产品简介:MX 30系列非接触式单点晶圆测厚仪,用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm各种晶圆的厚度。测量原理:MX30系列采用电容式距离测量方法,可用于晶圆厚度的非接触式测量。电容式距离传感器位于要测量的物体上方和下方的刚性支架中,并且彼此相距特定距离。到物体的两个距离之和是其厚度的量度。计算值可以从五位数字显示器上读取,也可以通过仪器的内置串行接口输出。可以用量块检查校准。技术参数:1)晶圆直径:50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, 300mm2)厚度精度:±0.5 µ m3)分辨率:10 nm4)动态范围:800 µ m5)厚度范围:默认0-1600 µ m应用:用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm的SIC, GaN, GaAS, InP等半导体晶圆的高分辨率厚度。
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