便携式膜厚仪FR-pOrtable是一种独特的 USB 供电解决方案,用于对透明和半透明单层薄膜或薄膜叠层进行准确和精确的无损表征。FR-pOrtable 可以在 370-1020nm 光谱范围内进行反射率和透射率测量。FR-pOrtable 的紧凑设计保证了测量的高度准确和可重复性。FR-pOrtable,既可以安装在提供的平台上,也可以轻松转换为手持式厚度测量工具,放置在被表征的区域上。通过这种方式,FR-pOrtable 是适用于现场应用的光学表征工具。可以测量反射率、透射率、吸收率和颜色参数FR-portable 便携式膜厚仪主要由以下系统组成:Α) 白炽-LED混合集成式光源系统,通过内嵌式微处理器控制,使用寿命超过20000小时。小型光谱仪,光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素, 16位级 A/D 分辨精度;配有USB通讯接口。Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统可精确计算如下参数:1)单一或堆积膜层的厚度; 2)静态或动态模式下,单一膜层的折射率;本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库,可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率,透射率和反射率的测量,还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱,一次使用授权,即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。C) 参考样片:a) 经校准过的反射标准硅片;b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片;c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片;D) 反射探针台和样片夹具可处理的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等;手动调节可测量高度可达50mm;可针对更大尺寸订制样片夹具;Ε) 反射率测量的光学探针内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm;
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