高速外延片PL谱扫描成像仪研制
table border=" 1" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" width=" 600" tbody tr td width=" 123" p style=" line-height: 1.75em " 成果名称 /p /td td width=" 525" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " 高速外延片PL谱扫描成像仪 /p /td /tr tr td width=" 123" p style=" line-height: 1.75em " 单位名称 /p /td td width=" 525" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " 北京中拓机械集团有限责任公司 /p /td /tr tr td width=" 123" p style=" line-height: 1.75em " 联系人 /p /td td width=" 177" p style=" line-height: 1.75em " 徐杰 /p /td td width=" 161" p style=" line-height: 1.75em " 联系邮箱 /p /td td width=" 187" p style=" line-height: 1.75em " ct_kfjx@126.com /p /td /tr tr td width=" 123" p style=" line-height: 1.75em " 成果成熟度 /p /td td width=" 525" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " □正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 /p /td /tr tr td width=" 123" p style=" line-height: 1.75em " 合作方式 /p /td td width=" 525" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " □技术转让& nbsp & nbsp □技术入股& nbsp & nbsp □合作开发& nbsp & nbsp √其他 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 成果简介: /strong & nbsp & nbsp & nbsp /p p style=" text-align:center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201603/insimg/599fc25d-25b2-407e-9598-71f126d093d8.jpg" title=" 高速外延片PL谱扫描成像仪- 北京中拓.jpg" width=" 350" height=" 280" border=" 0" hspace=" 0" vspace=" 0" style=" width: 350px height: 280px " / /p p style=" line-height: 1.75em " & nbsp & nbsp 高速外延片PL谱扫描成像仪利用线激光器激发荧光光谱,利用光谱仪及面阵EMCCD对线荧光采集和光谱分析。这种荧光光谱采集方式较传统点扫描方式,采集速度快,可在短时间内获得高密度点的光谱信息,即1分钟内实现4万点的扫描采集,采集速度提高20倍,波长测量重复精度优于± 0.5nm,光强度稳定性优于± 0.75%。 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 应用前景: /strong br/ & nbsp & nbsp & nbsp 该设备主要用于LED半导体晶片的荧光光谱检测及太阳能晶片的检测,其中LED半导体晶片荧光光谱检测的市场年需求量约50台,市场销售额约为4000万元人民币,针对太阳能晶片荧光光谱测量领域,目前己有设备只能测得荧光光谱强度,并不能获得荧光光谱谱线形状,及光谱波长等细信息,该设备可快速获得太阳能晶片的荧光光强及光谱信息,具有独特的技术优势,预计太阳能晶片的市场年需求量约在20台左右,市场销售额约为2000万元人民币。 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 知识产权及项目获奖情况: /strong br/ & nbsp & nbsp & nbsp 该产品获得3项发明专利:半导体晶片的高速荧光光谱检测装置、半导体晶片的托起装置、半导体晶片的检测装置。 br/ & nbsp & nbsp & nbsp 该项目获得北京市科委“2014年首都科技条件平台科学仪器开发培育项目”的专项资金资助。 /p /td /tr /tbody /table p br/ /p