射率折射仪

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射率折射仪相关的厂商

  • 丹东辽东射线仪器有限公司
    丹东辽东射线仪器有限公司(原丹东射线仪器集团股份有限公司分析仪器厂)是设计生产射线仪器的专业公司，是射线仪器行业的骨干企业，是国内外行业中享有盛名的企业之一。公司拥有技术力量雄厚的科技队伍，及一批丰富经验的生产骨干，具有国家标准试验设备和先进生产程序。产品通过ISO9001国际质量体系认证。 辽东射线仪器有限公司设计生产的X射线探伤机、X射线分析仪器等射线产品具有较高的科学性和独特性。现已生产的便携式X射线探伤机 、移动式X射线探伤机具有国内先进水平。是国内最早生产X射线晶体定向仪、X射线晶体分析仪的集科研、生产为一体的专业公司。我公司生产的移动式探伤机为国内的烟花爆竹生产新添了一项检验方式，具有性能可靠、使用方便、清晰度高等特点。本公司与北京有色金属研究院、有研硅谷、北京京联发数控科技有限公司合作设计生产的单晶滚磨定向装置，填补了国际产品的空白，并以角度的精确性、定向的准确性，提高了产品生产效率和科学效果；公司独立开发的线切割专用定向粘接系统填补了国内空白，解决了各种晶体在加工精度上的难点，受到了中外用户的好评。 长期以来，丹东辽东射线仪器有限公司精心致力于射线仪器的开发研究，从管理的高质量、技术的高标准、产品的高精度、企业的高信誉入手，使公司产品不但在国内享有盛名和较高的知名度，并已出口日本、德国、美国、韩国、朝鲜、台湾等国家和地区 。目前我公司生产的定向仪和滚磨定向装置在国内半导体行业的市场占有率已达到90%以上，深得国内外合作科研单位、高等院校、生产企业得赞扬和首肯。同时，我公司真诚希望与各科研单位、各射线行业成员企业及广大用户互通信息、团结协作，致力于射线仪器地技术开发，使产品精益求精，以高效创新、诚信务实地管理为宗旨，将丹东射线基地建设的更加强大、繁荣。
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  • 丹东奥龙射线仪器集团有限公司 金牌21年
    400-860-5168转0668
    奥龙集团传承60余年中国射线仪器研制历史 丹东奥龙射线仪器集团有限公司是中国射线仪器行业技术力量与综合实力雄厚的民营高科技企业。奥龙集团传承60年中国射线仪器研制历史。奥龙集团旗下拥有上海奥龙星迪、丹东奥龙电子、奥龙检测服务、丹东奥龙中科传感技术四个子公司。奥龙是专业X射线仪器和材料试验仪器的开发商和产品制造商，也是X射线检测解决方案的服务商。 丹东奥龙射线仪器集团有限公司坐落于辽宁省“五点一线”沿海经济带上的丹东临港产业园区；占地面积3万平方米，建筑面积1.7万平方米；拥有一支技术过硬、行业领先、经验丰富的科技队伍；拥有完善的企业管理系统和行业领先水平的现代化生产环境和研发、生产、检测设备；是中国射线仪器制造与应用服务行业的领跑者；是无损检测行业的全球领导厂商美国GE的合作伙伴。 奥龙集团产品的技术含量和质量居国内领先地位；连续荣获辽宁省名牌产品称号并主导国内市场；中国发射的“神舟载人飞船”有多项系统使用奥龙集团生产的X射线探伤设备实施无损检测并取得成功，奥龙人为中国航天事业发展做出了贡献。奥龙主要荣誉：国家首批高新技术企业通过ISO9001国际质量体系认证ISO14001国际环境管理体系认证ISO45001:2018职业健康安全管理体系通过欧盟CE认证承担国家重大科学仪器设备开发专项国家x射线实时成像高技术产业化示范工程基地全国模范院士专家工作站 辽宁省企业技术中心辽宁省著名商标辽宁省名牌产品辽宁省软件企业拥有百余项国家专利和计算机软件著作权辽宁省工业CT仪器专业技术创新中心工业CT获改革开放40周年机械工业杰出产品奖获国家级专精特新“小巨人”企业奥龙主导产品：● 工业CT● X射线衍射仪● X射线探伤机● X射线晶体定向仪● X射线数字成像检测系统● X射线荧光光谱仪● 管道爬行器● 硬度计● 微焦点X射线检测系统● 活体小动物2D、3D成像系统● 开放式微焦点X射线管● 生物学X射线辐照仪● 安全检查仪● X射线检测服务产品应用领域：● 航空航天、兵器、船舶● 电力、电子、管道检测● 铸件检测● 安检、防爆检查● 轮胎、轮毂检测● 珠宝、文物古董，岩心检测● 直缝、螺旋钢管、锅炉焊管● 医疗、生物检测● 材料质量检测 ● 植物、种子检测● 焊接质量检测● 辐照检疫检测● 管道检测● 小动物辐照研究●气瓶、压力容器检测 ● 药品、食品检测● 火车各部件检测● 蓝宝石、单晶硅定向● 岩心检测分析● 材料分析、物相分析　　 奥龙长期专注于无损检测、材料试验机等系列产品的研发与运营，产品不仅畅销国内市场，而且还远销美国、德国、英国、印度、澳大利亚、荷兰、马来西亚、印尼、泰国、南非、沙特阿拉伯、香港、台湾等世界五大洲的50多个国家和地区。 产品广泛应用于国防、航空航天、造船、汽车、压力容器、机械、冶金、石油化工、电子信息、输变电、耐火材料、食品安全、科技教育、卫生等行业领域。 奥龙，一个立足丹东，产品辐射国内外市场的集团企业，正以技术、管理、品牌和规模的企业优势，紧紧围绕“提升核心能力，打造奥龙国际品牌”的战略，积极推动企业向着更高水平的目标迅猛发展。地 址：辽宁省丹东市振兴区爱河大街66号 （原丹东临港产业园区富民大街46号） 销售热线：400-168-8858电 话：0415-6278777 3141333 网 址：www.aolongcn.cn传 真：0415-3458588 3458688 电子邮件：al@aolongcn.cn
    主营产品： 工业CT   X射线衍射仪   X射线探伤仪   小动物活体成像  
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  • 南昌市宏兴辐射防护有限公司
    南昌市宏兴辐射防护有限公司是经国家卫生部和南昌工商局管理局批准注册的一家专业从事射线防护产品研发、生产、销售和安装的高新企业。是国内从事射线防护工作的知名企业。是江西省卫生部认定具备射线防护工程施工资质的公司之一。 公司主要生产经营的产品有：气密门 （手术室门）、防辐射门（射线防护门/铅门）防护窗、铅板、铅玻璃、铅房、铅屏风、射线防护涂料、防护涂料硫酸钡、以及个人防护产品铅衣服、铅帽、铅眼镜、等。 公司产品均通过了《卫生部射线防护器材防护质量监测中心》和《中国疾病预防控制中心辐射防护与核安全医学所》两家权威机构检测，并颁发了合格检测报告。公司立足江西，服务于江西各大小医院，业务遍及全国并远销海外，公司分布有：江西、广东、福建、湖南、江苏、北京、上海、香港等地。 为保障公众的健康和安全，我们对各项工作，各个环节都力求精益求精，严格律己，从不马虎，公司以“专业、专注；诚实、诚信”为经营理念，始终以 “ 好品质始终如一 ，好服务一如既往” 的宗旨服务于大众。 竭诚为我国射线防护行业做出重要的贡献。 联系人：翟经理 联系电话：18079173838 ； 座机： 0791-86510600 ；传真：0791-86570605 公司企业网站：http://www.jxikc.com 阿里巴巴诚信通网址：http://nchxfh.cn.alibaba.com 淘宝店铺网址：http://shop36558773.taobao.com 地址：江西省南昌市西湖区灌婴路1688号
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射率折射仪相关的仪器

  • 数显折射计 折射率折光仪 药品折射计 400-860-5586
    PR-RI PALETTE系列数显折射计我们ATAGO产品袖珍型产品中长期畅销商品的PAL系列增加了新产品, 就是测量折射率的PAL-RI.适合在药品及化工制品等以折射率来管理产品质量的过程中使用. 型号PR-RI货号3480测量范围折射指数(nD)1.3306 至 1.4436溶解值折射指数(nD) 0.0001测量准确度折射指数(nD)± 0.0002(在20度摄氏使用水时)环境温度10 至 40° C测量温度5 至 45° C(溶解值 1° C )样本量0.3 毫升测量时间3 秒电源006P 蓄电池 ( 9V )国际保护等级 IP64 无尘且对泼溅的水具防护作用。尺寸重量17× 9× 4公分, 300公克(不含零件的重量)ATAGO（爱拓）全新的PAL-39S双氧水浓度快速测定仪双氧水折光仪使用折光原理快速方便的检测双氧水浓度，只需要0.5ml左右的样品，滴加之后3秒钟显示测量结果，手持便携，易于操作。PR- 50HO双氧水浓度测定仪双氧水折射计具有更高的精度和使用寿命，可快速方便的检测双氧水浓度，只需要0.5ml左右的样品，滴加之后3秒钟显示测量结果，通过电池设计，手持便携，易于操作，测量精准。更多使用与应用信息请联系日本ATAGO（爱拓）种豆浆的Brix值大约 10%4.测量豆浆的浓度1.在做豆腐前测量豆浆的浓度2.在做豆腐前需测量豆浆的浓度，折射计可以快速提供测量结果*由于制造流程或使用的豆子原料的不同，豆浆在制作过程中的糖度( Brix )值会发生变化ATAGO爱拓 中文官网：ATAGO 日本总部官网： 关于爱拓(日本ATAGO)成立于1940年的日本ATAGO（爱拓），半个多世纪以来不断地致力于研究和开发多样化的，应用广泛的光电测试仪器，其主要产品为折射仪，旋光仪及基于折射仪测定各种物质浓度的衍生产品浓度计。ATAGO（爱拓）产品的应用涵盖食品饮料，果蔬加工，糖业，日用化工，生物制药，临床检验，石油化学到金属制造等许多领域，在世界处于领先地位并占据最大市场份额，ATAGO（爱拓）产品的设计与制造过程遵循ISO9000质量体系认证，所有ATAGO（爱拓）产品在离开厂房时均经过严格彻底的检验，产品品质卓越，耐用性超群，长久以来，凭借优秀的品牌知名度，ATAGO（爱拓）产品不断获得来自全世界一百多个国家客户的完全信赖.关于爱拓中国(ATAGO CHINA Ltd.)2011年ATAGO（爱拓）中国分公司的成立和正式运行（全称广州市爱宕科学仪器有限公司），将使广大国内用户能够快速地购买产品，获得使用指导和维修服务。 #ATAGO （爱拓）在线折光仪# ----PRM-100a"荣获&ldquo 2012年度食品工业技术创新奖仪器厂商&rdquo 称号。
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    厂商： ATAGO（爱拓）中国分公司
    品牌： 未知
    型号： PR-RI
    价格： 面议
  • 固体折射率 多波长阿贝折射仪 400-860-5586
    多波长阿贝折射仪 DR-M2/1550(A)折射指数或阿贝数( vd 或 ve )可依据 450 至 1,550nm 范围内的不同波长来衡量。本折射仪能在液晶屏幕上数字显示折射指数与阿贝数。藉由边界线与相交线交叉点的比对进行测量。本折射仪能与数字打印机 DP-22(B)做连结(选购)。ModelDR-M2/1550(A)型号1412测量范围折射指数 1.3278 至 1.7379 ( 450nm )折射指数 1.3000 至 1.7100 ( 589nm )折射指数 1.2912 至 1.7011 ( 680nm )折射指数 1.2743 至 1.6840 ( 1,100nm )折射指数 1.2662 至 1.6759 ( 1,550nm )最小显示单位折射指数 : 0.0001阿贝数 : 0.1测量准确度折射指数 : ± 0.0002( 附有测试片589nm )波长范围从450 至 1550nm* 附滤波干扰器温度测量范围5 至 50° C主要组件折射仪, 电力供应组件, 单色光源装置, 近红外线观察器,滤波干扰器 ( 589nm )输出终端机数字打印机 DP-22(B)(选件)光源单色光源装置尺寸重量 ：23× 35× 21～31公分, 5.9千克电源AC100 至 240V 50/60Hz单色光源装置 AC200 至 240V 50/60Hz　电力损耗100VA (折射仪,电力供应组件)尺寸重量13× 29× 31公分, 6.0千克 (折射仪)15× 33× 11公分, 3.0千克 (电力供应组件)选件&bull 胶卷测量用采光玻璃片 (DR-M2用) : RE-6191&bull 数字打印机 DP-22(B) : 型号 3125&bull 干涉滤光589(D) nm : RE-16501486(F) nm : RE-16502656(C) nm : RE-16503546(e) nm : RE-16504480(F' ) nm : RE-16505644(C' ) nm : RE-16506(选择波长) : RE-16507450 至 539nm540 至 680nm681 至 799nm800 至 1550nm&bull DR-M2/1550, DR-M4/1550(A) 干涉滤光片589nm : RE-16511486nm : RE-16512656nm : RE-16513546nm : RE-16514480nm : RE-16515644nm : RE-16516任意波长用 :RE-16517&bull 近红外线透镜 : RE-9119&bull 带偏光板接眼镜 : RE-1146消耗品/零件&bull 刻度校正用 A : RE-1195&bull DR-M2/1550(A)用主副菱镜 : RE-16500&bull 干燥剂 : RE-1592 双氧水（过氧化氢，化学式H2O2），是一种重要的无机化工产品，也是工业领域重要的氧化剂、漂白剂、消毒剂和脱氯剂。在纺织、造纸、化工、轻工、医药、电子、食品、环保等领域应用广泛。目前我国双氧水产品分工业级、试剂级、医药级和电子级，浓度有27.5%, 35%,50%.70%等多种规格。1 双氧水主要应用领域 纺织工业纺织工业中双氧水主要用于织物漂白，还原染料染色时显色，织物脱浆，如高档纯棉织物、无麻织物、针织品及毛巾、床单、皮毛及工艺品的 漂白。1· 2 造纸工业双氧水用于造纸行业可分为纸浆漂白和废纸脱墨处理。用于纸浆漂白时，主要用于机械浆 (磨木浆)的漂白 用于处理废纸时，能使油墨颗粒与纸张纤维分离，并最终使回收纸浆获得满意的白度，这是今后双氧水花造纸工业中最有前途 的应用领域。1· 3 化学工业在化学工业方面，双氧水广泛用于制取环氧化合物，有机过氧化物和无机过氧酸及其盐，氧化有机含氮，有机和无机含硫化合物，还用于催化聚合反应等等。1· 4 环境治理双氧水不仅在使用时不产生污染物，而且可以直接用来有效地处理工业三废，特别是废水处理，几乎可处理各种有毒废水(包括除毒、去味、脱色)，不产生二次污染。双氧水可以用来脱除废气中的NO，三氧化硫、硫醇、醛类等，也可用来处理含硫或硫化物，含酚、含氰废水，双氧水还可用来消除地下水及土壤被有机物污染。1· 5 电子工业电子工业中，可用双氧水与其他化学品配制成腐蚀液和作清洗剂，另外，不少仪器仪表、机电、日行车零件等行业的电镀加工要用双氧水处 理电镀液。1· 6 食品工业一般采用食品级双氧水，母液浓度大多数为30%到50%左右，使用时按需要稀释至适当的比例。食品级双氧水可广泛用于乳品、饮料、纯净水、矿泉水、水产品、瓜果、蔬菜、禽及肉制品、腌制品、啤酒等食品的生产过程之中，作为生产加工助剂，用于消毒、杀菌、漂白等。乳品无菌包装的消毒杀菌乳品用食品级双氧水灭菌系统主要有两种：一种是将食品级双氧水加热到一定温度，然后对包装盒或包装材料进行灭菌。这种灭菌一般在双氧水水槽内进行。另一种是将食品级双氧水均匀地涂布或喷洒于包装材料表面，然后通过电加热或辐射或热空气加热蒸发双氧水，从而完成灭菌过程。生产设备和管道的消毒：将食品级双氧水用水稀释30-50倍，并以稀释液对设备冲洗、对管道浸泡20-30分钟，或对容器加压冲洗10-30秒，将消毒液放出即可，无需用水冲洗。包装容器的消毒：用稀释了35-100倍的食品级双氧水溶液，对容器进行浸泡20-30分钟，或对容器加压冲洗10-30秒，将消毒液放出即可，无需用水冲洗。生产空间的消毒：将食品级双氧水与水按1:100的比例稀释后，用喷雾器将消毒溶液喷洒在空气中，即可起到对生产空间消毒的效果，有利于食品企业按GMP和HACCP标准进行生产和管理。双氧水的快速检测方法ATAGO（爱拓）全新的PAL-39S双氧水浓度快速测定仪双氧水折光仪使用折光原理快速方便的检测双氧水浓度，只需要0.5ml左右的样品，滴加之后3秒钟显示测量结果，手持便携，易于操作。PR- 50HO双氧水浓度测定仪双氧水折射计具有更高的精度和使用寿命，可快速方便的检测双氧水浓度，只需要0.5ml左右的样品，滴加之后3秒钟显示测量结果，通过电池设计，手持便携，易于操作，测量精准。更多使用与应用信息请联系日本ATAGO（爱拓）
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    厂商： ATAGO（爱拓）中国分公司
    品牌： 未知
    型号： DR-M2/1550(A)
    价格： 面议
  • 折射率测量系统 400-860-5168转3339
    红外折射率测量仪 完美融和创新设计及尖端技术，Prism Pro - IR是艺术级红外折射率测量仪，用于测量中波红外成像组件/系统及光材料均匀性的理想仪器。规格参数*精确度 (已校准)*重复性波长范围温度范围（可选）波长精度波长分辨率仪器测试孔径 旋转平台分辨率 双RTD(电阻热装置) 探测器DSP锁相放大器 +- 0.00005 +- 0.00002350nm- 14um77-373K+- 0.05%1nm25 mm 直径.008 角秒+-0.3 摄氏度MCT SRS 830 源类型：150 W石英卤素灯(0.25 - 3.5 um)、陶瓷发光体 (2.0 - 30 um) 单色仪：自动三光栅塔轮、自动11位二级截止滤光片转轮、变速光学斩波器 (10 – 350Hz)、(6) 套用户可切换狭缝 尺寸： 6ft x 4ft x 3ft重量： 1100lbs (包括桌子)分析软件/ M3自动化、折射率索引包准确性和重复性通过60度CaF2棱镜@3.39um验证dn/dT：折射率系数随温度变化色散：折射率系数随波长变化色散方程拟合: Sellmeier、Herzberger、Cauchy等 色散曲线 dndT温度变化曲线
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    厂商： 弘度科学仪器（上海）有限公司
    品牌： 未知
    型号： PrismProIR
    价格： 15万 - 25万元
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射率折射仪相关的资讯

  • 光的反射和折射定律改变将衍生新型光学元件
    中国学生在哈佛大学做博士后研究发现 　　人工界面改写光的反射和折射定律 　　光的折射和反射定律是几何光学的基础。但是美国哈佛大学物理学家用一系列实验演示了光线的传播可以不遵从这些经典定律。这意味着，或许有一天当你用一块平面镜端详自己容貌时，看到的却是哈哈镜的变形效果。 　　光在不同介质中的传播速度不一样。当一束光从空气中斜射向水中，光束的传播方向会发生改变，这就是所谓的折射现象。它的准确表述即折射定律是很多年前由物理学家斯涅尔、数学家笛卡尔以及费马确立的。这一定律表明，光线在界面的折射角仅由光在两种物质中的传播速度决定。而早在古希腊时期由欧几里德发现的反射定律更简单：光的反射角等于入射角。 　　经典的反射和折射定律都很自然地认为一个界面仅仅是区分两种物质的理想边界，换句话说，是两种介质而不是它们的截面影响了光的传播。哈佛大学研究人员的创新在于意识到界面可以成为决定光的传播的因素。他们的实验表明，精巧设计的界面能够干预光的传播。 　　研究人员利用硅片和空气界面处一层薄薄的金属阵列来演示一系列违背经典反射和折射定律的现象。这个阵列中的每个组成单元都类似微小的英文字母“V”，其大小和间距都远小于光的波长以及入射光束横截面的尺寸。这些“V”字形的单元的大小、夹角和朝向都不同，这样设计是为了控制光波和不同单元的相互作用时间：每个金属“V”都类似一个光的陷阱，能够将光波“囚禁”一段时间再释放出来。 　　阵列的设计使得这个“囚禁”时间沿界面从右向左线性增加，这样即使垂直入射，光束不同部分经历不同的时间延迟，透射以及反射光束就不再沿着垂直于界面的方向传播了。而当光以倾斜的角度入射，按不同的“界面”设计，反射和折射光可以被操纵朝向任何方向。反射角不一定等于入射角，反射光甚至可以被“反弹”回光源方向，而不是像一般情况那样折向远离光源方向。这就是平面镜可以有哈哈镜的效果的原因。 　　这项成果2日发表在美国新一期《科学》杂志上，第一作者虞南方目前在哈佛大学工程和应用科学学院做博士后研究，虞南方2004年本科毕业于北京大学电子学系，2009年在哈佛大学获博士学位。 　　利用界面来控制光束不同部分的时延是一个具有革新意义的概念。虞南方告诉新华社记者，他们已用这种人工界面产生了“光涡旋”，这种奇异的光束在空间里螺旋前进，因而可以用来操纵旋转微小的悬浮颗粒。他预计，这一概念将衍生出一系列有用的光学元件，比如可以纠正相差的超薄平面聚焦镜片、可以采集大范围入射阳光的太阳能汇聚装置。哈佛大学目前已就这一成果提出专利申请。
    时间： 2011-09-06
    作者： 秦丽娟
  • 什么是brix值及brix值与折射率的换算
    什么是Brix值？ 折射计测量的是溶液的折射率。Brix标度实际上是表示是蔗糖水溶液的浓度。而在大多数溶液中除蔗糖外，可能还包括盐、矿物质和蛋白质等，Brix值表示溶液中总的可溶性固形物的含量。对于特定的样品，如切削油或其他工业产品，可通过建立Brix值与样品实际浓度的转换关系进行测量。 Brix(%)值与折射率(nD)换算表 % n 20D % n 20D % n 20D 0 1.33299 35 1.39032 70 1.46546 1 1.33442 36 1.39220 71 1.46790 2 1.33586 37 1.39409 72 1.47037 3 1.33732 38 1.39600 73 1.47285 4 1.33879 39 1.39792 74 1.47535 5 1.34026 40 1.39986 75 1.47787 6 1.34175 41 1.40181 76 1.48040 8 1.34477 43 1.40576 78 1.48552 9 1.34629 44 1.40776 79 1.48811 10 1.34782 45 1.40978 80 1.49071 11 1.34937 46 1.41181 81 1.49333 12 1.35093 47 1.41385 82 1.49597 13 1.35250 48 1.41592 83 1.49862 14 1.35408 49 1.41799 84 1.50129 15 1.35568 50 1.42009 85 1.50398 16 1.35729 51 1.42220 86 1.5067 17 1.35891 52 1.42432 87 1.5094 18 1.36054 53 1.42647 88 1.5122 19 1.36218 54 1.42863 89 1.5149 20 1.36384 55 1.43080 90 1.5177 21 1.36551 56 1.43299 91 1.5205 22 1.36720 57 1.43520 92 1.5234 23 1.36889 58 1.43743 93 1.5262 24 1.37060 59 1.43967 94 1.5291 25 1.37233 60 1.44193 95 1.5320 26 1.37406 61 1.44420 27 1.37582 62 1.44650 28 1.37758 63 1.44881 29 1.37936 64 1.45113 30 1.38115 65 1.45348 31 1.38296 66 1.45584 32 1.38478 67 1.45822 33 1.38661 68 1.46061 34 1.38846 69 1.46303 上表所用Brix0-85%与折射率之间的换算值系采用ICUMSA(国际糖分析办法协会，1974年成立)数据。 ATAGO（爱拓）是专业的折光仪/折射仪与旋光仪旋光仪生产厂商，生产多种类型的折光仪/折射仪及旋光仪 旋光仪。提供生产原料及成品的Brix值、折射率、盐度、糖度、物质浓度、旋光度的测量方案！更多折光仪/折射仪/旋光仪旋光仪详情请点击 www.atago-china.com 或致电020-38108256 ATAGO(爱拓)中国分公司 咨询。
    时间： 2012-02-17
    作者： ATAGO 爱拓
  • 如何借助折射率测量技术来提高半导体生产质量
    化学机械研磨/抛光 (CMP) 将化学反应和机械研磨结合在一起，是一项成本高昂且具有挑战性的重要纳米抛光工艺。这一工艺是集成电路制造中关键的使能步骤，对产量和工作效率都会产生影响。CMP 简介抛光工艺使用含氧化剂的浆料完成，氧化剂通常为过氧化氢 (H2O2)。在制造过程中，将晶圆和抛光垫紧密地压在一起，同时使二者各自以略微不同的速度逆时针旋转。将浆料铺在抛光垫的中央，然后结合运用机械操作和化学操作，逐步除去晶圆表面的材料，使晶圆表面局部和整体都顺滑平坦。 使用 CMP 浆料前，先在工厂对其进行混合或稀释。氧化物抛光浆料在购买时通常为浓缩状态，使用前在现场加水稀释，以减少运输和人工成本。一些多组分抛光浆料只能随用随混，因为这些浆料在混合后有效期很短。确保正确地混合至关重要，因为混合效果直接关系到化学反应速率和晶圆抛光速率；混合过程中的任何缺陷都会对可制造性和可靠性产生负面影响。尽管制造点 (POM) 的浆料控制很严格，但后续过程（包括运输、处理和过滤）会影响化学特性，因此需要对浆料进行连续监测，直到抵达使用点 (POU) 为止，以确保实现高产量。这样就需要有效、快速、可靠、准确且经济高效的计量工具和方法，因此许多制造厂选择使用折光仪。如何借助折射率测量技术来提高生产质量折射率 (RI) 测量技术是一种不消耗浆料的连续在线测量方法，可帮助制造厂在传递工艺相关的实时信息时迅速识别出浆料成分错误，从而减少存在风险的晶圆数量。CMP 浆料携带纳米颗粒，其固体含量为 1 - 30%（取决于浆料类型），因此对其中的过氧化氢浓度进行分析极具挑战性。但通过对特定浆料的折射率及温度特性进行标定，RI 测量法可以不惧这些困难条件，成功测量出钨浆料中的过氧化氢浓度并将误差控制在 ±0.03%（重量）以内。此外，与电导率探头测试不同，RI 测量可以监测 H2O2 浆料浓度，该指标可以反映浆料随时间的沉降和降解情况。因此，RI 不仅用于检验产品的质量，也用于监测进厂原始浆料各批次之间的变化，并验证混合 - 添加步骤。部分浆料输送系统拥有一项引人注目的功能，那就是日用槽自动化学品加料功能。维萨拉半导体行业用折光仪的优点维萨拉半导体行业用折光仪为半导体制造环境设计。该仪器尺寸小且不含金属，因此适合在不影响工艺的情况下测量化学物质。维萨拉半导体行业用折光仪适合 CMP 操作，因为：测量数字化，并且不会产生偏差集成了温度测量组件，可确保高精度的 RI 测量可进行直接密度测量设计坚固可靠，可承受过程中的振动，减少测量误差通过内置诊断程序，可即时了解工艺条件拥有流通池（旨在减少甚至消除结垢现象）参考文献多年来， DFS公司一直在 CMP 操作中使用维萨拉半导体行业用折光仪，长期的成功运作证明该设备可靠且准确。“随着工艺节点越来越多地采用 CMP 步骤，我们必须确保输送到抛光工具的浆料的化学特性以及机械特性保持稳定一致，”DFS公司化学技术研发总监Karl Urquhart 解释道，“在线 RI 监测可以评估进料的化学成分，检验混合添加步骤的质量，并且可以通过一次不消耗浆料的实时测量来验证 CMP 浆料是否混合均匀。”针对 CMP 浆料的 H2O2 测量装置于 2013 年在一家大型半导体制造厂中完成安装，用于取代自动滴定法。安装后，该测量设备稳定运行，并且除了正常的冲洗混浆池外，无需进行仪器维护。通常，在安装维萨拉半导体行业用折光仪后，制造厂的晶圆产量可提升约 20%。此外，CMP 浆料受到严格控制，能够提高研磨过程的均匀性。❖ 维萨拉半导体行业用折光仪 PR-33-S适用于半导体液态化学品测量该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 制成，适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。维萨拉半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于晶圆洁净室里的化学品浓度监测，通常被安装在混合、清洗、蚀刻和 (CMP) 等机台上。PR-33-S 包含一个超纯改性 PTFE 流通池主体和一根以太网线，不同标准的以太网供电 (PoE) 开关均可通过以太网线向传感器供电，并将数据传输给计算机。PR-33-S 实时监测化学品浓度，当化学品浓度超出规定范围时，立即通过以太网反馈报警。例如，可通过配置低浓度和高浓度警报来控制和延长溶液使用寿命。这里的浓度通过对溶液折射率 nD 和温度测量来确定。PR-33-S 直接通过喇叭形或pillar配件进行安装。PR-33-S 结构紧凑，不含金属，体积小。关键要素：• N.I.S.T. 标准下的可追溯校准及验证，采用标准折射率液体和验证程序进行验证。• 光学核心设计。 • 通过以太网进行数据记录和远程界面操作。• 标准 UDP/IP 通信。• 过程温度范围：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。• 内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿 。
    时间： 2022-10-24
    作者： 维萨拉 Vaisala
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