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最近在弄GMP认证,正在做洁净室的日常监测这一块的时候,不知道改如何选择合适的性价比较高的检测仪器,有经验的前辈们能分享一下吗?(洁净室级别现在要做100 000,300 000级的,以后可能还要做100、10 000级的)
洁净室的静压差怎么测?有监测方法吗,推荐下监测仪器[img]http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09502.gif[/img]
在集成半导体器件,磁盘驱动器以及液晶显示器等行业中,空气中气态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contaminants)越来越受到关注。AMC的存在会对原料、工艺、最终产品、生产和机械设备产生不同程度的损害,如光学透光率降低,接触电阻变高,粘接失效,不规则成型。我摘抄了文献上写到:在洁净室中,SO2 H2S NOX NH3是主要的在线测试气体;在某半导体厂T10级洁净室内,使用自动监测仪测试了SO2、NO/NO2 和NH3的浓度,分别为21.23ppb, NO25.79ppb, NO2 47.6ppb, NH3 83.26ppb,远远高于该单位要求值。我想请教大师们个问题,一般洁净室如果在10万或1万等级里,AMC都是很低的:可否有其他测试方法来对洁净室中的AMC进行检测,又没有个国标或者外标!?国内有这样的第三方权威检测机构么,请告知!谢谢!附件是SEMIF21-1102Classification of AMC levels in clean environments[img]https://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=155090]SEMIF21-1102[/url]