薄膜材料广泛应用于光学和电气保护膜,薄膜光伏电池和薄膜电池等各种领域中。尽管薄膜材料已经存在了数十年,但热导率测量方法传统上一直专注于探索块体材料样品,而表征这些特殊材料的能力相对滞后。近年来,由于热管理非常重要的纳米和微米级制造技术的进一步发展,知识鸿沟逐渐缩小,而Trident薄膜导热测试仪的Flex TPS瞬态平面源即是一种用于表征薄膜材料导热率的新颖工具。 C-Therm Trident薄膜导热测试仪的Flex TPS瞬态平面热源法传感器,可按照ISO 22007-2标准,用于表征薄膜材料的热传递性质。Flex TPS专门的薄膜模块,可测量厚度为20um ~ 1 mm样品的导热系数和热扩散系数。并且Trident主机,除TPS方法外,还可与MTPS和TLS传感器连用,测试更多不同类型的材料。 技术参数 MTPSFlex TPSNeedle测试方法改良瞬态平面热源法瞬态平面热源法探针法导热系数范围 0 ~ 500 W/mK0 ~ 2000 W/mK0.1 ~ 6 W/mK热扩散系数范围0 ~ 300 mm2/s0 ~ 1200 mm2/s不适用比热范围~ 5 MJ/m3K~ 5 MJ/m3K不适用吸热系数范围 5 ~ 40,000 Ws1/2/m2K不适用不适用精度优于1%优于1%优于3%准确度优于5%优于5%±(3%+0.02) W/mK国际标准ASTM D7984ISO 22007-2.2,GB/T 32064ASTM D5334, D5930, IEEE 442 无论是散热还是绝热,薄膜的导热系数测试都具有非常重要的意义。由于薄膜材料厚度很小, 对声子散射,这使得薄膜材料的表观导热率与块体材料相比,会有很大的差异。传统的实验室测试方法中包含3ω方法,此方法在1989年提出。该方法需先在被测样品表面镀一根薄的金属膜,而此金属膜即是加热装置,同时又是测温装置。对该金属膜通交流电,从而对样品进行加热。因为金属的电阻率会随温度的升高而增大,因此金属膜的温度变化会带来金属膜阻值的温度变化,该阻值与电流的共同作用产生电压。使用锁相放大器提取电压信号,从而建立传热模型。通过改变电流频率,最终计算出被测样品的导热系数。但此测试方法操作繁琐,限制条件较多,且无法商业化。
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