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三轮廓量仪

仪器信息网三轮廓量仪专题为您提供2024年最新三轮廓量仪价格报价、厂家品牌的相关信息， 包括三轮廓量仪参数、型号等，不管是国产，还是进口品牌的三轮廓量仪您都可以在这里找到。 除此之外，仪器信息网还免费为您整合三轮廓量仪相关的耗材配件、试剂标物，还有三轮廓量仪相关的最新资讯、资料，以及三轮廓量仪相关的解决方案。

三轮廓量仪相关的论坛

  • 轮廓测量仪的使用方法

    在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。

  • 【原创】轮廓测量仪 用途 分类 工作原理

    摘要：轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

  • 粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数？

    粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数？

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701111723_620778_3712_3.jpg1. 粗糙度轮廓测量仪表面轮廓评定：评定半径,角度, 距离, 坐标,圆,圆截面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；同时实现下列功能：(1)建立回归直线和圆形(2)建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点(3)建立坐标系统(4)计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差(5)实际值与标称值比较(6)测量程序自动运行2. 粗糙度轮廓测量仪测量表面粗糙度参数：R粗糙度：Ra,Rq,Rz,Rmax,Rpc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,R3z,RSm,Rs，Rsk,Rku, Rdq,Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L核心粗糙度:Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,VoP轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr,W波度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMrMotif参数：R,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CLISO5436参数：Pt,D轮廓类型:支持D,P,W,R

  • SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    [align=center][img=,482,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_01_3712_3.jpg[/img][/align]　　[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_02_3712_3.jpg[/img][/align]　　轮廓仪为全自动测量设备，操作者只需装好被测工件，在检定软件上设定扫描的开始、结束位置，点击“开始”按钮，测针会自动接触工件表面，并按设定的位置扫描；在进行轮廓扫描的过程中，软件界面会实时描绘轮廓曲线；扫描结束后，操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析，得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_01_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点：1、 高精度、高稳定性、高重复性：分辨力0.01μm，完全满足被测件测量精度要求。1) 国际领先的高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；2) 自主研发高精度研磨导轨系统，导轨直线度达到2μm/200mm，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作；3) 高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好。2、 智能化管理与检测软件系统：仪器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握仪器操作，使用十分简便。1) 10多年积累的实用检定软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验；2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录；3) 测量范围广，可满足绝大多数类型的工件轮廓测量；4) 强大的CNC自动测量标注功能；5) 纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；6) 打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间；7) 本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_02_3712_3.jpg[/img][/align]3、 测量力系统： 采用音圈电机测力系统，测力可实现从10～150mN连续可调，测力分辨力可达0.2mN；避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差，降低了测力变化引起的测量误差。4、 智能保护系统：一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大，仪器会停止扫描保护测量系统和测针，极大的保护测针的损坏。5、 灵活手动控制：仪器配置了操作杆，可在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，让测针左右、上下快速移动。6、 成熟的标定技术通过简单的操作，能对仪器的参数进行误差补偿，对测针磨损进行针尖补偿，使其满足高精度测量。

  • 轮廓测量仪测量铁道特殊轮毂沟槽的应用

    在4月份 CIMT2017北京国际机床展上，几位神秘观众来到我公司展台前拿出一份图纸，面带焦虑的询问道：“我们工件的这个沟槽凸台非常重要，之前咨询过国内外一些仪器厂家得到的答复是不能测量或者需要破坏式测量。为此公司的领导已经下了军令状，一定要找到好的解决方案，请问你们公司的仪器能否测量？”[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708058075979.jpg[/img][/align][align=center]图 1工件图纸[/align]　　我公司技术人员接过图纸一看：图纸上的沟槽较狭小，一侧是盲边且角度小，用传统仪器测量是有很大的难度。技术人员经过分析评估后，告知客户我们的[color=#3366ff][b]轮廓测量仪[/b][/color]可以测量，但需要定制测针，随后向客户讲解我司轮廓测量仪的工作原理、测量过程及相关技术参数，客户听后十分认可我们的方案，后期将工件邮寄至我司测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708054168013.jpg[/img][/align][align=center]图 2工件实物[/align]　　技术人员收到客户的工件后，先是对其特征进行分析，模拟测针在测量工件沟槽内的着力点和面时，测针需满足哪些要求与突破哪些限制。然后设计制作测针，我公司拥有完全自主的设计和加工制造能力，很快定制的测针及连接装置就迎刃而解，经过品质检测符合设计要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708053543905.jpg[/img][/align][align=center]图 3扫描过程模拟[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708059325952.jpg[/img][/align][align=center]图 4定制的测针[/align]　　紧接着就是实物测量过程，把定制的测针安装到SJ5760轮廓测量仪上，并对测针进行相关参数调试后，实物测量就正式开启，随着测针在工件的沟槽内有条不紊地行进扫描，检定软件将测针扫描的相关数据绘制在计算机屏幕中，形成一幅精美的二维效果分析图。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055731400.jpg[/img][/align][align=center]图 5测量过程[/align]检测结果如下：[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055418522.jpg[/img][/align][align=center]图 6测量结果[/align]　　将工件测量结果提供给客户后，客户惊讶的同时感慨道：“没想到是国内的厂家替我们解决了棘手难题，中图仪器快速响应客户需求的能力让我们对国产测量仪器设备厂家刮目相看。”附：SJ5760轮廓测量仪技术参数1.X轴1) 测量范围：0～200mm；2) 示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4) 直线度：2μm/200mm5) 测量速度：0.1～5mm/s；6) 移动速度：0～80mm/s；2.Z轴1) 测量范围：0～450mm；2) 移动速度：0～30mm/s；3.Z0轴1) 测量范围：±25mm；2) 示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4.测量力：10～150mN；5.爬坡能力：上坡77o，下坡83o；[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708052450577.jpg[/img][/align][align=center]图7 SJ5760轮廓测量仪[/align]

  • 光学3D表面轮廓仪让你的慧眼飞升“三重境”

    禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

  • 光学3D表面轮廓仪让你的慧眼飞升“三重境”

    禅宗有看山看水的参禅三重境，讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1[url=http://www.chotest.com/detail.aspx?cid=686][color=#0000ff][b]光学3D表面轮廓仪[/b][/color][/url]为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现，带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。　　一重境：看山是山，看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片，初看下面的这张塑料片，想必读者一看再看，也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识，此乃一重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231032789.jpg[/img][/align]　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辩，那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒，另一面则被条状沟槽所填满，构成了塑料片表面的微观世界，但只知其平面外形却不知其三维形态，知其一不知其二，可谓二重境。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234626613.jpg[/img][/align]　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。为一窥真容，使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描，点颗粒和沟槽轮廓一览无余。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808236344771.jpg[/img][/align]　　点颗粒是凸点，而沟槽则是弧形波，进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量，得到它们的尺寸数据。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238688505.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808230407653.jpg[/img][/align]　　单个凸点截面直径约42μm、高3.8um、夹角160°，分布周期97μm；单个弧形波高约1.6μm、宽约35μm，周期35μm。掌握了全部的轮廓数据，对这有着微结构的塑料片，我们有了全面而精确的认识，称得上“看山还是山，看水还是水”。　　超精密加工，是在传统精密加工上的升级，代表着先进制造业的发展方向，也代表着一个国家制造业的最高水准，超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器，而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，就像一双能够明察秋毫的眼镜，帮助我们在超精密加工的微观世界里，具备“看山还是山，看水还是水”的本领。

  • 成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？

    成都地区有使用激光共聚焦显微及三维光学轮廓仪的吗？想测量一下激光烧蚀后的深度及形貌。感兴趣的可以用这两种仪器测量一下SPARK-OES烧蚀坑的深度及形貌，分析一下烧蚀形貌的特点。最好 估算一下烧蚀的样品量，与大家分享一下。

  • 光学3D表面轮廓仪测量磨损定量的原理

    “摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

  • 【原创】MMD-220A轮廓仪

    MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

  • 非接触式轮廓仪

    非接触式轮廓仪

    进口非接触式轮廓仪[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051728587910_1104_6090019_3.jpg[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051729039092_6171_6090019_3.jpg[/img]

  • 光学3D表面轮廓仪的测量原理

    光学3D表面轮廓仪的测量原理

    SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align]　　SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件，在软件测量界面上设置好视场参数，调整镜头到接近器件表面，选择自动聚焦，仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹，调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量；扫描结束后，软件分析界面自动生成器件3D图像，操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析，获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。　　SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。　　系统软件为简体中文操作系统，操作方便。应用范例：[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点：1、 高精度、高重复性、高稳定性1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；2） 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式，保证测量重复性高；3） 高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1）测量初始的自动聚焦，帮助操作者省却繁琐的调节过程；2）独特测量模式，帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品；3）可视化窗口，便于操作者实时观察扫描过程；4）直观的软件分析界面，便于操作者第一时间获悉样品参数信息；5）强大的数据处理与分析功能，帮助操作者深入了解被测样品情况；6）一键分析，便于操作者快速实现大批量测量；7）同步分析，实现对样品分析操作的所见即所得；8）可视化的报表导出（可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档）。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数，让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  • 光学3D表面轮廓仪在半导体行业中的应用

    [quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

  • 自吸谱线的轮廓

    自吸谱线的轮廓

    Al合金AL元素两条共振谱线Al I 394.40058nm及Al I 396.152nm不存在自吸收时(肉眼无法直接判断)的谱线轮廓:实验条件：激光脉冲能量100mJ,延时时间1.0us，积分时间0.2ushttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/10/201510230934_570672_1604844_3.jpgAl I 394.40058nm及Al I 396.152nm存在自吸收时的谱线轮廓:实验条件：激光脉冲能量40mJ,延时时间1.0us，积分时间0.2ushttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/10/201510230942_570677_1604844_3.jpg

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