1. 样品台专为晶圆设计,可适应6-12寸的晶圆,具备四向对中功能。2. 矩阵型多点测试,测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。3. 一次测试点位多达50+个,可在原图上直接显示数据并保存。4.测试结果可直接保存在阵列图上。5.批量方案设置功能,可保存多个测量方案,一次保存,终身无需再设定。可随时调取。货期:3天内 品牌:北斗仪器 型号:CA720产地:广东东莞 名称:全自动晶圆专用接触角测量仪接触角(Contact angle)是指在气、液、固三相交点处c作的气-液界面的切线,此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ,是润湿程度的量度。是现今表面性能检测的主要方法。采用光学成像的原理-图像轮廓分析方式测量样品表面的接触角、润湿性能、表界面张力、前进后退角、表面能等。主要由光源、注射单元、样品台、采集系统、分析软件等组成。北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720采用全自动进液装置,性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求,目前已经广泛使用在众多高校院所及企业。 专为晶圆深度定制的一台北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720,广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究,是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。符合标准: ASTM 5725 / 用自动接触角测试仪测试片状材料表面润湿性和吸收性的标准方法ASTM C 813 / 用接触角测量法测试玻璃疏水污物的标准方法型号CA720全自动晶圆专用接触角测量仪试验平台尺寸直径320mm前后Y移动 自动:行程160mm,精度0.1mm上下Z移动自动:行程30mm,精度0.1mm水平调整整机水平调整,摄像头水平调整(配送专业级XY水平仪)可放置样品6-12寸样品台材质铝合金带四向对中技术进液系统微量进样器X移动行程:50mm,精度0.1mm(针头对中及液滴转移)进液控制移动行程:60mm,精度:0.001mm滴液控制模式自动,精度:0.01ul加液方式自动(配送5ml玻璃烧杯自动一键加液,加满自动停止)微量进样器容量:500ul(实时显示剩余容量)针头亲水针头0.5mm不锈钢针头(可替换)20个、超疏水针头0.25mm(可替换)20个成像系统镜头Subpixel级别0.7-4.5远心轮廓深度定制镜头相机日本SONY原装进口高速工业级芯片(Onsemi行曝光)传感器类型1/1.8 英寸逐行扫描CMOS分辨率1280× 1024镜头控制仰视角度:±10度,精度:1度调焦移动行程:0-10mm,精度1mm。帧率80帧/s(可选配全局曝光高速400帧/s的相机)光源系统组合方式采用石英扩散膜与均光板使得亮度更均匀,液滴轮廓更清晰光源采用进口CCS工业级蓝色冷光源(有效避免因光源散发热量蒸发液滴),使用寿命可达5万小时以上亮度调节PWM数字调节光源波长460-465nm功率10W接触角测量接触角测量方法悬滴法、座滴法、前进角、后退角、滚动角、薄膜法等测量软件CA V1.2.1静/动态接触角测量软件+表面能测量软件软件操作系统要求windows 10(64位)接触角测量方式自动与手动接触角计算方法(static contact angle)自动拟合法(ms级别一键全自动拟合,不存在人工误差)、三点拟合、五点拟合、自动测量(包括圆拟合法/斜圆拟合法(Circle method/ Oblique Circle)、椭圆拟合法/斜椭圆拟合法(Ellipse method /Oblique Ellipse))、凹凸面测量等动态接触角测量(Dynamic contact angle)前进角(Advancing angle),后退角(receding angle),滞后角(hysteresis angle),滚动角(选配)(可批量拟合多张图片或视频连续拟合计算Video analysis)基线拟合自动与手动角度范围0°<θ<180°精度0.1°分辨率0.001°表面能表面能测量方法Fowks法,OWRK法,Zisman法,EOS法,Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法(软件中预装37种液体数据库,可自行建立液体性能参数)数据可直接调入用于表面能估算,液体库数据可自行添加、删除和修改。可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、路易斯酸分量、路易斯碱分量等表面能单位mN/m其他机架型材欧标160输入电源220V 50-60Hz仪器尺寸约890mm(W)*400mm(L)* 580mm(H)仪器重量约60KG表界面张力测量方法自动拟合+手动拟合 精度0.01 mN/m测量范围0.1 mN/m -2000 mN/m润湿性分析粘附功一键自动分析铺展系数一键自动分析粘附张力一键自动分析精度0.001 mN/m单位mN/m众所皆知,软件是一台仪器的灵魂所在,组成系统的硬件虽为测量提供了基础,但只有在软件的支持下,才能完美地实现硬件的功能,充分发挥其潜力,使系统的总体功能和性能如虎添翼。本公司研发定制的CA V1.2.1静/动态接触角测量软件+表面能测量软件专用测控软件自2010年开始就面向客户提供使用,经过11年来各行业客户的使用反馈、使用要求、国家标准和国外标准的融合,已经达到一个很成熟稳定的状态。 拥有自主知识产权的软件控制系统(行业内极少),在对以后软件升级,新标准更换的时候起到一个很大的优势。接触角测试记录LAB-TR-020一、测试信息样品名称8寸样品批号8寸样品编号液体编号测试方法LYSD测试介质蒸馏水介质密度1g/cm³ 测试环境温度:23° 湿度:55%测试日期2023-04-16 11:16:43仪器名称接触角测量仪仪器型号CA720平台直径280mm 样品直径200mm间隔尺寸20mm测试个数4旋转度数40°旋转次数9测试员shibc备注 二、测试数据序号时间(H.M.S)左接触角(°)右接触角(°)平均接触角(°)液滴直径(mm)位置判断结果试验方法111:10:4628.16828.21628.1923.9081-1OK自动拟合-椭圆211:10:5627.25127.75327.5023.9581-2OK自动拟合-椭圆311:11:0524.37124.17824.2744.1991-3OK自动拟合-椭圆411:11:14 24.62825.04224.8354.1751-4OK自动拟合-椭圆511:11:2324.67623.98624.3314.2901-5OK自动拟合-椭圆611:11:3224.46124.81324.637 4.1371-6OK自动拟合-椭圆711:11:4123.87824.06623.9724.1671-7OK自动拟合-椭圆811:11:5126.22524.68825.4564.0091-8OK自动拟合-椭圆911:12:0024.08524.41124.2484.1971-9OK自动拟合-椭圆1011:12:0929.65529.67729.6663.8881-10OK自动拟合-椭圆1111:12:19 26.62326.80026.7123.9501-11OK自动拟合-椭圆1211:12:2823.85423.77123.8124.1581-12OK自动拟合-椭圆基准值上限80基准值下限4最小角度23.771最大角度29.666平均角度25.262三、实时曲线四、测试图片 11.晶圆自动旋转系统 1套物料名称
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