晶圆级磁光克尔测量仪利用极向磁光克尔效应(MOKE),快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量,避免了传统磁性表征对晶圆的破坏,可应用于图形化前后的样品检测。晶圆级垂直磁光克尔测量仪样品尺寸:最大支持12 英寸及以下晶圆碎片测试:磁场:最大垂直磁场优于2.5T,磁场分辨率1 μT 磁性检测灵敏度:克尔转角检出度优于0.3mdeg(RMS),适用多层膜堆的磁性表征 样品重复定位精度:优于1um,静态抖动0.25 um。晶圆级面内磁光克尔测量仪样品尺寸:最大支持12 英寸及以下晶圆碎片测试,磁场:最大面内磁场优于1.4T,磁场分辨率1 μT 磁性检测灵敏度:克尔转角检出度优于0.3mdeg(RMS),适用多层膜堆的磁性表征 样品重复定位精度:优于1 um,静态抖动0.25 um 样品360°任意角度旋转。功能及应用场景垂直/面内MRAM磁性存储器、磁传感器膜堆的磁滞回线测量 自动提取磁滞回线信息,,如自由层和钉扎层Hc、Hex、Ms等 可自动进行连续逐点扫描,生成晶圆磁特性分布图 系统预置多点扫描模式:单点、阵列、径向分布,自定义位置列表 系统提供手动加载或全自动操作方式,满足研发/生产需求。
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