KLA Gemini压痕力学测试系统 每时每刻用正确的答案对摩擦学进行突破性的改变使用KLA公司的Gemini系统探索新命令的准确性,精确度和控制,这是世界上第一台用于研究纳米级摩擦学和机械测试动力学的多维仪器。准确性- Gemini提供无与伦比的自由,可以在多个方面探索接触力学,因为它来自Nanomechanics,每次都对正确答案有强烈的信心。精确度 - Gemini的等轴测量轴实现了无与伦比的分辨率力范围和动态性能,意味着正常轴和横轴都能提供KLA所期望的精确度。控制 - 使用Gemini系统的多轴功能有效地解决了硬度,磨损和粘附问题,Gemini系统是以前所未有的分辨率准确研究摩擦学问题的必不可少的工具。摩擦学+单一的粗糙表征, 粘滑滑动 ,超薄膜 ,润滑 ,阻尼 ,各向异性 ,泊松比 ,模数 ,耐刮擦性 ,形貌 ,MEMS测试 ,附着力准确的多维测量第一个提供等距力位移测量的工具,用于研究硬度,摩擦学,磨损和粘附性。优越的规格多维动态性能宽负载和位移范围:50 mN和50μm张力或压缩:无过渡快速时间常数:20μs,具有亚纳米级噪声电磁激活:低漂移和动态精度高载荷框架刚度:7e5 N / m精确的属性测量亚纳米分辨率的样品阶段补充了致动器,以产生高精度的靶向和压痕测量。控制横向力测量准静态和动态模式下的力和位移,采用亚纳米和纳米牛顿分辨率。
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