轴承轮廓量仪

在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等，在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足，减小与国外轮廓测量仪的差距，改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上，SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏，甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件，来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例，来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]　　在测量工件之前，先做好准备工作，确定轮廓测量仪的正常启动运行，SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备，所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]　　只需要装好被测工件，用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定，在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮，测量系统会自动驱动测针接触工件表面，并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]　　在进行测量的过程中，检定软件会实时将测针获取的参数，在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后，操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定，得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]　　SJ5760轮廓测量仪操作便捷，功能广泛，可对各种工件轮廓的几何参数进行测量，可评定的表面轮廓参数包括：角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面，确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面，可对轮廓进行直线度、圆度分析等；并可同时实现：1.建立回归直线和圆形；2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点；3.建立坐标系统；4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；5.实际值与标称值比较；6.测量程序自动运行。

请问“圆度仪”、“轮廓仪”、“圆柱度仪”、凸轮轴测量仪的英语单词是什么？

摘要：轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

在4月份 CIMT2017北京国际机床展上，几位神秘观众来到我公司展台前拿出一份图纸，面带焦虑的询问道：“我们工件的这个沟槽凸台非常重要，之前咨询过国内外一些仪器厂家得到的答复是不能测量或者需要破坏式测量。为此公司的领导已经下了军令状，一定要找到好的解决方案，请问你们公司的仪器能否测量？”[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708058075979.jpg[/img][/align][align=center]图 1工件图纸[/align]　　我公司技术人员接过图纸一看：图纸上的沟槽较狭小，一侧是盲边且角度小，用传统仪器测量是有很大的难度。技术人员经过分析评估后，告知客户我们的[color=#3366ff][b]轮廓测量仪[/b][/color]可以测量，但需要定制测针，随后向客户讲解我司轮廓测量仪的工作原理、测量过程及相关技术参数，客户听后十分认可我们的方案，后期将工件邮寄至我司测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708054168013.jpg[/img][/align][align=center]图 2工件实物[/align]　　技术人员收到客户的工件后，先是对其特征进行分析，模拟测针在测量工件沟槽内的着力点和面时，测针需满足哪些要求与突破哪些限制。然后设计制作测针，我公司拥有完全自主的设计和加工制造能力，很快定制的测针及连接装置就迎刃而解，经过品质检测符合设计要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708053543905.jpg[/img][/align][align=center]图 3扫描过程模拟[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708059325952.jpg[/img][/align][align=center]图 4定制的测针[/align]　　紧接着就是实物测量过程，把定制的测针安装到SJ5760轮廓测量仪上，并对测针进行相关参数调试后，实物测量就正式开启，随着测针在工件的沟槽内有条不紊地行进扫描，检定软件将测针扫描的相关数据绘制在计算机屏幕中，形成一幅精美的二维效果分析图。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055731400.jpg[/img][/align][align=center]图 5测量过程[/align]检测结果如下：[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055418522.jpg[/img][/align][align=center]图 6测量结果[/align]　　将工件测量结果提供给客户后，客户惊讶的同时感慨道：“没想到是国内的厂家替我们解决了棘手难题，中图仪器快速响应客户需求的能力让我们对国产测量仪器设备厂家刮目相看。”附：SJ5760轮廓测量仪技术参数1.X轴1) 测量范围：0～200mm；2) 示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4) 直线度：2μm/200mm5) 测量速度：0.1～5mm/s；6) 移动速度：0～80mm/s；2.Z轴1) 测量范围：0～450mm；2) 移动速度：0～30mm/s；3.Z0轴1) 测量范围：±25mm；2) 示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；3) 分辨率：0.01μm；4.测量力：10～150mN；5.爬坡能力：上坡77o，下坡83o；[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708052450577.jpg[/img][/align][align=center]图7 SJ5760轮廓测量仪[/align]

求滚动轴承宽度测量仪的原始记录或证书

如题。实验室两台质谱，Thermo ElementXR, Thermo Neptune都开工3-4年了。两台质谱上面总共装了8个pfeiffer涡轮分子泵，现在都到了更换轴承的时候。（没错，除了一年换一到两次油棉以外，3年后还需要换轴承）当然，我也可以干脆不做保养，等泵用坏了之后直接扔去修。但是修一次的价格是3800美元，耗时1个半月吧。或者把现在还在工作的泵拆下来寄到普发的服务站做保养，估计耗时也得至少一个月。我在想有没有可能自己更换涡轮分子泵的轴承？在网上已经找到卖轴承零件的地方。自己换的话，估计停工3天就能搞定了。各位版友们，你们有自己保养涡轮分子泵的经验么？有人自行更换过轴承么？仅限涡轮分子泵。其他泵转速没这么高也就没那么娇气。

轮轴 轴承试验机技术[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/12/201812100452237311_1776_1602049_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/12/201812100452239457_3024_1602049_3.png[/img]

急寻元素分析仪现寻找一元素分析仪，应具以下特征：1、能够用于轴承的元素分析2、不能对轴承有破坏，包括破坏轴承仪获取样品来源联系人：袁吉志010-68946260

用途：· MK-90是对润滑脂中的铁粉浓度进行在线连续测量的装置，根据对铁粉浓度的管理可及早发现轴承及齿轮的异常磨损。特点：· 只需把润滑脂配管穿过机器的简单测试· 测定范围在0～2.0wt%· 测试高精度差只在±0.02wt%· 最多每次可进行5点测定· DC4~20mA外部模拟输出优点：· 防止设备故障：及早发现异常，防止或减少设备出现大的故障。· 省力：润滑脂的分析采用自动测定方式。· 安全：可在安全良好的操作方式下对润滑脂进行分析。技术参数输出方式差动变压器测定对象轴承润滑用润滑脂中磁性粉的测试测定范围0.00～2.00wt%精度±0.02wt%最小灵敏度0.001wt%输出DC4～20mA/0～2.00wt％使用温度范围0～50℃使用湿度范围0～93%消耗电量15W重量约3.2kg电源AC100~220V,50/60HzMK-90为日本JFE最新产品感兴趣的朋友···可以和我联系··可以共同探讨技术

MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm，Z 量 程：10mm，可测零件直径：内圈≤300mm，外圈可较大，国产贵阳光栅尺：精度±3μm/220mm ，X向分辨率1μm，Z向分辨率/量程：1/65536，工作压力：0.35～0.43Mpa，气源压力：0.45～0.80Mpa。

目前··齿轮或轴承的磨损如何检测····有知道的吗··详细点··谢谢啊

我使用的是M10,最近实验室来样,是几个使用过的轴承齿轮,怎么激发,结果中的碳锍硅等等很多元素都超出范围,红色数字,问过客户,样品是浸过油,可能是油渗入内部,后来我对样品在350摄氏度的条件下加热处理,只是结果还是根之前一样,效果不理想请问各路大侠,对于这种结果怎样处理

注意事项　　1：该机自动检测探头，若无探头则无法启动；　　2：严禁无加热轴而启动主机；　　3：加热工件应尽量选择较大的加热轴，以提高工作效率；　　4：轴承最高温度不得超过120℃；　　5：取走工件注意高温，以防烫伤；　　6：请不要将探头长时间置工件上在，以延长探头的使用寿用途：　　轴承加热器，主要用于对轴承、齿轮、衬套、轴套、直径环、滑轮、收缩环、连接器等多种类型的金属件进行加热，通过加热使之膨胀，达到过盈装配的需要。微电脑轴承感应加热器结构：　　轴承感应加热器由主机及控制箱组合一体安装在一手车上，移动式结构，便于现场施工灵活应用，可拆装的轭铁是直接用来穿套轴承或其它加热工件之用。扁平吊带,中空扳手

滚动轴承过早老化会造成设备停机，现结合笔者的电机维修实践，介绍防止滚动轴承过早老化的经验。滚动轴承过早老化的原因有：配合过紧、润滑不良、安装未对中、强烈振动、材料疲劳、污染腐蚀等。　　1.配合过紧　　当轴承内圈强制套入轴颈后，轻者将使滚道底部产生严重磨损的环形轨迹，重者在滑道内、外圈和滚珠上均会有裂口或剥皮。原因：滚珠与滑道间隙被压得过小，扭矩增大，摩擦增加，轴承工作温度过高，使轴承磨损与疲劳加剧而失效。　　防止方法：恢复轴承的径向间隙，减少过盈量。　　轴承装配质量的检查方法有两种：　　目测法：当电机端盖轴承室装上轴承后，用手转动端盖时，若轴承旋转自如、灵活，无振动和上下摇晃现象，视为合格。　　塞尺检查法：将装有轴承的电机端盖组装于机座止口上，用0.03mm厚的塞尺检查轴承一周的径向间隙，若最大间隙位置刚好处在正中上方时(电机卧式安装)，则为组装正确、可靠，否则，属安装不良。应适当调整端盖位置，重新装配，直至合格。　　2.润滑不良　　原因是严重缺少润滑脂或油脂干枯老化。由于电机高速运转摩擦生热，致使轴承温度过高而氧化变色，表现为轴承的滚珠、保持架、内圈及其轴颈等处变成褐色或蓝色。　　防止方法：根据电动机的运行时间、环境温度、负荷状况、润滑脂好坏等4个因素，确定其补油和换油时间。一般情况下，电机运行6000~10000h应补油1次；运行10000~20000h应换油1次，2极或4极以上电动机的换油量为轴承室容积的1/2~2/3，且应采用优质锂基润滑脂(代号ZL-2) 。　　3.安装未对中　　若安装未对中，则不仅轴承滑道上有珠痕，而且滚珠磨损痕迹不匀，还产生偏斜，用塞尺检查轴承两侧的径向间隙时会不等，且相差较大。原因可能是用铁榔头直接敲击过轴承外圈；传动带拉得(齿轮咬合)太紧；使主动轮和被动轮的中心线不平行。当其偏斜大于1/1000时，会造成轴承运行温度过高，滑道和滚珠严重磨损，转轴弯曲和端盖螺栓压紧面与螺栓轴线不垂直。　　正确安装方法：用端面光滑平整、与轴承内圈厚度几乎相等的钢管套筒，把轴承压在洁净轴颈的正确位置上。压入时用力应均匀，不能过猛。然后按电机不同转速检查轴端径向的允许偏摆值。　　4.强烈振动　　当电机铁心有故障时，会使轴承强烈振动。原因有：铁心受热变形；电机轴承老化；转轴弯曲变形较大；端盖止口拧紧螺栓因振动松动；基础不坚固使轴承振动。　　防止方法：将铁心车小，用硅有机清漆1052浸泡硅钢片表面和拉开的缝隙；更换同型号的新轴承；退出转子铁心校直转轴弯曲部分；采用180°对称法；拧紧端盖止口螺栓；加固基础，拧紧地脚螺栓。　　5.材料疲劳　　由于金属材料疲劳、轴承滚道和滚珠表面脱落的不规则碎片若混合在润滑脂中，会使其工作噪声增大，滚珠呈滑动状态，导致轴承径向间隙增大，且轴端允许的径向偏摆值增大2~3倍。轴承疲劳程度的决定因素包括：电机的负荷、转速、气隙，端盖型式，材料的韧性，润滑脂质量润滑脂加装量。　　防止方法：根据电机运行记录，当轻负荷工作电流为额定值的60％以上，运行至2000~25000h、中等负荷工作电流为额定值的60％~80％运行至15000~20000h、重负荷工作电流为额定值的80％~100％运行至10000~15000h后，均应考虑轴承材料的正常疲劳，更换同型号的新轴承。　　6.污染腐蚀　　此时，滚道和滚珠的表面上出现红色、褐色的斑点状腐蚀，与新轴承的响声相比工作噪声增大。　　原因是，装配场所不清洁，如有水气、酸、碱及有毒气体存在；工具和手的污染；使用了质量低劣的润滑指。　　防止方法：装配轴承须保持环境、工具和于的洁净；清洗轴承要彻底；更换优质的锂基润滑脂。

如何保证轴承计量工作质量在社会发展过程中，计量学是经济活动、国防建设、科学研究和社会发展的重要基础，科学技术的发展依赖于计量测试技术的发展，它为科学技术提供了可靠的数据。在机械产品中，滚动轴承作为精密的机械基础件占有重要的地位。随着科学技术的发展，对滚动轴承产品的精度等级要求越来越高，促使轴承零件加工精度不断地提高。在轴承生产过程中，轴承零件的尺寸精度是由专用标准器具来进行尺寸传递的，轴承标准器具精度的高低，直接影响到轴承产品鉴定精度的高低，做好轴承标准器具的检定、校准工作，是保证轴承产品质量的重要基础。轴承标准器具的检定、校准是通过计量标准器具及计量仪器设备来进行的，计量标准器具及计量仪器设备的精度高低将直接反映到轴承标准器具上。因此，做好检定、校准工作，保证计量工作质量就显得更为重要。 1 仪器、计量标准器具的管理 加强仪器、计量标准器具的管理是保证计量工作质量的基础。首先，仪器、计量标准器具要严格按质量手册的要求进行检定、校准，以确保仪器、计量标准器具在有效期内的严常运行和准确性。其次，对一些不常用的仪器定期进行期间核查，以确保在使用时各项性能良好，能够正常运行。严格杜绝使用超过检定周期的计量器具和仪器。再者，计量标准器具的枪定与校准应根据其精度等级的高低来选择所需送检的部门，如国家计量院、行业中心计量站、省计量检定部门等。 另外，要切实作好仪器及计量标准器具的维护保养，这一点对保证计量检定丁作的质量非常重要。仪器及计量标准器具的维护保养工作应定期进行，要按照程序文件中的保养程序对仪器及计量标准器具进行除尘、防锈等维护保养工作。良好的维护保养工作不仅能较好的保持计量标准器具及仪器的测量精度，而且也可以延长其使用寿命。 2 保证检定和校准原始记录、证书的质量 计量工作是一项科学而严谨的工作，从检定、校准原始记录到证书的出具，每一个环节都来不得半点马虎。真实有据、完整无缺、准确可靠是对原始记录最基本的要求。 首先，合格的原始记录应该具有真实性、完整性和准确性。 真实性就是如实地反映当时当地进行检定、校准的实际情况，反映检定、校准过程中的数据、现象，使用计量器具、仪器设备及环境条件等真实情况的原始汜录。要保持真实性就要求我们的计量工作人员要本着科学的工作态度，认真地对待每—次检定、校准过程和每一个测量的数据，绝不允许有马虎和弄虚作假的现象发生。 完整性就是要制作规范完整的原始记录表格，表格中的检测项目要尽可能的详尽，有足够的信息量来满足出具检定和校准证书的需求。填写原始记录的字迹要端正、清晰易于辩认，页面要保持整洁。同时改错要规范化，当记录中出现错误时，每—错误应划改，不可擦涂掉，以免字迹模糊或消失，并将正确值填写在其旁边。对记录的所有改动应有改动人的签名或签名缩写，以明其责。 准确性是计量工作的核心，没有准确性，检定、校准工作就失去其意义。准确性的建立除依赖于准确度高的计量标准器具及运行正常的仪器外，还依糊于不同的检定方法和计量工作人员的素质。对有疑问的检定、校准数据要采用不同的测量方法和不同的测量仪器加以验证，以保证检定、校准数据的准确性。而对一个被测量件来讲，应根据其精度的不同，采取能最大限度满足其测量精度要求的测量方法和测量仪器。 检定和校准证书是计量工作人员生产出来的“产品”，是计量工作质量的集中体现。合格的检定和校准证书格式应规范，内容要完整、清晰、准确、客观，应包含检定和校准结果的全部信息。如检定、校准时所使用的计量标准器具名称；计量标准器证书编号；仪器设备名称、型号；所依据的技术文件编号、名称；检定、校准时的环境条件(如温度、湿度等)；检定、审核、主管人员的签名；证书使用有效期；测量结果的不确定度以及表明溯源性的情况等。 测量不确定度是指测量结果不能肯定的程度，用以表明该测量结果的可信赖程度。由于认识的局限性、能力的不足，任何测量都不可能绝对准确，都必然有误差。不确定度是建立在误差理论基础上的一个新概念，用来表明测量设备的质量。不确定度越小，测量结果的质量越高；反之，测量结果的质量越低，其使用价值也越低。因此，在进行测量和使用测量结果时，必须考虑测量不确定度。严格来说，不知道不确定度的测量结果，无法相互比较，不具备使用价值，是没有意义的。 检定和校准证书应能提供追溯到国家计量基准的情况和符合计量规范的说明。在无法溯源到国家计量基准的情况下，实验室应提供相关结果的满意证据，例如参加一个适当的实验室间的比对或能力验证。 检定和校准证书不确定度及表明溯源性的给出满足了下级实验室的计量基准或检测的要求，从而满足IS0／IE017025“检测和校准实验室能力的通用要求”，在质量管理和质量保证中符合IS09001的要求。 3 确保检定和校准工作的环境条件满足要求 检定和校准工作的环境条件必须满足测量的需要，计量室内、外环境不应影响测量结果的准确性、可靠性和有效性。计量工作应配备相应的设施对环境条件进行监控、记录，对可能影响检测准确度的各因素进行控制，必要时应进行适当的合理的验证。一般环境温度在20±o．5 ℃左右，环境湿度在60％左右。计量工作室一定要做到防尘、防震、防腐蚀、防污染及防噪声等。不能满足需要的环境条件会给检定和校准工作带来许多不利因素，其每一项要求达不到规定的条件都将直接影响到测量值的准确性、可靠性和有效性。满足需要的环境条件是进行检定和校准工作的最基本的条件，同时计量工作室应有良好的内部管理，这种管理不仅限于卫生整洁，还应包括各种安全防范措施。 4 提高计量工作人员的技术业务素质和思想素质 提高计量工作人员的技术业务素质和思想素质是作好检定和校准工作的保障。检定和校准工作是一项科学性、法制性、政策性都十分强的工作。在人、机、料、法、环中人员是首位的，先进的仪器设备还要具有良好素质的工作人员来操作，各项计量法律法规的制定，都必须依靠计量工作人员的严格执行，才能发挥作用。这就要求从事计量工作的人员不仅要有良好的技术素质、业务素质，还必须要有较高的思想素质。 首先，新上岗的计量工作人员要按照程序文件的规定，经过严格的培训、考核后，方可持证上岗。考核结果要有记录。其次，应配备与工作范围和工作量相适应的足够的计量工作人员，这些计量工作人员必须经过必要的教育和培训，有技术知况和专业经验。同时还要定期对计量工作人员进行各种技术业务、标准、计量法律、法规等方面的培训和学习，使其在不断的更新知识、提高技术业务水平的同时提高自身的思想素质，以适应和满足新世纪计量检定、校准及计量管理工作的需要。 总之，轴承计量标准器具检定和校准工作是一项细致复杂的工作，影响因素多，涉及面广。只有认真地作好上述几方面的工作，保证计量工作的质量，才能有效地保证轴承标准器具检定和校准工作的质量，促进轴承生产技术水平的提高。

车轮轮毂轴承试验机作为Renk 集团的子公司，从1960年开始为传动装置和汽车工业自主研发和生产高品质的测试系统。如今Renk测试系统已经达到世界领先的水平，为各个重要行业及供应商提供专业测试产品。享有盛誉的原厂商基于多年在驱动系统、控制系统、测量系统和电子系统方面的经验，在汽车工业、轨道交通和风电领域都不断在研发设计和建造测试系统交钥匙工程。根本的技术设计和质量标准，配合创新的客户人性化的系统解决方案。[b]我们的客制化交钥匙测试系统产品范围：[/b][list][*]汽车工业[*]轨道交通[*]航空工业[*]风电工业[/list][b]测试台用在：[/b][list][*]研究和研发[*]生产和质量保证[/list]

[quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

[color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验，粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构，具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后，具有极高的直线度精度。精度保持长久，只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态；[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构，具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数，更换测针测杆时，因磁吸结构具有定位精度高的特点，而无需再次校正，大大提高仪器的使用便利性和测量效率；[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存，便于多次标注，软件标注与 CAD 同理；[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式，可将测量结果以 Excel 表格格式输出；[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作；[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器，即保持大量程轮廓测量需求，亦能高精度测量粗糙度；[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量，残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量，特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时，具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB，物性检测仪器品牌，为国内市场提供数百种物性检测仪器，为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

实验室有个摇床，响声比较大，怎么判断是偏心轮坏了还是轴承坏了？

磁悬浮轴承(Magnetic Bearing) 是利用磁力作用将转子悬浮于空中，使转子与定子之间没有机械接触。其原理是磁感应线与磁浮线成垂直，轴芯与磁浮线是平行的，所以转子的重量就固定在运转的轨道上，利用几乎是无负载的轴芯往反磁浮线方向顶撑，形成整个转子悬空，在固定运转轨道上。一、概述磁悬浮轴承是利用磁力实现无接触的新型轴承，具有无接触、不需要润滑和密封、振动小、使用寿命长、维护费用低等一系列优良品质，属于高技术领域。二、基本原理磁浮轴承系统主要由被悬浮物体、传感器、控制器和执行器四大部分组成。其中执行器包括电磁铁和功率放大器两部分。下图是一个简单的磁浮轴承系统，电磁铁绕组上的电流为I，它对被悬浮物体产生的吸力和被悬浮物体本身的重力mg相平衡，被悬浮物体处于悬浮的平衡位置，这个位置也称为参考位置。假设在参考位置上，被悬浮物体受到一个向下的扰动，它就会偏离其参考位置向下运动，此时传感器检测出被悬浮物体偏离其参考位置的位移，控制器将这一位移信号变换成控制信号，功率放大器使流过电磁绕组上的电流变大，因此，电磁铁的吸力也变大了，从而驱动被悬浮物体返回到原来的平衡位置。如果被悬浮物体受到一个相上的扰动并向上运动，此时控制器和功率放大器使流过电磁场铁绕组上的电流变小，因此，电磁铁的吸力也变小了，被悬浮物体也能返回到原来的平衡位置。三、特点1、机械方面磁悬浮轴承完全消除了磨损，因此，磁悬浮轴承寿命实质上是控制电路元器件的寿命，比机械接触应力疲劳寿命要长很多。另外，通过对控制电路的冗余设计或更换，理论上可获得永久的工作寿命，比机械硬件冗余或轨道更换要方便得多。磁悬浮轴承无需润滑和密封，不用相应的泵、管道、过滤器和密封件，不会因润滑剂而污染环境，特别适用于航天航空产品。磁悬浮轴承适应环境性强，能在极高或极低的温度下工作。磁悬浮轴承发热少、功耗低，仅由磁滞和涡流引起很小的磁损，因而效率高，功耗大约仅为普通轴承的1/10。磁悬浮轴承圆周转速高，轴承转速只受转子材料抗拉强度的限制。2、控制方面磁悬浮轴承可对转子位置进行控制。磁悬浮轴承不同于其他轴承，即使转子不在轴承中心也能支承转子，转轴可在径向和轴向自由移动。磁悬浮轴承刚度和阻尼由控制系统决定，在一定范围内不但可自由设计，而且在运行过程中可控可调，所以轴承的动态特性好。磁悬浮轴承可以自动绕惯性转子旋转，而不是绕支承的轴线转动，因此消除了质量不平衡针起的附加振动。由于磁悬浮轴承具有以上优点，所以特别适合于高速、真空、超洁净等特殊环境，在航空航天、超高速超精密加工机床、能源、交通及机器人等高科技领域具有广泛的应用前景。湖南银河天涛科技有限公司（ atitan.com.cn/）

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

样品测量厚度在100纳米，是溅射的金属网格，我希望测试网格线的厚度。想用台阶仪或者光学轮廓仪测试，请问北京哪里可以提供服务？谢谢！

有没有能同时测轮廓度和粗糙度的仪器呢，准确度都要很高的那种