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明晶体量仪

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  • 高载流子迁移率胶体量子点红外探测器
    短波红外和中波红外波段是两个重要的大气窗口。在该波段范围内,碲化汞胶体量子点表现出良好的光响应。此外,胶体量子点具有易于液相加工制备以及与硅基工艺兼容等优势,因此有望显著降低红外光电探测器的成本。然而,目前胶体量子点红外光电探测器在比探测率、响应度等核心性能方面与传统块体半导体红外探测器相比仍存在一定差距。有效地调控掺杂和迁移率等输运性质是提升量子点红外光电探测器性能的关键。据麦姆斯咨询报道,近期,北京理工大学光电学院和北京理工大学长三角研究院的科研团队在《光学学报》期刊上发表了以“高载流子迁移率胶体量子点红外探测器”为主题的文章。该文章第一作者为薛晓梦,通讯作者为陈梦璐和郝群。在本项工作中,采用混相配体交换的方法将载流子迁移率提升,并且实现了N型、本征型、P型等多种掺杂类型的调控。在此基础之上,进一步研究了输运性质对探测器性能的影响。与光导型探测器相比,光伏型探测器不需要额外施加偏置电压,没有散粒噪声,拥有更高的理论灵敏度,因此是本项工作的研究重点。同时,使用高载流子迁移率的本征型碲化汞量子点薄膜制备了短波及中波红外光伏型光电探测器。实验过程材料的合成:Te前驱体的制备在氮气环境下,称量1.276 g(1 mmol)碲颗粒置于玻璃瓶中,并加入10 ml的三正辛基膦(TOP)中,均匀搅拌至溶解,得到透明浅黄色的溶液,即为TOP Te溶液。碲化汞胶体量子点的合成在氮气环境下,称量0.1088 g(0.4 mmol,氮气环境下储存)氯化汞粉末置于玻璃瓶中,并加入16 ml油胺(OAM),均匀搅拌并加热至氯化汞粉末全部溶解。本工作中合成短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的反应温度分别为65℃和95℃。使用移液枪取0.4 mL的TOP Te溶液,快速注入到溶于油胺的氯化汞溶液中,反应时间分别为4 min和6 min。反应结束后加入20 ml无水四氯乙烯(TCE)作为淬火溶液。碲化银纳米晶体颗粒的合成在氮气环境下,称量0.068 g(0.4 mmol)硝酸,并加入1 mL油酸(OA)和10 mL油胺(OAM)中,均匀搅拌30 min。溶解后,注入1 mL TOP,快速加热至160℃并持续30-45 min。然后向反应溶液中注入0.2 mL TOP Te(0.2 mmol),反应时间为10 min。碲化汞胶体量子点的混相配体交换混相配体交换过程包括液相配体交换和固相配体交换。选择溴化双十二烷基二甲基铵(DDAB)作为催化剂,将碲化汞胶体量子点溶在正己烷中,取4 ml混合溶液与160 μL β-巯基乙醇(β-ME)和8 mg DDAB在N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中混合。之后向溶液中加入异丙醇(IPA)进行离心,倒掉上清液,将沉淀物重新溶解在60μL DMF中。固相配体交换是在制备量子点薄膜后,用1,2-乙二硫醇(EDT)、盐酸(HCL)和IPA(体积比为1:1:20)溶液对已成膜的碲化汞胶体量子点表面进行处理。碲化汞胶体量子点的掺杂调控在调控碲化汞胶体量子点的掺杂方面,Hg²⁺可以通过表面偶极子稳定量子点中的电子,所以选择汞盐(HgCl₂)来调控量子点的掺杂状态。在液相配体交换结束后,向溶于DMF的碲化汞胶体量子点溶液中加入10 mg HgCl₂得到本征型碲化汞胶体量子点,加入20 mg HgCl₂得到N型碲化汞胶体量子点。材料表征采用混相配体交换的方法不仅可以提高载流子迁移率还可以通过表面偶极子调控碲化汞胶体量子点的掺杂密度。液相配体交换前后中波红外碲化汞胶体量子点的TEM图像如图1(a)所示,可以看到,进行液相配体交换后的碲化汞胶体量子点之间的间距明显减小,排列更加紧密。致密的排列可以提高碲化汞胶体量子点对光的吸收率。混相配体交换后的短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收光谱如图1(b)所示,从图1(b)可以看出,短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收峰分别为5250 cm⁻¹和2700 cm⁻¹。利用场效应晶体管(FET)对碲化汞胶体量子点的迁移率和薄膜的掺杂状态进行测量,把碲化汞胶体量子点沉积在表面有一层薄的SiO₂作为绝缘层的Si基底上,基底两侧的金电极分别作为漏极和源极,Si作为栅极,器件结构如图1(c)所示。通过控制栅极的极性和电压大小,可以使场效应晶体管分别处于截止或导通状态。图1(d)是N型、本征型和P型中波红外碲化汞胶体量子点的场效应晶体管转移曲线。利用FET传输曲线的斜率计算了载流子的迁移率μFET。图1 (a)混相配体交换前后碲化汞胶体量子点的透射电镜图;(b)短波红外和中波红外碲化汞胶体量子点的吸收光谱;(c)碲化汞胶体量子点薄膜场效应晶体管测量原理图;(d)在300K时N型、本征型和P型中波红外碲化汞胶体量子点的场效应晶体管转移曲线测试结果。分析与讨论碲化汞胶体量子点光电探测器的制备光伏型探测器不需要施加额外的偏置电压,没有散粒噪声,理论上会具有更好的性能,借鉴之前文献中的报告,器件结构设计为Al₂O₃/ITO/HgTe/Ag₂Te/Au,制备方法如下:第一步,在蓝宝石基底上磁控溅射沉积50 nm ITO,ITO的功函数在4.5~4.7 eV之间。第二步,制备约470 nm的本征型碲化汞胶体量子点薄膜。第三步,取50 μL碲化银纳米晶体溶液以3000 r/min转速旋转30 s,然后用HgCl₂/MEOH(10 mmol/L)溶液静置10 s后以3000 r/min转速旋转30 s,重复上述步骤两次。在这里,Ag⁺作为P型掺杂层,与本征型碲化汞胶体量子点层形成P-I异质结。最后,将器件移至蒸发镀膜机中,在真空环境(5×10⁻⁴ Pa)下蒸镀50 nm Au作为顶层的电极。高迁移率光伏型探测器的结构图和横截面扫描电镜图如图2(a)所示。能级图如图2(b)所示。制备好的探测器的面积为0.2 mm × 0.2 mm。图2 (a)高迁移率碲化汞胶体量子点P-I异质结结构示意图及扫描电镜截面图 (b)碲化汞胶体量子点P-I异质结能带图。器件性能表征为了探究高载流子迁移率短波红外和中波红外光伏型探测器的光电特性,我们测试了器件的I-V曲线以及响应光谱。图3(a)和(b)分别是高迁移率短波红外和中波红外器件的I-V特性曲线,可以看到短波红外和中波红外探测器的开路电压分别为140 mV和80 mV,这表明PI结中形成了较强的内建电场。此外,在零偏置下,高迁移率短波红外和中波红外器件的光电流分别为0.27 μA和5.5 μA。图3(d)和(e)分别为1.9 μm(300 K) ~ 2.03 μm(80 K)的短波红外器件的响应光谱和3.5 μm(300 K) ~ 4.2 μm(80 K)的中波红外器件的响应光谱。比探测率D*和响应度R是表征光电探测器性能的重要参数。R是探测器的响应度,用来描述器件光电转换能力的物理量,即输出信号光电流与输入光信号功率之比。图3 (a)300 K时短波红外I-V曲线;(b)80 K时中波红外I-V曲线;(c)短波红外及中波红外器件的比探测率随温度的变化;(d)短波红外器件在80 K和300 K时的光谱响应;(e)中波红外器件在80 K和300 K时的光谱响应;(f)短波红外和中波红外器件的响应度随温度的变化。图3(e)和(f)给出了探测器的比探测率D*和响应度R随温度的变化。可以看到,短波红外器件在所有被测温度下,D*都可以达到1×10¹¹ Jones以上,中波红外器件在110 K下的D*达到了1.2×10¹¹ Jones。应用此外,本工作验证高载流子迁移率的短波红外和中波红外量子点光电探测器在实际应用,如光谱仪和红外相机。光谱仪实验装置示意图如图4(a)所示,其内部主要是一个迈克尔逊干涉仪。图4(b)和(c)为使用短波红外和中波红外量子点器件探测时有样品和没有样品的光谱响应结果。图4(e)和图4(f)为样品在短波红外和中波红外波段的透过率曲线。对于短波红外波段,选择了CBZ、DDT、BA和TCE这四种样品,它们在可见光下都是透明的,肉眼无法进行区分,但在短波红外的光谱响应和透过率不同。对于中波红外波段,选择了PP和PVC这两个样品。在可见光下它们都是白色的塑料,但在中波红外光谱响应和透过率不同。图4(d)为自制短波红外和中波红外单点相机的扫描成像。,短波相机成像可以给出材质信息。中波红外相机成像则是反应热信息。以烙铁的中波红外成像为例,我们可以清楚地了解烙铁内部的温度分布。在可见光下,硅片呈现不透明的状态使用自制的短波红外相机成像后硅片呈现半透明的状态。图4 (a)利用高载流子迁移率探测器进行响应光谱测量的原理示意图;(b)和(c)分别是在有样品和没有样品两种模式下用自制探测器所探测到的光谱响应;(d)自制短波红外和中波红外光电探测器的单像素扫描成像结果图;(e)TCE、BA、DDT和CBZ在短波红外模式下的透光率,插图为四种样品的可见光图像;(f)PVC和PP在中波红外模式下的透光率,插图为两种样品的可见光图像。结论综上所述,采用混相配体交换的方法,将量子点薄膜中的载流子迁移率提升到了1 cm²/Vs,相较于之前的研究提升了2个量级。并且通过加入汞盐实现了对量子点薄膜的掺杂调控,分别实现了P型、本征型以及N型多种类型的量子点薄膜。同时,基于本征型高迁移率量子点制备了短波红外和中波红外波段的光伏型光电探测器。测试结果表明,提升量子点的输运性质,有效的提升了探测器的响应率、比探测率等核心性能,并且实现了光谱仪和红外相机等应用。本项工作促进了低成本、高性能量子点红外光电探测器的发展。这项研究获得国家自然科学基金(NSFC No.U22A2081、No.62105022)、中国科学技术协会青年托举工程(No.YESS20210142)和北京市科技新星计划(No.Z211100002121069)的资助和支持。论文链接:https://link.cnki.net/urlid/31. 1 252.o4.20230925.0923.016
  • 金属魔法:用半导体量子点打造梦想材料
    研究人员开发出了一种半导体量子点的“超晶格”,它的功能类似于金属。图片来源:美国《赛特科技日报》据最新一期《自然通讯》杂志报道,包括日本RIKEN新兴物质科学中心研究人员在内的团队成功创造了一种由硫化铅半导体胶体量子点组成的“超晶格”,研究人员在这种晶格中实现了类似金属的导电性,导电性比目前的量子点显示器高100万倍,且不会影响量子限制效应。这一进步可能会彻底改变量子点技术,从而在电致发光设备、激光器、热电设备和传感器中实现新的应用。半导体胶体量子点由于其特殊的光学性质而引起了人们极大的研究兴趣,这些性质是由量子限制效应引起的,能应用于太阳能电池,提高能量转换的效率;在生物成像中,它们可用作荧光探针、电子显示器;科学家甚至可以将它们捕获和操纵单个电子的能力用于量子计算。然而,让半导体量子点高效导电一直是一个重大挑战,阻碍了它们的充分利用。这主要是因为它们在组装中缺乏方向顺序。此次研究实现突破的关键是让晶格中的各个量子点直接相互连接,不需要配体,并以精确的方式定向它们的面。 研究人员测试了新材料的导电性,当使用双电层晶体管增加载流子密度时,发现在某个点上,它的导电性比目前量子点显示器的导电性高100万倍。重要的是,单个量子点的量子限制仍然保持不变,这意味着尽管它们的导电性很高,但不会失去功能。研究人员表示,对组装中的量子点进行精确的定向控制可以导致高电子迁移率和金属行为。这一突破可能为在新兴技术中使用半导体量子点开辟新的途径。
  • 瞄准半导体量检测市场,微崇半导体完成近亿元A轮融资
    近日,半导体量检测设备制造商微崇半导体(北京)有限公司(下称“微崇半导体”)完成近亿元A轮融资。本轮融资由新潮创投、建发新兴投资、水木创投、永昌盛资本共同投资,老股东临芯投资持续加注。此次资金将用于新产品研发、推进产品机台量产、市场拓展,以及团队扩充和建设。▍投资标的一、公司简介微崇半导体成立于2021年,是一家半导体检测设备研发生产商。公司团队立足于非线性光学晶圆检测技术,致力于研发先进的半导体检测技术,生产高精度的半导体检测设备。微崇半导体可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速检测,精准判别与定位晶圆缺陷,在研发、爬坡、量产各个阶段为客户带来价值,也为半导体前道检测产业的革新提供了新的动力。二、领域概况1. 半导体检测设备贯穿于晶体制造的每一道制程工艺,负责保证芯片的性能与生产良率,是半导体前道制造设备中仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀的第四大核心设备。如今,随着芯片制造中先进制程和复杂工艺的使用,制造过程对于半导体检测设备的需求量激增。根据SEMI提供数据显示,2022年全球半导体量检测设备市场规模约108亿美元,其中中国大陆市场规模占比最大,约为32亿美元。2. 由于半导体设备领域存在较高的技术、资金及产业协同等壁垒,与国外企业相比,本土量检测设备企业起步较晚,整体实力和规模与国外竞争对手存在较大差距。根据中国国际招标网数据统计,本土半导体量检测产线仍主要依赖于KLA、Onto、Camtek等进口品牌,设备国产化率不到5%。然而,经过多年来的不懈追赶,本土企业技术水平迅速提升,国产化设备在部分领域实现了从无到有的突破,相关细分领域产品亦得到下游客户的积极认可。三、核心竞争力1. 在产品方面,微崇半导体应用二谐波检测技术,创新性地将超快光学和非线性光学运用在半导体量检测领域,可精准、快速地检测晶圆生产中“不可见”的内部晶格缺陷和电学特性,在各个制造阶段为客户提供全方位的问题解决方案。目前,公司核心产品ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统已经实现量产,为国内头部企业提供晶圆级别的缺陷检测、膜层质量及界面态的综合测试分析等技术服务。2. 在团队方面,微崇半导体由领先的海归半导体设备技术团队发起,联合中国资深工程师和科学家团队共同建立。公司创始团队有着美韩先进晶圆厂和设备厂的资深经验,团队成员包含前外企高管、985/211高校教授、资深工程师以及多名优秀海外名校毕业生。目前,团队人数超30人,研发人员占比70%以上。▍投资机构建发新兴投资厦门建发新兴产业股权投资有限责任公司(简称“建发新兴投资”)成立于2014年,是厦门建发集团有限公司下设的专门从事少数股权投资的独立平台。建发新兴投资专注于医疗健康、文化创意、互联网应用/TMT、先进制造等领域的投资机会,重点投资成长期及成熟期的企业。财联社创投通-执中数据显示,截至目前,建发新兴投资在管基金6只,投资公司94家,其中拟上市公司14家,多次被投公司10家,IPO公司8家。投资轮次为股权投资、C轮、B轮等,主要涉及医疗健康、先进制造、生产制造、企业服务等领域。公司测评:由财联社创投通发起,旨在研究公司科创实力,凭借企业科创力评估模型,从技术质量、专利布局、技术影响力、公司竞争力、研发规模和稳定性等维度,挖掘最具科创实力的公司。
  • 半导体情报,中国科学家发明新型“热发射极”晶体管!
    【科学背景】随着信息技术和电子设备的迅猛发展,对高性能、高速运算的需求日益增加。因此呢,晶体管作为核心电子器件,其性能的提升成为了关键研究方向。传统的晶体管,如金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和双极结晶体管(BJT),已经在现代集成电路中取得了显著成功。然而,随着应用对速度和功能的要求不断提高,热载流子晶体管作为新兴技术开始受到关注。热载流子晶体管是一类利用载流子过剩动能的设备,与常规晶体管依赖于稳态载流子输运不同,热载流子晶体管通过将载流子调节至高能状态来提升设备的速度和功能。这种特性对于需要快速开关和高频操作的应用,例如先进电信和尖端计算技术,具有重要意义。然而,传统的热载流子生成机制主要包括载流子注入和加速,这些机制在功耗和负微分电阻(NDR)方面限制了设备的性能。例如,载流子注入机制和加速机制都无法提供低于60&thinsp mV&thinsp dec&minus 1的超低亚阈值摆幅,这对于现代低功耗应用至关重要。为了解决这些问题,中国科学院金属研究所研究员刘驰、孙东明和中国科学院院士成会明,联合中国科学院金属研究所研究员任文才团队、北京大学助理教授张立宁团队合作提出了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管(HOET)。该晶体管利用加热载流子的受激发射机制,实现了低于1毫伏每十年(decade)的超低亚阈值摆幅,超出了玻尔兹曼极限,并且在室温下具有大于100的峰值-谷值电流比的负微分电阻。通过这种新颖的机制,HOET克服了传统热载流子晶体管在功耗和NDR方面的限制,提供了一种具有显著潜力的多功能晶体管,适用于低功耗和负微分电阻应用,为后摩尔时代的技术进步提供了新的解决方案。【科学亮点】(1)实验首次报道了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管(HOET),该晶体管利用加热载流子的受激发射实现了超低亚阈值摆幅和高峰值-谷值电流比的负微分电阻(NDR)。(2)实验通过结合块状材料和低维材料(石墨烯和锗),利用其不同的能带组合形成潜在障碍,从而实现了以下结果:&bull 该HOET实现了低于1毫伏每十年(decade)的亚阈值摆幅,超出了玻尔兹曼极限,这使得设备在低功耗应用中表现优异。&bull 在室温下,HOET的负微分电阻具有大于100的峰值-谷值电流比,这在石墨烯设备中为最高之一,显示出优异的性能。&bull 进一步演示了具有高反相增益和可重配置逻辑状态的多值逻辑应用,展示了设备的多功能性和高性能。【科学图文】图1:器件结构及基本特性。图2:超低SS和SEHC机制。图3:负微分电阻。图4: 用于MVL技术的HOET。【科学结论】本文的研究提供了对热载流子晶体管(HET)领域的重要科学启迪。传统的热载流子生成机制,如载流子注入和加速,存在限制设备性能的不足,特别是在功耗和负微分电阻(NDR)方面。本文提出了一种基于双重混合维度石墨烯/锗肖特基结的热发射晶体管(HOET),利用加热载流子的受激发射机制,显著突破了传统机制的限制,实现了低于1毫伏每十年(decade)的超低亚阈值摆幅,并在室温下展现出大于100的峰值-谷值电流比。这一创新不仅提升了器件的性能,还为低功耗和NDR应用提供了新颖的解决方案。通过将块状材料与低维材料结合,利用不同能带组合形成的潜在障碍,HOET展示了如何通过新机制生成热载流子,推动了热载流子晶体管技术的发展。这项研究为后摩尔时代的电子器件设计开辟了新的方向,尤其是在高性能、低功耗和多功能应用方面,具有重要的科学价值和应用前景。参考文献:Liu, C., Wang, XZ., Shen, C. et al. A hot-emitter transistor based on stimulated emission of heated carriers. Nature (2024). https://doi.org/10.1038/s41586-024-07785-3
  • XRT 在半导体材料晶体缺陷表征中的应用介绍
    XRT 在半导体材料晶体缺陷表征中的应用介绍‍半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。按照半导体材料发展历程和材料本征禁带宽度,习惯上按照如下方法进行分类:第一代半导体材料主要是指硅(Si)、锗(Ge)这类半导体材料,主要兴起于二十世纪五十年代,其兴起也带动了以集成电路为核心的微电子产业的快速发展,并被广泛的应用于消费电子、通信、光伏、军事以及航空航天等多个领域。就应用和市场需求量而言,半导体Si材料仍是半导体行业中体量最大的,产品规格以8-12英寸为主。第二代半导体材料是以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)为主的化合物半导体,其主要被用于制作高频、高速以及大功率电子器件,在卫星通讯、移动通讯以及光通讯等领域有较为广泛的应用。相比于第一代半导体而言,化合物半导体长晶和加工工艺复杂,产品附加值要高一些,产品规格以3-6英寸为主,国内部分厂家可以提供8英寸晶圆。第三代半导体材料包括了以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的宽禁带化合物半导体。相比于第一代及第二代半导体材料,第三代半导体材料在耐高温、耐高压、高频工作,以及承受大电流等多个方面具备明显的优势,因而更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率器件,在电力电子器件、微波射频等领域的应用优势更为明显。产品规格以2-6英寸为主。图1不同半导体材料禁带宽度及应用[1]在半导体材料制备和应用过程中,对于晶体缺陷的要求与控制是十分重要的。因为晶体缺陷的类型、大小和多少直接决定了半导体器件性能的优劣和使用稳定性等性能指标。所以,无论是在晶体长晶环节还是晶片加工及晶圆外延等环节,都要进行晶体/晶圆缺陷检查,确保使用在器件上芯片是满足设计要求的。晶圆中常见的缺陷主要有如下几类,参见图2[2]。点缺陷:在三维空间各方向上尺寸都很小的缺陷。空位、间隙原子、替位原子等;线缺陷:在两个方向上尺寸很小,而另一个方向上尺寸较大的缺陷。如位错,刃型位错和螺型位错;面缺陷:在一个方向上尺寸很小,在另外两个方向上尺寸较大的缺陷。如晶界、相界、表面等。体缺陷:杂质沉积、孔洞及析出相等。图2 半导体材料中常见晶体缺陷对于上述提到的四类半导体材料缺陷中,第一类缺陷属于原子层面的缺陷,通常是从掺杂及长晶工艺优化等角度去进行改进。通常不作为生产过程控制的主要参数,一般选择用其他方法进行测量,如采用FTIR方法可以测量Si晶体中代位C原子和间隙氧原子的浓度。第二到四类缺陷,则需要在加工环节进行100%直接或间接检测,确保所生产晶圆/芯片缺陷指标满足订单要求。对于这类缺陷传统方法就是采用腐蚀性化学药液(如熔融的KOH)对晶、体/圆进行腐蚀。在腐蚀过程中由于晶体有缺陷的区域会优先腐蚀,无缺陷区域则腐蚀速度相对较慢,所以在规定腐蚀时间后在晶圆表面会有腐蚀坑(Etch Pit)出现,这是一种破坏性的检测方法。腐蚀好的晶圆在显微镜下对这些腐蚀坑识别和计数,就可以得到该晶体的缺陷信息, 图3 为SiC 晶圆通过KOH腐蚀得到缺陷照片,缺陷主要有刃型位错、螺型位错和微管等[2]。图3 SiC 晶片腐蚀后缺陷形貌[3]对于半导体晶圆,上述传统缺陷表征方法最大的问题就是破坏性的,检测后的晶圆无法继续使用只能做报废处理。对于像第二代和第三代半导体材料而言,晶体生长技术要求水平较高,成品和晶圆数量受晶棒长度及其他加工方式限制而良率相对不高。像国内部分企业SiC 晶棒成品长度一般在20mm左右。如果按照单片晶圆成品厚度约在0.5mm,除去切割和研磨、抛光损耗,基本上0.8mm才能出一片合格晶圆。如果在晶棒头、尾各取一片晶圆去做缺陷检测,则有约8%的成本损耗。所以很多半导体厂家都希望有一种可以用于半导体晶体材料缺陷的表征的无损检测技术。日本理学株式会社(www.rigaku.com)作为全球著名的X-Ray 仪器制造商,自1923年以来,理学公司一直专注于X射线仪器领域的研发和生产。该公司生产制造的XRT (X-ray Topography)检测系统则是利用X射线的布拉格衍射原理和晶格畸变(缺陷)造成特征峰宽化和强度变化等特性,再结合理学公司开发的X射线形貌技术,可以对晶体内缺陷进行成像。这种XRT检测技术最大的优点就是无损检测,在不破坏晶圆的情况下实现2-12英寸半导体晶体中线缺陷、面缺陷和体缺陷的检测和表征。图4 XRT设备实物图图5 XRT 缺陷表征原理示意图[3]工作模式:XRT主要有反射成像和透射成像两种模式,反射模式是Cu靶,透射模式则是Mo靶,参见图6。透射模式成像后可以进行3D重构和成像,参见图7 SiC晶圆缺陷图片。图6 XRT 反射模式和透射模式[3]图7 SiC 晶圆缺陷表征[3]系统软件介绍:该仪器标配的图像分析软件可以对检测样品内的缺陷进行统计,给出缺陷数量和分布信息,参见图8。图 8 XRT 标配软件数据结果界面[3]后续我们会针对XRT在不同半导体材料检测和应用案例刊发几期相关介绍,敬请期待。附:[1] 第三代半导体-氮化镓(GaN) 技术洞察报告,P3 [2] 理学XRT 内部资料;[3] 理学XRT公开彩页.
  • 投资10亿元!国产电镜新势力进军半导体量测设备,项目落地无锡
    4月1日,总投资10亿元的惠然科技半导体量测设备总部项目正式签约落地滨湖。区委书记孙海东与惠然科技有限公司董事长杨仁贵一行会谈,惠然科技有限公司副总裁刘航等出席活动。孙海东对项目的成功落地表示祝贺。他说,惠然科技有限公司技术储备雄厚、人才配备扎实,产品化经验丰富、科创实力强劲,自去年8月北京拜访接洽以来,双方合作密切、项目推进迅速。此次签约落地的半导体量测设备总部项目,让滨湖集成电路产业发展再添“生力军”,为滨湖乃至无锡深化集成电路产业链布局、健全集成电路产业“生态圈”注入新动能。希望双方能以此次签约为契机,深化交流、强化对接、紧密联动,推动合作走深走实,力促项目早建设、早投产、早见效。滨湖将一如既往不遗余力地做好项目支持、人才服务等各项保障工作,为公司发展创造最优环境。杨仁贵感谢滨湖各级各部门对公司发展的大力支持。他说,滨湖产业基础深厚、人才资源优质,好山好水之间科创活力迸发,是一片干事创业的热土。惠然科技坚持自主研发、深耕半导体产业,与滨湖产业发展、周边市场需求契合度高。相信在滨湖各级政府的大力支持下,惠然科技能充分发挥自身科技、人才优势,不断夯实核心技术攻关能力,推动半导体相关设备产品国产化,助力无锡滨湖集成电路产业高质量发展。惠然科技有限公司是一家以电子光学技术为核心,专注于扫描电子显微镜及半导体量测设备研发、生产和销售的高新技术企业。此次签约落地的项目包含公司总部、上市主体以及新设立的半导体量测设备研发生产基地。惠然科技自2016年成立以来,始终坚持技术主导创新,已经成为创新引领型企业,目前公司拥有国际化研发队伍规模百余人,并拥有许多自主知识产权。其中包括4项发明专利、15项实用新型专利、5项软件著作权,以及18项正在申请的发明专利等。2022年电子光学原型机验证成功,并于2023年7月顺利出机交付首代电镜产品FE-SEM整机“风”系列F6000;同年,与北京大学联合研发“聚焦离子束PFIB设备”。区别于逆向仿制和复制,惠然科技汇聚国内外专家及高级工程师,基于全自主正向研发,在科研和工业领域拥有丰富的工程化和产品化经验,具备根据应用需求差别进行定制化的核心能力,致力于打破科技封锁,期望努力成为电子光学领域科学仪器和工业级检测设备解决方案的领先企业!
  • 科研人员制备稳定钙钛矿纳米晶体,可使LED灯成本更低/寿命更长
    据外媒报道,发光二极管(LED)是照明行业的无名英雄。它们运行效率高,散发的热量少,持续时间长。现在,科学家们正在研究一种新材料以使LED在消费电子、医药和安全领域的应用变得更有效且寿命更长。来自美国能源部(DOE)阿贡国家实验室、布鲁克海文国家实验室、洛斯阿拉莫斯国家实验室和SLAC国家加速器实验室的研究人员报告称,他们已经为此类LED制备了稳定的钙钛矿纳米晶体。来自中国台湾地区的研究院也在这项研究中做出了贡献。钙钛矿是一类具有特殊晶体结构的材料,具有吸光和发光的特性,在一系列节能应用中非常有用,包括太阳能电池和各种探测器。虽然钙钛矿纳米晶体是一种新型LED材料的主要候选材料,但在测试中证明其不稳定。研究小组将纳米晶体稳定在多孔结构中,这种多孔结构被称为金属有机框架,简称MOF。基于地球上丰富的材料并在室温下制造,这些LED有朝一日可能会使成本更低的电视和消费电子产品以及更好的伽马射线成像设备,甚至是用于医学、安全扫描和科学研究的自供电X射线探测器。“我们通过将钙钛矿材料封装在MOF结构中来解决其稳定性问题,”DOE用户设施办公室Argonne的奈米材料中心(CNM)的科学家Xuedan Ma说道,“我们的研究表明,这种方法使我们能大幅提高发光纳米晶体的亮度和稳定性。”美国洛斯阿拉莫斯大学前J. R. Oppenheimer博士后Hsinhan Tsai补充称:“在MOF中结合钙钛矿纳米晶体的有趣概念已经以粉末形式被证明,但这是我们首次成功地将其集成为LED的发射层。”之前试图制造纳米晶体LED的尝试被纳米晶体降解回不需要的体积相所阻碍,这使其失去了纳米晶体的优势并削弱了它们作为实用LED的潜力。大块物质由数十亿个原子组成。像钙钛矿这样的材料在纳米阶段是由几个到几千个原子组成的,因此表现不同。在他们的新方法中,研究小组通过在MOF的矩阵中制造纳米晶体来稳定纳米晶体,就像网球被铁丝网夹住一样。他们使用框架中的铅节点作为金属前体,卤化物盐作为有机材料。卤化物盐的溶液中含有甲基溴化铵,它跟框架中的铅反应并在基体中的铅核周围组装纳米晶体。由于基质会使纳米晶体保持分离,所以它们不会相互作用和降解。这种方法是基于一种解决方案涂层的方法,比目前广泛使用的用于制造无机LED的真空处理要便宜得多。MOF稳定的LED可以制造出明亮的红色、蓝色和绿色光以及每种光的不同色调。洛斯阿拉莫斯国家实验室综合纳米技术中心的科学家Wanyi Nie说道:“在这项工作中,我们首次证明了在MOF中稳定的钙钛矿纳米晶体将创造出各种颜色的明亮、稳定的LED。我们可以创造不同的颜色、提高颜色纯度并提高光致发光量子产量,这是一种衡量材料发光能力的指标。”该研究小组使用先进光子源(APS)--DOE位于阿贡的科学用户设施办公室--进行时间分辨X射线吸收光谱分析,这项技术使他们能发现钙钛矿材料随时间的变化。研究人员能跟踪电荷在材料中移动的过程并了解光发射时发生的重要信息。“我们只能通过APS强大的单个X射线脉冲和独特的时间结构来实现这一点,”阿贡X射线科学部的小组负责人Xiaoyi Zhang说道,“我们可以追踪带电粒子在微小钙钛矿晶体中的位置。”在耐久性测试中,该材料在紫外线辐射、热和电场下表现良好且不会降解并失去其光探测和发光效率,这是电视和辐射探测器等实际应用的关键条件。
  • 10月12日直播丨诺贝尔化学奖-胶体量子点:红外成像芯片&量子点发光技术
    发布人: 发布时间:2023-10-11 文字: 大 中 小10月12日——诺贝尔化学奖-胶体量子点:红外成像芯片&量子点发光技术,更有多重直播福利,欢迎预约!“名师讲堂”系列专题会聚焦分子光谱、光电探测、高光谱与影像、超快光谱等前沿技术在材料、生医、能源科学等热门领域的前沿发展与应用,卓立汉光邀请行业内专家学者以网络在线形式进行学术探讨与交流,为光电技术科研工作者建立全新、高效、开放的学习与交流平台。2023年诺贝尔化学奖得主为美国麻省理工学院教授蒙吉G巴文迪、美国哥伦比亚大学教授路易斯E布鲁斯和美国纳米晶体技术公司前首席科学家阿列克谢伊基莫夫,以表彰他们在量子点的发现和发展方面的贡献。为了与大家共同感受诺贝尔化学奖-量子点的科技魅力,本期卓立汉光特别隆重邀请到了北京理工大学—唐鑫教授和中国海洋大学材料科学与工程学院—夏呈辉副教授,与大家分享在胶体量子点研究领域的经验和心得体会,希望本次讲座能够为您的科学研究带来灵感与助力,推动研究的进展,精彩不容错过,赶快报名开启学习之旅吧~43期名师讲堂马上就要开讲啦!直播预约1.关注“卓立汉光”、“TEO先锋科技”视频号,预约本次直播。2.通过扫描下方二维码,预约本场直播。直播福利1.凡在线观看直播的观众,均可以参加“直播互动抽奖”活动!奖品丰富,欢迎大家踊跃报名。2.扫客服二维码,加入“名师讲堂交流群”,与各位老师交流学习,获取*新光电知识,看直播,长人脉。直播矩阵本期直播,除了在“卓立汉光”平台直播外,我们也将通过“先锋科技”视频号同步直播,同时欢迎大家在卓立汉光直播间查看更多我们的讲座视频哦~希望通过名师讲堂,我们可以共同学习光电新知识,10月12日,让我们不见不散!
  • 西安交大发明无损调控微纳尺度含缺陷晶体力学性能的新方法
    p   早在2008年,单智伟教授与合作者们就在《自然材料》报道了微纳尺度单晶镍中的“力致退火”现象,即通过对微纳尺度的单晶体施加载荷并使其发生塑性变形, 晶体内部的缺陷密度将大大降低甚至为零,同时材料的强度得到明显提升。由于该发现迥异于人们基于已有知识的判断,即塑性变形通常使晶体内部位错密度升高,因而受到研究人员的广泛关注。随后该现象在多种面心立方晶体中得到了验证。但是,基于模拟计算和一些实验观测,人们普遍认为体心立方金属不会有力致退火现象,原因是体心立方金属的螺位错具有不共面的特性,通常表现出一系列不同于面心立方金属的变形行为。经过对已有工作的仔细梳理和分析,单智伟教授等认为在合适的尺寸范围内,体心立方金属中也应该存在类似的力致退火现象。通过巧妙的实验设计,研究团队以令人信服的证据证实了上述推测,从而推翻了此前人们对于该问题的认知(黄玲等,《自然通讯》,2011)。 /p p   尽管力致退火现象的普适性得到了证实,但是其应用前景却得到了质疑,原因是力致退火的过程总是伴随着显著的塑性变形,从而使样品几何发生明显的改变。能否在不改变样品几何的条件下将其内部的缺陷去除呢?在日常生活中,我们知道如果要把一根半埋于土壤中的柱状物直接拔出来是比较困难的,但是如果我们先将其进行多次小幅晃动,则最终可能较轻松地将其拔出地面。受此启发,可以推断,如果对含缺陷的晶体施加一循环载荷,控制好力的幅值,使其足够大,能使缺陷动起来并在镜像力的帮助下逐渐从材料表面湮灭和逃逸,但同时又足够小,不在晶体内产生新的位错,就有可能在不改变样品几何的条件下,使得材料中的缺陷密度大幅降低,甚至到零,也就是实现“力致修复”。如果上述想法得到实现,其在纳米压印等领域就可能得到有效的应用。 /p p   基于上述想法,借助于定量的原位 a href=" http://www.instrument.com.cn/zc/1139.html" target=" _self" title=" " style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 透射电镜 /span /a 纳米力学测试装置,选取亚微米单晶铝为研究对象,研究团队的王章洁博士对其进行了低应变幅的循环加载,发现在几乎不改变材料外观几何的情况下,微纳尺度单晶铝内的缺陷逐渐被驱逐出样品,导致缺陷密度大幅度下降,进而使得材料的强度得到了大幅度的提升。同时发现,可以通过控制应变幅和循环周次等来调控材料内的缺陷密度,进而调控材料的屈服强度。另外,课题组还发现可以通过检查力和位移曲线是否有滞后环以及环的大小来诊断被测材料中是否有可动缺陷以及其数量的多少。这些发现不仅对于理解小尺度材料内的缺陷在循环载荷下的演变规律具有显著的科学意义,并且对于调控对缺陷敏感的功能材料的性能有重要的启发意义和应用前景。 /p p   值得注意的是,当块体材料经受循环加载时,通常会引起材料内部缺陷的增殖与聚集,并进而引起裂纹萌生,并在承载应力远小于宏观屈服应力的情况下发生断裂,也就是所谓的疲劳断裂,它也是很多工程构件失效的主要形式。对微纳尺度材料进行循环加载可导致“力致修复”与块体材料中循环加载所导致的疲劳破坏的效应完全相反。这一事实再次表明,作为连接连续介质力学和量子力学的桥梁,微纳尺度材料的结构与行为的内在机理和规律不能通过外推已有的宏观材料的机理和规律来得到,而是具有其独特性,必须通过创新实验方法和思路来加以揭示和解释。 /p p   近日,西安交大微纳尺度材料行为研究中心(简称“微纳中心”, http://nano.xjtu.edu.cn)在美国科学院院刊 (PNAS, Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America)在线发表(http://www.pnas.org/content/early/2015/10/14/1518200112)了他们的最新研究成果,即在不改变样品外观几何的条件下,可以通过小应变循环加载的方式来诊断和调控微纳尺度单晶材料中的缺陷,进而达到调控其力学性能的目的。 该论文的作者包括微纳中心的新讲师王章洁博士、李巨教授、马恩教授、孙军教授和单智伟教授, 约翰霍普金斯大学的博士生李庆杰,清华大学的崔一南博士、柳占立副教授和庄茁教授,美国麻省理工学院道明博士,美国卡耐基梅隆大学的Subra Suresh 教授。马恩教授和李巨教授同时分别为约翰霍普金斯大学和美国麻省理工学院的全职教授,并分别担任微纳中心的海外主任和学术委员会主任。该研究工作得到中国国家自然科学基金、973项目及111项目的资助。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201511/noimg/d5aa1b18-2d88-40a5-a6c7-669b88c9ce82.jpg" title=" 图1.png" width=" 600" height=" 408" border=" 0" hspace=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 408px " / /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201511/noimg/71dd12f6-2be0-449f-b8db-404d6b6bbdd3.jpg" title=" 图2.png" / /p
  • 上海理工大学科研成果首登Science:带隙可控的三维半导体量子结构
    我们的日常工作和生活正在被各种屏幕包围:手机、电脑、平板、电视、腕表……但这些都属于二维屏幕,即使近年来悄然兴起的裸眼3D也只是利用人们的双眼视差来“欺骗”视觉神经,让大脑以为看到的是3D图像。而且裸眼3D对观众的距离、方位、角度有着较为严格的要求,观众数量较多时容易出现问题。如何基于屏幕装置本身的改进,实现真正的三维立体显示?近日,上海理工大学光子芯片研究院顾敏院士团队联合浙江大学邱建荣教授团队和之江实验室谭德志博士团队在纳米材料全息显示取得重大突破,通过在无色透明的玻璃内部实现带隙可控的三维(3D)半导体量子结构,推开了新型立体彩色显示器的“大门”。上海理工大学教师首次以(共同)第一作者身份在《科学》正刊上发表论文北京时间1月21日,相关研究成果发表在国际顶级期刊《科学》上,这也是上海理工大学教师首次以(共同)第一作者身份在《科学》正刊上发表论文,标志着学校科研水平迈上了新的台阶。跨学科攻关 点亮全球首块纳米三维立体屏从《星球大战》中漂浮在空中的影像,到邓丽君跨越时空与歌手周深在2022跨年演唱会上“合唱”《大鱼》,立体显示的概念被越来越多的人所熟知。全息技术为完整三维信息重现提供了实现方式,被业界认为是实现立体显示最有前途的一种技术手段。但全息技术必须通过一定的介质,将影像投射到上面,才能显现出来。之前美日科学家分别用蒸汽幕和激光技术解决了介质问题,但由于技术不成熟,成本高,商业前景不太乐观。那么,全息技术能不能应用在屏幕上呢?这是上理工光子芯片研究院方心远副教授在2020年末向顾敏院士提出的一个构想。当然这个屏幕不是一般的二维屏幕,而是纳米三维显示器。“目前显示器感光阵列绝大部分是平面分布的,科幻片中的三维画面更多要依靠人视觉上的效果,属于‘仿三维’,真正的三维立体显示仍是一个重大挑战。”方心远副教授要做纳米三维立体屏第一个“吃螃蟹”的人,首先要解决的就是将屏幕透明化的问题,这样才能从各个角度呈现生动、立体的图像。上海理工大学光子芯片研究院团队与浙江大学团队合作,将全息显示应用在通过飞秒激光诱导的钙钛矿纳米晶三维可控分布的无色透明的复合材料中,点亮三维分布的量子点,首次实现了动态立体彩色全息显示。和目前的平面显示器相比,新型立体彩色显示器有更高的分辨率和信息容量,也为未来的“屏幕革命”拓展了更大的想象空间。“它是纳米级的像素控制,精度非常高,分辨率远高于目前的二维屏幕。虽然产业化还有一段很长的路要走,但是至少推开了一扇新的大门,我想这也是我们做科研的意义所在。”方心远谈道。研究成果以《玻璃中稳定的钙钛矿纳米晶体三维直写》(Three-dimensional direct lithography of stable perovskite nanocrystals in glass)为题发表在《科学》正刊,论文共同第一作者为浙大光电学院博士生孙轲、之江实验室PI谭德志、上海理工大学副教授方心远。方心远指导学生进行科研“很多顶尖的科研成果其实都离不开这种跨学科、跨学校甚至跨国的合作交流”,顾敏院士介绍,“我们上理工团队深耕全息领域,浙大团队则在光学材料以及飞秒激光与材料的相互作用方面有深厚的积累,合作成果再次证明了这种科研方式在实现‘0到1’突破中的重要性。”“试验成功的第一个图像是‘USST’”显示屏上每一个像素点的发光效率、光照在每种纳米组合上呈现的颜色……对新型立体彩色显示器的研究在一次次尝试中展开,过程虽然枯燥,但方心远依然融进了属于理工男的浪漫。“我们试验成功的第一个图像是‘USST’,也就是上海理工大学的英文缩写,我和学校属于是‘双向奔赴’。”加盟上理工顾敏院士团队后,方心远专攻光全息领域,已经接连以(共同)第一作者身份在《自然》子刊上发表高水平科研成果,2020年入选上海市青年科技启明星计划。他清楚地记得自己入职的日子——2019年10月28日。“来上理工之前,我其实是个‘待业青年’,也没有特别好的文章,选择全职加入顾老师团队后,学校和团队给予了很大支持,顾老师做人做事做科研方方面面影响着我,我希望在未来通过自己不断的努力,帮助上理工创造更多的‘第一次’。”方心远在进行实验事实上,全息技术自丹尼斯盖博发明以来,除了用于显示技术领域,全息在存储、加密、成像、光学计算等领域均产生了重要影响,上海理工大学光子芯片研究院团队的“野心”也并不止步于全息显示领域。顾敏院士谈道:“这次成果可以说是利用三维全息技术点亮了立体彩色显示的未来,后续我们希望围绕全息技术与人工智能的交叉应用,面向国家重大战略需求,取得更多具有重大影响力的科研成果。”
  • “跨界”科学家的两重身份——走近凝固技术和晶体生长领域著名专家介万奇
    刚刚过完64岁生日的介万奇有两重身份:西北工业大学教授、博士生导师,凝固技术和晶体生长领域著名专家,是中国辐射探测半导体晶体拓荒者;陕西迪泰克新材料有限公司创始人、董事长兼首席科学家,带领团队实现碲锌镉(CZT)晶体材料国产化及产业化落地,解决了关键核心技术的“卡脖子”难题。在神舟十五号及此前数次载人航天任务中,航天员均配备了以迪泰克CZT探测器作为核心部件的辐射剂量仪,迪泰克产品已多次助力我国航天事业发展。“搞科研就像跑马拉松,科研成果只有真正实现落地转化,才能发挥它应有的社会价值。”介万奇说,“西安‘北跨’战略提出,要发挥秦创原创新驱动引领作用,突破关键核心技术,赋能产业转型升级,打造‘北跨’科创走廊,这为像迪泰克这样的科研企业注入了新的发展动力。”攻克CZT晶体“卡脖子”难题CZT,一种性能优异的室温核辐射半导体探测器材料。“说到半导体材料,我其实是半路出家。”介万奇在西北工业大学学的是传统金属材料加工的铸造专业。毕业留校工作后,他开始思考在凝固科学技术大框架下,结合功能晶体材料进行晶体生长研究,“考虑了很多方向,最终选择半导体作为切入点”。CZT半导体材料具有非常高的计数率、灵敏度、能量分辨率及空间分辨率,在X射线和伽马射线检测与成像领域有着较好的发展前景。“当时,我们国家在这方面处于技术空白,相关产品主要依赖进口。”介万奇介绍,“1992年,全球首篇探测器级CZT晶体材料相关文献出版,第二年我们便开始研制国产CZT材料,朝着攻克‘卡脖子’难题的目标努力。”CZT晶体生长存在成分复杂、熔点较高、元素易挥发等难点,介万奇团队通过工艺优化和技术升级实现了大尺寸晶体生长,但材料仍有大量位错和Te沉淀等缺陷,而且晶体所需的高电阻率、高载流子迁移率也很难控制。“CZT晶体材料的研发过程非常艰苦。”介万奇坦言。苦苦探索,终成正果。经过十余年攻关,介万奇团队在国内首次解决了晶体材料的成分设计和优化、晶体合成与生长等多项技术难题,开发出了高性能探测器级CZT晶体及高效率、低成本单晶制备技术和关键设备,一举打破了外国的技术封锁。“经英国卢瑟福国家实验室、中核北京核仪器厂等多家权威机构测定,我们开发的CZT晶体性能达到了国际先进水平。”介万奇说,与当年国际最先进的传统工艺技术产品相比,团队研发的晶体材料成品率提高了3至5倍,生产效率提高了3倍以上,综合成本则下降了50%以上。打造国产CZT探测器产业链2013年,介万奇主持完成的这项“高能射线探测器用碲锌镉晶体材料及制备技术”,被评为国家技术发明奖二等奖。在介万奇看来,科学研究如果只是纸上谈兵,不能转化为实际生产力,搞科研就是一种无用功。2012年,团队成立陕西迪泰克新材料有限公司,在西咸新区秦汉新城建设了研发生产基地,推动CZT晶体材料国产化及产业化落地。“真正把一项技术、一个材料成功做成产品,过程太复杂了!”一向不言辛苦的介万奇在回顾团队产学研历程时感慨,“从实验室走向产业化,要面对一系列难题,从0到1,这种突破是最难的,弯路没少走,苦头没少吃。我们用近两年时间才自主研发了完整的晶片切割、清洗、抛光、腐蚀等加工工艺,建立了完整的晶体生长、材料加工和器件设计体系。”如今,迪泰克已发展成为国内唯一、全球第三可产业化批量生产、销售探测器级CZT晶体和相关探测器产品、设备的高新技术企业,牵头承担了科技部、工信部及国防领域多项国家级重点项目,牵头制定了国内首个探测器级碲锌镉晶体国家标准,拥有各类专利近百项,覆盖产品所有技术关键点。迪泰克产品已被广泛应用于航空航天、核工业军工、安检及工业检测、医疗影像等领域,并与全球20多个国家和地区的近400家客户建立了稳定合作关系,在全球碲锌镉半导体辐射探测与成像核心部件提供商中名列前茅,开创了我国在新一代辐射探测技术领域与国际领先水平“并跑”的局面。“迪泰克正在布局可用于医疗及工业成像的碲锌镉材料、器件、模块产业化,打造国产CZT探测器产业链,需要大量资金用于研究及产能扩建。西咸新区和秦汉新城帮我们拓宽了融资渠道,加快了融资速度,这无疑是雪中送炭。”介万奇表示,迪泰克将抢抓西安“北跨”全面启动的重大机遇,依托秦创原创新驱动平台资源优势,瞄准国家重大需求,加强自主创新,加快关键核心技术攻关,不断提升产品竞争力,为陕西先进装备制造业高质量发展及国家辐射探测与成像行业技术进步作出新的贡献。
  • 我科学家发现一种新型光学晶体
    本报北京2月28日电 2月19日的《自然》杂志,以《中国藏匿的晶体》为题,用3页篇幅对中科院理化技术研究所陈创天院士率领的团队,发现并生长出一种最新的光学晶体———氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体进行了详细报道,并称“中国实验室成为这种具有重大科学价值的晶体的唯一来源,它表明中国在材料科学领域实力日益增强”。   KBBF晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体,是在非线性光学晶体研究领域中,继硼酸钡、三硼酸锂晶体后的第三个“中国产”非线性光学晶体。《自然》杂志称:“其他国家在晶体生长方面的研究,目前看来还无法缩小与中国的差距。”   陈创天团队经过18年研究,采用“局域自发成核生长技术”,突破大尺寸KBBF晶体生长的技术瓶颈,生长出迄今为止尺寸最大的透明块状KBBF单晶,并结合他们发明的非线性光学晶体的棱镜耦合专利技术,成功制作出KBBF晶体厚度为2.3毫米的光接触棱镜耦合器件,保证了产生深紫外激光的实用性和精密化性能。这项技术为193纳米光刻技术系统中所需要的全固态光源奠定了基础。目前,该技术已获中国、美国和日本发明专利授权。   KBBF晶体能够缩短激光的波长,装备该晶体的各种激光器能发出具有极窄频宽的紫外光波,可测量固体电子能级的分辨率达到360微电子伏特 并可用于建造超高分辨率光电子能谱仪、超导测量、光刻技术等前沿科学研究,对未来的微纳米加工、生物医学、激光电视等将产生深远影响。
  • 天然“准晶体”可能源于太空
    据英国广播公司(BBC)1月3日报道,美国和意大利科学家表示,他们对在俄罗斯发现的天然“准晶体”矿石进行了化学分析,结果表明,这种矿石很可能是陨石的一部分,在陨石与地球的撞击中遗落到地球上。研究发表在《美国国家科学院院刊》上。   准晶体首次被以色列科学家达尼埃尔谢赫特曼发现,他也因此而独享2011年诺贝尔化学奖。1982年4月8日,正在美国霍普金斯大学从事研究工作的41岁谢赫特曼发现了“准晶体”,其原子结构打破了传统晶体内原子结构必须具有重复性这一黄金法则,在科学界引起轩然大波。“的确,那时候,人们根本不接受那种晶体的存在。”美国化学协会主席纳西杰克逊去年10月5日接受美国《纽约时报》采访时表示:“因为他们认为这违反了自然‘规则’。”   随后,科学家们在实验室中制造出了各种准晶体,而且,2009年,意大利佛罗伦萨大学的科学家卢卡宾迪和同事在俄罗斯东部哈泰尔卡湖获取的矿物样本中发现了天然准晶体,这种新矿物质由铝、铜和铁组成。此前的分析表明,“准晶体”这种结构能天然形成而且也能在自然环境下保持稳定,但是,“自然界如何制造出这一结构”一直是个未解之谜。   现在,宾迪和美国普林斯顿大学的保罗斯坦哈特对这种矿石的化学成分进行了分析,结果表明,这种矿石可能是陨石的一部分,陨石在与地球的碰撞中遗落到地球上。他们在论文中指出,该样本中含有一些只能在高压下形成的硅石。这种硅石要么形成于地幔中,要么形成于陨石撞击地球那样的高速碰撞中。而结果显示,这块岩石样本经历过一个压力和温度及巨大的、典型的高速碰撞—小行星带上的流星就由这种碰撞产生 另外,这种岩石中不同氧元素的相对丰度更接近其他流星中而非地球上的岩石的氧元素的相对丰度。   该研究团队指出:“我们的研究显示,准晶体可能源于环境更多变的太空中,这也表明,准晶体能在很多环境下自然产生,而且,在宇宙学时标(足以明显看出宇宙演化的时间尺度,动辄以亿年为单位)上保持稳定。”   准晶体具有独特的属性,其坚硬又有弹性、非常平滑,而且,与大多数金属不同的是,其导电、导热性很差,因此在日常生活中可用来制造不粘锅、发光二极管、热电转化设备等。
  • 郭建刚:新时代“晶体人”
    晶体学,这个最初为窥探物质原子结构和排列方式而形成的一门学科——至今有100余年历史,且已获颁23项诺贝尔奖。然而,这门学科的基础研究犹如科学界的一门“古老手艺”,人才渐缺、关注渐少。  郭建刚是个“逆行者”。这个中国科学院物理研究所“80后”研究员执着地相信:百余年来沉淀下的晶体学知识在当今依然具有强大生命力,“认识全新物质体系,要回到最根本、最基础的结构。虽越基础、越困难,但也越重要。”  传统科学与新月的碰撞  正如月球研究,晶体科学就提供了新视角,而后获得了新发现。  2020年,我国嫦娥五号从月球背面带回1731克的月壤样品。经过激烈地竞争答辩,郭建刚所在的先进材料与结构分析实验室获得了1.5克的月壤样品。  拿到珍贵的最新月壤样品,郭建刚抑制不住内心地兴奋,这是他的研究课题第一次触及“太空”。  “月球土壤与我们在地面上看到的土壤类似,是一些矿石经过不断风化,逐渐变成细碎的土壤。”郭建刚介绍。  与大多形态形貌研究不同,他们想借助自身优势,在更深、更细处探索未知,剖析月壤内部结构与原子分布状态,试图“见微知著”,了解太阳风化和月球演变等。  装在白色透明小瓶里,月壤犹如碳粉一般,呈黑色粉末状。郭建刚首先要做的是“挑样”——在数十万个颗粒中挑出微米级大小的晶体,这是项考验耐心的技术活。  晶体的大小约等于一根头发丝直径,郭建刚站在手套箱前、紧盯着显微镜,寻找着在特殊灯光照射下反射亮光的晶体,然后屏住呼吸,利用一根纤细挑样针的静电效应,小心翼翼“粘”出。  他和学生两人一组,反复这一连串动作,每次需要持续3小时。为保证安静环境,他们常常在深夜工作,结束时身体僵直、眼睛酸胀、几近“崩溃”。  实验室窗台上的几盆被拔“秃头”的仙人球见证着他们的付出,他们需要使用仙人球的刺来“粘”住微米级晶体,放置在四圆衍射仪和高分辨透射电镜上测试晶体结构。  郭建刚知道,我国嫦娥五号采集的月壤样品属于最年轻的玄武岩,且取样点的纬度最高,为探究月壤在太空风化作用下的物质和结构演化提供了新机会。挑选样品的质量,在一定程度上或许决定了能否把握住这次机会,因此,必须仔细再仔细。  郭建刚和团队在月壤样品中找到了铁橄榄石、辉石和长石等晶体,经过测试,在铁橄榄石表面发现了非常薄的氧化硅非晶层,这其中包裹着大小为2到12纳米的晶体颗粒,通过系统的电子衍射及指标化、高分辨原子相和化学价态分析,确认它们是氧化亚铁,并非此前在其他月壤样品中发现的金属铁颗粒。  他们还在铁橄榄石中还观察到了分层的边缘结构,这种特殊的微结构首次在月球土壤中看到。  扎实的数据得到了美国行星之父、匹兹堡大学地质与行星科学系教授Bruce Hapke的肯定:“这种橄榄石晶体的边缘结构是独特的。”  “我们确认了铁橄榄石在太空风化作用下出现了分步分解现象。通过表面微结构和微区晶体结构分析,我们首次在铁橄榄石的边缘确认了氧化亚铁的存在,表明矿物在风化过程中,经历了一个中间态,而非一步到金属游离铁,这将有利于进一步理解月球矿物的演变历史。”郭建刚说。  越基础,越重要  2008年,从吉林大学硕士毕业,郭建刚来到物理所跟随陈小龙研究员攻读博士学位。在团队里,他感受到的第一个研究“逻辑”就是,要想得到或利用一个材料,首先要想办法弄清楚材料最基本的晶体结构,理解原子之间的排布与结合方式。  “是什么、为什么、能做些什么,这是我们要探索全新体系时要回答的三个基本问题。”他至今记得,博士期间,按照这条“底层逻辑”,做出了第一个让他惊奇的超导新材料。从此,他便更加热爱晶体科学。  “晶体,尤其是超导这类单晶,非常重要,在电力运输、磁悬浮等有着广泛应用,若原子微观结构不清楚,很难理解和优化其物性,离应用就更远了。”郭建刚说。  的确,对物质晶体结构的了解,有助于在物质内部微观结构、原子水平的基础上,阐明物质各种性能,并为改善材料的性能、探索新型材料和促进材料科学的发展提供重要科学依据。  10余年来,郭建刚一直牢记着这个“逻辑”。他以探索电磁功能材料和生长晶体为主要方向,以理解晶体结构为出发点,研究材料的物性和晶体结构之间的关系,取得了诸多重要成果。  2010年,还在读博期间,郭建刚在国际上最早制备出了碱金属钾插层铁硒超导体系,其最高超导转变温度为30 K,创造了当时常压下FeSe基化合物超导转变温度的最高纪录。  该成果开辟了国际铁基超导研究的新领域,所开创的研究方向‘Alkali-doped iron selenide superconductors’被汤森路透《2013研究前沿》和《2014研究前沿》列为物理学10个最活跃前沿领域之首和第7名,将其发展成了与铁砷基并列的第二类铁基高温超导体。  他成功地解决了较小尺寸碱金属钾插层铁硒的难点,制备出了纯相的钠插层铁硒超导体,进一步将超导转变温度提高至37 K。  弄清晶体结构,会大大缩短新型材料探索时间、加速解决实际问题。  郭建刚介绍,用传统方法合成一个新材料,需要不断地试,因为不知道哪些组分、温度等合适,试的足够多,可能会碰到一个新的,但试错法效率低、成本高。而弄清楚了晶体结构,就能了解某一类材料中物性的决定性单元(也称功能基元),再以此为基础,发展新的材料体系,“比如要制备一个新材料,有3个组分,通过晶体结构分析,我们能发现决定材料物性的功能基元,就能够以相应的物性为导向,高效地探索新材料和新效应。”  即以不同功能基元为基础,调控基元的排列方式,或通过调控功能基元里配位的原子种类和数目来改变其电子结构,制备新高温超导晶体体和诱导新效应。  基于这一思路,由陈小龙牵头,郭建刚作为第2完成人所承担的挑战性课题“基于结构基元的新电磁材料和新效应的发现”,荣获2020年度国家自然科学二等奖,这项成果解决了由功能基元出发、高效探索新材料和新效应的若干关键科学问题,推动了无机功能材料科学的研究与发展。  肩负重任的新生力量  在先进材料与结构分析实验室,作为青年科学家的郭建刚,肩负延续学科发展与服务国家需求新的重任。  “老一辈科学家的事迹和精神始终鼓舞着我。”郭建刚说。“陆学善院士和梁敬魁院士分别是中国著名的晶体物理学家和晶体物化学家,导师陈小龙除了在晶体结构分析和单晶生长具有深厚的学术功底,也是推动碳化硅晶体从基础研究到产业化的先行者之一。  让郭建刚感触最深的是,老师们总是以一丝不苟的态度,对待基础研究,即使看似很小的工作也做得非常扎实、严谨。  他一直记得陆学善先生和梁敬魁先生的一个科研故事,上世纪60年代,梁敬魁回国来到物理所,与陆学善合作开展了铜-金二元体系超结构研究,为了达到合金的平衡态,需要诸多工艺,单是退火处理这一个工艺过程,就需要六个月或者一年时间。他们耐住寂寞,几年之后,获得了一系列长周期的超结构相,其中有的是国外研究者已经研究多年,却始终没有观察到的现象。  “在很多人看来,这样的研究方法可能比较‘原始’,但恰是这种方法,为科研打下了扎实的基础,产出了诸多原创性成果。”郭建刚说,耐心、潜心是他从老先生那里学到的科学精神。  在郭建刚看来,今天,研究组在晶体生长领域产生了多项引领性的工作,尤其在碳化硅宽禁带半导体生长与新功能晶体材料探索方面,都是在多年的基础研究积累上取得的。  碳化硅是一种重要的宽禁带半导体,具有高热导率、高击穿场强等特性和优势,是制作高温、高频、大功率、高压以及抗辐射电子器件的理想材料,在军工、航天、电力电子和固态照明等领域具有重要的应用,是当前全球半导体材料产业的前沿之一和国内“十四五”规划重点攻关的半导体材料之一。  然而,一直以来,用于应用研究的大尺寸单晶存在较多难以突破的关键科学和技术问题,严重影响器件性能,诸多关键技术和设备面临着国外封锁。  近年来,针对相关难题,在陈小龙的带领下,郭建刚在扎根基础研究的同时,与团队共同推动研究成果产业转化,获得了2020年度中国科学院科技促进发展奖。  “最大的挑战是基础研究领域的突破,在晶体研究领域,我们还需要更细致、更系统和更‘原始’的研究。”郭建刚深知,基础科学问题的突破将会极大地提高晶体的质量和应用范围,给学术和产业界带来巨大变革,但攀登科学高峰这条路必定不轻松,还好,有热爱,可抵漫长岁月。
  • 四部门:加强先进测量体系建设,培育100家测量仪器品牌企业
    1月13日,市场监管总局、科技部、工业和信息化部、知识产权局联合发布《关于加强国家现代先进测量体系建设的指导意见》。原文如下:测量是人类认识世界和改造世界的重要手段,是突破科学前沿、解决经济社会发展重大问题的技术基础。国家测量体系是国家战略科技力量的重要支撑,是国家核心竞争力的重要标志。国际单位制量子化变革以来,开启了以测量单位数字化、测量标准量子化、测量技术先进化、测量管理现代化为主要特征的“先进测量”时代。为推动国家现代先进测量体系的建立完善,满足经济社会对高效精准测量的需求,现提出以下意见。一、总体要求(一)指导思想。坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,全面贯彻党的十九大和十九届二中、三中、四中、五中、六中全会精神,落实《中共中央 国务院关于开展质量提升行动的指导意见》(中发〔2017〕24号),面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康,鼓励和引导社会各方资源和力量,积极开展具有新时代特色的测量技术、测量仪器设备的研究和应用,以先进技术和现代管理为手段,服务支撑测量活动的有效开展和测量数据的广泛应用,提升国家整体测量能力和水平,服务经济社会高质量发展。(二)基本原则。创新引领,优化升级。以国际单位制量子化变革为契机,加大计量科技创新力度,加强基础性、前沿性、共用性、探索性和颠覆性测量技术研究,加快量子测量标准和先进测量仪器设备的研制,补充完善重点测量方法,提升现有测量能力和水平。需求牵引,重点突破。围绕制造强国等国家重大战略,全面梳理经济社会各领域对精准测量的需求,系统分析普遍性和关键共性测量难题,明确测量技术研究主攻方向和建设目标,有计划、有重点地进行突破。政府引导,市场驱动。加强顶层制度设计,从政府层面加大对现代先进测量体系的整体规划和布局,探索建立有效的激励引导机制,调动各类市场主体积极性,发挥市场在测量技术创新和测量资源配置中的重要作用。开放共享,协同推进。鼓励社会各方共同参与现代先进测量体系建设,建立不同行业、不同领域协同攻关和成果共享机制,形成理论研究为基础、产业需求为主导、技术攻关有机制、成果转化有渠道的协同推进局面。(三)工作目标。到2035年,计量基准的准确度和稳定性得到大幅提升,数字化量传溯源应用领域不断扩大。部分重点领域测量技术取得重要突破,研制成功一大批国产测量仪器设备,新建计量基准、计量标准核心测量仪器设备基本实现自主可控。建设50家国家先进测量实验室,培育100家测量仪器设备品牌企业,形成200项核心测量技术或能力。全社会精准测量和有效溯源意识得到明显增强,企业测量能力和水平得到大幅提升,测量活动更加规范,测量数据应用更加广泛。测量技术协同创新与共享机制基本建立,测量技术资源利用率得到明显提高,测量对我国经济社会高质量发展的贡献水平显著提升。二、重点任务(一)建立先进量传溯源体系。紧密结合国际单位制量子化变革和经济社会发展需要,加强基本物理常数精密测量技术和量子计量基础研究,推动以量子物理为基础的高准确度、高稳定性计量基准、计量标准建设。加快量子传感和芯片级计量技术、新型量传溯源技术研究,研制具有典型量子化特征的测量仪器设备,建立计量标准和测量参数传递数字链路,推动量值溯源扁平化发展。积极推进计量数字化,加强数字计量基础设施建设,开展计量标准和测量仪器设备数字化技术研究。(二)优化计量基准、计量标准和标准物质建设。面向国家重大战略需求,增强计量基准自主可控能力,创新计量基准全链条管理机制。改革计量标准体系架构,统筹考虑技术能力和现实需求,建立以国家计量标准、社会公用计量标准、部门(行业)计量标准、企事业计量标准为主体的层次分明、链条清晰的计量标准基础设施网络。实施标准物质能力提升工程,加快生命科学、生物医药、环境监测、食品安全、自然资源和刑事司法等重点领域标准物质研制和应用。加强标准物质监管能力建设和共性关键技术研究,探索建立标准物质量值验证和质量追溯工作机制,建设一批标准物质量值核查验证实验室,开发建设标准物质质量追溯平台,形成标准物质研发、生产、应用全生命周期监管能力。(三)加快先进测量技术研究。加强计量学基础理论和核心技术原始创新。围绕时间单位重新定义,重点研究量子计量技术及计量基准、计量标准小型化技术。加快推动超高灵敏极弱磁场和惯性测量装置、空地一体量子精密测量试验设施等重大科技基础设施建设,支撑关键核心技术攻关,满足空天、深空、深海高精度探测和精密量子测量等重大应用需求。研究人工智能、生物医药、新材料、新能源、先进制造、核安全和新一代信息技术等领域精密测量技术。针对复杂环境、实时工况环境和极端量测量需求,研究新型量值传递溯源方法,突破在线、动态、远程、快速校准技术,解决极端量、复杂量、微观量等准确测量难题。研究数字化模拟测量、工业物联、跨尺度测量、复杂系统综合测量等关键技术,不断填补新领域测量技术空白。(四)推动先进测量仪器设备研发和应用。加强高端仪器设备核心设计、核心器件、核心控制、核心算法和核心溯源技术研究。推动量子芯片、物联网、区块链、人工智能等新技术在测量仪器设备中的应用,积极推进测量仪器设备智能化、网络化。加强高精度计量基准、计量标准的研制和应用,基本实现关键核心设备自主可控。实施测量仪器设备质量提升工程,加快测量仪器设备研发,提升测量仪器设备的准确性、稳定性、可靠性。研究建立测量仪器设备计量测试评价制度,培育具有核心技术和核心竞争力的国产测量仪器设备品牌。加快专用测量系统的研制,形成满足航空航天、海洋监测、交通运输等装备研制生产任务和重大工程需求的测量能力。(五)建设国家先进测量实验室。针对各领域测量能力的不足,加强国家测量基础条件和能力建设,推进大型测量仪器设备、科学测量数据等测量技术基础平台建设,打造突破型、引领型、平台型的国家先进测量实验室。强化测量实验室计量溯源性意识和要求,保证测量结果准确、一致和有效。加强行业或区域测量公共服务能力建设,推动测量资源整合,优化行业、区域测量资源配置。鼓励各类测量主体建立联合实验室和技术创新联盟,形成联合开发、优势互补、成果共享的产学研用协同创新机制。加强测量资源开放共享,推动测量资源一体化发展。(六)提升企业测量能力和水平。鼓励企业加强测量投入,合理配备测量设备,严格测量设备的计量确认和测量过程控制,建立必要的计量管理制度,不断提高企业测量能力和水平。研究建立企业计量能力自我声明制度,推动企业进行对标达标,发挥先进企业示范引领作用。鼓励企业自愿通过测量管理体系认证,推动先进测量技术要素和管理手段在企业的应用。培育一批行业领军企业和产业链链长企业,实施中小企业计量伙伴计划,全面提升核心产业链相关中小企业计量保证能力,加快先进测量技术攻关成果的落地应用,带动产业上下游融通创新、协同发展。(七)推进测量数据积累和应用。引导企业建立产品研制、生产、试验、使用过程动态测量数据信息库,开展测量数据分析研究,改进企业生产控制流程,提高产品控制精度和质量,完善产品全寿命周期数据管理。加强测量数据智能化采集、分析与应用,推进测量设备自动化、数字化改造,建立智慧计量实验室和智能计量管理系统,实现数字化赋能。积极将测量数据纳入工程领域数字化科研过程,推动测量数据资源在工程领域集成应用。加快建设国家计量数据中心,培育一批国家计量数据建设应用示范基地,探索建立国家标准参考数据中心,提升测量数据价值挖掘能力,实现跨行业、跨领域测量数据融合、共享和应用。(八)完善先进测量技术规范。研究建立适应现代先进测量体系建设需要的计量技术规范体系。充分借鉴吸收国际先进测量技术成果和经验,开展测量活动梳理和测量数据研究分析,组织制定一批对测量活动具有指导意义的测量技术规范,指导测量活动规范化、科学化开展。分析梳理各产业领域工程实践活动被测参数,建立动态、开放的参数信息库。加强复杂被测对象、复杂工况环境、复杂耦合关系等工程应用场景的参数测量方法研究,建立满足工程实践要求的测量技术规范。(九)优化先进测量技术服务。鼓励社会各方资源围绕国家重点领域测量需求,建立各类先进测量服务机构,为行业发展提供精准测量服务。发挥中央企业优势作用,在战略性、关键性重大测量项目上起到引领带动作用。积极培育各领域先进测量“单项冠军”和“专精特新”测量标兵,推动先进测量能力差异化、多样化发展,不断提升专业化服务能力和水平。围绕产业测量测试需求,加强国家产业计量测试中心建设,形成关键参数测量、仪器设备校准、产品测试评价、系统方案集成的一站式服务能力,建立全产业链计量溯源体系,提升全产业链计量测试服务和全寿命周期计量保障水平。搭建国家先进测量技术资源共享平台,促进测量需求和测量服务的公开化、信息化。(十)发挥质量基础设施协同推动作用。积极发挥计量、标准、检验检测、认证认可等国家质量基础设施各要素的协同作用,为经济社会高质量发展提供全链条、全流程、全体系的质量基础设施“一站式”服务。推动计量与标准、检验检测、认证认可领域相关技术规范和标准的相互参考借鉴和共享共用,以精准计量推动标准数据和方法的科学验证,通过标准促进计量价值的应用体现;强化检验检测、认证认可领域计量溯源性的概念,通过先进测量技术和测量手段不断丰富完善检验检测、认证认可内涵。聚焦测量数据分析和应用,探索测量数据成果标准化途径,形成标准测量数据包、标准测量模型等,研究采用标准测量数据包、标准测量模型的认证认可方法和程序。(十一)培养先进测量人才队伍。组建国家现代先进测量体系战略咨询专家智库,提高决策的科学性和可行性。加强对计量测试相关专业学科建设的引导,优化高等院校计量测试相关专业设置,推动计量测试相关专业与通信工程、人工智能、数据科学与大数据技术、软件工程以及量子信息科学等相关专业协同建设。完善注册计量师制度,加强产教研用融合,加强计量技术机构与高等院校、科研院所、企业间的技术合作和人才交流,支持各领域科研项目吸纳计量技术机构和企业共同参与,促进测量人才多元化发展。充分发挥行业学协会作用,加强测量技术人才培训,打造富有自主创新精神、专业技术能力强、善于解决实际问题的测量人才队伍。三、保障措施(一)加强组织领导。高度重视国家现代先进测量体系建设工作,将其作为推动经济社会高质量发展的重要手段予以全面规划和重点考虑,制定具体的实施方案和落实措施。在国家层面组建国家现代先进测量体系推进办公室,强化各部门组织协调和沟通协作。鼓励地方和行业、企业积极探索和创设推进现代先进测量体系建设的路径和模式,进行先行先试和推广示范。(二)完善制度保障。争取将国家现代先进测量体系建设工作纳入国家重大战略规划和产业发展专项规划。积极推动将现代先进测量体系建设写入有关法律法规和规章,对测量设备、测量方法、测量程序、测量过程和测量数据等规范和使用提出明确要求。搭建多方测量主体共同参与的联合科研攻关机制,完善先进测量技术应用结果比对、成果评价等制度,推动测量科技创新成果转化、应用和推广。(三)加大政策支持。从政策、资金、科研、人才等各方面鼓励先进测量技术的研发、先进测量设备和方法的研制和应用、先进测量技术规范的完善,不断强化测量过程控制和测量结果应用,提升测量能力和水平。在国家重大工程和科技计划中对现代先进测量体系建设予以重点考虑和倾斜。(四)强化知识产权战略。加强测量技术专利导航,引导各单位加强测量领域知识产权战略储备。推动各单位及时将先进测量科研成果纳入知识产权保护范围,并通过转让、许可、折价入股激励等形式取得市场收益。研究建立先进测量科研成果技术附加值评价体系,提升各领域对先进测量科研成果的重视程度。建设先进测量领域专题数据库,积极推进先进测量领域知识产权信息开放、共享和利用,促进测量领域知识产权成果的广泛应用。(五)普及先进测量理念。结合“世界计量日”“质量月”等活动,充分发挥媒体优势,大力普及测量知识,强调测量在生产生活中的作用,不断增强全民测量意识,更新溯源概念和理念,营造支持国家现代先进测量体系建设的社会环境。加大企业测量工作宣传培训,帮助企业完善测量管理体系,健全测量管理制度,提升测量能力和水平。(六)加强国际测量合作。借鉴吸收国外先进测量技术和测量管理经验,丰富完善国家现代先进测量体系内涵。探索建立国际、区域先进测量技术联盟,加强测量技术国际交流合作,推动先进测量技术能力与国际接轨。积极参与测量领域的全球治理,推动在重要领域影响或主导国际测量技术规范的制定,加大先进测量成果的国际化应用和推广。积极参加国际测量比对,不断提升获得国际互认的国家校准与测量能力,增强我国在国际测量领域的话语权。市场监管总局科 技 部工业和信息化部国 资 委知识产权局2021年12月29日
  • 联影开建世界最大高端医械晶体生产基地
    在科创板过会、研发取得重大突破的联影医疗又有大动作!6月18日上午,2022年常州国家高新区重点项目集中签约“拿地即开工”仪式上,联影高端医学影像设备及核心部件项目等总投资103.4亿元的12个重点项目落地。随着“健康中国”已上升为国家战略,我国大健康市场快速扩容、高端医学影像行业支持力度增加以及新冠疫情的常态化防控等因素都促进了对医学影像设备的潜在需求,经过十余年国产医学影像设备技术的发展以及相关核心部件公关,国产品牌的进口替代趋势愈发明显,进口品牌的市场份额呈现下降趋势。据了解,联影高端医学影像设备及核心部件项目将规划达成400台RT(直线加速器)的部件加工和整机生产规模,以及500台PET-CT的晶体生产能力,项目建成后,将成为世界上最大的高端医疗设备晶体生产基地,这将极大地满足国内医学影像设备需求。01、要建世界最大高端医疗设备晶体生产基地围绕《新材料产业发展指南》明确的十大重点领域,力争到2020年在关键领域建立20家左右。“医疗器械材料生产应用示范平台”即此前工信部按照国家新材料产业发展总体规划,在“生物医药 和高性能医疗器械材料”领域部署的国家级应用示范平台。LYSO/LSO晶体在核医学设备、高能物理、油井钻探、安全检查、环境检查等领域应用广泛,是目前全球最重要和最理想的射线探测器材料之一。当前,我国正推动大型医疗设备国产化,为打破国外材料供应商对国内医疗设备厂商的垄断供应局面,进一步完善国产高端医疗设备的研发、生产体系,LYSO/LSO晶体等闪烁晶体材料的国产化是重要环节。而在影像产业链中,核心部件主要涉及闪烁晶体、液氦、X射线球管、高压发生器、探测器等。闪烁晶体是能够与X射线、伽玛射线、带电粒子等粒子发生作用,将粒子沉积在闪烁晶体中的动能转换为可见光光子的透明晶体。硅酸钇镥(LYSO)稀土闪烁晶体作为PET探测器的核心部件,占到PET/CT整机成本的40%-50%,与溴化镧稀土闪烁晶体同为最具商业价值的新材料。国产PET/CT无论是关键技术还是核心材料,均已不逊色国外品牌,甚至在一些“卡脖子”的原材料方面也取得了突破性进展,2019年,联影医疗联合下游企业——上海新漫晶体,通过上海市工业强基项目“符合PET/CT需求的大尺寸晶体的开发与产业化”的持续攻关,制定晶体性能指标要求,承担晶体性能检测、效果验证等工作,实现了LYSO 晶体的国产化,解决了国产PET/CT对进口晶体的依赖问题。现在,上海新漫系联影重要子公司,为公司提供分子影像产品重要原材料LYSO闪烁晶体。除了晶体制造技术,联影公司还掌握探测器技术、数据传输和处理技术、产品设计和制造能力等,在高端医疗影像设备研发及产业化中联影展现更大雄心,在刚过科创板的招股书中:联影要新建高端智能制造工厂,购置和安装必要的产线生产设备、自动化升级设备、自动控制设备、立体仓库和物流设备以及搭建厂区智能化系统,建成后主要用于生产高端XR、CT、PET/CT、MR和PET/MR等系列产品;新建生产研发楼;新建配套综合楼以及其他配套设施。RT在研产品 CT在研产品2018 年,联影医疗uRT-linac 506c 获NMPA 医疗器械技术审评中心第三类医疗器械认证,是世界首款一体化CT 直线加速器。目前联影医疗在放疗领域的前沿性、关键性技术的掌握情况如下:联影医疗对加速管、多叶光栅已实现自研自产,并结合治疗床技术,精密剂量控制系统,治疗计划系统,肿瘤信息系统等方面形成技术基础。未来联影医疗在放疗领域核心部件的布局规划主要包括下一代功率源系统、加速管系统、新一代多叶光栅等。经过多年的经营积累,常州联影已具备包括MR、CT、DR和RT在内的高端医学影像设备上游机加工和整机生产能力。此次,常州联影高端医学影像设备及核心部件项目将规划达成400台RT(直线加速器)的部件加工和整机生产规模,以及500台PET-CT的晶体生产能力。项目建成后,将成为世界上最大的高端医疗设备晶体生产基地。02、揭秘联影常州基地重大项目建设,是经济发展的“稳定器”。二季度,常州强保障、优服务,启动“拿地即开工”攻坚行动,保障重大项目快开工、快推进、快投产,以项目之“进”撑经济发展之“稳”。在科技创新的加持下,常州产业发展的韧性得以进一步加强:全国每五台工业机器人中,就有一台是“常州造”;动力电池年产值国内第一,占全国份额的三分之一、全省的三分之二;智能制造装备、新型碳材料产业集群进入“国家队”… … 瞄准“国际化智造名城、长三角 中轴枢纽”发展定位,常州正在智能制造上找准定位、增强特色、拉长长板。2022年,常州国家高新区确立实施173个重点项目,年内计划投资367亿元。今年以来,常州高新区全面深化“招推服一体化”改革,最大程度压缩审批时限,在签订土地出让合同的当天即同步下发“四证五书”,实现从拿地到开工“零时差”。本次集中签约项目共24个:包括总投资30亿元重大项目1个,精品外资项目5个,高端智造产业及生产性服务业项目12个,科技人才项目6个。在此次签约仪式上,新北区代区长石旭涌为12个拿地即开工项目代表:联影(常州)二期项目负责人颁发了证书。据了解,今年二季度,常州国家高新区共有40个开工重点项目,总投资达231.6亿元。联影(常州)医疗科技有限公司是全球单体规模最大的全线高端医疗设备生产基地。联影(常州)项目总占地面积340亩,一期用地162亩,建筑面积91505平方米,总投资15亿元,建成后形成年产数字平板X射线成像系统3600套、CT系统500套、分子影像系统(磁共振成像)720套、放射治疗仪系统400套的生产能力。2020年销售额为9.92亿元,纳税额为1.3亿元。联影自落户常州高新区以来,始终保持高质量发展态势,取得了很好的发展。新冠疫情期间,联影在第一时间驰援武汉,更是展现出了让人称赞的“中国速度”。据介绍,从小年夜到年初五,按计划生产的移动DR15台,CT530系列设备10台,已基本按需完成。后续,仍保质保量供应。去年1月19日上午,常州国家高新区与联影医疗技术集团举行项目签约仪式,联影医疗技术集团决定在常州高新区投资30亿元,建设二期新项目,作为全国获得国家专利金奖和商标金奖仅有的两家企业之一,上海联影医疗科技股份有限公司在投资联影(常州)一期项目基础上,今年投资建设的二期项目正式启动,此次联影高端医学影像设备及核心部件项目要建成的世界最大高端医疗设备晶体生产基地便在该期项目中。联影(常州)医疗科技有限公司总经理严全良感慨道:“联影(常州)一期项目在整个报建、生产过程中,得到了市、区、镇各级政府的大力支持和帮助!原本至少近70个工作日的审批过程,缩短为1个工作日,真正做到了‘拿地即开工’。政府部门高效的审批,让我们企业真正实现了‘少走路’、‘少等待’,帮助我们项目‘早开工、早投产’”。03、差异化定位、区域化分工构建的全球化产能格局形成上海联影医疗科技股份有限公司成立于2011年3 月,是联影医疗技术集团的总部,研发中心辐射全球,主要从事高端医学影像诊断产品、放射治疗产品及高端生命科学仪器的设计、研发、生产和销售,并提供配套智能化、信息化解决方案,主打高端医疗设备市场,有国内唯一设计、研发、制造医用1.5T、3.0T超导磁体等全线产品的能力。2020年,联影医疗在武汉全面布局,总投资约50亿元,占地20余万平方米的联影医疗武汉总部基地一期已正式启用,是全球高端医疗设备行业规模最大,最具特色的研发、生产、运营中心。同时,联影智能武汉分部、UIHCloud联影云总部也“安家”于此。联影武汉总部基地智能制造中心该基地投用后,到2028年,将实现高端医疗设备本土化生产和销售,预计年收入百亿元。联影医疗将在武汉重点打造联影高端医疗设备研发及智能制造中心,自主研发生产手术机器人、医疗可穿戴设备等先进医疗装备。常州是一个世界级加工基地,联影认为整个产业链的把控才能确保产品的质量,才能确保最优的性价比利用一流设备,从原材料精加工到模具都是自己做。此外联影在美国德州还拥有休士顿研发基地,并称未来在国外还会建更多生产基地,进入世界市场。去年9月24日,虹桥国际开放枢纽重大项目集中开工长宁区分会场活动,在联影智慧医疗产业园项目建设工地举行,联影智慧医疗产业园是此次5个集中开工的参与项目之一。联影医疗科技智慧医疗总部项目位于广顺北路临华路,用地面积约2.99万平方米,地上建筑面积约9.45万平方米,地下建筑面积约8万平方米。园区主要包括联影智慧医疗全球总部、中国智慧医学影像研究院及智慧影像产业基地、智慧医疗亚洲体验中心及旗舰店、联影互联网医院管理中心、联影全国基层医疗升级指导培训中心和共建关键学科专家工作室中心,将建成具备集团优势、生态优势和运营团队优势的产业集聚区。据文汇报报道,未来五年联影智慧医疗预期年收入100亿元,团队接近5000人,服务覆盖国内大部分地区,带动医疗大健康领域人工智能技术设备创新和医疗健康产业的产融结合服务创新,催生1000亿元产业规模,助力长宁相关产业发展。联影医疗产业化示范基地二期效果图今年1月6日,联影医疗产业化示范基地二期项目作为嘉定新城今年首批6个重大项目之一正式启动建设。此次启动建设的联影医疗产业化示范基地二期,将建成为全球规模领先的、国际一流的现代化、智能化高端医疗装备研发生产基地。据悉,联影医疗产业化示范基地二期项目总投资31.26亿元,总建筑面积约42万平方米,将建设成为集技术研发、智能制造、国际交流培训、全球品牌展示、生活服务、中央公园等功能于一体的智慧园区,可容纳8000-10000人。园区将由曾设计上海中心大厦的全球顶尖建筑设计公司Gensler设计,预计2024年底竣工。此次,大手笔打造的“超级工厂”将作为公司全球研发总部,新基地对标国际最高水平,加速下一代产品与技术研发创新,推动PET/MR、PET-CT、MR、CT、XR等全线高端医疗装备、核心部件与先进技术从研发到产业化的进程,推动“卡脖子”技术自主可控。新基地还将打造数智化超级工厂,借助工业物联网、大数据、人工智能等前沿技术,将实现生产制造、仓储、物流等各环节生产要素全面感知和控制,以自动化、智能化、精密化的生产及运营管理,大幅提升全线高端产品全球供给能力与速度。由此,上海总部基地、常州工厂、武汉基地、美国基地几大基地之间也将构建起差异化定位、区域化分工的全球化产能格局。两月前,万众瞩目的联影医疗终于过会了!融资金额高达124.8亿元,市值有望破千亿,这也是科创板市场2022年以来IPO规模最大的上市企业。募集资金用于下一代产品研发、高端医疗影像设备产业化基金项目等,提前规划“多中心、分级次”的生产基地战略布局,新建生产基地,将有力提升公司品牌的全球影响力。
  • “硼酸盐激光自倍频晶体和小功率绿光激光器件商品化制备技术及应用”项目获国家技术发明二等奖
    1月18日,中共中央、国务院在北京隆重召开2012年度国家科学技术奖励大会。胡锦涛、习近平等党和国家领导人出席奖励大会并为获奖人员颁奖。山东大学晶体材料研究所王继扬教授完成的“硼酸盐激光自倍频晶体和小功率绿光激光器件商品化制备技术及应用”项目荣获国家技术发明二等奖。此外,山东大学作为合作单位获得一项国家科技进步二等奖。   王继扬教授及其课题组在国家自然科学基金和“973”专项支持下,在蒋民华院士学术思想指导下,坚持复合功能晶体研究,与中科院理化所许祖彦院士课题组合作,突破传统思想,发现硼酸钙氧盐类晶体的最大有效非线性系数在非主平面方向。他通过对多种硼酸钙氧盐晶体生长和激光特性的筛选研究,发现硼酸钙氧钇钕晶体综合性能优良,具有实用化前景,通过产学研结合实现了激光自倍频晶体元件和激光自倍频绿光器件模组的商品化生产,根据市场需求开发了多种产品,并已获得广泛应用,在国际上首次实现了激光自倍频晶体及其器件的商品化,开辟了激光自倍频晶体与器件应用的商品化领域,创造了具有特色和优势的小功率绿光全固态激光器新品种,发展了激光自倍频功能复合模型,丰富了功能晶体学科,是复合功能晶体研究领域的重大突破。
  • 大幅增长!多家半导体量检测设备公司发布2023财报
    根据 SEMI 数据统计,自 2020 年以来,中国大陆地区连续四年成为全球第一大半导体设备市场。而半导体检测和量测设备是半导体设备中重要的组成部分,对芯片良率的影响至关重要。并且随着芯片制程越来越先进、工艺变得更加复杂,行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求,制造过程中检测设备与量测设备的需求量将倍增。根据 VLSI 数据统计, 2023 年全球半导体检测和量测设备市场规模达到 128.3 亿美元,有着巨大的市场规模。但是,全球检测和量测设备市场呈现国外设备企业垄断的格局,主要企业包括科磊半导体、应用材料、日立等,其中科磊半导体一家独大。 科磊半导体在检测与量测设备的合计市场份额占比达到了55.8%。全球前五大公司合计市场份额占比超过了84.1%,均来自美国和日本。中国大陆半导体检测与量测设备国产化率较低,量测检测设备更是除光刻机外,国产化率最低的一环核心设备,本土企业存在较大的国产化空间。并且随着近年来全球供应链的紧张和国际贸易摩擦,国内集成电路产业的发展受到了重大影响,国内社会各界对半导体设备国产化的重视程度不断提升。中科飞侧、精测电子、赛腾股份是国内有半导体量检测设备业务的重要上市公企业,他们的发展水平一定程度上反映了设备国产化替代的进程。因此,仪器信息网根据他们已发布的2023年财报,对这3家企业主营业务、半导体业务营收占比、净利润等方面整理分析,一窥国内半导体量检测设备行业发展现状,以飨读者。中科飞测专注于高端半导体质量控制领域,主要产品涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。其半导体量检测设备业务在主要产品涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。检测设备包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、明场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列;量测设备包括三角形貌量测设备系列、介质膜厚量测设备系列、金属膜厚测设备系列、套刻精度量测设备系列、光学关键尺寸量测设备系列、3D曲面玻璃量测设备系列。精测电子以显示为主要业务,半导体和新能源业务为重要支撑。在半导体测试领域,公司是国内半导体检测设备领域领军企业之一, 其在该领域的主营产品分为前道和后道测试设备,包括膜厚量测系统、 光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备(ATE)等。赛腾股份公司在消费电子、半导体、新能源等智能组装、检测、量测等方面具有较强的竞争优势和自主创新能力。在半导体领域,主要设备有如晶圆缺陷检测机、倒角粗糙度量测、晶圆字符检测机、晶圆激光打标机、晶圆激光开槽机等等。半导体量检测设备业务在三家企业还均有各自不同程度的发展占比,各个公司在半导体业务上倾斜的重心最直接的反应在营收上。中科飞测:专注半导体质量控制设备,净利润大幅增长财报显示,中科飞测2023年度和2022年度营业收入分别为8.91亿元、5.09亿元,2023年度营业收入较上期增幅为74.95%。其中半导体业务2023年营收8.51亿元,同比增长75.31%,占总营收的95.51%。细分来看,公司检测设备实现收入6.54亿元,同比增长70.15%,量测设备实现收入2.22亿元,同比增长88.56%。检测和量测设备均呈现处强劲的发展态势。中科飞测营收大幅增长的背后主要系以下多种因素的积极影响:一方面,得益于公司在关键核心技术、产业化推进和迭代升级各系列产品的过程中取得的重要成果,公司产品种类日趋丰富,市场竞争力持续增强,市场地位进一步巩固;另一方面,国内半导体检测与量测设备市场呈现高速发展,下游客户设备国产化需求迫切,公司凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售后服务等积极因素,品牌认可度不断提升,客户群体覆盖度进一步扩大,客户订单量持续增长。中科飞测经营规模的快速增长,使得规模效应逐步凸显,公司在保持较高的研发投入水平情况下,盈利水平显著提升,归属于母公司所有者的净利润同比增长 1,072.38%。精测电子:显示业务业绩下滑,半导体业务迎来增长精测电子主要从事显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。财报显示,精测电子2023年实现营业收入24.29亿元,同比下降11.03%;实现归属于上市公司股东的净利润1.5亿元,同比减少 44.79%。公司研发投入较上年同期增长7,024.23万元,加之公司的主营业务显示领域受行业周期性以及市场需求疲软等不利因素的影响,显示领域营业收入较上年同期下降幅度较大,以上多重因素的叠加时公司净利润双位数的下滑主要原因。但其占总营收16.26%的半导体业务在2023年营收3.95亿元,同比增长116.02%。这主要得益于半导体设备国产化替代进入重要机遇期。 同时,公司所处的半导体检测设备领域,特别是前道量测领域,生产线的国产设备供给率较低,公司的多款主力产品已得到诸多一线客户认可,并取得良好的市场口碑,订单快速增长。半导体业务已成为公司经营业绩的重要支撑。赛腾股份:消费电子贡献最大增幅,半导体业务有所下滑 赛腾股份作为一家专注于自动化设备领域的高新科技企业,在消费电子、半导体、新能源等智能组装、 检测、量测等方面提供相关设备产品以及技术服务。财报显示,在2023年度,公司营业收入 44.46亿元,同比增长51.76%;实现归属于母公司所有者权益净利润6.8,7亿元,同比增长123.72%。营业收入的增幅得益于公司在智能制造装备行业深耕多年,积累了较多优质客户,实现合作共赢,且当年度新增的客户带来了较大的销售额增长。细分业务来看,其营收占比达92.92%消费电子,实现了68.19%的营收增幅,是赛腾股份最大的营收增长点。而占5.94%的半导体业务营收下滑9.48%。营业成本缩减可能是造成营收下滑的原因之一。另外,三家公司横向对比,从整体营业收入来看,专注于半导体量测和检测设备的中科飞测收入增幅最明显,而另外两家则是受各自主营业务变化的影响,占比较少的半导体业务对整体影响也较小。而单从半导体业务方面来看,中科飞测和精测电子均有着显著增长,尤其精测电子,其增幅更是猛烈。这不仅是半导体设备蓬勃发展的生动写照,更是国内对高精度半导体量/检测设备需求日益强烈的有力证明。 经过不懈努力的技术研发与深厚经验积累,中国企业在膜厚测量、缺陷检测、关键尺寸测量等关键领域取得了显著的突破。数家国内企业凭借卓越的技术实力,成功跻身中芯国际、长江存储等业界巨头的量产产线,彰显了国产技术的强大实力。尽管目前在与海外巨头的比较中,国内企业在产品种类、工艺覆盖、算法软件、制程支持、核心零部件等方面还存在一定差距,但这一差距正在随着国内晶圆厂积极引入国产设备验证而逐渐缩小。我们有理由相信,国内量测设备企业正迎来技术追赶的黄金时期,业绩的快速增长指日可待,国产替代化的进程将全面加速,开启国产设备的新篇章。
  • 分子大小的晶体管新鲜出炉
    在一个砷化铟晶体上,12个带正电的铟原子环绕着一个酞菁染料分子,这就是科学家最新研制的分子大小的晶体管。按照摩尔定律的硬限制,这很可能是一个晶体管所能达到的最小尺寸。  新型晶体管是由德国PDI固体电子学研究所、柏林自由大学、日本NTT基础研究实验室和美国海军研究实验室研究人员组成的国际团队开发的。这一发表在科学期刊《自然物理》上的最新成果朝着量子计算迈出一大步。  构成晶体管的每个铟原子的直径是167皮米(0.167纳米),比目前的最小电路——IBM公司刚刚推出的7纳米芯片(晶体管尺寸为7纳米)要小42倍。人类发丝厚度为10万纳米,大约是铟原子尺寸的60万倍 红血球直径6000纳米,是它的36000倍 甚至只有2.5纳米宽的DNA链,大小也达到了铟原子的15倍。  在这样的原子尺度上,电子流通常很难得到可靠地控制,电子会跳到晶体管外,导致晶体管无效。英国《卫报》网站21日报道称,研究团队使用一个扫描隧道电子显微镜,将铟原子放置在精确位置上,并对通过栅极的电子流进行控制。他们意外发现,位于晶体管中心的酞菁染料分子的方向是由其电荷决定的,这意味着,与传统晶体管只有一种简单的类似开关的状态相比,新型晶体管可能并不只限于此。  研究证明,通过精确控制原子来创建一个比现有任何其他量子系统都要小的晶体管是可能的,它也为进一步研究如何将这些微晶体管应用于处理能力超过目前水平几个数量级的计算机和系统打开了大门。  摩尔定律说,集成电路上可容纳的元器件的数目约每隔18个月到24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。芯片上集成的晶体管越多,其功能越强大。目前最新款计算机芯片已经突破7纳米尺度,向更小型化发展越来越难。虽然单分子晶体管距离集成到芯片中还很遥远,但这项新研究仍将有助于下一代计算机——量子计算机的开发。
  • 半导体量测领域新增量测设备!中图仪器无图晶圆几何量测系统正式发布
    在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点,往往需要对wafer进行厚度(THK)、翘曲度(Warp)、膜厚、关键尺寸(CD)、套刻(Overlay)精度等量测,以及缺陷检测等;用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准,以及缺陷阈值下限,从而进行工艺控制与良率管理。半导体前道量检测设备,要求精度高、效率高、重复性好,量检测设备一般会涉及光电探测、精密机械、电子与计算机技术,因此在半导体设备中,技术难度高。在wafer基材加工阶段,从第一代硅,第二代砷化镓到第三代也是现阶段热门的碳化硅、氮化镓衬底都是通过晶锭切片、研磨、抛光后获得,每片衬底在各工艺后及出厂前,都要对厚度、翘曲度、弯曲度、粗糙度等几何形貌参数进行系统量测,需要相应的几何形貌量测设备。下图为国内某头部碳化硅企业产品规范,无论是production wafer,research wafer,还是dummy wafer,出厂前均要对几何形貌参数进行量测,以保证同批、不同批次产品的一致性、稳定性,也能防止后序工艺由于wafer warpage过大,产生碎片、裂片的情况。中图仪器针对晶圆几何形貌量测需求,基于在精密光学测量多年的技术积累,历经数载,自研了WD4000系列无图晶圆几何量测系统,适用于线切、研磨、抛光工艺后,进行wafer厚度(THK)、整体厚度变化(TTV)、翘曲度(Warp)、弯曲度(Bow)等相关几何形貌数据测量,能够提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等几何形貌图及系列参数,有效监测wafer形貌分布变化,从而及时管控与调整生产设备的工艺参数,确保wafer生产稳定且高效。晶圆制造工艺环节复杂,前道制程所需要的量检测设备种类多、技术难度高, 因此也是所有半导体设备赛道中壁垒最高的环节。伴随半导体制程的演进,IC制造对于过程管控的要求越来越高,中图仪器持续投入开发半导体量检测设备,积极倾听客户需求,不断迭代技术,WD4000系列在诸多头部客户端都获得了良好反响!千淘万漉虽辛苦,吹尽狂沙始到金。图强铸器、精准制胜,中图仪器与中国半导体产业共同成长。
  • 世界最小晶体管问世 仅由7个原子构成
    5月26日,据物理学家组织网报道,美国与澳大利亚科学家成功制造出世界上最小的晶体管——由7个原子在单晶硅表面构成的一个“量子点”,标志着我们向计算能力的新时代迈出了重要一步。   量子点(quantum dot)是纳米大小的发光晶体,有时也被称为“人造原子”。虽然这个量子点非常小,长度只有十亿分之四米,但却是一台功能健全的电子设备,也是世界上第一台用原子故意造出来的电子设备。它不仅能用于调节和控制像商业晶体管这样的设备的电流,而且标志着我们向原子刻度小型化和超高速、超强大电脑新时代迈出的重要一步。   澳大利亚新南威尔士大学量子电脑技术中心(CQCT)和美国威斯康星大学麦迪逊分校研究人员组成的一个联合小组在最新一期的《自然—纳米技术》(Nature Nanotechnology)杂志上详细描述了这一发现。参与这项研究的量子电脑技术中心主任米歇尔西蒙斯(Michelle Simmons)教授说:“这项成就的重要性在于,我们不是令原子活动或是在显微镜下观测原子,而是操纵单个原子,以原子精度将其置于表面,以制造能工作的电子设备。”   “澳大利亚研究小组已可以完全利用晶体硅制造电子设备,我们在晶体硅上面用磷原子替换了7个硅原子,并达到了惊人的精确度。这是重大的科技成就,是表明制造‘终极电脑’(用硅原子制造的量子电脑)可行性的关键一步。”将原子置于某个物体表面的技术——扫描隧穿显微镜——已问世二十年之久。在此之前,没人能利用该技术去制造原子精度的电子设备,然后令其处理来自微观世界的电子输入。   西蒙斯教授说:“电子设备究竟能有多小?我们正在验证它的极限。澳大利亚的第一台电脑在1949年上市,它占据了整个房间,你只能用手拿着零部件。今天,你可以将电脑放在手掌上,许多零部件的直径甚至只是一根头发直径的千分之一。”   “现在我们已经展示了世界上第一台用硅材料在原子刻度下系统性制造的电子设备。这不仅对电脑用户具有特别的意义,对所有澳大利亚人来说都极为重要。过去50年来,电子设备小型化一直是驱动全球经济生产率快速增长的关键因素。我们的研究表明,这个进程仍可以继续。”   美澳联合研究小组的主要目标是用硅原子制造量子电脑,澳大利亚人在该领域拥有独一无二的人力资源,同时处于世界领先地位。这台新电子装置表明,实现设备在原子刻度下制造和测量的技术已经开始来临。   目前,商业晶体管闸极(transistor gate,该装置可令晶体管充当电流的放大器或开关)的长度约为40纳米(1纳米相当于十亿分之一米),量子电脑技术中心的研究团队正在开发长度仅为 0.4纳米的设备。   西蒙斯教授指出,20年前,唐艾格勒(Don Eigler)和埃哈德施魏策尔(Erhard Schweizer)在IBM公司的阿尔马登研究中心,用氙原子造出了IBM公司的标识,这也是当时世界上最小的标识。二人利用一台扫描隧穿显微镜,将35个氙原子置于镍表面,拼出了“IBM”三个字母。   艾格勒和施魏策尔的研究论文发表于《自然》杂志上,他们写道:“设备小型化的基本原理是显而易见的。”二人还在论文中多次提出警告,并在最后总结说:“原子刻度的逻辑电路和其他设备的前景距离我们有些遥远。”西蒙斯教授说:“当时看似遥远的事情如今变成了现实。我们利用这种显微镜不仅可以观测或熟练操作原子,还能用7个原子制造原子精度的设备,令其在真实的环境中工作。”
  • 浅析蛋白质晶体成像仪
    蛋白质(protein)是组成人体一切细胞、组织的重要成分,是生命的物质基础,分子结构由α—氨基酸按一定顺序组合和排列形成氨基酸顺序不同的多肽链,这些多肽链进一步通过交联构成。蛋白质的复杂结构是其功能多样性的前提和基础,对其分子结构及发挥生物活性的机制进行研究具有重要意义。蛋白质空间结构(图片来源:网络)与其他有机或无机化合物晶体结构一样,蛋白质晶体结构是由相同的蛋白质分子或蛋白质分子复合物在空间中有序排列,从而构成的规则的3D阵列。根据蛋白质晶体结构排列的对称性,晶体中的所有分子相对于晶格具有有限数量的独特取向。蛋白分子通过在晶格中的有序排列,将单个分子的衍射值叠加,最终获得足以测量的衍射强度,其中晶格起到放大器的作用。结晶研究作为探究生物大分子结构及功能的重要手段,有力的推动了蛋白质分子结构的研究进程。 蛋白质晶体结构(图片来源:网络)时至今日,蛋白结晶还存在许多问题,制约着蛋白结构测定的速度。工欲善其事必先利其器,蛋白晶体成像仪作为高通量筛选蛋白质结晶的重要工具,可进行蛋白晶体研究的自动化成像和分析,为下一步进行蛋白质晶体衍射、确定结构奠定基础,最终应用于制药和生命科学领域的研究。蛋白晶体成像仪通过精确的温度控制提供稳定的蛋白质晶体培育环境,在甄别分析中,通过可见光、偏振光、紫外三种模式辨别晶体是否为蛋白晶体并观察晶体成长过程,可对晶体快速定位、自动化拍摄高质量影像。相比传统显微镜,它在蛋白晶体观察捕获的敏感度、成像质量、样本的自动定位等方面都有了很大提升,重要参数指标包括物镜倍数、附镜倍数、数值孔径、景深(mm)、视场(mm)、像素尺寸(μm)、光学分辨率(μm)等。目前市场的蛋白质晶体成像仪主流厂商有赛默飞、腾泉生物、安捷伦、Formulatrix等,不同品牌产品也各具特色。以Formulatrix的产品为例来介绍蛋白质晶体成像仪,蛋白晶体成像仪同时具备可见光和紫外荧光功能,可创造蛋白晶体的培养、成长环境,精确恒定温度和振动隔离。除此之外,仪器提供最多970个结晶板的存储和培养空间,能实现准确实验样本自动定位、智能影像捕捉拍摄等功能。在观察晶体成长过程的同时,可进行数据库数据对比和搜索,以确定蛋白晶体的存在和成长,对蛋白质晶体进行跟踪研究。蛋白液滴定局部成像(图片来源:Formulatrix)蛋白质晶体可见光及紫外成像(图片来源:Formulatrix)更多信息,点击进入仪器信息网相关仪器专场:https://www.instrument.com.cn/zc/2582.html
  • 默克布局半导体设备领域!1.55 亿欧元收购半导体量检测设备商Unity SC
    近日,德国制药巨头默克(Merck)全球健康创新基金计划以1.55亿欧元(约折合 12.27 亿人民币)的首期付款加上里程碑付款,收购半导体行业计量和检测仪器供应商Unity SC。 默克集团创建于 1668 年,拥有约 350 年历史,总部位于德国达姆施塔特市。该集团致力于创新型制药、生命科学以及前沿功能材料技术,以技术为驱动力,为患者和客户创造价值。默克在全球 67 个国家和地区拥有 154 个分支机构以及 38,000 名员工。其业务主要分为四大分支:默克雪兰诺业务分支专注于包括生殖、肿瘤、心血管等领域的处方药研发;消费者保健业务分支推动研究和创新,旗下品牌行销全球 100 多个国家;默克密理博业务分支为全球生命科学用户提供完整的产品线和强大的创新能力;功能性材料业务分支则提供液晶显示屏、效果颜料等特殊化学制品。2023 年 6 月,默克在《福布斯全球企业 2000 强》榜单中排名第 73 位。默克公司表示,此次收购扩大了其推进人工智能应用所需的关键技术组合。默克执行董事会成员兼电子业务首席执行官凯贝克曼(Kai Beckmann)说道:“我们坚信 3D 计量工具将进一步推动半导体行业的发展。将计量技术纳入我们的产品组合,使我们能够提供更多的材料和更多的解决方案,有效地解决客户在开发速度更快、功能更强大、效率更高的芯片时所面临的挑战。” 默克在半导体量检测设备行业的重要战略布局,不仅扩大了默克的业务版图,也将为默克的发展带来新的机遇,同时也可能对整个半导体行业产生深远影响。据悉,UnitySC 是一家总部位于法国的半导体计量和检测设备提供商。它将先进的自动光学检测和 3D 成像技术,与深入的焦点线扫描、时间模式干涉测量、光谱测量和相移分析相结合,提供适应特定工业需求和限制的标准和定制解决方案,此外提供专用于其他类型高端工艺的全套设备,特别是化合物半导体、透明基板或特殊设备的图案化和非图案化缺陷检测。UnitySC 是半导体量检测领域的全球领导者,拥有约 160 名员工,其中 70 名为研发工作人员。其提供的精密计量测量设备能够优化质量和产量,可用于优化人工智能、高性能计算领域以及高带宽存储器应用的芯片制造成本。目前这一收购仍需与法国劳资委员会协商,并获得相关当局的批准。据悉,该交易预计将在今年年底前完成,后续进展备受业界关注。
  • 逆境中长出的“中国牌”晶体
    2009年2月,国际期刊《自然》发表题为《中国晶体——藏匿的珍宝》的采访调研文章,认为中国禁运氟代硼铍酸钾晶体(KBBF),将对美国功能晶体相关领域的研究和发展产生严重影响,并断言“其他国家在晶体生长方面的研究,还无法缩小与中国的差距”。该文的缘起是中国2007年正式宣布停止对外提供KBBF,美国人不惜重金请求购买或邀请相关中国专家去美国工作,都被严词拒绝。中国科学家用国际领先的自主创新成果在高技术领域对美国说“不”。从20世纪60年代开启理论研究,到80年代研制出低温相偏硼酸钡晶体(BBO)、三硼酸锂晶体(LBO),再到90年代研制出KBBF,中国科学院福建物质结构研究所(以下简称福建物构所)等单位的科学家,打破了中国在晶体生长领域仿制、跟跑的局面,让“中国牌”晶体闪耀世界。几十年过去了,“中国牌”晶体这个“老字号”更显创新活力。很难想象,当年研发“中国牌”晶体的科学家们经历了怎样的奋斗历程。不跟在外国人后面走材料是人类社会进步的里程碑。作为一类重要材料,晶体指能自发生长成规则几何多面体形态的物体。随着科技进步和经济发展,人工功能晶体已成为激光设备等不可或缺的基础材料。激光技术是20世纪“四大科技发明”之一。作为激光设备的上游关键部件,非线性光学晶体可以将某一频率的激光转换成另一频率的激光。20世纪60年代初,国外已发现一些非线性光学晶体材料,而中国尚未研发出自己的晶体。整体看,国际上非线性光学晶体研发都相对滞后,导致激光器进一步应用乏力。功能晶体乃至所有功能材料的性能,都取决于其组成和结构,而这需要专业人才深入研究。在那个年代,我国缺乏这方面的人才,谁来研发“中国的晶体”?1945年,我国结构化学领域开拓者卢嘉锡留学归国,组织队伍开启晶体材料研究,并在国内首次招收以结构化学专业为主的研究生。卢嘉锡1955年当选中国科学院化学学部委员,1981年至1987年任中国科学院院长。在美国留学期间,卢嘉锡在美国国家科学院院士鲍林的指导下,利用X射线和电子衍射法技术分析研究晶体结构和分子结构;他所设计的卢氏图表载入《国际X射线晶体学用表(第二卷)》,被国际化学界应用了几十年。国外晶体研究已开展数十年,我国如何赶超?基于对国际国内晶体研究的分析,卢嘉锡认为探索新晶体材料,不应受国外学术思想束缚,跟在外国人的后面走,而应在分析、总结国外已有工作基础上走自主创新之路。“打造科研平台很关键。”福建物构所所长曹荣介绍,1959年,中国科学院福建分院设立并筹建技术物理所、化学所等6个研究所和生物物理研究室。卢嘉锡一直构想建立现代化物质结构研究室,福建分院的设立让他看到了希望。1960年,卢嘉锡经过深思熟虑,向中国科学院和福建省委提出将福建分院筹建的“六所一室”整合,最终形成福建物构所,卢嘉锡为首任所长。自此,卢嘉锡带领福建物构所的研究团队开始研制非线性光学晶体。卢嘉锡(左)指导福建物构所青年科技人员工作。让人匪夷所思的重大发现当时,我国缺乏技术、没有经验和专业人才,只能从仿制起步。由于没有理论指导,工作很快就遇到瓶颈。那时科研条件极为简陋。建所之初,主体建筑是一幢四方形平房,人员主要是复退军人和大中专毕业生,办公和仪器设备是从其他学校搬来的,吃饭就在临时搭建的竹棚里。 创办初期的福建物构所。即便如此,卢嘉锡还是凭借研究积累,部署了结构化学、非线性光学晶体等研究方向,希望从结构化学角度探讨晶体和分子结构、电子结构之间的关系。构想有了,关键是靠大团队联合开展大攻关。为此,卢嘉锡想方设法从高校调来理论物理等专业的毕业生,陈创天(2003年当选中国科学院院士)就是其中之一。那是1962年,陈创天25岁,刚从北京大学物理系毕业。到福建物构所没几天,卢嘉锡就找到他,语重心长地说:“研究所搞的是结构化学,你的研究重点要从理论物理向结构化学转移。”卢嘉锡给陈创天介绍了基本知识并列出参考书单,嘱咐他“可边工作边学习,不懂可来问我,相互切磋”。此后3年,陈创天系统学习了结构化学知识,最终选择非线性光学材料结构和性能之间关系为研究方向。1976年,苦心钻研10年后,陈创天提出阴离子基团理论,找到了非线性光学晶体材料宏观效应与微观结构间的关联。次年,他被任命为非线性光学材料探索组组长。据介绍,当时研究所几乎一穷二白,一群怀揣梦想的年轻人自己动手创造科研条件,如自行组装激光器、测试设备等。1979年,研究组发现BBO是一种非常有希望的新型材料。3年后,他们终于生长出大块BBO。 BBO晶体。中国科学家以翔实的数据和无懈可击的实验证明了BBO是非中心对称的晶体,在200纳米至350纳米波长范围内,其透过率可达80%以上。1986年,陈创天在美国参加一个国际激光与光电子会议,向全世界宣布成功研制出BBO,引起轰动。业界赞誉这是中国人按照自己的科学思想创造出的首块“中国牌”晶体。吴以成(2005年当选中国工程院院士)正是那一年在福建物构所获得博士学位。他回忆:“陈老师告诉我们,他发言结束后,参会的200多位科学家竟有一多半跟他出去向他进一步了解情况,导致会都没法开了。”福建物构所副所长、国家光电子晶体材料工程技术研究中心主任林文雄1988年被保送到福建物构所读研究生。“教材都把BBO写进去了。”林文雄说,BBO的面世让全世界的科学家感到匪夷所思,他们感受到严峻挑战,认为这样的重大发现不该在中国诞生,而应在美国、日本或欧洲国家。曹荣感慨,福建物构所取得这样的成就,离不开国家的一贯支持,也得益于中国科学院面向世界科技前沿、面向国家重大需求进行的前瞻布局和建制化研究。 福建物构所建所初期的结构化学研究队伍。在高技术领域对外国说“不”正当外国学者为横空出世的“中国牌”晶体感到震惊时,陈创天、吴以成等中国科学家又在1987年宣布一项新的重磅成果——他们发现并生长出第二块“中国牌”晶体LBO。 LBO晶体。与BBO相比,LBO紫外截止波长移到150纳米,是迄今为止实现高功率三倍频输出最好的非线性光学晶体。BBO、LBO分别被美国《激光电子学》杂志评为1987年、1989年“十大尖端产品”。“BBO和LBO的背后,光研究组就有多个,包括理论组、化学合成组、结构分析组、相图研究组、晶体生长组等。大家互相协作、劲往一块儿使,才有这样的结果。”吴以成说。山东大学教授王继扬介绍,当时国内晶体研究界有“三驾马车”,分别是福建物构所、山东大学和南京大学,它们在晶体生长、消除晶体畴等方面各有所长,非常团结又能创新,把晶体研究这个国际上本不受重视的领域变成各国争相研究的焦点。“我国科学家有股迎难而上的拼劲,敢走新路、勇于自主探索。”1988年,福建物构所成立成果转化公司——福建福晶科技股份有限公司(以下简称福晶科技),开启了BBO、LBO商业化之路。“商业化后,外国就眼红了。BBO面世时,中国的专利法还没出台,但LBO研发出来时已有专利法,团队有意识地申请专利将它保护起来。”吴以成说,美国最先坐不住,他们以专利无效为借口和中国打官司,希望能取消中国的LBO晶体专利权。“美国最终没有凭借蹩脚的理由得逞。”吴以成回忆,当时国际上关于LBO的研究成果都是中国科学家发表的,团队把整个研究的详细实验记录等收集起来应诉,最终打赢了官司。这个案例再次印证了团队协作的重要性。“那时候,团队里以林朝熙为代表的知识产权方面的专家就懂得申请专利,他们不是为了报奖,而是要把自主创新成果保护起来。”林文雄说,更关键的是,他们申请的不是晶体生长专利,而是器件专利,很好地避免了国外钻空子侵权。LBO面世前,美国等国家都在基于BBO等晶体开展多倍频研究,中国科学家也在寻求新突破。“我国虽已取得领先成果,但当时科研条件仍很落后。”吴以成举例,LBO晶体生长是在坩埚中进行的,耐温1000摄氏度以上的铂金是做坩埚的理想材料。当时铂金比黄金还贵,一小块就上千美元。“我们每次用完坩埚都要称重,如有损耗须说明。然而落后的科研条件没能阻止我们做出领先世界的重大成果。” 科研人员用提拉法培养晶体。外国对中国科学家的态度,也随着“中国牌”晶体的相继面世,从傲慢转向尊重。吴以成回忆,陈创天讲过这样一件事。 BBO面世前,有位中国学者在美国一家实验室工作,有人不小心打碎了一块杜邦公司生产的非线性光学晶体,中国学者想把碎片带回国研究,但被实验室负责人以保密为由拒绝。没想到数年后,中国就制备出领先世界的BBO。20世纪90年代,陈创天在日本访问期间,日方曾为他升起中国国旗表示尊敬和欢迎。研发出BBO、LBO后,陈创天团队意识到,由于微观结构条件限制,二者无法通过简单倍频技术产生深紫外光谱区的谐波光输出。经过反复计算和思考,陈创天等又踏上一条长达10多年的新型非线性光学晶体探索之路,研制出全球独一无二的KBBF。KBBF是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体。当时国际激光界普遍认为,用固体激光器产生波长小于200纳米的激光几乎不可能,KBBF则使激光最短波长达到184.7纳米,在深紫外激光领域大展身手。KBBF独特的薄片层状生长习性,使其难以获得实际应用。为此,陈创天联合中国科学院院士蒋民华团队、中国工程院院士许祖彦团队等开展联合攻关,攻克晶体生长难关,实现多种波长的深紫外激光有效输出,保障了中国在深紫外固体激光方面的国际领先地位。2007年,KBBF被禁止对外出口。中国科学家用国际领先的自主创新成果,在高技术领域对外国说“不”。“老字号”焕发新活力2000年,洪茂椿(2003年当选中国科学院院士)任福建物构所常务副所长,主持研究所工作。当时,中国科学院基于对知识创新与技术创新前沿的把握,批准福建物构所关于福晶科技改制的申请,做大做强“中国牌”晶体产业。洪茂椿面临的第一个难题,就是让“好酒”走出“深巷”。“首先要聚人才。”洪茂椿表示,当时福建物构所建所成立已有40多年,老一辈科学家年纪大了,科学家梯队出现了断层。“当时所里引进了一批人才,积极申请系列科研项目,包括多个上亿元的大项目。”洪茂椿强调,当时申请项目并非盲目扩充研究方向,而是更聚焦科技创新价值链,把知识创新、技术创新与产业创新链接起来,以国家重大需求推动福建物构所的科学研究。2008年,福晶科技正式上市。几年里,洪茂椿经常白天忙完,晚上回所里搞科研,企业管理经验是现学现用。好在经过几年努力,人才梯队建起来了,晶体产业发展脉络理顺了。这个团队人才济济。中国科学院光电材料化学与物理重点实验室主任吴少凡带领团队致力于激光与非线性光学晶体、闪烁晶体新型功能材料研究,成果已在国家重大工程中获得应用。“90后”研究员罗敏已成长为课题组长,聚焦非线性光学晶体材料的设计、合成和生长,以学术骨干身份参与国家重大项目和中国科学院战略性先导科技专项等。走进福晶科技的晶体熔盐车间,工作人员正在一排排晶体生长监控器前观察晶体生长炉的温度。“以前晶体生长都需要工作人员在坩埚旁守着,温度很高,夏天更受不了,现在定时观察显示器即可。”福晶科技董事长陈辉说。如今的福晶科技已成为全球知名的LBO、BBO、磁光晶体等龙头厂商,产品广泛应用于激光、半导体等领域,2023年实现营业收入7.82亿元。“需求端推动供应,目前公司生产的我国原创晶体占全球此类晶体生产总量的近五成,出口超过四成。”陈辉说,“国内晶体需求占全球总需求的比例,从20世纪90年代初的不足5%到如今超过五成,说明我们积极应对了产业链转移及国内需求增长等市场变化。” 晶体提拉生长车间。福建物构所供图今天,我国的晶体研究是否依然领先?曹荣表示,我国原创晶体在研制和应用上不断取得新成果,始终领先国际。近年来,福建物构所又取得一系列引领国际的研究成果,使我国成为激光晶体强国。“当前,我们正积极将人工智能技术应用到晶体设计和生长等环节。”曹荣表示,福建物构所将进一步面向世界科技前沿及国家重大需求,抢占科技制高点,助推我国科技创新事业迈上新台阶。“纵观我国晶体研究发展史,我感受最深的就是科研没有捷径,是靠一代又一代科学家一步步走出来的。”洪茂椿表示,跟在别人后面永远不是创新。正是有了国家和中国科学院对晶体研究的持续大力支持,有了几代科学家的团结互助、勠力创新,我国晶体研究才长盛不衰。
  • 反常热膨胀光学晶体研究获进展 有望提升精密光学仪器稳定性
    近日,中国科学院理化技术研究所研究员林哲帅、副研究员姜兴兴等提出实现晶体热膨胀的超各向异性,为光学晶体反常热膨胀性质的调控提供了全新的方法,对于光学晶体中轴向反常热膨胀性质的功能化具有重要意义。   在外界温度变化时,常规光学晶体因“热胀冷缩”效应,无法保持光信号传输的稳定性(如光程稳定性等),限制了其在复杂/极端环境中精密光学仪器的应用。探索晶体的反常热膨胀性质如零热膨胀,“对冲”外界温场对晶体结构的影响是解决这一问题的有效途径。   然而,通过晶格在温度场作用下的精巧平衡来实现零热膨胀颇为困难,一方面,热膨胀率严格等于零的晶体在自然界中不存在;另一方面,目前化学组分调控晶体热膨胀性质的方法,例如多相复合、元素掺杂、客体分子引入和缺陷生成等,影响晶体的透光性能,不利于光学应用。如何在严格化学配比的晶体材料中,利用其本征的热膨胀性能来实现大温度涨落下的光学稳定性,具有重要的科技意义。   该研究团队提出实现晶体热膨胀的超各向异性,即沿晶体结构的三个主轴方向分别具有零、正、负热膨胀性,来调控光学晶体反常热膨胀性质的新方法。研究通过数学推导严格证明了当沿着三个主轴方向分别具有零、正、负热膨胀时,晶体具有最大的热膨胀可调性,可实现热膨胀效应和热光效应的精巧“对冲”,获得完全不随温度变化的光程超级稳定性。   研究在具有高光学透过的硼酸盐材料中探索,系统分析了晶格动力学特征。在此基础上,研究在AEB2O4 (AE=Ca或Sr)中发现了首个沿着三个主轴方向零、正、负热膨胀共存的特性。原位变温X射线衍射实验证明AEB2O4晶体具有宽的零、正、负热膨胀共存的温区(13 K ~ 280 K)。   在相同温度区间内,光程的变化量比常规光学晶体(石英、金刚石、蓝宝石、氟化钙)低三个数量级以上。第一性原理结合变温拉曼光学揭示了AEB2O4这种新奇的热膨胀性质源自离子(AEO8)基团拉伸振动和共价(BO3)基团扭转振动之间热激发的“共振”效应。相关研究成果发表在Materials Horizons上。   近年来,该团队致力于光电功能晶体反常热学和反常力学性能的研究,发现了系列具有负热膨胀、零热膨胀、负压缩以及零压缩性能的光电功能晶体,有望为复杂/极端环境下光学器件的稳定性和灵敏度问题提供解决方案。
  • 化学所在金属配合物低维晶体方面取得新进展
    p & nbsp & nbsp 低维有机晶态材料具有规整度高和结构缺陷少的特点,是揭示材料本征特性和构筑高性能光电器件的最佳选择之一,近年来在有机半导体电子学和纳米光子学等方面取得重要应用。考虑有机分子的组装特点,通常使用具有较强分子间作用力的平面型有机分子来制备高规整度的低维晶体。相比较,钌、铱等过渡金属配合物虽然被广泛用于多种光电领域,但因其溶解性较差和分子结构非平面型的特点,相关低维晶态材料的可控制备鲜有报道。 /p p style=" text-align: justify " & nbsp & nbsp 在国家自然科学基金委和中国科学院先导项目支持下,中科院化学研究所光化学实验室姚建年/钟羽武研究团队近年来在光功能金属配合物的设计合成与光电性能方面开展了系统性工作(J. Am. Chem. Soc.2015, 137, 4058 Angew. Chem. Int. Ed.2015, 54, 9192 & nbsp Coord. Chem. Rev.2016, 312, 22 & nbsp Sci. China Chem.2017, 5, 583)。在此基础上,他们近期选取两种结构和溶解度相似的金属铱、钌光功能配合物作为能量给、受体,制备了双组份均匀掺杂或异质结纳米棒晶体,实现高效三线态能量转移和微纳尺度下多级组装过程的原位观察(J. Am. Chem. Soc.2018, 140, 4269-4278)。 /p p style=" text-align: justify " & nbsp & nbsp 最近,科研人员通过溶液再沉淀法成功制备了甲基化苯基吡啶金属铱配合物的高质量一维管状微纳晶体,并进一步通过晶体掺杂,得到了两种不同铱配合物的二元能量转移晶体,实现聚集发光淬灭(ACQ)受体的光放大和微纳尺度温度响应功能。研究表明,当受体的掺杂量为0.2%时,此类晶体可以实现接近80%的三线态能量转移效率和800倍以上的受体磷光放大。在常温时,晶体表现出受体的红色磷光,固态量子产率达到40%。随着温度的降低,晶体的激子能量转移受到抑制,给体的绿色发光重新被激活,实现微纳尺度下发光颜色变化的原位调控与温敏监测。该工作表明了过渡金属配合物在低维晶体制备与光功能方面的独特应用,并为三线态激子能量转移的机制研究提供重要信息(Angew. Chem. Int. Ed.2018, 57, 7820-7825)。 /p p br/ /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201807/insimg/e32021df-136a-457d-afb5-bfd3ccfeb16d.jpg" title=" 3.jpg" / /p p style=" text-align: center " 图:基于金属配合物低维晶体的光放大与温度响应 /p p br/ /p
  • 2012 年全国药物晶体工程技术研讨会
    为了推动中国医药行业提升创新能力,并促进国内药物晶体工程学科发展,力扬参加了由中国医药工业信息中心和上海医药工业研究院药物晶体工程研究实验室联合举办之「2012 年全国药物晶体工程技术研讨会」。会议中,力扬除了展示 Avantium 高输出结晶系统,更在会上分享高输出结晶技术在医药研发中的应用,让与会者认识 Avantium Crystal16 及 Crystalline 平行结晶仪的好处,帮助他们迈向自动化药物结晶研究的成功道路。 会议详情 日期: 2012 年 3 月 7 日 - 9 日 时间:上午 9 时至下午 5 时 30 分 地点:上海瀚海明玉大酒店 (上海市虹口区周家嘴路 1888 号)
  • 新技术,美国成功制造了用于半导体纳米晶体的液池透射电镜仪器
    不同尺寸和形状的半导体纳米晶体可以控制材料的光学和电学性质。液池透射电子显微镜LCTEM是一种新兴的方法,用于观察纳米尺度的化学变化,并为具有预期结构特征的纳米结构的精确合成提供信息。科学家们正在研究半导体纳米晶体的反应,方法是研究过程中通过液体辐解产生的高反应环境。在最近发表的一份新论文中,科学家们利用了辐射分解过程,取代了典型半导体纳米材料的单粒子蚀刻轨迹。工作期间使用的硒化铅纳米管代表了各向同性结构,以通过逐层机制保持用于蚀刻的立方形状。各向异性箭头形硒化镉纳米棒保持了带有镉或硒原子的极性刻面,透射式液体细胞电子显微镜的轨迹揭示了液体环境中特定表面的反应性如何控制半导体的纳米级形状转变。半导体纳米晶体包含广泛可调的光学和电学特性,这些特性取决于其尺寸和形状,适用于多种应用。材料科学家已经描述了特定块体晶体小面对生长和蚀刻反应的反应性,开发出任意的图案纳米晶体的多面性及其反应机制使其成为直接研究的热点,胶体纳米晶体的热力学可以影响限定它们的有机或者无机界面。液体细胞透射电子显微镜提供了所需的时空分辨率,以观察纳米级动力学,如自组装过程。因此,科学家们在两个透射电子显微镜网格的超薄碳层之间夹了一个含有纳米晶体的水性袋,并使用三(羟甲基)氨基甲烷盐酸盐,这是一种有机分子来调节敏感半导体纳米晶体的蚀刻。LCTEM和纳米晶体的现有研究仅限于贵金属,因为它们在辐射分解过程中无法调节化学环境,导致活性材料降解。这项新的研究表明,有可能为LCTEM设计新的环境,以观察反应性纳米晶体的单粒子蚀刻轨迹。在实验过程中,三氨基甲烷盐酸盐添加剂调节了蚀刻过程的电化学电位,团队使用动力学建模来估计液体电池中胺自由基物种的浓度和电化学电位。为了证明这一概念,美国科学家们获得了真空中硒化铅纳米立方体的代表性透射电子显微镜图像,并在硒化铅奈米晶体的逐层蚀刻过程中收集了一系列图像。LCTEM成像结果显示,作为蚀刻反应的产物,在硒化铅纳米晶体周围形成了具有较高图像对比度的物质,似乎在蚀刻过程中,硒氧化并分散到液体中,以促进氯化铅的形成,铅袋中有氯离子。与硒化铅的立方晶格相比,纤锌矿硒化镉具有各向异性晶格,镉和硒原子交替层。在纤锌矿硒化镉纳米晶体的生长过程中,表面活性剂配体有利地结合到镉区域,以促进硒区域的快速生长。未来的研究将或者利用核/壳纳米晶体以及通过无机或者有机界面组装的纳米晶体,获得关于功能纳米结构阵列转化的实时信息。
  • Photonic Lattice发布PHL残余应力测量仪新品
    主要简介: WPA系列可测量相位差高达3500nm,适合PC等高分子材料,是Photonic lattic公司以其光子晶体制造技术开发的产品,独特的测量技术,高速而又精确的测量能力使其成为不可多得的光学测量产品。 该产品在测量过程中可以对视野范围内样品一次测量,全面掌握应力分布。可测数千nm高相位差分布的机器,最适合用来测量光学薄膜或透明树脂。量化测量结果,二维图表可以更直观的读取数据。 主要特点:操作简单,测量速度可以快到3秒。采用CCD Camera,视野范围内可一次测量,测量范围广。测量数据是二维分布图像,可以更直观的读取数据。具有多种分析功能和测量结果的比较。维护简单,不含旋转光学滤片的机构。可测样品尺寸更大。主要应用: 光学零件(镜片、薄膜、导光板) 透明成型品(车载透明零件、食用品容器) 透明树脂材料(PET PVA COP ACRYL PC PMMA APEL COC) 透明基板(玻璃、石英、蓝宝石、单结晶钻石) 有机材料(球晶、FishEve) 技术参数:项次项目具体参数1输出项目相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】2测量波长520nm、543nm、575nm3双折射测量范围0-3500nm4测量最小分辨率0.001nm5测量重复精度(西格玛)6视野尺寸33x40mm-240×320mm(标准)7选配镜头视野3×4-12.9×17.2mm8选配功能实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制测量案例: 创新点:操作简单,测量速度可以快到3秒。 采用CCD Camera,视野范围内可一次测量,测量范围广。 测量数据是二维分布图像,可以更直观的读取数据。 具有多种分析功能和测量结果的比较。 维护简单,不含旋转光学滤片的机构。 可测样品尺寸更大。 PHL残余应力测量仪
  • 我国科学家创制极化激元晶体管
    纳米尺度的光电融合是未来高性能信息器件的重要发展路线。如何在微纳甚至原子尺度对光进行精准操控是其中的关键的科学问题。中国科学院国家纳米科学中心研究员戴庆研究团队率先提出利用极化激元作为光电互联媒介的新思路,充分发挥它对光的高压缩和易调控优势,不仅有望实现高效光电互联,而且可以提供额外的信息处理能力,从而进一步提升光电融合系统的性能。   该团队通过十多年的努力,实现了极化激元的高效激发和长程传输。在此基础上,研究设计并构筑了微纳尺度的石墨烯/氧化钼范德华异质结,实现了用一种极化激元调控另一种极化激元开关的“光晶体管”功能。研究表明该晶体管可实现光正负折射的动态调控,类似电子晶体管能切换(1,0)两个高低电位,为构筑与非门等光逻辑单元奠定了重要基础。该研究充分发挥了不同材料的纳米光子学特性,从而突破了传统结构光学方案如使用人工结构(超材料和光子晶体等)在波段、损耗、压缩和调控等方面的性能瓶颈。   与电子相比,光子具有速度快、能耗低、容量高等优势,被寄予未来大幅提升信息处理能力的厚望。因此,光电融合系统被认为是构建下一代高效率、高集成度、低能耗信息器件的重要方向。光电互联(电-光-电转换)是光电融合主的基础,相当于光电两条高速公路交汇的收费站。而现有硅基光电集成方案存在效率低(依赖多次光电效应)、体积大(光模块无法突破衍射极限)等问题,制约光电器件之间的信息流转。然而,光子不携带电荷且光的传输受限于光学衍射极限,相比于能轻易通过电学调控的电子,对光子的纳米尺度局域和操控并不容易。   极化激元是一种由入射光与材料表界面相互作用形成的特殊电磁模式(表面波)。它具有优异的光场压缩能力,可轻易突破光学衍射极限从而实现纳米尺度上光信息的传输和处理。   戴庆团队以攻克高速光电互联这一世界技术难题为目标,提出以纳米材料的表面波(极化激元)为媒介,实现高效光电互联的新思路。构筑光-极化激元-电转换路径相当于将高速公路的收费站改造成立交桥,具有显著优势:一是效率高,光/电激发材料表面波的效率相比光电效应提升潜力巨大;二是集成度高,光波转化成材料表面波可将波长压缩百倍轻松突破衍射极限,从而显著提升光模块集成度;三是算力强,材料表面波具有光子性质可进行高效并行计算,从而将现有光电融合的“光传输、电计算”拓展成为“光传输、电计算+光计算”,实现“1+12”的效果。   戴庆提出,我们利用电学栅压对极化激元这种光波的折射行为实现了动态调控,使其从常规的正折射转变到奇异的负折射。这好比可以像操纵电子一样操纵光子,为将来高性能光电融合器件与系统的发展提供重要促进作用。这一研究在应用上面向光电融合器件大规模集成缺乏高效、紧凑光电互联方式的重大需求,在科学上为解决突破衍射极限下高效光电调制的难题提供了新思路。   2月10日,相关研究成果以Gate-tunable negative refraction of mid-infrared polaritons为题,发表在《科学》(Science)上。该论文审稿人评价道,这证实了一项非常规的物理现象,为研究纳米尺度的光操控提供了崭新的平台。图示极化激元晶体管的基本原理,通过在氧化钼上覆盖石墨烯构筑范德华异质结,天线激发极化激元传输穿过界面后形成负折射。极化激元晶体管的光学显微镜照片
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