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二维轮廓仪

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二维轮廓仪相关的资讯

  • 历史回眸 | 纵览KLA光学轮廓仪的创新发展史
    KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合,是早先各品牌合力创新的结果:1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics® 推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪,具有埃米级灵敏度,可用于超光滑表面的相移干涉测量,以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司,为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪,并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪,它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上,从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合,扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年,Zeta-200 发布,带有自动化载台,并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起,测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距,从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统,还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后,通过自动缺陷检测功能,Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类,如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台,并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术,为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形,从而影响器件的性能。因此,封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度,从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量,例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年,将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合,推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法,并搭配创新且易用的软件,用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案,用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率,推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量,对晶硅光伏的转化效率产生重要影响,因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要,因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案,可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺,该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化,从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式(HDR)为金属栅线工艺提供了测量解决方案,可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中,HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年,推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品,提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪,可以适用于多种应用场景,包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量,是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团,为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术,扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量,支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline® ,利用网络浏览器和强大的智能手机功能,使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据,包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜(如原子力显微镜)和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据,对其进行分析,并与同事共享测量结果。ProfilmOnline® 允许用户通过跨平台的任意设备,随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能,提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上,更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM,从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量,如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性(n、k 值)的测量方面,Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线,为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台,可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪,专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率,将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪,基于具有ZDot技术的Zeta-20设计,可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台,并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系!
  • 智能制造龙城实验室155.00万元采购轮廓仪
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态:公告 更新时间: 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期:2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件,并于2023年10月18日14点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:HZ-CJC2023-072 2.项目名称:智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式:竞争性磋商 4.预算金额:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元) 5.最高限价:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元);供应商报价时总价不得高于最高限价,否则作为无效响应处理。 6.采购需求:本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套,包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等,直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限:签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体:□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应:◆是 □否。 二、申请人的资格要求(须同时满足) 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形: 1.1未被“信用中国”网站(WWW.creditchina.gov.cn)或“中国政府采购网”网站(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单; 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商(包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人,母公司、全资子公司及其控股公司),不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即:提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额,提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行: / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求(如有): / 。 3.本项目的特定资格要求: 3.1本项目是否接受分支机构参与投标:□是 ◆否; 3.2本项目是否属于政府购买服务: ◆否; □是,公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织,不得作为承接主体; 3.3其他特定资格要求: 本项目接受进口产品投标,供应商所投设备为进口产品的,应提供以下之一的证明材料: 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销(代理)商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或上级经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或授权经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间:2023年09月25日至2023年10月08日,每天上午8:30至11:30,下午13:00至17:00(北京时间,法定节假日除外)。 2.地点:常州市政府采购业务管理平台 3.方式:供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台(http://58.216.242.31:8084/cgzx/login)获取电子版磋商文件。 4.售价:/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2023年10月18日14点00分(北京时间)。 地点:本项目采用不见面交易方式,无需到现场提交,供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端,通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策:无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式,请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册,办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定,并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理(可邮寄)联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台(供应商)国信CA证书办理指南”,按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等,查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应,供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章,如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密,请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件,上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常,并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机,必须使用验证成功的计算机进行操作,否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资: 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》(常财购〔2021〕13号)等有关文件精神,我市实行政府采购信用融资,将信用作为政策工具引入政府采购领域,金融机构根据政府采购项目中标(成交)通知书或中标(成交)合同,为中标(成交)中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问,请将疑问于2023年10月08日20:30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司(注:① 答疑文件须加盖投标单位公章;② 答疑文件以代理机构收到时间为准;否则代理机构有权拒收其答疑文件)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:智能制造龙城实验室 地 址:常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式:倪老师;0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地址:常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋(一号大门往北一百米) 联系方式:周工;0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人:周工 电 话:0519-83999268 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:轮廓仪 开标时间:2023-10-18 14:00 预算金额:155.00万元 采购单位:智能制造龙城实验室 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态:公告 更新时间: 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期:2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件,并于2023年10月18日14点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:HZ-CJC2023-072 2.项目名称:智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式:竞争性磋商 4.预算金额:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元) 5.最高限价:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元);供应商报价时总价不得高于最高限价,否则作为无效响应处理。 6.采购需求:本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套,包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等,直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限:签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体:□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应:◆是 □否。 二、申请人的资格要求(须同时满足) 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形: 1.1未被“信用中国”网站(WWW.creditchina.gov.cn)或“中国政府采购网”网站(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单; 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商(包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人,母公司、全资子公司及其控股公司),不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即:提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额,提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行: / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求(如有): / 。 3.本项目的特定资格要求: 3.1本项目是否接受分支机构参与投标:□是 ◆否; 3.2本项目是否属于政府购买服务: ◆否; □是,公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织,不得作为承接主体;3.3其他特定资格要求: 本项目接受进口产品投标,供应商所投设备为进口产品的,应提供以下之一的证明材料: 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销(代理)商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或上级经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或授权经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间:2023年09月25日至2023年10月08日,每天上午8:30至11:30,下午13:00至17:00(北京时间,法定节假日除外)。 2.地点:常州市政府采购业务管理平台 3.方式:供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台(http://58.216.242.31:8084/cgzx/login)获取电子版磋商文件。 4.售价:/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2023年10月18日14点00分(北京时间)。 地点:本项目采用不见面交易方式,无需到现场提交,供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端,通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策:无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式,请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册,办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定,并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理(可邮寄)联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台(供应商)国信CA证书办理指南”,按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等,查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应,供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章,如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密,请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件,上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常,并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机,必须使用验证成功的计算机进行操作,否则造成相应后果由供应商自行承担。3.关于常州市中小企业政府采购信用融资: 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》(常财购〔2021〕13号)等有关文件精神,我市实行政府采购信用融资,将信用作为政策工具引入政府采购领域,金融机构根据政府采购项目中标(成交)通知书或中标(成交)合同,为中标(成交)中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问,请将疑问于2023年10月08日20:30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司(注:① 答疑文件须加盖投标单位公章;② 答疑文件以代理机构收到时间为准;否则代理机构有权拒收其答疑文件)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:智能制造龙城实验室 地 址:常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式:倪老师;0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址:常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋(一号大门往北一百米) 联系方式:周工;0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人:周工 电 话:0519-83999268
  • 历史回眸 | 纵览KLA科磊探针式轮廓仪的创新发展史
    KLA探针式轮廓仪的过去,现在,与未来。KLA Instruments&trade 探针式轮廓仪(也称台阶仪)提供高精度2D和3D表面量测,测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性,满足客户的研发和生产要求。目前,KLA Instruments&trade 台阶仪包括专为研发助力的Alpha-Step® 系列D-500/D600桌面式台阶仪,工厂生产用Tencor® P-系列P-7,P-17,P-17 OF量产型台阶仪,还有自动化产线上的 HRP® 系列P-170和HRP-260全自动台阶仪。自1977年KLA首款商用探针式轮廓仪问世,经过四十多年的不断探索和技术创新,KLA取得了一个又一个突破,不断稳固自身在行业中的领导地位。1977Alpha-Step® 100 是Tencor 推出的首款台阶仪产品。其在台阶高度测量的准确性和重复性方面表现优异。凭借价格实惠、外形小巧和功能强大,很快就成为大多数半导体制造厂或晶圆厂重要的工具。1983Alpha-Step 200 发布,扫描速度比竞品快 2 倍,配备 CRT 显示器,能够自动测量、调平和计算。1987Alpha-Step 250 问世,灵敏度增强至 1 &angst ,增加了隔声外壳。1988Tencor P系列的P-1探针式轮廓仪实现了单次长度 200mm 扫描,且无需任何拼接。P-1 轮廓仪采用革 命性的全新设计,在扫描平台、光学和传感器技术方面进行了行业创新,提供无可匹敌的稳定性、灵敏度和重复性。该系统具有超平面扫描平台,能够单次扫描实现高达 200mm 的高分辨率,确定表面粗糙度、波纹度和薄膜应力特征。新平台也是 3D 扫描平台,增加了第三维度来表现表面形貌。该系统的特色是采用顶视光学系统来提供清晰的样品视图,不受传统倾斜侧视的扭曲影响。此外,该系统的传感器技术采用业界先进的线性可变差分电容器 (LVDC),从而使电子分辨率达到亚埃级,并且转动惯量小,可实现低作用力控制并降低对噪声的敏感性。1991Tencor P2H 支持自动晶圆和磁盘机械手臂, 减少接触样品带来的污染。同年的Tencor P2 采用开放式框架,支持尺寸达 430mm x 430mm 的样品,同时Tencor FP2可扫描尺寸达 630mm x 630mm 的样品,用于平板行业。1994Tencor P-20 全自动探针式轮廓仪发布,增加了图案识别和 SECS/GEM,并且与现有的机械手臂相结合,实现了全自动化。Alpha-Step 500增加垂直量程至 1mm,并配备了全新高倍率光学器件和彩色摄像头。1996Tencor P-10、 P-11、 P-12 和 P-22 相继发布,产品采用最新的低作用力控制技术,延长垂直量程至1000µ m并增强环境隔离功能。Microhead II 增强线性可变差分电容器 (LVDC),并增加低至 0.05mg的程式控制低作用力。它增加了通过动态调整枢轴上的作用力,确保在任何台阶高度下,样品表面都能够施加相同的力。此外,新传感器可支持高达 1000µ m 台阶高度。P-12 新增隔声罩和主动隔离台,不仅增强对环境噪声的隔离,还能够测量超光滑硬盘的粗糙度。P-22 在现有 P-20 机械手臂的基础上新增一个隔离台,实现自动晶圆传送、图案识别和 SECS/GEM 等全自动测量,从而为半导体行业提供整体解决方案, 提高其生产效率。1997Tencor P-30 将开放式晶圆盒机械臂替换为 SMIF 机械臂和系统的内置微环境, 以支持半导体行业新的洁净度要求。HRP-220 是在线表面量测的一大突破,配备了 P-22 的长扫描平台以及高分辨率压电平台,DuraSharp® 探针可实现精细的特征测量和分析。同年,Tencor Instruments 和 KLA Instruments 两家公司合并成立了 KLA-Tencor, Inc.,成为世界领先的半导体制造和相关行业的良率管理及工艺控制解决方案供应商之一。1998HRP-320 在HRP-220 的测量能力基础上扩展到 300mm 晶圆,是能够单次扫描测量 300mm 晶圆全直径的系统。1999HRP-240 和 HRP-340 在使用的便利性、产出和精度上有了重大改进。新增压电挠性平台设计,以尽量减少平面外的运动,扫描平面度 2x 在保持 90µ m x 90µ m 扫描区域和 1nm 分辨率的同时,比以前的设计有了很大的进步。该系统增加在线高倍和低倍光学器件,并利用距离传感器实现无接触自动聚焦,从而可允许快速、精确对焦,并通过减少探针的表面接触次数来延长其使用寿命。长扫描平台通过增加线性编码器来提高样品定位的准确性,而更细螺距的丝杠可实现更高的分辨率。通过增加数字信号处理器来管理所有平台控制,将计算机处理能力留给用户接口,从而改善系统的整体性能。新增浸渍模式(Dipping Mode&trade )能够测量高深宽比的蚀刻深度特征。2001Tencor P-15 结合了 P-10 和 P-11 系统的功能,技术更加成熟,为单一平台上的研发和生产提供支持。2003Alpha-Step IQ 在 Alpha-Step 500 基础上新增 USB 电子器件和全新设计的软件,可以显著提供增强的扫描排序和数据分析能力。2007Tencor P-16+ 在-15 的基础上进行了改进:新的 USB 电子器件、更强大的软件以及 Apex 高级数据分析和报告撰写软件功能。2008Tencor P-6 是一台高性能探针式轮廓仪,在较小的平台上沿用了 P-16+ LVDC 传感器技术和扫描平台技术。HRP-250 和 HRP-350 仪器采用噪音更低的 LVDC 传感器技术、新的隔离系统(仅 HRP-350)和第二代 DuraSharp II 探针。可实现更小特征的测量和接近 2 倍的吞吐量。2009Ambios Technology 加入KLA-Tencor并发布 XP100 和 XP200,采用光学杠杆传感器技术,垂直量程1200µ m 并支持200mm晶圆样品。2010KLA-Tencor 发布了基于 Ambios Technology 平台的 Alpha-Step D-100 和 D-120,采用增强光学杠杆传感器技术, 显著改善了测量的稳定性。2013Tencor P-7 和 P-17 配备了新高分辨率彩色相机,并增强了对翘曲度和应力的测量。2014Alpha-Step D-500 和 D-600 仪器采用了与 P系列相同的高分辨率相机。增加了侧视图的梯形校正功能,并且进一步改善了测量的重复性。2016Tencor P-170结合了 P-17 与 HRP 机械手臂,是一款新的全自动探针式轮廓仪。同年,HRP系列的新机型HRP-260 也随后发布。新仪器在自动化晶圆处理方面有了重大的改进。增加了几何图案识别,提高了倾斜校正算法的准确性,并采用新方法进行自动灯光控制。机械手臂包含新电子器件,可支持碳化硅 (SiC) 和蓝宝石等透明样品以及硅、砷化镓 (GaAs) 和 AlTiC 等不透明样品的预对准。也支持卡盒内wafer探测和读取wafer ID.2019KLA Instruments&trade 全系列探针式轮廓仪Alpha-Step® 、Tencor® P- 和 HRP® ,移植软件平台至最新的Windows 10 OS。同时,新的测量和数据分析功能发布在新的软件平台中。2023KLA将继续探索的脚步,而探针式轮廓仪全线产品也将持续发展,为满足客户的需求不断努力创新。Keep Looking Ahead!
  • 中国科学院空天信息创新研究院350.00万元采购轮廓仪
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态:公告 更新时间: 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件,并于2022年06月21日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:0729-224OIT360952 项目名称:中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额:350.0000000 万元(人民币) 采购需求: 包号 货物名称 数量 (台/套) 是否允许采购进口产品 采购预算(人民币) 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限:详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 无 3.本项目的特定资格要求:无 三、获取招标文件 时间:2022年05月30日 至 2022年06月07日,每天上午9:00至11:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:www.o-science.com 方式:登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年06月21日 09点30分(北京时间) 开标时间:2022年06月21日 09点30分(北京时间) 地点:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式: 1)有兴趣的投标人可登陆“东方在线”(http://www.o-science.com 招标在线频道),完成投标人注册手续(免费),然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币600 元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。 2)投标人可以电汇的形式支付标书款(应以公司名义汇款至下述指定账号)。 开户名称:东方国际招标有限责任公司 开户行:招商银行北京西三环支行 账 号:862081657710001 3)投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:中国科学院空天信息创新研究院 地址:北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式:010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称:东方国际招标有限责任公司 地 址:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式:耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人:耿佳 王淑文 电 话: 010-68290515/0513 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:轮廓仪 开标时间:2022-06-21 09:30 预算金额:350.00万元 采购单位:中国科学院空天信息创新研究院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:东方国际招标有限责任公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态:公告 更新时间: 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件,并于2022年06月21日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:0729-224OIT360952 项目名称:中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额:350.0000000 万元(人民币) 采购需求: 包号 货物名称 数量 (台/套) 是否允许采购进口产品 采购预算(人民币) 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限:详见招标文件 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 无 3.本项目的特定资格要求:无 三、获取招标文件 时间:2022年05月30日 至 2022年06月07日,每天上午9:00至11:00,下午13:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外) 地点:www.o-science.com 方式:登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2022年06月21日 09点30分(北京时间) 开标时间:2022年06月21日 09点30分(北京时间) 地点:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式: 1)有兴趣的投标人可登陆“东方在线”(http://www.o-science.com 招标在线频道),完成投标人注册手续(免费),然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”,已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价:每包人民币600 元。如决定购买招标文件,请完成标书款缴费及标书下载手续。 2)投标人可以电汇的形式支付标书款(应以公司名义汇款至下述指定账号)。 开户名称:东方国际招标有限责任公司 开户行:招商银行北京西三环支行 账 号:862081657710001 3)投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后,标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱,投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的,须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途(如未标明招标编号,有可能导致投标无效)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:中国科学院空天信息创新研究院 地址:北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式:010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称:东方国际招标有限责任公司 地 址:北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式:耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人:耿佳 王淑文 电 话: 010-68290515/0513
  • 上海精科公司与上海理工大学联合研制成功白光轮廓仪
    公司与上海理工大学分析实验室最近联合开发出在国内同行业中具有领先水平的白光轮廓仪。该轮廓仪属高精度产品,能对各种金属或非金属等物质(物体)的表面进行精确的轮廓测量,尤其可对集成电路及硅片进行精确测量,其分辨率可以达到纳米级程度。 白光轮廓仪的开发成功,对金属加工及开发金属新材料,以及对检测集成电路和硅片的质量等,均具有重要的意义。精科公司在与上海理工大学共同开发的同时,还自主创新开发出白光轮廓仪配套专用软件,更好地保护了企业的自主知识产权。 白光轮廓仪可广泛应用于工业、高等院校、科研等领域。
  • 110万!广东省科学院半导体研究所计划采购非接触式光学轮廓仪
    一、项目基本情况项目编号:GZGK22P197A0608Z项目名称:广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式:公开招标预算金额:1,100,000.00元采购需求:合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额:1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量(单位)技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限:见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求:1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件,提供下列材料:1)具有独立承担民事责任的能力:在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人, 投标(响应)时提交有效的营业执照(或事业法人登记证或身份证等相关证明) 副本复印件。分支机构投标的,须提供总公司和分公司营业执照副本复印件,总公司出具给分支机构的授权书。2)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录:提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的, 提供相应证明材料。3)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度:供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明) 。4)履行合同所必需的设备和专业技术能力:按投标(响应)文件格式填报设备及专业技术能力情况。5)参加采购活动前3年内,在经营活动中没有重大违法记录:参照投标(报价)函相关承诺格式内容。 重大违法记录,是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。(根据财库〔2022〕3号文,“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款,法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的,从其规定)2.落实政府采购政策需满足的资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单;不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。(以资格审查人员于投标(响应)截止时间当天在“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)及中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)查询结果为准,如相关失信记录已失效,供应商需提供相关证明资料)。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商,不得同时参加本采购项目(或采购包) 投标(响应)。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商, 不得再参与本项目投标(响应)。 投标(报价) 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间: 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ,每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ,下午 12:00:00 至 23:59:59 (北京时间,法定节假日除外)地点:广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式:在线获取售价: 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 (北京时间)递交文件地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)开标地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标,请在投标前详细阅读供应商操作手册,手册获取网址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题,可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标,需要提前办理CA和电子签章,办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南,指南获取地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金,供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/),申请办理投标(响应)担保函、保险(保证)保函。本项目支持电子保函,可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:广东省科学院半导体研究所地 址:广州市天河区长兴路363号联系方式:020-610864202.采购代理机构信息名 称:广州市国科招标代理有限公司地 址:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)联系方式:020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人:钟先生、苏先生电 话:020-38364802、020-87687651
  • 浙江省医疗器械检验研究院120.00万元采购轮廓仪
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 浙江国际招投标有限公司关于浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目的公开招标公告 浙江省-杭州市-上城区 状态:公告 更新时间: 2024-09-08 招标文件: 附件1 项目概况 浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目招标项目的潜在投标人应在政府采购云平台(https://www.zcygov.cn/)获取(下载)招标文件,并于2024年09月29日 09:00(北京时间)前递交(上传)投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:ZJ-2470205-24 项目名称:浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 预算金额(元):1200000 最高限价(元):1200000 采购需求: 标项名称:浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 数量:1 预算金额(元):1200000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:本项目为浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目,具体内容和要求详见采购文件第三部分。 备注: 合同履约期限:标项 1,详见采购文件第三部分。 本项目(是)接受联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:标项1:无 3.本项目的特定资格要求:无 三、获取招标文件 时间:/至2024年09月29日 ,每天上午00:00至12:00 ,下午12:00至23:59(北京时间,线上获取法定节假日均可,线下获取文件法定节假日除外) 地点(网址):政府采购云平台(https://www.zcygov.cn/) 方式:供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件(进入“项目采购”应用,在获取采购文件菜单中选择项目,申请获取采购文件) 售价(元):0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年09月29日 09:00(北京时间) 投标地点(网址):线上(请登录政采云平台上传投标文件) 开标时间:2024年09月29日 09:00 开标地点(网址):线上(请登录政采云投标客户端开标大厅) 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.《浙江省财政厅关于进一步发挥政府采购政策功能全力推动经济稳进提质的通知》(浙财采监(2022)3号)、《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》(浙财采监(2021)22号))、《浙江省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度助力扎实稳住经济的通知》(浙财采监(2022)8号)已分别于2022年1月29日、2022年2月1日和2022年7月1日开始实施,此前有关规定与上述文件内容不一致的,按上述文件要求执行。 2.根据《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》(浙财采监(2021)22号)文件关于“健全行政裁决机制”要求,鼓励供应商在线提起询问,路径为:政采云-项目采购-询问质疑投诉-询问列表:鼓励供应商在线提起质疑,路径为:政采云-项目采购-询问质疑投诉-质疑列表。质疑供应商对在线质疑答复不满意的,可在线提起投诉,路径为:浙江政府服务网-政府采购投诉处理-在线办理。 3.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的,可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日(公告期限届满后获取采购文件的,以公告期限届满之日为准)起7个工作日内,对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑,对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的,可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。 4.其他事项:(1)依据《政府采购质疑和投诉办法》第十条第二款规定,本项目要求投标人在法定质疑期内一次性提出针对同一采购程序环节的质疑。投标人在法定质疑期内多次提出针对同一采购程序环节的质疑的,采购人或采购代理机构只受理该投标人的第一次有效质疑。 (2)需要落实的政府采购政策:包括节约资源、保护环境、支持创新、促进中小企业发展等,详见采购文件的前附表第32条。 (3)电子招投标的说明:①电子招投标:本项目以数据电文形式,依托“政府采购云平台(www.zcygov.cn)”进行招投标活动,投标时不接受纸质投标文件;②投标准备:注册账号--点击“商家入驻”,进行政府采购供应商资料填写;申领CA数字证书---申领流程详见“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端-CA驱动和申领流程”;安装“政采云电子交易客户端”----前往“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端”进行下载并安装;③采购文件的获取:使用账号登录或者使用CA登录政采云平台;进入“项目采购”应用,在获取采购文件菜单中选择项目,获取采购文件;④投标文件的制作:在“政采云电子交易客户端”中完成“填写基本信息”、“导入投标文件”、“标书关联”、“标书检查”、“电子签名”、“生成电子标书”等操作;⑤采购人、采购代理机构将依托政采云平台完成本项目的电子交易活动,平台不接受未按上述方式获取采购文件的供应商进行投标活动; ⑥对未按上述方式获取采购文件的供应商对该文件提出的质疑,采购人或采购代理机构将依据《政府采购质疑和投诉办法》第十一条规定不予受理;⑦投标时不提供采购文件纸质版;⑧投标文件的传输递交:投标人在投标截止时间前将加密的投标文件上传至政府采购云平台,还可以在投标截止时间前直接提交或者以快递方式递交备份投标文件1份。备份投标文件的制作、存储、密封详见采购文件前附表第17点—“备份投标文件的制作、存储、密封”;⑨投标文件的解密:投标人按照平台提示和采购文件的规定在半小时内完成在线解密。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件无法按时解密,投标供应商递交了备份投标文件的,以备份投标文件为依据,否则按照《浙江省政府采购项目电子交易管理暂行办法》第二十四条规定视为投标(响应)文件撤回。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件已按时解密的,备份投标文件自动失效。投标人仅提交备份投标文件,没有在电子交易平台传输递交投标文件的,投标无效;⑩具体操作指南:详见政采云平台“服务中心-帮助文档-项目采购-操作流程-电子招投标-政府采购项目电子交易管理操作指南-供应商”。 (4)本项目资格审查方式为资格后审。 (5)采购文件公告期限为本公告发布之日起5个工作日。 七、对本次采购提出询问、质疑、投诉,请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称:浙江省医疗器械检验研究院 地 址:杭州市钱塘区下沙25号大街379号 传 真: 项目联系人(询问):何老师 项目联系方式(询问):0571-87896539 质疑联系人:熊老师 质疑联系方式:0571-86002818 2.采购代理机构信息 名 称:浙江国际招投标有限公司 地 址:浙江省杭州市西湖区文三路90号东部软件园1号楼3楼 传 真:0571-88473430 项目联系人(询问):周群峰、葛珍妮 项目联系方式(询问):0571-81061804、0571-88081687 质疑联系人:曹涛涛 质疑联系方式:0571-81061821 3.同级政府采购监督管理部门 名 称:浙江省财政厅政府采购监管处、浙江省政府采购行政裁决服务中心(杭州) 地 址:杭州市上城区四季青街道新业路市民之家G03办公室(快递仅限ems或顺丰) 传 真:/ 联 系 人:朱女士、王女士 监督投诉电话:0571-85252453 政策咨询:何一平、冯华,0571-87058424、87055741 预算金额未达100万元的采购项目,由采购人处理采购争议。 潜在供应商 附件信息: 1-公开招标文件(光学轮廓仪0205-24)发布.doc 578.3K × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:轮廓仪 开标时间:2024-09-29 09:00 预算金额:120.00万元 采购单位:浙江省医疗器械检验研究院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:浙江国际招投标有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 浙江国际招投标有限公司关于浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目的公开招标公告 浙江省-杭州市-上城区 状态:公告 更新时间:2024-09-08 招标文件: 附件1 项目概况 浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目招标项目的潜在投标人应在政府采购云平台(https://www.zcygov.cn/)获取(下载)招标文件,并于2024年09月29日 09:00(北京时间)前递交(上传)投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:ZJ-2470205-24 项目名称:浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 预算金额(元):1200000 最高限价(元):1200000 采购需求: 标项名称:浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 数量:1 预算金额(元):1200000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:本项目为浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目,具体内容和要求详见采购文件第三部分。 备注: 合同履约期限:标项 1,详见采购文件第三部分。 本项目(是)接受联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:标项1:无 3.本项目的特定资格要求:无 三、获取招标文件 时间:/至2024年09月29日 ,每天上午00:00至12:00 ,下午12:00至23:59(北京时间,线上获取法定节假日均可,线下获取文件法定节假日除外) 地点(网址):政府采购云平台(https://www.zcygov.cn/) 方式:供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件(进入“项目采购”应用,在获取采购文件菜单中选择项目,申请获取采购文件) 售价(元):0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年09月29日 09:00(北京时间) 投标地点(网址):线上(请登录政采云平台上传投标文件) 开标时间:2024年09月29日 09:00 开标地点(网址):线上(请登录政采云投标客户端开标大厅) 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.《浙江省财政厅关于进一步发挥政府采购政策功能全力推动经济稳进提质的通知》(浙财采监(2022)3号)、《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》(浙财采监(2021)22号))、《浙江省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度助力扎实稳住经济的通知》(浙财采监(2022)8号)已分别于2022年1月29日、2022年2月1日和2022年7月1日开始实施,此前有关规定与上述文件内容不一致的,按上述文件要求执行。 2.根据《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》(浙财采监(2021)22号)文件关于“健全行政裁决机制”要求,鼓励供应商在线提起询问,路径为:政采云-项目采购-询问质疑投诉-询问列表:鼓励供应商在线提起质疑,路径为:政采云-项目采购-询问质疑投诉-质疑列表。质疑供应商对在线质疑答复不满意的,可在线提起投诉,路径为:浙江政府服务网-政府采购投诉处理-在线办理。 3.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的,可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日(公告期限届满后获取采购文件的,以公告期限届满之日为准)起7个工作日内,对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑,对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的,可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。 4.其他事项:(1)依据《政府采购质疑和投诉办法》第十条第二款规定,本项目要求投标人在法定质疑期内一次性提出针对同一采购程序环节的质疑。投标人在法定质疑期内多次提出针对同一采购程序环节的质疑的,采购人或采购代理机构只受理该投标人的第一次有效质疑。 (2)需要落实的政府采购政策:包括节约资源、保护环境、支持创新、促进中小企业发展等,详见采购文件的前附表第32条。 (3)电子招投标的说明:①电子招投标:本项目以数据电文形式,依托“政府采购云平台(www.zcygov.cn)”进行招投标活动,投标时不接受纸质投标文件;②投标准备:注册账号--点击“商家入驻”,进行政府采购供应商资料填写;申领CA数字证书---申领流程详见“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端-CA驱动和申领流程”;安装“政采云电子交易客户端”----前往“浙江政府采购网-下载专区-电子交易客户端”进行下载并安装;③采购文件的获取:使用账号登录或者使用CA登录政采云平台;进入“项目采购”应用,在获取采购文件菜单中选择项目,获取采购文件;④投标文件的制作:在“政采云电子交易客户端”中完成“填写基本信息”、“导入投标文件”、“标书关联”、“标书检查”、“电子签名”、“生成电子标书”等操作;⑤采购人、采购代理机构将依托政采云平台完成本项目的电子交易活动,平台不接受未按上述方式获取采购文件的供应商进行投标活动; ⑥对未按上述方式获取采购文件的供应商对该文件提出的质疑,采购人或采购代理机构将依据《政府采购质疑和投诉办法》第十一条规定不予受理;⑦投标时不提供采购文件纸质版;⑧投标文件的传输递交:投标人在投标截止时间前将加密的投标文件上传至政府采购云平台,还可以在投标截止时间前直接提交或者以快递方式递交备份投标文件1份。备份投标文件的制作、存储、密封详见采购文件前附表第17点—“备份投标文件的制作、存储、密封”;⑨投标文件的解密:投标人按照平台提示和采购文件的规定在半小时内完成在线解密。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件无法按时解密,投标供应商递交了备份投标文件的,以备份投标文件为依据,否则按照《浙江省政府采购项目电子交易管理暂行办法》第二十四条规定视为投标(响应)文件撤回。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件已按时解密的,备份投标文件自动失效。投标人仅提交备份投标文件,没有在电子交易平台传输递交投标文件的,投标无效;⑩具体操作指南:详见政采云平台“服务中心-帮助文档-项目采购-操作流程-电子招投标-政府采购项目电子交易管理操作指南-供应商”。 (4)本项目资格审查方式为资格后审。 (5)采购文件公告期限为本公告发布之日起5个工作日。 七、对本次采购提出询问、质疑、投诉,请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称:浙江省医疗器械检验研究院 地 址:杭州市钱塘区下沙25号大街379号 传 真: 项目联系人(询问):何老师 项目联系方式(询问):0571-87896539 质疑联系人:熊老师 质疑联系方式:0571-86002818 2.采购代理机构信息 名 称:浙江国际招投标有限公司 地 址:浙江省杭州市西湖区文三路90号东部软件园1号楼3楼 传 真:0571-88473430 项目联系人(询问):周群峰、葛珍妮 项目联系方式(询问):0571-81061804、0571-88081687 质疑联系人:曹涛涛 质疑联系方式:0571-81061821 3.同级政府采购监督管理部门 名 称:浙江省财政厅政府采购监管处、浙江省政府采购行政裁决服务中心(杭州) 地 址:杭州市上城区四季青街道新业路市民之家G03办公室(快递仅限ems或顺丰) 传 真:/ 联 系 人:朱女士、王女士 监督投诉电话:0571-85252453 政策咨询:何一平、冯华,0571-87058424、87055741 预算金额未达100万元的采购项目,由采购人处理采购争议。 潜在供应商 附件信息: 1-公开招标文件(光学轮廓仪0205-24)发布.doc 578.3K
  • 布鲁克新推出先进的台式探针式轮廓仪---新型Dektak Pro扩大测量面积并提高关键分析的准确性
    加利福尼亚州圣何塞,2024年 9 月 10 日 —— 布鲁克公司今日宣布推出 Dektak ProTM 探针式轮廓仪,这是行业领先的 Dektak® 产品线中的下一代轮廓仪。新的台式系统融合了超过 55年的创新成果,为半导体应用提供了高达200 毫米的全尺寸样品测量区域,并通过改善用户体验和测量精度缩短了获得结果的时间。Dektak Pro 的进步巩固了该品牌作为世界上最先进的探针式轮廓仪的地位,使其能够满足众多工业和研究市场当前和未来的研发、工艺开发以及QA/QC 需求。 “我们与 Dektak 工具有着悠久的历史。它们一直为我们的 MEMS 晶圆厂提供自动化和可靠的台阶轮廓测量,我们对此深信不疑,” 泰国微电子中心(TMEC)晶圆厂经理 Nithi Atthi 博士说,“新系统的技术进步有望提供更多的测量能力,以满足我们对 MEMS 计量要求日益严格的高深宽比微结构。” “Dektak 这个名字已经成为探针式轮廓测量的代名词,这是有充分理由的。每年都有数百台 Dektak 系统在全球安装,证明了业界对这项技术的持久需求。” 布鲁克摩擦学、探针和光学计量业务高级总监兼总经理 Samuel Lesko 补充道,“通过 Dektak Pro,我们在测量能力和操作简便性方面迈出了下一步,同时保持了 Dektak 众所周知的价值和可靠性,我非常期待看到我们的客户在未来几年中使用该系统的多种方式。”关于 Dektak Pro Dektak 探针式轮廓仪广泛应用于微电子、半导体、显示、太阳能、医疗和材料科学市场,是全球数百个生产、研究和故障分析中心必不可少的精密计量仪器。Dektak 系统用于二维轮廓测量和三维表面轮廓分析应用,可测量应力、纳米薄膜厚度和台阶高度,重复性优于 4 埃。新型 Dektak Pro 引入了台阶高度和应力测量升级,扩大了其应用范围。简化的自动台阶检测程序只需要更少的用户定义参数,以进行简洁分析,减少用户操作引起的变化。二维应力测量分析现在比以往任何时候都更可定制,允许用户定义区域并通过参数调整提高精度。新的自动定心和晶圆面成像功能还使晶圆翘曲的快速表征和三维应力分析成为可能。本文转载自布鲁克纳米表面仪器部公众号,原文链接https://mp.weixin.qq.com/s/41S0RkbhgeyFubbv1566kQ
  • 重磅!中图仪器集中发布扫描电镜、台阶仪、复合型光学3D表面轮廓仪等新品
    近期,深圳市中图仪器股份有限公司(以下简称“中图仪器”)在尺寸精密测量领域再次展现其创新实力,连续发布了一系列新产品,包括Nano Step系列台阶仪、VT-X100共聚焦测量头、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪以及CEM3000系列台式扫描电镜。这一系列新品的推出,不仅丰富了中图仪器的产品线,更为广大用户提供了更加精准、高效的测量解决方案。台阶仪Nano Step系列台阶仪 是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。该新品采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率;同时,集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。Nano Step系列台阶仪具备极强的应用场景适应性,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。共聚焦测量头VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头,基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成,主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。复合型光学3D表面轮廓仪SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身,能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时,可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析;当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时,可使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测。该新品可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。无论是超光滑还是粗糙、低反射率还是高反射率的物体表面,该新品都能轻松应对,能够精确测量从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等关键参数,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。台式扫描电镜 CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备,可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。该系列电镜搭载卓越的电子光学系统,拥有优于4nm的空间分辨率,保证了高放大倍数下的清晰成像,能够满足纳米尺度的形貌观测需求。其用户友好性同样出色,无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序,都能让用户轻松上手,一键获取理想图像,极大简化了操作流程。CEM3000系列涵盖CEM3000A(大样品仓型)和CEM3000B(抗振型)两款强化机型。CEM3000A在不牺牲整机外观尺寸的情况下,极大拓展了样品仓尺寸,支持大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。CEM3000B则配备有高性能复合减振系统,不仅显著缩短了抽放气时间,还有效隔离了外界振动干扰,保证了高倍数成像时的图像质量。此外,该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件,极大地扩展了其应用领域,使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域具备广泛应用潜力。2024年以来,中图仪器在几何量精密测量领域取得了显著进展,先后发布了多款新品,其中包括WD4000系列无图晶圆几何量测系统、Mizar Silver三坐标测量机,致力于为高端制造业提供全尺寸链精密测量仪器及设备。
  • 布鲁克Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆测试方面的应用
    自2014年起,国产12寸晶圆的量产问题得到解决,国产晶圆进入到一个飞速发展的时期中。晶圆作为芯片的载体,在当今科技时代起着至关重要的作用,小到遥控器、手机,大到航天领域,例如卫星等都离不开晶圆。那么晶圆的加工工艺是否达到标准决定了成品的优劣。今天笔者就为大家介绍Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆方面的测试应用。Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪(台阶仪)作为Dektak系列第十代产品,经过50多年的更新升级及技术创新,目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备,有着众多的用户群体并得到好评。①台阶高度重现性低于4Å②主流的LVDT传感器技术晶圆在制作电路的流程中,主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合,在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。光刻/沉积:光刻/沉积工艺中台阶高度的测试蚀刻:蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试抛光/研磨:抛光/研磨工艺中粗糙度的测试在以上测试中,台阶仪都能够快速的得到相应数据。
  • 河南省科学院2700.00万元采购轮廓仪,物理气相沉积,原子层沉积
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目-公开招标公告 河南省-郑州市-金水区 状态:公告 更新时间: 2024-08-21 项目概况 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目招标项目的潜在投标人应在河南省公共资源交易中心网站获取招标文件,并于2024年09月12日09时00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1、项目编号:豫财招标采购-2024-902 2、项目名称:河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目 3、采购方式:公开招标 4、预算金额:27,000,000.00元 最高限价:27000000元 序号 包号 包名称 包预算(元) 包最高限价(元) 1豫政采(2)20241346-1 包1 12470000 12470000 2 豫政采(2)20241346-2 包2 14530000 14530000 5、采购需求(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 5.1采购货物名称及数量: 包1:双面对准紫外光刻系统1套、感应耦合等离子体深硅刻蚀机1套、离子束刻蚀机1套。 包2:反应离子刻蚀机1套、等离子体增强化学气相沉积系统1套、高真空电子束共沉积系统1套、半自动匀胶显影系统1套、湿法清洗系统1套、晶圆检查显微镜系统2套、晶圆划切系统1套、探针式轮廓仪1套。 5.2标包划分:本项目共划分2个标包; 5.3采购货物技术性能指标:具体参数详见招标文件第五章“采购需求” 5.4核心产品: 包1:双面对准紫外光刻系统 包2:等离子体增强化学气相沉积系统 5.5采购范围:采购货物的供货、运输、保险、装卸、安装、检测、调试、试运行、验收交付、培训、技术支持、售后保修及相关伴随服务; 5.6资金来源:财政资金,已落实; 5.7交货期: 包1:合同生效后15个月内完成供货、安装、调试完毕 包2:合同生效后12个月内完成供货、安装、调试完毕 5.8交货地点:采购人指定地点; 5.9质量要求:符合国家现行验收规范和标准,满足采购人的相关要求; 6、合同履行期限:自合同签订至质保期结束 7、本项目是否接受联合体投标:否 8、是否接受进口产品:是 9、是否专门面向中小企业:否 二、申请人资格要求: 1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2、落实政府采购政策满足的资格要求: 无 3、本项目的特定资格要求 无 三、获取招标文件 1.时间:2024年08月22日 至 2024年08月28日,每天上午00:00至12:00,下午12:00至23:59(北京时间,法定节假日除外。) 2.地点:河南省公共资源交易中心网站 3.方式:登录《河南省公共资源交易中心-市场主体》凭CA数字证书下载投标项目所含全部资料 4.售价:0元 四、投标截止时间及地点 1.时间:2024年09月12日09时00分(北京时间) 2.地点:通过《河南省公共资源交易中心-市场主体》电子交易平台上传 五、开标时间及地点 1.时间:2024年09月12日09时00分(北京时间) 2.地点:河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-6 六、发布公告的媒介及招标公告期限 本次招标公告在《河南省政府采购网》、《中国政府采购网》、《河南省公共资源交易中心网》上发布, 招标公告期限为五个工作日 。 七、其他补充事宜 1.根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[2016]125号) 和豫财购【2016】15号的规定,采购人或采购代理机构应当在供应商递交投标文件或响应文件时查询供应商信用记录。查询时将查询网页、内容进行截图或拍照,以作证据留存,截图或拍照内容要完整清晰。对列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商,采购人、采购代理机构应当拒绝其参加政府采购活动。查询渠道:失信被执行人(查询网站“全国法院失信被执行人名单信息公布与查询”)重大税收违法失信主体(查询网站“信用中国”)、政府采购严重违法失信行为记录名单(查询网址“中国政府采购网”)。 2.本项目执行促进中小型企业发展政策(监狱企业、残疾人福利性企业视同小微企业)、强制采购节能产品、优先采购节能环保产品等政府采购政策。 3.招标代理费:按照计价格[2002]1980号、发改价格[2003]857号和发改价格[2011]534号文件的取费标准的60%由中标人以现金或转账的形式向采购代理机构缴纳。 八、凡对本次招标提出询问,请按照以下方式联系 1. 采购人信息 名称:河南省科学院 地址:郑州市郑东新区崇实里228号 联系人:何小波 联系方式:0371-65753601 2.采购代理机构信息(如有) 名称:信人建设管理有限公司 地址:河南省郑州市金水区文化路9号永和国际1702室 联系人:郭朋飞 赵琳杰 联系方式:18638282043 3.项目联系方式 项目联系人:郭朋飞 赵琳杰 联系方式:18638282043 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容:轮廓仪,物理气相沉积,原子层沉积 开标时间:2024-09-12 09:00 预算金额:2700.00万元 采购单位:河南省科学院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:信人建设管理有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目-公开招标公告 河南省-郑州市-金水区 状态:公告 更新时间: 2024-08-21 项目概况 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目招标项目的潜在投标人应在河南省公共资源交易中心网站获取招标文件,并于2024年09月12日09时00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1、项目编号:豫财招标采购-2024-902 2、项目名称:河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期(第一批)建设项目 3、采购方式:公开招标 4、预算金额:27,000,000.00元 最高限价:27000000元 序号 包号 包名称 包预算(元) 包最高限价(元) 1 豫政采(2)20241346-1 包1 12470000 12470000 2 豫政采(2)20241346-2 包2 14530000 14530000 5、采购需求(包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等) 5.1采购货物名称及数量: 包1:双面对准紫外光刻系统1套、感应耦合等离子体深硅刻蚀机1套、离子束刻蚀机1套。 包2:反应离子刻蚀机1套、等离子体增强化学气相沉积系统1套、高真空电子束共沉积系统1套、半自动匀胶显影系统1套、湿法清洗系统1套、晶圆检查显微镜系统2套、晶圆划切系统1套、探针式轮廓仪1套。 5.2标包划分:本项目共划分2个标包; 5.3采购货物技术性能指标:具体参数详见招标文件第五章“采购需求” 5.4核心产品: 包1:双面对准紫外光刻系统 包2:等离子体增强化学气相沉积系统 5.5采购范围:采购货物的供货、运输、保险、装卸、安装、检测、调试、试运行、验收交付、培训、技术支持、售后保修及相关伴随服务; 5.6资金来源:财政资金,已落实; 5.7交货期: 包1:合同生效后15个月内完成供货、安装、调试完毕 包2:合同生效后12个月内完成供货、安装、调试完毕 5.8交货地点:采购人指定地点; 5.9质量要求:符合国家现行验收规范和标准,满足采购人的相关要求; 6、合同履行期限:自合同签订至质保期结束 7、本项目是否接受联合体投标:否 8、是否接受进口产品:是 9、是否专门面向中小企业:否 二、申请人资格要求: 1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2、落实政府采购政策满足的资格要求: 无 3、本项目的特定资格要求 无 三、获取招标文件 1.时间:2024年08月22日 至 2024年08月28日,每天上午00:00至12:00,下午12:00至23:59(北京时间,法定节假日除外。) 2.地点:河南省公共资源交易中心网站 3.方式:登录《河南省公共资源交易中心-市场主体》凭CA数字证书下载投标项目所含全部资料 4.售价:0元 四、投标截止时间及地点 1.时间:2024年09月12日09时00分(北京时间) 2.地点:通过《河南省公共资源交易中心-市场主体》电子交易平台上传 五、开标时间及地点 1.时间:2024年09月12日09时00分(北京时间) 2.地点:河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-6 六、发布公告的媒介及招标公告期限 本次招标公告在《河南省政府采购网》、《中国政府采购网》、《河南省公共资源交易中心网》上发布, 招标公告期限为五个工作日 。 七、其他补充事宜 1.根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[2016]125号) 和豫财购【2016】15号的规定,采购人或采购代理机构应当在供应商递交投标文件或响应文件时查询供应商信用记录。查询时将查询网页、内容进行截图或拍照,以作证据留存,截图或拍照内容要完整清晰。对列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商,采购人、采购代理机构应当拒绝其参加政府采购活动。查询渠道:失信被执行人(查询网站“全国法院失信被执行人名单信息公布与查询”)重大税收违法失信主体(查询网站“信用中国”)、政府采购严重违法失信行为记录名单(查询网址“中国政府采购网”)。 2.本项目执行促进中小型企业发展政策(监狱企业、残疾人福利性企业视同小微企业)、强制采购节能产品、优先采购节能环保产品等政府采购政策。 3.招标代理费:按照计价格[2002]1980号、发改价格[2003]857号和发改价格[2011]534号文件的取费标准的60%由中标人以现金或转账的形式向采购代理机构缴纳。 八、凡对本次招标提出询问,请按照以下方式联系 1. 采购人信息 名称:河南省科学院 地址:郑州市郑东新区崇实里228号 联系人:何小波 联系方式:0371-65753601 2.采购代理机构信息(如有) 名称:信人建设管理有限公司 地址:河南省郑州市金水区文化路9号永和国际1702室 联系人:郭朋飞 赵琳杰 联系方式:18638282043 3.项目联系方式 项目联系人:郭朋飞 赵琳杰 联系方式:18638282043
  • 新产品UV765型紫外可见分光光度计和WGL型光电轮廓仪获“最佳产品奖”
    中国仪器仪表的品牌展会-第18届多国仪器仪表学术会议暨展览会,于9月18至21日在上海光大会展中心开幕。我公司和国内外众多知名公司强势亮相于以“公共安全与科学仪器”为主题的比届展会,并分别参加了相关学术会议。      展会期间,我公司产品UV765型紫外可见分光光度计和WGL型光电轮廓仪在2007年度“中国仪器仪表学会科学技术奖”颁奖仪式上荣获“最佳产品奖”。我公司总经理陈国余在仪式上代表获奖企业发言,表示要致力于发展科学仪器,为提高人们生活质量再作贡献。期间,成立了“中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会”,旨在推动新时期大力发展先进制造业之一--科学仪器产业。陈国余总经理被聘为该委员会副主任委员。   作为国内唯一的能展示系列分析、天平、电化学、物理光学等仪器的参展商,我公司还重点参加了“2007年电化学分析仪器学术报告会”、“食品药品安全技术论坛”,并展出了最新的产品,包括UV765型紫外可见分光光度计的专题演示。展会中,中国仪器仪表学会领导专门到我公司展台参观、指导,并鼓励“上海精科”勇于竞争,勇于创新,更上一层楼。
  • 新品发布!布鲁克推出3D轮廓仪ContourX-1000、NPFLEX-1000
    2023年2月1日,在2023年美国西部光电展览会上,布鲁克公司宣布发布两款新的白光干涉测量(WLI)系统:ContourX-1000和NPFLEX-1000光学轮廓仪。这些落地平台能够更快、自动化地测量表面结构和粗糙度。新产品特有的新的一键式高级查找表面功能,具有自动对焦和自动照明功能,改善了用户体验并缩短获得结果的时间,消除了每次测量前手动注册表面的复杂性。结合自适应测量模式USI和引导式简化的VisionXpress界面,这种独特的功能可以在任何表面上以更高的吞吐量进行无损测量。ContourX-1000具有操作人员友好的自动化测量和分析配方,为半导体和光电加工、先进封装开发和医疗设备制造的大批量生产设施提供最准确和精确的计量。NPFLEX-1000具有大型龙门和旋转头设计,为汽车、医疗和大规模增材制造行业的精密加工QA/QC中大型零件的难定位提供了独特的测量解决方案。“自20世纪80年代以来,我一直在使用布鲁克光学轮廓技术,这些新系统是30多年发展的巅峰。”密歇根计量学创始人兼总裁Don Cohen说到,“通过我们新的WLI解决方案,这些功能得到了进一步提升,特别是考虑到非专业用户在几秒钟内获得高质量结果的可能性,而在普通系统上则需要几分钟。”关于ContourX-1000 3D光学轮廓仪ContourX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源:布鲁克纳米表面ContourX-1000具有行业聚焦的布鲁克专利的尖端/倾斜头、自校准激光基准、集成模式识别和配方便携性。其通用扫描干涉测量法(USI)自适应测量模式自动确定最佳测量参数,并且引导式简化的VisionXpress界面使分析质量不受用户经验影响。这种独特的硬件和软件组合可以在最短的时间内获得最佳的测量结果,并为研发和制造带来最大的稳定性和工具对工具的匹配能力。关于NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源:布鲁克纳米表面NPFLEX-1000集成了ContourX-1000的所有易用性优势,具有大尺寸龙门和坚固的桥架结构。NPFLEX-1000系统在物镜、旋转头和超长工作距离物镜下方具有300 mm的空间,可提供样品尺寸的极大灵活性。此外,通过折叠镜选件,可显著扩展高坡度表面通道。这种极端的可用性可在无与伦比的速度下实现,可在10秒内进行快速、自动化的测量和全面的分析,显著提高生产环境的吞吐量。
  • 150万!辽宁省检验检测认证中心计划采购激光全息表面粗糙度轮廓仪
    一、项目基本情况项目编号:JH22-210000-18483项目名称:购置激光全息表面粗糙度轮廓仪包组编号:001预算金额(元):1,500,000.00最高限价(元):1,500,000采购需求:查看合同履行期限:合同生效后4个月内到货并安装调试完毕且验收合格(具体以甲乙双方签订的合同为准)需落实的政府采购政策内容:促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚等相关政策等本项目(是/否)接受联合体投标:否二、供应商的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无,本项目允许进口产品投标且采购的设备满足《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第二款内容,故不具备专门面向中小企业采购的条件。3.本项目的特定资格要求:如果投标人所投产品为进口产品,须投标人提供制造商或国内总代理出具的销售授权书或产品销售代理证书。三、政府采购供应商入库须知参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的,请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定,及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息,由系统自动开通账号后,即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》(辽财采函〔2020〕198号)。四、获取招标文件时间:2022年07月11日 08时00分至2022年07月18日 17时00分(北京时间,法定节假日除外)地点:线上获取方式:线上售价:免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年08月02日 13时30分(北京时间)地点:辽宁轩宇工程管理有限公司(沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座801室)六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、质疑与投诉供应商认为自己的权益受到损害的,可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内,向采购代理机构或采购人提出质疑。1、接收质疑函方式:线上或书面纸质质疑函2、质疑函内容、格式:应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式,详见辽宁政府采购网。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意,或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的,可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。八、其他补充事宜1.投标文件递交方式采用线上递交及现场备份文件递交同时执行并保持一致,参与本项目的供应商须自行办理好CA锁,如因供应商自身原因导致未线上递交投标文件的按照无效投标文件处理。具体操作流程详见辽宁政府采购相关通知。2.关于电子标评审的相关要求详见辽财采函〔2021〕363号“关于完善政府采购电子评审业务流程等有关事宜的通知”。电子文件报送截止时间同递交投标文件截止时间(即开标时间),解密为30分钟。如供应商未按照规定的时限响应按照无效投标文件处理。3.请供应商自行准备笔记本电脑并下载好对应的CA认证证书带至开标现场进行电子解密(开标现场不提供wifi)。同时供应商须自行准备好备份投标文件于递交投标文件截止时间前递交至代理机构处,如未递交备份文件的按照投标无效处理,供应商仅提交备份文件的而没有进行网上递交的投标文件的,投标无效。关于具体的备份文件的格式、存储、密封要求详见招标文件。九、对本次招标提出询问,请按以下方式联系1.采购人信息名 称:辽宁省检验检测认证中心地 址:沈阳市皇姑区崇山西路7号联系方式:024-312662632.采购代理机构信息:名 称:辽宁轩宇工程管理有限公司地 址:沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座8楼联系方式:024-31918388-357邮箱地址:312353927@qq.com开户行:中国光大银行沈阳黄河大街支行账户名称:辽宁轩宇工程管理有限公司账号:364901880000244643.项目联系方式项目联系人:闫冠吉、刘甲峰电 话:024-31918388-357
  • 144万!淄博市计量技术研究院计划采购光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪等仪器设备
    一、项目基本情况项目编号:SDGP370300000202202000688项目名称:淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目预算金额:本项目总预算为1448500.00元,共分1个包,其中包1包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备:1448500.00元。采购需求:①采购名称:淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目;②采购内容:包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备;③质量要求:所有产品的生产、制造等各项技术标准,应当符合国家标准、各项规范要求和使用许可;④质保期:产品质保期自安装调试完毕并经验收合格之日起不少于24个月。合同履行期限:进口设备在合同签订后60日历天内交货并安装调试完毕;国产设备在合同签订后30日历天内交货并安装调试完毕。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无单独资格要求。采购文件落实政府采购政策,包括节能环保产品、小型和微型企业、监狱企业和残疾人福利性单位等政府采购政策。3.本项目的特定资格要求:1、具有加载统一社会信用代码的《营业执照》有效证件;2、未被列入信用中国网(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn) 等渠道信用记录失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单;3、投标人提供“政府采购供应商信用承诺书”的承诺函。三、获取招标文件时间:截止到2022年11月08日14时00分(北京时间)。地点:淄博市公共资源交易网(http://ggzyjy.zibo.gov.cn/)招标文件获取方式: ①已在淄博市公共资源交易平台(http://ggzyjy.zibo.gov.cn/)注册的供应商,需要登录淄博市公共资源交易网网站首页点击“新系统登录入口”(http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder)根据页面提示重新完善信息。完善后在登录新系统免费下载采购文件。②未注册的供应商请到淄博市公共资源交易网(http://ggzyjy.zibo.gov.cn:8082/)在网站首页点击“新系统登录入口”(http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder)根据页面提示进行注册(注册类型:交易乙方)。咨询电话:0533-2270020、2270010、2270050,咨询时间:北京时间8:30-12:00,13:30-17:00(法定公休日、法定节假日除外)。技术咨询电话:400-998-0000。③为满足信息公开和供应商诚信体系建设需要,供应商还需同时在中国山东政府采购网(http://www.ccgp-shandong.gov.cn/)进行注册。未注册的供应商须登录中国山东政府采购网点击首页右侧“系统入口”模块的“供应商注册”进行注册。请各供应商自行查验,务必保证淄博市公共资源交易网与中国山东政府采购网的注册单位名称及统一社会信用代码信息一致。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点截止时间: 2022年11月09日14时00分(北京时间)投标文件递交方式: 将加密的电子投标文件在截止时间前通过淄博市公共资源交易网 “上传投标文件”栏目上传完成。①拟参加本项目的投标人须办理并取得数字证书(电子签章)后,方可加密生成及上传电子投标文件。请各投标人仔细阅读《数字证书办理注意事项及相关资料下载》(淄博公共资源交易网→办事指南→服务指南)并按照须知要求办理。②投标人可到淄博市公共资源交易中心一楼大厅办理数字证书,也可网上办理。山东CA(山东省数字证书认证管理有限公司)证书办理电话为400-607-8966,CFCA(中金金融认证中心有限公司)证书办理电话为0533-3590310。其他具体操作请参考“新点投标文件制作软件(淄博版)操作视频-采购类”(淄博市公共资源交易中心网站→办事指南→服务指南),技术咨询电话:400-998-0000。开标时间: 2022年11月09日14时00分(北京时间)地点:?网上开标大厅。请各供应商在开标前登录网上开标大厅(http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/BidOpeningHall/bidopeninghallaction/hall/login),在线准时参加开标活动并进行投标文件解密、答疑、澄清等。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜本项目采用网上开标模式。各投标人无需到达开标现场,请在开标时间截止前登录网上开标大厅,在线准时参加开标活动并进行报价文件解密等。网上开标等详细事宜见招标文件 “网上开标提示”模块。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系1.采购人信息名 称:淄博市计量技术研究院地 址:淄博市张店区共青团西路98号联系人:陈杰联系方式:0533-23159562.采购代理机构信息名 称:山东和鑫盛工程咨询管理有限公司地 址:山东省淄博市张店区新村西路42号铂金商务大厦4层联系方式:0533-23088813.项目联系方式项目联系人:薛皎、吕丽媛电 话:0533-2308881
  • 阿美特克旗下泰勒· 霍普森推出新款表面粗糙度轮廓仪Form Talysurf PGI NOVUS,配置Metrology 4.0软件
    p   英国莱斯特,Taylor Hobson于8月16日推出了由Metrology 4.0软件驱动的新款表面粗糙度轮廓仪Form Talysurf sup & reg /sup PGI NOVUS。 它十分先进的系统,适用于表面,轮廓,三维和直径测量。 /p p style=" text-align:center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201808/insimg/69bd7829-e2d4-4ea4-8f4d-ec8ee0f643c2.jpg" title=" Form Talysurf& reg PGI NOVUS With Metrology 4.0 Software.jpg" / /p p strong PGI NOVUS系统背后的设计—将卓越与创新相结合 /strong /p p   创新技术是新型PGI NOVUS系统的核心。它配备了全新的双偏置规,使系统能够测量直径和角度,并以相同的速度分析正常和反向的表面光洁度,以获得最佳性能。PGI NOVUS是市场上十分精确,稳定和可重复的高精度测量系统。 /p p strong Metrology 4.0—支持制造业的现代软件 /strong /p p   Metrology 4.0软件是一个新的软件包,提供具有虚拟显示和实时控制的直观界面。它提供了对测量过程的一目了然的监控。实时模拟和真实的零件坐标使监控和控制达到了业界十分先进的水平。 /p p   “新型Form Talysurf sup & reg /sup PGI NOVUS在测量直径和轮廓方面带来了显着的改进,特别是采用新设计的计量器,可以在上下方向进行形状和表面测量,”Taylor Hobson的表面产品经理Greg Roper谈到。“PGI NOVUS计量器旨在为用户提供更大的测量灵活性。可以在单个系统上测量小型,中型和大型复杂零件。” /p p   “新软件的功能可确保通过屏幕上形象跟踪实时测量。有一系列不同模式可供使用,提供基本元素,如可记录零件编程,以及包括变量在内的可编程功能的高级工具箱。该功能允许为一组不同尺寸的零件创建一个程序,最大限度地降低操作员所需的工作量和培训水平,同时保持最高的测量精度,”Greg解释道。 /p p   此外,Taylor Hobson提供独特的选项,支持从实验室到车间的所有环境中的高精度测量。 有三种仪器加附件地选择可满足所有的应用要求。 /p p strong 主要应用: /strong /p p · 滚珠丝杠轴向测量—节圆直径两侧均可(PCD)。 /p p · 轴承—球形,滚轴和四点接触。 /p p · 燃料喷嘴—平直度和阀座倾角。 /p p · 多部分测量—使用单个程序。 /p p   Taylor Hobson在超精密测量仪器领域居于前列,产品广泛应用于光学,半导体,制造业和纳米技术等市场。它是阿美特克超精密技术部的一个分支,阿美特克是世界领先的电子仪器和机电设备制造商,年销售额达43亿美元。 /p
  • 科学家发现深度神经网络对幻觉轮廓“视而不见”
    近日,中科院自动化所研究员曾毅团队研究发现,从经典的到最先进的深度神经网络都难以像人一样具有较好的幻觉轮廓识别能力。相关研究成果发表于细胞出版社旗下期刊《模式》。神经网络和深度学习模型在过去十年中看似取得巨大成功,在许多给定的视觉任务中在指定方面超过了人类表现。然而,神经网络的性能仍然会随着各种图像扭曲和损坏而降低。一个非常极端的例子是对抗攻击,通过在图片上施加人眼难以察觉的微扰,能够使神经网络模型彻底失效。而人类的视觉系统在这些问题上具有高度鲁棒性,说明深度学习与生物视觉系统相比仍然存在根本性缺陷。为此,曾毅团队提出了一种名为交错光栅扭曲的图像干扰方法,作为量化神经网络模型幻觉轮廓感知能力的工具。结果表明,大多数预训练模型的表现接近随机。另外可以观测到当交错光栅之间的距离较小时,存在一些模型的结果与其他模型的分布有较显著的差别。他们最终发现,使用深度增强技术训练的模型相比其他模型能够显著增强模型对交错光栅扭曲数据集的识别。该研究还招募了24名人类受试者,以评估不同的参数设置下,人类的幻觉轮廓感知能力以及其对数字和图像识别的影响。研究发现,即使是当前最先进的深度学习算法在交错光栅效应的识别上也与人类水平相距甚远。论文第一作者、中科院自动化所工程师范津宇认为,该研究结合了认知科学和人工智能,提出了将传统机器视觉数据集转换成认知科学中的交错光栅幻觉图像,并首次对大量的公开预训练神经网络模型的幻觉轮廓感知能力的量化测量,从神经元动力学角度和行为学角度两个检验深度学习和神经网络模型对幻觉轮廓的感知。“这项研究从认知科学的角度检验和部分重新审视了当前看似成功的人工神经网络模型,并且证明人工神经网络模型与生物视觉处理过程仍然存在着很大差距,大脑运作的机理和智能的本质将继续启发人工智能,特别是神经网络的研究。”曾毅说。在他看来,要想从本质上取得突破,人工智能需要借鉴和受自然演化、脑与心智的启发,建立智能的理论体系,这样的人工智能才会有长远的未来。
  • 基恩士推出3D轮廓测量仪新品VR5000
    p   8月27日,基恩士推出新款3D轮廓测量仪VR-5000。2016年,在“3D轮廓测量仪VR-3000系列”的基础上,基恩士推出功能增强的新品。同为VR系列,不同于2016年的产品,本次推出的新品被赋予全新的型号名称VR-5000。 /p p style=" text-align: center "    img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/8ae61b3e-1640-4f4a-a601-ead5dfbad6e4.jpg" title=" 1.jpg" alt=" 1.jpg" / /p p   从基恩士公开的信息看,大范围进行3D测量的最快时间从4秒提高到了1秒。VR-5000搭载了“全自动设定功能”,完成自动对焦、自动设定测量区域、自动进行测量设定等工作,以消除直接导致测量失败的人为设定失误。基恩士在产品介绍中特别提到:“从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量,无论是大范围还是细微部位,均可由1台设备完成测量,仪器的测量范围是以往的5倍。” /p p style=" text-align: center " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/9728e0c6-7a0d-4d0e-b0f4-4b85be5c2bd0.jpg" title=" 2.jpg" alt=" 2.jpg" / br/ 仪器的测量范围是以往的5倍 br/ /p
  • 进出口均价相差400倍——2019年轮廓投影仪海关数据盘点
    p    strong 仪器信息网讯 /strong 测量投影仪又称为光学投影检量仪或光学投影比较仪,为利用光学投射的原理,将被测工件之轮廓或表机投影至观察幕上,作测量或比对的一种测量仪器,可以高效地检测各种形状复杂工件的轮廓和表面形状。仪器信息网通过汇总2019年商品编码90314910的海关进出口数据,对2019年1月至11月轮廓投影仪的进出口贸易情况进行了简要盘点。 /p p   统计周期内,轮廓投影仪进口数量1591台,进口总额约1.77亿元(币种单位:人民币元RMB,以下同) 出口数量约11.79万台,出口总额约3400万元。从数量上看,我国轮廓投影仪出口数量要远远高于进口 从金额上看,呈现出反差,说明出口主要集中在轮廓投影仪中低端仪器市场;从均价上看,单台进口均价约是出口的400倍。 /p p   从数量上看,月度进口数量基本保持在100-200台 从金额上看,月进口总额基本保持在1000万-2000万区间。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/26742f9c-4405-49ae-821d-f60643533be5.jpg" title=" 2019年月度进口数量.png" alt=" 2019年月度进口数量.png" width=" 500" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度进口数量 单位:台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/a61bcc6c-f823-47cd-a065-2c0f63c894d3.jpg" title=" 2019年月度进口总额.png" alt=" 2019年月度进口总额.png" width=" 500" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度进口总额 单位:元 /p p   日本进口数量遥遥领先,进口数量占总进口数量59.2%,进口金额占总进口金额的69.43% 德国排第二,进口数量占总进口数量的24.7%,进口金额占总进口金额的15.27%。日本和德国占据了80%以上的轮廓投影仪进口市场份额。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/cc3d4406-b80c-4860-bd7e-b87583e0e279.jpg" title=" 2019年各国进口数量.png" alt=" 2019年各国进口数量.png" width=" 500" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国进口数量 单位:台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 315px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/5ac76254-fd90-45e4-b113-6e3a785789aa.jpg" title=" 2019年各国进口总额.png" alt=" 2019年各国进口总额.png" width=" 500" height=" 315" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国进口总额 单位:元 /p p span    /span 2019年8月单月出口量8万余台,数量高居月第一,然而当月出口总额倒数第二,说明出口仪器主要是集中于中低端仪器。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 318px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/711aed5f-bb3d-4f05-ba85-2a1702898b73.jpg" title=" 2019年月度出口数量.png" alt=" 2019年月度出口数量.png" width=" 500" height=" 318" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度出口数量 单位:台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/f97c73f6-1e03-4fa8-afea-a1210266cbce.jpg" title=" 2019年月度出口总额.png" alt=" 2019年月度出口总额.png" width=" 500" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度出口数量 单位:元 /p p   从数量上看,最大的贸易出口国是日本,其次为马来西亚,分别占比34.7%、32.18% 从出口金额上看,美国排第一位,其次为台澎金马关税区、香港等。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 309px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/24e00b9c-3472-468b-b0d3-d0d4d03864f6.jpg" title=" 2019年各国出口数量.png" alt=" 2019年各国出口数量.png" width=" 500" height=" 309" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国出口数量(前20) 单位:台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 303px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/d9a2c205-1896-49e8-b639-e1671c27e664.jpg" title=" 2019年各国出口总额.png" alt=" 2019年各国出口总额.png" width=" 500" height=" 303" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国出口总额(前30) 单位:元 /p p style=" text-align: center " 主要进出口企业 /p table border=" 0" cellpadding=" 0" cellspacing=" 0" style=" border-collapse:collapse " data-sort=" sortDisabled" align=" center" colgroup col width=" 72" style=" width:72px" / col width=" 273" style=" width:273px" / col width=" 166" style=" width:167px" / /colgroup tbody tr height=" 18" style=" height:18px" class=" firstRow" td height=" 18" colspan=" 3" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan=" 1" align=" center" valign=" middle" width=" 14" 主要出口企业 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 企业名称 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 年出口规模 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 欧姆龙(上海)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 重庆火星人科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 深圳市中康信实业有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 拜里斯科技(深圳)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 高屋希克斯电子(上海)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 精量电子(成都)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 冲电气实业(深圳)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 上海田岛工具有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 科世达(上海)管理有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 美艾利尔(上海)诊断产品有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" colspan=" 3" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan=" 1" align=" center" valign=" middle" width=" 14" 主要进口企业 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 企业名称 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 年进口规模 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 苏州紫翔电子科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 北京亦庄嘉里大通物流有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 161" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 乐金显示(中国)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万 ~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 基恩士(中国)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 冲电气实业(深圳)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 福州京东方光电科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 深圳市华星光电技术有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr /tbody /table p   从以上分析,可以看出,目前我国轮廓投影仪的进口市场相对稳定,进口仪器主要为中高端仪器 我国轮廓投影仪出口数量远远高于进口,但总体出口总额仅为进口的六分之一,说明出口中低端产品数量较多。 /p p br/ /p
  • 应用案例 | 基于深度神经网络的无需压力校准和轮廓拟合的气体传感光谱技术
    近日,来自安徽大学的周胜副教授团队发表了《基于深度神经网络的无需压力校准和轮廓拟合的气体传感光谱技术》论文。Recently, the research team from Associate Professor Zhou Sheng's from Anhui University published an academic papers Pressure calibration- and profile fitting-free spectroscopy technology based on deep neural network for gas sensing.甲烷(CH4)是天然气的主要成分,在工业生产和日常生活中广泛用作燃料。此外,甲烷是一种重要的温室气体,其浓度对全球气候产生重要影响。因此,甲烷的测量对环境监测、生物医药和研究具有重要意义。气体浓度通常通过各种微量气体传感器进行测量,例如气相色谱仪、半导体气体传感器和电化学设备。半导体气体传感器在适当的操作环境下具有ppm级别的灵敏度。激光吸收光谱技术具有高选择性、高灵敏度、快速和多成分监测等优势,目前广泛用于各种气体的检测。激光吸收光谱技术可以准确测量气体分子的特征吸收线,并基于可调谐激光有效降低其他气体光谱线的干扰。此外,它提供了实时原位气体检测的可能性,这对于从工业过程到环境变化的各种现象的理解和监测至关重要。气体分子可以通过其指纹吸收光谱进行有效识别,包括典型的所谓“展宽”参数和“空气展宽”参数。光谱线参数是压力和温度的函数。浓度测量的准确性取决于压力稳定性和光谱拟合精度。对于定量光谱分析,传统上通过准确的模型对光谱进行拟合,同时压力和温度必须定期校准,尤其是在相对大的环境波动情况下。因此,为实现所需的准确性,系统的复杂性增加了。Methane (CH4), which is the main component of natural gas, is widely used as fuel in industrial production and daily life. In addition, CH4 is an important greenhouse gas whose concentration has a substantial influence on global climate. Therefore, the measurement ofCH4 has significant importance for environmental monitoring, biomedicine, and energy research. The gas concentrations are commonly measured by various trace gas sensors, such as gas chromatographs, semiconductor gas sensors, and electrochemical devices. The semiconductor gas sensors have a sensitivity of ppm level under a suitable operating environment. The laser absorption spectroscopy, which has the advantages of high selectivity, high sensitivity, and fast and multi-component monitoring, is currently widely used in the detection of a variety of gases. Laser absorption spectroscopy technology can accurately measure the characteristic absorption lines of gas molecules and effectively reduce the interference of other gas spectral lines based on the tunable lasers. Moreover, it provides the possibility of real-time in-situ gas detection, which is crucial for understanding and monitoring a variety of phenomena from industrial processes to environmental change. A gas molecule can be effectively identified by its fingerprint absorption spectrum, including typical so-called “self-broadening” parameters and “air-broadening” parameters. The spectral line parameters are functions of pressure and temperature. The accuracy of concentration measurement depends on pressure stability and spectral fitting accuracy. For quantitative spectral analysis, the spectra are traditionally fitted by an accurate model, while the pressure and temperature must be calibrated on time, especially in the case of relatively large environmental fluctuations. Consequently, the complexity of system is increased to achieve the required accuracy. 目前,人工智能的快速发展为解决这个问题提供了一种新途径。人工神经网络已被用于气体识别,并在足够训练数据的条件下表现出良好性能。基于Hopfield自联想记忆算法的神经网络已用于识别五种类似的醇的红外光谱。反向传播神经网络用于从混合气体中识别目标气体,证明了卷积神经网络(CNN)模型可以有效提高识别准确性。此外,最近的研究表明深度神经网络也可以应用于振动光谱分析。卷积神经网络和自编码器网络被用于处理一维振动光谱数据。与传统气体检测技术相比,辅以深度学习的气体传感器可以实现准确的灵敏度测量,并降低异常检测的鲁棒性。深度神经网络(DNN)可以在经过足够样本训练后直接从吸收光谱中学习特征,实现不需要压力校准和轮廓拟合的气体浓度直接识别。这种网络为检索气体浓度提供了一种新途径,无需昂贵且复杂的压力控制器。为了展示提出的DNN辅助算法的性能,构建了一个基于DFB激光二极管的甲烷检测气体传感器系统。预测的浓度与校准值相当吻合。这项研究表明,基于DNN的激光吸收光谱在大气环境监测、呼气检测等方面具有显着潜力。Currently, the rapid development of artificial intelligence provides a new way to solve this problem. The artificial neural network has been used for gas identification and shows a good performance under the condition of sufficient data for training. The infrared spectra of five similar alcohols has been identified by a neural network based on the Hopfield self-associative memory algorithm . A back propagation neural network is used to recognize target gas from the mixtures of gases, which proved that the convolutional neural networks (CNN) model can improve identification accuracy effectively. In addition, recent studies indicate that deep neural networks can also be applied to vibrational spectral analysis. The convolutional neural and auto encoder networks are used to process onedimensional vibrational spectroscopic data. Compared with traditional gas detection technology, the gas sensors assisted with deep learning can achieve accurate sensitivity measurement and reduce the robustness of anomaly detection. A deep neural network (DNN), which can learn features directly from the absorption spectra after training with sufficient samples, achievesthe direct identification of gas concentration free of pressure calibration and profile fitting. This network provides a new way to retrieve gas concentrations without expensive and complicated pressure controllers. To demonstrate the performance of proposed DNN assisted algorithm, a DFB diode laser-based gas sensor system for CH4 detection is constructed. The predicted concentrations are in good agreement with the calibrated values. This study indicates that DNN-based laser absorption spectroscopy has remarkable potential in atmospheric environmental monitoring, exhaled breath detection and etc..实验装置用于获取甲烷(CH4)气体吸收光谱的实验装置如图1所示。一台近红外DFB激光二极管,最大峰值输出功率为20毫瓦,被用作光源。通过控制激光温度和电流,激光可以在6045 cm-1到6047 cm-1范围内进行调谐,宁波海尔欣光电科技有限公司为此项目提供激光驱动器,型号为QC-1000。所选CH4在6046.95 cm-1附近的吸收线在图2中基于从HITRAN数据库获取的光谱线参数进行了模拟。DFB激光二极管经过纤维准直器进行准直,然后由一块CaF2分束器进行对准,分束后的可见红光(632.8纳米)光束用作跟踪激光。随后,光束被送入一个7米有效光程的多程传输池,并且池内的压力由压力控制器、流量控制器和隔膜泵协同控制。一个典型频率为100赫兹的三角波被用作扫描信号,以驱动激光二极管。最后,激光通过一个InGaAs光电探测器进行检测,并被数据采集单元卡获取。信号随后传输到计算机,并由自制的LabVIEW程序进行分析。Experimental setupThe experimental setup used to obtain CH4 gas absorption spectra is depicted in Fig. 1. A near-infrared DFB diode laser with a maximum peak output power of 20 mW is used as the optical source. The laser can be tuned from 6045 cm&minus 1 to 6047 cm&minus 1 by controlling the laser temperature and current via the controller (QC-1000, Healthy photon Co., Ltd.). The absorption line of selected CH4 near 6046.95 cm&minus 1 is simulated based on spectral line parameters obtained from the HITRAN database in Fig. 2. The DFB diode laser is collimatedby a fiber collimator and aligned by a CaF2 beam splitter with a beam of visible red light (632.8 nm) as the tracking laser. Subsequently, the beam is sent to a multi-pass cell with a 7 m effective optical length, and the pressure inside the cell is collaborative controlled by a pressure controller, a flow controller, and a diaphragm pump. A triangular wave with a typical frequency of 100 Hz is used as a scanning signal to drive the diode laser. Finally, the laser is detected through an InGaAs photodetector and acquired by a data acquisition unit card. The signal is subsequently transmitted to the computer and analyzed by the homemade LabVIEW program. QC-1000, Healthy photon Co., Ltd.Fig. 1. Experimental device diagram.Fig. 2. The spectral line intensities of CH4 in the tuning range of 6046.93–6046.96 cm&minus 1 and the cross-section of the selected line obtained from the HITRAN database.结论总体而言,本项目开发了基于DNN算法和激光吸收光谱的概念验证气体传感器,并设计了基于DFB激光二极管的甲烷检测传感器系统。此外,通过计算RMSE和训练时间评估了DNN算法的性能,并优化了DNN层、神经元数量和epochs等参数,以获取最佳参数。提出了改进的系统来分析和预测气体吸收光谱数据,在甲烷浓度预测方面表现出良好的准确性和稳定性。不同浓度的甲烷预测值与相应的理论值线性拟合,证明其在实际领域应用中具有巨大潜力,尤其适用于恶劣环境。Conclusions Overall, a proof-of-concept gas sensor based on the DNN algorithm and laser absorption spectroscopy is developed, and a CH4 detection sensor system based on the DFB diode laser is designed in this paper. In addition, the performance of the DNN algorithm is evaluated by calculating RMSE and training times, and the parameters, which include DNN layers, neuron number, and epochs, are optimized to obtain optimal parameters. The modified system is proposed to analyze and predict the gas absorption spectrum data, demonstrating good accuracy and stability in the prediction of CH4 concentrations. The predicted values of methane with different concentrations are linearly fitted with the corresponding theoretical value, which proves it has great potential in practical field applications, especially for harsh environments.参考ReferencesPressure calibration- and profile fitting-free spectroscopy technology based on deep neural network for gas sensing, Measurement 204 (2022) 112077https://doi.org/10.1016/j.measurement.2022.112077
  • ACS Nano I 用扫描探针显微镜表征二维过渡金属硫族化合物的本征电学特性
    *以下应用说明基于 ACS Nano publication, 2021 15, 6, 9482–9494. 出版日期: May 27, 2021. 介绍 在传统的平面硅场效应晶体管(FET)中,当其横向尺寸小于晶体管厚度时,栅极可控性变弱,从而导致不利的短沟道效应,包括漏电流、沟道中载流子迁移率饱和、 沟道热载流子退化和 介质层时变击穿。因此,需要减小晶体管主体厚度以确保有效的栅极静电控制。理论研究表明,由于二维 (2D) 材料的原子厚度和表面懸鍵,特别是二维过渡金属二硫属化物 (TMD) 作为沟道材料的性能优于硅,能够实现原子级尺度,优异的静电门控,降低断电功耗,进一步扩展摩尔定律。[1-6] 表征沉积态二维材料的内在物理和电学特性的适当技术是沉积态二维材料的质量与基于二维材料的电子设备性能之间的关键联系。此联系可以帮助我们更好地了解、控制和改进基于二维材料的设备的性能。然而,在没有任何转移和图案化过程的情况下,在纳米尺度上分析沉积态二维材料的固有电学特性的技术是有限的。 在本应用说明中,扫描探针显微镜 (SPM) 用于研究沉积态二维TMD 的固有电学特性。 导电原子力显微镜 (C-AFM) 无需任何图案化,直接在生长态二维材料表面进行扫描。 C-AFM 能够将生长态二维材料的电导率与其形貌相关联,从而将二维材料的电特性与其物理特性(如层厚度等)联系起来。所有这些,C-AFM为我们提供了沉积态2D材料的全面信息,并帮助我们评估这些固有特性对基于二维材料的纳电子学的影响。实验细节 Park NX-Hivac 在高真空(~10-5Torr)下,用 C-AFM 在 Park NX-Hivac AFM 上使用 Pt/Ir 涂层的硅探针(弹簧常数 k~3N/m,共振频率 f0~75kHz,PPP-EFM)评估蓝宝石上生长态 MoS2和WS2层的固有电学特性。高真空环境有助于减少样品上始终存在的水层。[4,6] 将C-AFM测量的偏压施加到样品卡盘上,并通过线性电流放大器测量产生的电流。收集所有 C-AFM 电流图所施加的偏压均为1 V。在样品的顶部和侧面涂上银漆,以确保电接触。结果与讨论 在 C-AFM 电流图(图 1b)中,同轴切割蓝宝石上沉积的 MoS2 层在整个表面上显示出非均匀导电性,尽管图 1a 中的形貌显示了完全聚结的单层 MoS2 ,其顶部约有~37%的表面晶体(命名为1.3 ML)。通过引入离轴 1º 切割蓝宝石作为衬底,MoS2 层的电导率变得更加均匀, 与它们更均匀的表面结构一致(图 1c 和 d)。 总体而言,离轴 1º 切割蓝宝石上约~83% 的单层 MoS2 具有更高的电导率,而使用同轴上切割蓝宝石仅占 51%。 [7] 电导率较低的区域在图 1b、d 中用粉红色标记,阈值电流约为 ~0.3 μA。 因此,通过引入离轴 1º 切割蓝宝石(图 1b、d 中的 49% 到 17%) 可降低较弱导电区域的密度。图1.(a,c)分别在同轴和离轴1º切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2的C-AFM形貌图(b、 d)同时与(a,c)一起获得的 C-AFM 电流图。通过电流阈值(~0.3μA),第一单层MoS2中的非均匀和导电性较弱区域以粉红色突出显示。经许可复制图像。[7] Copyright 2021, American Chemical Society.通过跳过蓝宝石晶片的预外延处理过程,该密度可以进一步降低到约~6.5%(图 2a-b)。具有较低电导率的 MoS2 区域的形状不是随机的,而是对应于特定的下层蓝宝石阶地。离轴 1º 切割蓝宝石上具有较低 MoS2 电导率的区域对应于聚集在一起的阶地。在预外延处理和 MOCVD 过程中,台阶会分解和凝聚。台阶(变形)成型主要由预外延处理和 MOCVD 工艺中使用的高温驱动。正如对离轴 1º 切割蓝宝石所预期的那样,随着 Wterrace 变窄,阶梯聚束变得更可能发生。当单层 MoS2 沉积在离轴 1º 切割蓝宝石上而不进行任何预外延处理时,高导电区域的密度从 83%(图 1d)进一步增加到 93.5%(图 2b)。可以观察到成束台阶(具有更高的 Hterrace,图 2a 中的 5.8%)和导电性较弱的区域(图 2b 中的暗区为 6.5%)之间存在明显的相关性。从图 2c 中的地形和电流图提取的横截面轮廓进一步支持了这一观察结果。然而,在图 2b 中没有完全去除导电性较弱的区域。这应该与生长温度(在我们的工作中为 1000 °C)有关,该温度足以在沉积过程中在蓝宝石表面引入阶梯聚束。[8-10]图2. 蓝宝石上生长的MoS2的不均匀导电性. (a-b)C-AFM 形貌图,同时获得离轴1º切割蓝宝石上1.3 ML MoS2 的电流图. (c)(a-b)位置处的相应横截面高度(红色)和电流(蓝色)剖面. (d- e)形貌图,同时获得同轴切割蓝宝石上3.5 ML MoS2的电流图。经参考文献[7]许可,对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.关于观察到的 MoS2 电导率分布的不均匀性,我们发现非封闭顶层中 MoS2 晶体的存在不会影响电导率。 事实上,具有较低电导率的 MoS2 区域与 MoS2 层厚度几乎保持不变,因为它们也存在于 3.5 ML MoS2 中(图 2d-e):形貌和当前图像中黄色虚线区域的比较表明,MoS2 晶体具有非封闭顶层中方向错误的基面不会影响该区域的导电性。 此外,值得注意的是,不同电导区域的存在不仅出现在 MoS2 外延层中,也出现在蓝宝石上生长的 MOCVD WS2 层中,如图 3 所示。图3.(a-b)同轴切割蓝宝石的形貌图和同时获得的1.7 ML WS2电流图。经参考文献[7]许可,对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.因此,较低的导电性主要与完全闭合的第一MoS2单层有关,而不是与非闭合的顶层有关。图4a-b显示了两个第二层MoS2晶体,其中一些区域具有较高的导电性,而另一些区域具有较低的导电性,从而进一步支持了这一点。图4.(a-b)在同轴切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2上第2-3层MoS2岛的导电性。(a)在同轴切割蓝宝石上生长的MoS2的形貌及其相应的(b)电流图。白色的晶体轮廓显示部分区域具有较高的导电性,部分区域具有较低的导电性,表明表面晶体对蓝宝石上MoS2的不均匀导电性贡献不大。(c-f)轴切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2的降解。(c-d)MOCVD生长后立即收集的1.3 ML MoS2的1 V下的形貌图及其相应的电流图。(e-f)在氮气柜中储存6个月后,同一样品在1 V下的形貌图和电流图。在(c)中没有氧化区,但在(e)中MoS2被部分氧化,这总是与(f)中的较弱导电区相关。经参考文献[7]许可,对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.结果表明,蓝宝石起始表面的状态是决定第一层MoS2单层物理和电学性能的关键参数之一。结论通过 C-AFM 评估二维 TMD的固有电学特性,并将其与样品形貌联系起来。我们在沉积的二维 TMD 单层中发现了非均匀导电性,这可能源于:(i)TMD 层厚度变化导致的TMD 表面粗糙度; (ii)蓝宝石表面形貌引起的 TMD 应变;(iii)由于每个蓝宝石阶地的 TMD 形核率的依赖性,TMD 晶粒内缺陷率;(iv)蓝宝石表面结构和终端引起的 TMD 界面缺陷,可能导致不同的局部掺杂效应。进一步的研究正在进行中,将 C-AFM 与先进的光谱技术(如拉曼、PL和TOFSIM)相结合,以进一步探索外延二维材料的固有特性。参考文献 (1) Liu, Y. Duan, X. Shin H.-J. Park, S. Huang, Y. Duan, X. Promises and Prospects of Two-Dimensional Transistors. Nature 2021, 591, 43–53.(2) Su, S.-K. Chuu, C.-P. Li, M.-Y. Cheng, C.-C. Wong, H.-S. P. Li, L.-J. Layered Semiconducting 2D Materials for Future Transistor Applications. Small Struct. 2021, 2, 2000103.(3) Akinwande, D. Huyghebaert, C. Wang, C.-H. Serna, M. I. Goossens, S. Li, L.-J. Wong, H.-S. P. Koppens, F. H. L. Graphene and Two-Dimensional Materials for Silicon Technology. Nature 2019, 573, 507–518.(4) Agarwal, T. Szabo, A. Bardon, M. G. Soree, B. Radu, I. Raghavan, P. Luisier, M. Dehaene, W. Heyns, M. Benchmarking of Monolithic 3D Integrated MX2 FETs with Si FinFETs. In 2017IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2017 p 5.7.1–5.7.4.(5) Smets, Q. Arutchelvan, G. Jussot, J. Verreck, D. Asselberghs, I. Nalin Mehta, A. Gaur, A. Lin, D. Kazzi, S. E. Groven, B. Caymax, M. Radu, I. Ultra-Scaled MOCVD MoS2 MOSFETs with42nm Contact Pitch and 250μA/Mm Drain Current. In 2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2019 p 23.2.1–23.2.4.(6) Smets, Q. Verreck, D. Shi, Y. Arutchelvan, G. Groven, B. Wu, X. Sutar, S. Banerjee, S. Nalin Mehta, A. Lin, D. Asselberghs, I. Radu, I. Sources of variability in scaled MoS2 FETs. In 2020 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2020 p 3.1.1–3.1.4.(7) Shi, Y. Groven, B. Serron, J. Wu, X. Nalin Mehta, A. Minj, A. Sergeant, S. Han, H. Asselberghs, I. Lin, D. Brems, S. Huyghebaert, C. Morin, P. Radu, I. Caymax, M. Engineering Wafer-Scale Epitaxial Two-Dimensional Materials through Sapphire Template Screening for Advanced High- Performance Nanoelectronics. ACS Nano 2020, DOI: 10.1021/ acsnano.0c07761.(8) Cuccureddu, F. Murphy, S. Shvets, I. V. Porcu, M. Zandbergen, H. W. Sidorov, N. S. Bozhko, S. I. Surface Morphology of C-Plane Sapphire (α-Alumina) Produced by High Temperature Anneal. Surf. Sci. 2010, 604, 12941299.(9) Curiotto, S. Chatain, D. Surface Morphology and Composition of C-, a- and m-Sapphire Surfaces in O2 and H2 Environments. Surf. Sci. 2009, 603, 2688–2697.(10) Ribič, P. R. Bratina, G. Behavior of the (0001) Surface of Sapphire upon High-Temperature Annealing. Surf. Sci. 2007, 601, 44–49.想要了解更多内容,请关注微信公众号:Park原子力显微镜,或拨打400-878-6829联系我们Park北京分公司 北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室 Park上海实验室 上海市申长路518号虹桥绿谷C座305号 Park广州实验室 广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211
  • 热扫描探针光刻技术消除二维半导体材料-金属肖特基势垒——不止于操作便捷,更在于特性提升
    二维半导体材料,比如二硫化钼(MoS2),表现出了诸多新奇的特性,从而使其具有应用于新型电子器件领域的潜力。目前,研究人员常用电子束光刻的方法,在此类仅若干原子层厚的材料表面定域制备图形化电,从而研究其电学特性。然而,采用此类方法常遇到的问题之一是二维半导体材料与金属电之间为非欧姆接触,且具有较高的肖特基势垒。近期,刊载在Nature Electronics上的Patterning metal contacts on monolayer MoS2 with vanishing Schottky barriers using thermal nanolithography一文(Nature Electronics volume 2, pages17–25 (2019)),针对以上问题展开了研究。文中,Zheng等人采用热扫描探针光刻(thermal scanning probe lithography,t-SPL)的方法,在二维原子晶体表面成功制备了图形化电。此方法具有高的可重复性,并且具有小于10 nm的分辨率,以及可观的产率(单根针达到105?μm2?h?1)。相较于电子束光刻方法而言,此方法可以同时进行图形化工艺并原位对图形化工艺后的结果进行成像表征,而且不需要真空腔体以及高能电子束。采用这一技术方案,Zheng等人在单层MoS2上制备了具有栅和背栅结构的场效应晶体管。在未采用负电容或异质堆叠等方案的前提下,Zheng等人制备的器件中的二维半导体材料与金属电之间的肖特基势垒趋于0 meV,开关比达到1010,且亚阈值摆幅低至64 mV/dec,大大优于此前诸多其他方案所制得的类似器件的电学特性。 图1 器件制备流程及主要步骤后的样品形貌表征表1 采用两种不同方法(热扫描探针光刻与电子束光刻)制备的基于MoS2的FET的电学特性对比 值得指出的是,文中Zheng等人实现图形化掩膜制备所用的设备,是由瑞士Swisslitho公司所研发的NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机,该系统实现图形化工艺主要是基于前文所述的热扫描探针光刻技术。热扫描探针光刻技术的核心,是利用高温纳米针与一种热解胶(PPA)作用,热解胶在高温作用下会挥发,从而使热针“画”过的区域没有热解胶而热针没有“画”过的区域留存有热解胶,从而实现对热解胶的图形化处理。工艺过程中,图形的刻写精度与针的曲率半径以及针的温度控制水平息息相关。依托成熟的微加工工艺以及微系统设计经验,Swisslitho设计并制备了具有纳米曲率半径的针的悬臂梁,并且在悬臂梁上集成了用于控制及反馈针温度的电学系统,可以在室温至1100 ℃的范围内对针的温度进行准确地控制及监测,从而使得NanoFrazor的图形加工精度可以达到10 nm量的水平,且工艺具有佳的稳定性和重复性。图2 针处于加热状态下的悬臂梁图像另一方面,从工作原理不难看出,热扫描探针光刻不需要额外的显影操作。只要是用高温纳米探针在热解胶表面一“画”,热解胶表面相应区域就会挥发掉,从而在表面留下痕迹。着眼于这一特点,Swisslitho的研发人员巧妙地在悬臂梁上集成了轮廓探测器,可以原位对热解胶表面留下的痕迹进行形貌表征,从而实现闭环图形加工功能。NanoFrazor使用户可以实时了解图形加工的情况,并进行修正,大大缩减了图形化工艺所用的时间,提升了效率。 此外,由于NanoFrazor特殊的结构特点,使得NanoFrazor在进行套刻工艺时,可以方便快捷地直接定位到样品表面的目标区域并进行套刻工艺,无须预先在样品表面制备对准标记,亦可省去进行传统光学光刻或电子束光刻对准过程中的繁琐步骤。 为重要的是,由于工艺过程中用针的热与热解胶作用替代了电子束或光束与光刻胶作用,可以有效减少图形化工艺过程中对样品中介质材料的电荷注入所引起的损伤,从而提升微纳结构电学特性的可靠性,亦可有效提升器件的电学特性。
  • 布鲁克三集团高层:以收购和应用扩展为手段,令技术覆盖度更宽
    仪器信息网讯 自2013年起,布鲁克集团科学仪器按照业务种类分为三大集团,分别为BBIO(BIOSPIN,拜厄斯宾)集团、CALID集团和 BNANO集团。BBIO集团的业务主要包括核磁共振及临床前成像方面的产品和服务 质谱、红外和近红外光谱、拉曼、检测等业务均属于CALID集团 X-射线分析、纳米分析和纳米表面均隶属于BNANO集团。  近半年来整个布鲁克完成了7起收购,产品和应用种类在逐渐扩展。在注重高端科研市场的同时,也将更多目光投降了广阔的应用领域。针对布鲁克三大集团在中国的发展情况和各部门的产品业务,仪器信息网对布鲁克三大集团高层进行了圆桌采访。CALID集团总裁Juergen Srega 、BBIO 集团首席财务官Christian Busch、BBIO集团亚太销售总监John Breslin、BNANO集团总裁Munch Mark、布鲁克AXS部门总裁Frank Burgaezy、BNS部门亚太区资深总监Tim Shi以及三大集体各部门在中国的高层管理者均出席了本次采访活动。-质谱业务  仪器信息网:近几年,布鲁克的质谱产品在中国的发展状况很不错,而去年道尔顿在全球的业务收入表现出一些下滑。CALID在中国市场的业务情况是否给全球带来业绩上的拉动?  CALID集团总裁Juergen Srega: 如同财报中显示的一样,去年布鲁克以及CALID集团业务的下降的主要原因是我们在欧洲学术市场和美洲市场的销售量下滑。与欧美市场情况不同,质谱在中国的销售取得超出预期的两位数增长,主要是一部分产品的销售量快速增加,特别是MALDI产品。科研和临床市场齐头并进,并取得了非常显著的收效。另外,QTOF产品线也有非常喜人的增长。所以,虽然在全球我们的销售的确有下降,然而由于中国区布鲁克质谱团队的优秀表现,不仅拉动了全球的业绩,同时也是气势的鼓舞。最近,我们看到了一些业绩低迷地区的业绩开始恢复,在2016年度第四季度欧美地区的销售业绩也已经改善。布鲁克还是带着乐观的态度和发展趋势进入了2017年。中国还将会是我们最为重要的增长地区。  仪器信息网:2017年布鲁克整体收入下降,但用于研发的费用反而增加了2%。这是什么原因?  CALID集团总裁Juergen Srega: 布鲁克非常重视研发,尽量减少业绩对研发投入的影响,几年来都保持在一个平稳固定的投入。2016年公司财报显示用于研发的费用增加了2%,但事实上我们在美元上的投入总数是与往年相当的,只是由于上面谈到的业务收入暂时萎缩和汇率等问题使得研发投入比例相对增加了一些。正常的状况下,我们近几年一直在保持8.5%左右的研发投入。  仪器信息网:2017年开年布鲁克道尔顿就收购了SCiLS GmbH以及InVivo Biotech两家德国公司,这表明怎样的战略?  CALID集团总裁Juergen Srega: 不仅仅是今年开年的两笔收收购,去年11月布鲁克收购了英国的一项核酸测试技术资产包括微生物实时PCR技术,主要是支持CALID集团MALDI Biotyper微生物鉴定平台的应用拓展,为以PCR为基础的综合研究提供支持。接着,在2017年初的时候又收购了一家分子生物学合同制造企业(CMO) InVivo Biotech,InVivo在支持MALDI平台的同时,也进行创新免疫测定系列产品和研究试剂盒的开发与生产。这两部分收购,使得布鲁克在蛋白和微生物领域更有技术实力和拓展能力。  我们认为布鲁克是质谱成像方面的领导者,为了增强布鲁克分子诊断技术在常规医学检验中的应用进程。今年初的另一笔收购对象是提供创新软件工具的SCiLS GmbH公司。该收购的目的是为布鲁克质谱成像(MSI)提供大数据云安全支持,拓展布鲁克高端质谱系统在分子药物成像解决方案等领域的应用。这包括布鲁克rapifleX™ 高分辨率MALDI-TOF(/TOF)和solariX™ XR极端分辨率MALDI-FTMS等产品。最近布鲁克CALID集团相关的收购旨在使我们能够提供的解决方案更加完整和全面,在满足这一层面的基础上,我们也有继续收购的打算。-光谱业务  仪器信息网:布鲁克的红外和近红外产品目前在中国的发展都很强劲,您认为下一个增长点会在哪?  布鲁克光谱中国区总经理赵跃:对布鲁克来说,的确红外和近红外产品在中国市场中处于强势的位置。虽然目前我们看到市场的增长是平缓的,但是我们依然看到了市场的潜力。此前,我们将精力集中在高端科研市场,而渐渐地发现有更多应用市场需要开拓,这包括制药、聚合物、食品和饮料的市场。另外,国家政策对于科研的投入比例加大,我们也在追踪国家项目经费去向在科研方面谋求高端技术的更多发展。如最近非常热的拉曼成像技术,我们在2016年推出的紧凑型科研级拉曼显微镜SENTERRA II,就是一款在科研领域非常有竞争力的拉曼产品。  仪器信息网:谈到拉曼产品,其并不如布鲁克红外和近红外产品在中国发展的成熟,您如何看待布鲁克拉曼的未来?  布鲁克光谱中国区总经理赵跃:其实,布鲁克做拉曼已经有很长历史了,有些中国用户已经使用布鲁克拉曼产品超过了20年。特别是在傅里叶拉曼方面我们有很强的技术优势。从激光拉曼这个市场来说,布鲁克近两年相继推出的新产品无论在自动化程度方面、还是分辨率和长期稳定性方面都得到了很好的提高。基于这些原因,我认为布鲁克拉曼在材料科学市场、生命科学市场的快速检测领域,我们依然能找到更多的发展机会。-BNANO集团业务  仪器信息网:BNANO集团最近收购了纳米压痕仪器公司Hysitron(海思创), 请问这一收购将如何并入贵公司的整体产品系列?  BNANO集团总裁Mark Munch:是的,今年年初我们收购了优秀的纳米力学仪器制造商Hysitron。除纳米压痕和微压痕外,Hysitron的仪器产品还包括纳米摩擦学、纳米机械性能二维图谱、动态机械性能分析、原位SEM(扫描电子显微镜)和TEM(透射电子显微镜)纳米机械测试类仪器。这个收购给BNANO集团的纳米分析和纳米表面部门都带来了新的内容。如电镜联用等产品加入BNA,而独立系统的产品则加入了BNS部门。Hysitron的纳米机械测试仪器已经添加到布鲁克BNS现有的原子力显微镜(AFM),表面轮廓仪,摩擦学和机械测试系统的产品组合中。  除了这个收购,2016年我们还收购了澳大利亚Yingsheng Technology公司的第三代高级矿物鉴别系统(AMICS)软件包。AMICS软件产品也加入到了BNA纳米分析产品家庭,以期更好的为土壤和材料学的研究者和OEM企业提供更全面的矿质表征能力。  仪器信息网:请您简单介绍BNANO集团中BNA部门的产品线特点。  布鲁克BNA部门中国区总经理李慧:BNA的产品线与布鲁克其它部门相比有些特殊,包含产品类别很多。除了从Yingsheng Technology公司收购来的AMICS软件产品之外,还包括传统的BNA产品如X射线能谱、扫描电镜、电子背散射衍射系统(EBSD)、X荧光光谱和XRF。今年我们会发布第二代EBSD,新的产品在技术方面有了非常明显的改进,我们也期待中国的用户的反馈。另外,Hysitron也给我们BNA带来了新的产品,Hysitron的产品和技术给原位表面分析增添一系列有用的技术和工具。在中国,有很多做原位研究的专家,一定很高兴看到布鲁克的这些新技术和应用。我们也愿意不断为科学家们提供和更多的产品和应用技术。-NMR业务  仪器信息网:竞争往往会令产品和技术更加精良和受到市场欢迎,而目前布鲁克的高场NMR几乎没有竞争对手。布鲁克对于NMR业务今后的发展是如何考虑的?  BBIO亚太销售总监John Breslin解释:虽然我们在NMR市场处于领先地位,但同时我们也在发展高场核磁技术。事实上,用户希望我们不断创新。高校、政府等科研机构需要我们技术,因为他们想要在研发方面实现更多没有人做到的前沿性成果。这引领我们进行尽可能多的改进和拓展,包括新产品和提高性能。我们和一些研究用户展开合作,会根据他们在前沿研究中的应用需求而开发新的应用技术,或是从技术发展的角度看到更多研究者将会需要的技术或产品。另外,布鲁克有研发高端新技术的传统,研发新技术的热情也是NMR技术不断发展的强大力量之一。  针对NMR业务在全球和中国市场的发展情况,仪器信息网编辑专门对BBIO集团高层进行了深入采访,详细报道即将刊出。 仪器信息网编辑郭浩楠
  • 达硕信息与雪景电子科技在全二维气相色谱领域深入合作
    达硕信息与雪景电子科技在全二维气相色谱领域深入合作2016年1月 15 日,大连达硕信息技术有限公司(以下简称:达硕信息)与雪景电子科技(上海)有限公司依托各自优势,在全二维气相色谱(GC×GC)数据分析软件开发、产品推广及解决方案展开全面合作,达硕信息也成为雪景电子科技国内首家合作经销商。 达硕信息是国家级高新技术企业,是国内为数不多的具备算法创新能力,提供数据处理软件产品和服务,及行业数据个性化解决方案的企业。公司海外归来的同事具有很强的全二维色谱分析及其复杂数据分析处理背景,在国际领先的Philip Marriott研究组从事多年的全二维化学计量学相关算法研究,研究成果丰硕,获得广泛的国际认可。 关于雪景电子科技雪景电子科技( 上海)有限公司致力于以全二维气相色谱为主的先进色谱技术的研发、销售、推广、以及技术咨询服务。公司由留美海归博士创办成立,技术研发实力雄厚,人才配备精良。研发团队拥有世界顶尖分析仪器公司研发实验室多年工作经验,对全二维色谱的系统开发和应用实践有着深刻的理解和丰富的经验。 一、全二维气相色谱简介(GC×GC)全二维气相色谱(Comprehensive Two-dimensional Gas Chromatography, 简称GC×GC)是上世纪九十年代在传统的一维气相色谱基础上发展起来的一种新的色谱分析技术。其主要原理是把分离机理不同而又互相独立的两支色谱柱以串联方式连接,中间装有一个调制器(Modulator), 经第一根柱子分离后的所有馏出物在调制器内进行浓缩聚集后以周期性的脉冲形式释放到第二根柱子里进行继续分离,最后进入色谱检测器(图1)。这样在第一维没有完全分开的组分(共馏出物)在第二维进行进一步分离,达到了正交分离的效果。 图1 全二维气相色谱原理图 ■全二维色谱图 检测器的信号经过专业软件重整合并后可以生成直观的全二维色谱图。一般以第一根柱上的保留时间为横坐标, 第二根柱上的保留时间为第二横坐标,信号强度为纵坐标做三维图;或以第一根柱上的保留时间为横坐标,第二根柱上的保留时间为纵坐标,信号强度以颜色深浅区分的二维等高图或轮廓图。 ■技术特点 相比于传统的一维气相色谱,全二维气相色谱的主要优势在于 →分辨率高,峰容量大 →灵敏度高 →不同种类的化合物在色谱图上的分布有规律,便于定性分析 ■调制器(Modulator) 全二维色谱最核心的部件是调制器,根据调制的类型,可分为气流式调(Flow modulator)和热式调制器(Thermal modulator)。气流式调制器也称阀调制器,通过一段固定长度的样品管路和两个切换阀来实现馏分的聚集和释放。该技术安装简单,调制范围广,但配置灵活性差,性能不理想,而且与质谱配合时大量样品都需要被分流(因为质谱的进口流量一般不超过1-2ml/min,而气流式调制器的出口流量一般在20ml/min左右),从而影响灵敏度,目前实际应用并不普及。而热式调制器采用对某段色谱柱进行反复冷却和加热实现组分在色谱柱内的聚集和释放,配置灵活,性能更好,是目前主流的调制器类型。LECO和ZOEX是目前世界上主要的两家热调制器生产厂家(均为美国公司),国内目前以研究仿制为主,还未形成有竞争力的商业化产品。这些市场上主流的热调制器均采用大量制冷剂(液氮、液态二氧化碳或制冷空气等)进行制冷,使用不方便,维护成本高,难以在基层实验室进行推广。■主要市场全二维气相色谱技术相比传统一维色谱,分离能力大大增强,特别适合于针对复杂样品的高分辨解析,或者是在含有较大本底物质的样品中针对某些特定痕量物质的分析检测。目前主要用于以下行业和市场 →石油化工(油品分析,工艺检测,溢油分析) →环境检测(挥发性有机物,PM2.5溯源,持久性有机物) →食品药品(非法添加,农药残留,特色鉴定) →香精香料(有效成分,添加物、残留物分析) →生物医疗(代谢组学,呼气检测) 二、新一代全二维气相色谱技术 针对现有热调制器和全二维气相色谱使用不便的问题,雪景电子科技(上海)有限公司与达硕信息在硬件设计、配置优化、数据处理等方面进行了一系列的创新,推出了以新型固态热调制器为基础的新一代全二维气相色谱技术,为全二维气相色谱在普通实验室甚至实验室外的应用创造了条件。■新型固态热调制器 新型固态热调制器采用半导体制冷技术,使全二维气相色谱(GC×GC)彻底摆脱了液氮和其他制冷剂的使用。创新的机械、热管理与模块化设计在保证了产品性能与目前主流热调制器相当的基础上,显著提高了热效率,减小了系统体积和功耗,简化了安装与操作过程(图2)。这些技术进步极大地降低了GC×GC技术的使用难度和运营成本,适合于在常规实验室推广普及。另外,固态热调制器可以简单安装各种气相色谱平台进行使用,首次使全二维气相色谱在野外分析和在线检测的应用成为可能。 图2 新型固态热调制器实物图及装配效果图主要技术特点和指标 →制冷方式:半导体制冷元件(TEC),无需任何制冷剂 →外观:575px×275px×250px →重量:5kg →电源:110-220VAC, 最大功耗 220W →冷区温度:-50—100°C,数字设定,支持多阶程序升温 →热区温度:40—320°C,数字设定,支持多阶程序升温 →调制范围:C5-C40 →调制周期:≥1.5s →调制后峰宽:典型值20-25ms →吹扫气用量:干燥氮气或空气3-10ml/min(20psi), 用于保持冷区干燥 →通讯接口:USB与PC通讯,同步线与GC通讯 →人机界面:PC客户端 →色谱平台:可搭配任何气相色谱平台,包括实验室色谱和便携式色谱 →创新的电子补气模式 新一代全二维气相色谱技术在调制器和第二维分析柱之间加入了一路电子控制的补气(图3)。这种全新的工作模式给全二维色谱带来了巨大的优势和灵活性。 图3 带有电子控制的补气模式的全二维气相色谱原理图 首先,第一维和第二维的流量实现了完全解耦,从而可以方便灵活地对两维流量同时进行优化。而在传统的全二维气相色谱中,第一维和第二维流量相同,一般无法实现同时优化,需要采用额外的二维柱箱对二维分离进行有限的调节(消除峰迂回等)。全新的补气模式省去了二维柱箱配置,进一步简化了系统。更重要的是,灵活的两维流量控制也首次让两维保留时间锁定和比例缩放成为可能,实现了在不同检测器和不同配置条件下谱图的精确对应(详见最新技术应用),为建立特定样品的二维指纹图谱库以及快速筛查和谱图比对铺平了道路。此外,电子补气模式还可以提供一些额外的功能,比如对一维柱的反吹保护等。■全二维色谱数据处理软件数据处理一直是全二维色谱技术中的难点和痛点。雪景科技推出的Canvas多维色谱数据处理软件使用了高度智能化的算法,根据使用者的习惯和分析规律,省略了大部分冗余的用户参数,使全二维气相色谱分析更加简洁快速。该数据处理软件可以实现以下功能 →二维色谱可视化 →智能化调制周期判定、峰识别和积分(全程自动化,无需客户干预) →族分析功能 →色谱图对比 →定量与定性分析 →系统流路计算优化 此外,还可以根据不同客户的需求,对常用全二维气相色谱功能进行集成和定制,方便客户的日常操作与检测分析。 ■达硕信息在全二维色谱分析和算法方面拥有丰富的经验,特别是在谱图分析、模式识别、指纹图谱库建立等方面掌握全球领先的核心技术。达硕信息将与雪景科技将展开深入合作,进一步完善二维色谱数据处理软件的功能,并逐步建立典型行业重要样品的二维指纹图谱库,力争降低全二维色谱分析的技术门槛和操作难度,为今后全二维气相色谱分析的普及与标准化作出贡献。三、发展路线与合作模式 我们的特点是拥有自主知识产权的简单实用的硬件和软件,以及丰富的全二维气相色谱分析应用和数据处理经验。对于现有的分析检测行业的用户,如果需要对复杂样品进行全面分析,我们可以提供必要的硬件和软件,将常用的一维气相色谱简单升级成全二维气相色谱系统,以达到高分离度高分辨率的要求。同时,我们也将和各行各业的分析检测客户深入合作,根据行业特点,共同开发标准化的全二维分析方法,逐步建立起典型样品的二维指纹图谱库,实现利用非质谱检测器进行样品快速比对和常规筛查,简化分析过程,减少数据处理时间,从而实现全二维气相色谱技术在分析检测行业的普及应用。此外我们也欢迎各仪器厂商和我们进行系统集成等方面的合作,将全二维气相色谱技术进一步推向更广阔的市场,尤其是在线和便携式的检测市场。×
  • 几何量精密测量仪器企业中图仪器冲刺IPO
    “专精特新”小巨人企业中图仪器对资本市场发起冲刺。  公开信息显示,10月21日,深圳市中图仪器股份有限公司(简称“中图仪器”)与中信建投(601066)签署上市辅导协议。成立于2005年的中图仪器致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。去年国家工业和信息化部公示了第三批专精特新“小巨人”企业名单,中图仪器顺利入选。  自2005年成立以来,中图仪器逐步聚集了来自清华、西安交大、哈工大等高校毕业生带头的工程师队伍,从小仪器到大品种,持续推动国内精密测量技术创新与进步。  中图仪器重点发展高端精密、超精密几何量检测仪器,提供一维、二维、三维的尺寸测量产品。中图仪器在精密轮廓扫描技术、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的研发设计、制造优势,已具备从纳米到百米为用户提供专业的精密测量仪器和测量解决方案的能力,大部分产品达到国际先进水平。  目前,中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业,部分产品达到国际先进水平,参与制定了多项国家标准。  中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地,在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地。发展至今,中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区,海外市场快速成长,营销网络日逐完善。  公开报道显示,多年来中图仪器的研发投入占销售额的25%以上,高于行业10%的平均水平。截至2021年10月31日,公司已拥有99项专利及软件著作权,参与制定3项ISO标准,主导或参与制定10余项国内或行业标准。  辅导文件显示,马俊杰为中图仪器控股股东,直接及间接持有公司股权比例为36.28%。企查查显示,中图仪器自2016年起经历多轮融资,参投机构包括壹海汇资本、方广资本、架桥资本、海量资本和深创投等。  据了解,在我国高端几何量仪器领域被蔡司、海克斯康、三丰、ZYGO等国际著名品牌全面占据的情况下,中图仪器研制的闪测仪、激光跟踪仪、激光干涉仪、光学3D表面轮廓仪、测长机等多款精密测量仪器逐步达到进口仪器性能水平,以较低成本较高性能服务于我国计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业领域,推动行业国产替代,同时市场占有率攀升。
  • 铂悦仪器参加第11届广州国际太阳能光伏展
    中国光伏产业持续创新和技术进步,促进了光伏行业良性的发展,为配合“十三五”光伏产业发展规划,推进分布式光伏发电及光伏电站建设。第十一届广州太阳能光伏展(简称“PV Guangzhou2019”)招展现已启动,将于2019年8月16日-18日在广州.广交会展馆A区盛大召开!展示内容覆盖光伏产业各个领域,包括原料供应、主辅材料、太阳能电池板,太阳能电池,机械设备、光伏电池、光伏组件、光伏工程及光伏应用产品,有众多的锂电池生产厂家和光伏生产厂家,以级太阳能生产厂家参与其中。铂悦仪器展位号B723 , 此次展会向大家展示了I-V 曲线测试仪 PV200,1500V光伏组串检测仪 Solar Utility Pro,德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪),光学轮廓仪Contour GT,薄膜应力量测仪等相关产品铂悦仪器现场展台【展示仪器】 I-V 曲线测试仪 PV200PV200为光伏系统提供了一个的测试及诊断解决方案,能够根据IEC 62446标准进行投运试验,并且根据IEC 61829快速,准确的测试IV曲线。配合使用Solar Surver 200R辐照度计,PV200能将测量数据转换为STC标准值,是使用PVMobile或者SolarCert Elements上位机软件,均支持与PV组件的出厂标定值进行直接对比。PV200使用者1. 光伏发电系统安装人员2. 光伏发电操作人员和测试技术人员3. 光伏组件制造商德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提到了过去四十年Dektak技术创新的,更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。光学轮廓仪Contour GT用于工艺质量监控定标性测试系统ContourGT-X是实验室开发到批量生产均可适用的高性能仪器。它积累了前十代产品在白光干涉技术上的创新,实现了快速地三维表面测量,从纳米级粗糙度表面的测量到毫米级台阶的测量,垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的XYZ控制的扫描头自动控制,使得仪器操作简便易行。配备*新的Vision64软件,具有的仪器测量和数据分析功能,而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了大的便利。
  • 收购Hysitron 揭秘AFM背后的布鲁克BNS部门——访布鲁克纳米表面仪器部(BNS)中国区总经理邹海涛
    p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "   布鲁克科学仪器业务分为三大集团,相比BIOSPIN集团的核磁共振/临床成像、CALID集团的质谱/光谱,BNANO集团下属纳米表面仪器(Bruker Nano Surfaces,简称BNS)部门在媒体的曝光度一直相对较少,略显“神秘”。 /span /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "   2017年初,布鲁克收购纳米力学仪器制造商Hysitron(海思创),将Hysitron纳米机械测试仪器添加到BNS部门中。加上BNS独有的AFM、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统等产品组合,以及连续多年的业绩攀升,布鲁克这个纳米表面仪器部门正向外界透露出难以忽视的创新实力。近日,仪器信息网采访了布鲁克纳米表面仪器部(BNS)中国区总经理邹海涛(以下简称‘Jeffrey’),揭开布鲁克这个部门的神秘面纱,看其在中国本地如何“出奇制胜”。 /span /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " /span /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ecdc5f26-14e0-4b85-bf20-4b6d9c790cba.jpg" title=" IMG_9042_副本_副本.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 布鲁克纳米表面仪器部(BNS)中国区总经理邹海涛 /span /strong /p p    span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 溯源:诞生于一场2.29亿美元收购 /strong /span /p p   于科学仪器企业而言,若想快速进入某一热点市场,收购无疑是一条快速通向“罗马”的捷径。在纳米表面仪器领域,布鲁克显然也尝到了“甜头”。 /p p   2010年,世界知名测量仪器和加工设备生产商Veeco宣布,将其测量仪器业务以2.29亿美元价格出售布鲁克。Veeco位于加州圣巴巴拉的原子力显微镜(AFM)业务,在亚利桑那州图森的光学工业计量(OIM)业务纷纷并入布鲁克,与布鲁克全球纳米仪器业务相结合,形成了BNS部门雏形。溯源梳理,这也可以说是布鲁克BNS部门最初的起点。 /p p   此后的几年间,布鲁克BNS部门又分别对Center for Tribology(一家纳米机械与摩擦测试仪器制造商)、Prairie Technologies及Vutara公司(提供应用于生命科学领域的高速先进的光学荧光显微镜,超分辨率荧光显微镜、多光子显微镜产品等技术的公司)、欧洲分子生物学实验室(EMBL)中拆分出来的Luxendo公司(开发出一种基于片光源荧光的低光敏活性系统)等几家企业实施并购。布鲁克BNS部门现已形成包括原子力显微镜、三维非接触式光学轮廓仪和探针式表面轮廓仪,表面摩擦等机械性能,纳米力学表征,生命科学高分辨荧光显微镜等内在的丰富产品线,为用户提供表面观测和测量领域的优质产品及服务。 /p p   据Jeffrey介绍,布鲁克BNS部门的定位始终是要给用户提供最佳产品及服务,因此所收购品牌,也都属行业领先。成立至今,BNS部门业绩保持连年攀升,营业收入和员工数量均呈翻倍增长,部门整体表现可圈可点。财报显示,布鲁克公司2017年度Q3营收4.356亿美元,增长11%。Jeffrey表示,BNS部门Q3业绩相比去年也增长了约7%。 /p p    span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 繁荣:原子力显微镜创新实力蒸蒸日上 /strong /span /p p   布鲁克BNS部门旗下纳米表面测量产品种类繁多、品类繁多,包含原子力显微镜、白光干涉仪、表面三维形貌仪、轮廓仪、纳米压痕仪等。其中,原子力显微镜(AFM)当属“招牌武器”。Jeffrey 给出了一组数据:“算上低端品牌,布鲁克AFM全球市场占有率在60%以上 如果仅按高端市场估算,布鲁克AFM市场占有率能达70%以上。” /p p   1986年摘得诺贝尔奖,90年代开始商品化生产,原子力显微镜产品真正的发展也就在这三十年间。原子力显微镜最初的商品化生产由美国Digital仪器公司完成,随后Digital被Veeco收购。Jeffrey指出:“早在2005年左右,Veeco在原子力显微镜的力学控制和探针技术就已达到顶峰。形貌学上的测量技术难以突破,仪器的分辨率也很难有本质上的提高,布鲁克因此决定‘另辟蹊径’,转向性能拓展和速度提升。” /p p   性能拓展方面,以布鲁克2016年发布的扫描电化学显微镜解决方案——PeakForce SECM& #8482 模块为例,产品通过创新探针设计,可以实现基于原子力显微镜的纳米级分辨率扫描电化学显微镜测量,进行纳米级横向分辨的同时还能获取形貌、电化学、电学和机械性能等图谱,在化学动力学,生物化学信号传导和环境化学等领域广泛应用。“布鲁克要做的就是跳出形貌,在扫描形貌的同时得到表面力学、电学等不同特性,便于用户在液体环境或外加环境等复杂体系中完成测量。” /p p   速度提升上,布鲁克Dimension FastScanTM原子力显微镜在不损失超高分辨率和仪器性能前提下,最大限度地提高了成像速度,从根本上解决了AFM成像速度慢的难题,大大缩短了各技术水平的AFM用户获得数据的时间。Jeffrey指出:“以前AFM只能放一个很小的样品,现在我们把样品直接做到了8~12英寸,半导体的wafer放上即可测量,分辨丝毫没有影响。简化样品处理流程,缩短用户测量时间,这也是布鲁克提升AFM速度的方向之一。” /p p   由于看到生物方面的发展潜力,布鲁克近年还推出了一款BioScope Resolve生物型原子力显微镜,采用独有PeakForce Tapping技术,使研究者能够获得最高分辨率的生物成像和在每一像素点上皮牛级(pN)的力学测量和力谱分析。Jeffrey 回忆说:“起初,布鲁克在生物型AFM领域尚属‘小白’,短期内,从被动跟随,到如今的占据一定市场优势,布鲁克在生物型AFM上的尝试可谓大获成功。” /p p   据Jeffrey介绍,布鲁克原子力显微镜的客户多分布在科研和工业领域。科研和工业客户此前的占比是8:2,近年来随着半导体、智能手机、芯片等产业的崛起,及公司市场活动的增强,科研与工业用户占比已提升至7:3,工业用户名单上亦不乏英特尔、中芯国际、台积电、三星、华为这样的国际知名企业。下一步,布鲁克将持续关注科研领域,尤其是生命科学方向的展会与活动,同时在加强工业领域宣传投入,以扩大布鲁克AFM品牌影响力。 /p p    span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 拓展:收购Hysitron 开拓全新业务增长点 /strong /span /p p   2017年初,布鲁克宣布收购纳米力学仪器制造商Hysitron(海思创)。该收购将Hysitron的创新纳米机械测试仪器添加到布鲁克现有的原子力显微镜(AFM)、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统的产品组合中,大大提高了布鲁克在纳米材料研究市场的领先地位。 /p p   谈到此次收购,Jeffrey 表示“在收购Hysitron之前,布鲁克也曾尝试过纳米压痕仪器的研发,但为尽快加入纳米力学市场,加上Hysitron独有的技术与产品,布鲁克高层最终还是决定采取收购。” /p p   布鲁克BNANO集团总裁Mark Munch在接受仪器信息网采访时曾表示,除纳米压痕和微压痕外,Hysitron的仪器产品还包括纳米摩擦学、纳米机械性能二维图谱、动态机械性能分析、原位SEM和TEM等纳米机械测试类仪器。这个收购给BNANO集团的纳米分析(BNA)和纳米表面(BNS)部门都带来了新的内容。如电镜联用等产品加入BNA,而独立系统的产品则加入了BNS部门。这项收购不仅契合公司发展,且为两个部门都“锦上添花”。 /p p   Hysitron原先在中国的仪器销售主要通过代理,自今年第二季度起,布鲁克停止了代理权,全权接过Hysitron销售服务的“大旗”。Jeffrey 说到:“第三季度,Hysitron整体销售额同比增长了30%,证明这个改变是良性的,并没有影响产品的客户体验和市场占有率。” /p p   此外,布鲁克美国工厂自收购后就着手进行AFM和纳米压痕仪联用方案的开发,测试工作目前已基本完成。2018年,布鲁克BNS部门还将为近千台原子力显微镜做改进升级,这也将成为明年业绩的一大增长点。 /p p   span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong  本土化:科研、工业两大市场双管齐下 /strong /span /p p   早在上世纪90年代,Veeco的AFM等产品就通过代理进入中国市场,2003年整合中国公司后,才开展直销提供本地化服务。Veeco并入布鲁克后,BNS部门的人员数量也从最初的4个人壮大至30余人。尽管在本地没有研发团队,但BNS中国却建立了实力强劲的服务团队,工程师几乎都由国外留学归来PhD组成,在同行中团队堪称豪华。此外,BNS在中国还设置了专门的Customer Case Center,可为国内用户提供部分定制化产品及维护所需零部件,无需被动等待美国工厂的支援,这也是BNS中国本地化的一大特色。 /p p   历经多年的经营布局,布鲁克BNS在中国每年的销售总额已达3000万美元,占到部门总数四分之一,赶超欧洲、日本,在单数上甚至超越美国。Jeffrey解释说:“英国脱欧、美国政府削减预算,都加剧了欧美市场整体萎缩的态势。相比之下,中国市场近几年发展迅猛,BNS中国业绩正在走上坡路,布鲁克总部也越来越重视中国用户的需求。” /p p   刚刚结束的十九大,我国提出要加快建设创新型国家,在2035年实现经济实力、科技实力的大幅提升,跃身创新型国家前列,这就意味着国家将在科研领域大幅投入,给科学仪器行业释放利好信号。Jeffrey对此保持乐观:“在整体环境利好的大背景下,布鲁克BNS部门在中国的首要任务是保持市场占有率,关注国家重大政策走向,在某些热点领域先知先觉,与美国工厂配合开发一些更好的功能,使产品能够适应市场、服务客户。此外,面对潜力巨大的工业客户,BNS要做的还是加大宣传,提升布鲁克品牌的整体认知度。一方面关注科研领域的经费投入,另一方面关注工业用户技术进展,科研、工业双管齐下,协调共赢。” /p p   机遇与挑战并存,欧美市场一蹶不振,兴起势头十足的中国让外企们看到更多“摘果子”的机会,布鲁克在这方面也有了危机意识。Jeffrey 强调:“在策略的调整上,部分外企是相对保守的。但布鲁克不同,即使在2008年经济危机时,我们的人手都在增加,说明随着市场发展,BNS的人员配置是及时跟进的,这是我们区别于竞争对手的一大优势。“ /p p   此外,针对Hysitron的整合工作已经起步,随着产品整合及结构优化,未来对于布鲁克BNS部门触手可及。 /p p    strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 后记 /span /strong /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "   一直以来,受Veeco品牌影响,被布鲁克收购7年多以来,部分AFM用户对其产品的第一印象依旧为Veeco,而不是布鲁克BNS部门。此次受访,或是布鲁克BNS部门的又一次正名,亦或是整个布鲁克集团“One Bruker”发展战略的又一缩影。相信不久,“布鲁克”将成为BNS部门AFM、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统、纳米机械测试仪器等产品品牌的代名词,而“Veeco”、“Hysitron”等也终将成为历史和记忆。 /span /p p style=" text-align: right " strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "   /span /strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "  撰稿编辑:韦东裕 /span /p
  • 帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019
    帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一,将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行,帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。 日期:2019年3月20日-22日地点:上海新国际博览中心(SNIEC)展位号:E7馆 7330帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一,将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行,帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。 日期:2019年3月20日-22日地点:上海新国际博览中心(SNIEC)展位号:E7馆 7330帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪,还可满足VCSEL的一些应用,可提供从2寸到4,6,8,12寸的全自动化测量!帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临!帕克原子力显微镜公司帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪,还可满足VCSEL的一些应用,可提供从2寸到4,6,8,12寸的全自动化测量!帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临!帕克原子力显微镜公司
  • SEMICON CHINA 2020 圆满落幕-优尼康科技
    为期三天的SEMICON CHINA 2020 在雨中落下帷幕,暴雨&疫情&端午佳节都没有阻止大家的热情,依然相聚这里,一同交流探讨。本次展会是优尼康成为Filmetrics膜厚设备中国区总代理的首次亮相,现场展出超多设备,其中有KLA的P-7台阶仪;Filmetrics的光学膜厚测量设备(F40;F50-UVX;F20;F3-s1310等机台);Filmetrics的Profilm3D-200光学轮廓仪以及桌面式的防震减震设备。除此之外,在KLA Instruments 产品发布预告中的全新机台:薄膜厚度量测设备F54-XY-200也在我们展台进行了展出。吸引了不少对KLA慕名而来的业内人士前来现场交流体验。 路过的观众及展商纷纷驻足咨询,沟通交流 现场技术交流及演示 SEMICON CHINA 2020虽然结束了,但是在未来的发展路上,优尼康会全力以赴,以“真诚,专注,信赖”的经营理念服务于大家。期待2021年我们上海龙阳路再会! 添加电话、邮箱、QQ、网址、二维码等任何联系方式,新闻底部会自动添加联系我们的功能。
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