俄歇能谱仪

Thermo Scientific ESCALAB QXi X 射线光电子能谱仪（XPS）是ESCALAB 系列的最新产品。作为可扩展的多技术表面分析平台，ESCALAB QXi有着空前的灵活性和完备的专业配置选项。汇聚前沿技术，打造出高效便捷的软件系统和高性能的硬件配置，带来世界一流的测试体验和高效的生产力。强大的Thermo Scientific&trade AvantageTM 软件系统集系统控制、设备状态实时监控与调节、数据采集、数据处理、报告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效。世界领先的分析性能●定量光谱成像 世界一流的能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了卓越的能量分辨率●快速高分辨平行成像 化学成像: 空间分辨率优于1um 回溯成谱: 回溯区域优于6um●无需背底修正探测器 电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成 像的需求 空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，所得数据无探测器背底特征，无需背底校正 直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果●微聚焦单色源 分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调 卓越的灵敏度和能量分辨率 提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换●自动化高效离子剖析源 新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究●高精确度角分辨XPS 软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性 全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算●一键式荷电补偿 配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。 适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和●强大的Avantage分析软件 全数字化仪器控制 系统软件可视化操作 全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库 自定义数据采集到报告生成模式操作简便●高度自动化 分析区域和角度分辨可选 自动化气体调节和真空控制●随时校准 能量标尺和仪器功函数的校准 离子枪定位和离子束聚焦●鼠标点击式样品导航 实时显示分析位置 高照明强度、强度可调设计灵活●ISS、ARXPS与REELS为标准配置●多功能进样室为标准配置●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选●可选的样品预处理附件，包括： 样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器 样品加热/冷却装置 溅射清洁离子枪 蒸发器 高压反应室如您想了解更多关于EscaLab QXi X射线光电子能谱仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

清晰的多功能测量装置和细管径几何构型可确保在常规基础上快速可靠的采集 TEM EDS 数据。使用 HyperMap 或谱图获取高光谱成像，我们的软件保存每个像素的谱图和定量分析所需的所有元数据，用于之后的检测和处理。适合不同电子显微镜极靴类型的的 EDS 细管径设计和优化的EDS 几何构型确保了MAX信号采集角和检出角有助于避免试样倾斜、吸收、阴影和系统峰无窗探测器可进一步提高检测效率，特别是在低能端，可用于轻元素和高核电荷数元素 K、L、M 和N 线系能量峰的检测默认模式下自动回缩和自定义可确保探测器更长的使用寿命和更丰富的实验应用EDS 可用于原位实验，具有不断变化的数据流，比如高温实验全面的软件套件 ESPRIT，可用于在线和离线的数据分析

仪器简介：美国专利 日本技术 90%市场占有率 是金属/半导体材料研发和故障分析的有力工具。空间分辨率高，信息深度5纳米以内技术参数：俄歇电子能谱仪 &bull He以上所有元素纳米（约5nm）表面定性/表面定量/亚表层以及深度方向信息 1） 成分 2） 图像 3） DETECT LIMIT 0.1% 4） 最小束斑 6纳米 5） 仪器型号PHI 700 清华，宝钢2004，2005年购买 6） 报价 不含税100万美金主要特点：He以上所有元素纳米（约5nm）表面定性/表面定量/亚表层以及深度方向信息

PHI公司的PHI710扫描俄歇纳米探针是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱（AES）仪器。该设备能分析纳米级特征区域,超薄薄膜和多层结构表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率,高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪, PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。 PHI710主要特点：l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),如下图所示：l 图2则是关于铸铁韧性断裂的界面分析，左边是SEM图像,中间是钙、镁、钛的俄歇成像,右边则是硫的俄歇成像,这充分证明了PHI 710在纳米级尺度下的化学态的分析能力。l 同轴筒镜分析器（CMA）：PHI 公司电子枪和分析器同轴的几何设计,具有灵敏度高和视线无遮拦的特点,满足了现实复杂样品对俄歇分析全面表征能力的需求。如上图所示,所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来,成像没有阴影。若设备配备的不是同轴分析器,则仪器的灵敏度会降低,并且成像有阴影,一些分析区域会由于位置的原因,而无法分析。如果想要得到高灵敏度,只能分析正对着分析器的区域。如下图所示,若需要对颗粒的背面,颗粒与颗粒之间的区域分析,图像会有阴影。l 俄歇能谱仪的化学态成像：l 图谱成像PHI710能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息,该功能可以实现化学态成像。l 高能量分辨率俄歇成分像下图是半导体芯片测试分析,测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性最小二乘法拟合（LLS）,俄歇谱图很清楚的反映出了三个Si的不同化学态的区域,分别是：单质硅、氮氧化硅和金属硅,并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图,如最下方三张图所示。l 纳米级的薄膜分析如下SEM图像中,以硅为衬底的镍的薄膜上有缺陷,这是由于退火后,在界面处形成了硅镍化合物。分别在缺陷区域和正常区域设定了一个分析点,分析条件为高能量分辨率模式下（0.1%）,电子束直径20nm,离子枪采用0.5kV设定,如下图所示:在MultiPak软件中,采取最小二乘拟合法用于区分金属镍和硅镍化合物,同样区分金属硅和硅化物。可以看出,硅镍化合物仅存在于界面处,而在镍薄膜层和硅衬底中都不存在。但是,在镍涂层的缺陷处,发现了硅镍化合物。 l PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个从用户需求出发而设计的软件。该软件通过任务导向的方式指引用户导入样品,定义分析点,并设置分析条件,可以让新手快速,方便地测试样品,并且用户可以很方便的重复之前的测量。 l PHI MultiPak 数据处理软件：MultiPak软件拥有最全面的俄歇能谱数据库。采谱分析,线扫描分析,成像和深度剖析的数据都能用MultiPak来处理。软件强大的功能包括谱峰的定位,化学态信息及检测限的提取,定量测试和图像的增强等。 l 选配件： 1. 真空室内原位样品泊放台； 2. 原位脆断； 3. 真空传送管； 4. 预抽室导航相机； 5. 电子能量色散探测器（EDS）； 6. 电子背散射衍射探测器（EBSD）； 7. 背散射电子探测器（BSE）； 8. 聚焦离子束（FIB）；l 应用领域： • 半导体器件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、界面扩 散现象分析、封装问题分析、FIB器件分析等。 • 显示器组件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、接口扩 散现象分析等。 • 磁性存储器件:表面多层、表面元素、界面扩散分析、孔洞缺陷分析、表面污染物分析、磁 头缺陷分析、残余物分析等。 • 金属、合金、玻璃及陶瓷材料：表面沉积物分析、清洁污染物分析、晶间晶界分析等。

PHI公司的PHI 710扫描俄歇纳米探针是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱（AES）仪器。该设备能分析纳米级特征区域,超薄薄膜和多层结构表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率,高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪, PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。 PHI710主要特点：SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),如下图所示：图2则是关于铸铁韧性断裂的界面分析，左边是SEM图像,中间是钙、镁、钛的俄歇成像,右边则是硫的俄歇成像,这充分证明了PHI 710在纳米级尺度下的化学态的分析能力。同轴筒镜分析器（CMA）： PHI 公司电子设备和分析器同轴的几何设计,具有灵敏度高和视线无遮拦的特点,满足了现实复杂样品对俄歇分析多方面表征能力的需求。如上图所示,所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来,成像没有阴影。若设备配备的不是同轴分析器,则仪器的灵敏度会降低,并且成像有阴影,一些分析区域会由于位置的原因,而无法分析。如果想要得到高灵敏度,只能分析正对着分析器的区域。如下图所示,若需要对颗粒的背面,颗粒与颗粒之间的区域分析,图像会有阴影。 俄歇能谱仪的化学态成像：图谱成像PHI710能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息,该功能可以实现化学态成像。高能量分辨率俄歇成分像下图是半导体芯片测试分析,测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性小二乘法拟合（LLS）,俄歇谱图很清楚的反映出了三个Si的不同化学态的区域,分别是：单质硅、氮氧化硅和金属硅,并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图,如第三行三张图所示。纳米级的薄膜分析如下SEM图像中,以硅为衬底的镍的薄膜上有缺陷,这是由于退火后,在界面处形成了硅镍化合物。分别在缺陷区域和正常区域设定了一个分析点,分析条件为高能量分辨率模式下（0.1%）,电子束直径20nm,离子设备采用0.5kV设定,如下图所示:在MultiPak软件中,采取小二乘拟合法用于区分金属镍和硅镍化合物,同样区分金属硅和硅化物。可以看出,硅镍化合物只存在于界面处,而在镍薄膜层和硅衬底中都不存在。但是,在镍涂层的缺陷处,发现了硅镍化合物。 PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个从用户需求出发而设计的软件。该软件通过任务导向的方式指引用户导入样品,定义分析点,并设置分析条件,可以让新手快速,方便地测试样品,并且用户可以很方便的重复之前的测量。 PHI MultiPak 数据处理软件：MultiPak软件拥有多方面的俄歇能谱数据库。采谱分析,线扫描分析,成像和深度剖析的数据都能用MultiPak来处理。软件强大的功能包括谱峰的定位,化学态信息及检测限的提取,定量测试和图像的增强等。 选配件： 1. 真空室内原位样品泊放台； 2. 原位脆断； 3. 真空传送管； 4. 预抽室导航相机； 5. 电子能量色散探测器（EDS）； 6. 电子背散射衍射探测器（EBSD）； 7. 背散射电子探测器（BSE）； 8. 聚焦离子束（FIB）；应用领域： &bull 半导体器件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、界面扩散现象分析、封装问题分析、FIB器件分析等。 &bull 显示器组件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、接口扩散现象分析等。 &bull 磁性存储器件:表面多层、表面元素、界面扩散分析、孔洞缺陷分析、表面污染物分析、磁头缺陷分析、残余物分析等。 &bull 金属、合金、玻璃及陶瓷材料：表面沉积物分析、清洁污染物分析、晶间晶界分析等。

HREELS我们的精密倒视LEED光学具有所有特高压结构，不使用玻璃纤维或聚合物涂层线束。完整的型号和选项，包括低电流(nA, pA) MCP型号。所有光学采用4网格结构的AES兼容。精密结构与4栅格钨光学微型直径1.59厘米的电子枪103度可用视角0.5%能量分辨率可伸缩光学(标准2英寸和高达4英寸的缩回)安装法兰有完整的视口和电子馈线l SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm在俄歇能谱的采集分析过程中，包括谱图，深度剖析及元素分布像，需要先在SEM图像上定义样品分析区域，必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),如下图所示：l 图2则是关于铸铁韧性断裂的界面分析，左边是SEM图像,中间是钙、镁、钛的俄歇成像,右边则是硫的俄歇成像,这充分证明了PHI 710在纳米级尺度下的化学态的分析能力。l 同轴筒镜分析器（CMA）：PHI 公司电子枪和分析器同轴的几何设计,具有灵敏度高和视线无遮拦的特点,满足了现实复杂样品对俄歇分析全面表征能力的需求。如上图所示,所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来,成像没有阴影。若设备配备的不是同轴分析器,则仪器的灵敏度会降低,并且成像有阴影,一些分析区域会由于位置的原因,而无法分析。如果想要得到高灵敏度,只能分析正对着分析器的区域。如下图所示,若需要对颗粒的背面,颗粒与颗粒之间的区域分析,图像会有阴影。l 俄歇能谱仪的化学态成像：l 图谱成像LK能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息,该功能可以实现化学态成像。 l 高能量分辨率俄歇成分像下图是半导体芯片测试分析,测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性最小二乘法拟合（LLS）,俄歇谱图很清楚的反映出了三个Si的不同化学态的区域,分别是：单质硅、氮氧化硅和金属硅,并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图,如最下方三张图所示。l 纳米级的薄膜分析如下SEM图像中,以硅为衬底的镍的薄膜上有缺陷,这是由于退火后,在界面处形成了硅镍化合物。分别在缺陷区域和正常区域设定了一个分析点,分析条件为高能量分辨率模式下（0.1%）,电子束直径20nm,离子枪采用0.5kV设定,如下图所示:在MultiPak软件中,采取最小二乘拟合法用于区分金属镍和硅镍化合物,同样区分金属硅和硅化物。可以看出,硅镍化合物仅存在于界面处,而在镍薄膜层和硅衬底中都不存在。但是,在镍涂层的缺陷处,发现了硅镍化合物。 l PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个从用户需求出发而设计的软件。该软件通过任务导向的方式指引用户导入样品,定义分析点,并设置分析条件,可以让新手快速,方便地测试样品,并且用户可以很方便的重复之前的测量。 l PHI MultiPak 数据处理软件：MultiPak软件拥有最全面的俄歇能谱数据库。采谱分析,线扫描分析,成像和深度剖析的数据都能用MultiPak来处理。软件强大的功能包括谱峰的定位,化学态信息及检测限的提取,定量测试和图像的增强等。 l 选配件： 1. 真空室内原位样品泊放台； 2. 原位脆断； 3. 真空传送管； 4. 预抽室导航相机； 5. 电子能量色散探测器（EDS）； 6. 电子背散射衍射探测器（EBSD）； 7. 背散射电子探测器（BSE）； 8. 聚焦离子束（FIB）；l 应用领域： &bull 半导体器件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、界面扩 散现象分析、封装问题分析、FIB器件分析等。 &bull 显示器组件:缺陷分析、蚀刻／清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、接口扩 散现象分析等。 &bull 磁性存储器件:表面多层、表面元素、界面扩散分析、孔洞缺陷分析、表面污染物分析、磁 头缺陷分析、残余物分析等。 &bull 金属、合金、玻璃及陶瓷材料：表面沉积物分析、清洁污染物分析、晶间晶界分析等。

仪器简介：microCMA是一种俄歇光谱圆柱镜分析仪，专为许多不需要AES映射功能的俄歇分析应用而设计，这些应用包括以下分析：薄膜元素组成样品清洁度金属部件热氧化物轻元素表面薄膜的量化microCMA操作简单，易于维护，提供完整的定量表面敏感元素俄歇电子 （AES） 分析仪包，安装在 2.75“/70 mm CF 法兰上。对于元素分析，microCMA比独立的XPS系统便宜得多。完整的AES系统包括圆柱镜分析仪（带有集成的同轴电子枪），USB接口控制器以及Windows采集和数据软件。俄歇分析变得简单！基本配置：microCMA 分析仪、USB 接口控制器、带 15 英尺（4.6 米）电缆的前置放大器、数据采集软件以及手册。可选配件：XYZ转换器，9103 USB皮可安培计，CMA和前置放大器电缆的定制长度。独有的优异性能：紧凑的：适合 2.75“ / 70 mm CF 法兰（最小 1.52” / 38.6 mm 内径管）。现在只需一个分子泵和一个小型离子泵就可以建立一个俄歇光谱系统！成熟的设计：二阶聚焦提供了良好的透射率和分辨率。易于使用：USB控制和数据俄歇软件界面易于使用，使俄歇分析变得容易。功能强大：俄歇光谱（AES）是一种强大的表面敏感技术，可为您提供样品前几层单层的定量信息。microCMA的小直径使其能够安装在现有的沉积或分析室中。由于microCMA基于经典的圆柱形镜面分析仪设计，因此与较大的CMA相比，它具有相似的信噪比。基本上，microCMA收集的电子与较大的CMA相同 它只是收集靠近样品的电子。集成的 3 kV 电子枪简化了 CMA 与样品的对准。电子枪具有预热和调节等自动化功能。microCMA非常适合薄膜的元素表面分析和检查样品的清洁度CMapp Auger 软件提供对采集参数的全面控制，然后在采集后量化数据。应用说明和文章使用顺序表面反应在室温和 100 °C 下电子增强结晶氮化镓薄膜的生长 - Sprenger， Sun， Cavanagh， Roshko， Blanchard， George， 材料化学， U. Colorado - 2016具有二次电子噪声抑制功能的微型圆柱镜俄歇电子能量分析仪的设计与仿真 - Jay A. Bieber，南佛罗里达大学- 2017在室温和100°C-Sprenger，Sun，Cavanagh，Roshko，Blanchard，George - J Phys Chem C纳米界面下氮化硼薄膜的电子增强原子层沉积。科罗拉多大学 - 2018俄歇电子能谱与微同步辐射X射线光电子能谱研究Ba-Sc-O解吸对W（100）$-孟彩霞的影响， 李轶凡， 吴浩， 魏伟， 宁艳晓， 崔毅， 傅强， 包新和 - 物理化学 化学物理 - 2018开发和测试离子束分析的原位方法，用于使用AIMS诊断pdf测量托卡马克内部的高Z侵蚀 - Leigh A. Kesler，麻省理工学院 - 2019氧化气氛中Pt（111）上h-BN覆盖层的结构转变）$- Mroz， Kordesch， Sadowski， Tenney， Eads - 真空科学与技术杂志，B.布鲁克海文国家实验室 - 2020SO2在石墨烯上的吸附和反应动力学：超高真空表面科学研究$- Stach，Johnson，Stevens，Burghaus - 北达科他州真空科学与技术杂志 - 2021通过电子增强原子层沉积对钴膜进行低温沉积的空心阴极等离子体电子源- Sobell1，Cavanagh1，鲍里斯，沃尔顿，乔治 - 真空科学与技术杂志，美国科罗拉多州，海军研究实验室 - 2021

俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectrometer, AES）为微电子业常见的表面分析技术之一。原理是利用一电子束为激发源，使表面原子之内层能阶的电子游离出，原电子位置则会产生电洞，导致能量不稳定，此时外层电子会填补产生之电洞，进而释放能量传递至外层能阶电子，造成接受能量的电子被激发游离，游离的电子即为Auger电子。因其具有特定的动能，所以能依据动能的不同来判定材料表面的元素种类。PHI的710纳米探针俄歇扫描 提供高性能的俄歇（AES）频谱分析，俄歇成像和溅射深度分析的复合材料包括：纳米材料，催化剂，金属和电子设备。维持基于PHI CMA的核心俄歇仪器性能，和响应了用户所要求以提高二次电子（SE）成像性能和高能量分辨率光谱。PHI的同轴镜分析仪（CMA）提供了同轴分析仪和电子枪的几何实现高灵敏度多角度广泛收集，以便完成三维结构图，在纳米级技术的发展这是最基础的。为了提高SE成像性能，闪烁探测器（Scintillator）已被添加以提高图像质量，另再加上数码按钮的用户界面再一次的提高了易用性。在不用修改CMA和仍维持俄歇在纳米分析的优势下，再添加了高能量分辨率光谱模式，使化学态分析的可能再大大的提高。总括来说，700Xi以优越的俄歇纳米探针从世界ling先的俄歇表面分析仪器，提供了实用和成熟的技术，以满足纳米尺度所需要的广泛实验与研发的用途。同轴电子枪和分析几何和高级的俄歇灵敏度：710的场发射电子源提供了一个高亮度而直径小于6 nm的电子束以产生二次电子成像。710的同轴几何使用了“同轴式分析器（CMA）”，促使高灵敏度俄歇通过广泛角度收集进行分析，即使样品是表面平滑或复杂的形状或高表面粗糙度，都可以确保迅速完成所有分析程序。高稳定性成像平台：隔声外壳与振动隔离器提供更稳定的成像和分析。隔声外壳从真空控制面板降低频率范围从30赫兹到5K赫兹左右的20 dB的声压等级（SPL），稳定的温度大约降低系统造成SEM图像漂移。新的振动隔离器也减少了地面振动对扫描电镜图像和小面积分析的影响。增强的SE图像用户界面：PHI710增强SE成像性能，闪烁器检测器（Scintillator）已被添加在仪器上从而提高图像质量，加上数码按钮的用户界面更再次提高了使用的方便性。新的高分辨率光谱模式：随着PHI的新技术，能量分辨率可调从0.5%到0.05%。多种化学物质的状态可以更容易有效的被观察出来。PHI SmartSoft-AES用户界面：PHI SmartSoft是一个操作仪器上为用户的需要而着想的软件界面。该软件是任务导向型和卷标在顶部的显示指引用户通过引入样品，分析点的定义，并设置了分析。多个位置分析可以定义和zui佳范例的定位提供了一个强大的“自动Z轴调整”的功能。在广泛使用的软件设置，可让新手能够快速，方便地设置了测量，并在未来可以轻易的重复以往或常用的类似测量。

在开发新材料及薄膜制程上，为了有助于了解材料组成间的相互作用及解决工艺流程的问题，材料组成或薄膜迭层的深度分析是非常重要的。PHI 4700使用了AES分析技术为基础，搭配灵敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6扫瞄式电子枪、5 kV浮动柱状式Ar离子枪及高精密度自动样品座。针对例行性的俄歇纵深分析、微区域的故障分析，提供了全自动与及高经济效益的解决方法。PHI 4700是建基于Ulvac-Phi公司的高性能PHI 700Xi俄歇扫描纳米探针。它提供了高度自动化，低成本、高效益的方案进行例行俄歇深度分析和微米范围的故障分析。 PHI 4700可以轻易的配备上互联网的设备，以供远程操作或监控之用。全自动多样品纵深分析：PHI 4700薄膜分析仪在微小区域之纵深分析拥有jue佳的经济效益，可在SEM上特定微米等级之微小区域快速进行深度分析。图2显示长年使用的移动电话镀金电极正常与变色两个样品之纵深分析结果，两者材质皆为镀金之锡磷合金。从电极二（变色电极）可看到金属锡扩散到镀金膜上，因为界面的腐蚀而产生氧及锡导致电极变色。灵敏度半球型能量分析器：PHI 4700半球形能量分析器和高传输输入透镜可提供zui高的灵敏度和大幅缩短样品分析时间。除此之外，具有全自动的量测功能，此装置可在短时间内测量多个样品。 点选屏幕上软件所显示的样品座，可以记录欲量测的位置，对产品与工艺流程管理上之数据搜集可进行个别分析。10 kV LaB6扫瞄式电子枪：PHI的06-220电子枪是基于一个以LaB6为电子源灯丝以提供稳定且长寿命电子枪的工具，主要在氩气溅射薄膜时进行深度分析。06-220电子枪还可以：产生二次电子成像，俄歇测绘和多点分析。在加速电压调节从0.2至10千伏。电子束的zui小尺寸可保证小于80纳米。浮动柱状式Ar离子枪：PHI的FIG5B浮动柱状式Ar离子枪:提供离子由5伏到5千伏。大电流高能量离子束被用于厚膜，低能量离子束（250-500 V）用于超薄膜。浮动柱状式，确保高蚀刻率与低加速电压。物理弯曲柱会阻止高能量的中性原子，从而改善了溅射坑形状和减少对邻近地区的溅射。五轴电动样品台和Zalar方位旋转：PHI 15-680精密样品台提供5轴样品传送：X，Y，Z，旋转和倾斜。所有轴都设有马达及软件控制，以方便就多个样品进行的自动纵深分析。样品台提供Zalar（方位角）旋转的纵深剖析，利用旋转来降低样品在一个固定位置上的择优溅射，以优化纵深分析。PHI SmartSoft用户界面：PHI SmartSoft是一个被认同为方便用者使用的操作仪器软件。软件透过任务导向和卷标横跨顶部的显示指导用户从输入样品，定义分析点，并设定分析。多个分析点的定义和zui理想样品的定位是由一个强大的“自动Z轴定位”功能所提供。预存多样的操作设定，可让新手能够快速，方便使用。可选用配备：热/冷样品座样品真空传送管（Sample Transfer vessel）

油田岩屑录井放射性伽马能谱仪简介：RT-40代表了便携式伽玛射线谱仪的重大进步，为地球物理和环境应用提供了许多新特性。紧凑的，单手持拿与集成的GPS给用户非常愉快的现场操作体验。高灵敏度探测器与复杂的数学方法相结合，实时提供准确可靠的结果。GT-40和GT-40-S除了探测器的类型外，其他都是相同的。GT-40具有3 × 3”的NaI(Tl)探测器，灵敏度高，分辨率好，可在大多数现场应用中使用。GT-40-S具有2x2“带铅屏蔽的BGO探测器，应用于聚焦测量岩心或地层测量。GT-40可通过内部标定常数计算出K（%）、U（ppm）和Th（ppm）的浓度。测量结束后立即显示结果。它们可以存储在仪器中或通过蓝牙或Wi-Fi发送到外部设备。高灵敏度的集成GPS接收器，可以自动记录位置并存储在每一次测量的数据中。测量也可以通过语音标签记录。存储的语音信息可以通过内置扬声器重复。GT-40由内置充电器的高能可充电锂电池组供电。这允许实际的测量时间高达15小时多功能GeoView软件包提供所有必要的数据下载到电脑里，基于日历的测试结果，频谱视图，数据显示和将测量结果导出到地图软件上（例如谷歌地图）。特点：● 高灵敏度 使用 3”x 3” NaI(Tl)或 2”x 2” 屏蔽的BGO 探测器● 先进的数字信号处理器光谱仪● 自然本底下自动稳定● 大尺寸可读彩色显示器● 直观的用户导航操纵杆● 通过Wi- Fi或蓝牙进行无线通信● 集成GPS和语音记录的实时结果● 坚固的手持式设计应用：● 探测矿物● 油气探测● 地质探测● 地理测绘● K , U, Th 和 Cs--‐137 分析● 探测铀矿● 岩心录井● 环境监测方便携带：技术参数：探测器：GT-40：NaI(Tl), 体积345 cm3, 直径76 x 76 mm (3” x 3”), 双碱 PMTGT-40-S：BGO, 体积104 cm3, 直径51 x 51 mm (2” x 2”), 双碱 PMT，25 mm 厚度的铅屏蔽光谱仪：1024道, 40 MHz DSP，线性能量校正堆积排除器, 200 ns 分辨率显示器：彩色，穿透式, 360 x 240 dots, 72 x 54 mm (3.5”), 太阳下可读控制器：5点式带照明的导航杆声音部件：内置36 mm麦克风数据存储：最少2000个带全光谱，数据位置和语音信息的样本GPS：导航到 –162 dBm and –148 dBm 冷启动通信：数据传输、遥控装置通过： USB 2.0，1.2Class2 ，Wi-Fi 802.11n电源：7.2V/6600 mAh可充电锂电池(松下 CGR18650CG/2S3P) 最少可以操作20小时。外部交流适配器(12V/1A)充电。尺寸：直径120 mm x 420 mm重量：GT-40: 4 kg (8.8 lb)，GT-40-S:9 kg (19.8 lb)标准配置：GT-40 (GT-40-S) 谱 用户手册 交流电源适配器 1.5 米 USB 线 Geoview软件包 (CD) 坚固的Pelican牌储存和运输箱环境：操作温度范围 -10oC to +50oC ，IP-65 级防水防尘 RFI/EMF屏蔽符合FCC(47 CFR part 15)的A级CE认证

石油岩屑录井放射性伽马能谱仪简介：RT-40代表了便携式伽玛射线谱仪的重大进步，为地球物理和环境应用提供了许多新特性。紧凑的，单手持拿与集成的GPS给用户非常愉快的现场操作体验。高灵敏度探测器与复杂的数学方法相结合，实时提供准确可靠的结果。GT-40和GT-40-S除了探测器的类型外，其他都是相同的。GT-40具有3 × 3”的NaI(Tl)探测器，灵敏度高，分辨率好，可在大多数现场应用中使用。GT-40-S具有2x2“带铅屏蔽的BGO探测器，应用于聚焦测量岩心或地层测量。GT-40可通过内部标定常数计算出K（%）、U（ppm）和Th（ppm）的浓度。测量结束后立即显示结果。它们可以存储在仪器中或通过蓝牙或Wi-Fi发送到外部设备。高灵敏度的集成GPS接收器，可以自动记录位置并存储在每一次测量的数据中。测量也可以通过语音标签记录。存储的语音信息可以通过内置扬声器重复。GT-40由内置充电器的高能可充电锂电池组供电。这允许实际的测量时间高达15小时多功能GeoView软件包提供所有必要的数据下载到电脑里，基于日历的测试结果，频谱视图，数据显示和将测量结果导出到地图软件上（例如谷歌地图）。特点：● 高灵敏度 使用 3”x 3” NaI(Tl)或 2”x 2” 屏蔽的BGO 探测器● 先进的数字信号处理器光谱仪● 自然本底下自动稳定● 大尺寸可读彩色显示器● 直观的用户导航操纵杆● 通过Wi- Fi或蓝牙进行无线通信● 集成GPS和语音记录的实时结果● 坚固的手持式设计应用：● 探测矿物● 油气探测● 地质探测● 地理测绘● K , U, Th 和 Cs--‐137 分析● 探测铀矿● 岩心录井● 环境监测方便携带：技术参数：探测器：GT-40：NaI(Tl), 体积345 cm3, 直径76 x 76 mm (3” x 3”), 双碱 PMTGT-40-S：BGO, 体积104 cm3, 直径51 x 51 mm (2” x 2”), 双碱 PMT，25 mm 厚度的铅屏蔽光谱仪：1024道, 40 MHz DSP，线性能量校正堆积排除器, 200 ns 分辨率显示器：彩色，穿透式, 360 x 240 dots, 72 x 54 mm (3.5”), 太阳下可读控制器：5点式带照明的导航杆声音部件：内置36 mm麦克风数据存储：最少2000个带全光谱，数据位置和语音信息的样本GPS：导航到 –162 dBm and –148 dBm 冷启动通信：数据传输、遥控装置通过： USB 2.0，1.2Class2 ，Wi-Fi 802.11n电源：7.2V/6600 mAh可充电锂电池(松下 CGR18650CG/2S3P) 最少可以操作20小时。外部交流适配器(12V/1A)充电。尺寸：直径120 mm x 420 mm重量：GT-40: 4 kg (8.8 lb)，GT-40-S:9 kg (19.8 lb)标准配置：GT-40 (GT-40-S) 谱 用户手册 交流电源适配器 1.5 米 USB 线 Geoview软件包 (CD) 坚固的Pelican牌储存和运输箱环境：操作温度范围 -10oC to +50oC ，IP-65 级防水防尘 RFI/EMF屏蔽符合FCC(47 CFR part 15)的A级CE认证

MICROLAB350 - 俄歇电子能谱仪是一款高性能的，具有高灵敏度和高能量分辨率扫描俄歇电子能谱仪（AES）。 SEM分辨率7纳米和扫描俄歇映射（SAM）分辨率12纳米。

Thermo Fisher Scientific ESCALAB Xi+是新研发出的一款基于ESCALAB 250Xi产品后，具有可扩展功能、多种分析技术集成化的测试手段。该产品通过无与伦比的灵活性、完备的专业配置选项、直观的软件操作以及硬件配置，带给用户的是领先的的实验结果和生产力。强大的Avantage数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。入围优秀新品获奖理由：先进的成像探测器设计，用于定量XPI成像： 电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。空间连续的电阻阳极探测器创新技术，一方面使得XPI成像分辨率达1um，另一方面使得XPI成像得到数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。 可选配的EDS探测器，实现体相分析技术和表面分析技术的结合： 新设计Xi+系统可选配EDS探测器与俄歇电子枪结合，可实现样品纳米尺度的体相微区元素成分分析，EDS可探测微米深度的元素组成，可以用于材料深度剖析前的元素组成预判。体相敏感的EDS技术和XPS表面分析技术的结合可更直观地用于研究合金等的表面偏析行为。 标配的反射电子能量损失谱REELS分析技术，用于弥补UPS能带分析和XPS元素分析： REELS可以探测材料的能级和带隙结果，并可用于材料中H元素含量的定量。与UPS技术结合可了解完整的价带导带信息，并弥补XPS、AES等技术不能检测H元素含量的缺陷 发展的系列基于Xi+的成熟准原位样品处理、制备、反应系统: 基于Xi+，设计的一系列成熟的ALD、MBE样品制备系统，高温高压催化还原反应系统和样品退火系统，满足不同的科研项目需求。配备为提供最佳 XPS 性能而设计的单色化X射线源，确保ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针有最高的样品测试通量。多技术能力、一系列灵活的样品制备室及样品处理设备，使该仪器在解决任何表面分析问题时都能游刃有余。利用先进的 Avantage 数据采集和处理系统，从测试数据中挖掘尽可能多的信息。ESCALAB Xi+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针的特点：高灵敏度能谱小面积 XPS深度剖析能力角分辨 XPS标配离子散射能谱 (ISS)功能标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能标配“样品预处理”室多技术分析的多功能性多个样品制备技术可选全自动无人值守式分析多样品分析单色化X射线源双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm透镜、分析仪和检测器透镜/分析器/检测器一体化使 ESCALAB 250Xi XPS 能谱仪同时具备成像和小面积 XPS 分析能力的独特性两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检测——二维检测器用于成像，基于通道电子倍增器的检测器则用于需要检测高计数率的能谱分析透镜配备了两种电脑控制的光阑组件，一套视场光阑用于控制低至 20 μm 的分析区域，适用于小面积分析；另一套光阑则用于控制透镜的接收角，对于高质量角分辨 XPS 至关重要180° 半球型能量分析器深度剖析数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能提供方位角样品旋转多技术能力可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源技术选项非单色化 X 射线光源的XPS分析AES（俄歇电子能谱）UPS（紫外光电子能谱）真空系统5 mm 厚高导磁 金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳样品制备系统标配一体化的快速进样室和制备室额外的制备室可选Avantage 数据系统集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）管理从样品载入到报告导出的整个分析过程

??EDAX, X射线能谱仪,能量仪, EDS,扫描电镜,扫描电子显微镜,SEM,透射电镜, 透射电子显微镜, TEM, TEAM, SDD, 硅漂移探测器,Octane SDD, Octane Pro, Octane Plus,Octane Super, Octane Ultra, Apollo XLT SDDDAX是创新材料表征系统的领先供应商，提供能量仪（EDS），电子背散射衍射仪（EBSD），波谱仪（WDS），集成系统（EDS-EBSD，EDS-WDS，和EDS-EBSD-WDS），和微束X射线荧光能谱仪（Micro-XRF）。X射线能谱仪(EDS)——扫描电镜(SEM)用Octane SDD系列探测器能够以前所未有的速度采集高质量EDS(X射线能谱仪)数据。以前，由于高计数率会带来数据质量的损失，SDD(硅漂移探测器, Silicon Drift Detector)技术的速度优势一直没有得到充分实现。现在，由于Octane系列的面世，用户可以高速采集高质量数据，最大限度地发挥他们的材料分析能力。Octane SDD探测器型号Octane系列包括四个型号以满足显微分析的不同应用需求。 Octane Pro: 最适合氧化物、半导体和B-N-C的分析，这些材料需要优秀的分辨率来定量分析轻元素和识别低能X-射线谱线。 Octane Plus: 为广泛的应用提供卓越的性能和价值，包括材料科学、金属、聚合物，EDS-EBSD同步分析和3-D EDS。 Octane Super: 最适合对空间分辨率具有超高要求的纳米分析和X-射线产生有限的生物材料和其它材料。 Octane Ultra: 用于4-D分析，例如原位检测和反应特性，此类应用需要最大化X射线的收集。特点和好处先进的内置FET谱仪设计 Mn能量分辨率可达121 eV高速采集时仍能保持优秀的能量分辨率 所有计数率下保证数据质量 在面分布图速度高达200,000 cps时仍能进行高分辨率的定量分析最先进的脉冲处理器 最高的输入计数到存储数据转换效率。 以极短时间采集面分布图，提高用户工作效率。 TEAM™ 智能软件最优化用户分析时间，获得最佳的样品数据 智能诊断和智能采集最优化采集和分析条件。 智能脉冲堆积校正最大限度地减少了高计数率采集的影响，使SDD技术得到最大限度的应用。结论Octane系列充分实现了SDD技术的承诺 — 高计数率下的高质量EDS分析。它具有业界最稳定的分辨率，针对不同的应用进行设计，使用户可以有更多的时间探索材料，更好地认知材料。 X射线能谱仪(EDS)——透射电镜(TEM)用TEAM™ 透射电镜能谱仪配备了Apollo XLT SDD系列探测器，为透射电镜(TEM)提供终极的分析方案。Apollo XLT SDD系列探测器包括超薄窗口（SUTW）和无窗口（XLTW）两种型号。由于可以完整地传输低能X射线，Apollo XLTW可以为用户提供最佳的轻元素性能。与SUTW探头相比，其轻元素的测量灵敏度提高了500%，重元素的计数率增加了30%，从而大大提高了元素面分布的采集速度，增强了低含量轻元素的检测。特点和好处 所有电子部件均集成在探测器内，方便安装、服务、校准和远程访问 自动校准程序实现快速、可重复、准确设置，校准数据驻留于探测器上，远程访问时无需重新校准 紧凑型的探测器提供了安装的灵活性，适合于各种TEM(透射电镜) 30 mm2 SDD芯片技术，优化了立体角 超薄窗口型和无窗口型探测器均有优秀的轻元素测试性能，C分辨率均优于59 eV Mn的分辨率优于129 eV 直到100 kcps，分辨率稳定性都小于1 eV 峰位偏移直至250 kcps都小于1 eV 放大器时间常数从120 ns到7.65 s可选，便于获得最佳采集效果 高速以太网通信 当背散射电子过量时由马达控制自动缩回 针对TEM薄样品的定量算法Apollo XLT SDD系列探头将数据采集、电子信号处理集成在探头内，取消了单独的数据采集机箱，简化了设备安装。集成的探测器有简洁的外观设计，提高了性能，方便了远程访问，用户可以通过以太网线接入，消除了由传统电缆长度所导致的信号失真和损失。计算机可设置于探测器之外远达100米之处而不影响仪器的性能。智能化是TEAM™ TEM能谱仪的核心。智能化已经植入探测器，为探测器提供最好的保护，防止探测器在有害的条件下工作。当发现高能电子时，探头能够自动缩回至一个安全的位置，而无需用户人工干预，从而确保了探测器的安全运行。当需要进行维护的时候，通过远程登录的能力可实现优越的远程支持。记录在探测器中的工作历史记录也可以远程访问，以便进行快速、准确的评估。TEAM™ 能谱仪具有许多智能功能和现代化的用户界面，可自动简化分析并快速获得结果。不管操作者的技能如何，每次测试均可高效获得一致且准确的测量结果。TEAM™ 能谱仪也可以自动确定样品所含的元素，监视计数率、放大倍率、采集时间以及许多其它用于优化系统性能的工作参数。而交互式审查允许用户在完成分析之前以独特的方式预览结果。结论Apollo XLT SDD系列探测器完全集成了数据采集和电子信号处理设备，采用了TEAM™ 智能软件，是TEM上最直观、最易用的分析工具。该系列的无窗口型产品，进一步提升了采集效率和轻元素分析性能。TEAM™ 智能软件自动化的工作流程，革命性地改变了能谱仪的分析方式。无论使用者的技能水平如何，TEAM™ 每次都能提供卓越的测试结果。Apollo XLT SDD系列探测器结合TEAM™ 智能软件，为用户提供了最先进的TEM能谱仪系统。

Escalab 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器，它可以用于研究各种固体材料样品表面（1-10nm厚度）的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。本仪器以X射线光电子能谱为主要功能，还带有俄歇电子能谱、紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能。主要功能特点如下：1． 常规XPS，鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS，更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究，如催化领域。2． 微区XPS分析（单色化XPS），用于样品微区（＞20μm）表面成分分析，高能量分辨的化学态分析3． 深度剖析XPS，结合离子刻蚀技术对样品（如薄膜等）进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析。4． XPS成像，可以对元素或化学态进行表面面分布分析，使一些分析结果更直观。5． 反射电子能量损失谱REELS技术，可实现氢元素的检测。6． 离子能量损失谱ISS，可实现样品表面元素信息的检测7． 场发射俄歇AES，可实现样品表面100nm尺寸下的元素信息检测。可以进行成分分析、形貌像分析及扫描俄歇像分析等。8． 紫外光电子能谱（UPS），可以获得样品价带谱信息，对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据。还可以分析样品逸出功等。

DETECTIVE便携式高纯锗伽马能谱仪高纯锗手持式核素识别仪该产品是一款采用机械制冷的新型便携式高纯锗γ谱仪。它集中采用了当今先进与潮流的核探测器、机械制冷与通讯技术，体现了当今半导体核探测技术的最高水平，并达到相当程度的智能化。仪器设计用于国土安全、核应急、反恐、进出口管控与源项调查等，也可作为现场高纯锗谱仪用途。 仪器主要依赖于高纯锗优异的分辨率，同时集成GM管和He-3中子管（可选），因之能提供多种核测量信息，并由此快速而可靠地识别各种核素，再由软件给出完整的核素分类报告。在开放环境下，一次测量与“甄别”的过程通常在几秒到几十秒的时间。探测器：HPGe探测器：同轴P型高纯锗，效率≥40% 分辨率（FWHM）＜2.2keV@1.33MeV； ＜1.2keV@1.33MeV；制冷器设计连续工作寿命大于6万小时。电池供电情况下可持续工作至少4小时；25℃时从常温冷却至工作温度的典型时间小于10小时。g-剂量率探测器： 补偿型GM (Geiger Mueller)管：最大剂量率10mSv/h； 剂量率10mSv/h时指示“超量程”并连续报警。中子探测器（可选项）：1个3He计数管 。 功能模式：剂量模式：仪表盘显示实时剂量率，报警效果。搜索模式：界面显示计数率波动状态。核素识别：可按照预设模式（累积模式、定长模式）进行核素识别，显示识别结果，核素名称、分类、置信度、活度等信息。电子学： 状态显示：屏幕上实时显示仪器电池剩余量、探测器高压、探测器温度、系统运行时长、机内温度等。 系统变换增益：32K、16K、8K道可选。 仪器尺寸与重量：尺寸：16 kg，L440mm×H385mm×W185mm 工作环境：温度：-20℃ ~ 55℃；湿度：不大于90%（35℃时）

产品详情 JED-2300T 能谱仪 JED-2300T AnalysisStation是以“图像观察和分析”为基本理念的TEM/EDS集成系统。在分析数据过程中，自动采集电镜主机的倍率、加速电压等参数，进行数据管理。 产品特点： AnalysisStationJED-2300T AnalysisStation是以“图像观察和分析”为基本理念的TEM/EDS集成系统。在分析数据过程中，自动采集电镜主机的倍率、加速电压等参数，进行数据管理。 硅漂移检测器（以下简称SDD）的检测面积有30mm2、60mm2和100mm2三种。检测面积越大，检测灵敏度越高。JEM-ARM200F（HRP）配合使用DRY SD100GV检测器（检测面积为100mm2），可同时实现大受光面积和高分辨率， 可以清楚地识别B、C、N、O等轻元素。Dry SD100GV 快速元素面分析 DRYSD100GV检测器的灵敏度极高，测试Au催化剂颗粒只需一分钟。 上图: 样品　负载在Ti氧化物上的Au催化剂颗粒装置: JEM-ARM200F +　DRYSD100GV检测器测试时间: 大约1分钟 束流电流: 1nA像素数: 256ｘ256像素 实现原子分辨率的面分析 Sr和Ti的原子列被清楚地分离开来。 上图: 样品　SrTiO3100装置: JEM-ARM200F + DRYSD100GV检测器测试时间: 大约10分钟束流电流: 1nA像素数: 128ｘ128像素 play Back（回放）功能 用JEOL制造的EDS采集的元素面分布图，不仅保存了每一帧中各个像素点的谱图，还对每一帧中电子束形成的图像进行了存储。利用play back功能，可以进行多角度的分析如观测谱图等随时间的变化等。测试后数据能够回放，可以观察到样品按时间顺序发生的变化，这是至今为止无法实现的。此外，利用play back功能还可以截取任意指定的画面。 上图: 装置　JEM-2800+DRYSD100GV检测器样品: 岩盐像素数: 128ｘ128提取的帧号: 398帧s

利用 Thermo Scientific&trade Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统采集角分辨能谱，无须倾斜样品即可无损表征超薄薄膜新型技术产品所依赖的是固体近表面区域的设计。对于这种类型的材料，包括自组装单层、表面改性聚合物和半导体设备，确定表面几纳米的成分是关键。通过使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能够提供准确精密结果的 Avantage 数据系统的先进软件，Theta Probe X 射线光电子能谱仪系统能够帮助您做到这一点。描述Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统特性：专利的弧透镜技术，提供 60° 平行角范围内收集角分辨 XPS 能谱的能力X 射线单色器具有用户可选择的光斑尺寸（15 至 400 μm）系统能够处理大样品或多个样品CCD 样品对齐显微镜与样品表面垂直。透镜、分析仪和检测器弧透镜利用大接收角 (60°) 收集光电子大角度可以zui大程度提高灵敏度，并且允许在 PARXPS 测量中收集大角度范围透镜轴与样品法线成 50°，因此可以收集 20 至 80° 角度范围的电子（相对于样品法线）180° 半球型分析器在输出端配备一个二维检测器二维检测器提供多通道检测，多达 112 个能量通道和 96 个角度通道透镜有两种操作方式：传统模式和角度分辨模式X 射线源配备一个微聚焦单色器X 射线光斑尺寸范围 15 - 400 μm深度剖析数控式 EX05 离子枪可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能深度剖析可使用方位角样品旋转样品处理全电动样品台，能够实现 5 轴移动样品台可容纳大样品——X 和 Y 轴上的移动范围为 70 mm，Z 轴上的移动范围为 25 mm（高度）真空系统5 mm 厚高导磁?金属分析室，zui大程度提高磁屏蔽效率与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳Avantage 数据系统集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）管理从样品载入到报告生成的整个分析过程

产品详情日本JEOL能谱仪，JED-2300，JED-2300F JED-2300/2300F Analysis Station是以“图像观察和分析“ 为基本理念的TEM/EDS集成系统。通过与SEM的马达驱动样品台联动使用，可以进行大范围的观察和分析。 EDS通过检测被电子束激发出的样品特征X射线，确定样品含有的元素及成分比，可以进行微区的点分析、线分析及面分析。产品特点： JED-2300/2300F Analysis Station是以“图像观察和分析“ 为基本理念的TEM/EDS集成系统，通过与SEM的马达驱动样品台联动使用，可以进行大范围的观察和分析。EDS通过检测被电子束激发出的样品的特征X射线，确定样品含有的元素及成分比，可以进行微区的点分析、线分析及面分析。 JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列 可以在SEM图像上指定分析位置，开始EDS分析。 VID 将采集的X射线谱图和Visual PeakID（VID）合成的谱图进行比较，定性结果可以通过视觉、数值判断。 Play Back Play Back (回放) 功能用JEOL制造的EDS采集的元素面分布图，不仅保存了每一帧中各个像素点的谱图，还对每一帧中电子束形成的图像进行了存储。利用Play back功能，可以进行多角度的分析如观测谱图等随时间的变化等。测试后数据能够回放，可以观察到样品按时间顺序发生的变化，这是至今为止无法实现的。此外，利用Play Back功能还可以截取任意指定的画面。 Smile Station™ 2 Smile Station™ 2功能通过在多个视野上自动进行分析，生成SEM和元素面分布图的无缝蒙太奇图像，也可以在取得的视野上进行连续的元素面分布和点分析等。（专利号4175597） Dry SD 检测器 Dry SD 检测器（SDD检测器）与传统的EDS检测器不同，不需要液氮制冷。使用快速简单，同时实现了高分辨率和高计数率处理。

美国EDAX能谱仪 美国EDAX跨国集团是世界上最早生产能谱仪的厂家，隶属AMETEK集团公司材料分析部。自1962年成立以来就一直是国际上领先的X-射线谱仪和电子背散射衍射/取向成像微观分析系统的制造厂家，致力于发展先进的材料成分与结构仪分析技术和产品。 TEAM&trade EDS X-射线显微分析系统是一个智能化交互式的能谱分析系统。将能谱分析理论与专家的实践经验相结合，自动地设置最佳工作条件或提出建议、警告，实现了以能谱专家的知识和经验运行，彻底改变做能谱的工作方式。EDAX能谱仪与市场上Joel、FEI、日本精工、日立等所有电镜都可以匹配。仪器简介：能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。技术参数：Genesis Apollo X / XL(Standard SDD) 1. 探测器：a.有效晶体面积：10mm2，30mm2b.FET配置：集成于SDD芯片内c.分辨率：优于127eV，分辨率测试条件：100,000CPSd.技术特点：可工作于更短的时间常数(AmpTime)或更高的计数率而分辨率不下降适应对象：几乎所有SEM，钨灯丝或场发射。性能良好，可以满足所有常规分析需要，性价比高。 2. 数字脉冲处理电子学 ：这是能谱采集与数字化处理的核心，Genesis Apex采用专门为SDD能谱探测器设计的DPP III数字脉冲处理系统，可处理的最大输入计数率从500,000CPS提高到 1,000,000CPS，输出计数率从100,000CPS提高到350,000CPS。 主要特点：1. 最新设计的探头，能保证轻元素端有更好的分辨率。2. 设计的DPP III数字脉冲处理系统，可处理的最大输入计数率从500,000CPS提高到 1,000,000CPS，输出计数率从100,000CPS提高到350,000CPS。 3． 增强的Genesis 6 分析软件：保留Genesis原来的特点，如HPD可见峰剥离、SEC因子提高轻元素的定量分析精度、全谱面分布和元素侦探器(Element Detective)、ViP低真空分析校正等外，新增强的功能包括： EXpert ID&mdash &mdash 元素识别的一个创新性的新标准，她克服了传统的&ldquo 基于规则&rdquo 的峰识别技术准确识别重叠峰或弱小能谱峰的困难，运用了谱线之间物理关联的高级理念，同时结合传统的规则逻辑算法，就象一个物理专家一样帮助您进行复杂的峰识别，从而确保Peak ID的准确性。 SnapShot: 按照用户自定义的时间间隔自动采集能谱来研究电子束与试样的相互作用； 自动时间常数Auto：根据实验条件自动选取最价时间常数.

TEAM™ 透射电镜能谱仪配备了Apollo XLT SDD系列探测器，为透射电镜(TEM)提供终极的分析方案。Apollo XLT SDD系列探测器包括超薄窗口（SUTW）和无窗口（XLTW）两种型号。由于可以完整地传输低能X射线，Apollo XLTW可以为用户提供最佳的轻元素性能。与SUTW探头相比，其轻元素的测量灵敏度提高了500%，重元素的计数率增加了30%，从而大大提高了元素面分布的采集速度，增强了低含量轻元素的检测。 特点和好处所有电子部件均集成在探测器内，方便安装、服务、校准和远程访问自动校准程序实现快速、可重复、准确设置，校准数据驻留于探测器上，远程访问时无需重新校准紧凑型的探测器提供了安装的灵活性，适合于各种TEM30 mm2 SDD芯片技术，优化了立体角超薄窗口型和无窗口型探测器均有优秀的轻元素测试性能，C分辨率均优于59 eVMn 的分辨率优于129 eV直到100 kcps，分辨率稳定性都小于1 eV峰位偏移直至250 kcps 都小于1 eV放大器时间常数从120 ns 到7.65 s 可选，便于获得最佳采集效果高速以太网通信当背散射电子过量时由马达控制自动缩回针对TEM薄样品的定量算法 Apollo XLT SDD 系列探头将数据采集、电子信号处理集成在探头内，取消了单独的数据采集机箱，简化了设备安装。集成的探测器有简洁的外观设计，提高了性能，方便了远程访问，用户可以通过以太网线接入，消除了由传统电缆长度所导致的信号失真和损失。计算机可设置于探测器之外远达100米之处而不影响仪器的性能。智能化是TEAM™ TEM 能谱仪的核心。智能化已经植入探测器，为探测器提供最好的保护，防止探测器在有害的条件下工作。当发现高能电子时，探头能够自动缩回至一个安全的位置，而无需用户人工干预，从而确保了探测器的安全运行。当需要进行维护的时候，通过远程登录的能力可实现优越的远程支持。记录在探测器中的工作历史记录也可以远程访问，以便进行快速、准确的评估。 TEAM™ 能谱仪具有许多智能功能和现代化的用户界面，可自动简化分析并快速获得结果。不管操作者的技能如何，每次测试均可高效获得一致且准确的测量结果。TEAM™ 能谱仪也可以自动确定样品所含的元素，监视计数率、放大倍率、采集时间以及许多其它用于优化系统性能的工作参数。而交互式审查允许用户在完成分析之前以独特的方式预览结果。结论Apollo XLT SDD 系列探测器完全集成了数据采集和电子信号处理设备，采用了TEAM™ 智能软件，是 TEM 上最直观、最易用的分析工具。该系列的无窗口型产品，进一步提升了采集效率和轻元素分析性能。TEAM™ 智能软件自动化的工作流程，革命性地改变了能谱仪的分析方式。无论使用者的技能水平如何，TEAM™ 每次都能提供卓越的测试结果。Apollo XLT SDD 系列探测器结合TEAM™ 智能软件，为用户提供了最先进的TEM能谱仪系统。

AZtecLive是一种变革性的EDS分析方法，可以改变用户在SEM中进行样品筛选的方式。它将实时电子图像与实时X射线元素成像结合起来，为客户提供了一种更为直观的与样品互动的新方式。AZtecLive的硬件是强大的Ultim Max系列能谱，结合新一代的SDD探测器和Extreme的电子电路，提供了高性能的速度和灵敏度。实时元素成像通过Live Trace记录分析过的每一个位置，方便回溯感兴趣的元素及位置最大170mm2探测器定量分析最大计数率达到400kcps面分布图最大计数率达到1000kcps电镜样品制备必选耗材： AGG3939，双面碳导电胶带8mm×20m AGB7341，全自动型离子溅射仪 AGB7367A，全自动型高性能喷碳仪 51-OIQCTA，SEM及能谱多功能标样8mm×32mm Zeiss蔡司扫描电镜SEM专用全套耗材包 硅片衬底

新型数字化谱仪：TK-DSPEC-LF，-jr2.0, -TK-Pro & DigiDART配套高纯锗探测器的一款新型数字化谱仪。其设计功能完善，其稳定性业已经实际使用验证。针对高效率探测器或高 计数率条件下对信号处理的要求，结合软件，谱仪在数字化极零调 节、死时间校正和弹道亏损校正方面做了具有相当先进性和独到 性的设计。 谱仪整体功能与特性：全数字化控制，保证人机交互灵活探测器回温情况下高压自动切断功能（shutdown）多种滤波模式，可根据特定环境配置滤波参数，具备低频噪声抑制功能具备门控数字化基线恢复，自动极零，零死时间校正，弹道亏损校正等完 整先进功能最大数据通过率大于 100kcps，对高计数率样品能获得准确的测量结果支持 USB3.0 接口谱仪特征功能： 基础参数显示：系统的电源开启状态，高压开启状态，高压目标值，高压升降过程 动态显示。全数字化自动高压加载：用户根据探测器参数选定高压后，系统自动按指定的速率 和目标值进行高压加载，直到满足探测器要求。异常处理功能：当系统意外掉电，设备自动启动 UPS 功能，并按异常处理逻辑，进 行高压缓降，以保护探测器安全。抑制电荷收集时间效应功能：基于 FPGA 的硬件算法，利用快通道梯形脉宽来统计 电荷收集的方法简单实用高效。 具体参数指标： 系统非线性：积分非线性：≤ 0.01%；微分非线性：≤±0.28最大通过率：成形时间设置为上升时间 500ns，平顶时间 500ns时，系统等效的死时间约为 2.79μs，此时，最大脉冲通过率将达到 130Kcps。粗调增益：：由计算机选定为 1,2,4,8细调增益：由计算机设定为 0.45 至 1.00尺寸与重量：376D X 242W X 116 H mm, 2.2KG工作条件：0 C 到 50 C（包括 LCD 显示）。操作系统：Windows 7/ Windows10。显示/接口：320 240 像素(pixel) 有机发光半导体(OLCD)系统状态信息。220V市电接入端子，USB3.0接口。高压输出接口，探测器电源接口，探测器信号输入端子。

低本底多道γ能谱仪捷克GEORADIS RT-50 实验室伽马射线能谱仪自动送样γ能谱仪——单次测量时间小于5 分钟，测量精度优于0.02Bq/gRT-50实验室伽玛射线能谱分析仪是专门设计用于监测和检测各种金属材料、建筑材料、金属制品、地质样品、环境采样样品及食品中可能存在的放射性辐射。例如：钢铁厂内钢、尘、渣的快速辐射分析。测定建筑材料和岩石中钾、铀和钍的浓度。测量食品、动物饲料和环境样品中可能存在的放射性辐射。RT-50采用落地式设计，操作方便快捷。在拥有极高的检测灵敏度的同时，操作者可以在5分钟内快速完成一个完整的分析，实时的能量频谱显示功能让你轻松了解整个检测过程，最终的测量精度可达到0.02 Bq/g (60Co)，自动分析数据不仅实时显示在设备信息显示屏上方便快速浏览、打印，同时设备会自动保存包括所有样品信息和完整的日志，操作者可以轻松下载所有已保存的数据至电脑终端以进行进一步的分析、统计。借助高性能的RT-50伽玛射线光谱仪，操作者就可以轻松的在实验室完整的分析测量样品，获得高质量、可靠性的测量数据。通过使用高容量闪烁探测器并在其上添加大量屏蔽，可以大幅度缩短测量时间和减少被测样品量，实现了极高的灵敏度。LabCenter的核心是一种独特而新颖的测量伽马射线谱活性的方法，可以精确测量含有不同放射性同位素的混合样品的活性。RT-50是一个1024通道的伽玛谱仪，带有一个圆柱形碘化钠闪烁探测器(直径3英寸x 3英寸)，封装在厚铅屏蔽中，最小壁厚为3.5英寸(9厘米)。特别设计的盖子，便于样品的装载和拆卸。高压电源，放大器，模拟-数字转换器都集成在该分析仪上。RT-50谱仪通过USB在计算机的控制下工作。RT-50系统组成1、多通道γ-射线光谱分析器（MCA）,置于一个高密度屏蔽落地柜中 多通道γ-射线光谱分析器（MCA）是该系统心脏，它是一个高度可靠、自包含1024个通道的脉冲幅度分析器，分析器内部核心是一个高性能的碘化钠(thallium doted)NaI（TI）闪烁晶体。内部数字化处理器进行实时能量线性化，并提供一个完整的线性频谱。RT-50前端是一个复杂、厚重的高屏蔽的滑动式盖板，但是打开却非常轻松，操作者可以非常方便的对样品容器进行清洁。RT-50的机柜采用坚固的箱体设计，内部集成超厚铅或者钢（可选）屏蔽层，以最大限度的提高灵敏度和抗干扰性能。2、 LabCentre专用PC端数据分析软件 多通道γ-射线光谱分析器（MCA）是由安装在电脑上的Lab Centre软件控制，Lab Centre是一个多平台的程序（支持Windows、Linux）,软件可实现包括校准、样品的测量和结果归档等多种功能。开源的SQL数据库设计可以让操作者将测量数据方便的集成到自己的系统中。Lab Centre简化了用户输入样品描述和输出协议，操作者可以在简单的总计数模式、背景计数比较模式、复杂的多组分分析模式中选择不同的评估模式3、一组标准校准数据，支持自定义扩展。 优化的校准功能和内部数据库预先测量标准可以免除通常校准程序的费时、烦锁。特 点：l 高灵敏性，可以快速、精确的测量一个给定样本的放射性，测量灵敏度可达0.02 Bq/gl 内部集成一个高灵敏度NaI(TI)闪烁晶体，自包含1024个通道的脉冲幅度分析器l 检测速度快,全样本分析只需5分钟l 易于使用，图形菜单驱动界面，快速、高效地输入样品数据和得到测量结果，操作者无需复杂的使用训练l 易于校准，优化的校准功能消除常规校准的烦锁l 强大的数据处理功能，跨平台的开源SQL数据库，操作者可以方便的将存储数据集成到自己的系统中l 完善的数据分析，可以快速、方便的查看、打印、存储数据，或者将数据发布到网络典型应用：l 快速监测金属、炉渣、灰尘等的放射性污染l 适应于炼钢、废钢回收和其它金属处理行业l 适应于地质和地球物理领域中对天然放射性核素浓度的测量l 环境放射性安全监测l 食品和食品生产行业放射性安全监测低本底多道γ能谱仪技术参数探测器: NaI(TI) 体积0.35l ，76 x 76 mm (3"×3") PMT,分辨率：优于7.5%@662 keV.高压电源: 500 - 1000V DC能量范围：20keV-3.0MeV输出: NaI(TI) 0.35 ，76 x 76 mm (3"×3") bi-alkali PMT 正脉冲，上升时间优于0.5μS 最大振幅线性范围+2.5V 双极整形，时间常数1μs 增益粗调高压可控 增益细调+/-3%（在1000 gain steps）谱仪稳定性:两点偏移和增益校正，662 keV typ. at ch. 220.精度 +/- 0.1 ch.ADC:近似值，双缓冲，高速高线性 转换时间1.5μs 1024通道 down sampled from 65535 数位可调 ADC zero +/- 80 mV 数位可调 LLD 范围从第2到第30通道 自动死时间校正 ，精度优于0.25%非线性:在95%范围内的全比例积分上限为0.1% 在95%范围内的最大差值为全尺寸差值的3%通信接口:USB参考源:137Cs - 9 kBq (0.25μCi)功耗:100mA操作环境:操作温度范围：0℃- 40℃ 储存温度范围：-20℃-70℃尺寸和重量:HxWxD 770mm×360mm×620mm 重量410 kg (如果选用铅防护盖580 kg)软件要求:操作系统 Windows 2K ，XP ，Vista ，Windows 7 或Linux with Kernel 2.6 FirebirdSQL 2.0标准测量室：铝空心圆柱体,壁厚1.5mm，直径150mm、高度150mm的铝空心圆柱体。标准的测量室可以被马林杯（Marinelli Beaker）中的一个被允许测量的小室所取代，这个测量室可以达到700ml，适用于直径为3英寸的探测器。

高纯锗γ伽马能谱仪器第一部分：高纯锗探测器 高锗探测器由于其无与伦比的优异分辨率，是核测量最精密和最先进的工具，在核物理 研究与核测量中具有不可替代的地位。 完整的高纯锗探测器的制造过程包括晶体制备、探测器结构设计、高性能低噪声前置放大 器设计、超高真空封装与生产成型、指标测试和稳定性考核等。经国家权威计量部门检定， 其关键 性能指标优异、稳定性良好。 高纯锗探测器的工作机理：高纯锗晶体的杂质浓度低至 1010 原子/cm3 量级，是世界上最纯 净的物质。高纯锗探测器表面 分别有 N+、P+电极，在该两种电极上加反向偏压后，由于高 纯锗晶体极低的杂质浓度，其内部将工作在全耗尽状态，此时伽马射线在其内部沉积能量产生 的载流子在电场的作用下被收集，形成的电流信号通过前置放大器被转换为与沉积能量成正比 的电压信号。 高纯锗探测器所采用的晶体外形为一圆柱体，在 其外表面为 N+电极，在其内部电极孔内部为 P+电极， 两种电极分别使用成熟的锂扩散、硼离子注入技术制 造。威视系列高性能 P 型同轴高纯锗探测器的 N+电 极约为 0.5mm 厚，P+电极约为 0.5μm 厚。 探测器的前置放大器可根据用户需求选用阻容反馈或脉冲反馈前放，性能优异，长期稳 定性好，除适配威视系列数字谱仪外，还可兼容市场上主流的谱仪产品。 威视系列高性能 P 型优化高纯锗探测器配置垂直冷指，并可根据用户需要配置“L 形”、 “U 形”、水平冷指等定制化设计，同时为用户在探测器封装与冷指材料上提供超低本底选项。为保证制冷效率，探测器舱室应保持严密的真空条件。P 型探测器的总体特性：能量响应范围：30keV 至 10MeV；相对探测效率 10% 至 80%； 可满足绝大部分样品测量应用和大部分研究测量应用的要求； 全面保证相对效率、分辨率、峰康比和峰形指标； 可配置普通阻抗反馈前放或适于高计数率的脉冲光反馈前放。 TKGEP-S 系列探测器型号与性能指标：型号 晶体尺寸(mm)能量分辨率-FWHM(≤keV)峰形(≤)峰康比 （≥） 效率 （≥） 直径 厚度 @59.5keV@122keV@1.33MeVFW.1M/FWHMFW.02M/FWHMTKGEP-S1250300.700.801.81.92.73212%TKGEP-S3070300.700.851.81.92.74530%TKGEP-S4070400.750.901.852.02.84840%TKGEP-S5085300.850.951.852.03.05350%TKGEP-S6090300.901.01.902.03.05860%TKGEP-S7085500.951.11.952.03.06270%第二部分：谱仪（多道分析仪） 配套高纯锗探测器的一款新型数字化谱仪。其设计功能完善，其稳定性业已经实际使用验证。针对高效率探测器或高 计数率条件下对信号处理的要求，结合软件，谱仪在数字化极零调 节、死时间校正和弹道亏损校正方面做了具有相当先进性和独到 性的设计。 谱仪整体功能与特性：全数字化控制，保证人机交互灵活探测器回温情况下高压自动切断功能（shutdown）多种滤波模式，可根据特定环境配置滤波参数，具备低频噪声抑制功能具备门控数字化基线恢复，自动极零，零死时间校正，弹道亏损校正等完 整先进功能最大数据通过率大于 100kcps，对高计数率样品能获得准确的测量结果支持 USB3.0 接口谱仪特征功能： 基础参数显示：系统的电源开启状态，高压开启状态，高压目标值，高压升降过程 动态显示。全数字化自动高压加载：用户根据探测器参数选定高压后，系统自动按指定的速率 和目标值进行高压加载，直到满足探测器要求。异常处理功能：当系统意外掉电，设备自动启动 UPS 功能，并按异常处理逻辑，进 行高压缓降，以保护探测器安全。抑制电荷收集时间效应功能：基于 FPGA 的硬件算法，利用快通道梯形脉宽来统计 电荷收集的方法简单实用高效。 具体参数指标： 系统非线性：积分非线性：≤ 0.01%；微分非线性：≤±0.28最大通过率：成形时间设置为上升时间 500ns，平顶时间 500ns时，系统等效的死时间约为 2.79μs，此时，最大脉冲通过率将达到 130Kcps。粗调增益：：由计算机选定为 1,2,4,8细调增益：由计算机设定为 0.45 至 1.00尺寸与重量：376D X 242W X 116 H mm, 2.2KG工作条件：0 C 到 50 C（包括 LCD 显示）。操作系统：Windows 7/ Windows10。显示/接口：320 240 像素(pixel) 有机发光半导体(OLCD)系统状态信息。220V 市电接入端子，USB3.0接口。高压输出接口，探测器电源接口，探测器信号输入端子。第三部分：液氮回凝制冷器 采用低振动长寿命脉冲管制冷机，运行寿命长于 10 年； 25L 液氮容器，不断电条件下可连续工作两年以上； 对探测器分辨率无影响； 可匹配垂直、水平与弯头型冷指； 液晶显示屏实时显示液氮水平、制冷机运行状态等信息； 可选购基于无线技术的遥控器，远程控制制冷系统或显示运行状态； 配有自动式液氮填充接口，可自动加注液氮； 在制冷维系时长为 48 小时前发出提示与报警； 外形尺寸：64.5cm 高 x 45.6cm 直径（不含探测器）； 功耗：运行时小于 150W，启动时最大 250W； 工作环境：0 - 35℃，相对湿度 20%至 80%（无冷凝）； 噪声：1m 处小于 60 分贝。第四部分：伽马谱软件包 研制开发一套完整的实验室高纯锗伽马谱仪，除了高纯锗探测器这一核心部件之外，还需要在与其配套的制冷器、谱仪和分析软件上下足十分的功夫。 历经十年的反复磋磨与雕琢，目前这款即将商品化的TKGammaWiz软件包已具备完整而 强大的功能。 它是一个完整的软件包，只需一次安装，用户即可实现如下功能： 系统的参数设置与硬件控制，包括增益细调、启动数字化稳谱、调节高压、显示实 时间/活时间和脉冲宽度、 系统的能量与效率刻度。初始化安装时，软件会提示用户进行参数设置与能量/效 率刻度。 能谱获取与显示。具有多路谱图同步获取功能。 谱分析与活度计算。多种寻峰方法与峰面积计算方法、多种本底算法、完善的各种校正功能，以期得到最小的不确定度。 分析结果报告与质量保证。完整的数据报告会给出每一次测量的条件与结果，以保 证随时可以回溯。 它具有如下鲜明的个性化功用与特点： 设计有可切换的操作员（operator）与专家（expert）两种使用权限，以保证系统 与数据安全可靠。 独特的能谱采集回放功能。设计用于当数据超出设置的限值、或不确定度较高时， 从源头上予以确认或诊断。 对具备”批处理”条件的样品，可定制流程化的“一键分析”。 具体参数与特性： 刻度：支持能量、峰形、效率刻度，可人工刻度，也可载入存储的数据文件。效率曲线可 载入自主研发的无源效率刻度软件产生的效率刻度文件，并支持三种拟合方法：单一函数多 项式拟合、插值法、带“拐点”（Knee）的多项式拟合。 寻峰：支持 Mariscotti 法寻峰，可自动或手动完成寻峰。 本底确定方法：自动确定法、SNIP剥谱法、峰侵蚀法等。软件会自动选定最佳方法。 分析用核素库： 软件包含默认的 2000 个核素的衰变纲图与相应的伽马射线能量数据, 用 户可在此基础上进一步编辑并生成自己的自定义子库。软件核素库支持对核素名称、质量、 能量的查询，和对母子核的编辑。 核素识别的方法： 软件默认使用基于库寻峰的核素识别方法，具体执行程序如下： 使用广义二阶差分方法初步寻峰，根据寻峰结果对核素库进行筛选。用峰侵蚀方法分析全谱本底，扣除本底后，在库峰位所在能量点用最小二乘法进行峰拟合作为寻峰结果。 分析后的首选核素将会直接标注在谱上，方便查看。 谱分析中的校正：母子核衰变校正；样品集与谱获取期间的衰变校正。 MDA 计算：Currie 算法，后续可扩展 ORTEC MDA 等 18 种算法。分析结果报告：报告主要包括能谱信息、刻度、分析设置、分析峰、分析核素几个部分内容，支持 pdf、rpt、doc 三种格式。 界面：默认 office 风格，可自行切换。一图展示能谱、寻峰、核素识别结果等内容，并 可根据指定核素计算显示其余能量峰的高度。适应的操作系统：Windows7/810 32/64 位操作系统。第五部分：实验室无源效率刻度软件 蒙特卡罗程序包：基于 Geant4 软件程序包，能够准确模拟光子与物质相作用的整个过程。 探测器类型：支持同轴型、面型、井型三种类型探测器。 能量范围：10keV-7000keV； 刻度角度：支持任意角度刻度。 探测效率：支持真实物理级别的级联符合校正，通过自研能量沉积算法获取探测效率。 常见容器库：内置 9 种常见的容器库，支持圆柱、圆盘、烧杯、马林杯、U 型杯、盒子、球 型、点源、横向圆柱等对称型样品模型。 材料库工具：内置 40 余种常见材料，允许用户自定义材料。 3D 视觉及几何校验：提供快速 3D 视觉及更精细的几何模型定义，提供完整的几何模型校验。 输入参数敏感性分析：提供输入参数敏感性分析工具，方便用户定位影响效率刻度的参数项。 自表征校正工具：允许用户自主完成探测器表征，无需返厂，确保刻度的准确性。 效率刻度拟合公式：允许用户通过拟合公式计算不同能量对应的探测效率。 刻度结果报表:支持完整刻度结果数据的报表预览及打印。 适应的操作系统：Windows7/8/10 64 位操作系统。第六部分：铅室1.标准铅室 TKLBS-G2 是一款顶开门压杆式低本底铅室，用于高纯锗γ能谱仪系统，屏蔽环 境本底对探测过程的干扰，提高测量的准确性。具体参数： 外层材料：1cm 低碳钢；中层材料：10cm 低本底铅 4π 方向屏蔽；内层材料：3 mm 无氧铜；结构：压杆式顶部平移开门设计； 承重桌材料：低碳钢；占地面积：65cm x 65cm；内腔尺寸：Φ310mm x 409mm；重量：大于 1.1 吨； 铅室说明：分三个型号，TKLBS-G1，TKLBS-G2，和TKLBS-U，TKLBS为low background shelid低本底屏蔽的缩写，G1代表Grad1等级1，使用铅材料厚度为10cm，本底保 证＜3.0cps，常规值＜2.8cps；G2代表Grad1等级2，使用铅材料厚度为15cm，本 底保证＜2.0cps，常规值＜1.6cps；U代表Ultra超级，使用铅材料厚度为15cm， 同时使用液氮挥发气体赶走铅室内腔空气，使之降低空气中氡的影响，本底保证＜1.0cps。按照约定俗称，以上本底均针对40%效率高纯锗探测器。2.超低本底铅室 TKULBS-G 是一款顶开门压杆式超低本底铅室，用于高纯锗γ能谱仪系统，屏蔽环境本底 对探测过程的干扰，提高测量的准确性。本底指标：本底指标：在正常放射性环境下 50keV 至 3MeV 范围内保证值小于 1.2cps（40%效率）， 典型值约 1cps 左右。具体参数： 高度 682.1 mm (26.9 in.)； 直径 558.8 mm (22.0 in.)； 内腔: 直径 228.6 mm (9 in.)； 深度：355.6 mm (14 in.)；最外层：9.5 mm (3/8 in.) 厚的低碳钢； 屏蔽层: 152 mm (6 in.)厚的低本底铅； 内衬：1 mm 厚的锡与 1.5mm 厚的无氧铜 重量: 1625 Kg 喷漆: 浅灰色环氧漆 桌子高度：68.5-765 .5cm 高度可调可选超低本底内衬：2.5cm 厚的 25Bq/kg 的超低本底铅。

全自动低本底多道γ能谱仪捷克GEORADIS RT-50 实验室伽马射线能谱仪自动送样γ能谱仪——单次测量时间小于5 分钟，测量精度优于0.02Bq/gRT-50实验室伽玛射线能谱分析仪是专门设计用于监测和检测各种金属材料、建筑材料、金属制品、地质样品、环境采样样品及食品中可能存在的放射性辐射。例如：钢铁厂内钢、尘、渣的快速辐射分析。测定建筑材料和岩石中钾、铀和钍的浓度。测量食品、动物饲料和环境样品中可能存在的放射性辐射。RT-50采用落地式设计，操作方便快捷。在拥有极高的检测灵敏度的同时，操作者可以在5分钟内快速完成一个完整的分析，实时的能量频谱显示功能让你轻松了解整个检测过程，最终的测量精度可达到0.02 Bq/g (60Co)，自动分析数据不仅实时显示在设备信息显示屏上方便快速浏览、打印，同时设备会自动保存包括所有样品信息和完整的日志，操作者可以轻松下载所有已保存的数据至电脑终端以进行进一步的分析、统计。借助高性能的RT-50伽玛射线光谱仪，操作者就可以轻松的在实验室完整的分析测量样品，获得高质量、可靠性的测量数据。通过使用高容量闪烁探测器并在其上添加大量屏蔽，可以大幅度缩短测量时间和减少被测样品量，实现了极高的灵敏度。LabCenter的核心是一种独特而新颖的测量伽马射线谱活性的方法，可以精确测量含有不同放射性同位素的混合样品的活性。RT-50是一个1024通道的伽玛谱仪，带有一个圆柱形碘化钠闪烁探测器(直径3英寸x 3英寸)，封装在厚铅屏蔽中，最小壁厚为3.5英寸(9厘米)。特别设计的盖子，便于样品的装载和拆卸。高压电源，放大器，模拟-数字转换器都集成在该分析仪上。RT-50谱仪通过USB在计算机的控制下工作。RT-50系统组成1、多通道γ-射线光谱分析器（MCA）,置于一个高密度屏蔽落地柜中 多通道γ-射线光谱分析器（MCA）是该系统心脏，它是一个高度可靠、自包含1024个通道的脉冲幅度分析器，分析器内部核心是一个高性能的碘化钠(thallium doted)NaI（TI）闪烁晶体。内部数字化处理器进行实时能量线性化，并提供一个完整的线性频谱。RT-50前端是一个复杂、厚重的高屏蔽的滑动式盖板，但是打开却非常轻松，操作者可以非常方便的对样品容器进行清洁。RT-50的机柜采用坚固的箱体设计，内部集成超厚铅或者钢（可选）屏蔽层，以最大限度的提高灵敏度和抗干扰性能。2、 LabCentre专用PC端数据分析软件 多通道γ-射线光谱分析器（MCA）是由安装在电脑上的Lab Centre软件控制，Lab Centre是一个多平台的程序（支持Windows、Linux）,软件可实现包括校准、样品的测量和结果归档等多种功能。开源的SQL数据库设计可以让操作者将测量数据方便的集成到自己的系统中。Lab Centre简化了用户输入样品描述和输出协议，操作者可以在简单的总计数模式、背景计数比较模式、复杂的多组分分析模式中选择不同的评估模式3、一组标准校准数据，支持自定义扩展。 优化的校准功能和内部数据库预先测量标准可以免除通常校准程序的费时、烦锁。特 点：l 高灵敏性，可以快速、精确的测量一个给定样本的放射性，测量灵敏度可达0.02 Bq/gl 内部集成一个高灵敏度NaI(TI)闪烁晶体，自包含1024个通道的脉冲幅度分析器l 检测速度快,全样本分析只需5分钟l 易于使用，图形菜单驱动界面，快速、高效地输入样品数据和得到测量结果，操作者无需复杂的使用训练l 易于校准，优化的校准功能消除常规校准的烦锁l 强大的数据处理功能，跨平台的开源SQL数据库，操作者可以方便的将存储数据集成到自己的系统中l 完善的数据分析，可以快速、方便的查看、打印、存储数据，或者将数据发布到网络典型应用：l 快速监测金属、炉渣、灰尘等的放射性污染l 适应于炼钢、废钢回收和其它金属处理行业l 适应于地质和地球物理领域中对天然放射性核素浓度的测量l 环境放射性安全监测l 食品和食品生产行业放射性安全监测技术参数探测器: NaI(TI) 体积0.35l ，76 x 76 mm (3"×3") PMT,分辨率：优于7.5%@662 keV.高压电源: 500 - 1000V DC能量范围：20keV-3.0MeV输出: NaI(TI) 0.35 ，76 x 76 mm (3"×3") bi-alkali PMT 正脉冲，上升时间优于0.5μS 最大振幅线性范围+2.5V 双极整形，时间常数1μs 增益粗调高压可控 增益细调+/-3%（在1000 gain steps）谱仪稳定性:两点偏移和增益校正，662 keV typ. at ch. 220.精度 +/- 0.1 ch.ADC:近似值，双缓冲，高速高线性 转换时间1.5μs 1024通道 down sampled from 65535 数位可调 ADC zero +/- 80 mV 数位可调 LLD 范围从第2到第30通道 自动死时间校正 ，精度优于0.25%非线性:在95%范围内的全比例积分上限为0.1% 在95%范围内的最大差值为全尺寸差值的3%通信接口:USB参考源:137Cs - 9 kBq (0.25μCi)功耗:100mA操作环境:操作温度范围：0℃- 40℃ 储存温度范围：-20℃-70℃尺寸和重量:HxWxD 770mm×360mm×620mm 重量410 kg (如果选用铅防护盖580 kg)软件要求:操作系统 Windows 2K ，XP ，Vista ，Windows 7 或Linux with Kernel 2.6 FirebirdSQL 2.0标准测量室：铝空心圆柱体,壁厚1.5mm，直径150mm、高度150mm的铝空心圆柱体。标准的测量室可以被马林杯（Marinelli Beaker）中的一个被允许测量的小室所取代，这个测量室可以达到700ml，适用于直径为3英寸的探测器。

产品优势：1）最优的电路集成处理，一次性完成数据解析2）能量范围 0.025eV~20MeV(最高可到5GeV)3）灵敏度：0.5cps/μ SV/h 探测器响应不受高能辐射环境影响4）性价比高，一套系统的价格包含各种价值不菲的解谱软件、标准刻度证书等应用范围：1）科学研究2）国土安全3）货物检验4）校准实验室5）辐射防护的散射辐射场特性研究6）所有涉及需要测量快速和精确中子能谱测量

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。1 分析元素范围： F – U2．分析元素的浓度范围： 100% ---- 0.X ppm超高灵敏度探测器技术，最低检出限可达到0.x ppm 级。 3．高性能电制冷探测器及超大面积高效晶体技术：高性能电制冷探测器Si(Li) 探测器，为高效率高灵敏度探测器, 免维护，使用维护为零费用。 超大晶体面积，大于15平方毫米。可获得更高灵敏度的探测。而一般能谱仪探测器晶体面积仅有10平方毫米，探测器效率较低，分析时间较长，并且是液氮制冷方式，仪器使用和维护费用每年需1万元人民币，并且带来日常维护的液氮操作的危险性。晶体厚度： 3.5毫米 对重元素有超高的探测灵敏度Mn Ka 分辨率优于 155eV , CPS 3000/S全数字脉冲处理器技术； 信号处理速度 10,000,000 cps采用高性能强束流端窗X-光管技术。实际工作时仅在激发样品采谱时光管打开，其它时间光管关闭状态。有效延长使用寿命，一般使用可达10-15年。比较一般荧光能谱仪使用的侧窗发射，和常开式发射的X-光管技术，其寿命长达5-7倍，激发强度高120%。普通侧窗技术X-光管是对其他能谱仪是消耗性器件，一般使用寿命仅为2-3年，更换一只普通50w光管的价格约为8-10万人民币5． 全数字脉冲处理器技术，可同时选择8种分析条件。优化分析条件适用于多元素同时分析应用，特别适用于各种基体的金属固体，粉末，等形态的材料。适合各种塑料 RoHS/WEEE分析，玻璃，水泥，陶瓷材料分析，适合黑色及有色金属，贵金属成分，地矿产品成分检测，及各种浆状物和液体材料的成分分析应用。一般能谱仪使用的是模拟脉冲处理器技术，信号和噪声混杂处理，信噪比差。对分析速度和元素间定量分析影响较大。6． 高级的FP无标样分析技术，可获得快速的定性和定量，半定量分析结果。QUANT’X具有完全无标样技术，少标样，类似标样技术。7. 快速分析，低含量100ppm量级元素分析，仅需要100秒---150秒钟完成测定

清晰的多功能测量装置和细管径几何构型可确保在常规基础上快速可靠的采集 TEM EDS 数据。使用 HyperMap 或谱图获取高光谱成像，我们的软件保存每个像素的谱图和定量分析所需的所有元数据，用于之后的检测和处理。适合不同电子显微镜极靴类型的的 EDS 细管径设计和优化的EDS 几何构型确保了MAX信号采集角和检出角有助于避免试样倾斜、吸收、阴影和系统峰无窗探测器可进一步提高检测效率，特别是在低能端，可用于轻元素和高核电荷数元素 K、L、M 和N 线系能量峰的检测默认模式下自动回缩和自定义可确保探测器更长的使用寿命和更丰富的实验应用EDS 可用于原位实验，具有不断变化的数据流，比如高温实验全面的软件套件 ESPRIT，可用于在线和离线的数据分析

CEL-QPCE2010太阳能硅电池光谱响应系统（QE/IPCE）适用电池：单晶硅、多晶硅太阳能电池；交流分析模式下的材料性能分析测试项目：绝对光谱响应，外量子效率，光谱透过率，光谱反射率（选配），内量子效率（选配）、标准太阳 AM1.5G 照射下的短路电流密度、表面均匀度等。 l 外量子效率测试： 利用太阳电池光谱响应的测量，可以得出太阳电池的量子效率 η(λ)，l 光谱反射率测试：将单色仪输出的单色光输入积分球，分别将已知光谱漫反射率的标准白板和被测太阳能电池放到积分球的一个开口处，测量积分球另一开口处的探测器的输出光谱电流，通过比?