漏电流监测仪

记者日前从中国航天科工集团公司二院获悉，该院207所自主研发的紫外成像漏电检测仪近日正式面世并投入市场。该产品可为高压设备的运行评估和维修决策提供可靠依据。　　紫外成像漏电检测技术是近年新兴的一种远距离检测高压线路、输电设备状态的新技术，它主要通过检测电力高压设备电场发射的紫外线，发现引起电场异常的设备缺陷，观察放电情况并判断危害。　　207所研制的这款紫外漏电检测仪，将紫外和可见光技术结合形成融合图像，可快速发现、精确定位漏电位置。该产品还创造性地搭载无人机平台，适合对远距离、大范围的高压输电线进行空中巡检，在电力系统、高铁等领域有广泛应用前景。

8月13日，杭州市萧山区宁围镇好立方连锁超市前，发生了空调漏电致人死亡的惨剧，遇难者为一位10岁男童。事发后，经空调品牌销售方同意，作为空调的使用方，8月20日，好立方超市委托第三方浙江省质量技术监督检测研究院对空调漏电情况进行了检测，9月3日，该检测报告正式出炉。 　　通过有关渠道获悉的检测报告显示，就技术分析形成了四个结论，其中就此次事件中的志高空调，该检测报告认为，志高空调外机电阻为零，外机机壳电压达到100V，并能点亮220V-40W的白炽灯，泄漏电流在70mA以上，大大超过人体30mA摆脱电流。并通过活鸡试验证明，志高空调外机外壳带电电压能在短时间内将活鸡电击致死。 　　《21世纪经济报道》援引目击者称，当天的现场检测结果显示，志高空调在活鸡通电试验中，活鸡只经过短短8秒钟，就过电死亡，其中另一人士则称，“现场检测显示，志高的空调最高漏电有147V”。 　　检测报告因此认为，现场不符合GB4706-1国家标准中的相关电气安全性能要求，同时该产品存在严重电气安全缺陷。该检测报告还认为，志高空调开机运行时，其外壳超过100V以上的电压，是造成本次事故的直接原因 同时，志高空调外机电源插头内接地线悬空，不符合GB4706-1国家标准的相关要求，失去接地线保护功能。 　　该检测报告最后下鉴定结论称，志高空调外机机壳带电，泄露电流超标，存在严重的电气安全隐患，直接导致事故发生。 　　对于此检测报告，志高发言人接受港媒查询时，表示公司对事件检测报告有异议，将另聘机构检测，暂亦不会停售产品。 　　志高公司秘书梁汉文表示，公司对检测报告有异议，故亦未有签署。他指出，最初相关机构指事件与志高无关，但后来又将矛头指向志高，是前后矛盾，并且认为其采用的活鸡测试方法并不标准，故公司将另外委托一间或多间国家权威机构作检测。他又强调，公司产品一直全数依照国家标准制造，公司对产品有信心，并指是次只是个别事件，暂时亦无其它个案，故不会考虑停售，但如有客户要求公司作出检测，公司亦乐意提供协助。

高压漏电起痕试验机的测试原理是什么？实验原理：漏电起痕试验是在固体绝缘材料表面上，在规定尺寸（2mm×5mm） 的铂电极之间，-施加某一电压并定时（30s）定高度（35mm）滴下规定液滴体积的导电液体（0.1%NH 4CL），用以评价固体绝缘材料表面在电场和潮湿或污染介质联合作用下的耐漏电性能，测定其相比电痕化指数（CT1） 和耐电痕化指数（PT1） 。主要配件 序号型号产地1箱体(可选不锈钢箱体)宝钢A3钢板,喷塑2变压器浙江二变3调压器正泰4继电器及底座正泰5漏电保护器正泰6按钮正泰7计时器欧姆龙8短路电流智能表上海9温控器日本欧姆龙10导线上海启帆11计数器欧姆龙12无线控制器上海埃微自主研发13电磁阀亚德克在操作过程中要注意的事项：1、在操作过程中，人员应该注意个人防护，避免漏电受伤或被溶液沾染到口、眼部位造成伤害2、输入电源AC220±2%。3、排气管应通出窗外。4、在对样品进行时,请勿打开仓门,待试验完之后或当实验失效产生火烟时，先打开风扇排除烟雾后，再打开仓门进行作业。5、实验前须确认设备是否在计量有效期内，如超期则不能进行实验6、电源应用有地线的三极插座，保证接地可靠。主要技术指标：1） 空气环境：0~40°C；2） 相对湿度：≤80%；3） 无明显振动及腐蚀性气体的场所；4） 工作电压：AC220V±2% 50HZ±1%，1KVA；5） 试验电压：100~600V连续可调数显，电压表显示值误差：1.5%，显示值为:r.m.s；6） 延时电路：试验回路在（0.5±10%）A（r.m.s）或更大电流时延时（2±10%）S后动作；电极：a: 5㎜×2㎜矩形铂金电极和黄铜电极各一对；b: 电极尺寸要求：（5±0.1）㎜×（2±0.1）㎜×（≥12）㎜,其中一端凿尖角度为（30±2）°（即试验端呈30°±2°斜角）,凿尖平面宽度为0.01㎜~0.1㎜；c: 电极间所成角度为60°±5°,间距为（4±0.1㎜）；d: 对样品压力为:1.00N±0.05N；7） 滴液系统：a: （30±5）秒（开启滴液时间28S+开启滴液持续时间2S）自动计数、数显（可预置），50滴时间：（24.5±2）min b: 滴液针嘴到样品表面高度:35㎜±5㎜（附一个量规作测量参考） c: 滴液重量:20滴:0.380g~0.489g 50滴:0.997g~1.147g 8） 短路电流：两电极短路时的电流可调至（1±0.1）A,数显±1%,电流表显示值为有效值（r.m.s） 9） 仪器外形尺寸（宽*高*深）1100*1150*550㎜（0.5立方）；700*385*1000㎜（0.1立方）；10） 箱体由1.2厚的304不锈钢板制成，可订制0.75立方；11） 样品支撑平板：厚度≥4㎜的玻璃；12） 针嘴外径：A溶液：0.9㎜~1.2㎜B溶液: 0.9㎜~3.45㎜13） 滴液大小根据滴液系统而定；14） 风速：0.2M/S。产品特点：1、 本仪器支持5路试样同时进行试验，每路都有独立的控制系统进行控制2、 本仪器核心控制系统由西门子PLC控制，通过光电隔离方式进行采集电压和电流，有效解决抗干扰问题使数据采集保持稳定3、 本仪器显示部分是9寸触摸屏，操作方便，数据显示直观，能够实时显示每个试样的泄露电流4、 可以自由设定泄露电流数值，当实验中的电流超过设定电流值时，能够提示报警，并切断高压电源，并不影响其它试样继续做试验5、 滴液流量大小可根据实际需求自由设定6、 通过手动旋钮顺时针调到指定试验电压。7、 可以手动自由设定试验时间8、 本仪器具有排风和照明功能漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》是按GB4207、IEC60112等标准要求设计制造的专用检测仪器，适用于对电工电子产品、家用电器的固体绝缘材料及其产品模拟在潮湿条件下相比漏电起痕指数和耐漏电起痕指数的测定，具有简便、准确、可靠、实用等特点。满足标准：GB/T6553-2003 及 IEC60587：1984《评定在严酷环境条件下使用的电气绝缘材料耐电痕化和蚀损的试验方法》GB_T3048.7-2007电线电缆电性能试验方法_第07部分：耐电痕试验漏电起痕试验仪是IEC60112 ： 2003 《固体绝缘材料耐电痕化指数和相比电痕化指数的测定方法》

恒温油浴使用时必须先将油加入锅内，再接通电源。数字温度控制表显示实际测量温度，调节旋钮开关，同时观察读数至所需设定温度值。当设定温度值超过油的温度时，加热指示灯亮，表明加热器已开始工作。当油的温度达到您所需的温度时，恒温指示灯亮，加热指示灯熄灭。应注意锅内的油不能使用电热管露出油面，以免烧坏电热管，造成漏电现象。　　其实，不一定非要用水和油，只要有固定沸点的物质都可以用，只是水和油比较常见。锅都是相同的，只是添加的传热介质不同。如果温度不要求高于100摄氏度，就加入水；如果要求高于100摄氏度，就要用一些高沸点的介质，如导热油。

失效分析是芯片测试重要环节，无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品，失效分析可以帮助降低成本，缩短周期。常见的半导体失效都有哪些呢？下面为大家整理一下：显微镜分析OM无损检测金相显微镜OM：可用来进行器件外观及失效部位的表面形状，尺寸，结构，缺陷等观察。金相显微镜系统是将传统的光学显微镜与计算机（数码相机）通过光电转换有机的结合在一起，不仅可以在目镜上作显微观察，还能在计算机（数码相机）显示屏幕上观察实时动态图像，电脑型金相显微镜并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。金相显微镜可供研究单位、冶金、机械制造工厂以及高等工业院校进行金属学与热处理、金属物理学、炼钢与铸造过程等金相试验研究之用，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的金相显微分析和各种缺陷的查找等功能。体视显微镜OM无损检测体视显微镜，亦称实体显微镜或解剖镜。是一种具有正像立体感的目视仪器，从不同角度观察物体，使双眼引起立体感觉的双目显微镜。对观察体无需加工制作，直接放入镜头下配合照明即可观察，成像是直立的，便于操作和解剖。视场直径大，但观察物要求放大倍率在200倍以下。体视显微镜可用于电子精密部件装配检修，纺织业的品质控制、文物 、邮票的辅助鉴别及各种物质表面观察等领域，实现样品外观、形貌检测 、制备样片的观察分析、封装开帽后的检查分析和晶体管点焊检查等功能。X－Ray无损检测X-Ray是利用阴极射线管产生高能量电子与金属靶撞击，在撞击过程中，因电子突然减速，其损失的动能会以X-Ray形式放出。而对于样品无法以外观方式观测的位置，利用X-Ray穿透不同密度物质后其光强度的变化，产生的对比效果可形成影像，即可显示出待测物的内部结构，进而可在不破坏待测物的情况下观察待测物内部有问题的区域。X-Ray可用于产品研发，样品试制，失效分析，过程监控和大批量产品观测等，实现观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板，观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况，芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装缺陷，以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷等功能。C-SAM（超声波扫描显微镜)无损检测超声扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查材料内部的晶格结构，杂质颗粒、夹杂物、沉淀物、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等。I/V Curve量测可用于验证及量测半导体电子组件的电性、参数及特性。比如电压-电流。集成电路失效分析流程中，I/V Curve的量测往往是非破坏分析的第二步（外观检查排在第一步），可见Curve量测的重要性。I/V Curve量测常用于封装测试厂，SMT领域等，实现Open/Short Test、 I/V Curve Analysis、Idd Measuring和Powered Leakage（漏电）Test功能。SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪（材料结构分析/缺陷观察，元素组成常规微区分析，精确测量元器件尺寸）扫描电镜（SEM）SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的，根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜（SEM）使用，可以对样品进行微区成分分析。在军工，航天，半导体，先进材料等领域中，SEM/EDX（形貌观测、成分分析）扫描电镜（SEM）可实现材料表面形貌分析，微区形貌观察，材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析，薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析，纳米尺寸量测及标示和微区成分定性及定量分析等功能EMMI微光显微镜微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜（Emission Microscope, EMMI）是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination会放出光子（Photon）。如在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N，然后与P端的空穴（或N端的电子）做EHP Recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析P-N接面漏电；P-N接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电流产生的光子激发；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等问题Probe Station 探针台测试探针台主要应用于半导体行业、光电行业。针对集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，可用于Wafer，IC测试，IC设计等领域。FIB（Focused Ion beam）线路修改FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam）是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。在工业和理论材料研究，半导体，数据存储，自然资源等领域，FIB可以实现芯片电路修改和布局验证、Cross-Section截面分析、Probing Pad、 定点切割、切线连线，切点观测，TEM制样，精密厚度测量等功能。失效分析前还有一些必要的样品处理过程。取die用酸法去掉塑封体，漏出die decap（开封，开帽）利用芯片开封机实现芯片开封验证SAM，XRAY的结果。Decap即开封，也称开盖，开帽，指给完整封装的IC做局部腐蚀，使得IC可以暴露出来，同时保持芯片功能的完整无损，保持 die，bond pads，bond wires乃至lead-frame不受损伤，为下一步芯片失效分析实验做准备，方便观察或做其他测试（如FIB，EMMI）， Decap后功能正常。化学开封Acid DecapAcid Decap，又叫化学开封，是用化学的方法，即浓硫酸及发烟硝酸将塑封料去除的设备。通过用酸腐蚀芯片表面覆盖的塑料能够暴露出任何一种塑料IC封装内的芯片。去除塑料的过程又快又安全，并且产生干净无腐蚀的芯片表面。研磨RIERIE是干蚀刻的一种，这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10～100MHZ的高频电压（RF，radio frequency）时会产生数百微米厚的离子层（ion sheath），在其中放入试样，离子高速撞击试样而完成化学反应蚀刻，此即为RIE（Reactive Ion Etching）。 自动研磨机自动研磨机适用于高精微（光镜，SEM，TEM，AFM，ETC）样品的半自动准备加工研磨抛光，模块化制备研磨，平行抛光，精确角抛光，定址抛光或几种方式结合抛光，主要应用于半导体元器件失效分析，IC反向等领域，实现断面精细研磨及抛光、芯片工艺分析、失效点的查找等功能。 其可以预置程序定位切割不同尺寸的各种材料，可以高速自动切割材料，提高样品生产量。其微处理系统可以根据材料的材质、厚度等调整步进电动机的切割距离、力度、样品输入比率和自动进刀比率等。去金球 De-gold bump,去层,染色等，有些也需要相应的仪器机台，SEM可以查看die表面，SAM以及X－Ray观察封装内部情况以及分层失效。除了常用手段之外还有其他一些失效分析手段，原子力显微镜AFM ,二次离子质谱 SIMS,飞行时间质谱TOF － SIMS ,透射电镜TEM , 场发射电镜,场发射扫描俄歇探针, X 光电子能谱XPS ,L-I-V测试系统，能量损失 X 光微区分析系统等很多手段，不过这些项目不是很常用。芯片失效分析步骤:1、非破坏性分析：主要是超声波扫描显微镜（C-SAM）--看有没delamination，xray--看内部结构，等等；2、电测：主要工具，万用表，示波器，sony tek370a3、破坏性分析：机械decap，化学 decap芯片开封机4、半导体器件芯片失效分析 芯片內部分析，孔洞气泡失效分析（原作者：北软失效分析赵工）

项目编号：0809-2241GZG13051项目名称：广州质检院检验检测仪器设备购置经费（4）采购方式：公开招标预算金额：4,811,400.00元采购需求：合同包1(广州质检院检验检测仪器设备购置经费（4）):合同包预算金额：4,811,400.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他试验仪器及装置防火门可靠性综合试验装置1(套)详见采购文件290,000.00-1-2其他试验仪器及装置防火门力学性能综合试验装置1(套)详见采购文件280,000.00-1-3其他试验仪器及装置防火闭门器试验装置1(套)详见采购文件280,000.00-1-4其他试验仪器及装置门窗物理综合试验装置1(套)详见采购文件280,000.00-1-5其他试验仪器及装置卷门机基本性能试验装置1(套)详见采购文件180,000.00-1-6其他试验仪器及装置家具用脚轮综合测试仪1(套)详见采购文件180,000.00-1-7其他试验仪器及装置抗震支吊架疲劳试验机1(套)详见采购文件700,000.00-1-8其他试验仪器及装置2000kN微机控制电液伺服万能试验机1(套)详见采购文件480,000.00-1-9其他试验仪器及装置快速双单元控制电位电解仪1(套)详见采购文件30,000.00-1-10其他试验仪器及装置智能交直流移动电源1(套)详见采购文件15,000.00-1-11其他试验仪器及装置空气氟化物/重金属采样器（增强型）1(套)详见采购文件30,000.00-1-12其他试验仪器及装置卤素水分测试仪1(套)详见采购文件20,000.00-1-13其他试验仪器及装置总迁移量恒重仪1(套)详见采购文件700,000.00-1-14其他试验仪器及装置水蒸气透过率测试仪1(套)详见采购文件713,000.00-1-15其他试验仪器及装置电导率仪1(套)详见采购文件10,000.00-1-16其他试验仪器及装置澄清度伞棚灯1(套)详见采购文件25,800.00-1-17其他试验仪器及装置石油产品运动粘度恒温浴+配套的冷却装置1(套)详见采购文件13,000.00-1-18其他试验仪器及装置纸尿裤吸收性能测试仪1(套)详见采购文件135,000.00-1-19其他试验仪器及装置标准杂质测定仪1(套)详见采购文件5,000.00-1-20其他试验仪器及装置防侧漏性能测试仪1(套)详见采购文件6,000.00-1-21其他试验仪器及装置包装产品耐电压测试仪1(套)详见采购文件7,000.00-1-22其他试验仪器及装置包装产品接地电阻测试仪1(套)详见采购文件2,900.00-1-23其他试验仪器及装置包装产品泄漏电流测试仪1(套)详见采购文件2,000.00-1-24其他试验仪器及装置锅具手柄抗扭强度试验机1(套)详见采购文件5,500.00-1-25其他试验仪器及装置手柄疲劳强度试验机1(套)详见采购文件10,500.00-1-26其他试验仪器及装置电脑测控瓦楞纸板厚度仪1(套)详见采购文件10,200.00-1-27其他试验仪器及装置复合底内凹量试验仪1(套)详见采购文件2,500.00-1-28其他试验仪器及装置锅身厚度测量仪1(套)详见采购文件2,500.00-1-29其他试验仪器及装置手柄结构试验仪1(套)详见采购文件3,500.00-1-30其他试验仪器及装置电子触屏式扭力计1(套)详见采购文件12,000.00-1-31其他试验仪器及装置氙灯老化机1(套)详见采购文件380,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后90个日历日内完成交货并通过验收

自从电荷耦合器件（ccd，charge-coupled device）在大名鼎鼎的贝尔实验室发明仪器，其技术突飞猛进，在航空航天、医疗和工业等方面得到了广泛应用。特别在新型的aes光谱仪中，ccd就像眼睛一样，感知样品激发的等离子体发出的光。在微光应用方面，科学级ccd已经能打到探测到几个光子的水平，如果ccd能够准确的将光子信号转换为电荷信号，那新型的ccd光谱仪的检测极限将大大提高，但是实际情况中，这些微弱的光子信号产生的电荷信息，被ccd产生的暗电流淹没。暗电流（dark current）， 也称无照电流，指在没有光照射的状态下,在光导电元件、光电管等的受光元件中流动的电流。它包括晶体材料表面缺陷形成的泄漏电流和载流子热扩散形成的本征暗电流。现代科学研究主要两个方向去解决，一个是提升材料性能，一个是降低ccd的工作温度。暗电流的大小与温度的关系极为密切,温度每降低10℃,暗电流约减小一半。越小的暗电流，同等条件下，光谱的检测下限越好。 赛默飞世尔科技是检测领域的世界领导者。它为全球客户提供的优质分析仪器、实验室设备、试剂耗材及创新的实验室综合解决方案。赛默飞世尔在直读火花光谱仪行业拥有超过80年的经验，最近在高端台式直读火花光谱仪3460/4460之后，赛默飞世尔科技又推出一款全新的全谱直读火花光谱仪arl easyspark 1160。全新的arl easyspark 1160 使用定制镀膜ccd，提升透光率，总像素高达26000，而传统ccd只有2000~4000像素。除此之外，它还采用独特的半导体制冷，ccd的工作温度为9.6℃，而传统ccd工作温度30~40℃，极大的降低仪器的暗电流，提升仪器的检测下限。关于朗铎科技朗铎科技，全球科学服务领域的领导者-赛默飞世尔科技（thermo fisher scientific）中国区域战略合作伙伴。作为工业检测分析系统解决方案服务商，我们致力于为中国客户提供全球高品质的分析仪器、专业的应用技术支持、优质的售后服务等系统解决方案 朗铎科技是赛默飞世尔尼通（niton）手持式光谱仪在合金/地矿行业的中国区总经销商，也是赛默飞世尔arl全谱直读光谱仪中国区总经销商。目前朗铎科技主要产品包括手持式合金光谱仪、手持式矿石光谱仪、直读光谱仪、工业内窥镜等系列产品。

项目编号：GZCQC2302HG03015项目名称：2023年特种设备安全保障及检验检测能力提升仪器设备购置项目（一）采购方式：公开招标预算金额：3,180,000.00元采购需求：合同包1(旋转磁场磁粉检测仪、数字式超声波检测仪等):合同包预算金额：580,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)1-1其他仪器仪表旋转磁场磁粉检测仪3(台)详见采购文件135,000.001-2其他仪器仪表数字式超声波检测仪1(套)详见采购文件25,000.001-3其他仪器仪表声发射检测仪1(台)详见采购文件360,000.001-4其他仪器仪表烟气湿度测试仪2(套)详见采购文件60,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后60天内。合同包2(能量色散X荧光光谱仪):合同包预算金额：310,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)2-1其他仪器仪表能量色散X荧光光谱仪1(套)详见采购文件310,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后60天内。合同包3(多功能数据记录仪、管道防腐层检测仪等):合同包预算金额：825,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)3-1其他仪器仪表多功能数据记录仪5(套)详见采购文件145,000.003-2其他仪器仪表管道防腐层检测仪4(套)详见采购文件480,000.003-3其他仪器仪表亚米级GPS 定位记录仪4(套)详见采购文件200,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后60天内。合同包4(安全阀大口径夹紧台、电动高压油压泵等):合同包预算金额：546,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)4-1其他仪器仪表安全阀大口径夹紧台1(台)详见采购文件39,000.004-2其他仪器仪表电动高压油压泵2(台)详见采购文件18,000.004-3其他仪器仪表长期高温拉拔试验机1(套)详见采购文件178,000.004-4其他仪器仪表拉伸剥离恒温箱1(套)详见采购文件43,000.004-5其他仪器仪表烘箱2(套)详见采购文件36,000.004-6其他仪器仪表恒温水箱1(套)详见采购文件88,000.004-7其他仪器仪表拉拔试验机1(套)详见采购文件144,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后90天内。合同包5(燃气PE管道定位仪):合同包预算金额：660,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)5-1其他仪器仪表燃气PE管道定位仪2(套)详见采购文件660,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后60天内。合同包6(电介质强度测试仪、泄漏电流测试仪等):合同包预算金额：259,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)6-1其他仪器仪表电介质强度测试仪1(套)详见采购文件39,000.006-2其他仪器仪表泄漏电流测试仪1(套)详见采购文件9,000.006-3其他仪器仪表石墨消解仪1(台)详见采购文件30,000.006-4其他仪器仪表数字压力表5(套)详见采购文件25,000.006-5其他仪器仪表视频引伸计1(套)详见采购文件150,000.006-6其他仪器仪表红外测温仪10(台)详见采购文件6,000.00本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后60天内。

美国本土部分辐射监测仪损坏，引发公众质疑。美国环境保护署称，一切在“掌控”中。 　　美国现有辐射监测系统名为RadNet，启用于“冷战”后，2001年“911”恐怖袭击后升级，经由设在全国范围内的一些监测仪定期提取空气样本，测量其中一些放射性同位素含量。当局利用仪器提供的实时读数，确认一起核事故的影响，从而向当地政府和公众发布警告。 　　环境保护署3月25日说，全国124处监测仪中，大约20处本周早些时候损坏，包括设在得克萨斯州和纽约州布法罗的一些仪器。 　　美联社援引一些联邦政府官员的话报道，加利福尼亚州11处固定监测仪中，4处上周停机修理或维护。 　　面对这种情况，一些人士质疑这套系统能否有效保护美国民众。 　　美国国会参议院环境保护和公共工程委员会主席芭芭拉博克瑟说：“我们将检查现有监测系统在日本核泄漏事件发生后表现如何 它对保护美国公众健康和安全发挥着关键作用。” 　　环境保护署监察长阿瑟埃尔金斯告诉美联社记者，正考虑重审环境保护署的紧急应对计划，包括RadNet监测系统。 　　不过，一些环境保护署官员说，辐射监测系统能有效保护美国公众免受威胁。固定监测仪以外，另有便携式监测仪备份。同时，设在洛杉矶、圣贝纳迪诺和圣迭戈的一些固定监测仪上周末修复。 　　环境保护署在给美联社的一份声明中说：“这套系统作为一个整体继续监测，能发现空气中最轻微的辐射。” 　　按环境保护署先前的说法，美国一些地方检测到来自日本的放射物质，不过剂量“极小”，远不足以影响人体健康。

近日，山东东营胜利油田首次海底管道“体检”获得成功。经过历时一个多小时的“爬行”，身长3米多，形状像蠕虫的海底管道漏磁检测仪顺利走完胜利油田埕北中心二号平台副线1千米的行程，填补了国内油田海底管道检测技术空白。 　　胜利油田自主研发的海底管道漏磁检测仪可以直接进入管道，靠水的驱动行进完成检测，犹如为管道装上了眼睛，通过磁通量的变化来检测管道内的腐蚀、变形、受损及漏点等情况。

智能数字式漏水检测仪/数字式漏水检测仪/漏水检测仪/测漏仪/查漏仪 型号：ZRX-7663ZRX-7663智能数字式漏水检测仪应用了的数字信号处理术和数字滤波电路，步提了仪器的抗干扰性能，其重要特点之是能够克服环境噪声的干扰行确探测，在大屏幕液晶显示屏上准确地显示出测量参数，自动区分环境噪声和漏水噪声信号，让操作人员直观地判断漏水疑点。 ●常用频率范围的频谱分析，实时显示出噪声信号在各频率上的相对分布。 ●自动记录（时间—信号噪声）曲线，连续监测噪声信号，为漏水点的确定提供可靠的分析依据。 ●拾振传感器内置有信号放大电路，拾振机构采用缓冲隔离，使得拾振的方向性更强，且有效降低了环境风和导线抖动对拾振传感器引起的噪声干扰。 ●采用品质传感器材料和电路，听音清晰度大大提。 ●可选配不型的拾振传感器，供操作人员选择使用。 ●频率覆盖漏水噪声范围，多达31个带通滤波器的选频范围，满足检漏人员在各种场合中选频使用。 ●可适时保存多段录音资料，能真实记录现场声音，随时重现探测现场实况。 ●操作手柄采用可靠性光电式无触点静音开关，杜了开关接触不良故障的发生。 ●手柄前端聚光照明，液晶显示屏和按键均具有背光照明。 ●采用性能、大容量可充电锂离子电池，无记忆效应；联机充电和脱机充电两种方式均可采用，充电方便快捷。 ●大屏幕液晶显示屏，信息量大，光条显示度，操作界面直观明晰，操作流程简单方便。 ●益求的电路板设计，消除了仪器中难以克服的由数字电路产生的脉动干扰噪声。

气体检测仪是一种用于检测环境中气体浓度的仪器，广泛应用于工业、环保、医疗等领域。随着工业化的加速和人们对环保意识的提高，气体检测仪在日常生活和工作中扮演着越来越重要的角色。那么如何判断气体检测仪是否需要维修呢？本文跟随逸云天小编一起详细探讨下吧。　　以下是一些判断气体检测仪是否需要维修的常见迹象：　　1.校准问题：如果检测仪的校准不准确或无法通过校准，可能需要维修或更换传感器。　　2.指示异常：如指示不稳定、闪烁、无指示或指示与实际情况不符等。　　3.报警功能故障：报警器不工作或误报警等问题。　　4.电池问题：电池寿命变短、无法充电或电池漏电等。　　5.损坏或破损：检测仪外观有明显的损坏、裂纹或连接线松动等。　　6.性能下降：检测灵敏度下降或响应时间变慢。　　7.频繁故障：如果检测仪经常出现故障或需要频繁维修，可能存在更严重的问题。　　综上所述，关于判断气体检测仪是否需要维修的相关信息就分享到这里，希望这篇文章能帮助到大家。　　未来，逸云天公司会更加科学的协调环境和社会资源，采用现代化的管理模式，对企业的质量管理和服务水平提出更高的要求，以过硬的品质在不断创新中前进。

研发背景2021年12月24日，十三届全国人大常委会第三十二次会议审议通过《中华人民共和国噪声污染防治法》（以下简称《噪声法》），自2022年6月5日起施行。为贯彻落实《噪声法》，按照《中共中央国务院关于深入打好污染防治攻坚战的意见》（2021年11月2日），2023年1月3日，国家生态环境部、中央文明办、发展改革委等12个部门联合发布“关于印发《“十四五”噪声污染防治行动计划》的通知”（环大气〔2023〕1号）。计划明确提出：从2025年1月1日起，设区的市级以上城市全面实现功能区声环境质量自动监测，统一采用自动监测数据评价。力合科技集多年环境自动监测研发经验和成果，2023年3月正式发布LHNM300型环境噪声自动监测仪，为户外环境噪声监测增添又一强有力终端产品。LHNM300实现多维一体化，实时监测各类环境噪声，可联合气象模块实现对大气温度、大气压力、风速、风向、雨量等参数的实时监测，并可以扩展接入视频模块进行远程视频实时监控。01产品介绍LHNM300的传感器采用数字化多功能声级计，适用于测量各类噪声的频率计权和时间计权声压级、等效连续声级、暴露声级、统计声级等多种声学评价量。LHNM300具有户外监测、1/1倍频程和1/3倍频程三种测量模式，3种模式数据同步计算，无需模式切换，可同时获得3种模式的数据。仪器通电自动开机运行，可长期工作于户外，对环境噪声等进行长期连续的监测，可稳定地运行于环境噪声监测系统和网络。02标准符合情况Electroacoustics–Specificationsforpersonalsoundexposuremeters（IEC61252:2017）《个人声暴露计规范》Electroacoustics-Soundlevelmeters-Part1:Specifications（IEC61672-1:2013）《电声学.声级计.第1部分：规范》Electroacoustics-Octave-bandandfractional-octave-bandfilters（IEC61260:2014）《电声学倍频程和分数倍频程滤波器》《电声学声级计第1部分》（GB/T3785.1-2010）《电声学个人声暴露计规范》(GB/T15952-2010)《电声学倍频程和分数倍频程滤波器》(GB/T3241-2010)03功能特点LED屏本地显示监测数据（选配）；有线和无线数据传输；手机web端数据实时显示；自动校时，死机自动重启恢复；不间断电源具有充放电保护功能；具有防雷设计，漏电保护功能；具有防盗报警装置；安装容易，单人即可完成。04应用领域可广泛应用于声环境质量监测、工业噪声监测、建筑施工噪声监测、交通运输噪声监测和社会生活噪声监测。

7月1日，苏州苏试试验集团股份有限公司发布“创业板向特定对象发行证券募集说明书（申报稿）”。募集说明书显示，苏试试验本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过6亿元，主要用于扩建集成电路全产业链失效分析、宇航产品检测实验室、高端制造中小企业产品可靠性综合检测平台三个检测实验室。其中用于仪器设备购置和安装的投资金额预算近4亿元。投募项目苏试试验于2019年12月收购苏试宜特（上海）检测技术有限公司将公司可靠性试验服务的检测范围拓宽至集成电路领域，“面向集成电路全产业链的全方位可靠度验证与失效分析工程技术服务平台建设项目”的实施主体为发行人的全资子公司苏州苏试广博环境可靠性实验室有限公司。随着半导体投资金额越来越巨大、对设计失误的容忍度几乎为 0，因此必须在芯片进入量产之前、量产中，需要进行严格的验证测试，主要包括功能测试和物理验证等，通常又称为实验室测试或特性测试，这部分通常由第三方检测实验室为芯片设计公司提供服务，具体服务范围涵盖晶圆制造、集成电路（IC）设计、集成电路封装、终端产品等等。第三方半导体检测市场巨大近年来，越来越多的集成电路设计、晶圆制造企业放弃测试环节的产能扩充，而将其测试需求委托给第三方集成电路测试企业，独立的第三方集成电路测试企业正逐步成为集成电路产业链中不可或缺的一部分：一方面，第三方测试企业可以减少测试设备的重复投资，通过规模效应降低测试费用，缩减产品生产成本；另一方面，专业化分工下的第三方测试企业能够更加快速地跟进集成电路测试技术的更新，及时为集成电路设计、晶圆制造及封装企业提供多样化的测试服务。目前第三提供的检测服务通常包括可靠性分析（RA）、失效分析（FA）、晶圆材料分析（MA）、信号测试、芯片线路修改等，其中比较重要的包括可靠性分析、失效分析等。根据不同的分类标准，失效形式有多种类型，如根据电测结果，失效模式有开路、短路或漏电、参数漂移、功能失效等；根据失效原因可以分为电力过应、静电放电导致的失效、制造工艺不良导致的失效等。根据中国赛宝实验室的数据，在分立器件使用过程中的失效模式，开路、参数漂移、壳体破碎、短路、漏气的占比分别约为35%、28%、17%、15%、4%，集成电路使用过程中的失效模式，短路、开路、功能失效、参数漂移占比分别约为38%、27%、 19%、10%。失效分析主要为集成电路设计企业服务，而集成电路设计产业已成为引领中国半导体产业发展的重要环节。根据2019年中国半导体产业产值分布来看，IC设计业占比将达40.6%、IC制造占比约28.7%、IC封测占比约30.7%。根据中国集成电路设计业2019年会上发布的数据，2015-2019年中国集成电路设计企业分别为736、1362、1380、1698、1780家，年均复合增速达到24.7%，未来随着国内半导体产业的不断崛起，预计国内半导体设计企业数量仍将保持较快速增长。2019年IC设计销售收入达到3084.9亿元，同比2018年的2576.9亿元增长19.7%，在全球集成电路设计市场的比重首次超过10%。随着中国大陆半导体产业的迅猛发展，国内涌现出越来越多的上下游半导体企业，形成了一个强大的产业链，这些企业对实验室分析存在切实需求，但众多企业的需求量不足以投入百万或千万美元级的资金设立实验室和采购扫描电子显微镜等高端设备。另外，人员成本和技术门槛日益提高，在这种背景下第三方采购相关分析设备建立商业实验室应运而生。根据苏试宜特的预测，国内半导体第三方实验室检测行业未来3-5年的市场规模将达到 50亿元人民币，同时加上工业用、车用、医疗、军工电子产业上游晶圆制造到中下游终端产品验证分析的需求，估计2030年市场至少达150-200亿。相关仪器市场将爆发随着第三方半导体检测机构的兴起，IC企业的研发门槛和成本将大幅度降低，整个集成电路市场将持续发展，第三方半导体检测机构将采购大量的相关仪器设备以应对日益增长的半导体检测需求。与此同时，芯片制造生产技术快速发展迭代，新的技术对检测仪器设备提出了多样化需求，第三方检测机构需要不断进行仪器设备的更新换代，这将进一步促成相关仪器市场爆发。相关的检测项目如下：广义检测设计前道：晶圆生产中道：晶圆制造后道：晶圆封测切磨抛离子注入扩散镀膜抛光刻蚀曝光清洗第三方检测验证测试（可靠性分析、失效分析、电性测试、电路修改）WAT测试CP测试FT测试缺陷检测surface scan无图形缺陷检测有图形缺陷检测review SEME-Beam掩模版检测残留/沾污检测量测wafer-sites膜厚四探针电阻膜应力掺杂浓度关键尺寸套准精度几何尺寸测量测试有效性验证：对晶圆样品、封装样品有效性验证WAT测试：硅片完成所有制程工艺后的电性测试功能和电参数性能测试：CP测试（封装前）、FT测试（封装后）本次苏试试验集成电路检测的采购清单如下：序号设备/软件名称数量（台/套）总价（万元）1聚焦离子束11,4002双束聚焦离子束11,1003穿透式电子显微镜12,8004双束电浆离子束11,5005X 射线光电子能谱11,1006飞行时间二次离子质谱仪11,1007俄歇电子能谱仪17708傅立叶红外光谱仪12409超声波扫描显微镜246010超声波切割系统120011扫描电子显微镜21,60012粒子研磨系统115013立体显微镜428014阻抗测试仪115015奈米探针测试11,20016原子力显微镜1280173D 断层扫瞄11,00018多管脚集成电路耐静电测试22,60019集成电路耐静电测试21,40020多管脚集成电路自身充放电测试228021电压/电流检测仪228022雷射打标机12023离子蚀刻机18024老化系统超大功率21,68025老化系统中大功率21,20026低温老化系统中大功率132027老化系统多电源中大功率240028高加速应力测试系统中小功耗18029快速温变试验箱214030导通电阻评估系统15031老化系统中低功耗130032潮湿敏感度模拟设备回流焊14033高温反偏老练检测系统26034高温反偏老练检测系统25035高温高湿反偏老练检测系统210036间隙寿命老练检测系统216037高温反偏老练检测系统12038分离器件综合老练检测系统12039DC/DC 电源高温老练检测系统15040三端稳压器高温老练检测系统13041电容器高温电老练检测系统12542集成电路高温动态老练检测系统12543继电器都通测试仪11044颗粒碰撞噪声检测仪13545氦质谱检漏仪15046氦气氟油加压检漏装置19047数字电桥1248绝缘电阻测试仪1249漏电流测试仪1250耐电压绝缘测试仪1251温湿度偏压测试系统210052高加速温湿度偏压测试系统222053高低温实验/湿度循环/储存测试系统324054液态高低温冲击测试系统216055翘曲实验系统126056物理尺寸量测设备17057半导体分立器件测试系统（含自检模块）13258继电器综合参数测试仪14559混合信号测试仪112060超大规模集成电路测试系统15561电源模块测试系统15062Tester Handler113463数位模拟混合信号 IC 测试系统15064大规模数字集成电路 ATE 测试机140065冷却水塔16066空压机14067制水机14068空调系统120069环保设备23070环保设备12071设计软件19072信息管理软件190

本仪器是根据《GB3095-2012 环境空气质量标准》基本环境空气污染项目为：二氧化硫、二氧化氮、一氧化碳、臭氧、颗粒物（PM10）、颗粒物（PM2.5），另扩展环境大气压、温湿度、其它污染气体等参数。该项目具备物联网功能，能够通过网络实时接入网格化监测平台。仪器内置3/4G物联网模组，监测站监测数据与数据后台实时同步；数据后台存储各监测站历史监测数据，支持监测数据各类可视化展示，如折线图、柱状图、仪表盘等（可根据业务需求定制开发）；配备移动端APP，移动端功能主要有监测数据查询、监测。 执行标准 《环境空气质量标准》（GB3095-2012）《环境空气质量评价技术规范》（HJ663-2013）《环境空气质量指数(AQI)技术规定》（HJ633-2012）《环境空气质量预报信息交换技术指南》（环办函〔2014〕1471-1）《环境空气质量可视化预报会商技术指南》（环办函〔2014〕1471-2）《环境空气质量数值预报模式源清单技术指南》（环办函〔2014〕1471-3）《全国环境空气质量预报预警实施方案》（环办函〔2015〕330号）《污染源在线自动监控(监测)系统数据传输标准》（HJ/T212-2005）《环境污染源自动监控信息传输、交换技术规范(试行)》(HJ/T 352-2007) 主要特点 n 采用激光颗粒物传感器，可实时检测PM1/PM2.5/PM10/PM100颗粒物浓度n 选用四电极高精度进口气体传感器n 模块化设计，配置任意组合，适合大规模网格化布点n 先进的环保喷涂工艺，外观平整，光洁，户外防雨雪防雷电，防电磁干扰功能设计，适合严苛恶劣的室外环境，配备独立的锁具及一对一钥匙，保证仪器安全。n 颗粒物采样采用动态加热控制，去除水雾对测量数据影响n 采用云平台数据链，数据传输稳定可靠，支持标准的MODBUS TCP/IP协议，符合HJ212标准 ，提供开放的网络接口，满足不同网络设备的接入，在全网中实现数据交换与信息共享。所有监测数据同时具有网络和4G/5G接口方式推送到指定平台，10S上传一次数据。n 可选配气象五参数测试仪n 现场实时数据显示，可选配户外LED屏幕n 提供数据服务平台，可显示分钟、小时均值、日均值。报表分析功能，可生成日 报表，月报表，年报表、趋势分析等功能，并且根据客户的具体需要进行定制。n 安装方式多样，可根据现场情况选择：支架安装，挂杆安装等多种方式，任何一种安装方式均牢固可靠n 仪器采用绝缘喷涂工艺，并配备接地线及漏电保护开关，绝缘电阻小于1Ω 有效保护操作人员，防止触电。n 仪器配备断电记忆功能，信号传输中断后，仪器能够自动保存数据，正常供电后，重新传输数据，实现数据传输完全正确。n 数据平台配备自动报错提醒功能，仪器运转异常，数据会上传数据平台，实现自动报警功能，并有推送通知。实现仪器长期可靠的运行。仪器配备反吹自清洁功能，定期进行自动反吹，检测到颗粒物数据异常，可以通过远程进行手动控制反吹，重新启动矫正等功能。n 通过计量器具型式实验验证，三台设备的平行一致性小于10%n 可配置太阳能板能够独立供电，内置长续航锂电池组，无需外接市电。可保证连续一周内阴雨天持续供电。 n独特的保护设计，防止蚊虫，棉絮等大颗粒进入，干扰测试结果。说 明： 以上内容完全符合国家相关标准的要求，因产品升级或有图片与实机不符，请以实机为准，本内容仅供参考。创新点：1.采用激光颗粒物传感器，可实时检测PM1/PM2.5/PM10/PM100颗粒物浓度； 2.选用四电极高精度进口气体传感器； 3.模块化设计，配置任意组合，适合大规模网格化布点； 4.颗粒物采样采用动态加热控制，去除水雾对测量数据影响； 5.采用云平台数据链，数据传输稳定可靠，支持标准的MODBUS TCP/IP协议，符合HJ212标准 ，提供开放的网络接口，满足不同网络设备的接入，在全网中实现数据交换与信息共享；所有监测数据同时具有网络和4G/5G接口方式推送到指定平台，10S上传一次数据； 6.提供数据服务平台，可显示分钟、小时均值、日均值。报表分析功能，可生成日 报表，月报表，年报表、趋势分析等功能，并且根据客户的具体需要进行定制。 崂应2092型环境空气质量监测仪（光散射法）

半导体测试系统与探针卡知名厂商-思达科技宣布，推出牡羊座Aries Optima MEMS探针卡，是全球首款应用在大量制造的微间距大电流MEMS垂直探针卡。Aries Optima是MEMS探针卡技术的最新巅峰，不仅制订新标准，满足了晶圆级测试的新需求，且进而促使思达科技成为MEMS探针卡技术的市场领导供应商。十多年来，思达科技致力在开发以及部署高价值的垂直探针技术，研发了一套系统和方法，以快速适应市场兴起的需求。思达科技在过去20年间定期推出新产品，满足不断变化、各方面的市场需求，持续实现对于半导体测试行业的承诺，包括增进测试效率、降低测试成本，以及测试精度的优化、达成最佳市场价值等等。Aries Optima系列的MEMS垂直探针卡，设计方面除了满足不断发展的大电流需求外，探针间距也降至45um，可将投资回报率最大化且减少支出，具有更高的价值。思达拥有批量生产的MEMS探针，负载力为550mA，适用于标准应用；在汽车和高功率方面，则可达700mA、最高至150摄氏度。根据半导体市调机构VLSI的报告，受惠于景气回温，其5G拓展、IT基础建设等，推升芯片需求持续成长。这些市场因素驱动MEMS技术更加重视生产效率、减少测试时间与成本，市场占有率也正逐渐提高。相较于传统的Cobra探针，AriesOptima系列稳定的DC和泄漏电流表现，非常适合应用在RF、AP、高功率等等的测试。思达科技执行长刘俊良博士表示：「Aries Optima探针卡是全球第一张微间距MEMS垂直探针卡，支持大电流测试，同时减少客户的测试频率、时间、人力成本等，是下一个世代半导体测试的最佳选择。」

table width=" 633" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" border=" 1" tbody tr style=" height:25px" class=" firstRow" td style=" border: 1px solid windowtext padding: 0px 7px " width=" 130" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 成果名称 /span /p /td td colspan=" 3" style=" border-color: windowtext windowtext windowtext currentcolor border-style: solid solid solid none border-width: 1px 1px 1px medium border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " valign=" bottom" width=" 503" height=" 25" p style=" text-align:center line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 油气管道缺陷漏磁成像检测仪 /span /strong /p /td /tr tr style=" height:25px" td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 130" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 单位名称 /span /p /td td colspan=" 3" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 503" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 清华大学 /span /p /td /tr tr style=" height:25px" td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 130" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 联系人 /span /p /td td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 164" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 黄松岭 /span /p /td td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 158" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 联系邮箱 /span /p /td td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 181" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" huangsling@tsinghua.edu.cn /span /p /td /tr tr style=" height:25px" td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 130" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 成果成熟度 /span /p /td td colspan=" 3" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 503" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" □正在研发& nbsp & nbsp □已有样机& nbsp & nbsp □通过小试& nbsp & nbsp □通过中试& nbsp & nbsp √可以量产 /span /p /td /tr tr style=" height:25px" td style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 130" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 合作方式 /span /p /td td colspan=" 3" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext currentcolor border-style: none solid solid none border-width: medium 1px 1px medium padding: 0px 7px " width=" 503" height=" 25" p style=" line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" □技术转让& nbsp & nbsp & nbsp □技术入股& nbsp & nbsp & nbsp √合作开发& nbsp & nbsp & nbsp □其他 /span /p /td /tr tr style=" height:113px" td colspan=" 4" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 633" height=" 113" p style=" line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family: 宋体" 成果简介： /span /strong /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/535b780e-209f-499c-8eac-4b2660e45d03.jpg" title=" 1.png" style=" width: 400px height: 244px " width=" 400" vspace=" 0" hspace=" 0" height=" 244" border=" 0" / /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/66d725c7-b535-4688-a237-f7d2519803e6.jpg" title=" 2.png" style=" width: 400px height: 267px " width=" 400" vspace=" 0" hspace=" 0" height=" 267" border=" 0" / /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 油气管道缺陷漏磁成像检测仪是由 strong 清华大学黄松岭教授科研团队 /strong 结合多年的管道电磁无损检测理论研究与工程经验，设计并研发的可 strong 针对不同口径 /strong 油气管道进行缺陷检测的系列化产品。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 油气管道缺陷漏磁成像检测仪采用本项目开发的先进的 strong 复合伸缩式柔性采集技术 /strong ，能够保证检测仪在强烈振动、管道局部变形等情况下与管道全方位有效贴合，在越障、管道缩径、过弯等特殊工况下表现出优异性能，并通过 strong 分布式磁路结构 /strong 优化和 strong 并行数字采集 /strong 单元实现了检测仪的轻型化、智能化。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 相比于国内外同类检测仪器，本项目油气管道缺陷漏磁成像检测仪在诸多关键技术指标上具有明显优势，检测仪能适应的管道 strong 最小转弯半径为1.5D /strong （D为管道外径）， strong 管道变形通过能力为18%D /strong ， strong 缺陷检测灵敏度为5%t /strong （t为壁厚），性能指标处于国际领先水平。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 检测仪还配套开发了 strong 数据自动分析智能专家系统 /strong ，能够对对管道缺陷及附属特征进行 strong 自动识别、量化、成像与评估 /strong ，支持先验判断和人工辅助分析，并基于管道压力评估和金属损失评估，提供在役管道评估维修策略。缺陷 strong 长度量化误差小于8mm、宽度量化误差小于20mm、深度量化误差小于10%t /strong 。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 基于本项目的关键技术，已 strong 授权国内外发明专利112项 /strong ， & nbsp 形成了完整的自主知识产权体系。开发的系列化油气管道缺陷漏磁成像检测仪已应用于西气东输、胜利油田、加拿大西部油气管道等国内外检测工程中，积累了丰富的仪器研发和工程检测经验，项目技术还可推广应用于铁路、钢铁、汽车、核能、航天等领域。 /span /p /td /tr tr style=" height:75px" td colspan=" 4" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 633" height=" 75" p style=" line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family: 宋体" 应用前景： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 油气管道缺陷漏磁成像检测仪适用于电磁无损检测领域，主要应用在石油和天然气输送管道的在线缺陷检测工程中，可及时发现油气管道的腐蚀缺陷以便采取积极措施进行修复，保障油气管道的正常运行、油气资源的安全输送。且本项目的关键技术成果还可推广应用于铁路、钢铁、汽车、核能、航天等领域的铁磁性构件的缺陷检测，如动车空心轴、金属管棒材、活塞杆、核电换热管、航空复合管等，对诸多行业的设备结构健康安全检测有积极的推动作用。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 经贸委于2000年发布《石油天然气管道安全监督与管理暂行规定》，要求“新建管道必须在一年内检测，以后视管道安全状况每一至三年检测一次”，相比于国外工程检测，本项目工程检测费用仅为国外检测费用的三分之一，具有较强的竞争优势。且本项目开发的系列油气管道缺陷漏磁成像检测仪已在西气东输、胜利油田、加拿大西部油气管道等众多油气管道检测工程中应用，积累了丰富的工程检测经验，缺陷识别准确率高、用户反馈良好。近年来，在“一带一路”战略框架下，我国将进一步加大与周边国家在油气领域的战略合作，这对油气安全输送与管道缺陷检测提出了更高的要求，且随着越来越多的油气管道投入运行和在役管道使用年限的增长，以及本项目开发的系列油气管道缺陷漏磁成像检测仪在检测性能、价格等方面的诸多优势，将拥有更多的工程检测需求和更广阔的市场应用前景。 /span /p /td /tr tr style=" height:72px" td colspan=" 4" style=" border-color: currentcolor windowtext windowtext border-style: none solid solid border-width: medium 1px 1px border-image: none 100% / 1 / 0 stretch padding: 0px 7px " width=" 633" height=" 72" p style=" line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family: 宋体" 知识产权及项目获奖情况： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 研发的油气管道缺陷漏磁成像检测仪具有自主知识产权，围绕油气管道检测理论研究及仪器研发核心关键技术，申请并授权了国内外发明专利112项，开展的相关项目获得多项省部级及行业奖项。 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 知识产权情况： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 中国发明专利： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 海底油气管道缺陷高精度内检测装置，ZL201310598517.0 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 一种全数字化高精度三维漏磁信号采集装置，ZL201310460761.0 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 油气管道缺陷内检测器里程测量装置，ZL201310598590.8 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 管道三维漏磁成像检测浮动磁化组件，ZL201410281568.5 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 浮动式管道内漏磁检测装置的手指探头单元，ZL201310598515.1 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 三维漏磁检测缺陷复合反演成像方法，ZL201510239162.5 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 管道三维漏磁成像缺陷量化方法，ZL201410799732.1 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 基于交直流复合磁化的漏磁检测内外壁缺陷的识别方法，ZL200810055891.5 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 基于三维有限元神经网络的缺陷识别和量化评价方法，ZL200610164923.6 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 管道腐蚀缺陷类型识别方法，ZL200410068973.5等 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 美国发明专利： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" IMAGING METHOD AND APPARATUS BASED ON & nbsp MAGNETIC FULX LEAKAGE TESTING, US2016-0161448 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" AN INNER DETECTING DEVICE FOR SUBSEA & nbsp OIL AND GAS PIPELINE /span span style=" line-height: 150% font-family:宋体" ，US2015-0346154 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" METHOD AND APPARATUS FOR QUANTIFYING PIPELINE & nbsp DEFECT BASED ON MAGNETIC FLUX LEAKAGE TESTING, US2016-0178580 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 等 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 英国发明专利： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" An inner detecting device for subsea & nbsp oil gas pipeline, GB2527696 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 日本发明专利： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 海中の石油ガスパイプライン用の内部検出装置，JP6154911 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 加拿大发明专利： /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" AN INNER DETECTING DEVICE FOR SUBSEA & nbsp OIL AND GAS PIPELINE /span span style=" line-height: 150% font-family:宋体" ，CA2,888,756 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" strong span style=" line-height:150% font-family:宋体" 项目获奖情况： /span /strong /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 2017 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 年湖北省技术发明一等奖 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 2014 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 年北京市科学技术奖一等奖 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 2014 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 年国家知识产权局中国专利优秀奖 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 2013 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 年中国产学研创新成果奖 /span /p p style=" text-indent:28px line-height:150%" span style=" line-height:150% font-family:宋体" 2009 /span span style=" line-height:150% font-family:宋体" 年石油和化工自动化行业科学技术一等奖 /span /p /td /tr /tbody /table p br/ /p

一、采购人：山东省特种设备检验研究院 地址：山东省济南市高新区天辰大街939号 联系方式： 0531-81903690 　　二、采购代理机构：山东英大招投标有限公司地址：济南市马鞍山路2-1号山东大厦 联系方式：0531-85198189、0531-85198109 　　三、政府采购计划编号：406012201200084,406012201200083,406012201200082,406012201200081,406012201200080,406012201200079,406012201200078,406012201200077,406012201200061,406012201200048,406012201200047,406012201200046,406012201200045,406012201200038,406012201200037,406012201200036 　　四、项目名称：山东省特种设备检验研究院(各分院)实验室仪器、设备采购 项目编号：SDYD2012-234-2 　　五、采购内容及分包情况： 　　采购内容(包括采购货物和服务的名称、用途、数量)： 　　本项目为山东省特种设备检验研究院(各分院)实验室仪器、设备采购，共分16 个包，分包情况详见附件，详细技术要求详见招标文件。 　　分包情况： 　　1包：日照分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 交、直流磁轭探伤仪 台/套 1 详见招标文件 2 便携式里氏硬度计 台/套 1 3 挠度（回弹量）制动下滑量检测仪 台 1 4 限速器试验台 台 1 5 手持式光谱仪(可采进口) 台 1 6 数字超声波探伤仪 台 2 7 观片灯 台 2 8 宽频电流表 只 2 9 安全阀现场校验仪（电动） 台/套 1 10 起重机钢丝绳探伤仪 台/套 1 11 超声波试块 块 2 12 超声波试块 块 2 13 双通道TOFD探伤仪(可采进口) 台 1 14 线路板雕刻机 台/套 1 15 双通道彩色数字示波器 台/套 1 16 单片机编程器烧录器 台/套 1 17 残炭测定仪 台/套 1 18 运动粘度测定仪 台/套 1 19 闭口闪点测定仪 台/套 1 20 自动电位滴定仪 台/套 1 21 全自动微量水分测定仪（卡氏） 台/套 1 22 石油密度测定仪 台/套 1 23 烟气分析仪(可采进口) 台/套 1 24 温度采集系统 台/套 1 25 铂电阻温度计(可采进口) 台/套 2 26 高温热电偶 台/套 1 27 数字温湿度计(进口) 台/套 1 28 数字压力计 台/套 2 29 大气压力表 台/套 1 30 超声波流量计(可采进口) 台/套 2 31 涡轮流量计 台/套 1 32 电磁流量计 台/套 1 33 飞灰取样器 台/套 2 34 手电筒式UV-LED紫外线探伤灯(可采进口) 台 1 35 便携式荧光磁粉探伤仪(可采进口) 台 1 36 激光测距仪 台 1 37 超声波测厚仪 台 5 　　2包：日照分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 步进数控车床 台/套 1 详见招标文件 2 普通型冲床 台/套 1 3 卧式燃煤锅炉模拟机 台/套 1 4 立式燃油（气）锅炉模拟机 台/套 1 5 桥门式起重机实训模拟机系统 台/套 1 6 平衡重式叉车 辆 1 7 电梯模型 台/套 1 8 牛头刨床 台/套 1 9 数显万能试验机 台/套 1 10 摆垂式冲击试验机 台/套 1 11 冲击试样缺口手拉床 台/套 1 　　3包：烟台分院 序号 设备名称 数量 (台/套) 技术参数 1 数字声发射检测系统 1 详见招标文件 　　4包：烟台分院 序号 设备名称 数量 (台/套) 技术参数 1 声级计 1 详见招标文件 2 照度计 1 3 电梯限速器现场测试仪 1 4 红外测温仪 1 5 单滑板侧滑仪 1 6 静电电阻测量仪 1 7 防腐层绝缘电阻测量仪 1 8 电火花检测仪 1 9 土壤电阻率测试仪 1 10 硫酸铜参比电极 1 11 杂散电流检测仪 1 12 熔化极气体保护焊机（全数字焊机） 1 13 直流氩弧焊机(全数字焊机) 1 14 激光测距仪 2 15 机电类工具箱 1 16 承压类工具箱 1 17 酸值全自动测定仪 1 18 密度测定仪 1 19 闭口闪点全自动测定仪 1 20 全自动微量水分测定仪 1 21 微量残炭测定器 1 22 全自动馏程测定器 1 23 便携式微量溶解氧分析仪 1 24 便携式pH计 1 25 药品冷藏箱 1 26 红外测油仪 1 　　5包：威海分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 多成份烟气分析仪（可采进口） 台 1 详见招标文件 2 温度采集系统（可采进口） 套 1 3 铂电阻温度计（可采进口） 台 1 4 高温热电偶 台 1 5 红外测温仪（可采进口） 台 1 6 表面温度计（可采进口） 台 1 7 温湿度仪（可采进口） 台 1 8 数字压力计（可采进口） 台 19 大气压力表（可采进口） 台 1 10 超声波流量计（可采进口） 台 1 11 涡轮流量计 台 1 12 电磁流量计 台 1 13 热流计（可采进口） 台 1 14 钠度计 台 1 15 电导率仪（可采进口） 台 1 　　6包：威海分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 土壤电阻率测试仪 台 1 详见招标文件 2 地下管线探测定位仪 台 1 3 防腐层绝缘电阻测量仪 台 1 4 相位计 台 1 5 电能质量分析仪 （可采进口） 台 1 6 硫酸铜参比电极 台 10 7 罐车液面计校验装置 台 1 8 埋地管道泄漏检测仪 台 1 9 数字超声波探伤仪 台 1 10便携式氨气（有毒）检测仪 台 1 11 杂散电流检测仪 台 1 12 电火花检漏仪 台 1 13 直流电压梯度检测系统（含密间隔管地电位检测仪）（可采进口） 套 1 　　7包：威海分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 桥式起重机虚拟操作系统 套 1 详见招标文件 2 DZL4-1.25-AII型燃煤锅炉模拟机 台 1 3 WNY4-1.25-Y燃油锅炉模拟机 台 1 4 叉车 台 1 　　8包：德州分院 序号 名称 单位 数量 技术参数 1 激光测拱仪 台　 2 详见招标文件 2 起重机下滑量挠度测试仪 台　 2 3 钳形接地电阻测试仪 台　 1 4 绝缘电阻测试仪（可采进口） 台　 1 5 机电类检测工具箱 套　 4 6 便携式限速器校验仪 台　 2 7 平衡吊 台　 1 8 气瓶吊（夹）具 台　 1 9 气动扭矩扳手 台　 1 10 电动扭矩扳手 台　 1 11 安全阀校验台信息化改造 套　 1 12 酸度计 台　 1 13 可见分光光度计 台　 1 14 紫外可见分光光度计 台　 1 15 高纯水发生仪 台　 1 16电子天平 台　 1 17 自动滴定仪 台　 1 18 测厚仪(可采进口) 台　 5 19 交、直流磁轭探伤仪 台　 1 20 磁轭探伤仪(可采进口) 台　 1 　　9包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 测厚仪（可采进口） 4 详见招标文件 2 接触式转速表（可采进口） 6 3 便携式测距仪（可采进口） 6 4 便携式里氏硬度计 2 5 周向X射线探伤机 2 6 黑光灯 1 7 数字式接地电阻测试仪（可采进口） 3 8 数字式绝缘电阻测试仪（可采进口） 3 　　10包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 便携式飞灰取样器 1 详见招标文件 2 温度采集系统（可采进口） 1 3 铂电阻温度计 2 4 高温热电偶温度仪（可采进口） 1 5 表面温度计（可采进口） 1 6 数字压力计 2 7 压力表 2 8 超声波流量计（可采进口） 2 9 涡轮流量计 1 10 电磁流量计（可采进口） 1 11 钠度计（可采进口） 1 12 数显电能表 1 　　11包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 WNS4-1.25-Y型卧式内燃燃油锅炉培训机 1 详见招标文件 2 YG-130/3.82-M7循环流化床锅炉模型 1 3 DZL4-1.3-AⅡ快装锅炉模型 1 4 工业锅炉常用解剖件 1 　　12包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 天然气瓶检验线 1 详见招标文件 2 便携式可燃气体浓度检测仪 1 3 热电偶真空计 2 4静电电阻测试仪（可采进口） 1 　　13包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 蒸汽锅炉 1 详见招标文件 　　14包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 原子吸收光谱仪 1 详见招标文件 2 电位滴定仪（可采进口） 1 3 水分仪（可采进口） 1 4 密度计（可采进口） 1 5 蒸馏仪 1 6 便携式水质油份浓度快速分析仪 1 7 立式金相试样切割机 1 　　15包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 直流电压梯度检测系统DCVG（可采进口） 1 详见招标文件 2密间隔管地电位检测仪 （可采进口） 1 3 防腐层绝缘电阻测量仪 1 4 管道杂散电流检测仪 1 5 埋地管道泄漏检测仪 1 6 埋地钢质管道防腐层检测系统（可采进口） 1 7 电火花检漏仪 1 8 地下管线探测定位仪（可采进口） 1 9 涂层测厚仪（可采进口） 1 10 土壤电阻率测试仪 1 11 静电阻测量仪 1 12 硫酸铜参比电极 10 　　16包：泰安分院 序号 设备名称 数量（台/套） 技术参数 1 便携式超声波相控阵/TOFD自动成像检测系统.（可采进口） 1 详见招标文件 　　六、获取招标文件地点：山东省济南市马鞍山路2-1号山东大厦四层8406室。 时间：2012年9月26日开始至2012年10月16日止，上午8:30到下午17:30(北京时间，节假日除外)。 方式：购买招标文件时请携带营业执照副本原件(或复印件加盖公章)，若要以邮寄方式获取招标文件，请加邮寄费50元，连同招标文件费用汇至我方(开户单位：山东英大招投标有限公司，开户银行：中国银行济南趵突泉支行，帐号：242913021560)。招标文件售出不退。 售价：200元/包 　　七、投标截止日期：2012 年10月18日上午9：00-9：30(北京时间) 　　八、开标日期：2012年10月18日上午9：30(北京时间) 开标地点：省级政府采购招标大厅开标会议室(五)、地址：济南高新技术产业开发区伯乐路316号(省级机关政府采购中心办公楼)。 　　九、本项目联系人：邓惠真、常威、高玉明 联系电话：0531-85198189、0531-85198109、传真：0531-85198109 　　十、其他：届时请参与投标的供应商代表出席开标仪式，逾期递交或不符合规定的投标文件恕不接受。

日前，环保部发布《空气质量新标准第二阶段监测实施方案》，称全国116个城市年底前将发布PM2.5监测数据，如此看来，新一轮的PM2.5等环境监测仪器的采购热潮不日将至。2013年4月3日，牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务项目开始进行国内公开招标，采购包括PM2.5监测仪在内的55套环境监测仪器设备。详情如下所示：　　黑龙江省牡丹江市政府采购中心受采购人的委托，对牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务项目进行国内公开招标，请合格供应商前来参加投标。　　1.项目编号：MDJGP[2013]0256　　2.招标项目：牡丹江市环境监测中心站空气自动监测升级改造及服务。　　3.招标内容：技术参数附后，其它详细内容请参阅招标文件。　　4.供应商资质：符合政府采购法第二十二条规定，在国内注册生产或经营此次采购货物的供应商。　　5.报名时间及购买标书时间：2013年4月15日—2013年4月23日(公休日除外)，每日09:00时—11:30时，13:30时—16:30时(北京时间), 报名时请携带营业执照、税务登记证、法人授权委托书、代理商资格证明材料、环境保护部环境监测仪器质量监督检验中心出具的检测报告、中华人民共和国计量器具生产许可证、软件还需提供计算机信息系统企业集成资质。以上材料除法人授权委托书需原件外，其他材料为复印件并加盖公章。　　希望参加投标的供应商在牡丹江政府采购网进行供应商注册登记(只需注册一次即可)，以便及时参与网上政府采购活动，请注册登记的供应商保管好登录名和密码。网上注册技术咨询电话：0453-6261566　　6.标前答疑会(投标供应商应按时参加答疑会，如期不到将视为完全理解并默认招标文件所有条款，并同意放弃对招标文件有不明或误解等而询问、质疑、投诉的权利)时间：2013年4月24日09时。(北京时间)，地点：牡丹江市政府采购中心9楼会议室。请供应商准时参加，否则后果自负　　7.标书售价：每套500元(人民币)，标书售后一概不退。　　8.报名及购买标书地点：黑龙江省牡丹江市政府采购中心609室。　　9.投标截止时间和开标时间：2013年5月10日09:00时(北京时间)。　　10.开标地点：黑龙江省牡丹江市政府采购中心九楼招标大厅。　　11.联系方式：牡丹江市政府采购中心　　邮编：157006　　地址：牡丹江市东长安街70号　　网址：www.hljcg.gov.cn/hljcg/index.jsp?id=03　　标书款汇入行：　　户 名：牡丹江市政府采购中心　　开户行：中国建设银行牡丹江市分行营业部　　账号：23001705151050006469　　保证金汇入行：　　户名：牡丹江市政府采购中心保证金专户　　开户银行：哈尔滨银行牡丹江分行营业部　　帐号：1213511631898565　　电话：(0453)6233166　　传真：(0453)6233166　　联系人：陈女士　　技术参数如下：货物名称技术要求数量NOX自动监测仪氮氧化物分析仪1)设备用途：用于空气中氮氧化物浓度的监测1)配置要求：含过滤滤膜等2)技术参数：a)分析方法：化学发光法b)量程：0-150,100,200ppb或更多可选量程，具有量程自动切换功能c)最低检测限：1ppbd)零漂(24hour)：≤2ppbe)跨漂(24hour)：≤5ppbf)线性：5ppbg)重现性：5ppbh)响应时间：小于120秒（从0上升到90％满量程）i)转化率：≥98%j)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能k)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAl)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)数据存储功能：独立内存，支持参数存储，可存储超过100天的15分钟均值数据自动备份功能n)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示： 中文3套SO2自动监测仪二氧化硫分析仪1)设备用途：用于空气中二氧化硫浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：紫外荧光法b)量程：0-50,100,500ppb或更多可选量程，具有量程自动切换功能c)最低检测限：1ppbd)精度：5.0ppbe)线性：5.0ppbf)零漂（24小时）：2.0ppbg)跨漂（24小时）：5.0ppbh)响应时间：小于120秒（从0上升到90％满量程）i)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能j)电源要求：220±10%VAC，50Hzk)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAl)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)数据存储功能：独立内存，支持参数存储，可存储超过100天的15分钟均值数据自动备份功能o)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示： 中文3套PM10自动监测仪a)PM10颗粒物分析仪b)设备用途：用于空气中PM10浓度的监测c)配置要求：含切割头、采样滤膜等d)技术参数：e)分析方法：β射线方法f)测量量程：（0～1或10）mg/m3g)采样流量：16.7L/min±2.5%h)最低检出限：2μg/m3i)测量周期：小时循环j)平行性：≤7%k)重现性：≤2%l)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）m)模拟输出：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAn)采样系统：切割头通过切割效率鉴定；显示： 中文3套PM2.5自动监测仪PM2.5分析仪1)设备用途：用于空气中PM2.5浓度的监测2)配置要求：含切割头、采样滤膜等3)技术参数：a)分析方法：β射线法b)量程：软件可调量程（0～1、10）mg/m3c)最低检测限：≤2μg/m3（24小时平均值）d)显示分辨率：≤1μg/m3e)精度：±5μg/m3（24小时）以内f)平行性：≤7%g)测量时间：连续在线h)测量周期：小时循环i)采样流量：～16.7L/min，流量稳定性优于2.5%j)采样系统：切割头通过国家疾病预防中心切割效率鉴定；k)PM2.5颗粒物分析仪型号类型必须入选中国环境监测总站《关于印发《PM2.5自动监测仪器技术指标与要求（试行）》的通知》总站气字{2012}107号文件所规定要求；显示：中文6套CO自动监测仪一氧化碳分析仪1)设备用途：用于空气中一氧化碳浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：红外吸收相关法（气体滤光相关法）b)量程：0～50ppb,500ppb,1000ppb,200ppm等（任意可设）c)浓度单位：mg/m3、ug/m3、ppm、ppbd)噪音：0.02ppme)最低检测限：0.04ppm；f)线性：1％F.Sg)零点漂移：0.1ppm/24h,0.1ppm/30daysh)量程漂移：0.5％读数值/24h,0.5％读数值/30daysi)重现性：100ppb或读数的1％j)响应时间：T9560sk)精度：0.5%读数l)采样流量：0.8L/minm)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能n)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAo)数字输出信号：RS232/485数字接口；数字接口至少2个（分别用于本地数采仪、VPN实时传输和智能维护和质控系统接口）p)具有USB接口，方便数据存取；q)具有12V电源供电，仪器线路操作安全，维修方便；r)校准：能够具有自动校零、校跨，显示仪器的操作状态和远距离诊断l)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示：中文6套O3自动监测仪臭氧分析仪1)设备用途：用于空气中臭氧浓度的监测2)配置要求：含过滤滤膜等3)技术参数：a)分析方法：紫外光度法b)量程设置：0～50ppb,500ppb,1000ppb,20ppm等（任意可设）c)浓度单位：mg/m3、ug/m3、ppm、ppbd)最低检出限：0.6ppbe)线性：1%满量程f)零点漂移：1ppb/24h,1ppb/30daysg)量程漂移：0.5％读数值/24h,0.5％读数值/30daysh)响应时间：T9560si)精度：0.5%读数j)采样流量：0.8L/mink)诊断功能：仪器有自诊断及报警功能l)模拟输出信号：DC0-1.0V、0-5.0V、0-10.0V、0-20mAm)具有USB接口，方便数据存取；n)具有12V电源供电，仪器线路操作安全，维修方便；o)校准：能够具有自动校零、校跨，显示仪器的操作状态和远距离诊断p)所有接头材质为TEFLONm)单位：ppm、ppb、mg/m3、μg/m3显示：中文5套动态气体校准仪（钢瓶气及减压阀）动态校准仪a)流量计准确度：1%F.Sb)质量流量测量重现性：0.2%F.Sc)线性：0.5%F.Sd)零气流量计量程：5L/min，10L/min，20L/mine)标气流量计量程：50ml/min，100ml/minf)臭氧发生准确度：±2%g)臭氧发生器输出范围：0.05~1ppm/5slpmh)标气接口：4个i)电源：220VAC±10%，50Hz阀门技术参数：a)双级式减压结构；b)膜片与母体采用硬密封形式；c)安全压力：1.5倍的最大输出压力；d)内泄露：2×10-8atmcc/secHelium；e)CV值：0.08；f)材质：不锈钢316L，对标准气体无污染,无吸附。钢瓶气a)钢瓶标准气容量：8L，10MPa；钢瓶标准气浓度：SO2：50ppm，NO：50ppm，CO：3000ppm5套软件升级改造应把子站控制软件升级为新空气质量要求的技术要求3套零气发生器a)用途：作为稀释校准仪器的零气源b)压力：10～30psic)零气源通过转化去除空气中杂质后指标项目投标产品指标NO2＜0.5ppbSO2＜0.5ppbO3＜0.5ppbCO＜10ppb非甲烷总烃＜1ppb甲烷＜0.1ppbd)可再生分子筛对空气进行干燥，涤除效率高，维护量低。膜式干燥器，涤除空气中的气态水，降低结露点。4套城市摄像系统城市环境摄影系统1)数采仪软件功能：l实时显示能见度、气象测量数据和图像信息；l固定时刻拍照：用户设定每天固定时刻自动进行拍照，例如9:00AM,1:20PM；l事件触发拍照：用户设定能见度数据触发条件并自动拍照；l时间间隔拍照：用户设定固定时间间隔进行自动拍照,例如1分钟，5分钟，10分钟，1小时等；l随时手动拍照：支持用户本地或远程手动拍照；l存储监测信息，计算分钟、小时、日、月、季度数据均值，统计和绘制变动图表；l查询检索分析历史数据；l自动记录停电信息；l自定义存储路径，通过有线或无线网络将数据和图像信息上传到中心站；l雨刷和恒温装置维护室外拍照系统，定时、手动控制雨刷。2)中心站软件功能架构：l展示：多站图像展示l采集：数据、图像l记录：关系数据库存储l查询：站点历史时刻数据图像对比分析l维护：历史数据、历史图片回补l判断：标示提醒异常，依靠湿度区分雾、霾的数据自动审核、自动判断l扩展：与空气灰霾监测站互动l地图：多区域地图l管理：权限和站点管理3)相机技术要求：lAPS-C规格数码单反l有效像素：1800万l传感器尺寸：CMOSl最高分辨率：5184×3456l曝光模式：自动曝光手动曝光l多种测光方式l自动白平衡l短片拍摄：最大1920*1080l连拍功能：连拍速度最大约3.7张/秒l支持定时拍照l工作温度范围：0℃-40℃l工作湿度范围：85％或更小l交流电适配器套装(带连接器)ACK-E8AC100-240V50/60HzDC7.4V2Al镜头定位：APS画幅镜头l镜头类型：变焦l镜头卡口：佳能EF卡口l变焦方式：伸缩式镜头l滤镜尺寸：58mml最大光圈：F3.5-F5.6l最小光圈：F22-F38l视角范围：水平：64度30分-23度20分l垂直：45度30分-15度40分l镜头直径：68.5mml镜头长度：70mm4)室外防护罩l电源：220VAC50Hzl功率：80W(含风冷、加热)l材料主体：铝合金；视窗：透明玻璃；锁扣：不锈钢l视窗尺寸：102*89（W*H）l自动温控范围加热开：8°±5°；关：20°±5°（风扇同时运转）l风扇开：37°±5°；关：20°±5°l工作环境：温度-35℃~+65℃，湿度90%RHl防护罩等级：IP665)相机图像软件l实时展示反映实际环境状况的高清图像信息，支持数字图像解析；l多种条件和方式触发自动拍照功能；l自定义存储路径，支持有线局域网/广域网、无线、蜂窝式无线通讯和卫星传输等；l查询检索分析历史图片数据；l手动自动控制雨刷：5套多功能分配器l可实现各仪器自动校准功能，控制采样校准阀l具有采集气象传感器数据的功能l采用专用航空插头作为传感器接口；l预留模拟通道，计数通道，为以后传感器的扩展做好了准备l扩展通道测量范围模拟电压：(0-5)V或(4-20)mA计数频率：（0-65535）Hzl可提供电源+5VDC+12VDC2套空气系统采集仪l工控机及接口扩展模块：CPU：主频2.4GHz以上内存：1G以上硬盘：80G/7200R以上标准配置8个RS232通信口或以上机箱：19寸4U工业机箱(带PS-7271B工业电源)操作系统：预装windows2003server专业版以上键盘及显示器：通用型104键键盘，液晶显示器1024*768像素以上RJ45口两个或以上接口扩展模块：视站点仪器设备配置与集成情况选择如下接口模块（RS232接口模块、AD转换模块4017+、ADAM4520）RS232九针直联线及交叉线各8根模拟信号连接线30米l子站软件：中文界面，便于用户操作自动校时、自动校准、手动校准可以查询小时均值、日均值、月均值、年均值、配有图形显示具有数据的导入导出功能3套气象系统1)设备用途：用于气象五参数的测定2)配置要求：能够支持接入子站相关数据采集系统3)技术参数：室外传感器单元-50—+60℃，可全天侯野外工作测量参数测量范围精度模拟信号输出风速1-67m/s±0.3m/s4-20mA风向0-360°±1.5°温度-50-+65℃±0.3℃相对湿度0-100%(RH)±3%RH4-20mA气压800-1180hPa±0.5hPa2套机柜、采样、稳压电源等配套采样系统、机架、稳压电源等辅助设施设备用途：本次采购的SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪等设备所必要配备的采样系统、机架、稳压电源等辅助设施配置要求：协调监测设备形成完整的工作良好的系统技术参数：配套采样系统技术参数：a)采样头应能防止雨水、粗大颗粒物及昆虫等进入总管b)采样总管为多支路防水采样管路，材料应选用不与被监测污染物发生化学反应和不释放有干扰物质的材料，具备加热保温功能c)总管内径选择在1.5-15cm之间，采样总管内的气流应保持层流状态，气体在总管内的滞留时间小于20秒d)支管数量满足所有气态项目的需要e)采样管长度应能够保证高于站房房顶1.2米（保证采样不受周边障碍物影响）f)采样系统密封，与房体联接具有法兰或其他型式多级防渗水连接；与房体外联接的法兰必须为耐腐蚀和坚固不锈钢g)采样系统主管路为可拆卸式，在不影响房顶外部法兰连接和仪器端连接情况下方便拆洗维护机架技术参数：h)适当数量的立式机柜，散热性能良好，可容纳本次采购的SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪、零气发生器、校准仪、数采仪等仪器必要时也需要包括相应的其他配套设备i)使用机柜情况下，机柜采用航空级导轨抽拉连接装载仪器，方便拆卸仪器与清洗仪器内部管路，机柜后侧有纵向导轨汇总各仪器的电缆线路j)机柜有接地孔线，所有的连接管线、接头等应采用防腐材质，不与被测污染物发生化学反应稳压电源技术参数：k)稳压电源能够满足SO2、NO2、CO、O3、PM2.5、PM10分析仪、零气发生器、校准仪、数采仪等设备需求，确保上述仪器设备长期稳定运行，不受感应电影响跳变电压，稳压电源可负载超过5KW以上，供仪器正常使用，稳压电源接地3套中心站软件中心站软件l实时数据和历史数据查询功能：用户可随时查询某站点、某时刻的污染物和气象监测数据。l数据处理和报表功能:具有小时、日、月、季、年等均值数据形式及相应的曲线，并可进行打印输出。l空气质量日报和周报功能:具有某天或一周的空气污染指数（AQI）和污染指数历史记录。l仪器状态的查询功能:可实时查询各子站监测仪的工作状态，并可将各子站的停电记录、校准记录、仪器报警等状态信息记录下来。l遥控校时功能:可通过中心站遥控进行子站时间校准，使子站时间与中心站时间保持一致。l遥控校准:在中心控制室可对某个子站的监测仪进行遥控校准，使子站监测仪自动进行校零和校标操作。l多种数据格式的转换功能:监测数据可转换成文本、EXCEL、DBASE等文件格式输出。l界面美观:全中文操作界面，只要单击鼠标，即可完成全部工作。l操作日志记录功能:按时间顺序记录操作员对中心站软件的操作过程。1套能见度测定仪能见度测定仪l原理方法：光学方法l测量范围:10m～50kml测量精度：±15％l输出间隔:60秒；接口RS232长线驱动器（或按用户需求）l电源：电压AC220V（±10%）频率50±2Hzl温度：工作温度-45.0～+50.0℃l相对湿度:5%～95%RHl耐盐雾性：可在沿海地区使用1套站房12平米站房l站房样式：可拆卸彩钢板活动站房，面积4×3×2.65（长×宽×高）（站房外尺寸）l彩钢板厚度不小于0.5mml彩钢板喷涂工艺为：底层采用环氧树脂，面漆采用聚酯、硅改性聚酯工艺。l板材传热系数：0.38kcal/m2h℃l隔音量：20dBl站房底部要求：室内地面为瓷砖或木质地板；l站房房顶要求：密封不漏雨；承重500kg；l墙壁和屋顶材质：带隔热夹层彩钢板；板材厚度：100~150mm。l活动站房材料结构：瓦楞型窗结构，墙体材料应有较好的保温性能，并确保防尘、防水、防雨等。l站房采用平顶倾斜方式，便于排水。l安装的站房应保证抗12级台风。配电要求l站房内采用三相五线供电，入室处装有配电箱，配电箱内连接入室引线应分别装有三个单相15A空气开关作为三相电源的总开关，并安装电源过压、过载和漏电自动保护装置。压缩空气源采用三相五线供电。l站房内供仪器及空调使用的线路单股横截面积不得小于4平方毫米。l所有室内线路走线采用PVC材料护线槽保护。l子站应依照电工规范中的要求制作“保护地线”，用于机柜、仪器外壳等的接地保护，接地电阻应小于4Ω。l子站应装有照明灯，以保证操作人员工作时有足够的亮度。开关位置应在站房进门使用方便处。其它要求l站房内安装的冷暖式空调，所安装空调应具有来电自启动功能，空调的室外机要进行防盗、防雨处理；l站房装有报警式防盗门，配备防盗、自动灭火装置；l站房配备有打开后最大长度4米的折叠梯（折叠后长度2米）；l子站站房应安装有排气风扇，用于室内空气的换送；l子站应安装至少一个可供使用的直拨电话线插座，专门用于数据传输；l站房外壁不得有任何攀爬物；l子站采样亭附近应具有良好的避雷措施，并且要有良好的接地线路，接地电阻4Ω。2套

10月27日，每日科学网报道称，英国南安普敦大学教授研制的一种仪器，可以监测海底天然气管道的泄漏。 　　这种仪器通过监测声波信号的变化，来监测海底天然气管道泄漏和甲烷气体泄漏情况。 　　该仪器依赖水听器系统，能仔细探测到海洋中的气泡。仪器研发者——南安普敦大学教授雷顿称之为海底听水器。雷顿说：“如果你仔细听气泡产生的声音，特别是气泡声的具体幅度和频率，你可以预测所产生的气泡数量和大小。我们一直在关注气体从管道中泄漏再进入海水中的过程。”这种仪器通过使用一个水下麦克风来监测变化，并形成一个具有成本优势、独特的监测系统。该仪器的灵敏性是现有监测器的100倍以上。现有监测器主要是远程长距离监测海底管道的电流监测器。 　　雷顿说，新仪器可为天然气开发商和运输商减少数百万元的损失。天然气泄漏对于附近的石油钻井平台、船运都将带来严重威胁。新仪器可以使人们远距离监控海底管道情况，并尽可能减少天然气的泄漏。这既适用于石化行业，又适用于海底释放的甲烷气体。 　　雷顿认为，新仪器售价能达到1万英镑。它有望安装在海底管道沿线。这种仪器能监测到水下数平方公里的动静。一旦有气体泄漏，它就马上发出警报。新仪器将实现远程监控，同时能控制气体的泄漏量。

美国氯乙烯泄漏警示：事前预警、灾后应对，精密检测仪器“大有可为”2月3日，一列运载危险化学品的火车在美国俄亥俄州脱轨，引发大火。脱轨车厢载有危险化学物质氯乙烯，大量有毒气体被释放。此外，由于事故地点紧邻美国流量第三大河的俄亥俄河，氯乙烯也极有可能污染该河水质。事件一出，有关危险化学品泄漏事故事前预警与灾后应对的话题迅速在网上引发热议。灾后应对：环境应急监测，保障安全该事故发生后，俄亥俄州当地政府立即撤离了污染区的居民，并对污染现场及附近的大气与水体进行了密切监测分析。这也是类似灾害事故中最为常见的应对方法之一。很多化工原料大多具有毒性，发生爆炸或渗漏等意外事故后极易污染大气环境，并有可能渗入土地或溶解于水中，因此对大气、土壤、水体等环境物中有毒物质的监测是非常必要的。精准且高效率的现场监测设备也就成为了事故处置方案中的关键。INFICON HAPSITE ER是一款便携式气质联用仪 (GC/MS)及数据处理工作站，可现场鉴定多种类的化学物质，并在10分钟内提供实验室质量级别的定性和定量结果。目前已经在美国/欧洲/中国/日本等全世界范围内的环境监测，军事国防，消防安全等领域得到广泛应用。事前预警：日常检漏操作，需确保精准灾后应对很重要，但灾前预警更为关键。针对易燃易爆的化学、化工物质，及时发现泄漏、快速查找漏点、排除危险源，是企业或机构确保人身财产安全的重中之重。2022年6月18日，上海石化化工部乙二醇装置区域发生爆炸，乙烯装置燃爆，造成一死一伤，令人痛心。该事故中涉及到的轻质烯烃，因沸点低、易挥发与燃爆的特点，一直是石化企业危险化学品预警监管中的重点与难点。INFICON Micro GC Fusion便携式微型气相色谱，对于该类化学物质有着极强的监测能力，能够在短时间内（一般不超过3分钟）进行定性与定量分析，并可根据燃烧热值调整各管道流量，以避免爆炸的极端危险状况，全面提升石化安全工艺参数。说到易燃易爆的化学物质，燃气可能是我们接触最多也最为熟悉的。截至2020年，我国陆上长输油气管道总里程达17万千米，城镇燃气管网里程已达70万千米。燃气行业的快速发展，在为各行各业提供能源保障的同时，也带来了不容忽视的安全隐患。2021年6月13日，湖北省十堰市发生的重大燃气爆炸事故相信很多人都还印象深刻。而在城市或企业燃气管网的日常监测、预警操作中，精准的泄漏检测方法与技术同样至关重要。INFICON研发的IRwin可燃气体/甲烷泄漏检测仪，是一款独具创新且操作简便的便携式燃气管网巡检和泄漏检测设备，可有效地应对在日常巡检和维抢修中出现的不同情况和条件，灵敏度高、响应迅速且归零快。在湖北十堰事故发生后，INFICON团队也曾携带IRwin参与了十堰市大型安全隐患排查项目，并凭借着高效精准的检测效果得到项目领导的高度认可。常言道，千里之堤，溃于蚁穴。正如一根火车车轴故障引发如此大的生态灾难，在公共事业中，一个小小的泄漏也有可能造成不可逆转的伤害。因此，只有及时响应、精准检测、做好防范，才能保障日常生活、维护公众安全。

BRAND创新的移液器泄漏检测仪（PLT）上市导致活塞式移液器精准度下降最常见的原因是泄漏。而泄漏可能来自于密封圈，活塞或者吸头锥的损坏。许多时候这种导致显著体积误差的泄漏无法用裸眼识别。根据计量仪器监测要求，空气活塞移液器需要定期检查并将结果与ISO 8655-2规定的误差极限相比较。然而，校准证书仅反映了测试当时的结果。两次测试之间的时间非常关键，因为在这段时间内随时可能发生泄漏。即便看不出明显的滴漏,超过80%的送修移液器有泄漏现象并且超出了他们的容差范围。PLT不能替代常规的重力法测试，但可以作为两次校准间的日常移液器检查提供保障。即便最小的泄漏也可被检出！使用移液器的可靠性因此可以得到显著提升。泄漏率与检测泄漏率为单位时间内泄漏的物质的量（质量)。对于空气活塞移液器，PLT检漏仪通过测量压力变化确认泄漏率的值。即，在创造一个负压之后，测定在给定时间内压力的升高值。综合的评价泄漏率的测量需考虑一系列复杂的物理关系。PLT检漏仪内置极限值的计算必须包含如移液器/吸头系统的死体积，移液器吸头的流体截面，单位时间的压力升高，移液器的量程与型号，等等因素。计算一支移液器泄漏体积的极限值使得泄漏率得以计算。这些计算都建立在超过35年的研发与生产移液器的经验之上，包括对死体积与吸液特点以及其他因素的认识。BRAND移液器泄漏检测检测仪的特点：■ 预设市售量程范围自1 μl至10 ml的单通道与多通道移液器的极限值■ 可执行动态或者静态测试以确定移液器活塞或者密封是否存在问题■ 可带吸头或不带吸头检测确认吸头与移液器匹配是否存在问题■ 测试结果数秒显现■ 专利注册想要了解更多，请登录以下链接观看介绍：http://www.brand.de/cn/products/liquid-handling/plt-unit-pipette-leak-test/leak-rates-and-their-detection/或者联系：普兰德（上海）贸易公司电话：+86 21 6422 2318电子邮件地址： info@brand.cn.com

详细介绍产品简介 ZR-1000型口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪主要性能指标不仅符合《医用外科口罩技术要求》YY0469-2004中附录B细菌过滤效率(BFE)试验方法第B.1.1.1试验仪器的要求，而且也符合美国试验材料学会ASTMF2100、ASTMF2101、欧洲EN14683标准规定的要求,并在此基础上进行了创新性改进，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性，适用于计量检定部门、科研院所、口罩生产企业以及其它相关部门对口罩细菌过滤效率的性能测试。执行标准Q/0212 ZRB003-2011 医用外科口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪技术特点负压实验系统，保障操作人员安全；负压柜内置蠕动泵，A、B两路六级安德森(Andersen)；蠕动泵流量大小可设定；专用微生物气溶胶发生器菌夜喷雾流量大小可设定，雾化效果好；嵌入式高速工业微电脑控制；10.4寸工业级高亮度彩色触摸显示屏；USB接口，支持U盘数据转存；柜体内置高亮度照明灯；内置漏电保护开关，保护操作人员安全；柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃；前置开关式玻璃门，便于实验人员观察操作；可拆卸式支架，支架高度可调；支撑、移动两用脚轮。创新点：1、 ZR-1000型口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪主要性能指标不仅符合《医用外科口罩技术要求》YY0469-2004中附录B细菌过滤效率(BFE)试验方法第B.1.1.1试验仪器的要求，而且也符合美国试验材料学会ASTMF2100、ASTMF2101、欧洲EN14683标准规定的要求,并在此基础上进行了创新性改进，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性； 2、负压柜内置蠕动泵，A、B两路六级安德森(Andersen)。 ZR-1000型 口罩细菌过滤效率(BFE)检测仪

摘要随着对性能优于硅基器件的碳化硅（SiC）功率器件的需求不断增长，碳化硅制造工艺的高成本和低良率是尚待解决的最紧迫问题。研究表明，SiC器件的性能很大程度上受到晶体生长过程中形成的所谓杀手缺陷（影响良率的缺陷）的影响。在改进降低缺陷密度的生长技术的同时，能够识别和定位缺陷的生长后检测技术已成为制造过程的关键必要条件。在这篇综述文章中，我们对碳化硅缺陷检测技术以及缺陷对碳化硅器件的影响进行了展望。本文还讨论了改进现有检测技术和降低缺陷密度的方法的潜在解决方案，这些解决方案有利于高质量SiC器件的大规模生产。前言由于电力电子市场的快速增长，碳化硅（SiC，一种宽禁带半导体）成为开发用于电动汽车、航空航天和功率转换器的下一代功率器件的有前途的候选者。与由硅或砷化镓（GaAs）制成的传统器件相比，基于碳化硅的电力电子器件具有多项优势。表1显示了SiC、Si、GaAs以及其他宽禁带材料（如GaN和金刚石）的物理性能的比较。由于具有宽禁带（4H-SiC为~3.26eV），基于SiC器件可以在更高的电场和更高的温度下工作，并且比基于Si的电力电子器件具有更好的可靠性。SiC还具有优异的导热性（约为Si的三倍），这使得SiC器件具有更高的功率密度封装，具有更好的散热性。与硅基功率器件相比，其优异的饱和电子速度（约为硅的两倍）允许更高的工作频率和更低的开关损耗。SiC优异的物理特性使其非常有前途地用于开发各种电子设备，例如具有高阻断电压和低导通电阻的功率MOSFET，以及可以承受大击穿场和小反向漏电流的肖特基势垒二极管（SBD）。性质Si3C-SiC4H-SiCGaAsGaN金刚石带隙能量（eV）1.12.23.261.433.455.45击穿场（106Vcm−1)0.31.33.20.43.05.7导热系数（Wcm−1K−1)1.54.94.90.461.322饱和电子速度（107cms−1)1.02.22.01.02.22.7电子迁移率（cm2V−1s−1)150010001140850012502200熔点（°C）142028302830124025004000表1电力电子用宽禁带半导体与传统半导体材料的物理特性（室温值）对比提高碳化硅晶圆质量对制造商来说很重要，因为它直接决定了碳化硅器件的性能，从而决定了生产成本。然而，低缺陷密度的SiC晶圆的生长仍然非常具有挑战性。最近，碳化硅晶圆制造的发展已经完成了从100mm（4英寸）到150mm（6英寸）晶圆的艰难过渡。SiC需要在高温环境中生长，同时具有高刚性和化学稳定性，这导致生长的SiC晶片中存在高密度的晶体和表面缺陷，导致衬底和随后制造的外延层质量差。图1总结了SiC中的各种缺陷以及这些缺陷的工艺步骤，下一节将进一步讨论。图1SiC生长过程示意图及各步骤引起的各种缺陷各种类型的缺陷会导致设备性能不同程度的劣化，甚至可能导致设备完全失效。为了提高良率和性能，在设备制造之前检测缺陷的技术变得非常重要。因此，快速、高精度、无损的检测技术在碳化硅生产线中发挥着重要作用。在本文中，我们将说明每种类型的缺陷及其对设备性能的影响。我们还对不同检测技术的优缺点进行了深入的讨论。这篇综述文章中的分析不仅概述了可用于SiC的各种缺陷检测技术，还帮助研究人员在工业应用中在这些技术中做出明智的选择（图2）。表2列出了图2中检测技术和缺陷的首字母缩写。图2可用于碳化硅的缺陷检测技术表2检测技术和缺陷的首字母缩写见图SEM：扫描电子显微镜OM：光学显微镜BPD：基面位错DIC：微分干涉对比PL：光致发光TED：螺纹刃位错OCT：光学相干断层扫描CL：阴极发光TSD：螺纹位错XRT：X射线形貌术拉曼：拉曼光谱SF：堆垛层错碳化硅的缺陷碳化硅晶圆中的缺陷通常分为两大类：（1）晶圆内的晶体缺陷和（2）晶圆表面处或附近的表面缺陷。正如我们在本节中进一步讨论的那样，晶体学缺陷包括基面位错（BPDs）、堆垛层错（SFs）、螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）、微管和晶界等，横截面示意图如图3（a）所示。SiC的外延层生长参数对晶圆的质量至关重要。生长过程中的晶体缺陷和污染可能会延伸到外延层和晶圆表面，形成各种表面缺陷，包括胡萝卜缺陷、多型夹杂物、划痕等，甚至转化为产生其他缺陷，从而对器件性能产生不利影响。图3SiC晶圆中出现的各种缺陷。（a）碳化硅缺陷的横截面示意图和（b）TEDs和TSDs、（c）BPDs、（d）微管、（e）SFs、（f）胡萝卜缺陷、（g）多型夹杂物、（h）划痕的图像生长在4°偏角4H-SiC衬底上的SiC外延层是当今用于各种器件应用的最常见的晶片类型。在4°偏角4H-SiC衬底上生长的SiC外延层是当今各种器件应用中最常用的晶圆类型。众所周知，大多数缺陷的取向与生长方向平行，因此，SiC在SiC衬底上以4°偏角外延生长不仅保留了下面的4H-SiC晶体，而且使缺陷具有可预测的取向。此外，可以从单个晶圆上切成薄片的晶圆总数增加。然而，较低的偏角可能会产生其他类型的缺陷，如3C夹杂物和向内生长的SFs。在接下来的小节中，我们将讨论每种缺陷类型的详细信息。晶体缺陷螺纹刃位错（TEDs）、螺纹位错（TSDs）SiC中的位错是电子设备劣化和失效的主要来源。螺纹刃位错（TSDs）和螺纹位错（TEDs）都沿生长轴运行，Burgers向量分别为0001和1/311–20。TSDs和TEDs都可以从衬底延伸到晶圆表面，并带来小的凹坑状表面特征，如图3b所示。通常，TEDs的密度约为8000-10,0001/cm2，几乎是TSDs的10倍。扩展的TSDs，即TSDs从衬底延伸到外延层，可能在SiC外延生长过程中转化为基底平面上的其他缺陷，并沿生长轴传播。Harada等人表明，在SiC外延生长过程中，TSDs被转化为基底平面上的堆垛层错（SFs）或胡萝卜缺陷，而外延层中的TEDs则被证明是在外延生长过程中从基底继承的BPDs转化而来的。基面位错（BPDs）另一种类型的位错是基面位错（BPDs），它位于SiC晶体的平面上，Burgers矢量为1/311–20。BPDs很少出现在SiC晶圆表面。它们通常集中在衬底上，密度为15001/cm2，而它们在外延层中的密度仅为约101/cm2。Kamei等人报道，BPDs的密度随着SiC衬底厚度的增加而降低。BPDs在使用光致发光（PL）检测时显示出线形特征，如图3c所示。在SiC外延生长过程中，扩展的BPDs可能转化为SFs或TEDs。微管在SiC中观察到的常见位错是所谓的微管，它是沿生长轴传播的空心螺纹位错，具有较大的Burgers矢量0001分量。微管的直径范围从几分之一微米到几十微米。微管在SiC晶片表面显示出大的坑状表面特征。从微管发出的螺旋，表现为螺旋位错。通常，微管的密度约为0.1–11/cm2，并且在商业晶片中持续下降。堆垛层错（SFs）堆垛层错(SFs)是SiC基底平面中堆垛顺序混乱的缺陷。SFs可能通过继承衬底中的SFs而出现在外延层内部，或者与扩展BPDs和扩展TSDs的变换有关。通常，SFs的密度低于每平方厘米1个，并且通过使用PL检测显示出三角形特征,如图3e所示。然而，在SiC中可以形成各种类型的SFs，例如Shockley型SFs和Frank型SFs等，因为晶面之间只要有少量的堆叠能量无序可能导致堆叠顺序的相当大的不规则性。点缺陷点缺陷是由单个晶格点或几个晶格点的空位或间隙形成的，它没有空间扩展。点缺陷可能发生在每个生产过程中，特别是在离子注入中。然而，它们很难被检测到，并且点缺陷与其他缺陷的转换之间的相互关系也是相当的复杂，这超出了本文综述的范围。其他晶体缺陷除了上述各小节所述的缺陷外，还存在一些其他类型的缺陷。晶界是两种不同的SiC晶体类型在相交时晶格失配引起的明显边界。六边形空洞是一种晶体缺陷，在SiC晶片内有一个六边形空腔，它已被证明是导致高压SiC器件失效的微管缺陷的来源之一。颗粒夹杂物是由生长过程中下落的颗粒引起的，通过适当的清洁、仔细的泵送操作和气流程序的控制，它们的密度可以大大降低。表面缺陷胡萝卜缺陷通常，表面缺陷是由扩展的晶体缺陷和污染形成的。胡萝卜缺陷是一种堆垛层错复合体，其长度表示两端的TSD和SFs在基底平面上的位置。基底断层以Frank部分位错终止，胡萝卜缺陷的大小与棱柱形层错有关。这些特征的组合形成了胡萝卜缺陷的表面形貌，其外观类似于胡萝卜的形状，密度小于每平方厘米1个，如图3f所示。胡萝卜缺陷很容易在抛光划痕、TSD或基材缺陷处形成。多型夹杂物多型夹杂物，通常称为三角形缺陷，是一种3C-SiC多型夹杂物，沿基底平面方向延伸至SiC外延层表面，如图3g所示。它可能是由外延生长过程中SiC外延层表面上的下坠颗粒产生的。颗粒嵌入外延层并干扰生长过程，产生了3C-SiC多型夹杂物，该夹杂物显示出锐角三角形表面特征，颗粒位于三角形区域的顶点。许多研究还将多型夹杂物的起源归因于表面划痕、微管和生长过程的不当参数。划痕划痕是在生产过程中形成的SiC晶片表面的机械损伤，如图3h所示。裸SiC衬底上的划痕可能会干扰外延层的生长，在外延层内产生一排高密度位错，称为划痕，或者划痕可能成为胡萝卜缺陷形成的基础。因此，正确抛光SiC晶圆至关重要，因为当这些划痕出现在器件的有源区时，会对器件性能产生重大影响。其他表面缺陷台阶聚束是SiC外延生长过程中形成的表面缺陷，在SiC外延层表面产生钝角三角形或梯形特征。还有许多其他的表面缺陷，如表面凹坑、凹凸和污点。这些缺陷通常是由未优化的生长工艺和不完全去除抛光损伤造成的，从而对器件性能造成重大不利影响。检测技术量化SiC衬底质量是外延层沉积和器件制造之前必不可少的一步。外延层形成后，应再次进行晶圆检查，以确保缺陷的位置已知，并且其数量在控制之下。检测技术可分为表面检测和亚表面检测，这取决于它们能够有效地提取样品表面上方或下方的结构信息。正如我们在本节中进一步讨论的那样，为了准确识别表面缺陷的类型，通常使用KOH（氢氧化钾）通过在光学显微镜下将其蚀刻成可见尺寸来可视化表面缺陷。然而，这是一种破坏性的方法，不能用于在线大规模生产。对于在线检测，需要高分辨率的无损表面检测技术。常见的表面检测技术包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、光学显微镜（OM）和共聚焦微分干涉对比显微镜（CDIC）等。对于亚表面检测，常用的技术包括光致发光（PL）、X射线形貌术（XRT）、镜面投影电子显微镜（MPJ）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱等。在这篇综述中，我们将碳化硅检测技术分为光学方法和非光学方法，并在以下各节中对每种技术进行讨论。非光学缺陷检测技术非光学检测技术，即不涉及任何光学探测的技术，如KOH蚀刻和TEM，已被广泛用于表征SiC晶圆的质量。这些方法在检测SiC晶圆上的缺陷方面相对成熟和精确。然而，这些方法会对样品造成不可逆转的损坏，因此不适合在生产线中使用。虽然存在其他非破坏性的检测方法，如SEM、CL、AFM和MPJ，但这些方法的通量较低，只能用作评估工具。接下来，我们简要介绍上述非光学技术的原理。还讨论了每种技术的优缺点。透射电子显微镜（TEM）透射电子显微镜（TEM）可用于以纳米级分辨率观察样品的亚表面结构。透射电镜利用入射到碳化硅样品上的加速电子束。具有超短波长和高能量的电子穿过样品表面，从亚表面结构弹性散射。SiC中的晶体缺陷，如BPDs、TSDs和SFs，可以通过TEM观察。扫描透射电子显微镜（STEM）是一种透射电子显微镜，可以通过高角度环形暗场成像（HAADF）获得原子级分辨率。通过TEM和HAADF-STEM获得的图像如图4a所示。TEM图像清晰地显示了梯形SF和部分位错，而HAADF-STEM图像则显示了在3C-SiC中观察到的三种SFs。这些SFs由1、2或3个断层原子层组成，用黄色箭头表示。虽然透射电镜是一种有用的缺陷检测工具，但它一次只能提供一个横截面视图，因此如果需要检测整个碳化硅晶圆，则需要花费大量时间。此外，透射电镜的机理要求样品必须非常薄，厚度小于1μm，这使得样品的制备相当复杂和耗时。总体而言，透射电镜用于了解缺陷的基本晶体学，但它不是大规模或在线检测的实用工具。图4不同的缺陷检测方法和获得的缺陷图像。（a）SFs的TEM和HAADF图像；（b）KOH蚀刻后的光学显微照片图像；（c）带和不带SF的PL光谱，而插图显示了波长为480nm的单色micro-PL映射；（d）室温下SF的真彩CLSEM图像；（e）各种缺陷的拉曼光谱；（f）微管相关缺陷204cm−1峰的微拉曼强度图KOH蚀刻KOH蚀刻是另一种非光学技术，用于检测多种缺陷，例如微管、TSDs、TEDs、BDPs和晶界。KOH蚀刻后形成的图案取决于蚀刻持续时间和蚀刻剂温度等实验条件。当将约500°C的熔融KOH添加到SiC样品中时，在约5min内，SiC样品在有缺陷区域和无缺陷区域之间表现出选择性蚀刻。冷却并去除SiC样品中的KOH后，存在许多具有不同形貌的蚀刻坑，这些蚀刻坑与不同类型的缺陷有关。如图4b所示，位错产生的大型六边形蚀刻凹坑对应于微管，中型凹坑对应于TSDs，小型凹坑对应于TEDs。KOH刻蚀的优点是可以一次性检测SiC样品表面下的所有缺陷，制备SiC样品容易，成本低。然而，KOH蚀刻是一个不可逆的过程，会对样品造成永久性损坏。在KOH蚀刻后，需要对样品进行进一步抛光以获得光滑的表面。镜面投影电子显微镜（MPJ）镜面投影电子显微镜（MPJ）是另一种很有前途的表面下检测技术，它允许开发能够检测纳米级缺陷的高通量检测系统。由于MPJ反映了SiC晶圆上表面的等电位图像，因此带电缺陷引起的电位畸变分布在比实际缺陷尺寸更宽的区域上。因此，即使工具的空间分辨率为微米级，也可以检测纳米级缺陷。来自电子枪的电子束穿过聚焦系统，均匀而正常地照射到SiC晶圆上。值得注意的是，碳化硅晶圆受到紫外光的照射，因此激发的电子被碳化硅晶圆中存在的缺陷捕获。此外，SiC晶圆带负电，几乎等于电子束的加速电压，使入射电子束在到达晶圆表面之前减速并反射。这种现象类似于镜子对光的反射，因此反射的电子束被称为“镜面电子”。当入射电子束照射到携带缺陷的SiC晶片时，缺陷的带负电状态会改变等电位表面，导致反射电子束的不均匀性。MPJ是一种无损检测技术，能够对SiC晶圆上的静电势形貌进行高灵敏度成像。Isshiki等人使用MPJ在KOH蚀刻后清楚地识别BPDs、TSDs和TEDs。Hasegawa等人展示了使用MPJ检查的BPDs、划痕、SFs、TSDs和TEDs的图像，并讨论了潜在划痕与台阶聚束之间的关系。原子力显微镜（AFM）原子力显微镜（AFM）通常用于测量SiC晶圆的表面粗糙度，并在原子尺度上显示出分辨率。AFM与其他表面检测方法的主要区别在于，它不会受到光束衍射极限或透镜像差的影响。AFM利用悬臂上的探针尖端与SiC晶圆表面之间的相互作用力来测量悬臂的挠度，然后将其转化为与表面缺陷特征外观成正比的电信号。AFM可以形成表面缺陷的三维图像，但仅限于解析表面的拓扑结构，而且耗时长，因此通量低。扫描电子显微镜（SEM）扫描电子显微镜（SEM）是另一种广泛用于碳化硅晶圆缺陷分析的非光学技术。SEM具有纳米量级的高空间分辨率。加速器产生的聚焦电子束扫描SiC晶圆表面，与SiC原子相互作用，产生二次电子、背散射电子和X射线等各种类型的信号。输出信号对应的SEM图像显示了表面缺陷的特征外观，有助于理解SiC晶体的结构信息。但是，SEM仅限于表面检测，不提供有关亚表面缺陷的任何信息。阴极发光（CL）阴极发光（CL）光谱利用聚焦电子束来探测固体中的电子跃迁，从而发射特征光。CL设备通常带有SEM，因为电子束源是这两种技术的共同特征。加速电子束撞击碳化硅晶圆并产生激发电子。激发电子的辐射复合发射波长在可见光谱中的光子。通过结合结构信息和功能分析，CL给出了样品的完整描述，并直接将样品的形状、大小、结晶度或成分与其光学特性相关联。Maximenko等人显示了SFs在室温下的全彩CL图像，如图4d所示。不同波长对应的SFs种类明显，CL发现了一种常见的单层Shockley型堆垛层错，其蓝色发射在~422nm，TSD在~540nm处。虽然SEM和CL由于电子束源而具有高分辨率，但高能电子束可能会对样品表面造成损伤。基于光学的缺陷检测技术为了在不损失检测精度的情况下实现高吞吐量的在线批量生产，基于光学的检测方法很有前途，因为它们可以保存样品，并且大多数可以提供快速扫描能力。表面检测方法可以列为OM、OCT和DIC，而拉曼、XRT和PL是表面下检测方法。在本节中，我们将介绍每种检测方法的原理，这些方法如何应用于检测缺陷，以及每种方法的优缺点。光学显微镜（OM）光学显微镜（OM）最初是为使用光学和光学放大元件近距离观察样品而开发的，可用于检查表面缺陷。该技术能够在暗场模式、明场模式和相位模式下生成图像，每种模式都提供特定的缺陷信息，并且这些图像的组合提供了识别大多数表面缺陷的能力。当检测灯照射在SiC晶圆表面时，暗场模式通过表面缺陷捕获散射光，因此图像具有深色背景，排除了未散射的光以及指示缺陷位置的明亮物体。另一方面，明场模式捕获未散射的光，由于缺陷的散射，显示带有深色物体的白色背景图像。相位模式捕获相移图像，这些图像由SiC晶圆表面的污染积累，显示相差图像。OM的散射图像在横向分辨率上具有优势，而相差图像主要针对检查晶圆表面的光滑度。一些研究已经有效地利用光学显微镜来表征表面缺陷。PeiMa等人发现，非常薄的胡萝卜缺陷或微管缺陷太小，无法通过光学相干断层扫描（OCT）进行检查，但由于其在横向分辨率方面的优势，可以通过光学显微镜进行检查。Zhao等利用OM研究了多型夹杂物、表面凹坑和台阶聚束的成因。光学相干断层扫描（OCT）光学相干断层扫描（OCT）是一种光学检测技术，可以提供所研究样品的快速、无损和3D地下图像。由于OCT最初用于诊断许多疾病，因此其大部分应用都是解析生物和临床生物医学样本的图像。然而，由于可见光和红外波长的先进光学元件的发展，OCT的分辨率已提高到亚微米级，因此人们对应用OCT检测SiC晶圆缺陷的兴趣日益浓厚。OCT中使用的光源具有宽带光谱，由可见光和红外区域的宽范围频率组成，因此相干长度很小，这意味着轴向分辨率可以非常高，而横向分辨率取决于光学器件的功能。OCT的原理基于低相干干涉测量，这通常是迈克尔逊型设置。OCT的光源分为两个臂，一个参考臂和一个检查臂。照射到参考臂的光束被反射镜反射，而照射到检测臂的光束被碳化硅晶圆反射。通过在参考臂中移动反射镜，两束光束的组合会产生干涉，但前提是两束光束之间的光程差小于相干长度。因此，探测器获取的干涉信号包含SiC晶圆的横截面信息，通过横向组合这些横截面检测，可以实现OCT的3D图像。然而，OCT的检测速度和横向分辨率仍无法与其他二维检测技术相媲美，工作光谱范围内表面散射和吸收损耗的干扰是OCT成像的主要局限性。PeiMa等人使用OCT分析胡萝卜缺陷、多型夹杂物、晶界和六边形空隙。Duncan等人应用OCT研究了单晶SiC的内部结构。微分干涉对比（DIC）微分干涉对比（DIC）是一种将相差引入表面缺陷图像的显微镜技术。与OM相比，使用DIC的优点是DIC的分辨率远高于OM的相位模式，因为DIC中的图像形成不受孔径的限制，并且DIC可以通过采用共聚焦扫描系统产生三维缺陷图像。DIC的光源通过偏振片进行线偏振，然后通过沃拉斯顿棱镜分成两个正交偏振子光束，即参考光束和检查光束。参考光束撞击碳化硅晶圆的正常表面，而检测光束撞击有缺陷的碳化硅晶圆表面，产生与缺陷几何形状和光程长度改变相对应的相位延迟。由于两个子光束是正交偏振的，因此在检测过程中它们不会相互干扰，直到它们再次通过沃拉斯顿棱镜并进入分析仪以生成特定于缺陷的干涉图案。然后，处理器接收缺陷信号，形成二维微分干涉对比图像。为了生成三维图像，可以使用共聚焦扫描系统来关闭偏离系统焦点的两个子光束，以避免错误检测。因此，通过使共聚焦系统的焦点沿光轴方向移动，可以获得SiC晶圆表面的三维缺陷图像。Sako等人表明，使用CDIC在SiC外延层上观察到具有刮刀形表面轮廓的表面缺陷。Kitabatake等人建立了使用CDIC的综合评估平台，以检查SiC晶圆和外延薄膜上的表面缺陷。X射线衍射形貌（XRT）X射线衍射形貌（XRT）是一种强大的亚表面检测技术，可以帮助研究SiC晶片的晶体结构，因为X射线的波长与SiC晶体原子间平面之间的距离相当。它用于通过测量由于缺陷引起的应变场引起的衍射强度变化来评估SiC晶圆的结构特性。这意味着晶体缺陷会导致晶格间距的变化或晶格周围的旋转，从而形成应变场。XRT常用于高通量、足分辨率的生产线；然而，它需要一个大规模的X射线发射装置，其缺陷映射能力仍然需要改进。XRT的图像形成机理基于劳厄条件（动量守恒），当加热灯丝产生的电子束被准直并通过高电势加速以获得足够的能量时，会产生一束准直的X射线，然后将其引导到金属阳极。当X射线照射到SiC晶片上时，由于X射线从SiC的原子间平面以特定角度散射的相长干涉和相消干涉，形成具有几个狭窄而尖锐峰的独特衍射图，并由探测器进行检查。因此，晶体缺陷可以通过衍射峰展宽分析来表征，如果不存在缺陷，衍射光谱又窄又尖锐 否则，如果存在缺陷引起的应变场，则光谱会变宽或偏移。XRT的检测机理是基于X射线衍射而不是电子散射，因此XRT被归类为光学技术，而SEM是一种非光学技术。Chikvaidze等人使用XRT来确认SiC样品中具有不同堆叠顺序的缺陷。Senzaki等人表明，扩展BPDs到TED的转变是在电流应力测试下使用XRT检测的三角形单个Shockley型堆垛层错（1SSF）的起源。当前的在线XRT通常用于识别缺陷结构，而没有来自其他检测技术（如PL和OM）的可识别检测信号。光致发光（PL）光致发光（PL）是用于检测晶体缺陷的最常用的亚表面检测技术之一。PL的高产量使其适用于在线批量生产。SiC是一种间接带隙半导体，在约380nm波长的近带边缘发射处显示PL。SiC晶片中在贯穿缺陷水平的重组可能是辐射性的。基于UV激发的PL技术已被开发用于识别SiC晶片内部存在的缺陷，如BPDs和SFs。然而，没有特征PL特征或相对于无缺陷SiC区域具有弱PL对比度的缺陷，如划痕和螺纹位错，应通过其他检查方法进行评估。由于发射能量根据缺陷的陷阱能级而变化，因此可以使用具有光谱分辨率的PL图像来区分每种类型的缺陷并对其进行映射。由于SF诱导的量子阱状能带结构，多型SF的PL光谱在350–550nm的波长范围内表现出多峰光谱。每种类型的SF都可以通过使用带通滤光片检查它们的发射光谱来区分，该滤光片滤除单个光谱，如图4c所示。Berwian等人构建了一种基于UV-PL的缺陷发光扫描仪，以清楚地检测BPDs、SFs和多型夹杂物。Tajima等人使用具有从深紫外到可见光和近红外等各种激发波长的PL来检测TEDs、TSDs、SFs，并检查PL与蚀刻凹坑图案之间的相关性。然而，一些缺陷的PL图像是相似的，如BPDs和胡萝卜缺陷，它们都表现出线状特征，使得PL难以区分它们，因此其他结构分析工具，如XRT或拉曼光谱，通常与PL并行使用，以准确区分这些缺陷。拉曼光谱拉曼光谱在生物学、化学和纳米技术中具有广泛的应用，用于识别分子、化学键和纳米结构的特征。拉曼光谱是一种无损的亚表面检测方法，可以验证SiC晶片中不同的晶体结构和晶体缺陷。通常，SiC晶圆由激光照射，激光与SiC中的分子振动或声子相互作用，使分子进入虚拟能量状态，导致被检测光子的波长向上或向下移动，分别称为斯托克斯拉曼散射或反斯托克斯拉曼散射。波长的偏移提供了有关SiC振动模式的信息，对应于不同的多型结构。研究表明，在实测的拉曼光谱中，200和780cm−1处的特征峰表示SiC的4H-多型，而160、700和780cm−1处的特征峰表示SiC的6H-多型。Chikvaidze等人使用拉曼光谱证实了2C-SiC样品中存在拉曼峰约为796和971cm−1的3H-SiC多型。Hundhausen等人利用拉曼光谱研究了高温退火过程中3C-SiC的多型转化。Feng等人发现了微管、TSDs和TEDs的峰值中心偏移和强度变化，如图4e所示。对于空间信息，拉曼映射的图像如图4f所示。通常，拉曼散射信号非常微弱，因此拉曼光谱需要很长时间才能收集到足够的信号。该技术可用于缺陷物理的详细分析，但由于信号微弱和电流技术的限制，它不适合在线检测。缺陷对设备的影响每种类型的缺陷都会对晶圆的质量产生不利影响，并使随后在其上制造的器件失效。缺陷和设备故障之间的劣化与杀伤率有关，杀伤率定义为估计导致设备故障的缺陷比例。每种缺陷类型的杀伤率因最终应用而异。具体而言，那些对器件造成重大影响的缺陷被称为杀手缺陷。先前的研究表明，缺陷与器件性能之间存在相关性。在本节中，我们将讨论不同缺陷对不同设备的影响。在MOSFET中，BPDs会增加导通电阻并降低栅极氧化层的可靠性。微管限制了运行电流并增加了泄漏电流，而SFs，胡萝卜和多型夹杂物等缺陷降低了阻断电压，表面上的划痕会导致可靠性问题。Isshiki等人发现，SiC衬底下存在潜在的划痕，包括复杂的堆垛层错和位错环，导致SiC-MOSFET中氧化膜的台阶聚束和介电强度下降。其他表面缺陷（如梯形特征）可能会对SiCMOSFET的沟道迁移率或氧化物击穿特性产生重大影响。在肖特基势垒二极管中，BPDs、TSDs和TEDs增加了反向漏电流，而微管和SFs降低了阻断电压。胡萝卜缺陷和多型夹杂物都会降低阻断电压并增加泄漏电流，而划痕会导致屏障高度不均匀。在p-n二极管中，BPD增加了导通电阻和漏电流，而TSDs和TEDs降低了阻断电压。微管限制了工作电流并增加了泄漏电流，而SF增加了正向电压。胡萝卜和多型夹杂物会降低阻断电压并增加漏电流，而表面上的划痕对p-n二极管没有直接影响。Skowronski等人表明，在二极管工作期间，SiC外延层内的BPDs转化为SFs，或者允许SFs通过导电沿着BPDs延伸，导致电流退化，从而增加SiCp-n二极管的电阻。研究还证明，SFs可能产生3C-SiC多型，导致SiCp-n二极管的少数载流子寿命缩短，因为3C-SiC多型的带隙低于4H-SiC多型，因此SFs充当量子阱，提高了复合率。此外，在PL表征下，单个Shockley型SFs膨胀，导致结电位发生变化，进而降低SiCp-n二极管的导通电阻。此外，TSDs会导致阻断电压下降，TEDs会降低SiCp-n二极管的少数载流子寿命。在双极器件中，BPD会降低栅极氧化层的可靠性，而TSD和TED会降低载流子寿命。微管限制了工作电流，而SF缩短了载流子寿命。胡萝卜和多型夹杂物会降低阻断电压，增加泄漏电流，并缩短载流子寿命。SiC中的点缺陷（空位）会缩短器件的载流子寿命，导致结漏电流并导致击穿电压降低。尽管点缺陷对电子设备有负面影响，但它们也有一些有用的应用，例如在量子计算中。Lukin等人发现，SiC中的点缺陷，如硅空位和碳空位，可以产生具有合适自旋轨道属性的稳定束缚态，作为量子计算的硬件平台选择。缺陷对不同器件的影响如图5所示。可以看出，缺陷会以多种方式恶化器件特性。虽然可以通过设计不同的设备结构来抵消缺陷的负面影响，但迫切需要建立一个快速准确的缺陷检测系统，以帮助人们观察缺陷并进一步优化过程以减少缺陷。请注意，分析SiC器件的特性以识别缺陷的类型和存在可能被用作缺陷检查方法（图6、7）。图5缺陷对不同设备的影响图6人工智能辅助的缺陷检测和设备性能评估图7利用激光减少制造过程中缺陷的方法高效的缺陷检测系统需要能够同时识别表面缺陷和晶体缺陷，将所有缺陷归入正确的类别，然后利用多通道机器学习算法显示整个晶圆的缺陷分布数据映射。Kawata等人设计了一种双折射图像中n型SiC晶圆位错对比度的自动检测算法，并以较高的精度和灵敏度成功检测了XRT图像位错对比度的位置。Leonard等人使用深度卷积神经网络（DCNN）机器学习进行自动缺陷检测和分类，方法是使用未蚀刻晶圆的PL图像和相应蚀刻晶圆的自动标记图像作为训练集。DCNN确定的缺陷位置和分类与随后刻蚀刻的特征密切相关。Monno等人提出了一种深度学习系统，该系统通过SEM检查SiC衬底上的缺陷，并以70%的准确率对其进行分类。该方法可以在不出现线性缺陷不一致的情况下组合多个瓦片，并能对126个缺陷进行检测和分类，具有很好的精度。除了检测缺陷外，降低缺陷密度也是提高SiC器件质量和良率的有用方法。通过使用无微管种子或基于溶液的生长，可以降低微管和TSD的密度。为了减少机械过程引起的表面缺陷，一些研究指出，飞秒激光可用于提高化学-机械平坦化的效率和切割质量。飞秒激光退火还可以提高Ni和SiC之间的欧姆接触质量，增加器件的导电性。除了飞秒激光的应用外，其他一些团队还发现，使用激光诱导液相掺杂（LILPD）可以有效减少过程中产生的损伤。结论在这篇综述文章中，我们描述了缺陷检测在碳化硅行业中的重要性，尤其是那些被称为杀手级缺陷的缺陷。本文全面综述了SiC晶圆生产过程中经常出现的晶体学和表面缺陷的细节，以及这些缺陷在不同器件中引起的劣化性质。表面缺陷对大多数器件都是有害的，而晶体缺陷则对缺陷转化和晶圆质量有风险。在了解了缺陷的影响之后，我们总结了常见的表面和亚表面检测技术的原理，这些技术在缺陷检测中的应用，以及每种方法的优缺点。破坏性检测技术可以提供可观察、可靠和定量的信息 然而，这些不能满足在线批量生产的要求，因为它们非常耗时，并且对样品的质量产生不利影响。另一方面，无损检测技术，尤其是基于光学的技术，在生产线上更适用、更高效。请注意，不同的检测技术是相辅相成的。检测技术的组合使用可能会在吞吐量、分辨率和设备复杂性之间取得平衡。未来，有望将具有高分辨率和快速扫描能力的无损检测方法集成到能够同时检测表面缺陷和晶体缺陷的完美缺陷检测系统中，然后使用多通道机器学习算法将所有缺陷分配到正确的类别，并将缺陷分布数据的映射图像显示到整个SiC晶圆上。原文链接：Defect Inspection Techniques in SiC | Discover Nano (springer.com)

谱育科技 EXPEC 1880红外热成像气体泄漏检测仪 EXPEC 1880 红外热成像气体泄漏检测仪（以下简称EXPEC 1880）是一款针对挥发性有机气体（VOCs）的非接触式泄漏检测仪，采用高端中波制冷型二类超晶格红外探测器。该产品通过Ex ic nc op is II c T4 Gc防爆认证，防护等级高（IP54）。照妖镜——化无形为有形肉眼即可见泄漏气体超能力——不可达点检测实现远距离检测泄漏黄金搭档——定性定量检测EXPEC 1880＋EXPEC 3100组合1、定性定量分析 EXPEC 1880 红外热成像仪 与 EXPEC 3100 便携式VOCs分析仪通过工业级WIFI连接，实现了设备间的检测数据实时互通（氢火焰离子法FID＋光离子法PID），在快速影像捕捉泄漏气体的同时，实时显示VOCs泄漏值。2、不可达点检测 EXPEC 1880 可针对不可达密封点进行红外热成像气体泄漏检测，即使不接近泄漏点，也可实现远距离泄漏检测，有效避免不必要危险和损失，保障操作人员安全。 ☆ 生态环境部2019年6月26日发布《重点行业挥发性有机物综合治理方案》（环大气〔2019〕53号）中指出：对不可达密封点采用红外法检测。 ☆ 生态环境部2020年6月19日发布《关于征求等三项标准意见的函》中的《加油站大气污染物排放标准（征求意见稿）》指出：采用红外摄像方式检测油气回收系统密闭连接点位，不应有可见油气泄漏。3、多模式选择 EXPEC 1880具有可见光、普通红外、高灵敏红外三种模式。在检测时可快捷切换不同模式，发现泄漏组件，精准定位泄漏源头，让微小气体也无处遁形。4、优越性能配置（1）4.3英寸可旋转触摸屏＋800*600像素取景器（2）手柄符合人体工学，可180度旋转调节。（3）启动时间≤5分钟，做到分秒必争，提高现场检测工作效率。（4）连接防爆手操器，可实现与谱育LDAR管理平台数据互通；也可通过防爆手操器实现远程监控。（5）GPS定位、视音频录制功能，便于现场取证。5、多领域应用 石油化工厂、炼油厂、井场， 油气储集区、加油站、天然气管道、海上石油平台、泄漏检测与修复（LDAR）、环保监督执法部门等。

HVLD高压泄露法密封性检测无损检测仪型号：HVA 200产地/品牌：意大利 Xepics赛派克斯 关于密封性检测 药品包装密封性检测作为在产品生产后端常用的检测手段，是确保相关产品包装合格及产品质量持续合格的几道检测工序之一，也是生产质控中最容易忽视的检测工序之一，近年来由于美国药典USP的逐步影响，药品包装密封性检测日益受到广泛用户的重视；在制药行业，常用的密封性检测手段包括了传统的水浴染色法、水浴气泡法、微生物检测法等，这些方法都是有损检测方法，并且人工主观性比较强，美国USP则着重推荐无损密封性检测方法，这些无损密封性检测方法包括了真空衰减法、压力衰减法、氦气示踪气体法、高压放电法等多种检测方法，这些方法都是由设备自动进行检测并判断检测结果，因此更能准确客观地呈现样品的客观检测结果。 高压放电法 高压放电泄漏检测技术是一种离线实验室检漏仪器，它利用HVLD泄漏检测技术，检查个别样品的包装完整性。 HVLD完全可以对样品非破坏性，非接触式，非侵入性检漏，且没有必要准备试验样品。包装/容器的材料必须是不导电（玻璃，塑料，聚层压板）。 HVLD可以用于液体产品的检漏，包括悬浮液，乳液和蛋白产品种类繁多。 HVLD已被证明是一个高度敏感的药品包装（预充式注射器，充满液体瓶，吹塑填充密封容器，输液袋等装满液体袋）各类泄漏测试方法。 原理：装置由两个主电极（阳极和阴极）组成，该系统测量由电压电位应用产生的放电电流如果容器密封完整性受到裂纹的影响，针孔和不适当的密封降低了电路电容，同时增加了电极之间的电流 仪器特点无损、非侵入、无需样品制备重复性和准确度高适用于所有注射剂产品,包括极低导电率的液体(注射用水)ms数量级的测试时间，高效、快速扫描样品适用于各种规格的包装容器，无需额外的模具简化检测和验证过程高品质零件，使用寿命长，可全天候使用实验室和在线检测 标准规格适用容器安瓿瓶，西林瓶，预充针等容器内容物 导电液体容器材质 玻璃、塑料容器尺寸 直径8-39mm， 高度35-110mm填充量 1-30mL方法/技术 高压密封性检测(HVLD)电压 30KV液体电导率低至1μs/cm（根据产品和包装特性）机械输出速率每分钟200个样品瓶 技术规格设备尺寸(Wx Dx H) 220x100x120cm 供电需求 110-240VAC，50-60Hz，2KW 控制器 PC机 操作系统 Windows10 操作界面 触摸屏8“ 网络通信 以太网 Xepics HVLD解决方案的范围包括：实验室单元-批处理和实验室检查生产设备-设计为提供的检查能力在线/离线实验室设备-高压实验室：样品旋转系统可配置以处理各种容器大小和类型生产设备：玻璃容器HVA 200和HVA 400，生产速度200 cpm或400 cpmBFS/FFS塑料容器HVB，生产速度120 cpm在线（输送机进出）/离线（托盘进出）配置 创新点：我们的无损密封性检测方法包括了真空衰减法、压力衰减法、氦气示踪气体法、高压放电法等多种检测方法 HVLD高压泄露法密封性检测无损检测仪

详细介绍产品简介ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪的主要性能指标符合YY/T1497-2016医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-x174噬菌体测试方法，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性，适用于计量检定部门、科研院所、口罩生产企业以及其它相关部门对口罩病毒过滤效率的性能测试。 执行标准YY/T1497-2016 医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-X174噬菌体测试方法 技术特点负压实验系统，保证操作人员安全；负压柜内置蠕动泵，A、B两路液体冲击式采样器；蠕动泵流量大小可设定；专用微生物气溶胶发生器喷雾流量大小可设定，雾化效果好；嵌入式高速工业微电脑控制；10.4寸工业级高亮度彩色触摸显示屏；USB接口，支持U盘数据转存；柜体内置高亮度照明灯；柜体内置紫外线消毒杀菌灯；内置漏电保护开关，保护操作人员安全；柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃设计；前置开关式玻璃门，便于实验人员观察操作；可拆卸式支架，支架高度可调；支撑、移动两用脚轮。创新点：1、ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪的主要性能指标符合YY/T1497-2016医用防护口罩材料病毒过滤效率评价Phi-x174噬菌体测试方法，采用双气路同时对比采样方法，提高了采样的准确性； 2、专用微生物气溶胶发生器喷雾流量大小可设定，雾化效果好； 3、柜体内层不锈钢整体加工成型，外层喷塑冷轧板，内外层之间保温、阻燃设计。 ZR-1000A型口罩病毒过滤效率（VFE）检测仪

弥漫在化工厂周围的难闻气味，通常来源于管道衔接处的有机挥发物泄露，相对于集中排放，由于排放量小，过去并没有作为大气污染控制的重点。为进一步加大对环境污染源的控制，打造无异味工厂，天津石化投入900万元购入红外检测仪，并与近日正式投入使用，大大提高了对挥发性有机物的检测精度。 　　&ldquo 以前的时候要检测的话，就喷一些肥皂水，如果有泄露的话，肥皂水就会起泡泡。适用于泄露比较大的情况下，泄露比较小，根本是检测不出来的。&rdquo 天津石化炼油部联合五车间副主任刘景明介绍说。 　　为及时杜绝污染，天津石化在企业内部制定了管控标准，对有机物的渗漏浓度、修复流程、复检时限都作出了严格规定，确保不出现二次渗漏。在首次接受检测的15000个点位中，发现了300多个渗漏超标点位，目前都已完成修复，并逐一建档，每月复检。未来2-3年，天津石化还将投资3亿元，实现对全厂37套生产装置微小渗漏检测的全覆盖。 　　&ldquo 以炼油部的这套装置为实验基地，进行数据的监测和收集，把有机挥发物的泄露能达到一种最低水平。&rdquo 天津石化安全环保部部长高海山表示。 　　随着对大气治理力度的加大，天津将以天津石化作为试点，制定挥发物微渗漏的统一排放标准，对全市所有化工企业的微渗漏情况进行管控。 仪器信息网整理

项目编号：YTZS-ZBDL-20230101项目名称：广东省特种设备检测研究院中山检测院2023年度设备采购项目二采购方式：公开招标预算金额：1,370,000.00元采购需求：合同包1(采购包1(广东省特种设备检测研究院中山检测院2023年度设备采购项目二)):合同包预算金额：1,370,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他仪器仪表高低温拉力试验机1(台)详见采购文件440,000.00-1-2其他仪器仪表可程式恒温恒湿试验箱1(台)详见采购文件200,000.00-1-3其他仪器仪表全自动影像测量仪1(台)详见采购文件280,000.00-1-4其他仪器仪表设备在线监测分析系统1(台)详见采购文件220,000.00-1-5其他仪器仪表声波成像泄漏检测仪1(台)详见采购文件230,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：签订合同后60天内完成安装调试。

一、项目基本情况 项目编号：GXZC2024-G1-005205-GSZB 项目名称：计量标准仪器设备采购 预算总金额（元）：11620000 采购需求：标项一标项名称:计量标准仪器设备采购A分标数量:13预算金额（元）:6070000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：砝码智能提升系统1套、比较法中频振动标准装置1套、转速标准装置1套、带弹簧管压力表的气体减压器校准装置1套、压力变送器现场在线检定装置1套、220kV电力互感器检定装置1套、线宽测量装置1套、医用漏电流测试仪检定装置1套、电池充放电测试仪校准装置1套、汽车排气污染物检测用底盘测功机校准装置1套、呼出气体酒精含量检测仪检定装置1套、非接触式汽车速度计校准装置1套、在线非接触式四轮定位仪校准装置1套。具体内容详见招标文件。最高限价（如有）：6070000合同履约期限：自签订合同之日起1年内交付使用并通过验收本标项（否）接受联合体投标备注：标项二标项名称:计量标准仪器设备采购B分标数量:26预算金额（元）:5550000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：聚合酶联反应分析（PCR）仪温场校准装置2套、多参数监护仪检定装置2套、数字心脑电图机检定装置1套、血液透析校准装置1套、医用诊断X射线辐射源剂量仪（CT）1台、婴儿培养箱检测仪2台、在线尘埃粒子计数器校准装置1套、自动玻璃密度计校准系统1套、生物安全柜质量检测装置1套、环境空气在线监测气体分析仪校准装置1套、气溶胶光度计校准装置1套、微量氧分析仪1台、药品冷藏箱1台、安瓿瓶封装机1台、箱式电阻炉校准装置2套、低露点发生装置系统1套、直流标准功率源1台、无线实时高温高湿检测装置1套、真空干燥箱校准装置1套、数字水准仪1台、关节臂校准装置1套、X射线荧光镀层测厚仪校准装置1套。具体内容详见招标文件。最高限价（如有）：5550000合同履约期限：自签订合同之日起1年内交付使用并通过验收。本标项（否）接受联合体投标备注：二、获取招标文件 时间：2024年09月02日至2024年09月09日 ，每天上午00:00至11:59 ，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外） 地点（网址）：“广西政府采购云平台”（https://www.gcy.zfcg.gxzf.gov.cn/） 方式：网上下载。本项目不发放纸质文件，供应商可自行在“广西政府采购云平台”（https://www.gcy.zfcg.gxzf.gov.cn）下载招标文件（操作路径：登录“广西政府采购云平台”-项目采购-获取采购文件-找到本项目-点击“申请获取采购文件”），电子投标文件制作需要基于“广西政府采购云平台”（https://www.gcy.zfcg.gxzf.gov.cn）获取的招标文件编制 售价（元）：0 三、对本次采购提出询问，请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称：广西壮族自治区计量检测研究院 地 址：南宁市邕宁区蒲庙镇永乐路30号 项目联系人：韦工 项目联系方式：0771-5726899 2.采购代理机构信息 名 称：广西国盛招标有限公司 地 址：广西南宁市青秀区朱槿路10号新加坡园区星岛国际303号 项目联系人：梁升 项目联系方式：0771-5828133