矩阵椭偏仪

椭偏仪概述椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等。椭偏法测量优点(1)能测量很薄的膜(1nm)，且精度很高，比干涉法高1~2个数量级。(2)是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其他精密方法如称重法、定量化学分析法简便。(3)可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收率。因此可以作为分析工具使用。(4)对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感，是研究表面物理的一种方法。在半导体制造领域，为了监测硅片表面薄膜生长/蚀刻的工艺，需要对其尺寸进行量测。一般量测的对象分为两种：3D结构与1D结构。3D结构是最接近于真实Device的结构，其量测出来的结果与电性关联度最大。3D结构量测的精度一般是纳米级别的。1D结构就是几层，几十层甚至上百层薄膜的堆叠，主要是用来给研发前期调整工艺稳定性保驾护航的，其测量精度一般是埃数量级的。就逻辑芯片来说，最重要的量测对象是HKMG这些站点各层薄膜的量测。因为这些站点每层薄膜的厚度往往只有几个到十几个埃，而process window更极限，往往只有1-1.5个埃，也就是说对工艺要求极高。而这些金属层又跟电性关联度很大，所以每一家fab都对这些站点的量测非常重视。如何验证这些精度呢？在fab里，一般会撒一组DOE wafer: Baseline wafer，以及Baseline +/-几埃的wafer，然后每片wafer上切中心与边缘的两个点。zai采用TEM或XPS结果作为参考值，与椭偏仪量测结果拉线性，比如R-Square达到0.9以上就算合格。最能精确验证椭偏仪精度的是沉积那些薄膜的机台，比如应用材料等公司的机台，通过调节cycle数可以沉积出不同厚度的薄膜，其名义值往往与椭偏仪的量测值有极其高的线性（比如R-Square在0.95以上)。但为啥不用这些机台的名义值作为参考值啊？因为这些机台本身也是以光学椭偏仪量测出来的值来调整自身工艺的，当然需要一个第三方公证，也就是TEM或XPS。光学椭偏仪的原理上世纪七十年代就有了，已经非常成熟。光学椭偏仪的量测并不是像TEM一样直接观察，而是通过收集光信号再通过物理建模(调节材料本身的光学色散参数与薄膜3D结构参数)来反向拟合出来的。真正决定量测精度的是硬件水平，软件算法，以及物理建模调参时的经验。硬件水平决定信号的强弱，也就是信噪比。软件算法决定在物理建模调参时的速度。因为物理建模调参是一个最花费时间的过程: 需要人为判断计算是过拟合还是欠拟合，需要人为判断算出来的3D结构是否符合制程工艺，需要人为判断材料的光学色散参数是否符合物理逻辑。仪器原理椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭圆偏光法涉及椭圆偏振光在材料表面的反射。为表征反射光的特性，可分成两个分量：P和S偏振态，P分量是指平行于入射面的线性偏振光，S分量是指垂直于入射面的线性偏振光。菲涅耳反射系数r描述了在一个界面入射光线的反射。P和S偏振态分量各自的菲涅耳反射系数r是各自的反射波振幅与入射波振幅的比值。大多情况下会有多个界面，回到最初入射媒介的光经过了多次反射和透射。总的反射系数Rp和Rs，由每个界面的菲涅耳反射系数决定。Rp和Rs定义为最终的反射波振幅与入射波振幅的比值。椭偏法这种非接触式、非破坏性的薄膜厚度、光学特性检测技术测量的是电磁光波斜射入表面或两种介质的界面时偏振态的变化。椭偏法只测量电磁光波的电场分量来确定偏振态，因为光与材料相互作用时，电场对电子的作用远远大于磁场的作用。折射率和消光系数是表征材料光学特性的物理量，折射率是真空中的光速与材料中光的传播速度的比值N=C/V；消光系数表征材料对光的吸收，对于透明的介电材料如二氧化硅，光完全不吸收，消光系数为0。N和K都是波长的函数，但与入射角度无关。椭偏法通过测量偏振态的变化，结合一系列的方程和材料薄膜模型，可以计算出薄膜的厚度T、折射率N和吸收率（消光系数）K。市场规模据GIR (Global Info Research)调研，按收入计，2021年全球椭圆偏振仪收入大约40百万美元，预计2028年达到51百万美元，亚太地区将扮演更重要角色，除中美欧之外，日本、韩国、印度和东南亚地区，依然是不可忽视的重要市场。目前椭偏仪被广泛应用到OLED 、集成电路、太阳能光伏、化学等领域。有专家认为，随着国内平板显示、光伏等产业爆发，国内椭偏仪将形成30亿元到50亿元大市场。据专家估计，全球显示面板制造，约有六七成在我国生产。光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪根据不同产品类型，椭圆偏振仪细分为: 光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪。激光椭偏仪采用极窄带宽的激光器作为光源，在单波长下对纳米薄膜样品进行表面和界面的表征。激光椭偏仪作为常规的纳米薄膜测量工具,与光谱椭偏仪相比，具有如下特点：1.对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。2.可对动态过程进行快速测量：激光良好的方向性使得其强度非常高，因此非常适合对动态过程的实时测量。但激光椭偏仪对多层膜分析能力不足，不如光谱型椭偏仪。椭偏仪的发展进程1887年，Drude第一次提出椭偏理论，并建立了第一套实验装置，成功地测量了18种金属的光学常数。1945年，Rothen第一次提出了“Ellipsometer”(椭偏仪)一词。之后，椭偏 仪有了长足发展，已被广泛应用于薄膜测量领域。根据工作原理, 椭偏仪主要分为消光式和光度式两类。在普通椭偏仪的基础上，又发展了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪。典型的消光式椭偏仪包括光源、起偏器、补偿器、检偏器和探测器。消光式椭偏仪通过旋转起偏器和检偏器，找出起偏器、补偿器和检偏器的一组方位角(P、C、A), 使入射到探测器上的光强最小。由这组消光角得出椭偏参量Y和D。在椭偏仪的发展初期，作为唯一的光探测器，人眼只能探测到信号光的存在或消失，因而早期椭偏仪的类型都是消光式。消光式椭偏仪的测量精度主要取决于偏振器件的定位精度，系统误差因素较少, 但测量时需读取或计算偏振器件的方位角，影响了测量速度。所以消光式椭偏仪主要适用于对测量速度没有太高要求的场合，例如高校实验室。而在工业应用上主要使用的是光度式椭偏仪。光度椭偏仪对探测器接收到的光强进行傅里叶分析, 再从傅里叶系数推导得出椭偏参量。光度式椭偏仪主要分为旋转偏振器件型椭偏仪和相位调制型椭偏仪。其中旋转偏振器件型椭偏仪包括旋转起偏器型椭偏仪、旋转补偿器型椭偏仪和旋转检偏器型椭偏仪。光度式椭偏仪不需测量偏振器件的方位角，便可直接对探测器接收的光强信号进行傅里叶分析，所以测量速度比消光式椭偏仪快，特别适用于在线检测和实时测量等工业应用领域。对于多层薄膜，一组椭偏参量不足以确定各层膜的光学常数和厚度, 而且材料的光学常数是入射光波长的函数, 为了精确测定光学常数随入射波长的变化关系, 得到多组椭偏参量, 椭偏仪从单波长测量向多波长的光谱测量发展。1975 年，Aspnes 等首次报道了以RAE为基本结构的光谱椭偏仪。它利用光栅单色仪产生可变波长，从而在较宽的光谱范围(近红外到近紫外)内可以测量高达 1000 组椭偏参量，膜厚测量精度可以达到0.001 nm，数据采集和处理时间仅为7s。1984年，Muller 等研制了基于法拉第盒自补偿技术的光谱椭偏仪。这种椭偏仪采集400组椭偏参量仅用时 3s。为了进一步缩短系统的数据采集时间，1990年Kim 等研制了旋转起偏器类型的光谱椭偏仪，探测系统用棱镜分光计结合光学多波段分析仪(OMA) 代替常用的光电倍增管，在整个光谱范围内获取 128 组椭偏参数的时间为 40ms。紫外波段到可见波段消光系数较大或厚度在几个微米以上的薄膜，其厚度和光学常数的测量需使用红外椭偏光谱仪。红外椭偏光谱仪已经成为半导体行业异质结构多层膜相关参量测量的标准仪器。早期的红外椭偏光谱仪是在 RAE、RPE 或 PME 的基础上结合光栅单色仪构成的。常规的红外光源的强度较低，降低了红外椭偏仪的灵敏度。F. Ferrieu 将傅里叶变换光谱仪(FT) 引入到 RAE，使用常规的红外光源，其椭偏光谱可以从偏振器不同方位角连续记录的傅里叶变换光谱得到，从而能够对材料进行精确测量，提高了系统的灵敏度。其缺点是不能实现快速测量。由于集成电路的特征尺寸越来越小，一般椭偏仪的光斑尺寸较大(光斑直径约为 1 mm)，为了提高椭偏仪的空间分辨率，Beaglehole将传统椭偏仪和成像系统相结合，研制了成像椭偏仪。普通椭偏仪测量的薄膜厚度是探测光在样品表面上整个光斑内的平均厚度，而成像椭偏仪则是利用 CCD 采集的椭偏图像得到样品表面的三维形貌及薄膜的厚度分布，从而能够提供样品的细节信息。成像椭偏仪的 CCD 成像单元，将样品表面被照射区域拍摄下来，一路信号输出到视频监视器显示，一路信号输入计算机进行数据处理。CCD 成像单元较慢的响应速度限制了成像椭偏仪在实时监测方面的应用。为了克服这一限制，Chien - Yuan Han 等利用频闪照明技术代替传统照明方式，成功研制了快速成像椭偏仪。与传统椭偏仪相比，由于 CCD 器件干扰了样品反射光的偏振态，且有很强的本底信号，成像椭偏仪的系统误差因素增多，使用前必须仔细校准。探测光与样品相互作用时，若样品是各向同性的，探测光的p分量和s分量各自进行反射，若各向异性，则探测光与样品相互作用后还将会发生光的 p 分量和 s分量的相互转化。标准椭偏仪只考虑探测光的 p 分量和 s 分量各自的反射情况，所以只能用于测量各向同性样品的参量，对于各向异性的样品，需使用广义椭偏仪。国内椭偏技术的研究始于20世纪70年代。70年代中期，我国第一台单波长消光椭偏仪TP-75 型由中山大学莫党教授等设计并制造。1982年，旋转检偏器式波长扫描光度型椭偏仪( TPP-1 型) 也得以问世。随后在80年代中后期西安交通大学研制出了激光光源椭偏仪，同期实现了椭偏光谱仪的自动化。复旦大学的陈良尧教授于1994年研制出了一种同时旋转起偏器和检偏器的新型全自动椭偏仪。该类型椭偏仪曾成功实现商业化，销售给包括德国在内的多家国内外单位使用。1998年，中国科学院上海技术物理研究所的黄志明和褚君浩院士等人研制出了同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪。2000年，中国科学院力学所靳刚研究员研制出了我国第一台椭偏光显微成像仪。该仪器可以实现纳米级测量和对生物分子动态变化及其相互作用进行实时观测。2000 年，复旦大学陈良尧和张荣君等人研制出了基于双重傅里叶变换的红外椭偏光谱系统。2013年华中科技大学张传维团队成功研发出椭偏仪原型样机。2014年，华中科技大学的刘世元教授等人使用穆勒矩阵椭偏仪测试了纳米压印光刻的抗蚀剂图案，同时还检测了该过程中遇到的脚状不对称情况，其理论和实验结果都表明该仪器具有良好的敏感性。2015年，国内首台商品化高端穆勒矩阵椭偏仪终于成功面世。主流厂商企业名称国内睿励科学仪器合能阳光复享光学量拓科技赛凡光电武汉颐光科技国外Accurion GmbHK-MacAngstrom Advanced瑟米莱伯J.A.WoollamHORIBAPhotonic LatticeAngstrom Sun大塚电子GaertnerFilm SenseHolmarc Opto-MechatronicsOnto Innovation Inc.AQUILAPARISA TECHNOLOGYDigiPol TechnologiesSentech Instruments海洋光学 以上，就是小编为大家整理的椭偏仪知识大全，附上部分市场主流厂商信息，更多仪器，请点击进入“椭偏仪”专场。 找靠谱仪器，就上仪器信息网【选仪器】栏目。它是科学仪器行业专业导购平台，旨在帮助仪器用户快速找到需要的仪器设备。栏目囊括了分析仪器、实验室设备、物性测试仪器、光学仪器及设备等14大类仪器，1000余个仪器品类。

2016年5月5日，科技部在武汉组织召开了首批国家重大科学仪器设备开发专项项目“宽光谱广义椭偏仪设备开发”(项目编号：2011YQ160002)综合验收会议。该项目由武汉光迅科技股份有限公司牵头，华中科技大学为仪器开发技术支持单位，武汉新芯集成电路制造有限公司、武汉珈玮光伏照明有限公司、武汉光电国家实验室(筹)为应用开发单位，武汉颐光科技有限公司为产业化单位。　　天津大学叶声华院士、华东师范大学曾和平教授、中科院上海光机所周常河研究员、北京光学仪器厂骆东淼教授级高工等11名专家组成了本次会议验收技术专家组，叶声华院士任专家组组长。验收会由科技部国家科技评估中心毛建军副主任主持，湖北省科技厅条件处魏敏杰处长等出席会议。　　项目负责人刘世元教授代表项目组对项目执行完成情况进行了详细汇报。截止项目验收时，研制完成宽带消色差补偿器、高精度双旋转补偿器同步控制等核心部件与关键技术，开发出具有自主知识产权的宽光谱广义椭偏仪设备4台 获授权国际发明专利3件，授权国内发明专利29件，软件著作权8件，商标权1件。获日内瓦国际发明奖金奖1项，发表SCI学术论文50篇 形成设计图纸、工程工艺、软件代码等完整技术文档各1套，质量和可靠性保障方案1套 建成中试生产线1条，销售仪器产品2台。　　汇报结束后，专家组现场审阅了相关资料，随后前往产业化单位武汉颐光科技有限公司考察了宽光谱广义椭偏仪设备产品，对产品指标和性能进行了现场测试与考核，并就项目完成情况及产业化进展提出现场质询。经认真讨论，验收专家组认为，该项目实施情况良好，完成了预期目标并达到全部考核指标，一致同意通过验收。　　椭偏仪是一种测量偏振光状态改变的重要科学仪器，本项目研制的广义椭偏仪(也称穆勒矩阵椭偏仪)代表了椭偏仪最高水平，可以测得一个44阶的穆勒矩阵共16个参数，因而可以获得更为丰富的测量信息。椭偏仪广泛应用于材料光学常数、纳米薄膜厚度及表面特性表征等基础科学研究与纳米制造相关产业，应用范围涵盖集成电路、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学薄膜等众多领域。

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2024-04-03 招标文件: 附件1 附件2 附件3 附件4 项目概况 椭偏仪的潜在投标人应在（本公告附件中）获取招标文件，并于2024年4月16日15：00（北京时间）前网上递交投标文件。 一、项目基本情况 （一）项目编号：SZDL2024000416（CLF0123SZ27ZC60） （二）项目名称：椭偏仪 （三）预算金额：人民币103.00万元 （四）最高限价：人民币103.00万元 （五）采购需求：椭偏仪，详见招标文件 （六）合同履行期限：签订合同后300个日历日内（含免税证明办理时间），产品的附件、备品备件及专用工具应随产品一同交付。 （七）本项目不接受联合体投标。 （八）接受投标人选用进口产品/服务参与投标。 （九）其他：政府采购监督管理部门为深圳市财政局。 二、供应商的资格要求 （一）满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1.提供在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织的营业执照或事业单位法人证书或社会团体法人登记证书扫描件，如投标人为自然人的提供自然人身份证明扫描件；如国家另有规定的，则从其规定。（分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司（总所）出具给分支机构的授权书，并提供总公司（总所）和分支机构的营业执照（执业许可证）扫描件。已由总公司（总所）授权的，总公司（总所）取得的相关资质证书对分支机构有效，法律法规或者行业另有规定的除外。） 2.提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的书面声明；（提供《政府采购投标及履约承诺函》） 3. 参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供《政府采购投标及履约承诺函》）（重大违法记录是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定））。 4. 参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（提供《政府采购投标及履约承诺函》）。 5. 法律、行政法规规定的其他条件。（提供《政府采购投标及履约承诺函》） （二）落实政府采购政策需满足的资格要求：无。 （三）本项目的特定资格要求：无。 （四）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目同一合同项下的其他采购活动（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。 （五）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。 （六）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单（税收违法黑名单）、政府采购严重违法失信行为记录名单（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。注：“信用中国”、“中国政府采购网”、“深圳信用网”以及“深圳市政府采购监管网”为供应商信用信息的查询渠道，相关信息以开标当日的查询结果为准。 （七）若所投产品为进口，则投标人必须提供由设备制造商或授权的中国代理商签署的合法有效的保修、维修承诺函（格式自拟）；若所投产品为国产产品，则无需提供。 三、获取招标文件 时间：2024年4月3日至2024年4月16日15:00 地点：登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）下载本项目的招标文件。 方式：在线下载。 售价：免费。 凡已注册的深圳市网上政府采购供应商，按照授予的操作权限，可于2024年4月3日至2024年4月16日15:00期间登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）下载本项目的采购文件。投标人如确定参加投标，首先要在深圳政府采购智慧平台网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）网上报名投标，方法为在网上办事子系统后点击“【招标公告】→【我要报名】”；如果网上报名后上传了投标文件，又不参加投标，应再到【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】功能点中进行“【撤回本次投标】”操作；如果是未注册为深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）的供应商，请先办理密钥，并前往深圳公共资源交易中心（深圳交易集团有限公司政府采购业务分公司）绑定深圳政府采购智慧平台用户（地址：深圳市南山区沙河西路3157号南山智谷A座（深圳交易集团总部大楼）3楼办事大厅4、5号窗口；电子密钥办理咨询电话：0755-83948165），再进行投标报名。在网上报名后，点击“【我的项目】→【项目流程】→【采购文件下载】”进行招标文件的下载。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 （一）投标截止时间：所有投标文件应于2024年4月16日15:00（北京时间）之前上传到深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）。具体操作为登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，用“【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】”功能点上传投标文件。本项目电子投标文件最大容量为100MB，超过此容量的文件将被拒绝。 （二）开标时间和地点：定于2024年4月16日15:00（北京时间），在深圳市龙岗区龙翔大道9009号珠江广场A4栋408室采联国际招标采购集团有限公司深圳分公司会议室公开开标。供应商可以登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。 （三）在线解密：投标人须在开标当日15:00-15:30期间进行解密，逾期未解密的作无效处理。解密方法：登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，使用本单位制作电子投标文件同一个电子密钥，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 （一）本项目实行网上投标，采用电子投标文件。 （二）采购文件澄清/修改事项：2024年4月11日00:00（北京时间）前，投标人如果认为采购文件存在不明确、不清晰和前后不一致等问题，可登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）→“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，在“【我的项目】→【项目流程】→【提问】”功能点中填写需澄清内容。2024年4月13日00:00（北京时间）前将采购文件澄清/修改情况在“【我的项目】→【项目流程】→【答疑澄清文件下载】”中公布，望投标人予以关注。 （重要提示：“提出采购文件澄清要求”不等同于“对采购文件质疑”，供应商提出的澄清要求内容如出现“质疑”字眼，将予以退回。供应商如认为采购文件存在限制性、倾向性、其权益受到损害，应当自知道或者应当知道其权益受到损害之日（应当知道其权益受到损害之日是指对招标文件的质疑，为招标文件公布之日）起七个工作日内以书面形式提出质疑。根据《深圳经济特区政府采购条例》第四十二条“供应商投诉的事项应当是经过质疑的事项”的规定，未经正式质疑的，将影响供应商行使向财政部门提起投诉的权利。） （三）采购人及采购代理机构有权对中标人就本项目要求提供的相关证明资料（原件）进行审查。供应商提供虚假资料被查实的，则可能面临被取消本项目中标资格、列入不良行为记录名单和三年内禁止参与深圳市政府采购活动的风险。 （四）本招标公告及本项目招标文件所涉及的时间一律为北京时间。投标人有义务在招标活动期间浏览深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/），在深圳政府采购智慧平台网上公布的与本次招标项目有关的信息视为已送达各投标人。 （五）本项目相关公告在以下媒体发布 1、法定媒体：深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）。相关公告在法定媒体上公布之日即视为有效送达，不再另行通知。 2、采购代理机构网站（www.chinapsp.cn）。 3、以上媒体公告内容不一致的，以深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）的公告内容为准。 （六）本项目不需要投标保证金。 （七）需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库〔2014〕68号)、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号)、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《快递包装政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2020〕123号）、《绿色建筑和绿色建材政府采购需求标准》（财办库〔2022〕35 号）、《绿色数据中心政府采购需求标准（试行）》（财办库〔2023〕7 号）等。 七、对本次采购提出询问，请按以下方式联系。 （一）采购人信息 名称：深圳技术大学 地址：深圳市坪山区深圳技术大学采购与招投标管理中心105室 联系方式：谢老师 0755-23256076 （二）采购代理机构 名称：采联国际招标采购集团有限公司 地址：深圳市福田区竹子林中国经贸大厦10楼采联国际招标采购集团有限公司深圳分公司 （三）项目联系方式 项目联系人：陈小姐 电话：0755-88377572转2328 邮编：518040 邮箱：cailiansz@126.com 八、招标文件 采购文件szczf：-详见后面附件- 采购文件PDF：-详见后面附件- 采购文件DOC：-详见后面附件- 采购文件附件：（如工程类项目，还包括图纸和工程量清单）-详见后面附件- 通用附件： 1、请下载并使用相应的深圳智慧采购平台投标文件制作专用软件打开招标文件（.szczf格式）。 2、供应商端操作手册。 采联国际招标采购集团有限公司 2024年4月3日 [SZDL2024000416-A]椭偏仪.szczf [SZDL2024000416-A]椭偏仪.docx 附录.中小企业及残疾人福利性单位相关文件.zip[SZDL2024000416-A]椭偏仪.pdf SZDL2024000416-A椭偏仪采购公告.pdf × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：椭偏仪 开标时间：2024-04-16 15:00 预算金额：103.00万元 采购单位：深圳技术大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：采国际招标采购集团有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 椭偏仪招标公告 广东省-深圳市-坪山区 状态：公告 更新时间： 2024-04-03 招标文件: 附件1 附件2 附件3 附件4 项目概况 椭偏仪的潜在投标人应在（本公告附件中）获取招标文件，并于2024年4月16日15：00（北京时间）前网上递交投标文件。 一、项目基本情况 （一）项目编号：SZDL2024000416（CLF0123SZ27ZC60） （二）项目名称：椭偏仪 （三）预算金额：人民币103.00万元 （四）最高限价：人民币103.00万元 （五）采购需求：椭偏仪，详见招标文件 （六）合同履行期限：签订合同后300个日历日内（含免税证明办理时间），产品的附件、备品备件及专用工具应随产品一同交付。 （七）本项目不接受联合体投标。 （八）接受投标人选用进口产品/服务参与投标。 （九）其他：政府采购监督管理部门为深圳市财政局。 二、供应商的资格要求 （一）满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定： 1.提供在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织的营业执照或事业单位法人证书或社会团体法人登记证书扫描件，如投标人为自然人的提供自然人身份证明扫描件；如国家另有规定的，则从其规定。（分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司（总所）出具给分支机构的授权书，并提供总公司（总所）和分支机构的营业执照（执业许可证）扫描件。已由总公司（总所）授权的，总公司（总所）取得的相关资质证书对分支机构有效，法律法规或者行业另有规定的除外。） 2.提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的书面声明；（提供《政府采购投标及履约承诺函》） 3. 参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供《政府采购投标及履约承诺函》）（重大违法记录是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定））。 4. 参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（提供《政府采购投标及履约承诺函》）。 5. 法律、行政法规规定的其他条件。（提供《政府采购投标及履约承诺函》） （二）落实政府采购政策需满足的资格要求：无。 （三）本项目的特定资格要求：无。 （四）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目同一合同项下的其他采购活动（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。 （五）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。 （六）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单（税收违法黑名单）、政府采购严重违法失信行为记录名单（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。注：“信用中国”、“中国政府采购网”、“深圳信用网”以及“深圳市政府采购监管网”为供应商信用信息的查询渠道，相关信息以开标当日的查询结果为准。 （七）若所投产品为进口，则投标人必须提供由设备制造商或授权的中国代理商签署的合法有效的保修、维修承诺函（格式自拟）；若所投产品为国产产品，则无需提供。 三、获取招标文件 时间：2024年4月3日至2024年4月16日15:00 地点：登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）下载本项目的招标文件。 方式：在线下载。 售价：免费。 凡已注册的深圳市网上政府采购供应商，按照授予的操作权限，可于2024年4月3日至2024年4月16日15:00期间登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）下载本项目的采购文件。投标人如确定参加投标，首先要在深圳政府采购智慧平台网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）网上报名投标，方法为在网上办事子系统后点击“【招标公告】→【我要报名】”；如果网上报名后上传了投标文件，又不参加投标，应再到【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】功能点中进行“【撤回本次投标】”操作；如果是未注册为深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）的供应商，请先办理密钥，并前往深圳公共资源交易中心（深圳交易集团有限公司政府采购业务分公司）绑定深圳政府采购智慧平台用户（地址：深圳市南山区沙河西路3157号南山智谷A座（深圳交易集团总部大楼）3楼办事大厅4、5号窗口；电子密钥办理咨询电话：0755-83948165），再进行投标报名。在网上报名后，点击“【我的项目】→【项目流程】→【采购文件下载】”进行招标文件的下载。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 （一）投标截止时间：所有投标文件应于2024年4月16日15:00（北京时间）之前上传到深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）。具体操作为登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，用“【我的项目】→【项目流程】→【递交投标(应答)文件】”功能点上传投标文件。本项目电子投标文件最大容量为100MB，超过此容量的文件将被拒绝。 （二）开标时间和地点：定于2024年4月16日15:00（北京时间），在深圳市龙岗区龙翔大道9009号珠江广场A4栋408室采联国际招标采购集团有限公司深圳分公司会议室公开开标。供应商可以登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。 （三）在线解密：投标人须在开标当日15:00-15:30期间进行解密，逾期未解密的作无效处理。解密方法：登录“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，使用本单位制作电子投标文件同一个电子密钥，在“【我的项目】→【项目流程】→【开标及解密】”进行在线解密、查询开标情况。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 （一）本项目实行网上投标，采用电子投标文件。 （二）采购文件澄清/修改事项：2024年4月11日00:00（北京时间）前，投标人如果认为采购文件存在不明确、不清晰和前后不一致等问题，可登录深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com:8081/）→“深圳政府采购智慧平台用户网上办事子系统（http://zfcg.szggzy.com:8081/TPBidder/memberLogin）”，在“【我的项目】→【项目流程】→【提问】”功能点中填写需澄清内容。2024年4月13日00:00（北京时间）前将采购文件澄清/修改情况在“【我的项目】→【项目流程】→【答疑澄清文件下载】”中公布，望投标人予以关注。 （重要提示：“提出采购文件澄清要求”不等同于“对采购文件质疑”，供应商提出的澄清要求内容如出现“质疑”字眼，将予以退回。供应商如认为采购文件存在限制性、倾向性、其权益受到损害，应当自知道或者应当知道其权益受到损害之日（应当知道其权益受到损害之日是指对招标文件的质疑，为招标文件公布之日）起七个工作日内以书面形式提出质疑。根据《深圳经济特区政府采购条例》第四十二条“供应商投诉的事项应当是经过质疑的事项”的规定，未经正式质疑的，将影响供应商行使向财政部门提起投诉的权利。） （三）采购人及采购代理机构有权对中标人就本项目要求提供的相关证明资料（原件）进行审查。供应商提供虚假资料被查实的，则可能面临被取消本项目中标资格、列入不良行为记录名单和三年内禁止参与深圳市政府采购活动的风险。 （四）本招标公告及本项目招标文件所涉及的时间一律为北京时间。投标人有义务在招标活动期间浏览深圳政府采购智慧平台（http://zfcg.szggzy.com