干涉实量仪检测方案_干涉实量仪行业应用

激光干涉仪精确测量的局限性
激光干涉测试方法常用于高精度测量和定位，这是由于这种方法具有较高的测量分辨率和精度，甚至可以用于大尺寸范围的测量。本文重点讨论了外差式和单频式干涉仪的基本原理，并进行了相应的计量分析来描述激光干涉法的优势和局限性。本文还讨论了光纤耦合式微型干涉仪的设计和功能，以及在显微技术、纳米技术和高精度机电一体化等方面的广泛应用。

厂商：上海依阳实业有限公司

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白光干涉仪（三维光学轮廓仪）的原理及应用介绍
照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置计算出被测样品的相对高度，从而得到样品表面的三维尺寸信息。

厂商：上海人和科学仪器有限公司

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NRLM和NPL实验室间激光干涉膨胀仪的相互比较
本文报道了针对激光干涉法热膨胀仪在日本国家计量研究实验室（NRLM）和英国国家物理实验室（NPL）之间所进行的比对测试工作。比对测试采用多晶硅、低膨胀陶瓷和熔融石英标准参考材料（SRM 739）三种材料，两个实验室采用各自的激光干涉法热膨胀对三种材料分别在250～375K和290～800K温度范围内进行了比对测试，比对结果显示每种材料热膨胀系数测试结果都与相应的合成不确定度内相吻合。

厂商：上海依阳实业有限公司

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等效350米光学望远镜的长基线光学干涉成像
长基线光学干涉仪是地面观测站在高分辨率、可见光和红外波长下研究宇宙的仪器。干涉仪的工作原理与传统成像望远镜是不同的。星光用一些小望远镜捕捉到，这些望远镜之间的间距可达几百米。每个望远镜的输出都是一个直径约10cm的准直光束。这些光束被中继到集中实验室，尺寸缩小直径约1cm，然后与来自其它望远镜光束结合在探测上形成干涉条纹，通过对多对组合光束的条纹图形分析，可以重建被观察目标的图像。

厂商：北京睿光科技有限责任公司

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应用：attocube激光干涉仪校正低温非线性扫描
德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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应用：IDS3010激光干涉仪无损探测轴承误差
attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。IDS3010激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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API激光干涉仪在双轴同步测量中的应用
双轴机床的同步性能测试，我们API公司只需要借助本公司生产的激光干涉仪即可做到A/B轴的同步性测量，XD-3D只能实现前三个参数的同步性测量，如果选择XD-6D则可以完成六组主要同步性参数的测量。而且我们API最大的优势就在于一次安装，可同时完成以上所有同步参数的测量，是目前激光测量设备中唯一可以做到的检测仪器。

厂商：美国自动精密工程公司（API公司）

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采用激光干涉法测试量块的热膨胀系数
本文介绍了一种在室温附近测试各种量块和其它相似形状材料的高精度热膨胀系数测试仪器的研究开发。量块热膨胀所引起的长度变形通过一个差分平面镜干涉仪进行测量，采用特殊的干涉相位检测技术来补偿极化混合带来的非线性误差，再结合电子相位计可以实现纳米量级的精度。由于是在真空中进行量块热膨胀测量，从而无需进行空气折射率补偿。对于导热系数较高的被测试样，缓慢的辐射热交换使得试样上的温度梯度很小并具有很好的热平衡稳定性。在所获得典型的10～30℃温度之间热膨胀测试曲线，其线性和二次方热膨胀系数都等于在20℃参考温度时的热膨胀系数。本文对此激光干涉法热膨胀仪的测量不确定进行了详细分析，而且此测量不确定度也通过国际比对得到了验证。

厂商：上海依阳实业有限公司

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生物层干涉应用文集
《生物层干涉应用文集》汇总了Octet® 分子互作分析系统的29个经典应用案例，包括RNA、DNA、小分子化合物、先导化合物、膜蛋白、病毒、细菌、细胞等各类生物分子互作分析，并广泛涉及信号转导、结构生物学、分子垂钓、中药及天然产物、病毒学以及纳米材料等多个研究领域。

厂商：德国赛多利斯集团

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应用：attocube激光干涉仪组建高精度X射线显微镜
德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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相位多普勒干涉法体积通量计算优化与机械式逐点测量的图样技术比较
采用美国Artium公司的相位多普勒粒子干涉仪PDI对喷雾对象的体积流量进行了测量。并尝试寻找优化参数设置。结果显示，在正确设置优化测量参数的前提下，PDI测量计算体积通量的结果和作为对比的机械图样测试的结果的符合度达到了非常高的98%。

厂商：北京欧兰科技发展有限公司

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应用：激光干涉仪IDS3010检测纳米位移台精度
误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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bruker布鲁克白光干涉仪的优势以及行业应用
bruker布鲁克白光干涉仪的行业应用表面粗糙度与厚度独特的准确性，大视场下亚纳米级分辨率，高效、快速统计在几乎所有表面都适用。纳米级厚度分布表征: 从几百 µ m 到 100nm 。并且更大面积测量，提升了统计效果和效率。表面纹理、承载比参数、平均厚度与分布均匀性、• 缺陷检测都能进行专业分析完备和简易的界面：自适应的USI模式保持佳测试结果、自动表面聚焦和亮度调节，更快获得结果和报告输出。

厂商：上海尔迪仪器科技有限公司

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皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测
苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。本实验利用attocube皮米精度激光干涉仪IDS3010成功实现声子四拓扑缘体的次观测。IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪体积小、测量精度高，分辨率高达1 pm，适合集成到工业应用与同步辐射应用中，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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优可测白光干涉仪AM7000系列半导体-晶圆表面粗糙度检测解决方案
优可测白光干涉仪AM7000系列可以应用在半导体的多个工艺段，产品采用白光干涉原理，方案以晶圆表面粗糙度检测为例，呈现在晶圆粗糙度当中的测量参数和实例。

厂商：优可测

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优可测白光干涉仪AM7000系列新能源电池-钙钛矿表面粗糙度检测解决方案
优可测白光干涉仪AM7000系列可以应用在新能源电池产业的多个工艺段，产品采用白光干涉原理，可以测量表面粗糙度、膜厚、高度等三维形貌特征，本方案以钙钛矿表面粗糙度检测为例。

厂商：优可测

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生物层干涉技术应用文集
中药的有效成分是其药理作用的基础，运用现代科学技术和手段研究、揭示中药的多成分、多分子效应机制，是当今中药学研究和发展的基本方向。通过研究中药有效成分与生物大分子之间的关系，有助于中药药理作用机制的研究和药物筛选，更有利于疾病的检测预防和靶向治疗。近年来，基于生物层干涉技术（Biolayer Interferometry，BLI）的Octet® 非标记分子互作分析系统在中药调节信号通路传导、中药靶向治疗等方面的应用有了快速的发展。

厂商：德国赛多利斯集团

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机载相位多普勒粒子干涉仪用于云层显微尺度物理特性测量
采用美国Artium Technologies公司的机载相位多普勒粒子干涉仪PDI-FP,可以测量云层中微小水滴的粒径和速度分布。可以测量云层中的液态水含量LWC。

厂商：北京欧兰科技发展有限公司

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相位多普勒干涉测量术探测区域和粒子粒径比值小于一（第一部分轨迹误差）
相位多普勒干涉测量术探测区域和粒子粒径比值小于一（第一部分轨迹误差）最新型的DPSSL固体激光器作光源的PDI设备（也被称作PDPA和PDA），具有探测区干涉条纹对比度高。测量所得到的数据有效率更高。调试简便高效的特点。

厂商：欧兰科技

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基于感应加热试样的高速激光干涉热膨胀仪
本方案设计了一种高速热膨胀仪用于固体试样热膨胀和热收缩的高精度测量。试样长度的测量采用差分干涉法，具有0.3nm的分辨率和30nm的测量重复性。温度控制则采用感应加热和气体冷却方式实现，最大加热速度约为100K/s，最大冷却速度为50K/s。对于非导体试样的加热则在试样周围增加金属环的间接加热方式。整个测试系统可以在不同气氛环境下进行运行，包括氧气环境气氛，最大温度可以达到1600℃。

厂商：上海依阳实业有限公司

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相位多普勒干涉测量术探测区域和粒子粒径比值小于一（第二部分该技术的应用）
相位多普勒干涉测量术探测区域和粒子粒径比值小于一（第二部分该技术的应用）。采用最新型的DPSSL激光器取代传统的氩离子激光器，具有光束相干性好，干涉条纹对比度强，测量精度和数据有效率高，调试简单快捷的突出优点。

厂商：欧兰科技

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迈克尔逊激光干涉仪微位移和倾角测量中的真空度精密控制技术
在迈克尔逊激光干涉仪微位移和倾角的精密测量中，需要对真空度进行准确控制，否则会因变形、折射率和温度等因素的影响带来巨大波动，甚至会造成测量无法进行。本文介绍了真空度的自动化控制技术，详细介绍了具体实施方案。

厂商：上海依阳实业有限公司

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纳秒激光干涉法进行不定形硅结晶化实验研究
采用立陶宛Ekspla公司的NL303G型激光器的基频1064nm，10Hz输出重复频率，利用分光技术分成两束，然后在一个2X2平方毫米的区域内形成强度周期性变化的干涉条纹，并利用这一光束进行不定形硅的结晶化处理。

厂商：北京欧兰科技发展有限公司

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优可测白光干涉仪AM7000系列-陶瓷基板表面粗糙度、线宽线高、R角检测解决方案
优可测AM7000系列采用白光干涉原理，可以应用在电子电路产业的多个工艺段，本方案以陶瓷基板表面粗糙度、线宽线高、R角检测为例。

厂商：优可测

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IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用
德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用
工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μ m，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。

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IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用
自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μ m至+2.8μ m之间达到了-0.5-0.4μ m的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。

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IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用
在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。

厂商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司

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激光干涉振动法测定无约束旋流稳定火焰放热波动的探讨
采用LaVision的图像采集和处理软件平台DaVis以及高速相机记录了无约束旋流稳定火焰的HO*自发辐射荧光，并和激光干涉测振方法相结合，研究了燃烧过程的放热波动现象。

厂商：北京欧兰科技发展有限公司

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IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用
半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。

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