俄歇能谱仪

这是清华大学仪器分析实验有关电子能谱实验的教材。由于很多人对XPS还比较了解，对俄歇电子能谱并不是非常了解。但在材料分析和器件分析，尤其是薄膜材料分析中，俄歇电子能谱具有重要的作用。希望对大家有帮助！朱永法2006.8.19

公司内部俄歇电子能谱仪培训教材

那位大侠能提供一个俄歇电子谱标准谱，谢谢

大家知道哪里能修俄歇能谱仪PHI660，麻烦了~~

俄歇电子能谱基本原理 　　入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。对于一个原子来说,激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X射线的发射几率较大，原子序数小的元素，俄歇电子发射几率较大，当原子序数为33时，两种发射几率大致相等。因此，俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。 　　如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子，L层电子跃迁到K层，释放的能量又将L层的另一个电子激发为俄歇电子，这个俄歇电子就称为KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子是L层电子被激发，M层电子填充到L层，释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。 　　对于原子序数为Z的原子,俄歇电子的能量可以用下面经验公式计算： EWXY(Z)=EW(Z)-EX(Z)-EY(Z+Δ)-Φ (10.6) 　　式中， EWXY(Z)：原子序数为Z的原子，W空穴被X电子填充得到的俄歇电子Y的能量。 EW(Z)-EX(Z)：X电子填充W空穴时释放的能量。 EY(Z+Δ)：Y电子电离所需的能量。 　　因为Y电子是在已有一个空穴的情况下电离的，因此，该电离能相当于原子序数为Z和Z+1之间的原子的电离能。其中Δ=1/2-1/3。根据式(10.6)和各元素的电子电离能，可以计算出各俄歇电子的能量，制成谱图手册。因此，只要测定出俄歇电子的能量，对照现有的俄歇电子能量图表，即可确定样品表面的成份。 　　由于一次电子束能量远高于原子内层轨道的能量，可以激发出多个内层电子，会产生多种俄歇跃迁，因此,在俄歇电子能谱图上会有多组俄歇峰，虽然使定性分析变得复杂，但依靠多个俄歇峰,会使得定性分析准确度很高，可以进行除氢氦之外的多元素一次定性分析。同时,还可以利用俄歇电子的强度和样品中原子浓度的线性关系,进行元素的半定量分析,俄歇电子能谱法是一种灵敏度很高的表面分析方法。其信息深度为1.0-3.0nm,绝对灵敏可达到10-3单原子层。是一种很有用的分析方法。

本人有一个薄膜样品，想做俄歇电子能谱分析，不知道成都哪里可以做，望达人指点．谢谢．

能谱仪EDAX英文怎么写？谢谢！

谱图中480-500之间出现明显的峰，软件归结为Sn3d，难以置信，实验系统中不应该存在Sn，也不可能是污染……查了一下，Na的俄歇，O的俄歇都在附近有峰，请问，XPS宽谱中能采集到这些信息吗？以前没有过。

【专家讲座】：俄歇电子能谱中的化学信息【讲座时间】：2015年10月26日 14:00【主讲人】：姚文清 （高级工程师。国家大型科学仪器中心—北京电子能谱中心副主任，清华大学分析中心表面分析室主任。先后获得北京理工大学工学学士和清华大学工程硕士，并做为高级访问学者到访香港理工大学访问研究。。）【会议简介】 俄歇电子能谱法（AES）是最广泛使用的分析方法之一，其优点是：在表面以下0.5-2nm范围内化学分析的灵敏度高、数据分析速度快、可以分析除氢氦以外的所有元素。俄歇电子能谱法现已发展成为表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微区分析的重要手段。新型的俄歇电子能谱仪具有很强的微区分析能力和三维分析能力，其微区分析直径可以小到6nm，大大提高了在微电子技术及纳米技术方面的微分析能力。相对于XPS，AES其检测极限约为10-3原子单层，其采样深度为1～2nm，比XPS还要浅，更适合于表面元素定性和定量分析。配合离子束剥离技术，AES还具有很强的深度分析和界面分析能力，常用来进行薄膜材料的深度剖析和界面分析。且由于AES采用电子束，束斑非常小，因此进行微区分析时具有很高的空间分辨率，可以进行扫描并在微区上进行元素的选点分析、线扫描分析和面分布分析。此外，俄歇电子能谱仪还具有很强的化学价态分析能力，不仅可以进行元素化学成分分析，还可以进行元素化学价态分析。俄歇电子能谱分析是目前最重要和最常用的表面分析和界面分析方法之一。由于具有很高的空间分辨能力（6nm）以及表面分析能力（0.5-2nm），因此，俄歇电子能谱尤其适合于纳米材料的表面和界面分析，在纳米材料尤其是纳米器件的研究上具有广阔的应用前景。-------------------------------------------------------------------------------1、报名条件：只要您是仪器网注册用户均可报名参加。2、报名截止时间：2015年10月26日 13:303、报名参会：http://www.instrument.com.cn/webinar/meeting/meetingInsidePage/15474、报名及参会咨询：QQ群—379196738

查AES手册的时候，经常能见到某元素的LVV谱线，麻烦问一下各位：LVV指的是什么？是指L层-价带-价带之间的俄歇跃迁吗？

各位专家，我们单位目前在选购扫描电镜的能谱探头，用的是蔡司EVO10扫描电镜。暂时确定了两家，牛津和EDAX。听很多人说，牛津的性能最好，功能最强，但是有时候会产生跟扫描电镜不匹配的错误信息或者一些别的问题，比如软件上的问题，导致能谱不能再用了。请各位专家给我们推荐一下，功能强、性能稳定、售后好等各种综合性能，更好的是哪一家？谢谢！

众位使用能谱仪的大侠，不知道哪家的能谱仪更好一些呢？包括质量、售后等？尤其是牛津、EDAX以及布鲁克？多谢

职位：俄歇电子谱仪（AES）应用工程师（1人）工作内容：为用户提供仪器应用支持，帮助新用户做样品测试，对产品做技术讲解。应聘要求：1. 常驻北京，可以承担一定的出差任务（不超过1/3工作日）。2. 喜欢学习，乐于钻研仪器技术。诚实有信，实事求是。3. 具有材料学/化学/化工或相关学科硕士（含）以上学位。有电子光学类仪器的使用经验，熟悉俄歇电子能谱或XPS技术者优先。4. 具有良好的口头表达能力。熟练使用常规办公软件。5. 有耐心，愿意尽心尽力帮助用户解决困难。具有良好的自我管理能力。薪酬待遇：1. 日本电子公司（JEOL）提供完备的社保福利，严格执行法律规定的休假制度。2. 实际薪酬根据应聘人资历面试后确定。有意者请提供简历。联系人：李女士（li.qun@jeol.com.cn）此贴长期有效，直到职位招满。

我单位布鲁克能谱仪（EDX）质保期为1年，于2009年1月安装调试完毕。按照惯例，在保修期内的一年里，厂家应到我们这里进行一次仪器检查和维护，但是尽管我们对发现的一些问题对厂家提出要求，在保修期内一直没有工程师前来维护

我们公司新安装了一台日立的S-3000N，配的是HORIBA 能谱仪，刚装上就发现能谱仪的液氮加入口太高了，得站在椅子上才够得到（也许我得再去增高），公司只有普通的20升杜瓦瓶，没法加注液氮。安装工程师说可以用虹吸加注的设备，不过俺对这个很陌生。不知道各位大虾都是怎么加液氮的？直接抱着液氮罐往里倒吗？加注口很小，是不是要弄个漏斗？[em11] [em53] 另：我们的那套电镜和能谱只配了一台电脑，是不是能谱仪专配一台比较好啊？

欢迎xps_aes担任能谱-能谱仪综合讨论版主！我们希望有更多的热心用户能加入到版主队伍中来，也希望在职的版主能在版面中发现有能力的热心用户推荐给我们。论坛正在招募版主，有兴趣的用户请参见这个帖子：http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20071101/1042199/

本人有一小块样品需要做能谱/电镜EDS/SEM分析，有酬谢！哪位大侠可以帮忙！请联系 qq : 1820609112 或发邮箱 andu@live.com

能谱仪的判定顺序是怎么样的呢？比如一个粒子同时含有铁钕镨三种元素，我们的判定依据是Fe/Nd:Fe大于0小于100，Nd大于0小于100；Nd/Pr:Nd大于0小于100，Pr大于0小于100.那粒子中同时含有这这种元素的时候，能谱是把这个粒子归为Fe/Nd还是Nd/Pr呢？判定顺序是如何的呢？

请教一下版内的朋友，我今天看书上说“电子探针的波谱仪和能谱仪的一个区别是能谱仪除了可以进行标样定量分析以外，还可以进行无标样定量分析。而波普仪无法进行无标样定量分析。”我对“标样定量分析”和“无标样定量分析”不大懂，还望大家能够指点一下，谢谢。

http://www.instrument.com.cn/show/Breviary.asp?FileName=C230846%2Ejpg&iwidth=200&iHeight=200 济南海能仪器股份有限公司 的 SPE100/SPE400全自动机械臂固相萃取仪 (SPE100/SPE400)已参加“国产好仪器”活动并通过初审。自上市以来，这款产品已经被多家单位采用，如果您使用过此仪器设备或者对其有所了解，欢迎一起聊聊它各方面的情况。您还可以通过投票抽奖、参与调研等方式参与活动，并获得手机电子充值卡。【点击参与活动】 仪器简介： SPE100/SPE400全自动机械臂固相萃取仪是海能仪器专门针对目前实验室前处理样品量大、自动化程度要求高等特点按照现代实验室的要求而设计的系列全自动机械臂固相萃取系统，主要用于食品、药品、饮料、土壤、水样、血液、尿液等样品提取液中痕量有机物的萃取、分离和净化。整套系统可自动完成固相萃取柱的活化、进样、淋洗、干燥、洗脱、定容等操作，处理样品量大，自动化程度高；系统密封环保。广泛应用于农药残留、兽药残留、食品添加剂、司法检测、药物和生物样品等分析领域，是气相色谱、液相色谱或质谱仪器理想的样品前处理系统。仪器主要性能特点：·使用新的设计语言和色彩搭配，符合现代化实验室整体设计品质·较强的连续处理能力，增加相应选配模块后，最大连续处理能力可达108位（1mL SPE柱）·具备液位追随功能，进样针随着液位下降而下降，始终保持较少面积与溶剂接触，避免溶剂间的交叉污染·具备溶剂扩展功能，除了标配的溶剂池外，还可以利用空余样品区作为容积扩展区，最大扩展能力为108位，在不增加配件的情况下，就可以解决因新方法开发需求更多溶剂的问题·具备溶剂剩余容量提示功能，分五档显示，当溶剂容量不足本次实验时，提示科研工作者添加试剂，避免因为溶剂不足而造成实验停止，耽误实验进程·专利密闭技术，最大化减少试剂挥发，无需占用有限的通风橱空间·独立外置式注射泵，按需配置，更多选择方案·溶液通过进样针和机械臂实现快速精准进样，机械臂控制精度在±0.01mm以内·支持多组分分步收集，1mL萃取套件支持2-9种组分，3mL萃取套件支持2-5种组分,6mL萃取套件支持2-4种组分·支持废液多路收集，实现废液无害化收集处理·具备气路接口，可用于管路清洗和干燥、浓缩·可以使用1mL、3mL、6mLSPE柱，可根据科研工作者需求定制其它规格SPE柱或萃取盘·具备多种清洗模式，清洗更彻底，避免交叉污染·采用新的UI和交互设计，模块化风格、拖曳式操作，简单快速设置实验方案·控制软件具备完善的自检、预警功能，便于科研工作者及时发现运行故障·提供海能云服务，实现云端存储和下载·选配大体积上样模块，可以实现大量水样快速萃取·选配定容模块实现在线快速精准定容·模块化萃取套件，科研工作者可根据实际使用情况自选套件·支持样品管架、接收架等定制，满足科研工作者实际实验需求；表格参数产品型号SPE100SPE400并行处理样品量14....【了解更多此仪器设备的信息】

我们的电镜是蔡司的EVO50钨灯丝的，能谱是EDAX公司的，软件是GENESIS，现在我想做一个钢铁材料中夹杂物的面分布实验，由于没有做过，不太了解实验步骤和基本参数设定，那位网友有这方面的资料，希望能指导，谢谢。

大家说说吧..给我一些初做能谱的建议.. [em61]

http://www.rac.ceprei.com/dongtai_details.asp?category_id=55&news_Id=231扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧 2005-7-1 课程对象电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员师资介绍：施明哲, 高级工程师，二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验，在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖；《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。培训时间：05年9月12日~16日培训地点：电子五所院内培训费用：4000元/人.五天培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课时安排：日期 时间 授课内容9月12日 9：00－12：00 扫描电镜理论学习 14：00－17:00 同上9月13日 8：30－12：00 同上 14：00－17:00 同上9月14日 8：30－12：00 扫描电镜演示与答疑 14：00－17:00 能谱仪理论学习9月15日 8：30－12：00 同上 14：00－17:00 同上9月16日 8：30－12：00 同上 14：00－17:00 能谱仪演示与答疑联系人：韩越，李华 电话：020-87236986 传真：020-87237185网址：www.rac.ceprei.com EMAIL: han@ceprei.com培训报名表单位名称 专业领域 参加课程 联系人工作部门/职位联系电话传真Email参加人数 备注 说明：1，请详细填写报名表格，发传真或Email给我们。2，收到您的报名表后，本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。3，现场以现金或支票方式支付1)费用包括：培训费、资料费、证书费、午餐费2)时间安排 报到：9月12日上午8：00~8：304，食宿自理，需要在广州住宿的客户，我室可以帮忙联系酒店：电子五所招待所：020-87237064 标准双人间：168元/天. 普通三人间：118元/天.课程内容提纲 第一部分：扫描电镜第一章：扫描电镜1．1 慨论1．2扫描电镜原理1．3扫描电镜结构1．4扫描电镜的分辨率1．5扫描电镜图像的形成第二章：高分辨扫描电子显微镜2．1 场发射扫描电子显微镜2．2 SE和BSE之差做为信号的方式2．3 工作距离2．4 使用强磁物镜的方式第三章：扫描电子显微镜的实践3．1 扫描电子显微镜的操作3．2 扫描电子显微镜图像的毛病3．3 扫描电子显微镜的保养3．4 扫描电子显微镜的安装条件3．5 扫描电子显微镜的验收与维护3．6小结第四章：计算机图像演示第二部分：能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1．系统概述2.吸收和处理过程3．计数率的考虑4．谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1．萤光产额2．连续辐射的产生3．莫塞莱定律X射线定性分析4．X射线的吸收5．二次发射（萤光）第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1．检出限2．探测器的效率3．空间分辨率3．谱仪分辨率4．伪峰（“artifact”peaks）5．定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1．加速电压2．电子源3．孔径光栏选择4．镜筒的合轴5．样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1．脉冲计数统计误差2．块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1．定性分析概述2．定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1．谱峰的失真2．背底的失真3．杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分：实际操作

我公司刚刚购置一台EDAX的AXV电制冷能谱仪，谁知道到底性能怎么样？

[size=4]最近学校要买能谱仪，找了半天也不知道坛子里谁是代理，不过也了解到生产能谱仪的一些厂家：牛津、布鲁克、EDAX、FEI、日本电子等等，不用太高的要求，普通的就行了，液氮、电制冷的都了解了解吧，希望坛子里厂家联系我一下吧，sayio@126.com，具体再联系[/size]

各主要厂家(EDAX， bruker，oxford)能谱仪性能对比，请各位大咖赐教！

好消息，清华大学北京电子能谱中心与仪器信息网将共同建设电子能谱仪版面，争取把这个版做成全国电子能谱仪用户最好的互动交流平台。版主zhuyongfa为清华大学化学系教授（博导），电子能谱仪专家。希望大家告诉自己的朋友和同行，不要错过难得的请教和交流机会，都来这里一起进行讨论，共同提高我国电子能谱的应用水平。仪器论坛将邀请更多的仪器分析行业的专家加入进来，共同把这个行业内难得的同行交流平台建设的更好！北京电子能谱中心简介：（http://www.bjsurface.cn)北京电子能谱中心是由国家科学技术部、教育部、北京市科委联合规划，并由清华大学具体负 建设、管理和日常运行的现代化表面分析实验室，属国家级表面分析公共服务平台。该中心于2005年5月正式建成并投入使用。 北京电子能谱中心于2005年3月装备了国际上最先进的PHI 700扫描俄歇微探针和PHI Quantera 扫描成像X射线光电子能谱。加上原有 的两台电子能谱仪，中心目前已拥有4台电子能谱仪。 中心是为推进北京地区表面科学研究和表面分析技术的发展而建立的。因此，中心的任务，除直接为清华大学各院系科研提供分析服务外，按照国家有关大型仪器共建、共管，资源共享的原则面向 全社会开放服务。

对于SEM能谱，轻元素不好检测，厂家也一般也不明确标示C、F的能量分辨率。不同晶区面积的仪器，有的F-Ka线标56eV、55eV，有的标54eV。这些差距大吗?这是什么原因导致的差距。