、手持式粗糙度仪（代表性产品主要有TR200/220手持式粗糙度仪、泰勒25粗糙度仪、M1/M2粗糙度仪等品牌型号，不一一列举）、便携式粗糙度仪（代表性产品主要有TR240便携式粗糙度仪和TR300粗糙度形状测量仪等）、台式粗糙度仪（品牌型号较多一一列举，有些手持式粗糙度仪和便携式粗糙度仪配上相应的测量平台即可以当台式粗糙度仪使用）。粗糙度仪从功能又可划分为：表面粗糙度仪、粗糙度形状测量仪（TR300粗糙度形状测量仪是界于表面粗糙度仪和表面粗糙度轮廓仪之间的一款测量表面粗糙度的仪器，也可说是微观表面粗糙度轮廓仪）和表面粗糙度轮廓仪（代表性产品主要有英国泰勒表面粗糙度轮廓仪、德国马尔粗糙度轮廓仪、德国霍梅尔表面粗糙度轮廓仪、日本三丰表面粗糙度轮廓仪）。 粗糙度仪测量原理　　测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统，DSP芯片将采集的数据进行数字滤波和参数计算，测量结果在液晶显示器上读出，也可在打印机上输出，还可以与PC机进行通讯。

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=50876]JJG (石油) 36-1994 螺纹轮廓仪[/url]

禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

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禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

本资料给出的参数符合GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构 轮廓法 表面结构的述语、定义及参数》 、符合GB/T6062-2002《产品几何量技术规范（GPS）表面结构 轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》。表面粗糙度关键技术术语： (1)表面粗糙度： 取样长度L 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度： 评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度： 轮廓中线（也有叫曲线平均线）M 轮廓中线M是评定表面粗糙度数值的基准线。 评定参数及数值: 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。 表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra ： 在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz 在取样长度L内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 表面粗糙度间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S 两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度L内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm 含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 表面粗糙度综合参数： (6)轮廓支承长度率tp 轮廓支承长度率就是轮廓支承长度np与取样长度L之比。 另附： 中美表面粗糙度对照表中国旧标准( 光洁度)中国新标准( 粗糙度)Ra美国标准(微米 )Ra美国标准( 微英寸)，Ra▽46.38.003206.30250▽53.25.002004.001603.20125▽61.62.501002.00801.6063▽70.81.25501.00400.8032▽80.40.6325[/al

北京地区哪有光学轮廓仪可以测激光烧蚀坑的大小与深度？谢谢了。。。

哪儿有光学轮廓仪，可以表征三维形貌及纵向深度？谢谢了。。。

表面粗糙度仪(光洁度)的国家标准主要术语及定义 本资料给出的参数符合GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T6062-2002《产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》。 图一：放大n倍后的工件截面/表面粗糙度及轮廓： /uppic/11-08/30/30121811.jpg图二：各种加工方法能得到的表面光度： /uppic/11-08/30/30121920.jpg图三：常见的表面粗糙度仪的工件测量： /uppic/11-08/30/30122201.jpg表面粗糙度关键技术术语： (1)表面粗糙度：取样长度L 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度：评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度：轮廓中线（也有叫曲线平均线）M /uppic/11-08/30/30122607.jpg 轮廓中线M是评定表面粗糙度数值的基准线。 评定参数及数值: 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。 表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra ： /uppic/11-08/30/30122654.jpg 在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz /uppic/11-08/30/30122743.jpg 在取样长度L内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry /uppic/11-08/30/30122822.jpg 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 表面粗糙度间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S 两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度L内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm 含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 表面粗糙度综合参数： (6)轮廓支承长度率tp [align=lef

Zeta 200自动三维测量系统Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。· 自动多点、多配方测量样品· 200毫米x200毫米XY轴驱动范围· 粗糙表面成像与分析· 金属栅线形状与尺寸测量· 防反射膜及光刻胶厚度分析· 真空吸盘保证样品定位一致· 本色三维成像· 台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量Zeta 200特色功能1.多点测量 用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。2.大面积成像 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。3.自动形貌特征测量 用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。标准系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x,10x,20x,50x,100x耦合透镜：0.5x自动载物台：200毫米x200毫米XY驱动范围Z轴：30毫米纵向驱动范围数码相机: 1024x768像素,1/3 英寸CCD计算机控制系统处理器：英特尔®酷睿2 双核（最低2.5GHz）随机存储器3GB硬盘驱动器：320GB显示器：22英寸宽屏液晶显示器（1680x1050像素） Zeta 三维测量软件实时视频成像快速数据采集（每处1分钟）三维表面浏览：倾斜，旋转，缩放，过滤•体积计算二维表面分析：特性尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度区域平均台阶高度轮廓测量台阶高度与粗糙度多横截面分析平均值测量标尺倾斜度与表面波度补偿阵列式采样序列自动数据与图像输出用于生产线SPC

表面粗糙度仪的工作原理 引 言表面质量的特性是零件最重要的特性之一，在计量科学中表面质量的检测具有重要的地位。最早人们是用标准样件或样块，通过肉眼观察或用手触摸，对表面粗糙度做出定性的综合评定。1929年德国的施马尔茨(G.Schmalz)首先对表面微观不平度的深度进行了定量测量。1936年美国的艾卜特(E.J.Abbott)研制成功第一台车间用的测量表面粗糙度的轮廓仪。1940年英国Taylor-Hobson公司研制成功表面粗糙度测量仪(3)测量方式不灵活，例如：评定长度的选取，滤波器的选择等；(4)测量结果的输出不直观。造成上述几个方面不足的主要原因是：系统的可靠性不高，模拟信号的误差较大且不便于处理等。图4 改进后的表面粗糙度测量仪工作原理框图要采用计算机系统对传统的表面粗糙度测量仪进行改进，就要编制相应的计算机软件，最好采用比较直观的菜单形式。可以按如图5所示的菜单使用流程图编制软件：图5 菜单使用流程框图3.2 改进后的表面粗糙度测量仪的功能及使用效果由于采用计算机系统，将模拟信号转换为数字信号进行灵活的处理，显著地提高了系统的可靠性，所以既大大增加了测量参数的数量，又提高了测量精度。例如：哈尔滨量具刃具厂制造的2205型表面粗糙度测量仪的测量参数多达二十六个，测量范围为0.001～50另一方面，若在表面粗糙度测量仪测量实验的教学过程中引入改进后的表面粗糙度测量仪，就实验的直观教学功能而言，也很有意义。改进后的电动输廓仪，通过计算机软件与硬件的结合(尤其是软件)大大加强了实验过程的直观性，这体现在以下几个方面：(1)整个实验过程非常直观地通过软件的各级菜单进行控制。操作简单、一目了然。(2)输入与显示同步，即在测量进行过程的同时，触针在被测表面上滑行的轨迹动态地显示在计算机屏幕上。(3)测量结果及相关图形能非常直观地、准确地输出在显示器、打印机或绘图仪上。很显然，以上这些直观的教学效果是其它传统的表面粗糙度测量实验方法所不具备的。它在得到正确的测量结果的同时，还充分运用了直观教学的原理，帮助学生加深对表面粗糙度的概念及其各种参数的直观理解。"FONT-FAMILY: " Courier New?;4 结 语(1)传统的表面粗糙度测量仪由传感器、驱动器、指零表、记录器和工作台等主要部件组成，从输入到输出全过程均为模拟信号。而在传统的表面粗糙度测量仪的基础上，采用计算机系统对其进行改进后，通过模-数转换将模拟量转换为数字量送入计算机进行处理，使得仪器在测量参数的数量、测量精度、测量方式的灵活性、测量结果输出的直观性等方面有了极大的提高。(2)从前面的分析知，整个改进方案并不复杂，因此对于目前仍广泛使用的传统的表面粗糙度测量仪的改进具有一定的意义。(3)随着电子技术的进步，某些型号的表面粗糙度测量仪还可将表面粗糙度的凹凸不平作三维处理，测量时在相互平行的多个截面上进行，通过模-数变换器，将模拟量转换为数字量，送入计算机进行数据处理，记录其三维放大图形，并求出等高线图形，从而更加合理的评定被测面的表面粗糙度。

目前，检测表面粗糙度比较常用的方法是比较法、光切法、干涉法、触针法和印模法等，而其中触针法因其测量迅速方便、测量精度高、使用成本较低等良好特性而得到广泛使用。当采用触针法对加工工件表面进行表面粗糙度测量时，探测头上的触针在被测表面轻轻划过。由于存在轮廓峰谷的起伏，所以触针将在垂直与被测轮廓表面方向上产生上下起伏的移动。这种移动量虽然非常微细，但足以被敏感的电子装置捕捉并加以放大。放大之后的信息则通过指示表或其他输出装置以数据或图形的方式输出。这就是触针式表面粗糙度测量仪的工作方式。其中，按其传感器类型可以分：电感式、压电式、光电式等；按其指示方式又可分为：积分式、连续移动式。触针式表面粗糙度测量仪由传感器、驱动箱、指示表、记录器和工作台等主要部件组织。其中电感传感器的工作原理为：传感器测杆一端装有触针（由于金刚石耐磨、硬度高的特点，触针多选用金刚石材质），触针的尖端要求曲率半径很小，以便于全面的反映表面情况。测量时将触针尖端搭在加工工件的被测表面上，并使针尖与被测面保持垂直接触，利用驱动装置以缓慢、均匀的速度拖动，当触针在被测表面拖动滑行时，将随着被测面的轮廓峰谷表面作反向上下运动，并将运动幅度放大，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化，并将触针微笑的垂直位移转化为同步成比例的电信号。

请教有没有表面轮廓仪(Profilometry)方面的专家. 对中国高精度表面轮廓仪(Ultra Precision Profilometry)应用方面,和生产方面的发展情况.谢谢

求租借粗糙度仪，要求能输出轮廓线等原始数据，量程在300微米以上，便携式，例如三丰SJ-411等，价格面议

请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么？

成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。