倾斜式压差计

美国国家标准与技术研究院 （NIST） 和半导体及相关行业检测和测量系统提供商 KLA Corporation 的研究人员提高了扫描电子显微镜 （SEM） 测量的准确性。SEM用于半导体制造中的过程控制应用，有助于确保高产量生产功能性高性能芯片。SEM使用聚焦电子束对小至1纳米的特征进行成像，使其成为表征半导体器件结构的重要仪器。在芯片制造过程中，高分辨率 SEM 用于许多检测和计量应用，包括检测非常小的缺陷、识别和分类光学检测员发现的缺陷、图案特征的关键尺寸测量、覆盖测量等。这些信息有助于芯片工程师表征和微调其制造工艺。当电子束通过SEM时，它会受到仔细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。为了测量光束倾斜，NIST和KLA创建了电子显微镜的原型标准，并以一种新的方式分析了所得的电子显微照片。原型标准由一系列锥形硅柱组成，称为锥形视锥体，形成对光束倾斜高度敏感的图像。倾斜表现为视锥体顶部边缘和底部边缘图像中心之间的偏移。利用他们在模拟电子-物质相互作用方面的专业知识，研究人员使用模拟来展示亚毫弧度精度的潜力，指导他们正在进行的标准工件的设计和制造。已知位置的锥形视锥体阵列有可能测量 SEM 扫描和成像的区域内光束倾斜的任何变化。这些测量可以进一步校准电子显微镜的放大倍率和畸变。此外，新标准还适用于芯片制造中使用的其他显微镜方法，包括原子力和超分辨率光学显微镜。比较不同显微镜方法结果的能力有助于在不同方法之间可靠且可重复地传输信息，并提高测量模型的准确性。锥形视锥体阵列的模型“电子束倾斜会改变器件特征的表观位置，降低SEM测量的准确性，”NIST研究员兼涵盖这项研究的行业论文的第一作者Andrew C. Madison说。“我们的新标准和分析方法可以检测电子束位移，因为它在整个成像场中变化。“有了这些数据，SEM制造商可以实施校准和校正，以提高图像质量和测量精度，”NIST研究员兼首席研究员Samuel M. Stavis说。“作为半导体检测和计量领域的专家，我们不断探索可以扩展当前测量极限的新技术，”KLA公司高级副总裁兼总经理Yalin Xiong说。“与研究机构的合作在发现有助于推进芯片行业过程控制的创新方面发挥着重要作用。我们与NIST的联合研究旨在提高用于表征芯片制造工艺的基本测量的准确性。

8月12日，北京安洲科技有限公司对中国林业科学研究院的410-Shark机载高光谱、Lidar50机载激光雷达以及AZ3D-2机载倾斜摄影进行了设备验收，在同一地块分别进行了不同传感器的影像数据飞行实验，并进行了高光谱与激光雷达的数据融合处理，实验结果得到了用户的一致好评。410 Shark机载高光谱Lidar 50机载激光雷达AZ 3D-2 机载倾斜摄影410 Shark机载高光谱处理结果ENVI中打开高光谱影像数据高光谱3D Cube归一化植被指数NDVILidar 50机载激光雷达处理结果Lidar 50点云实时预览Lidar 50样区正摄影像图Lidar 50解算完成点云图AZ 3D-2 机载倾斜摄影处理结果角度1 观测角度2 观测NDVI与lidar点云融合结果

p 　　记从北京市食药安委办获悉，《北京市食品药品安全状况报告(2016年)》(即食品药品安全白皮书)已于近日发布。白皮书指出，北京16个区均建立了食品药品安全监控中心，323个街道(乡镇)全部设置了食品药品快检室，在社区建立了2000个食品药品安全监测点。 /p p strong 　　食药工作重心向基层倾斜 /strong /p p 　　在全国率先建立统一权威高效食药监管体系 基层基础工作不断夯实 2013年全面整合5部门监管职责，组建市食品药品监管局，创新设置“垂直+分级”的食品药品监管新体制，实现统一监管和执法力量下沉、监管全面覆盖，在全国率先完成食品药品监管体制改革任务，改革的成果得到国务院领导充分肯定。 /p p 　　北京市食药监局新闻发言人指出：“新机构组建后，食药监管工作重心向基层倾斜，人员、装备和经费保障优先配置基层。目前基层一线执法人员与机关人员配备比例已达到7:3 持续提升基层监管所管理水平，示范所和达标所达250个，占基层所总量77.4% 2016年基层所办理的行政处罚案件、处理的投诉举报数量占到了全系统的60.8%和90%。” /p p strong 　　建章立制从源头控制风险 /strong /p p 　　针对新业态及监管标准存在的空白，先后制定并颁布了《北京市食品生产许可管理办法》等一系列规范性文件，启动《北京市食品安全条例》修订，开展《北京市医疗器械监督管理办法》立法调研。 /p p 　　行政执法流程更加规范、透明 制定食品药品行政处罚程序规定实施细则等文件，明确执法各环节岗位职能，统一工作标准、执法文书，规范行政处罚载量标准，执法全过程有迹可循。形成权力清单和责任清单并向社会全面公开。 /p p 　　北京市整合了食品检验检测机构，药品、医疗器械、保健食品、化妆品审评机构。16个区建立了食品药品安全监控中心，323个街道(乡镇)全部设置了食品药品快检室，在社区建立了2000个食品药品安全监测点。 /p p 　　不断完善市、区两级药品、医疗器械、化妆品不良反应/事件和安全风险监测、评估和预警机构。从源头严控食品药品安全风险。 /p p strong 　　开展“明厨亮灶”工作 /strong /p p 　　根据《北京市餐饮服务单位明厨亮灶建设指导意见(试行)》，组织开展餐饮服务业“明厨亮灶”工作，全市千余家餐饮服务单位通过隔断矮墙、透明玻璃幕墙、视频显示等方式，将餐饮食品的加工制作过程向消费者公开，主动接受公众监督，为2017年全市实施“阳光餐饮”工程打下了坚实的基础。 /p p 　　北京市规范网络订餐监管，在全国率先出台《北京市网络食品经营监督管理办法》，利用自主研发的互联网违法案件线索监测系统，实时监测网络订餐平台及平台上的2.4万户北京地区餐饮店铺，网络订餐平台餐饮店铺许可证件公示率由2016年3月几乎为零提升到98.0%以上。 /p p 　　北京实施无照无证治理，坚持“取缔一批、转型一批、替代一批、疏解一批”，有效压减存量，坚决遏制增量，严厉打击和取缔非法餐饮单位，全市综合治理无照无证餐饮单位2.6万家，超额完成全年任务目标。 /p p strong 　　实施六大创新监管举措 /strong /p p 　　北京市食药监局完善创新六大食药监管举措。一是积极推动建立京津冀食品药品协同监管机制，探索建立京冀食用农产品产销协作机制，试行进京畜产品屠宰加工企业目录制管理，推进北京市药品生产企业在河北省沧州市北京医药产业园异地设厂。牵头组织了多部门参与、京津冀协作的跨区域、大范围、一体化食品安全突发事件应急演练。 /p p 　　二是积极推进食品药品质量追溯体系建设，实现来源可追、去向可查、责任可究，对问题产品实施主动召回。2013年以来，共有52家食品生产企业主动召回75个不安全产品，25家药品生产企业主动召回27个问题产品，10家医疗器械企业主动召回14个问题产品。 /p p 　　三是积极完善食品药品安全风险监测机制，出台《药品上市后安全风险评估和管理办法》，制定医疗器械不良事件监测和再评价配套制度，完善监测抽验工作程序和质量公告发布程序，全面提升对食品药品各类风险的监测、分析、评估、预警能力。2013年以来，共发布43期食品药品消费提醒预警。 /p p 　　四是落实国家药品上市许可持有人制度试点，全面推进仿制药质量一致性评价工作，已有64家企业启动了仿制药质量一致性评价工作。2013-2015年，北京市共获得临床批件366个，获得上市许可新药品种9个 共有29个医疗器械产品被国家食品药品监督管理总局批准为创新医疗器械，其中6个产品取得国家食品药品监管总局的医疗器械产品注册证。 /p p 　　五是加强药品零售环节规范化管理，对5000余家零售药店实施分类管理。启动餐饮服务单位量化分级管理，2015年完成量化评定55250户，量化评定率99.8%。2016年全市完成风险分级评价市场主体达11万家。 /p p 　　六是健全监管机制和信用监管制度，强化部门协作机制，发挥行业协会和媒体监督作用，完善举报奖励制度，建立食品药品安全专家委员会，大力开展宣传教育，调动社会各界积极性，构建社会共治格局。 /p p strong 　　加大执法力度完善行刑衔接 /strong /p p 　　北京市全面加强行刑衔接，加大对制售假冒伪劣食品药品违法犯罪行为的打击和惩治力度。2013年至今，本市未发生较大食品药品安全事件，市民对食品药品安全的满意度由2014年的近70%，逐年上升到2016年的86.7%。在国务院食品安全委员会组织开展的食品安全工作评议考核中，连续4年处于全国领先水平。 /p p 　　2013至2015年办理涉刑案件97件，配合抓获犯罪嫌疑人313人，刑拘209人。 /p p 　　公众满意度逐年上升，食品药品安全保障水平位于全国领先水平。 /p