氦质谱检漏仪减压器检漏
减压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪现已广泛应用于减压阀检漏