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齿轮轮廓量仪

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齿轮轮廓量仪相关的论坛

  • 轮廓测量仪的使用方法

    在许多的制造业领域如汽配、轴承、航空航天以及一些精密零部件生产企业等,在产品的生产过程中都离不开轮廓测量仪的检测。中图仪器的[b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]改善了国内轮廓测量仪稳定性差、精度低等不足,减小与国外轮廓测量仪的差距,改变因高精度轮廓测量仪被国外高价格垄断的局面。在今年的北京机床展会现场上,SJ5760轮廓测量仪受到来自国内外许多参观者的驻足观赏,甚至有些公司的老板亲自带着自家公司生产的工件,来到展会现场请中图仪器的技术人员进行现场测量。我们通过对展会现场为用户测量工件的实例,来讲解轮廓测量仪的使用方法。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127435008.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg[/img]  在测量工件之前,先做好准备工作,确定轮廓测量仪的正常启动运行,SJ5760轮廓测量仪为全自动测量设备,所以操作人员在测量时不需要太多的手工作业。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706124153674.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg[/img]  只需要装好被测工件,用中图仪器专用的万向工作台对工件进行固定,在计算机检定软件上设置扫描的起点、终点位置。然后点击“开始”按钮,测量系统会自动驱动测针接触工件表面,并按照事先设置好的位置进行扫描。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706125560160.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg[/img]  在进行测量的过程中,检定软件会实时将测针获取的参数,在计算机屏幕上以二维图形的方式描绘出轮廓曲线。扫描完成以后,操作人员可以通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行评定,得出圆度、角度、距离、间距、直线度等轮廓参数。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/6/201706127747739.jpg[/img][/align][img]file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image008.jpg[/img]  SJ5760轮廓测量仪操作便捷,功能广泛,可对各种工件轮廓的几何参数进行测量,可评定的表面轮廓参数包括:角度、半径、坐标、距离、圆、圆截面,确定各个点、相交各点、坐标轴、直线、垂直线、圆和圆截面,可对轮廓进行直线度、圆度分析等;并可同时实现:1.建立回归直线和圆形;2.建立点、交点、自由点、中心店、最高点和最低点;3.建立坐标系统;4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差;5.实际值与标称值比较;6.测量程序自动运行。

  • 【原创】齿轮测量仪器的发展初步汇总

    齿轮测量仪器,它不仅包括检测各种齿轮的仪器,也将检测蜗轮、蜗杆、齿轮刀具、传动链的仪器附属在其中。齿轮种类繁多,几何形状复杂,表征其误差的参数众多。所以,齿轮量仪的品种也很多。齿轮测量技术及其仪器的研究已有近百年的历史,有6件标志性事件: 1.1923年,德国Zeiss公司在世界上首次研究成功一种称为"Toooth Surface Tester"的仪器。在此基础上经过改进,Zeiss于1925年推出了实用性仪器,并投放市场。该仪器的长度基准采用了光学玻璃线纹尺,其线距为1微米。该仪器的问世,标志着齿轮精密测量的开始,在我国得到广泛使用的VG450就是该仪器的改进型。 2.50年代初,机械展成式万能螺旋线标准仪的出现,标志着全面控制齿轮质量成为现实。 3.1965年,英国的R·Munro博士研制成功光栅式单啮仪,标志着高精度测量齿轮动态性能成为可能。 4.1970年,中国工程技术人员研制开发的齿轮整体误差测量技术,标志着运动几何法测量齿轮的开始。 5.1970年,美国Fellow公司在芝加哥博览会展出Microlog50,标志着数控齿轮测量中心的开始。 6.80年代末,日本大阪精机推出了基于光学全息原理的非接触齿面分析机PS-35,标志着齿轮非接触测量法的开始。

  • 【原创】轮廓测量仪 用途 分类 工作原理

    摘要:轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨,移动精度高、稳定性好、寿命长;测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

  • 粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数?

    粗糙度轮廓测量仪能够评定哪些参数?

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701111723_620778_3712_3.jpg1. 粗糙度轮廓测量仪表面轮廓评定:评定半径,角度, 距离, 坐标,圆,圆截面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面,可对轮廓进行直线度、圆度分析等;同时实现下列功能:(1)建立回归直线和圆形(2)建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点(3)建立坐标系统(4)计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差(5)实际值与标称值比较(6)测量程序自动运行2. 粗糙度轮廓测量仪测量表面粗糙度参数:R粗糙度:Ra,Rq,Rz,Rmax,Rpc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,R3z,RSm,Rs,Rsk,Rku, Rdq,Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L核心粗糙度:Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,VoP轮廓参数:Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr,W波度轮廓参数:Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMrMotif参数:R,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CLISO5436参数:Pt,D轮廓类型:支持D,P,W,R

  • SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    SJ5760轮廓测量仪的测量应用

    [align=center][img=,482,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_01_3712_3.jpg[/img][/align]  [b][color=#3333ff]SJ5760轮廓测量仪[/color][/b]采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度,采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161531_02_3712_3.jpg[/img][/align]  轮廓仪为全自动测量设备,操作者只需装好被测工件,在检定软件上设定扫描的开始、结束位置,点击“开始”按钮,测针会自动接触工件表面,并按设定的位置扫描;在进行轮廓扫描的过程中,软件界面会实时描绘轮廓曲线;扫描结束后,操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析,得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_01_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高稳定性、高重复性:分辨力0.01μm,完全满足被测件测量精度要求。1) 国际领先的高精度光栅测量系统,分辨力达到0.01μm,测量精度高;2) 自主研发高精度研磨导轨系统,导轨直线度达到2μm/200mm,导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作;3) 高性能直线电机驱动系统,保证测量稳定性高、重复性好。2、 智能化管理与检测软件系统:仪器操作界面友好,操作者很容易即可基本掌握仪器操作,使用十分简便。1) 10多年积累的实用检定软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询测量记录;3) 测量范围广,可满足绝大多数类型的工件轮廓测量;4) 强大的CNC自动测量标注功能;5) 纯中文操作软件系统,更好的为国内用户服务;6) 打印格式正规、美观。检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;7) 本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。[align=center][img=,690,398]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/05/201705161532_02_3712_3.jpg[/img][/align]3、 测量力系统: 采用音圈电机测力系统,测力可实现从10~150mN连续可调,测力分辨力可达0.2mN;避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差,降低了测力变化引起的测量误差。4、 智能保护系统:一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大,仪器会停止扫描保护测量系统和测针,极大的保护测针的损坏。5、 灵活手动控制:仪器配置了操作杆,可在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,让测针左右、上下快速移动。6、 成熟的标定技术通过简单的操作,能对仪器的参数进行误差补偿,对测针磨损进行针尖补偿,使其满足高精度测量。

  • 轮廓测量仪测量铁道特殊轮毂沟槽的应用

    在4月份 CIMT2017北京国际机床展上,几位神秘观众来到我公司展台前拿出一份图纸,面带焦虑的询问道:“我们工件的这个沟槽凸台非常重要,之前咨询过国内外一些仪器厂家得到的答复是不能测量或者需要破坏式测量。为此公司的领导已经下了军令状,一定要找到好的解决方案,请问你们公司的仪器能否测量?”[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708058075979.jpg[/img][/align][align=center]图 1工件图纸[/align]  我公司技术人员接过图纸一看:图纸上的沟槽较狭小,一侧是盲边且角度小,用传统仪器测量是有很大的难度。技术人员经过分析评估后,告知客户我们的[color=#3366ff][b]轮廓测量仪[/b][/color]可以测量,但需要定制测针,随后向客户讲解我司轮廓测量仪的工作原理、测量过程及相关技术参数,客户听后十分认可我们的方案,后期将工件邮寄至我司测量。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708054168013.jpg[/img][/align][align=center]图 2工件实物[/align]  技术人员收到客户的工件后,先是对其特征进行分析,模拟测针在测量工件沟槽内的着力点和面时,测针需满足哪些要求与突破哪些限制。然后设计制作测针,我公司拥有完全自主的设计和加工制造能力,很快定制的测针及连接装置就迎刃而解,经过品质检测符合设计要求。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708053543905.jpg[/img][/align][align=center]图 3扫描过程模拟[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708059325952.jpg[/img][/align][align=center]图 4定制的测针[/align]  紧接着就是实物测量过程,把定制的测针安装到SJ5760轮廓测量仪上,并对测针进行相关参数调试后,实物测量就正式开启,随着测针在工件的沟槽内有条不紊地行进扫描,检定软件将测针扫描的相关数据绘制在计算机屏幕中,形成一幅精美的二维效果分析图。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055731400.jpg[/img][/align][align=center]图 5测量过程[/align]检测结果如下:[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708055418522.jpg[/img][/align][align=center]图 6测量结果[/align]  将工件测量结果提供给客户后,客户惊讶的同时感慨道:“没想到是国内的厂家替我们解决了棘手难题,中图仪器快速响应客户需求的能力让我们对国产测量仪器设备厂家刮目相看。”附:SJ5760轮廓测量仪技术参数1.X轴1) 测量范围:0~200mm;2) 示值误差:±(1.2+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm;3) 分辨率:0.01μm;4) 直线度:2μm/200mm5) 测量速度:0.1~5mm/s;6) 移动速度:0~80mm/s;2.Z轴1) 测量范围:0~450mm;2) 移动速度:0~30mm/s;3.Z0轴1) 测量范围:±25mm;2) 示值误差:±(2+|2H|/40)μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm;3) 分辨率:0.01μm;4.测量力:10~150mN;5.爬坡能力:上坡77o,下坡83o;[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2017/8/201708052450577.jpg[/img][/align][align=center]图7 SJ5760轮廓测量仪[/align]

  • 【分享】齿轮测量机的特征及功能

    齿轮测量机又称为齿轮测量仪,是用于测量圆柱齿轮或齿轮刀具的渐开线齿形误差和螺旋线齿向误差的测量仪器。齿轮测量机的主机结构、部件先进,测量精度高。主机外形美观,结构稳定。齿轮测量机采用大理石平台、美观不变形。采用高精度测头、示值稳定,用户可根据实际情况选择测量项目。齿轮测量机可以进行齿廓公差带、齿廓凸度、螺旋线公差带、齿向鼓度等项目的评定。 齿轮测量机采用基圆分级调整式测量原理,包流量单盘式仪器传动链短、精度稳定可靠和对环境温度要求不高的特点,测量主机采用四坐标测量系统,主轴采用力矩式直驱电机、进口长光栅、圆光栅传感器作为位置传感器,形成全闭环反馈控制,提高了系统的测量精度。齿轮测量机采用了电子测量记录系统将误差记录成曲线图,图形清晰、准确。操作方便,由计算机控制测量过程自动完成,测量效率高。 齿轮测量机可测量渐开线圆柱齿轮的齿廓偏差、螺旋线偏差、齿距偏差、径向跳动,以及剃齿刀、插齿刀的齿廓偏差、齿距偏差、径向跳动。齿轮测量机可广泛适用于汽车、航空航天、拖拉机、通用机械、机床工具、仪器仪表、机器制造、国防工业等科研部门及工厂计量室、车间检查站。

  • 齿轮行业测试仪器领域有待重视

    我国齿轮行业测试仪器和设备十分缺少,由此造成我国年产2000多万台的齿轮箱总成质量缺乏可靠的测试数据。为彻底改变我国齿轮行业零部件内在质量的落后状况,必须重视和加强测试仪器和设备的发展。 目前,我国齿轮行业内大约只有300家齿轮生产厂具有仪器基本配套的计量室,总计约有三坐标测量仪200多台,这些仪器大多是从国外进口的。各类(机械、光电、数控)齿轮测量仪器1000余台,其中齿轮测量中心30余台,这些仪器的制造厂有国外的MAAG、Klingelnberg、Hofler、CarlMahr、M&M等公司,还有TaylorHobsom、CarlMahr、Zeiss、SIP等公司的圆度仪、测长仪、光学分度头、粗糙度仪、投影仪、万工显等各类测量仪器500余台。其余约200家齿轮生产厂很少有精密测量仪器,部分工厂除了万能量具外,没有一台测量仪器。在测量仪器中,其中总成测试仪器、蜗轮付检查仪约10余台,变速箱总成试验台和驱动桥试验台全国不超过50台。许多厂没有噪声仪、扭振仪等必备的仪器。在齿轮制造过程中必须对产品零件、部件和总成的要求质量进行严格的检测和控制,因而先进适用的测量技术和仪器是必备的条件。在各类机械厂内不管齿轮传动件是自制或外购,均应装备齿轮、螺纹、花键测量仪器,否则无法控制传动件的制造质量。目前,齿轮、螺纹、花键测量仪器国内成都工具研究所、哈量精密量仪厂等基本可满足要求。即使是齿轮测量中心、齿轮刀具测量中心、齿轮副和蜗轮副检查仪、激光动态丝杠测量仪等国内也可供货。但对于技术要求很高而财力充裕的用户,也可以考虑引进国外齿轮测量中心。 齿轮、蜗杆、螺杆等传动件必须有精度很高、结构复杂的铸铁、铝合金或焊接箱体支承,这些箱体有大量精密孔系和平面需要测量尺寸精度和相互位置精度。因此每个齿轮厂都应该配备不同规格、精度的三坐标测量仪为进一步提高我国齿轮行业的产品质量,提高行业竞争力,应尽快配备相应的各类精密测试仪器。在今后的几年中,我国大中型齿轮企业应配备三坐标测量机、齿轮测量中心和其他精密测量仪及配套完整的中心计量室,小型企业也要配备必要的精密测量仪器,从而保证我国齿轮产品的质量。

  • 【原创】齿轮在线分选的应用

    汽车齿轮在线快速检测与分选技术是目前我国汽车齿轮制造业高节拍检测领域内的重要环节,汽车齿轮在线测量仪不仅可进行汽车齿轮生产的快速100%(15 秒╱件)的检测,而且可以根据误差统计分析的结果,实现工艺诊断,从而提高齿轮的制造水平。仪器综合了光、机、电及计算机的综合测量技术,并在测量原理方面进行了探索研究,并取得了一定的技术突破!目前在汽车齿轮测量技术领域,国内生产的齿轮测量仪器主要用于计量室、计量站,自动化程度低、测量速度慢、品种欠缺、对使用环境有较高的要求,难以适应车间现场使用。齿轮测量中心达到上世纪国外八十年代末、九十年代初的水平,但不能适应汽车齿轮生产的快速节拍,难以实现完全的检测和分选。随着对汽车齿轮质量要求的不断提高,实现在线100% 快速检测和分选,已成为发展的必然趋势。

  • 【分享】齿轮双面啮合综合检查仪的功能及应用

    齿轮双面啮合综合检查仪是一款纯机械结构测量仪,具有结构简单、体积小、重量轻、操作方便的优点。齿轮双面啮合综合检查仪的测量精度稳定,既可测量带轴圆柱齿轮,也可测量带孔圆柱齿轮,具有方便、经济、实用、结构简单、合理操作维修方便等特征,比较适合生产现场使用。 齿轮双面啮合综合检查仪采用高级合金钢滚动测量导轨,精心的加工和特殊工艺处理,是仪器具有长期稳定的精度;仪器测量滑板在滚动导轨上运动灵活,将齿轮放于测量架上,选定齿轮型号、设定参数,只需几秒钟用户就可知该齿轮是否合格并定位缺陷,齿轮双面啮合综合检查仪可以利用统计功能来记录最大、最小和测量的平均值。根据测量的统计值,有图表显示,直观反映缺陷、是否超差等。 齿轮双面啮合综合检查仪可用于测量圆柱齿轮一转径向综合总偏差和一齿径向综合偏差和蜗轮副的一转中心距变动量和一齿中心距变动量,也可以用于测量两轴夹角为90°的圆锥齿轮锥齿锥顶点的偏移量,齿轮双面啮合综合检查仪可广泛应用于汽车、农机、摩托车等机械制造行业。

  • 椭圆齿轮流量计的工作原理和特点

    椭圆齿轮流量计又称排量流量计,属于容积式流量计一种,在流量仪表中是精度较高的一类。它利用机械测量元件把流体连续不断地分割成单个已知的体积部分,根据计量室逐次、重复地充满和排放该体积部分流体的次数来测量流量体积总量。椭圆齿轮流量计可以选用不同的材料(铸钢、不锈钢和316)制造,适用于化工、石油、医药、电力、冶金和食品等工业部门的流量计量工作。工作原理工作原理 在仪表测量室进出口两端液体压差的作用下,一对椭圆齿轮在轴上不停地转动并排出液体,测出椭圆齿轮的转数即可知道流经仪表液体的总值。 仪表特点 测量精度高、流量范围宽、重复性好; 螺旋转子转动均匀、震动小、寿命长; 对被测液体的粘度变化不敏感,尤其适合于粘度较高液体的测量; 结构简单、外形尺寸小、重量轻; 安装容易,表前不需要安装直管段。

  • 【原创】MMD-220A轮廓仪

    MMD-220A轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数,角度处理(坐标角度,与Z坐标的夹角,两直线夹角)、圆处理(圆弧半径,圆心到圆心距离,圆心到直线距离,交点到圆心的距离,直线到切点的距离)、点线处理(两直线交点,交点到直线距离,交点与交点距离,交点到圆心的距离)、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。 该MMD-220A轮廓仪测量长度≤220mm,Z 量 程:10mm,可测零件直径:内圈≤300mm,外圈可较大,国产贵阳光栅尺:精度±3μm/220mm ,X向分辨率1μm,Z向分辨率/量程:1/65536,工作压力:0.35~0.43Mpa,气源压力:0.45~0.80Mpa。

  • 光学3D表面轮廓仪测量磨损定量的原理

    “摩擦,摩擦,在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷,广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退,但摩擦声却未消失,作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器,各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究,而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b],就是该领域最时尚的滑板鞋,载着研究人员疾驰,手持武器,所向披靡。  摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科,摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数,量级从纳米到毫米不等,又由于不可破坏性测量,传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用,而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]  上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪,经过十数小时的摩擦,铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹,即为磨损区域,对磨损区域进行尺寸上的定量分析,是研究的重要组成部分,下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维:线_轮廓尺寸  取一块摩擦处理过的铜板,使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描,获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]  从图中可以看到,相对光滑区细致较浅的划痕,磨损区充满了坑坑洼洼的槽,在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线,可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维:面_粗糙度  分别在光滑区和磨损区选取若干点,测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维:体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]  如右上图,利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中,位于基准面(蓝色方框)上面的顶点区域显示为红色,位于基准面下方显示为绿色,利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。  一线二面三体,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息,从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断,如同穿上了酷炫的滑板鞋,在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

  • 光学3D表面轮廓仪在半导体行业中的应用

    [quote]引言:半导体产业是一个点石成金的行业,将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片,中间须历经数十上百道工序,从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造,每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求,由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员,而在这之中,作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪,以其超高的检测精度和重复性,发挥着重要的作用。[/quote]  中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b],是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠,在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中,光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,如下图所示,提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷,因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC,使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像,并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中,晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序,下图是粗磨后的晶圆IC背面,选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出,粗磨后的表面存在明显的磨削纹路,而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵,沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵,在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右,而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动,并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm,剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后,晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出,选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知,在经过细磨之后,晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近,其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

  • 齿轮泵应注意的保养

    1、可以先检查所有的阀门是否全部打开;2、吸油管路过长或泵的进口距离液面过远;3、泵初次使用时可以先往泵腔内注入少量的油,让齿轮泵形成油膜以便于泵的自吸;4、泵的进出口法兰是否已固定好,连接处有无加密封垫子;5、管路中弯头过多,泵的阻力过大也会导致齿轮泵吸不上油。 齿轮油泵是通过一对参数和结构相同的渐开线齿轮的相互滚动啮合,将油箱内的低压油升至能做功的高压油的重要部件。是把发动机的机械能转换成液压能的动力装置。齿轮油泵流量大,可靠性好。在其使用过程中容易出现磨损性故障,应注意保养。

  • 齿轮接触疲劳试验机齿轮弯曲疲劳试验机技术

    FZG齿轮试验机德国慕尼黑工业大学齿轮及齿轮机构研究所(FZG)的齿轮试验机主要是由电动机、试验齿轮箱、陪试齿轮箱和杠杆加载装置等组成的机械功率封闭分箱式齿轮运转设备。它的主要优点是,结构简单、能耗小,使用可靠、加载准确、可双向加载。但试验机不能空载启动,运转中不能改变载荷,实现程序控制和摸拟试验。这种试验机既可用于齿轮试件试验,也可用于齿轮箱产品的试验。GNeiman和HWinter等人设计了著名的FZG齿轮试验机,并编制了FZG的齿轮试验规程,做了大量试验,并提供了大量试验数据,已成为ISO齿轮承载能力计算标准的基础。我国参考FZG齿轮试验机设计了CL-100,JG-150等型号的通用齿轮试验机,并投入批量生产。NASA齿轮试验机美国国家航空和宇航局(NASA)的Lewis研究所的齿轮试验机,是将试验齿轮和陪试齿轮装在同一箱体内,采用叶片式液压加载器,组成一个机械封闭的同箱式液压加载齿轮试验设备。该试验机用带传动进行增速和变速,用氩气增压式密封,还安装有振动传感器。它只适用于齿轮试件的试验,而不适用于齿轮箱产品运转试验,也不适用于齿轮噪声和动载荷性能试验。它是比较典型的中、高速齿轮运转试验机。与FZG齿轮试验机相比,有以下特点:可获得较大载荷,可空载启动,在运转过程中可改变载荷实现程序控制和模拟载荷试验;但结构较复杂,外形尺寸大,制造成本高,扭转角度小,要求试验封闭系统有足够的刚度和可靠的密封装置,否则容易造成润滑油泄漏,加载不准和污染环境。[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/03/202303100014357994_9941_1602049_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/03/202303100014361503_9313_1602049_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/03/202303100014359053_2425_1602049_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/03/202303100014361289_1324_1602049_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/03/202303100014362578_5386_1602049_3.png[/img]

  • 非接触式轮廓仪

    非接触式轮廓仪

    进口非接触式轮廓仪[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051728587910_1104_6090019_3.jpg[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307051729039092_6171_6090019_3.jpg[/img]

  • 检测微观表面仪器:粗糙度轮廓仪特点

    [color=#000000]粗糙度轮廓仪为粗糙度及轮廓的复合机。轮廓传感器对工件的宏观表面轮廓、二维尺寸进行测量 与检验,粗糙度传感器对工件的微观表面进行测量与检测[/color][b]特点[/b][color=#000000]1、高精度摩擦式导轨结构,具有优异稳定的运动精度。经专用算法修正后,具有极高的直线度精度。精度保持长久,只需简单的修正操作即可修复成出厂的高精度状态;[/color][color=#000000]2、轮廓测针测杆采用快速的磁吸结构,具有定位精度高、更换快捷的特点。软件对不同类型的测针测杆进行校正并保存校正参数,更换测针测杆时,因磁吸结构具有定位精度高的特点,而无需再次校正,大大提高仪器的使用便利性和测量效率;[/color][color=#000000]3、原始数据自动保存,便于多次标注,软件标注与 CAD 同理;[/color][color=#000000]4、可将测量的图形结果转化为 DXF 格式,可将测量结果以 Excel 表格格式输出;[/color][color=#000000]5、可以对操作进行无限次的撤销及恢复操作;[/color][color=#000000]6、采用独立的轮廓、粗糙度测量传感器,即保持大量程轮廓测量需求,亦能高精度测量粗糙度;[/color][color=#000000]7、粗糙度采用触针式无导头测量,残值轮廓可低于 5nm!实现高精度的粗糙度测量,特别在测量零件的圆弧面、斜面、窄槽的槽底、槽侧面的粗糙度时,具有带导头式粗糙度测量无法比拟的精度和测量便利性。[/color][img]https://p3.toutiaoimg.com/img/tos-cn-i-qvj2lq49k0/4372814fa2524f599af2d76e04cb37f0~tplv-tt-shrink:640:0.image[/img]【英徕铂】英徕铂ENLAB,物性检测仪器品牌,为国内市场提供数百种物性检测仪器,为科研工作者提供检测仪器解决方案与服务

  • 齿轮设计知识

    齿轮设计,供分享[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=33693]齿轮设计[/url]

  • 自吸谱线的轮廓

    自吸谱线的轮廓

    Al合金AL元素两条共振谱线Al I 394.40058nm及Al I 396.152nm不存在自吸收时(肉眼无法直接判断)的谱线轮廓:实验条件:激光脉冲能量100mJ,延时时间1.0us,积分时间0.2ushttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/10/201510230934_570672_1604844_3.jpgAl I 394.40058nm及Al I 396.152nm存在自吸收时的谱线轮廓:实验条件:激光脉冲能量40mJ,延时时间1.0us,积分时间0.2ushttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/10/201510230942_570677_1604844_3.jpg

  • 齿轮的介绍知识

    齿轮的介绍知识[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=33797]齿轮的介绍知识[/url]

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