三维物镜

NPM-30/60三维棱镜调整架 NPM（New Prism Mount）系列三维棱镜调整架，是我们众多的专利产品（或正在申请专利的产品）之一。 常见的棱镜调整架，调整机构在下方或者后方，调整不便也容易遮挡光路。基于上述情况，我们结合多年的设计、生产、使用经验，开发出NPM 系列三维棱镜调整架。具有俯仰、偏摆、旋转三个方向的调整功能。调整机构从侧面引出，调整时不会遮挡光线，非常方便。调整螺纹副采用M7× 0.25 细牙螺纹，灵敏度高、稳定性好，台面中心带十字刻线，方便定位。选型表：关联产品：显微物镜、激光扩束镜、C-Mount镜头连接附件

1.标准显微物镜 注意：标准显微物镜的螺纹为4/5英寸，在卓立产品中可以配套显微物镜的产品为OMMBWJ-1AT，空间滤波器APSF13-1AT，APFP-W-XY等。显微物镜参数:参数单位消色差显微物镜放大倍率 4X10X20X(S)40X(S)60X(S)100X(S)数值孔径 0.10.250.40.650.851.25有效工作距离mm37.56.54410.650.1850.198共轭距离mm195195195195195195齐焦距离mm454545454545盖玻片厚度mm0.170.170.170.170.170.17备注：有效工作距离是指最前端透镜顶部至盖波片上表面沿轴向距离2.长工作距离物镜（进口）特点: 1.同焦距离（P.D.）分别为45 mm 和95 mm； 2.全视场像面平坦，具有非常好的消色差性能； 3.用于可见波长（400～700 nm） 长工作距离显微物镜选型表:P.D. = 45mm型号放大倍数开口数N.A工作距离（mm）焦距（mm）使用&Phi 24目镜时视场范围（mm）焦点深度（&mu m）EPL-5× 50.1311.640ø 4.8± 16.3EPL-10× 100.36.420ø 2.4± 3.1EPLE-20× 200.411.110ø 1.2± 1.7EPLE-50× 500.558.24ø 0.48± 0.9EPLE-100× 1000.822ø 0.24± 0.4P.D. = 95mm型号放大倍数开口数N.A工作距离（mm）焦距（mm）使用&Phi 24目镜时视场范围（mm）焦点深度（&mu m）SPAL-2× 50.05534.4100ø 12± 100SPAHL-5× 100.134540ø 4.8± 40SPAL-10× 200.283420ø 2.4± 20SPAHL-20× 500.293110ø 1.2± 10SPAHL-50× 1000.4220.54ø 0.48± 43.紫外/红外用物镜（进口）说明： 1.近紫外用物镜可用于YAG（3）355nm 波长； 2.近红外用物镜可用于飞秒（770～790 nm）波长； 3.为方便同轴观察以及光轴调整，在450～700 nm波 长，近紫外用物镜和近红外用物镜都有很好的透过率； 紫外/红外用显微物镜（SIGMA）选型表:型号放大倍数开口数N.A.工作距离（mm）焦距（mm）使用波长（nm）视场（mm）PAL-20-NUV× 200.41710350~700± 16.3PAL-50-NUV× 500.73.54350~700± 3.1LMPAL-20-NIR× 200.4517.210450~790± 1.7LMPAL-50-NIR× 500.83.84450~790± 0.94.反射式物镜（进口）说明： 1.反射式物镜是把一面凹面镜和一面凸面镜组合而 成的反射物镜，是利用光的反射原理而设计的聚 光光学系统； 2.可以用于350 nm～7µ m 的波长； 3.遮光率：约36% 4.反射膜为Al+MgF2 反射式物镜（SIGMA）选型表型号放大倍数开口数N.A.工作距离（mm）焦距（mm）使用波长（nm）视场（mm）OBLR-10× 100.21619.9350~7000ø 1.0OBL-20A× 200.35710350~7000ø 0.5OBL-30× 300.4156.7350~7000ø 0.34OBLR-40A× 400.493.55350~7000ø 0.25

单物镜相位扫描三维立体测量工业内窥镜随着内窥检测技术的发展，人们已经不再满足于将“观察图像、定性分析”作为检查的唯一内容，如何用准确的数据描述发现的缺陷，成为人们输出高质量检测结论的必要条件。于是在观察、拍照的基础上，缺陷测量功能逐渐丰富起来，比较测量、阴影测量、双物镜测量都是曾经辅助检查人员进行量化分析的测量技术，本文为您介绍更为先进的、搭载了单物镜相位扫描三维立体测量技术的韦林内窥镜 Everest Mentor Visual iQ，该测量型内窥镜不仅具有CCD成像的清晰画质，而且从测量效率和准确性方面都更上了一个台阶。单物镜相位扫描三维立体测量技术简介：一、原理：利用结构光对被检测区域表面进行主动扫描，通过反射光携带的相位信息，对被检测对象的表面轮廓进行三维立体建模，利用3D点云成像使缺陷的轮廓特征更加清晰。二、优势：&bull 更准确。通过三维立体建模构建的3D点云图，可多角度旋转观看，实时检查测量选点，提高测量精度，减少不必要的停机时间、降低成本，提高运行安全性；&bull 更快捷。用一个镜头即可完成观察和测量，无需更换镜头和重新定位缺陷，节省工作时间，提高检测效；&bull 更丰富。测量模式多样化，在传统长度、面积、多线段长度、点到线距离、深度等测量模式的基础上，新增了区域深度剖面测量、测量平面、涡轮叶片与机匣间隙自动测量等测量模式。对于每种模式的说明请参见下文。单物镜相位扫描三维立体测量技术的多种测量模式：&bull 长度测量：测量选定的光标点之间的直线距离；&bull 面积测量：测量同一平面上多个光标围成区域的面积；&bull 多线段长度测量：沿曲线或锯齿状路径放置多个光标，测量总长度；&bull 点到线距离测量：先由两点确定一条直线，再选择一个点，测量该点到直线的垂直距离；&bull 深度测量：先由三点定义一个参考平面，第四个点置于平面上方或下方，测量点到参考平面之间的距离；&bull 深度剖面测量：从任意视角，通过参考平面上沿两点确定一个剖面，并自动识别zui深点或zui高点；&bull 区域深度剖面测量(选装)：扫描一个区域内，一系列由三个光标确定的深度剖面的剖面，并确定剖面的最高点或最低点；&bull 测量平面(选装)：测量平面与其他测量方式结合使用，例如，结合面积测量判断叶片边缘缺失大小，结合点到线测量判断叶片边缘损伤，结合深度剖面测量光标点无法在参考平面定位的区域；&bull 涡轮叶片与机闸间隙自动测量(选装)：可自动测量涡轮叶片机闸之间的间隙，并自动识别最大，最小间隙；&bull 自动重复测量：使用同一测量模式测量不同零件时选择此功能，则可在完成一次测量后，直接按相同测量模式开始测量。单物镜相位扫描三维立体测量技术的现场检测实拍图：当测量已经成为工业内窥镜检测的一项重要内容时，很多传统的测量技术有时可能已无法满足检测的需求，更快捷、更准确的三维立体测量技术才能实现测量的真实价值，用可靠的测量数据，让检测不仅“可视化”，而且“数量化”、“准确化”。韦林单物镜相位扫描三维立体测量工业内窥镜 Everest Mentor Visual iQ，带您享受真正的三维立体测量带来的检测优势。

航空发动机孔探仪是一种内部探查用远程目视检测仪器，利用CCD芯片采集航空发动机内部图像并传输到显示器上实时显示，从而辅助孔探人员可视化地探查发动机内部状况。其优势在于：在不拆卸发动机的情况下，让孔探人员准确了解发动机状态，辅助制定明智的监控或维修策略，保障安全的同时，充分利用发动机安全裕度，节省维修费用。孔探仪也称工业内窥镜，美国韦林单物镜相位扫描三维立体测量工业内窥镜 Everest Mentor Visual iQ(MViQ) 是定性观察和定量测量都非常出色的孔探仪设备。一、高清画质，助力航空发动机孔探查找细微缺陷韦林视频孔探仪 Everest Mentor Visual iQ 采用高分辨率 CCD 图像传感器，CCD原生像素数可达120万以上，而且具有可自动抑制光斑的高亮度照明、以及暗部增强等创新的高级图像控制功能，可以更清晰地呈现航空发动机内部的细节，有助于更快更准确地发现缺陷。例如：在制造阶段检查主气流通道部件的毛刺，在航线运维过程中可以检出HPT叶片裂纹、内窥接近孔滑动封严断裂、叶片撕裂伤、燃烧室内衬板烧蚀、前衬板冷却唇裂纹、涡轮叶片上的积碳等问题。二、单物镜相位扫描三维立体测量技术，更精准的3D测量因为安全飞行对发动机核心部件物理完好性的要求极高，视情维护要求更加精准地了解缺陷的状况及发展态势，传统的比较测量、阴影测量、双物镜测量等技术，在测量效率以及测量准确性方面都很难满足航空发动机孔探的严苛要求。韦林视频孔探仪 Everest Mentor Visual iQ 搭载的单物镜相位扫描三维立体测量技术从测量效率和准确性方面都更上了一个台阶。1. 原理：利用结构光对被检测区域表面进行主动扫描，通过反射光携带的相位信息，对被检测对象的表面轮廓进行三维立体建模，利用3D点云成像使缺陷的轮廓特征更加清晰。2. 优势：&bull 更准确。通过三维立体建模构建的3D点云图，可多角度旋转观看，实时检查测量选点，提高测量精度，减少不必要的停机时间、降低成本，提高运行安全性；&bull 更快捷。用一个镜头即可完成观察和测量，无需更换镜头和重新定位缺陷，节省工作时间，提高检测效；&bull 更丰富。测量模式多样化，在传统长度、面积、多线段长度、点到线距离、深度等测量模式的基础上，新增了区域深度剖面测量、测量平面、涡轮叶片与机匣间隙自动测量等测量模式。其中，部分测量模式还可以自动输出测量结果，准确而快捷，例如：测量裂纹深度常用的区域深度剖面测量模式，能够自动输出剖面内的最低点的深度值等测量结果，免去了孔探人员反复查找试探最低点的操作，效率更高。3. 现场检测实拍图：韦林航空发动机孔探仪 Everest Mentor Visual iQ，不仅是搭载了单物镜相位扫描三维立体测量技术的高清工业内窥镜，而且还是AI技术的应用先锋（可搭载ADR人工智能辅助缺陷判断功能），使得发动机孔探在已有可视化观察和量化分析的基础上，更加的快捷化、准确化、以及智能化。韦林孔探仪，用更高的品质服务于国内众多大型航空公司、航空发动机维修公司、以及民用航空发动机维修培训中心，助力发挥孔探检测的更大价值。

1611+3230B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3230B特点：1611主机配3230B扇形导轨无光支架。

3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3150B特点：1611主机配3150B扇形立柱式无光支架。

1611+3411B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3411B特点：1611主机配3411B方座万向支架带短立柱式支座组，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

1611+3231B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3231B特点：1611主机配3231B扇形导轨式光源支架， 落射卤素（6V,15W）亮度可调，透射荧光（5W,110/220V）。

1611+3412B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3412B特点：1611主机配3412B方座万向支架带万向节，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

1611+3151B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3151B特点：1611主机配3151B扇形立柱式光源支架， 落射卤素（6V,15W）亮度可调，透射荧光（5W,110/220V）。

1611+3421B3D-LCD 三维液晶显微镜 三维液晶显微镜用于对样品进行360o的全方位观察，而图像直接在液晶屏上实时显示，使操作者摆脱了过去长期目视工作中人眼疲劳的困扰，更便于多人同时观察。高清晰度成像、智能化调节，体积小、重量轻、低能耗、配件齐全。 一、主要参数及性能： 1）、放大倍数：3.7X-158X2）、变倍范围：0.7-4.5机身带定位。3）、变倍比：1:6.54）、可选物镜：0.3X、0.5X、0.63X（标配）、 1X。5）、观察角度附加装置：使用0.63X物镜可达到35°标准。6）、机身尺寸：Φ76mm，可与多种支架、万向支架、摇臂万向支架。7）、 内置LED灯长寿命环形照明，亮度可调，有效实现无影观察。8）、 电压：100V-240V、50-60HZ宽带输入。 二、液晶显示器： 1）、液晶显示尺寸：8.4吋2）、分辨率：800ⅹ6003）、点距：0.213*0.2134）、对比度：300:15）、观察角度：1706）、响应时间：25ms7）、亮度：250cd/㎡ 三、视频输出： 可另外输出VIDEO视频信号，方便与其它监视设备或计算机相连接。1611+3421B特点：1611主机配3421B圆夹万向支架带短立柱式支座组，使观察物体不再受尺寸限制，操作更加方便自如。

中图仪器VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜以共聚焦技术为原理，具有很强的纵向深度的分辨能力，能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。应用领域测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜基于光学共轭共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。在材料生产检测领域中，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。产品功能1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能； 不同应用场景下的3D形貌VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；影像测量功能界面3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。自设计之初，VT6000便定下了“简单好用"四字方针的目标。1）结构简单：仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走"的便携式设计；2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；4）采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。部分技术指标 型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

VT6000三维共聚焦白光显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。VT6000三维共聚焦白光显微镜在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；应用领域VT6000三维共聚焦白光显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：功能特点1、测量模式多样单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；2、双重防撞保护功能Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；3、分析功能丰富3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量重复性(1σ)12nm显示分辨率0.5nm宽度测量重复性(1σ)40nm显示分辨率1nmXY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

三维光学显微镜布鲁克作为全球三维表面测量与观察业界的ling dao者，提供从微观如MEMS（微机电系统）到宏观如发动机腔体等不同大小样品的快说非接触式分析。如今的三维显微镜已历十代，在原有Wyko专有技术基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时精确三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。布鲁克三维光学显微系统在业界一直以zui佳服务和支持著称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的监控，在汽车、航空航天、高亮度LED、太阳能、半导体和医疗器械领域，布鲁克总有一款适合您应用和与预算的三维光学显微测量系统。 ContourX-100 3D光学轮廓仪粗糙度测量的精简而经济的台式 ContourX-100光学轮廓仪以zui佳的价格为准确和可重复的非接触式表面计量树立了新的标杆。小尺寸系统采用流线型封装，可提供无与伦比的2D / 3D高分辨率测量功能，并结合了数十年专有的布鲁克白光干涉测量（WLI）创新技术。具有测量功能的台式系统具有业界zui先进的用户友好界面，可直观访问广泛的预编程过滤器库，并用于精密加工的表面，厚膜和摩擦学应用分析。下一代增强功能包括新的5 MP摄像头，更新的载物台和新的测量模式，以实现更大的灵活性。您不会发现比ContourX-100更有价值的台式设备。 ContourX-100 3D光学轮廓仪轮廓GT-K无与伦比的计量 ContourX-100轮廓仪是非接触表面计量，表征和成像领域超过四十年的专有光学创新和行业ling dao者的结晶。该系统利用3D WLI和2D成像技术在一次采集中进行多种分析。 ContourX-100在从0.05％到100％的反射率的所有表面情况下都非常坚固。 轮廓X-100WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。轮廓X-100ContourX-100手动平台。无与伦比的价值和分析 ContourX-100台式机具有成千上万的定制分析功能以及布鲁克简单而强大的VisionXpress™ 和Vision64用户界面，为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。硬件和软件相结合，可提供对ding 级高通量光学性能的简化访问，完全超越了同类计量技术。 ContourX-200 3D光学轮廓仪用于表面纹理计量的灵活台式 ContourX-200光学轮廓仪将先进的特性，可自定义的选项以及易用性完美融合，可提供yi 流的快速，准确和可重复的非接触式3D表面度量。具有测量功能的小尺寸系统使用较大的FOV 5 MP数码相机和新型电动XY位移台，可提供毫不妥协的2D / 3D高分辨率测量功能。 ContourX-200还配有业界zui先进的操作和分析软件Vision64。新型VisionXpress™ 提供了更易于使用的界面和简化的功能，可访问广泛的预编程滤镜和分析库，用于精密加工的表面，厚膜，半导体，眼科，医疗设备，MEMS和摩擦学应用。 ContourX-200具有无与伦比的Z轴分辨率和精度，在不限制传统共聚焦显微镜和竞争性标准光学轮廓仪的情况下，提供了布鲁克专有的白光干涉仪（WLI）技术的所有业界公认的优势。 ContourX-200 3D光学轮廓仪轮廓GT-K毫不妥协的yi 流计量 基于ContourX-200光学轮廓仪超过四十年的专有WLI创新，该轮廓仪展现出定量计量所需的低噪声，高速，高精度和高精度结果。通过使用多个目标和集成的特征识别功能，可以在各种视野内以亚纳米级的垂直分辨率跟踪特征，从而为非常不同的行业中的质量控制和过程监控应用提供了与比例无关的结果。 ContourX-200在从0.05％到100％的反射率的所有表面情况下都非常坚固。 轮廓X-200WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。轮廓X-200ContourX-200电动载物台。zui广泛的应用分析能力 利用强大的VisionXpress和Vision64用户界面，ContourX-200提供了数千种定制分析，以提高实验室和工厂车间的生产率。系统新相机提供的更大FOV和新型电动XY工作台提供的灵活性，为各种样品和零件提供了更大的灵活性和更高的通量。硬件和软件相结合，可提供对ding 级光学性能的简化访问，完全超越了同类计量功能。 ContourX-500 3D光学轮廓仪用于3D计量的全自动台式 ContourX-500光学轮廓仪是用于快速，非接触式3D表面度量的世界上zui全面的自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的倾斜/倾斜光学头，可以完全编程，以在一定角度范围内测量表面特征，同时zui大程度地减少跟踪误差。具有测量功能的ContourX-500具有无与伦比的Z轴分辨率和精度，并在更小的占地面积下提供了布鲁克白光干涉仪（WLI）落地式机型的所有业界公认的优势。利用业界zui先进的用户界面，ContourX-500可以直观地访问广泛的预编程过滤器和分析库。借助其新的USI通用扫描模式，可以轻松地针对zui广泛的复杂应用定制分析器，从精密加工表面和半导体工艺的QA / QC计量学到眼科和MEMS器件的R＆D表征。 联系我们下载手册 ContourX-500 3D光学轮廓仪轮廓GT-K先进的自动化 布鲁克专有的头部倾斜/倾斜为生产设置和检查提供了无与伦比的用户灵活性。通过将自动倾斜/倾斜功能与显微镜头中的光路相结合，布鲁克将检测点与视线相结合，而与倾斜无关。这样可以减少操作员的干预，提供zui大的可重复性。此功能与自动登台和物镜相结合，使ContourX-500非常适合“按需测量”的工业需求，而且占地面积小。 轮廓X-500传统的俯仰和滚动舞台设计需要操作员进行调整五个运动轴以保持在线的检查点视线进行测量。头部独特的布鲁克提示/倾斜设计在检查点上保持了视线-不论倾斜度如何-都能优化图像采集和zui快的数据记录时间。轮廓X-500WLI为所有目标提供恒定且zui终的垂直分辨率。无与伦比的价值和分析 ContourX-500具有成千上万的自定义分析功能以及布鲁克简单易用但功能强大的VisionXpress™ 和Vision64用户界面，为实验室和工厂车间的生产率进行了优化。这种独特的硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量的简化访问，从而超过了同类计量能力。

NS3500三维激光共聚焦显微镜NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。 Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦 Software (软件）：Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Specifications：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描范围精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]注 1长扫描 : 10mm [NS-3500-T]显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 2宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 3帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元专用 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~50 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg隔振系统有源隔离器Option精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S（单镜头类型）。 注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。 注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。Nanoscope system NS3500三维激光共聚焦显微镜信息由上海巨纳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于Nanoscope system NS3500三维激光共聚焦显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

多功能 3D 光学共聚焦显微镜（ OPTELICS HYBRID+，三维表面轮廓仪/三维表面形貌仪 ），高度方向测量精度达0.05nm；系统整合了白光共聚焦+激光共聚焦技术；以双共聚焦光学系统为基础，集6项测试功能于一体，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉测量、垂直白光干涉测量、相差干涉测量、反射分光膜厚测量等功能；通常多台设备才能完成的测量，仅需一台设备即可实现，解决了需要使用多种工具的麻烦，满足在各种测量场景中的测试需求。提供6个测试功能模块，应对多样测量需求满足行业测试规格要求，High精度提供多种测量和分析自动化测量技术，高效测量适用于满足多样场景测试需求 三维光学共聚焦显微镜（三维表面轮廓仪/三维表面形貌仪） 一个平台提供6种测试功能: 1. 白光共聚焦宽视野+High精度测量高清彩色观察 2. 激光共聚焦高倍High 分辨率观察搭载波长405nm的紫色半导体激光，无需前处理，以可媲美电子显微镜的High分辨率，鲜明捕捉纳米级细微构造。3. 微分干涉测量纳米级凹凸观察共聚焦与微分干涉（DIC）相结合，实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低，对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。4. 垂直白光干涉测量数毫米宽广视野内的纳米级形状测量白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形，通过垂直方向扫描找到干涉光强度高点，得到样品的高度分布数据。原理上，高度分辨率不受物镜放大倍数影响，因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测量。5. 反射分光膜厚测量纳米级透明膜厚测量利用波长切换功能对6个波长的绝对反射率进行测量，光学建模计算得到膜厚。数nm～1μm的单层/多层膜厚可测量。测量区域在共聚焦观察图像上指定，亚微米区域～全视野的数mm区域的平均膜厚均可测量。而且因各个像素(pixel)的膜厚能够计测，所以可以测量膜厚分布。6. 相差干涉测量埃米级形状测量白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹，与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像，通过解析实现高分辨率的高度分布测量。多种波长切换 测量速度快3D 形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）实现了业界快速帧率(15Hz~120Hz)扫描，实现图像拼接、自动测量、自动缺陷检测和快速测量。High精度测量三维形貌测量共聚焦显微镜（HYBRID）高度方向测量精度达0.05nm。提供各种测量，分析和支持功能，具有可用性LM eye是HYBRID的测量和分析软件，提供多种功能，帮助您顺利操作测量和分析功能可以测量和分析参数，包括轮廓，粗糙度和薄膜厚度 测量支持功能HYBRID提供各种测量、分析自动化操作，效率更高LIBRA LIBRA 是一个软件程序，它使用指定的平台执行自动测量。LM 检测 LM Inspect 是一个软件程序，可以自动检测基材上的小颗粒和缺陷。并且支持使用缺陷审查和深度学习进行高精度缺陷分类。其他型号：

中图仪器VT6000材料共聚焦三维成像显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；功能特点1、测量模式多样VT6000材料共聚焦三维成像显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；2、双重防撞保护功能Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；3、分析功能丰富3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。应用领域VT6000材料共聚焦三维成像显微镜可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所中，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例： 应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。VT6000可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标 型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品简介：布鲁克Contour Elite&trade 三维光学显微镜在已经业界广泛使用的技术领先的平台上，进一步增强Vision64软件的用户易用性，创新性加入全新的成像软硬件，拓展高保真成像能力。在要求极高的研发、质量控制领域，Contour Elite&trade 可为用户提供高速、准确和重复性极佳的测量结果。同时，它为用户提供在通常共聚焦显微镜下能得到的成像与显示效果，如彩色影像等。建立在Wyko专有白光干涉仪基础上，历经三十多年软硬件的积累与创新，布鲁克Contour Elite系统提供了直观可视化的操作界面，丰富的用户自定义方式，自动化程序控制功能，以及最快速、广泛适用的表面三维形貌的高保真成像与准确测量，来保证各种领域研发、生产应用的测试需求。产品特点：定量、可重复的表面数据 ，为研发和质量保证/质量控制决策提供依据Contour Elite 系统使用布鲁克公司业界领先的 ContourGT 平台，因计量而闻名。经过验证的稳定硬件设计和制造确保了高抗振性，从而提高可靠性和测量重复性，即使在嘈杂的生产环境中也是如此。业界最佳的横向和纵向分辨率 Contour Elite 系统拥有业界最大视场的最佳横向和纵向综合分辨率，其分辨率达到亚纳米级分辨率，其垂直范围从亚纳米到大于 10 毫米到大于10毫米的垂直范围。它们包括研发屡获殊荣的 AcuityXR 测量技术，该技术在工业三维测量中提供了最佳的横向分辨率。在工业用三维光学显微镜中提供了最佳横向分辨率，以及突破衍射极限的能力。AcuityXR 减少了光学元件造成的模糊，对于窄特征 光学元件造成的模糊，并为窄特征提供更强的对边缘变化进行量化的能力得到增强，即使在最小的结构上也能实现工艺控制最小的结构。此外，系统还可以使用百万像素的摄像头，提高了 X-Y 空间分辨率。大视野和物镜放大倍率从 1X 到 115X 不等，可对极广泛的表面形状和纹理进行表征表面形状和纹理。而且精确的拼接功能使用户能够将数千个单独的数据集无缝合成为一个连续的图像。只需导航到所需图像的四角，鼠标点击标记位置、软件就可以完成剩下的工作。产品型号：Contour Elite K高稳定性，具备一定防震性能设计的桌面式型号Contour Elite I全自动，有集成防震垫设计的桌面式型号Coutour Elite X全自动，集成落地式防震台的型号

WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立3D Mapping图，实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反应表面形貌的参数。它通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。（3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。WD4000晶圆厚度表面粗糙度微纳三维形貌量测系统可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。应用场景无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。无图晶圆粗糙度测量 Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜用在材料生产检测领域中，对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护。产品功能1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能； 5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。不同应用场景下的3D形貌VT6000中图仪器三维形貌共聚焦材料测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。3D形貌图片：影像测量功能界面应用场景1、镭射槽测量晶圆上激光镭射槽的深度：半导体后道制造中，在将晶圆分割成一片片的小芯片前，需要对晶圆进行横纵方向的切割，为确保减少切割引发的崩边损失，会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽，在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。2、光伏在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影像减反射焰光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。3、其他部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量重复性(1σ)12nm显示分辨率0.5nm宽度测量重复性(1σ)40nm显示分辨率1nmXY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器通过非接触测量，将晶圆的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度，TTV，BOW、WARP、在高效测量测同时有效防止晶圆产生划痕缺陷。它采用白光光谱共焦多传感器和白光干涉显微测量双向扫描技术，完成非接触式扫描并建立表面3D层析图像，实现Wafer厚度、翘曲度、平面度、线粗糙度、总体厚度变化(TTV)及分析反映表面质量的2D、3D参数。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数，同时生成Mapping图；2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像，显示2D剖面图和3D立体彩色视图，高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数；3、基于白光干涉图的光谱分析仪，通过数值七点相移算法计算，达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度，实现膜厚测量功能；4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度，包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。WD4000无图晶圆厚度粗糙度微纳三维形貌测量仪器兼容不同材质不同粗糙度、可测量大翘曲wafer、测量晶圆双面数据更准确。可实现砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、玻璃不同材质晶圆的量测。应用领域可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。测量功能1、厚度测量模块：厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等；2、显微形貌测量模块：粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。3、提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等；粗糙度分析包括国际标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数；结构分析包括孔洞体积和波谷。产品优势1、非接触厚度、三维维纳形貌一体测量集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三维形貌的测量。2、高精度厚度测量技术（1）采用高分辨率光谱共焦对射技术对Wafer进行高效扫描。（2）搭配多自由度的静电放电涂层真空吸盘，晶圆规格最大可支持至12寸。（3）采用Mapping跟随技术，可编程包含多点、线、面的自动测量。3、高精度三维形貌测量技术（1）采用光学白光干涉技术、精密Z向扫描模块和高精度3D重建算法，Z向分辨率高可到0.1nm；（2）隔振设计降低地面振动和空气声波振动噪声，获得高测量重复性。（3）机器视觉技术检测图像Mark点，虚拟夹具摆正样品，可对多点形貌进行自动化连续测量。4、大行程高速龙门结构平台（1）大行程龙门结构(400x400x75mm)，移动速度500mm/s。（2）高精度花岗岩基座和横梁，整体结构稳定、可靠。 （3）关键运动机构采用高精度直线导轨导引、AC伺服直驱电机驱动，搭配分辨率0.1μm的光栅系统，保证设备的高精度、高效率。5、操作简单、轻松无忧（1）集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准工作。（2）具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。（3）具备电动物镜切换功能，让观察变得快速和简单。应用场景1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量通过非接触测量，将晶圆上下面的三维形貌进行重建，强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV)，有效保护膜或图案的晶片的完整性。2、无图晶圆粗糙度测量Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像，用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片，细磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次测量数据计算重复性为0.046987nm，测量稳定性良好。部分技术规格品牌CHOTEST中图仪器型号WD4000系列测量参数厚度、TTV(总体厚度变化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等可测材料砷化镓、氮化镓、磷化镓、锗、磷化铟、 铌酸锂、蓝宝石、硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、外延材料等厚度和翘曲度测量系统可测材料砷化镓 氮化镓 磷化 镓 锗 磷化铟 铌酸锂 蓝宝石 硅 碳化硅 玻璃等测量范围150μm~2000μm扫描方式Fullmap面扫、米字、自由多点测量参数厚度、TTV(总体厚度变 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、线粗糙度三维显微形貌测量系统测量原理白光干涉干涉物镜10X(2.5X、5X、20X、50X,可选多个)可测样品反射率0.05%~100粗糙度RMS重复性0.005nm测量参数显微形貌 、线/面粗糙度、空间频率等三大类300余种参数膜厚测量系统测量范围90um(n= 1.5)景深1200um最小可测厚度0.4um红外干涉测量系统光源SLED测量范围37-1850um晶圆尺寸4"、6"、8"、12"晶圆载台防静电镂空真空吸盘载台X/Y/Z工作台行程400mm/400mm/75mm恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

NS3600 激光三维表面轮廓仪NS-3600是一款高速共聚焦激光扫描显微镜（CLSM），可用于精确可靠的3维（3D）测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案，例如半导体晶圆，FPD产品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Software (软件）：Application field（应用领域）：NS-3600是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Specifications（规格）：ModelMicroscope NS-3600备注物镜倍率10x20x50x100x观察/ 测量范围 水平 (H): μm1400700280140垂直 (V): μm1050525210105WD: mm16.53.10.540.3数值孔径(N.A.)0.300.460.800.95观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描范围10mm显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.02 μm注1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.03 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz激光接收元件PMT (光电倍增管)激光波长638nm (2mW)光学观察照相机成像元件彩色图像 CCD 传感器记录分辨率1296x966数据处理单元专用 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜大约. ~50 kg(测量头大约: ~12 kg)控制器~8 kg隔振系统气浮隔振Option注1:100次测量标准样品(1μm高度) 100 x/ 0.9物镜。注2:100次测量标准样品(5μm 间距) 100 ×/ 0.9物镜。Nanoscope system NS3600 三维激光共聚焦显微镜信息由上海巨纳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于Nanoscope system NS3600 三维激光共聚焦显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

NS3500H 大面积高速三维成像扫描系统NS-3500H 是一种准确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Dimension(尺寸）:Specification(规格）：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描长扫描 : 10 mm 显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~200 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg注1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量 注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-1000落 地 式 ContourX-1000 白 光 干 涉（WLI） 系 统 集 成 了Bruker 在 硬 件 和 软 件 上 的 最 新 技 术， 可 用 于 全 自 动 三维表面纹理和粗糙度测量。全新的一键式高级寻找表面（Advanced Find Surface ）功能结合自动聚焦和自动照明功能，无需每次测量前手动查找样品表面，极大提升了用户体验且缩短测量时间。结合自适应测量模式 USI 和简洁的引导式VisionXpress操作界面，ContourX-1000 在任何表面，任何操作人员，甚至多用户高负荷的生产设备下都可提供不打折扣的精确测量。特点：可倾斜 / 俯仰光学头、双光源和先进的自动化功能可提供快速、灵活的生产车间内测量。自校准激光和集成的防震台可确保极高的测量准确性和可靠性。提供的测量和分析软件带有简洁且有引导性的程序和模式，更大程度的方便用户使用。光学轮廓分析设备硬件设计的巅峰ContourX-1000 集成有 Bruker 专利的倾斜 / 俯仰光学头，特有的双光源、自动化的物镜转盘和样品台，以及可选配的晶圆卡盘。这些创新可为几乎所有的在研发和生产中的应用提供快速且最优的解决方案，包括有难度的表面和深沟槽结构。 技术参数强大的自动化测量和分析的典范全局扫描干涉 (USI) 自适应测量模式可自动确定最优的测量参数，即使在几十微米尺度内也可确保纳米级分辨率。 简洁的且带有引导性的 VisionXpress交互界面可去除操作人员经验水平的影响，快速得到最佳测试结果。即使在多用户环境中，每个使用者都可通过高级查找表面功能，自动聚焦功能和自动照明调整功能获取高 质 量 的 结 果。 使 用 全 套 兼 容 的软件包，从SureVison和多区域分析 到 Vision64 Map 和 膜 测 量，ContourX-1000 都 可 提 供 全 方 位 的测量来满足您特定的应用需求。 测量准确性与鲁棒性的基准除 拥 有 Bruker 独 有 干 涉 技 术 无与 伦 比 的 测 量 和 成 像 能 力 之 外，ContourX-1000 还 配 备 了 专 属 的 内部参考激光和防震台以获取最大的稳定性和与其他工具的匹配能力。即使在嘈杂的环境中，该系统也能确保测量性能。 布鲁克 NPFLEX-1000三维光学轮廓仪 落地式 NPFLEX-1000 白光干涉（WLI）测量系统为精密制造业带来了前所未有的灵活性、测量能力和性能，从而理解和控制制造过程。该系统采用开放式龙门架设计，具有300mm 的样品台与目镜间距，因此能够在各种形状和尺寸的样品上轻松测量微观及宏观特征。全新的一键高级查找表面&trade 通过结合自动对焦和自动照明，消除了在每次测量之前手动聚焦表面的需要，从而提升用户体验，并减少测量时间。解决专业应用的表面独立计量方案具有大尺寸龙门架结构的 NPFLEX-1000 让非专业用户也能快速获得高质量结果。开放式坚固的桥梁结构、旋转测头和多功能物镜选项结合，提供了最大的样本尺寸自由度和测量大坡度表面的能力。NPFLEX-1000 的灵活性旨在解决汽车、医疗和大型增材制造等领域精密加工中 QA/QC 部门的粗糙度和表面纹理测量问题。其中一些 QA/QC 研究包括：腐蚀监测鉴别并统计腐蚀斑定量可视化测量宽度、深度、体积监测表面形貌变化微导程角测量确定密封件的泄露行为测量全局导程角，导程角的大小、方向，频率，柱面角等确保密封件在高温环境下的耐久性磨损与寿命预测定量材料体积损失随时间的变化测量峰、谷比例理解磨损方向气缸表面纹理分析侧壁粗糙度，理解活塞运动实现内壁缝合测量内壁织构的角度齿轮法兰粗糙度分析接触区域定量分析磨损体积检查处理表面行为表面光洁度质量控制测量表面纹理与表面特性相关联支持加工过程的控制凸轮印迹分析检查凸轮轴凸角是否有颤动测量凸轮印迹的周期理解界面表面纹理与零件性能或者失效的关系特点超大尺寸和表面斜率兼容性简化了样品准备过程，并增加了每个部件可测量表面的范围卓越的易用性使任何经验级别的操作员都能获得专家级的结果超快的自动化测量和分析程序缩短了结果时间高度坚固的桥梁结构和集成的隔振系统可提供生产环境下的长期精度和可靠性实际使用的优势开放式样品加载和直观的分析软件能够以亚微米分辨率表征表面纹理、光洁度、粗糙度、曲率、斜率和许多其他参数。材料宽容―― 反射率从 0.05% 到 100%，表面纹理从平坦到粗糙高度自动―― 就绪、完全可定制的测量和分析流程自校准―― 最高精度和再现性

布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-1000落 地 式 ContourX-1000 白 光 干 涉（WLI） 系 统 集 成 了Bruker 在 硬 件 和 软 件 上 的 最 新 技 术， 可 用 于 全 自 动 三维表面纹理和粗糙度测量。全新的一键式高级寻找表面（Advanced Find Surface ）功能结合自动聚焦和自动照明功能，无需每次测量前手动查找样品表面，极大提升了用户体验且缩短测量时间。结合自适应测量模式 USI 和简洁的引导式VisionXpress操作界面，ContourX-1000 在任何表面，任何操作人员，甚至多用户高负荷的生产设备下都可提供不打折扣的精确测量。特点：可倾斜 / 俯仰光学头、双光源和先进的自动化功能可提供快速、灵活的生产车间内测量。自校准激光和集成的防震台可确保极高的测量准确性和可靠性。提供的测量和分析软件带有简洁且有引导性的程序和模式，更大程度的方便用户使用。光学轮廓分析设备硬件设计的巅峰ContourX-1000 集成有 Bruker 专利的倾斜 / 俯仰光学头，特有的双光源、自动化的物镜转盘和样品台，以及可选配的晶圆卡盘。这些创新可为几乎所有的在研发和生产中的应用提供快速且最优的解决方案，包括有难度的表面和深沟槽结构。 技术参数强大的自动化测量和分析的典范全局扫描干涉 (USI) 自适应测量模式可自动确定最优的测量参数，即使在几十微米尺度内也可确保纳米级分辨率。 简洁的且带有引导性的 VisionXpress交互界面可去除操作人员经验水平的影响，快速得到最佳测试结果。即使在多用户环境中，每个使用者都可通过高级查找表面功能，自动聚焦功能和自动照明调整功能获取高 质 量 的 结 果。 使 用 全 套 兼 容 的软件包，从SureVison和多区域分析 到 Vision64 Map 和 膜 测 量，ContourX-1000 都 可 提 供 全 方 位 的测量来满足您特定的应用需求。 测量准确性与鲁棒性的基准除 拥 有 Bruker 独 有 干 涉 技 术 无与 伦 比 的 测 量 和 成 像 能 力 之 外，ContourX-1000 还 配 备 了 专 属 的 内部参考激光和防震台以获取最大的稳定性和与其他工具的匹配能力。即使在嘈杂的环境中，该系统也能确保测量性能。 布鲁克 NPFLEX-1000三维光学轮廓仪 落地式 NPFLEX-1000 白光干涉（WLI）测量系统为精密制造业带来了前所未有的灵活性、测量能力和性能，从而理解和控制制造过程。该系统采用开放式龙门架设计，具有300mm 的样品台与目镜间距，因此能够在各种形状和尺寸的样品上轻松测量微观及宏观特征。全新的一键高级查找表面&trade 通过结合自动对焦和自动照明，消除了在每次测量之前手动聚焦表面的需要，从而提升用户体验，并减少测量时间。解决专业应用的表面独立计量方案具有大尺寸龙门架结构的 NPFLEX-1000 让非专业用户也能快速获得高质量结果。开放式坚固的桥梁结构、旋转测头和多功能物镜选项结合，提供了最大的样本尺寸自由度和测量大坡度表面的能力。NPFLEX-1000 的灵活性旨在解决汽车、医疗和大型增材制造等领域精密加工中 QA/QC 部门的粗糙度和表面纹理测量问题。其中一些 QA/QC 研究包括：腐蚀监测鉴别并统计腐蚀斑定量可视化测量宽度、深度、体积监测表面形貌变化微导程角测量确定密封件的泄露行为测量全局导程角，导程角的大小、方向，频率，柱面角等确保密封件在高温环境下的耐久性磨损与寿命预测定量材料体积损失随时间的变化测量峰、谷比例理解磨损方向气缸表面纹理分析侧壁粗糙度，理解活塞运动实现内壁缝合测量内壁织构的角度齿轮法兰粗糙度分析接触区域定量分析磨损体积检查处理表面行为表面光洁度质量控制测量表面纹理与表面特性相关联支持加工过程的控制凸轮印迹分析检查凸轮轴凸角是否有颤动测量凸轮印迹的周期理解界面表面纹理与零件性能或者失效的关系特点超大尺寸和表面斜率兼容性简化了样品准备过程，并增加了每个部件可测量表面的范围卓越的易用性使任何经验级别的操作员都能获得专家级的结果超快的自动化测量和分析程序缩短了结果时间高度坚固的桥梁结构和集成的隔振系统可提供生产环境下的长期精度和可靠性实际使用的优势开放式样品加载和直观的分析软件能够以亚微米分辨率表征表面纹理、光洁度、粗糙度、曲率、斜率和许多其他参数。材料宽容―― 反射率从 0.05% 到 100%，表面纹理从平坦到粗糙高度自动―― 就绪、完全可定制的测量和分析流程自校准―― 最高精度和再现性

【说明：每款产品因配置不同价格不同，需按照您的测量需求单独配置，具体请联系我们报价】SPA 25 三维形貌仪是德国dataphysics 公司新推出的一款三维表面测量仪器，基于白光干涉原理，最小垂直分辨率可达 0.1nm。【带操纵杆的电动样品台】自动样品台： 软件或操作杆控制自动样品台可精确测量定位，并能实现大面积测量的自动移动和拼接功能，最da测量面积为：300mm*300mm。【SPS 25 表面轮廓软件】软件： MountainsMap Imaging Topography software 强大的测量和分析软件可完成所有表面分析的要求。计算表面结构和表面粗糙度符合不同的工业标准，如：ISO25178，ISO4287，ISO13565，ISO16610 等。应用范围广：由于结合了高的测量分辨率，快的测量速度和强大的分析软件使 SPA25 三维形貌仪具有非常广的应用范围。如大面积样品的3D表面形貌测量，表面缺陷测量，表面结构测量，表面粗糙度测量等。【10x 和 50x 显微镜物镜】显微镜物镜 :SPA 25 使用 Mirau 干涉仪显微镜物镜。这些物镜具有不同的放大倍数，这些放大倍数会影响 XY 尺寸的分辨率。请注意，由于利用了白光干涉测量技术，Z 维度的分辨率与放大倍数无关。

中图仪器SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪可应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域SuperViewW国产白光显微干涉三维形貌检测仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

产品简介VT6000系列三维形貌共聚焦材料测量显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。在相同物镜放大的条件下，VT6000系列三维形貌共聚焦材料测量显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。产品功能(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；应用领域 VT6000系列三维形貌共聚焦材料测量显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：性能特色1、高精度、高重复性1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度；2）隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在嘈杂的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。2、一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、精密操纵手柄 集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。4、双重防撞保护措施除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。部分技术指标型号VT6100行程范围X100mmY100mmZ100mm外形尺寸520*380*600mm仪器重量50kg测量原理共聚焦光学系统显微物镜10× 20× 50× 100×视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm高度测量宽度测量XY位移平台负载10kg控制方式电动Z0轴扫描范围10mm物镜塔台5孔电动光源白光LED如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

LT-12净空测量仪是我公司新开发的超远距离免棱镜全站仪，可以用于机场或雷达站周围建筑物三维坐标的测量。该产品在国际上率先采用1.57波长人眼安全激光，免棱镜测程达到12公里，测距精度优于1米，测距时间小于1秒，测量的坐标数据直接存储到内存中；可通过U盘将数据复制到电脑，本测量仪采用Windows mobile。LT-12净空测量仪集成了GPS定位功能和全站仪测角、测距功能，不受地域和时间限制，不依靠控制网，没有作业半径限制，是全天候、无盲区、智能型的测量系统。技术参数角度测量：水平角范围:0～360°垂直角范围：-45°-+90°水平角精度：2″(2秒=0.0005°)垂直角精度：2″(2秒=0.0005°)最小读数:1″/5″可选测角方法：绝对编码，动态测量角度补偿方式：电子补偿角度补偿范围：±3′（补偿范围内仪器自动消除仪器不平对角度的影响）采点速度：1点/3秒非合作目标距离测量：测程：12000米测距精度：1米测距激光波长：1.57波长测距激光类型：1级人眼安全激光（最安全等级）数据存储/通讯：可扩展内存:标配8G内存，可扩充至32G数据接口：U盘，蓝牙，Wifi,3G上网及语音通话功能（选配）数据格式：文本格式/CSV格式望远镜：放大倍数：16倍物镜口径：23mm视场：2°30′（100m处视场4.4m）调焦范围：2.5m至无穷远显示屏：显示屏：3.5寸电阻式彩色触摸屏，640×480像素，亮度可调节操作系统：Windows Mobile：6.5主频：800HZ激光对电器：类型：红色激光点对中精度：1.5m处对中精度1.5mm电池：类型：12V可充电锂电池1800mA操作时间：双电池在打开激光条件下可工作8小时以上物理指标：整机重量：5.3kg体积：170×160×330mm环境指标：工作温度范围：-30℃到+60℃，极地耐低温型-40℃到+60℃（可定制）防尘/防水：IP55，防雨防尘湿度：95%，无冷凝软件功能：后方交会法：有站点测量法：有角度定向法：有原始坐标输出：有原始坐标数据输出，便于用户验证检查，数据兼容性好智能测量导航：有产品特征1．可选配大范围倾角补偿器。2．可选配3G上网卡实施将测量数据发回办公室。3．LT-12净空测量仪系统从GPS获取绝对坐标，无需做控制网或控制点，使作业更简单。4．可选配高精度GPS进行定位定向，结合全站仪数据采集功能，实现全站仪、GPS测量数据共享。