光栅尺长量仪

近日，广东省计量院承担的原省质监局科技计划项目《光栅尺静动态特性研究及动态检测装置研制》顺利通过省市场监督管理局组织的专家组验收。 　　《光栅尺静动态特性研究及动态检测装置研制》项目由广东省计量院计量科研部牵头完成。该项目针对现有光栅尺检测装置静态校准检测方法不能满足光栅尺运行速度、加速度等实际工况运行需求，研制了一套基于精密气浮导轨的光栅尺静动态误差检测装置，可模拟光栅尺不同的运行速度、加速度工况，研究了几何参数、运行速度、加速度等因素对光栅尺测量精度的影响。项目获授权发明专利、实用新型专利各1件，发表科技论文2篇。项目产品经第三方机构校准，主要技术指标满足任务书(合同)要求。 　　目前，该项目成果已应用于广东光栅数显技术有限公司、苏州必力信光电有限公司等光栅设备生产、经销企业，使用效果良好，获得较好评价。

产品名称：几何尺寸测量仪产品品牌：EVM-G系列产品简介：本系列是一款高精度影像测量仪，结合传统光学与影像技术并配备功能完备的2.5D测量软件。可将以往用肉眼在传统显微镜下观察到的影像传输到电脑中作各种量测，并将测量结果存入电脑中以便日后存档或发送电子邮件。其操作简单、性价比高、精确度高、测量方便、功能齐全、稳定可靠。适用于产品检测、工程开发、品质管理。在机械加工、精密电子、模具制造、塑料橡胶、五金零件等行业都有广泛使用。产品参数：u 变焦镜筒：采用光学变焦物镜，光学放大倍率0.7X~4.5X，视频总放大倍率40X~400X连续可调，物方视场：10.6-1.6mm，按客户要求选配不同倍率物镜。u 摄像机：配备低照度SONY机芯1/3′彩色CCD摄像机，图像表面纹理清晰，轮廓层次分明，保证拥有高品质的测量画面。可以升级选配1/2′CMOS130万像素摄像机。u 底座：仪器底座采用高精度天然花岗石，稳定性高，硬度高，不易变形。u 光栅尺：仪器平台带有高精度光栅尺（X,Y,Z三轴），解析度为0.001mm。Z轴通过二次聚焦可实现对沟槽、盲孔的深度进行测量。u 光源：采用长寿命LED环形冷光源（表面光及底光），使工件表面照明均匀，边缘清晰，亮度可调。u 导轨：双层工作平台设计，配备高精度滚动导轨，精度高，移动平稳轻松。u 丝杆：X,Y轴工作台均使用无牙光杆摩擦传动，避免了丝杆传动的间隙，灵敏度大大提高，亦可切换快速移动，提高工作效率。 工作台仪器型号EVM-1510GEVM-2010GEVM-2515GEVM-3020GEVM-4030G金属台尺寸(mm)354×228404×228450×280500×330606×466玻璃台尺寸(mm)210×160260×160306×196350×280450×350运动行程(mm)150×100200×100250×150300×200400×300仪器重量(kg)100110120140240外型尺寸L*W*H756×540×860670×660×950720×950×1020 影像测量仪是建立在CCD数位影像的基础上，依托于计算机屏幕测量技术和空间几何运算的强大软件能力而产生的。计算机在安装上专用控制与图形测量软件后，变成了具有软件灵魂的测量大脑，是整个设备的主体。它能快速读取光学尺的位移数值，通过建立在空间几何基础上的软件模块运算，瞬间得出所要的结果；并在屏幕上产生图形，供操作员进行图影对照，从而能够直观地分辨测量结果可能存在的偏差。影像测量仪是一种由高解析度CCD彩色镜头、连续变倍物镜、彩色显示器、视频十字线显示器、精密光栅尺、多功能数据处理器、数据测量软件与高精密工作台结构组成的高精度光学影像测量仪器。仪器特点采用彩色CCD摄像机；变焦距物镜与十字线发生器作为测量瞄准系统；由二维平面工作台、光栅尺与数据箱组成数字测量及数据处理系统；仪器具有多种数据处理、显示、输入、输出功能，特别是工件摆正功能非常实用；与电脑连接后，采用专门测量软件可对测量图形进行处理。仪器适用于以二维平面测量为目的的一切应用领域。这些领域有：机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、螺丝、弹簧、仪器仪表、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。ISO国际标准编辑影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：第1部分：测量线性尺寸的坐标测量机 第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机 第3部分：扫描测量型坐标测量机 第4部分：多探针探测系统的坐标测量机 第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。允许探测误差(MPEP)：25点测量精密标准球，探测点分布均匀。允许探测误差MPEP值为所有测量半径的值。ISO 10360-3 (2000) “配置转台轴线为第四轴的坐标测量机” ：对于配备了转台的测量机来说，测量机的测量误差在这部分进行了定义。主要包含三个指标：径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)。ISO 10360-4 (2003) “扫描测量型坐标测量机” ：这个部分适用于具有连续扫描功能的坐标测量机。它描述了在扫描模式下的测量误差。大多数测量机制造商定义了"在THP情况下的空间扫描探测误差"。在THP之外，标准还定义了在THN、TLP和TLN情况下的扫描探测误差。 沿标准球上4条确定的路径进行扫描。允许扫描探测误差MPETHP值为所有扫描半径的差值。THP说明了沿已知路径在密度的点上的扫描特性。注：THP的说明必须包括总的测量时间，例如：THP = 1.5um (扫描时间是72 秒)。ISO 10360-4 进一步说明了以下各项定义：TLP: 沿已知路径，以低密度点的方式扫描。THN: 沿未知路径，以高密度点的方式扫描。TLN: 沿未知路径，以低密度点的方式扫描。几何尺寸测量仪工作原理影像测量仪是基于机器视觉的自动边缘提取、自动理匹、自动对焦、测量合成、影像合成等人工智能技术，具有点哪走哪自动测量、CNC走位自动测量、自动学习批量测量的功能，影像地图目标指引，全视场鹰眼放大等优异的功能。同时，基于机器视觉与微米精确控制下的自动对焦过程，可以满足清晰影像下辅助测量需要，亦可加入触点测头完成坐标测量。支持空间坐标旋转的优异软件性能，可在工件随意放置或使用夹具的情况下进行批量测量与SPC结果分类。全自动影像测量仪编辑全自动影像测量仪，是在数字化影像测量仪(又名CNC影像仪)基础上发展起来的人工智能型现代光学非接触测量仪器。其承续了数字化仪器优异的运动精度与运动操控性能，融合机器视觉软件的设计灵性，属于当今最前沿的光学尺寸检测设备。全自动影像测量仪能够便捷而快速进行三维坐标扫描测量与SPC结果分类，满足现代制造业对尺寸检测日益突出的要求：更高速、更便捷、更的测量需要，解决制造业发展中又一个瓶颈技术。全自动影像测量仪是影像测量技术的高级阶段，具有高度智能化与自动化特点。其优异的软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意，拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能，依托数字化仪器高速而的微米级走位，可将测量过程的路径，对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。全自动影像测量仪可以轻松学会操作员的所有实操过程，结合其自动对焦和区域搜寻、目标锁定、边缘提取、理匹选点的模糊运算实现人工智能，可自动修正由工件差异和走位差别导致的偏移实现精确选点，具有高精度重复性。从而使操作人员从疲劳的精确目视对位，频繁选点、重复走位、功能切换等单调操作和日益繁重的待测任务中解脱出来，成百倍地提高工件批测效率,满足工业抽检与大批量检测需要。全自动影像测量仪具有人工测量、CNC扫描测量、自动学习测量三种方式，并可将三种方式的模块叠加进行复合测量。可扫描生成鸟瞰影像地图，实现点哪走哪的全屏目标牵引，测量结果生成图形与影像地图图影同步，可点击图形自动回位、全屏鹰眼放大。可对任意被测尺寸通过标件实测修正造影成像误差，并对其进行标定，从而提高关键数据的批测精度。全自动影像测量仪有着友好的人机界面，支持多重选择和学习修正。全自动影像测量仪性能使其在各种精密电子、晶圆科技、刀具、塑胶、弹簧、冲压件、接插件、模具、军工、二维抄数、绘图、工程开发、五金塑胶、PCB板、导电橡胶、粉末冶金、螺丝、钟表零件、手机、医药工业、光纤器件、汽车工程、航天航空、高等院校、科研院所等领域具有广泛运用空间。选购方法编辑有许多客户都在为如何挑选影像测量仪的型号品牌所困扰，其实最担心就是影像测量仪的质量和售后。国内影像测量仪的生产商大部分都集中在广东地区，研发的软件功能大部分相似，客户可以不用担心，挑选一款能够满足需要测量的产品行程就行了。根据需要来选择要不要自动或者手动，手动的就比较便宜，全自动的大概要比手动贵一倍左右。挑选影像测量仪最重要看显像是不是清晰，以及精度是否达标(一般精度选择标准为公差带全距的1/3~1/8)。将所能捕捉到的图象通过数据线传输到电脑的数据采集卡中，之后由软件在电脑显示器上成像，由操作人员用鼠标在电脑上进行快速的测量。有的生产商为了节约成本可能会采用国产的，造价比较低，效果就稍微差点。常见故障及原因编辑故障1)蓝屏；2)主机和光栅尺、数据转换盒接触不良造成无数据显示；3)透射、表面光源不亮；4)二次元打不开；5)全自动影像测量仪开机找不到原点或无法运动。原因由于返厂维修周期长，价格昂贵，最重要的是耽误了客户的正常的工作。造成问题出现的原因很多，但无外乎以下原因：1)操作软件文件丢失或CCD视频线接触不良；2)光栅尺或数据转换盒损坏；3)电源板损坏；4)加密狗损坏或影像测量仪软件操作系统崩溃。以上问题可能是只出现一个，也有可能几个问题一起出现。软件种类编辑二次元测量仪软件在国内市场中种类比较多，从功能上划分主要有以下两种：　　二次元测量仪测量软件与基本影像仪测量软件类似，其功能特点主要以十字线感应取点，功能比较简单，对一般简单的产品二维尺寸测量都可以满足，无需进行像素校正即可直接进行检测，但对使用人员的操作上要求比较高，认为判断误差影响比较大，在早期二次元测量软件中使用广泛。　　2.5D影像测量仪在影像测量领域我们经常可以听到二次元、2.5次元、三次元等各种不同的概念，所谓的二次元即为二维尺寸检测仪器，2.5次元在影像测量领域中是在二维与三维之间的一种测量解决方案，定义是在二次元影像测量仪的基础上多加光学影像和接触探针测量功能，在测量二维平面长宽角度等尺寸外如果需要进行光学辅助测高的话提供了一个比较好的解决方案。仪器优点编辑1、装配2个可调的光源系统，不仅观测到工件轮廓，而且对于不透明的工件的表面形状也可以测量。2、使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热而变形所产生的误差。3、工件可以随意放置。4、仪器操作容易掌握。5、测量方便，只需要用鼠标操作。6、Z轴方向加探针传感器后可以做2.5D的测量。测量功能编辑1、多点测量点、线、圆、孤、椭圆、矩形，提高测量精度；2、组合测量、中心点构造、交点构造，线构造、圆构造、角度构造；3、坐标平移和坐标摆正，提高测量效率；4、聚集指令，同一种工件批量测量更加方便快捷，提高测量效率；5、测量数据直接输入到AutoCAD中，成为完整的工程图；6、测量数据可输入到Excel或Word中，进行统计分析，可割出简单的Xbar-S管制图，求出Ca等各种参数；7、多种语言界面切换；8、记录用户程序、编辑指令、教导执行；9、大地图导航功能、刀模具专用立体旋转灯、3D扫描系统、快速自动对焦、自动变倍镜头；10、可选购接触式探针测量,软件可以自由实现探针/影像相互转换，用于接触式测量不规则的产品,如椭圆、弧度 、平面度等尺寸；也可以直接用探针打点然后导入到逆向工程软件做进一步处理！11、影像测量仪还可以检测圆形物体的圆度、直线度、以及弧度；12、平面度检测：通过激光测头来检测工件平面度；13、针对齿轮的专业测量功能14、针对全国各大计量院所用试验筛的专项测量功能15、图纸与实测数据的比对功能维护保养编辑1、仪器应放在清洁干燥的室内（室温20℃±5℃，湿度低于60%），避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能。2、仪器使用完毕，工作面应随时擦干净，再罩上防尘套。3、仪器的传动机构及运动导轨应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。4、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦干净。绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则，会使油漆表面失去光泽。5、仪器LED光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，请通知厂商，由专业人员为您更换。6、仪器精密部件，如影像系统、工作台、光学尺以及Z轴传动机构等均需精密调校，所有调节螺丝与紧固螺丝均已固定，客户请勿自行拆卸，如有问题请通知厂商解决。7、软件已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿，请勿自行更改。否则，会产生错误的测量结果。8、仪器所有电气接插件、一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插、轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。测量方式编辑1、物件被测面的垂直测量2、压线相切测量3、高精度大倍率测量4、轮廓影像柔和光测量5、圆及圆弧均匀取点测量精密影像测绘仪测量软件简介：绘图功能：可绘制点、线、圆、弧、样条曲线、垂直线、平行线等，并将图形输入到AutoCAD中，实现逆向工程得到1:1的工程图。自动测绘：可自动测绘如：圆、椭圆、直线、弧等图形。具有自动寻边、自动捕捉、自动成图、自动去毛边等功能，减少了人为误差。测量标注：可测量工件表面的任意几何尺寸，不同高度的角度、宽度、直径、半径、圆心距等尺寸，并可在实时影像中标注尺寸。SPC统计分析软件：提供了一系列的管制图及多种类型的图表表示方法,使品管工作更方便，大大提升了品质管理的效率。报表功能：用户可轻易地将测量结果输出至WORD、EXCEL中去，自动生成检测报告，超差数值自动改变颜色，特别适合批量检测。鸟瞰功能：可察看工件的整体图形及每个尺寸对应的编号，直观的反应出当前的绘图位置，并可任意移动、缩放工件图。实时对比：可把标准的DXF工程图调入测量软件中与工件对比，从而快速检测出工程图和实际工件的差距，适合检测比较复杂的工件。拍照功能：可将当前影像及所标注尺寸同时以JPEG或BMP格式拍照存档，并可调入到测量软件中与实际工件做对比。光学玻璃：光学玻璃为国家计量局检验通过之标准件，可检验X、Y轴向的垂直度，设定比例尺，使测量数据与实际相符合。客户坐标：测量时无需摆正工件或夹具定位，用户可根据自己的需要设置客户坐标（工件坐标），方便、省时提高了工作效率。精密影像测绘仪仪器特点：经济型影像式精密测绘仪VMS系列结合传统光学与数字科技，具有强大的软件功能，可将以往用肉眼在传统显微镜下所观察到的影像将其数字化，并将其储存入计算机中作各式量测、绘图再可将所得之资料储存于计算机中，以便日后存盘或电子邮件的发送。该仪器适用于以二座标测量为目的一切应用领域如：品质检测、工程开发、绘图等用途。在机械、模具、刀具、塑胶、电子、仪表等行业广泛使用。变焦镜筒：采用光学变焦物镜，光学放大倍率0.7X～4.5X，视频总放大倍率：40X～400X，可按客户要求选配不同倍率物镜。摄像机：配备低照度SONY机芯1/3”彩色CCD摄像机，图像表面纹理清晰，轮廓层次分明，保证拥有高品质的测量画面。底座：仪器底座采用高精度天然花岗石，稳定性高，硬度高，不易变形。光栅尺：仪器平台带有高精密光栅尺（X、Y、Z三轴）,解析度为0.001mm。Z轴通过二次聚焦可实现对沟槽、盲孔的深度进行测量。光源：采用长寿命LED环形冷光源（表面光及底光），使工件表面照明均匀，边缘清晰，亮度可调。导轨：双层工作平台设计，配备高精度滚动导轨，精度高、移动平稳轻松。丝杆：X、Y轴工作台均使用无牙光杆磨擦传动，避免了丝杆传动的背隙，灵敏度大大提高，亦可切换快速移动提高工作效率。

中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室周常河、贾伟等人近期成功研制出高精度长程光栅的加工装置，其主要优点是速度快、精度高。利用该装置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多种周期的高精度光栅。研制出的5微米周期光栅长度达到210mm，周期均匀性实验控制精度优于亚纳米级。该装置可以拓展加工米级光栅甚至更长光栅，研制的高精度长程光栅将显著提高我国在此领域的技术水平。 　　光栅尺是通过物体移动时，采用莫尔条纹或相关技术，通过移动光栅的计数，实现精密测量的技术，可以看作观测物体精密移动的&ldquo 眼睛&rdquo 。光栅尺以其小巧简单的结构，广泛应用于机床加工，电控移动平台等精密移动测量，其精度直接决定了精密机床的加工水平和精密移动平台的水平。光栅尺的核心部件就是高精度光栅，但高精度的光栅国外对我国实行禁运，特别是具有纳米精度的长程光栅，是我国高精度光栅尺产业必须解决的关键难题，也是目前纳米制造技术面临大尺度纳米加工精度的极大挑战。本次在高精度长程光栅研制方面取得的突破使得我国具有了制造高精度光栅尺光栅的能力，对我国机床高精度加工及精密移动平台等相关产业的发展具有积极推动作用。 研制成功的高精度长程光栅照片：上图：(a) 光栅长度210mm 下图：(b)显微图片，光栅周期5µ m，周期均匀性实验控制精度优于0.03nm。

多年来，大族激光研发并生产了一系列激光设备，不断满足世界工业对激光应用的各种需求。为迎合中国国内市场的急速发展，大族激光一直在积极地寻求高质量零件供应商，确保随时为客户提供高精度、便利、耐用的激光设备方案。在本案例分析中，大族激光选择雷尼绍RGH24光栅作为其音圈电机的位置反馈系统。 作为在中国深圳上市的公司，大族激光是一家集技术研究、开发、生产及销售为一体的高科技企业。它在世界激光行业中处于领先地位，年出货量高达10 000台！其旗下拥有众多子公司，包括大族电机科技有限公司，大族数控科技有限公司等，为不同领域的客户（如诺基亚、大众汽车等国际企业）提供专业的激光设备和应用方案。公司产品齐全，如激光打标机、切割机、焊接机、电机配件等。大族激光通过自主研发把&ldquo 实验室装置&rdquo 变成可以连续24小时稳定工作的激光技术装备，是世界上仅有的几家拥有&ldquo 紫外激光专利&rdquo 的公司之一。 2004年至今，大族激光从雷尼绍购买了10 000多套光栅系统，广泛应用于各类产品上。 大族激光集团总部 激光打标机内的音圈电机 音圈电机的工作原理是将电信号转换成机械力，当永磁磁铁之间的线圈通电时，磁场改变，从而产生力，产生的力会驱动永磁磁铁之间的线圈组运动；通过控制电流大小，可使线圈在永磁磁铁之间来回移动，从而产生线性运动。与其他电机不同，音圈电机具有一流的线性特性，例如直接驱动、零齿槽刀、轻动子高响应和带宽、动子及定子无磨损等。&ldquo 直接&rdquo 驱动的特性使音圈电机广泛应用在一些距离短但需要较高加速度的直线运动的场合。大族激光旗下的大族电机不但把音圈电机在市场上作为零件出售，还将其广泛应用在集团生产的激光打标机上。 研发部总裁王光能先生说：&ldquo 打标机需要在材料上打出立体效果的标签，我们必须通过运动反馈系统来控制镜子，在极短的时间内引导激光定位到相应位置上，雷尼绍正好能提供这方面的产品。&rdquo RGH24读数头通过光学原理在光栅尺上读取数据，与接触式系统相比，这种非接触式设计能够使音圈电机在位置控制上高速运转，并保证了高重复定位精度。除了应用在激光上之外，音圈电机还可以用于医疗检测仪器、精细位置控制和电脑硬盘生产等等。 音圈电机工作原理 音圈电机 体积轻巧 音圈电机是一个理想的线性促动器，在短距离（微米到厘米）位置控制上具有极佳的效果。雷尼绍光栅尺安装在音圈电机活动部位上，读数头则被固定。由于音圈电机需要保持其高输出／重量比例数值，因此光栅尺必须轻巧，以维持最高加速度。王总说：&ldquo 我们在选择光栅尺的时候，尺子的重量是我们考虑的首要问题。通过比较几家供应商的产品，我们发现雷尼绍RGS20光栅尺十分轻巧，满足需要的同时，又不影响电机的效率。&rdquo 雷尼绍RGS20光栅尺使用轻巧材料制成，厚度仅0.2 mm，在音圈电机上几乎是不载重量，完全不影响电机的快速运转。由于使用音圈电机的机器空间一般都比较有限，因此包括电机位置控制的部分要尽量设计得轻巧。设计师在市场上选择读数头时需要考虑体积问题，读数头必须能够固定在狭小的空间内，配合光栅尺运动，从而控制电机位置。 王总说：&ldquo 在市场上同类产品中，雷尼绍读数头设计轻巧，质量和体积都能令人满意，并且其他性能不受影响。&rdquo 王光能 大族激光打印机 安装简单 一般光栅系统的安装过程主要包括三个步骤：安装和固定光栅尺、安装读数头以及校准。王总说：&ldquo 雷尼绍光栅系统的整个安装过程十分简单，看过雷尼绍工程师安装一次后，我们的第二台机器就能自己安装了，而且过程快捷便利，看了指示灯就能知道安装过程是否正确。&rdquo 雷尼绍RGS20光栅尺成卷存放，用户在使用时可根据用途自行裁剪所需要的长度。在大族激光的音圈电机设计上，行程距离只有10到20 mm，王总说在市场上找到相同尺寸的光栅尺比较困难，而按需裁剪的设计解决了这一难题，为他们带来了便利。 王总继续说：&ldquo 我们不需要打孔或其他工具辅助，只要把光栅尺背面的双面胶撕掉，贴在预先定好的位置上就可以了。这种设计使我们能够根据需要灵活应用，我们可以自己裁剪光栅尺的长度来决定电机的行程距离，完全不受供应商的限制。&rdquo 此外，雷尼绍读数头上装有专利LED指示灯，使安装和校准过程变得简单快捷。用户通过观察LED指示灯的颜色，便可知道安装是否成功。 RGH24 展望 自2004年至今，大族激光与雷尼绍合作已有8年时间，展望未来，王总说：&ldquo 我们大族会在激光行业中继续开发新产品和技术，为客户提供高质量的激光设备；同时我们也会在其他领域，如LED、太阳能等新能源课题上投入资金进行研发。希望在不久的将来，大族能成功开发出与激光设备一样出色的产品，为全球用户提供可信赖、高品质的工业设备。&rdquo -完- 如需了解雷尼绍更多产品，请访问www.renishaw.com.cn 关于雷尼绍 英国雷尼绍公司于1994年在北京开设了第一个办事处，并于2000年在上海设立了办事处。目前，在中国共设有三个分公司和八个办事处，员工近百人。公司产品广泛应用于机床自动化、坐标测量、快速成型制造、比对测量、拉曼光谱分析、机器校准、位置反馈、形状记忆合金、大尺寸范围测绘、立体定向神经外科和医学诊断等领域。雷尼绍集团目前在32个国家或地区设有分支机构，员工逾3000人。 -完- 详情请联系： 张晶 (Grace Zhang) 市场助理 Marketing Administrator 雷尼绍（上海）贸易有限公司北京分公司 电话： +86 10 510882882 *1001 电邮：Grace.zhang@renishaw.com

1 引言受中国机床工具工业协会工具分会特约，作者于2001-2019年间参访两年一度在北京举办的国际机床展览会，并撰写了十届展会的量具量仪述评。十届展会时间跨度近20年，我国经历了改革开放、加入WTO以及金融和经济风险等诸多重大历史事件和风雨涤荡，机床工具制造业及量具量仪行业在经受风雨历练的同时，就整体制造能力而言，无论在技术质量水平和产品品种性能上，都得到了显著的提升和蓬勃的发展。基于对精密测量仪器的感触体验，作者撰文回顾了近二十年来我国齿轮测量技术和仪器的发展历程和部分成果。我国齿轮量仪的生产始于哈量，哈量建厂源于苏联的156项经济援助项目；在国家经济改革开放时期，通过精密传感技术、数字技术、数控技术、计算机技术和坐标测量仪精密量仪制造技术的引进开发和自我发展，推动了我国齿轮测量技术和仪器向基于计算机的数字化数控坐标式测量技术和仪器的发展。CNC齿轮测量中心代表了当今齿轮测量技术和仪器的先进水平，也是齿轮及齿轮刀具制造精度质量检测领域的主流需求。从上世纪80年代开始到90年代，CNC齿轮测量中心逐步形成了系列化产品，同时也是精密机械制造技术、精密位移探测传感技术、数字信息技术、计算机技术和数控技术在齿轮测量仪器上集成的结晶。它基于坐标式几何解析测量原理，对齿轮单项几何形状误差进行测量，是坐标式齿轮测量仪器发展中的一个里程碑。CNC齿轮测量中心实质上是由笛卡尔式直角三坐标系和一个回转角坐标所构建而成的四坐标测量机——圆柱坐标测量机，主要用于齿轮单项几何精度的检测，也可用于（静态）齿轮整体误差的测量。除了齿轮以外，也可用于齿轮刀具（如滚刀、插齿刀、剃齿刀）、蜗杆、蜗轮及凸轮轴等复杂型面回转体的单项几何误差进行高精度测量。由国外首先推出的、基于计算机技术的数字坐标式CNC齿轮测量中心取代了传统机械展成式的齿轮量仪，成为单个齿轮几何精度测量中独占鳌头的齿轮测量仪器和技术。国内通常认为，美国Fellows公司于七十年代成功开发的Microlog 50（图1）是世界上首台高水平的CNC数控齿轮测量中心，它采用了花岗石基座、四轴独立伺服驱动系统、激光干涉仪长度位移测量系统和光栅角度编码盘，其技术起点很高。图1 美国MICROLOG 60齿轮测量中心我国齿轮测量中心的开发历经了艰辛和曲折。成都工具所和哈量于1986年开始着手计划立项开发齿轮测量中心，直至1995年底在陕西省教委和陕西省机械局的支持下，西安工业大学和汉江工具厂合作成功开发出了我国第一台CNC齿轮测量中心CCZ40（图2）。这是一台由计算机控制的、可实现数控四轴联动的圆柱四坐标式齿轮测量仪器样机。经专业技术鉴定，确认达到预期目标，填补了国内空白。随后，哈尔滨精达公司经过努力，在2001年于国内首先开发研制出齿轮测量中心产品（图3），成功推向了首家用户——重庆宗申公司，并逐渐形成强大批产能力和竞争实力，打破了由国外齿轮测量中心产品一统国内市场的局面。此后，哈量、工具所、智达、爱德华、同和光学及秦川等公司陆续推出了自行设计开发的CNC齿轮测量中心，开创了我国齿轮测量仪器发展新面貌，品种和质量的持续提升令人鼓舞，和国外先进齿轮测量中心的技术与质量差距日益缩小，竞争力明显上了一个台阶。图2 西安工大汉江工具首台国产样机CCZ40图3 精达公司首台国产CNC齿轮测量中心经过近15年持续不断的努力和坚持，取得了阶段性成果，并分别在CIMT展会上展示，通用技术集团所属的哈量集团于2019年成功推介出配套完整、集成度高、技术含量水平高、完全拥有自主知识产权的“成套螺旋锥齿轮闭环专家生产制造系统”和技术（图4），其硬件涵盖了螺旋锥齿轮齿面的数控加工机床（铣齿机、硬齿面加工机床和磨齿机）。螺旋锥齿轮齿面的数控刀具和装备包括铣刀刀盘刀条装调仪、硬齿面刀具测量机以及螺旋锥齿轮齿轮测量中心等。这标志着我国锥齿轮的成套制造和加工测量技术跃上了一个新水平。（a）（b）（c）图4 哈量成套螺旋锥齿轮闭环专家生产制造系统随着我国数字化、信息化、网络化、智能化的发展，机器人近年来快速集成进入在线齿轮自动化智能测量生产线。2015年南京二机床在北京展会上展示的“智能化齿轮加工岛”，吹响了国内汽车齿轮自动化在线测量技术集成于齿轮制造加工过程的号角（图5）；而2020年精达为株洲齿轮公司提供的“智达快速齿轮检测自动线”配备2台六轴机器人，将意大利光学影像测量仪、自产CNC齿轮双啮仪和CNC齿轮测量中心等3台仪器有机联结，构建了一条齿轮快速智能检测系统（图6），将我国齿轮在线自动检测装备技术水平提升到一个数字化、信息化、自动化的新台阶。（a）（b）图5 南京二机床“智能化齿轮加工岛”（a）（b）图6 智达齿轮在线快速智能检测系统在近20年的十届北京国际机床展览会上，可以清晰看到我国齿轮测量仪器制造业的显著进展。如上所述，这正是我国齿轮测量技术与仪器装备行业“管（官）用产学研”，凝聚共识，坚持不懈，科学实干，以开发CNC齿轮测量中心为标志，在我国齿轮量仪制造行业的奋发自强和努力下，从无到有；从打破国外垄断到自主创新，不断推进我国齿轮制造业从齿轮制造大国向齿轮制造强国的蜕变，是不断提升国产齿轮质量做出重大功绩和历史贡献的20年。可以毫不夸张地说，近20年我国齿轮量仪的发展历史，就是我国CNC齿轮测量中心发展所引导的历史，是我国齿轮测量技术和仪器装备制造业在数字化、信息化、数控化、网络化和智能化的发展道路上阔步前行、转型升级和追赶世界先进水平而成效斐然的20年。本文根据这近20年间北京国际机床展会上我国齿轮测量仪器展品的概况，按类别和年代进行分述，以便读者能从中看到我国齿轮量仪的发展脉络。2 CNC齿轮测量中心融合并集中体现了当今齿轮测量技术和制造技术的发展水平和趋势（1）1989年工具所推出CZE1200D大齿轮测量仪（图7）。它由一台单板计算机同时控制二台步进电机联动，采用“粗传动精测量”技术实现CNC式齿轮螺旋线的测量（齿廓误差由棒状单齿测头啮合测量实现）。经上海计量所鉴定后当年成功交付用户上海冶金机械厂；同期，工具所还成功开发出CNC式步进电机光栅式/激光式滚刀检测仪GCW200（图8）。（a）（b）图7 工具所的CZE1200D大齿轮测量仪及齿廓测量原理（a）（b）图8 工具所GCW200光栅式滚刀检测仪（2）1995年西安工业大学和汉江工具厂合作，成功开发出我国首台CNC齿轮测量中心CCZ40样机，成果通过专业鉴定（图2）。该仪器采用计算机控制步进电机四轴（θ,X,Y,Z）联动，首次实现圆柱渐开线齿轮的齿廓、齿向螺旋线和齿距等单项几何精度以及齿轮刀具精度在国产CNC齿轮测量仪器上的测量。（3）2001年，哈尔滨精达成功生产出我国第一台国产CNC齿轮测量中心产品，用户为重庆宗申摩托。该测量仪器产品的问世，打破了国外同类产品十余年来对国内市场的垄断，填补了国产CNC齿轮测量中心产品空白（图3），开启了我国“齿轮测量中心”的规模制造生产以及进入国内外市场参与竞争的发展进程。（4）2003年北京国际机床展览会哈量和精达分别展出了各自开发的CNC齿轮测量中心（图9，图10）。此后在北京展会上展出CNC齿轮测量中心的有：2005年工具所CV450（图11）和西安交大思源GMC500（图12）；2007年精达新开发JA系列齿轮测量中心（图10），该中心采用DDR电机直接驱动工作台主轴、直线电机驱动测量滑板花岗石底座，提升了产品测量精度和稳定性；2011年，哈量、精达及智达等公司纷纷推出花岗石结构的CNC齿轮测量中心。哈量展出的L45型齿轮测量中心（图13），采用测量运动轨迹全闭环控制，可对K形齿廓、凸形齿廓及螺旋线鼓度等项目进行评定；西安爱德华秉承了三坐标测量机的成熟精密量仪设计加工制造技术，成功开发并于2011年展会上展出了G40高精度齿轮测量中心（图14）；2015年智达测控展出平行簧片结构的三维光栅数字式扫描测头Z3DDP（图15），并成功地应用于CNC齿轮测量中心，打破了该关键精密扫描测头部件产品的国外垄断。2017年展会上，青岛海拓推出了专用的平面二包测量中心（图16）。这实际上是通用齿轮测量中心的变型仪器，其主要功能是实现对我国首创的二次包络环面蜗杆/蜗轮/滚刀等复杂型面零件的高精度检测；2019智达则展出了以“谐波齿轮测量”为主题的成套测量仪器，包括检测谐波齿轮单项几何误差的齿轮测量中心和谐波减速器综合性能检查仪（图17），成为该届展会上国产齿轮量仪的一条亮丽风景线。（a）2003年产品（b）2005年产品（c）图9 哈量CNC齿轮测量中心（a）2003年产品 （b）2007年产品（花岗石基座）图10 精达CNC齿轮测量中心（a）2005年产品（b）2007年产品图11 工具所2005-2007年CV450齿轮测量中心图12 西安交大思源GMC500齿轮测量中心（a）L45（b）PREC40（近年开发新型号）图13 哈量L45和PREC40齿轮测量中心图14 爱德华G40齿轮测量中心图15 智达三维测头图16 海拓测量仪图17 智达谐波齿轮测量成套测量系统（5）2014年，中国计量科学研究院几何量所开发的“螺旋线（齿轮）测量基准仪器”项目完成验收。在完成与德国PTB的国际比对工作后，于2019年仪器通过鉴定和国家基准评审（图18）。该基准仪器采用了独立的激光跟随测量系统和独立的CNC测头运动轨迹生成系统（“驱动”和“测量” 两套系统独立又关联的设计）。该基准仪器的技术特点可归纳为：具有一维气浮回转工作台具有负载偏心下的角度自校准、二维激光干涉测长布局降低仪器阿贝误差、三维平行位移机构探测系统的测杆变形补偿、六轴联动主从级闭环精密驱动控制和采集等技术，以及自主建立的仪器精度补偿模型和相应误差补偿软件。这台由西安爱德华协助开发的超高精度和高稳定性的新一代齿轮螺旋线/渐开线测量装置的研制成功，标志着我国可直接溯源的复合式齿轮螺旋线/渐开线基准测量装置的技术指标达到了国际先进水平。该基准仪器实现了齿轮参量最短溯源链的直接溯源，其二路激光跟随测长误差0.1μm，修正后的探测系统误差0.3μm，修正后的回转台角误差≤0.15”；经比对测试，其螺旋线偏差测量不确定度为0.9μm/100mm (k=2)。其对外提供校准测量服务能力为：测量范围：β（0°-60°），d ( 25-400 ) mm 测量不确定度：螺旋线倾斜偏差（0.9-1.2）μm/100mm(k=2)，螺旋线形状偏差0.8μm（k=2） 螺旋线总偏差（1.2-1.5）μm/100mm（k=2）。值得提及的是，2009年，中航工业北京长城计量测试技术研究所更新研制的JLC齿轮测量中心基准仪器，测量齿轮渐开线样板基圆半径的不确定度: 当rb=100mm，U=1.1μm(k=3) ；测量齿轮螺旋线样板螺旋角的不确定度:当β=15°，U=1.0μm/100mm(k=3)，因此也成为代表当时我国齿轮测量中心制造/升级再制造的顶尖水平之作。（a）（b）（c）图18 国家计量院“齿轮测量基准仪器”设计原理和消除周期误差的有12个读数头光栅的圆光栅（6）2021年，通用技术集团哈量公司研发了具有自主知识产权的 ”L45P高精度计量型三维齿轮测量中心“（图19），该仪器具备高精度机械主机、误差修正补偿技术、多功能智能化实时测控系统及三维齿轮测量软件等多项自主关键核心技术，具有在线分析、自我诊断功能，具备稳定性高、扩展性强、抗干扰等优点。其配套的三维齿轮测量软件具有圆弧圆柱齿轮、弧锥齿轮、转子、弧齿刀盘等检测功能，仪器还具备测针库管理、空间修正、数据安全与管理等功能，是我国高精度计量型齿轮量仪又一突破，整体技术达到国际先进水平，是中国科协2021“科创中国” 榜“突破短板关键技术榜（装备制造领域）”十个项目之一。图19 哈量计量型L45P三维齿轮测量中心3 弧锥齿轮测量中心及其闭环制造系统使CNC齿轮测量中心集成弧锥齿轮的测量和制造（1）2005年哈量和精达分别在北京国际机床展会上展出拥有弧锥齿轮测量功能软件的CNC齿轮测量中心。哈量展出3903A齿轮测量中心（见图9a），与重庆工学院合作、在国内首先成功开发的齿轮测量中心锥齿轮测量软件所测得的锥齿轮三维齿廓误差（见图9c）；此后精达、智达也各自开发了相应的锥齿轮测量软件应用于齿轮测量中心产品。（2）2015年哈量在展会上重点推介“锥齿轮数字化网络化闭环制造系统”。该系统将哈量生产的数控锥齿轮切齿机床和数控锥齿轮磨齿机床与数控锥齿轮测量仪器——锥齿轮测量中心等整合集成，融通锥齿轮的设计加工及检测软件，实现锥齿轮加工参数的反馈调整，成功构建了锥齿轮闭环制造系统（见图20）；中大创远集团和智达合作于同年展出了类似锥齿轮闭环制造成套技术和仪器产品。该年展会呈现了我国锥齿轮智能化制造技术与装备发展的新景象、新格局。2017年哈量集团长沙哈量凯帅（现更名为长沙津一凯帅）还展出了HCS260硬齿面螺旋伞齿轮加工刀盘调刀仪（见图22）和CNC L65G高精度螺伞齿轮测量中心。（a）（b）（c）图20 哈量锥齿轮数字化网络化闭环制造系统和齿廓反调计算图形图21 工具所GCW300 CNC滚刀测量仪图22 哈量硬刀盘检测仪（3）2019年，哈量展出了具有自主知识产权、最新版本成套“螺旋锥齿轮闭环制造系统”（见图4）。它包括螺旋锥齿轮铣齿机/磨齿机/铣齿刀刀盘/刀条/刀具装调机和齿轮测量中心等螺旋锥齿轮和切齿刀具的所有加工制造和测量装置的硬件和软件，（借助于物联网）进行数据信息的融合集成，对我国螺旋锥齿轮制造业的发展，具有标志性的示范引领作用。4 齿轮刀具测量中心及其闭环制造系统是CNC测量齿轮中心在齿轮刀具制造中的数字化应用在齿轮刀具测量领域，工具所于1989年开始开发专业的卧式CNC光栅式齿轮滚刀测量仪GCW200，经不断改进后于2005年前后推出花岗石底座的GCW300（图21），具有一定的卧式齿轮测量中心的功能。哈量集团2017年展出的弧齿锥齿轮的铣刀盘和硬齿面螺旋伞齿轮刀盘的CNC刀盘装调检测仪（图22），在弧齿轮加工刀具的数字化闭环制造上，为我国做出了突破性重大贡献。值得一提的是，西安工业大学和汉江工具厂在1995年合作开发了我国首台CNC齿轮测量中心样机后，又于2009年在北京展出了成功合作开发的全套国产数控刀具离线闭环制造系统和装备——数控齿轮刀具磨齿机+CNC齿轮测量中心+数控砂轮修整机+数据处理平台（图23）。首次实现齿轮测量中心与数控砂轮修整机之间的数据整合集成，成功构建了国内首套离线齿轮刀具闭环制造系统。据悉，近期西安工业大学和秦川机床及汉江工具合作，正在进一步开发高新水准的、数字化网络化智能化的齿轮刀具制造闭环系统。图23 西安工业大学-汉江工具联合研发的齿轮刀具离线闭环制造本文作者：谢华锟，邓宁

3月20日,国家重大科学仪器设备开发专项&ldquo 跨尺度微纳米测量仪的开发和应用&rdquo 项目首次工作会议在市计测院举行。国家质检总局科技司副处长谢正文主持会议，清华大学院士金国藩、同济大学院士李同保、上海理工大学院士庄松林，国家质检总局科技司副司长王越薇、市质监局总工程师陆敏、市科委处长过浩敏等专家和领导出席会议。 　　会上，项目总体组、技术专家组、项目监理组、用户委员会和项目管理办公室宣布成立。会议报告了项目及任务实施方案，介绍了项目管理办法，并由专家现场进行了技术点评和项目管理点评。 　　王越薇对项目推进提出了具体工作要求。她要求项目所有单位本着为国家产业发展负责的精神，对项目予以高度重视。牵头单位要围绕总体目标，做细做实项目推进计划，项目各参与单位必须按时保质完成分目标，确保项目顺利推进。她要求加强项目的过程管理，制定并落实各项管理制度，对项目推进中出现的问题，要协调解决，必要时召开专题会议，并且做好包括基础数据、过程记录在内的档案管理。她还要求加强项目的财务管理，牵头单位和各参与单位都要重视财务管理，尤其要提高国家级重大项目的财务管理水平，确保项目经费的使用符合财务管理要求。最后，王越薇长还代表国家质检总局科技司表示，将尽全力做好项目实施单位与国家科技部的桥梁工作。 　　会上，陆敏要求市计测院勇于创新，集中力量确保项目顺利实施，并通过科研项目促进科研管理水平和能力的提高。 　　过浩敏感谢国家质检总局对项目的支持，肯定了重大专项对上海市创建具有国际影响力的科创中心的重要意义，并表示市科委将尽全力做好项目实施的地方配套服务工作。 　　&ldquo 跨尺度微纳米测量仪的开发与应用&rdquo 项目以我国近年来多项创新技术及市计测院科研成果为基础，突破我国在微纳米检测技术领域检测方法集成开发的诸多技术瓶颈，旨在攻克宏微联动多轴驱动和多测头集成、基于原子沉积光栅的纳米量值溯源等关键技术，研制用于计量、工业生产、产品检测中微形貌和几何尺寸测量的微纳米测量仪，并构建跨尺度、高精度微纳米测量与研发平台，为我国国防、航空航天、半导体制造业、微机电产业、大气污染物防治等领域提供有效的纳米计量技术支持和保障，提升我国高新技术产业中微纳米尺寸定量化测量的技术水平。 　　在国家质检总局的组织和指导下，项目经过近两年半时间的筹备和酝酿，于2014年10月获得国家科技部批准立项。项目牵头单位为上海计测工程设备监理有限公司，第一技术支撑单位为市计测院，16家参加单位涉及清华大学、上海交通大学、复旦大学、同济大学等国内顶级高校，以及中国工程物理研究院、国家纳米中心、中国科学院等国内顶尖研究机构。 　　项目研究过程中，将以产业需求为牵引，以实际应用为导向，注重基于国际先进技术基础上的集成创新和工程化、产业化开发，着力挖掘科研成果转化的潜力，提高我国微纳米测量科学仪器设备的自主创新能力和自我装备水平，并促进产、学、研、用的结合。项目完成后，将形成具有完全自主知识产权的仪器产品、附件、服务、标准等成果，能够填补国内空白，挑战国外仪器在相关领域的权威地位，促进纳米科技与经济紧密结合、科技创新与产业发展紧密融合，更树立国家在纳米制造、微电子、新型材料、超精密加工制造等领域的国际权威地位与话语权。

《外商投资产业指导目录(2011年修订)》已经国务院批准，现予以发布，自2012年1月30日起施行。2007年10月31日国家发展和改革委员会、商务部发布的《外商投资产业指导目录(2007年修订)》同时废止。 　　国家发展和改革委员会主任：张平 　　商 务 部 部 长：陈德铭 　　二〇一一年十二月二十四日 　　附件： 《外商投资产业指导目录(2011年修订)》 　　在该文件第四部分(二十二)章节规定，在仪器仪表行业国务院鼓励外商投资的领域，详细如下： 　　(二十二)仪器仪表及文化、办公用机械制造业 　　1. 工业过程自动控制系统与装置制造：现场总线控制系统，大型可编程控制器(PLC)，两相流量计，固体流量计，新型传感器及现场测量仪表 　　2. 大型精密仪器开发与制造：电子显微镜、激光扫描显微镜、扫描隧道显微镜、电子探针、大型金相显微镜，光电直读光谱仪、拉曼光谱仪，质谱仪、色谱-质谱联用仪、核磁共振波谱仪、能谱仪、X射线荧光光谱仪、衍射仪，工业CT、450KV工业X射线探伤机、大型动平衡试验机、在线机械量自动检测系统、三座标测量机、激光比长仪，电法勘探仪、500m以上航空电法及伽玛能谱测量仪器、井中重力及三分量磁力仪、高精度微伽重力及航空重力梯度测量仪器，光栅尺、编码器 　　3. 高精度数字电压表、电流表制造(显示量程七位半以上) 　　4. 无功功率自动补偿装置制造 　　5. 安全生产新仪器设备制造 　　6. VXI总线式自动测试系统(符合IEEE1155国际规范)制造 　　7. 煤矿井下监测及灾害预报系统、煤炭安全检测综合管理系统开发与制造 　　8. 工程测量和地球物理观测设备制造：数字三角测量系统、三维地形模型数控成型系统 (面积1000×1000mm、水平误差90%的反渗透海水淡化用能量回收装置、海洋生态系统监测浮标、剖面探测浮标、一次性使用的电导率温度和深度测量仪器(XCTD)、现场水质测量仪器、智能型海洋水质监测用化学传感器 (连续工作3~6个月)、电磁海流计、声学多普勒海流剖面仪(自容式、直读式和船用式)、电导率温度深度剖面仪、声学应答释放器、远洋深海潮汐测量系统(布设海底)

Leitz PMM-Xi超高精密通用测量机兼齿轮测量中心 Leitz PMM-Xi超高精密通用测量机兼齿轮测量中心 　　为了更好的满足不同类型的制造企业对于精密测量的需求，海克斯康计量扩展了其经典的Leitz PMM超高精度测量机家族—全新Leitz PMM Xi超高精度测量机，在提供更优性价比的同时，保持了Leitz PMM家族的超高测量稳定性和高功效。 　　Leitz PMM-Xi空间测量精度可达到0.6 + L/550微米，适用于校准测量工具，或者在生产车间、品质中心或测量实验室里用作质量基准设备。作为一款通用三坐标测量机，Leitz PMM-Xi还能够替代形状测量仪、齿轮和凸轮轴检测仪以及其他专用设备。光栅尺的高分辨率确保可重复的测量结果，Leitz PMM-Xi的重复精度为0.02微米。 　　Leitz PMM-Xi标配的传感器为升级版LSP-X5高速扫描传感器。该款传感器专为工业三维计量领域设计，支持变量高速扫描、自定心3D扫描以及单点触发。 新一代LSP-X5还提供了可移动的工件温度传感器接口，在测量过程中，该温度传感器可被集成到测座上，用于测量工件的温度，并对温度误差进行补偿计算，从而获取更精确的测量值。 　　Leitz PMM-Xi超高精度测量机，具备九种不同的尺寸，源自已被市场证明的Leitz PMM-C系列。目前，用户可以从分布于全球各地任何一个海克斯康计量分支机构中获取该系列测量机的商务支持。

近日，一种新型“3米长光栅复制光刻机”在中科院光电技术所研制成功。这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后创新研发的一项新型精密光刻设备。该机在母尺和工件间抽真空，采用蝇眼透镜的i线均匀照明系统，结合气浮工件台一维运动而实现大行程的扫描、真空接触、i线曝光。其照明均匀性为±2%，光刻分辨力优于5微米，照明面功率密度50mW/cm2，照明面积28mm×32mm；工件台匀速扫描行程大于3300mm，且扫描速度可在1mm-30mm/s范围任意调整与设定；整机实现计算机控制管理，液晶显示，中文界面，操作简便。该机衍射效应平滑、均匀照明、光源准直、真空接触、整机集成等颇具创意，具有精度高、可靠性好、自动、高效等特点，可广泛应用于高精度长光栅等长尺寸器件微细加工与生产。

红外辐射(760nm-30μm)作为电磁波的一种，蕴含着物体丰富的信息。红外光电探测器在吸收物体的红外辐射后，通过光电转换、电信号处理等手段将携带物体辐射特征的红外信号可视化。其具有全天候观测、抗干扰能力强、穿透烟尘雾霾能力强、高分辨能力的特点，在国防、天文、民用领域扮演着重要的角色，是当今信息化时代发展的核心驱动力之一，是信息领域战略性高技术必争的制高点。众所周知，波长、强度、相位和偏振是构成光的四大基本元素。其中，光的偏振维度可以丰富目标的散射信息，如表面形貌和粗糙度等，使成像更加生动、更接近人眼接收到的图像。因此偏振成像在目标-背景对比度增强、水下成像、恶劣天气下探测、材料分类、表面重建等领域有着重要应用。在短波红外领域，InGaAs/InP材料体系由于其带隙优势，低暗电流，和室温下的高可靠性已经得到了广泛的应用。目前，一些关于短波偏振探测技术的研究已经在平面型InGaAs/InP PIN探测器上开展。然而，平面结构中所必须的扩散工艺导致的电学串扰使得器件难以向更小尺寸发展。同时，平面结构中由对准偏差导致的偏振相关的像差效应也不可避免。与平面结构相比，深台面结构在物理隔离方面具有优势，具有克服上述不足的潜力。中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心E03组长期从事化合物半导体材料外延生长与器件制备的研究。E03组很早就开始了对近红外及短波红外探测器材料与器件的研究，曾研制出超低暗电流的硅基肖特基结红外探测器【Photonics Research, 8, 1662(2020)】，研究过短波红外面阵探测器小像元之间的暗电流抑制及串扰问题【Results in Optics, 5, 100181 (2021)】等。最近，E03组研究团队的张珺玚博士生在陈弘研究员，王文新研究员，邓震副研究员地指导下，针对光的偏振成像，并结合亚波长光栅制备技术，片上集成了一种台面型InGaAs/InP基PIN短波红外偏振探测器原型器件。该原型器件具有的深台面结构可以有效地防止电串扰，使其潜在地实现更小尺寸短波红外偏振探测器的制备。图1是利用湿法腐蚀和电子束曝光等微纳加工技术制备红外探测器及亚波长光栅的工艺流程。图2和图3分别是制备完成后的红外探测器光学显微镜图片和不同取向的亚波长光栅结构SEM图片。图1. 集成有亚波长Al光栅的台面型InGaAs PIN基偏振探测器的工艺流程示意图。图2. 两种台面尺寸原型器件的光学显微镜图片 (a) 403 μm×683 μm (P1), (b) 500 μm×780 μm (P0)。图3. 四种角度 (a) 0°, (b) 45°, (c) 90°, (d) 135° Al光栅形貌。图4是不同台面尺寸的P1和P0器件(无光栅)在不同条件下的J-V特性曲线和响应光谱。在1550 nm光激发，-0.1 V偏压下，P1和P0器件的外量子效率分别为 63.2% and 64.8%，比探测率D* 分别达到 6.28×1011 cm？Hz1/2/W 和6.88×1011 cm？Hz1/2/W，表明了原型器件的高性能。图4. InGaAs PIN原型探测器(无光栅)的J-V特性曲线和响应光谱。(a) 无光照下，P1和P0的暗电流密度Jd-V特性曲线；不同入射光功率下，(b) P1和(c) P0的光电流密度Jph-V特性曲线，插图是-0.1V下光电流密度与入射光功率之间的关系曲线； (d) P1和P0的响应光谱曲线。图5表明器件的偏振特性。从图5可以看出，透射率随偏振角度周期性变化，相邻方向间的相位差在π/4附近，服从马吕斯定律。此外， 0°, 45°, 90°和135°亚波长光栅器件的消光比分别为18:1、18:1、18:1和20:1，TM波透过率均超过90%，表明该偏振红外探测器件具有良好的偏振性能。图5. (a) 1550 nm下，无光栅器件和0°, 45°, 90°和135°亚波长光栅器件的电学信号随入射光极化角度的变化关系；(b) 光栅器件透射谱。综上所述，研究团队制备的台面结构InGaAs PIN探测器，其响应范围为900 nm -1700 nm，在1550 nm和-0.1 V (300K) 下的探测率为6.28×1011 cmHz1/2/W。此外，0°，45°，90°和135°光栅的器件均表现出明显的偏振特性，消光比可达18:1，TM波的透射率超过90%。上述的原型器件作为一种具有良好偏振特性的台面结构短波红外偏振探测器，有望在偏振红外探测领域具有潜在的广泛应用前景。近日，相关研究成果以题“Opto-electrical and polarization performance of mesa-structured InGaAs PIN detector integrated with subwavelength aluminum gratings”发表在Optics Letters【47，6173(2022)】上，上述研究工作得到了基金委重大、基金委青年基金、中国科学院青年创新促进会、中国科学院战略性先导科技专项、怀柔研究部的资助。另外，感谢微加工实验室杨海方老师在电子束曝光等方面的细心指导和帮助。物理所E03组博士研究生张珺玚为第一作者。

SL5000是风力发电机中的巨无霸。它的机舱上可以起降直升机，它的风轮高度超过40层楼。在工作的时候它不需要消耗任何燃料，也不会对环境造成任何污染。在20年的设计寿命里，它将从空气中获取4亿千瓦时的电能，按照上海市政府2011年的报告，这个数字相当于上海这个超级大都市一天的用电总量。&hellip &hellip 为了制造他，必须使用世界上最先进的设备。海克斯康计量旗下Leitz PMM-G测量机有幸成为纪录片重点宣讲的两台设备中的一台。 近期，央视推出的《超级工程》（China&rsquo s Mega Projects）记录片，在中华大地刮起一阵高科技的旋风潮。全球领先、国内顶级的高科技不但牵动了中国亿万观众强烈的自豪心，还引起全世界对中国高科技制造业的瞩目。在今年春季的戛纳电视节上，这部中国原创纪录片备受海外片商瞩目，它的英文版预告片展示在戛纳电视节官网上，点击率居高不下，超过了同时参展的央视另一部纪录片《舌尖上的中国》。 其中，备受推崇的第4集《超级工程-海上巨型风机》一集，为观众展现了一个巨大宏伟的风机：SL5000！该型号风机拥有全世界最长的叶片，对切割和焊接工艺的要求达到了变态的地步，为了达到20年的设计寿命，光模型测试就花了四个月，从材料研发、加工工艺设计，到精密质量检测和控制，再到后期安装，这些任务环环相扣无比艰巨。该集不到50分钟的纪录片用深入浅出的镜头语言为普通&ldquo 外行人&rdquo 拆解了全球最大的风机SL5000的设计、制造到后期安装的全过程。 就是在这样一个短短不到50分钟的时间里，海克斯康计量旗下的Leitz PMM大型超精密齿轮测量机兼精密测量中心占有近3分钟的镜头和讲解，而且，Leitz PMM是该片中风机制造过程中出现的仅有两台设备中的一员。记录片中这样描述Leitz PMM在SL5000最重要的部件轴承的制造过程中的作用&mdash &mdash &ldquo &hellip &hellip 如果在运行的过程中出现需要更换像轴承这种主要部件的情况，获利的希望就会落空，轴承因为既要受力又要运动而成为最易损坏的部分，SL5000所需要的轴承将挑战轴承制造的最高难度，到目前为止，全世界只有3家工厂有能力接受这种挑战，中国地图上，瓦房店是一座刚刚能被称为城市的县级市，这里有两台神秘的设备，他们是目前人类制造出来的最强大最精确的机器怪兽，他们的存在，给人们足够的信心，面对SL5000的制造困难。通俗来说，轴承就是一个封闭的圆形高速轨道，它的每一个细节都必须平滑和均匀。精密轴承对平滑度和均匀度有非常苛刻的标准。随着尺寸的变大，保证轴承达到精密标准的难度也随之成倍增加。SL5000这种巨型发电机需要巨大的轴承来支撑，而实际上，这个轴承是有史以来尺寸最大的精密轴承。为了制造他，必须动用目前最先进的加工设备，首先由这台大型铣床出场&hellip &rdquo &ldquo 在轴承高速运转的过程中，任何一点细小的瑕疵都有可能被急剧放大，导致轴承严重损坏。传统的检测方式已经难于满足高标准的质量要求了，&hellip ..是时候请另外一个机械怪兽出场了!这是世界上最大的三维精密检测仪，为了保证精密检测头有足够的硬度，并且达到微米级的检测标准，它的所有测头，都采用了昂贵的红宝石；这台检测仪的检测范围超过3米，而检测精度达到了0.8微米，用一个形象的比喻来说，就是在一个直径3公里的完全平整的地面上，如果某一个地方有一个沙粒一样的凸起都会被它发现。&rdquo SL5000使用的主要轴承尺寸超过3米，但是这么大的轴承的加工的误差不能超过6微米。&ldquo 这个6微米的概念是什么呢？它相当于人的头发丝（直径）的20分之一&hellip &hellip &rdquo 瓦房店轴承公司的三坐标检测员周发明先生说。 &ldquo 有了如此强大的设备，SL5000所需要的轴承全部生产出来了，其中最大的一个轴承有两层楼的高度，它将安装在发电机机舱的底部，有了它，海上巨无霸SL5000就可以随心所欲的转动，寻找风的方向！&rdquo 是的，只有随心所欲的转动才能获取最强劲的风能。在SL5000这个宏伟的杰作里，任何人都能感觉到高科技令人振奋的力量，而任何参与的人和组织都为之深感荣幸，这是属于全人类的超越国界的里程碑，标志着人类在风能利用领域的一个崭新突破！ Leitz ,精密计量的品牌大腕 海克斯康计量旗下的Leitz超高精密计量系统，一直承接全球最核心的质量确认任务，不但包括超高精密零部件检测，包括各类叶片、齿轮、涡轮蜗杆等复杂几何形状零部件质量分析，还兼具小型量具量仪的校正，堪称计量业界的权威、计量品牌的大腕。 Leitz 研究中心和制造工厂位于德国的韦茨拉尔，也是世界最高精度三坐标测量机的出产地&mdash &mdash 其Leitz Infinity型号测量机，拥有0.3微米的顶级测量精度。Leitz已经拥有超过30年的精密计量经验。 风靡风电行业的Leitz PMM-G是一款龙门结构的大型精密测量机，其全新的龙门式设计理念，为大型工件的输送提供便利。采用稳固的一体式U 型地基，可以最大限度的降低运动部件的质量，从而保证了极高的精度水准。 其主要的技术优势体现在以下几个方面： 1.高精度、超大尺寸通用型测量机，采用龙门式结构设计。 2.专门为测量机和地基设计的一体式减震系统，包括动态气浮系统和电子水平调节装置。 3.设计移动龙门式高架结构设计，具有最小的移动质量。在X向和Y向采用稳固的花岗岩导轨，采用两点支撑方式安装固定。 4.陶瓷Z轴，机器地基采用U型设计，并用混凝土浇筑加固。 5.各轴预载荷空气轴承每个轴采用精密气浮轴承X向采用双重驱动。具有推力控制的高性能伺服电机驱动。 6.滚珠循环式精密丝杠传动系统 7.高分辨率金属光栅尺，增量式光电传感器，X向采用双光栅尺。 8.采用Leitz 高分辨率三维测头系统LSP-S2，支持动态单点触测，自定中心测量和高速扫描可达750 点/ 秒。支持 800 mm超长加长杆。 9.采用业界顶级测量软件Quidos，能够测量和评价所有规范和不规范的多维几何特征，例如各种形状的齿轮、叶片、蜗杆、刀具等，且提供DIN、ISO、JIS、AGMA、ANSI、CNOMO或CAT标准等全球各类标准评价方法。 10.既是通用型的三坐标测量机，兼具齿轮测量中心功能，可以精确检测各种中、大型齿轮，无需转台。 欢迎登陆克斯康官方网站http://www.hexagonmetrology.com.cn 了解更多详情！ 相关视频http://www.hexagonmetrology.com.cn/mchannel/Video.aspx

光机产品质量的检验方法是否正确关系产品质量的好坏，看卓立汉光光机产品出厂前如何严把质量关？卓立汉光自1999年成立以来，不断深耕细作，我们从研发生产光学精密机械产品起步，目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。“好光机，卓立造”我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好质量保证，就是要让您 “付有所值”。公司的产品出厂前均按照国家标准、行业标准、或企业标准（部分高于上述同类标准）进行检验，我们根据 ISO9001 ：2015 国际质量管理体系的要求，对于产品的技术指标负责，我们所使用的检测仪器定期送至国家计量单位进行校准。卓立汉光所使用的测量仪器和实验仪器：名称检验精度或范围厂家国别说明5维激光干涉仪长度方向：0.02μm角度：0.1＂美国成品检测三坐标测量仪（也称三次元测量仪）系统分辨率：0.078μm测量精度：2.8μm+L/300合资（瑞典）零件检测、成品检测平面度检测仪0.01～0.001mm/m中国成品检测振动频率检测仪0.06～1000Hz中国成品检测安规综合测试系统漏电流：0.01mA接地电阻：0.01Ω英国成品检测（电子类）数显测微自准直仪0.1＂中国成品检测齿轮双面啮合综合检查仪1μm中国零件检测万能工具显微镜1μm中国部分成品及零件检测洛氏硬度计20～70HRC中国部分成品及零件检测机械振动台加速度:10g；频率：10～80Hz中国成品检测高低温循环实验箱-40～150°C中国成品检测常规检测设备：包括000级大理石测试平台、万用表、示波器、光栅尺及数显表、万能角度尺、卡尺、刀口尺、卓立汉光可检测项目（部分）1、零件检测项目卓立汉光零件检测中除了常规检测手段外，针对 FA 工业品中的若干系列，如 ：CXP 系列、SIN 系列、TBR 系列、XYR 系列电动滑台，核心零件采用 ：洛氏硬度计、齿轮双面啮合综合检查仪、三坐标测量仪等进行检测，确保零件质量。检测零件检测项目检测范围检测设备常规机加工零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键机加工零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪蜗轮蜗杆材料TBR系列、TBG系列等第三方检测机构蜗轮蜗杆硬度TBR系列、TBG系列等洛氏硬度计蜗轮蜗杆啮合精度限TBR系列齿轮双面啮合综合检查仪丝杠物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备丝杠同轴度限CXP系列、SIN系列、XYR系列抽检三坐标测量仪、齿轮双面啮合综合检查仪导轨及轴承物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备导轨及轴承基准面、定位面精度所有产品三坐标测量仪、常规检测设备常规外购零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键外购零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪2、成品检验项目卓立汉光成品检测中除了常规检测手段外，针对 FA 工业品中的若干系列，如 ：CXP 系列、SIN 系列、TBR 系列、XYR 系列电动滑台，新增：微步能力、微步运动时重复定位精度、微步运动时回程间隙、静态平行度、背隙等指标的检测，确保成品更符合工业设备使用要求。检测项目直线及升降滑台旋转、摆动滑台及对位平台检测设备行程所有产品所有产品常规检测设备重复定位精度所有产品所有产品常规检测设备微步运动重复定位精度限CXP系列/激光干涉仪回程间隙所有产品所有产品常规检测设备背隙CXP系列、KA系列、PA系列TBR系列、TBG系列推力计、千分表微步运动回程间隙限CXP系列/激光干涉仪运动性能（包括速度、加速度等）标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品常规检测设备精度（绝对定位精度）CXP系列、KA系列、PA系列限TBR系列、DDR系列激光干涉仪微步能力限CXP系列/激光干涉仪或千分表运动直线度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪运动平行度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪静态平行度标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品千分表或三坐标检测仪俯仰CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪偏摆CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪端面（轴向）跳动/限旋转滑台千分表径向跳动/限旋转滑台千分表最大净转矩/限TBR系列扭力扳手、测试工装

高效光伏太阳能电池（发电板）制造商面临的最大挑战是降低成本和提高电池效率。通过提高产量、减少加工精度的分散变化，并消除影响生产力提升的障碍来提高工厂自动化程度，是公认的实现电网价格持平等问题的关键。 与众多行业一样，选择合适的光栅（位置编码器）在光伏电池制造的高效工厂自动化中是很重要的环节。全球各地的太阳能电池板制造商一直在寻找一种有助于增加输出量、提高产量并尽量缩短停机时间的编码器。雷尼绍的RESOLUTE绝对式直线光栅和圆光栅可以满足这些要求，该光栅将真正的绝对式光栅反馈与高分辨率（1 nm）、高精度（± 1 µ m/m）、非接触光学系统等计量优点相结合，具有非常出色的可靠性和安全性。 RESOLUTE是绝对式光栅，这意味着它在通电后就能立即确定绝对位置，无需返回参考（基准）点，从而极大缩短开启时间并在出现任何运动前就实现对轴的完全控制。此项性能特征在机床断电又重新通电的情况下非常重要。它可以安全可靠地执行复杂的恢复路径，确保价格昂贵的产品和设备免于受损。 实际上，位置反馈的安全性是RESOLUTE系统的一项突出优点。光栅运行两种独立算法：一种用于确定绝对位置，另一种用于检查测量结果。这些内置位置检查算法可以独立校验位置，确保报告位置的保真度并可防止轴的非受控运动。因此大大降低了制造过程中电池或轴受损的几率。RESOLUTE已被世界领先的外科手术机器人公司采用，这足以说明该集成功能的有效性和可靠性！ RESOLUTE以一种完全独特的方式工作，类似于一台超高速数码相机对由长的非重复条形码组成的栅尺进行拍照，从而为读数头提供绝对位置。RESOLUTE比市面上最快的数码相机的速度还要高1000倍。在图片中进行插补可达到1纳米的分辨率。另外，由于RESOLUTE在100 m/s时可达到1 nm的分辨率，所以光栅速度永远不会是一种限制，因此硅太阳能电池制造设备可更快速地运转，并且与使用传统光学编码器的设备相比，可实现更高的产量和效率。而且绝不仅仅是高速度&hellip &hellip 条形码含有大量的冗余，而读数头应用复杂的交互校验和误差修正。因此结果不会受到诸如硅尘、油和指纹等栅尺污染的影响。RESOLUTE所具备的抗污能力意味着，它可以在可能引起其它光学编码器丢数的环境中连续运转。 另外，RESOLUTE可以达到非常优异的运动控制性能，因而提高了精度和制造过程的产量，甚至领先于极为苛刻的精密激光加工技术。传统密封式绝对式光学编码器通常具有约± 200 nm的细分误差 (SDE)。这么明显的SDE会产生很差的速度控制性能，导致运动轴上出现振动；在这样的轴上移动易碎、昂贵的硅片有可能发生&ldquo 恐怖的故事&rdquo ，而且可能出现微裂纹，太阳能电池的相关性能也会降低。较差的SDE还可降低诸如缺陷检测等动态执行的扫描作业的生产效率。RESOLUTE凭借其新颖的检测方法打消了所有这些顾虑，这种方法的固有SDE非常低，不超过± 40 nm。多轴设备的制造商还可以通过使用RESOLUTE获益，因为它具有非常低的噪声（

模块化 高性价比 X射线相衬 暗场成像套件与传统的X射线吸收成像相比，X射线相位衬度成像能够为轻元素样品提供更高的衬度，特别适合用于对软组织和轻元素构成的样品进行成像。目前主要存在5类相衬成像方式，他们大部分对光源的相干性要求极高，只能在同步辐射光源或者借助微焦点X射线源实现。而光栅法相衬成像，经过十多年的发展，已经成为在实验室实施相衬成像实验的主流技术路线。但是，高深宽比和大视场光栅的制作一直是困扰研究人员的一个痛点，LIGA技术的出现及成熟，使得此类光栅的制作变得更加的容易及可靠。基于X射线相衬成像的光栅利用Talbot自成像效应来获取有关X射线因折射和散射而产生的微小角度偏转的信息。这在医学成像和材料研究等各个领域都有潜在的应用。但是对于刚进入这一研究领域的科研工作者或者单纯想快速获得相衬图片的用户来说，繁琐的光栅参数模拟、全新开模制作光栅价格昂贵、精密平移台的选择及精密调节都将耗费大量的精力。为了解决这个问题，德国microworks公司推出了一套模块化、高性价比的X射线相衬、暗场成像套件-TALINT EDU。-TALINT套件-Microworks的TALINT EDU系统是一款结构紧凑、物美价廉的TALbot干涉仪套件。它是X射线Talbot-Lau干涉仪的巧妙简化形式，包括了建立和微调干涉仪所有必要的硬件，通过相位步进步骤来获得三种成像模式应用：吸收成像、相衬成像和暗场成像。使用者可以在不到半小时的时间内快速组装。对于这个简化的系统来说，图像采集是手动的，在相位步进过程中获得的图像非常适合于图像分析科学家。- TALINT EDU包装一览 -00:16Talint-EDU 套件主要参数套件规格套件尺寸 60cm x15cm x20cm安装EDU套件底板为M6螺孔，孔间距25mm的面包板，可安装于用户的光学平台或任何适合 25mm 间距的装置G0-G1和G1-G2距离 29cm，通过精密定位销固定；对称安装方案1：所有3个光栅角灵敏度的设计能量周期（光栅周期超过光栅间距） 40 keV 6.0 μm 21 μrad方案2：所有3个光栅角灵敏度的设计能量周期 21 keV 4.8 μm 16 μrad光栅有效面积G0: 15 mm ØG1: 70 mm ØG2: 70 mm Ø干涉仪微调可调整G1和G2绕光轴旋转角度两种光栅都可以用精密调节的螺旋千分尺绕光轴旋转样品放置可放置于靠近G1任意一侧相位步进闭环压电平移台，30nm分辨率 （包含控制器）条纹可见度 典型值15%光栅组选项 （含3块光栅）标准规格参数设计能量-40 keV设计能量-21 keV光栅周期（3块）6.00μm4.80μmG0 G2 吸收材料及高度金＞150μm金＞50μmG0 G2 光栅占空比0.55（容差范围0.5-0.6）0.55（容差范围0.5-0.6）G0 G2 光栅衬底石墨 400μm石墨 400μmG1 相移材料及高度Gold 7.7 μm (40 keV)Nickel 7.4 μm (21 keV)G1 光栅占空比0.5（容差范围0.45-0.55）0.5（容差范围0.45-0.55）G1 光栅基底硅 200μm硅 200μm视场范围（样品）35mm35mmTALINT-EDU 为一维光栅对称结构，除上述标准光栅套组外，还可根据要求提供其他能量段，视场等定制光栅。应用示例1. CFRP拉伸试验试棒吸收像相位像暗场像- 相衬成像增强了空腔折射信号的成像衬度- 暗场成像增强了由纤维束引起的散射信号的成像衬度2. 裂纹损伤吸收像 暗场像- 暗场成像增强了发丝状裂纹散射信号的成像衬度3. 3D打印钛波纹管照片吸收像暗场像- 暗场成像增强了残留粉末散射信号的成像衬度Microworks 代理产品 滑动查看下一张图片 德国Microworks公司基于及独特的LIGA技术，向广大科研用户提供定制化的微结构加工服务。其中，它的X射线透射光栅在相衬成像领域，有着极高的声誉。北京众星联恒科技有限公司作为Microworks公司中国区授权总代理商，为中国客户提供Microworks所有产品的售前咨询，销售及售后服务。我司始终致力于为广大科研用户提供专业的EUV、X射线产品及解决方案。如果您有任何问题，欢迎联系我们进行交流和探讨。

光栅是光谱仪器中的一个重要元器件，它就是光谱仪器的眼睛，它具有色散（分光）和成像的功能。目前光栅在摄谱仪、扫描单色仪、直读光谱仪等广泛使用，目前使用的传统凹面光栅相差偏大， 随着CCD等平面阵列探测器在光谱仪测量设备中的广泛使用，要求分光成像系统形成的光谱像位于同一平面上，科学家们面对这一需求，研发出全新的全息技术，全息平场光栅孕育而生。全息光栅的特点为：（1）无鬼线（传统机刻光栅的光谱中会出现一些不真实的谱线），杂散光极小；（2）分辨率高，由于全息技术使光栅刻线总数大幅度增加，因此色散率、分辨率也大幅度得到提高，此特点对兼顾平场和提高分辨率方面效果显著。当波长范围较宽时，传统帕邢-龙格凹面光栅很难兼顾平场和高分辨率的要求，利用全息记录技术获得的平场光栅（变间距曲线槽凹面光栅），具有校正像差能力，与传统机刻光栅相比，在像差、信噪比和成本方面更具优势，全新的全息平场光栅逐渐引起人们的关注。赛默飞世尔科技是检测领域的世界领导者。它为全球客户提供的优质分析仪器、实验室设备、试剂耗材及创新的实验室综合解决方案。赛默飞世尔在直读火花光谱仪行业拥有超过80年的经验，最近在高端台式直读火花光谱仪3460/4460之后，赛默飞世尔科技利用平场光栅（变间距曲线槽凹面光栅）技术又推出一款全新的全谱直读火花光谱仪ARL easySpark 1160。ARL easySpark 1160全谱直读火花光谱仪可快速的对固体金属样品进行分析。无论从痕量元素，还是到高浓度的元素，它都能准确、可靠的分析。赛默飞世尔在行业内多年的积累，针对有大量金属分析需求的冶炼行业和实验室，设计了这款全新的、更具性价比的全谱直读火花光谱仪，可满足客户在冶炼、汽车、航空航天、铸造等众多行业的生产需求。关于朗铎科技朗铎科技，全球科学服务领域的领导者-赛默飞世尔科技（Thermo Fisher Scientific）中国区域战略合作伙伴。作为工业检测分析系统解决方案服务商，我们致力于为中国客户提供全球高品质的分析仪器、专业的应用技术支持、优质的售后服务等系统解决方案。朗铎科技是赛默飞世尔尼通（Niton）手持式光谱仪在合金/地矿行业的中国区总经销商，也是Niton中国区售后服务及技术支持唯一授权服务商，同时也是赛默飞世尔arl全谱直读光谱仪的中国区总经销商。目前朗铎科技主要产品包括手持式合金光谱仪、手持式矿石光谱仪、全谱直读光谱仪等系列产品。关于赛默飞世尔ARL赛默飞世尔科技（Thermo Fisher Scientific，纽约证交所代码：tmo，以下简称赛默飞），全球科学服务领域的领导者。ARL是赛默飞旗下品牌，1934年生产出世界上第一台火花直读光谱仪，80多年来，ARL以其良好的操控性、稳定性、可靠性和耐用性，引领了直读光谱仪行业潮流，其尖端技术和卓越信誉让arl直读光谱产品销量和市场占有率均居世界同类产品前列。目前全球各大钢铁、有色、石化、建材等客户都选择ARL作为产品质量和生产过程控制的主要手段，中国各大钢铁、有色、科研院所都是ARL的忠实用户。

TIMART系列通用型条纹相机让条纹相机走进大众实验室，助力科研人员实现超快梦想！ 条纹相机是一种同时具备高时间分辨（皮秒）与高空间分辨（微米）的瞬态光学过程测量仪器，既可直接用来测量超短光脉冲辐射的强度-时间-空间关联波形，也可以作为高时间分辨的图像记录设备和其它仪器，如显微镜、光谱仪等，构成联合诊断系统，实现超快空间-强度-时间分辨或能谱-强度-时间分辨的关联参数测量，是超快光化学、光物理、荧光过程、超短激光技术等领域研究的关键工具。TIMART系列条纹相机 是中国科学院西安光学精密机械研究所面向普通科研市场全新研制成功的通用型条纹相机。该系列条纹相机采用先进的同步扫描条纹变像管，集成了数字化同步扫描模块和单次触发扫描模块，首次实现程控切换单次扫描和同步扫描功能，极大的降低了用户使用难度，拓宽了相机使用范围。配合卓立汉光的光谱测试系统，可实现200nm到850nm光谱范围高灵敏时域光谱测量。同步扫描模式最高可实现300MHz同步测量，单次扫描模式可实现1kHz重复触发，使得条纹相机真正实现了通用化，走进普通实验室！ 主要特点： l 紫外至近红外光谱响应，2ps时间分辨；条纹管多种光阴极可选，覆盖UV-VIS-NIR 宽光谱范围，最高2ps 的时间分辨率以及50lp/mm 空间分辨率l 主流核心部件，品质保障条纹管模块，增强器模块及相机耦合读出模块均选用主流厂家成熟产品，实现优异性能的同时，保障了量产稳定性和一致性l 兼容两种工作模式：高性能同步扫描/单次低频扫描模块集于一身同步扫描模块与单次低频扫描模块程控切换，可实现单次发光现象到高重频（300MHz）发光现象高灵敏度、高时间分辨获取，提升了系统通用性l 优化系统配置，提供超高灵敏度可以提供双级联MCP增强器作为信号增强，提供103-105信号增益以改善弱信号探测灵敏度；采用科研级大面阵制冷型相机作为读出单元,16 bits 输出， 10000:1 动态范围；光纤面板耦合读出方式，相比镜头耦合读出系统提升超过20倍的耦合效率！l 专业软件控制界面一体化相机控制界面，可订制化集成ccd、光谱仪一体化控制，流程清晰，操作简单；专业条纹图像采集、增强显示与数据处理软件，帮助实现数据深度挖掘；l 本地化专业技术支持服务，免除后顾之忧无需苦等出口许可，超短交货期！专业售后支持，本地技术团队快速响应！可预约免费样机、样品测试！l 与光谱仪连用，提供完整时域光谱测试解决方案 条纹相机与光谱仪配合使用，可实现光谱、光强与时间信息同时测量，完整方案可快速实现从ps到s量级宽范围时间分辨光谱测试！条纹相机选型参数列表：系列号ST10 T40T40-HDR推荐型号ST10-1LST10-2LST10-1FST10-2FT40-1FT40-1F-HDR条纹管阴极有效狭缝长度8 mm8 mm35 mm30 mm光学狭缝长度12 mm12 mm35 mm35 mm光学狭缝宽度0~3 mm 手动可调10 um调节精度0~3 mm 手动可调10 um调节精度0~3 mm 手动可调20 um调节精度0~3 mm 手动可调20 um调节精度阴极类型S20(200-850 nm)，BB(200-900 nm)，S25(350-900 nm)荧光屏P20,P43（P46,P47更多可选）同步扫描(S)频率40-300MHZNANA 触发(T)频率单次或 单次或10 ps条纹管空间分辨率（典型值）50 lp/mm50 lp/mm20 lp/mm扫描时间轴范围0.5 ns-1/6 fs @同步扫描-三挡可选1ns-1ms@触发扫描 三挡可选1 ns-1ms@触发扫描 六挡可选1ns-1ms@触发扫描 六挡可选像增强器 -1: 25mm单MCP； -2: 25mm双MCP40mm单MCP40mm单MCP像增强器增益(P20）-1: ≤1.00E+04 -2: ≤3.00E+05≤1.00E+04≤1.00E+04读出相机耦合方式镜头耦合1:1 光纤面板1:1 光纤面板1:1 光纤面板阵面2048*20482048*20484096*40964096*4096像素6.5um*6.5um11um*11um9um*9um9um*9um探测面尺寸13.3*13.3mm22.5*22.5mm36.8*36.8mm36.8*36.8mm像素阱深=30000e-=70000e-60000e-60000e-动态范围30000:130000:115000:115000:1制冷方式风冷或水冷水冷水冷最低制冷温度0度@风冷，-10度@水冷 -20度 -20度帧速50fps18fps3fps 16bit3fps 16bit通讯方式USB3.0USB3.0+以太网灵敏度效率一般高 高高典型特点同步扫描+触发扫描高时间分辨较低耦合效率高性价比同步扫描+触发扫描高时间分辨高耦合效率高灵敏度高性价比超长狭缝高灵敏度触发扫描超长狭缝大动态范围高灵敏度触发扫描电磁屏蔽设计 通用型XSC系列条纹相机选型指南： S---高重频同步扫描 T---单次、低重频扫描 F---光纤面板耦合读出 L---镜头耦合读出 10,20,40---条纹管狭缝长度尺寸 -1/-2----单级或双级联MCP像增强 -HDR---高动态范围 光谱仪建议选型参数列表：光谱仪型号Omni-λ2002iOmni-λ3008iOmni-λ5008iOmni-λ7508i光谱仪焦距200mm320mm500mm750mm相对孔径F/3.5F/4.2F/6.5F/9.7光谱分辨率（1200l/mm）0.3nm0.1nm0.08nm0.05nm波长准确度+/-0.2nm+/-0.2nm+/-0.15nm+/-0.1nm倒线色散(1200l/mm)3.6nm/mm2.3nm/mm1.7nm/mm1.1nm/mm光栅尺寸50*50mm68*68mm68*68mm68*68mm光栅台双光栅三光栅三光栅三光栅与条纹相机耦合中继光路耦合光谱仪入口选项光纤及光纤接口，标准荧光样品室，镜头收集耦合等 典型应用实例：1： 金属丝电爆炸试验（不同气氛压力下） (西安交通大学1)2: 有机小分子ASE 寿命测试（华南理工大学DOI: 10.1002/adom.201900701，Adv. Optical Mater.）3：激光电离空气等离子体全光谱测量 4：荧光寿命测试—某钙钛矿PL时间分辨光谱测试 5： Cs4PbBr6 以及 CsPbBr3 钙钛矿材料的超快荧光组分寿命测试（2019年10月9日的 Physical Chemistry Letters，兰州大学 ） 主要应用方向： l 超快化学发光l 超快物理发光l 超快放电过程l 超快闪烁体发光l 时间分辨荧光光谱，荧光寿命，l 半导体材料时间分辨PL谱l 钙钛矿材料时间分辨PL谱l 瞬态吸收谱，时间分辨拉曼光谱测量l 光通讯，量子器件的响应测量l 自由电子激光，超短激光技术l 各种等离子体发光 l 汤姆逊散射，激光雷达l 。。。。。。创新点：" --集成了数字化同步扫描模块和单次触发扫描模块于一体，国际首次实现程控切换单次扫描和同步扫描功能，降低了用户使用难度，拓宽了相机使用范围，增强通用性； --采用制冷型光纤面板耦合相机读出，提升了耦合效率。" TIMART系列通用型条纹相机

日前，无锡市检验检测认证研究院发布招标公告，预算1500万元采购1套450KV高能微小焦点高分辨率工业CT检测系统。11月4日，该项目招标结果出炉，无锡联发易创科技有限公司以1398万元中标，中标品牌为Comet Yxlon（依科视朗）。中标详情如下：一、项目编号：JCECCG2022-27二、项目名称：无锡市检验检测认证研究院450KV高能微小焦点高分辨率工业CT检测系统采购项目三、中标信息供应商名称：无锡联发易创科技有限公司供应商地址：无锡市新吴区新华路5号创新创意产业园B栋313-319室中标金额：1398万元四、主要标的信息名称：450KV高能微小焦点高分辨率工业CT检测系统品牌：Comet Yxlon规格型号：FF85数量：1套单价：13980000.00元五、评审专家名单：叶青、杨敏智、杨远飞、许萍、马慧红、陆荣(采购人代表)、李玉成(采购人代表)六、代理服务收费标准及金额：国家发展计划委员会计价格【2002】1980号文基准费率的80%计算，成交供应商支付代理服务费：9.5120万元。根据招标文件，该产品主要技术性能及指标要求如下：1 基本要求1.1 最大样品三维成像范围：≥Φ900mm × H1050mm；最大自动碰撞保护尺寸范围：≥Φ1000mm × H1000mm；最大装夹尺寸：≥Φ1000mm × H1500mm1.2 可检测样品重量：≥200 kg；▲1.3 为保证系统高温度精度稳定性，整个机械扫描平台及立柱基于高强度大理石设计，全轴配高精度光栅尺，铅房内设移动便携式各轴操作运动控制面板。1.4 铅房与CT主机为分体式设计，铅房尺寸需保证足够的内部操作及维护空间。1.5 功能要求：设备应具有锥束CT扫描、偏置CT扫描、有限角CT扫描、水平/竖直扩展CT扫描及自动拼接、探测器平移扩展扫描、快速CT扫描、局部CT扫描等功能，需相应提供技术方案描述说明及支撑证明材料。▲1.6 高级扫描模式之螺旋CT扫描功能；可有效避免传统锥束扫描算法存在的固有的锥束伪影，从而提升图像质量。★1.7 高级扫描模式之螺旋扩展扫描模式： 双螺旋扫描功能，可在单螺旋的基础上，进一步提升分辨率多至 1.8倍。需相应提供技术方案描述说明及支撑证明材料。 ▲1.8 高级扫描模式之高速螺旋扫描功能， 要求普通尺寸工件螺旋扫描在5分钟内，在保证图像质量无明显锥束伪影的情况下，以提高扫描效率。需相应提供技术方案描述说明及支撑证明材料。▲1.9 高级扫描模式之虚拟中心扫描功能；允许扫描时不沿工件物理中心进行旋转，利用软件自动定义ROI感兴趣区域，而无需重复开关门装卡工件寻找旋转物理中心以节约准备时间。 投标文件需提供技术方案描述说明及支撑证明材料。★1.10 高级扫描模式之计算机分层层析扫描模式；针对大尺寸平板类零件或宽厚比较大的工件，可在工件不用传统旋转扫描的模式下获取最高放大倍数进行扫描。 投标文件需提供详细技术方案描述说明及相应效果测试报告证明材料，▲1.11 该系统具备各种数字滤波及图像增强显示功能，可动态高清DR数字成像。▲1.12 为最大化的保证生命周期内设备性能及稳定性，设备核心部件（探测器和射线管）由国际知名元器件及设备制造商供应，设备制造商需具备射线源及探测器的制造能力及经验。★1.13 采购设备将用于7x24小时高负荷检测服务应用, 设备及配套软件应具有国际先进水平、且为技术应用成熟的市场化产品，具有高可靠性和良好的操作性，符合人机工程学设计。不接受开发及试制以及尚未成熟的产品， 投标文件需提供相应技术支撑证据；内容包括软件、真实设备、功能相关照片或截图、技术规格书。▲1.14 投标商需提供投标产品配置450K高能微小焦点成像性能测试报告，包括其测试参数, 投标文件需提供测试报告，测试参数和图片资料。2 安全要求2.1 X射线泄漏：距设备10cm处射线泄露率小于1.0 µSv/h，必须符合德国RöV，美国21 CFR 1020.40或中国GB18871等同标准，具有门机双联锁装置，开门射线即停；2.2 紧急控制：装有急停按钮，可对设备实现紧急关机；2.3 信号警示：设备应具有信号警示灯，当射线开启，信号灯闪烁或常亮；信号灯可起到联锁控制作用，若信号灯故障，射线无法开启；2.4 实时内部观测：铅房内全景摄像头，可对移动样品进行实时观测；▲2.5 工件自动扫描防碰撞保护；需提供可靠方案进行射线源、探测器、工件的防碰撞保护。 应提供技术方案描述说明及支撑证明材料。 3 450KV金属陶瓷微小焦点X射线源450KV微小焦点X射线源应由金属陶瓷微小焦点X射线管、高压发生器、高压电缆、冷却系统、控制系统、稳压电源等组成。3.1 最大管电压：≥20-450KV 3.2 高压发生器： 2x225KV3.3 高压电缆：2 X 225KV， 15 米长3.4 射线系统最大电源功率：1000W★3.5多微焦点设计，焦点测试标准参考ASTM E1165-12 标准， 选定焦点模式后，靶功率恒定运行； 相应焦点尺寸：50W@FS18、 100W@FS16、250W @FS13、350W@ FS11、450W @FS103.6 最大管电流：≥2.0 mA；3.7 具有自动校准训机功能3.8 具有封闭式自循环水/油冷却系统，满足管头及靶的冷却需求，确保射线管长时间稳定工作；3.9 为最大化设备开机利用率，射线源支持7x24小时无间断连续运行；★3.10 为最大化设备使用效率，射线源采用闭式封装，无需更换灯丝及抽取真空3.11 高压发生器3.11.1 高压发生器由射线源原厂适配，系统稳定运行；3.11.2 高压发生器采用绝缘油进行绝缘冷却，确保发生器长期工作稳定，并有效节约设备运维成本。4 16位数字平板探测器4.1 数字平板探测器应采用世界一流品牌产品，满足优秀CT级成像要求；▲4.2 探测器像素尺寸：≤150μm × 150μm；4.3 探测器像素数量：≥2800 × 2800；4.4 探测器有效成像视野尺寸（非扩展模式）：≥410mm(竖直方向)×410mm(水平方向)；4.5 探测器配置像素点校正模块，有效校准探测器不一致响应区域；探测器带铅屏蔽外壳；4.6 探测器AD转化位数：16位；灰度动态范围： ≥ 60000：1 4.7 探测器帧屏 15fps @1x1像素工作模式， 30fps @ 2x2 像素工作模式5 16位数字线阵列探测器 5.1 探测器有效长度 ≥750mm；传感器像素尺寸：≤400μm；▲5.2 探测器像素数量≥3000；耐压范围≥450KV 5.3 线阵列探测器内部采用模块化设计，可单独调节，如出现损坏可在现场独立更换或者调换单个模块；5.4 探测器的灰度值AD转化位数：16位，灰度动态范围：≥60000：1；5.5配置可调节的准直器，允许进行微调以获得最佳扫描图像质量。6 高精密机械扫描系统6.1 精密机械扫描系统基座及立柱均采用大理石材质机械加工，保证机械系统长期的稳定性。6.2 精密样品台承重：≥200 kg；6.3 各运动轴必须配装国际一流品牌高精度光栅尺以保证系统长周期线性精度，实现各运动轴精准定位。6.4 射线源与探测器沿射线束方向的最远距离≥1800 mm；根据应用需要探测器可沿射线束方向无极电动移动，可以有效提升射线能量密度，从而提升扫描效率。6.5 为保证最大检测灵活性，载物台与射线源、探测器的运动轴不低于7轴，各轴行程不低于如下给定行程，需提供详细方案说明：6.5.1 FDD射线源与探测器之间距离：≥ 1800mm6.5.2FOD射线源与工作台之间的距离：≥1400mm6.5.3 X射线源垂直上下移动距离≥ 1000mm6.5.4 探测器垂直上下移动距离 ≥ 1000mm6.5.5 载物台垂直于射线束的方向行程： ≥ +/- 200mm6.5.6 工件台旋转及行程： ≥ n x 360˚6.5.7 探测器左右扩展移动轴 ≥ +/- 250mm6.5.8 探测器沿射线源移动行程≥ 900mm6.5.9 各轴运动的机械精度≤ 5μm；重复运动精度≤ +/-1 μm, 工件转台的角度精度≤ +/- 0,025”。6.6 系统校准用标准件校准用标准件：用于测试和校准系统几何误差，标准件需满足相关标准 规定。且需具有权威机构出具的带有数据的合格证书。7 计算机系统7.1 图像采集存储电脑（投标配备不得低于如下配置）7.1.1 操作系统：正版Windows 10 64位专业版；7.1.2 CPU性能：性能不低于Intel Xeon 至强系列；7.1.3 计算机内存：≥32GB；7.1.4 计算机硬盘：固态硬盘≥500GB；7.1.5 计算机显卡：显存³6GB 以上性能显卡；7.1.6 计算机显示器：高分辨率触摸屏操作显示屏解决方案；7.1.7 计算机配置键盘鼠标或触摸屏手势操作；7.1.8 提供2个千兆网卡接口；7.1.9 如采集与图像重建工作站共用，共用工作站性能及配置不低于项4.8.要求。7.2 三维图像重建及分析工作站（投标配备不得低于如下配置）7.2.1 操作系统：正版Windows 10 64位专业版；7.2.2 CPU性能：相当于或优于2 × Xeon Gold 6226 (单颗12 cores, 24 threats，主频2.7 GHz) ； 7.2.3 计算机内存：≥ 1 TB ；7.2.4 计算机硬盘：三固态硬盘设计；一个程序备份，一个系统操作，一个数据存储，硬盘容量不小于4TB7.2.5 计算机显卡：高端图形显卡，GPU显存≥48 GB；7.2.6 计算机显示器：配置≥30英寸高分辨率专用图像显示器；7.2.7 提供NAS网络数据存储服务器，存储容量 ≥ 100TB7.2.8 计算机配置键盘鼠标；7.2.9 配备UPS不间断电源，保证停电后30分钟内系统可以正常运行；7.2.10 提供千兆网卡接口。8 软件功能8.1 图像采集和重建软件；8.1.1 厂商自己开发软件，软件界面直观，用户友好； 直观显示设备状态；8.1.2 用户UI界面结构分明，逻辑清晰，图形化导向界面；设备系统组件及元器件参数数字或图形化历史记录显示；8.1.3系统需具备安全操作智能主动式防碰撞模式，投标商提供详细解决方案；提供软件截图等证明材料。8.1.4 支持多种探测器校正模式，预置各种探测器工作模式，以简化设置，方便上手。 提供软件截图证明材料。8.1.5 根据设备操作需要，可以赋予相应用户等级权限。8.1.6 设备及元器件状态检查需一目了然，可预防性提示，例如执行维护或调整的指令；提供软件截图证明材料。8.1.7 支持CT重建结果预览和切片浏览功能，可以快速查看CT切片任意位置的结果；提供软件截图证明材料。8.1.8 自动几何校正软件模块：自动计算并校正机械系统的几何误差；8.1.9 基于模式选择的多场景射束硬化校正模块：用户可以根据硬化情况选择不同程度或模式的硬化校正；8.1.10 基于不同材料的射线束硬化校正模式 ，材料包括但不限于碳纤维、钨、铝合金、 铁… 等多种材料；8.1.11 环状伪影校正：通过探测器抖动或重建软件实现环状伪影校正；8.1.12 金属伪影校正模块：用于校正多材料工件中由于金属散射过大而导致的金属伪影；▲8.1.13 智能散射校正功能 无需借助硬件，利用软件即可显著减少固有散射辐射，从而显著提升CT数据质量，投标商提供详细解决方案，及图片证明资料；8.1.14 噪声（包括散射，干扰等）抑制校正，可以有效去除扫描过程中的数据噪声（包括散射，干扰等），从而获得更好信噪比的图像；8.1.15 支持高清DR 实时成像功能，DR成像时，需实时动态高清过滤而非图像动态静态处理。投标商提供详细解决方案，及图片证明资料； ▲8.1.16 支持设置多种扫描模式，包括：锥束CT扫描、水平/竖直扩展CT扫描及自动拼接重建功能、螺旋CT扫描、偏置CT扫描、有限角CT扫描、高速CT扫描模式以及计算机分层扫描等高级扫描模式，投标商需逐一提供详细技术方案说明及软件截屏以证明；8.1.17 虚拟旋转轴扫描功能，可以方便用软件对工件ROI感兴趣扫描区域进行快速定位，扫描时，可以X/Y/R 三轴复合联动模式，而无需重复装夹寻找扫描区域的物理选转中心；.8.1.18 具有ASTM E1695空间分辨率和对比度分辨率自动测量功能▲8.1.19 具备多工件扫描，自动体积分割功能，以提升扫描效率，各工件可自动按X/Y、Z轴方向进行自动编号。8.2 三维数据可视化软件8.2.1 配备VG Studio MAX3.5 以上最新正版三维可视化分析软件，在一年内提供免费升级，支持二维、三维图像不同分辨率图像的输出，且能导出二维图像序列、逐层动态视频和制作三维视频动画，也支持对三维数据体进行旋转、平移、缩放、斜切视图、亮度/对比度、伪彩色等操作；8.2.2 所配备的正版VG Studio MAX软件须包含全套功能分析模块，包括但不限于：包括：孔隙/夹杂物分析模块、增强版孔隙及夹杂分析模块、泡沫/粉状结构分析模块、三维坐标测量模块、纤维复合材料分析模块；设计及实物比较模块、壁厚分析模块、结构力学分析模块、逆向工程模块、数字体积相关性计算、体积网格及传递现象等CT综合分析模块等。8.2.3 对图像分割，可实现3D局部区的提取或修改；对局部区进行量化分析，可得到选定结构的体积占比、每个单元的体积、表面积、形状比、等效直径等信息，对量化结果进行筛选、编辑，导出CSV文件；8.2.4 可实现标记点、标尺、角度、路径、箭头、区域（矩形/椭圆/多边形/自由绘制）、三点拟合圆等测量和标注操作。8.2.5系统软件需自带 ASTM E1695 分析模块及图像质量测试标准器，从而可以一键式实现 MTF空间分辨率及 CDF密度分辨率等测试及自动报告输出。9 辐射安全防护系统9.1 设备自带钢铅钢三明治结构X射线全屏蔽铅房，具有全景摄像头，便于在设备运行过程中观察内部情况；9.2 内置门机联动安全锁，设备门开启时X射线源立即自动关闭，停止发出X射线；配置X射线开启显示系统（声光报警等）；9.3 设备供应商须检验设备泄漏率，出具相应测试报告；9.4 环境影响评价，委托专业环评机构进行该设备的环境影响评价并通过验收，取得相应辐射安全许可证，相关费用计入总报价；9.5 配置照明设备、监控摄像头和空调，确保屏蔽室内温度及湿度满足使用要求。9.6 投标商负责设备安装现场设备基础准备，独立地线及设备安装就位以及后期安装现场复原等工作，相关费用计入总报价。 10 附件要求10.1 系统测试和使用须配备以下各项备品备件清单：序号货物名称数量1HSK 高精密夹具1 套2磁吸式快捷夹具1 套3备用警示灯1 台4日常维护保养/维修工具1 套5高压硅脂2 套6配套滤片及卡槽1 套7数显温湿度测量仪1 台8个人辐射剂量仪2 台9铅房内除湿机1 台10高压电缆1 套11设备校准的测试器具1 套10.2 资料的提供提供纸质版系统使用说明书、操作维护手册、电气原理图、常规机械图、电器接线图、设备基础图、安装图、维护和保养手册1份（纸质）。另提供相应的电子版资料1份。提供系统的控制与成像等软件的全套光盘和操作手册。

近日，FOSS公司增持了Ibsen Photonics公司股份，其对Ibsen Photonics的股票持有份额从12.5%增至85%。 　　Ibsen Photonics公司提供广泛用于电信、分析测试、传感器以及激光器等领域的全息熔融石英透射光栅（holographic,fused silica transmission gratings）以及光度计模块（spectrometer modules）。 　　FOSS公司创新与品质部（innovation&quality）执行副总裁兼Ibsen Photonics公司董事长Kim Vejlby Hansen 表示：“FOSS与IBsen Photonics合作已多年。我们发现该公司的光度计解决方案堪称业界一流，这部分取决于IBsen Photonics公司先进的光栅技术和光学设计技术，也取决于其通过与客户密切合作来寻求双赢解决方案的独特工作方式。”

一、CMM简介CMM是坐标测量机（Coordinate Measuring Machine）的简称，俗称“三坐标”,最早于50年代由欧洲人发明，知名厂商包括海克斯康和蔡司等，起初用于军工领域，随后广泛应用于各类制造型企业。国内生产三坐标的厂家包括思瑞、雷顿、爱德华等。 图1 坐标测量机（CMM）示例初代CMM由花岗岩平台、精密光栅尺、运动控制系统等部件组成，精度可达到1~3um级别，但是它对环境温度的要求较高，且特别笨重。人们为了测量更加便捷，之后又发明了关节臂CMM、激光CMM、视觉CMM三个品类的坐标测量机。关节臂CMM是由六轴或七轴关节组成，在关节处有高精度旋转编码器可测量关节的角度，精度可达到20~50um级别，重量较轻，对环境温度的要求不像三坐标那么高。但它的测量范围受限于机械臂的臂长，臂越长精度越低。图2 关节臂CMM示例激光CMM是指激光跟踪仪，由激光干涉测距模块、高精度旋转编码器、运动控制模块、全反射靶球等组成，高端设备甚至还集成了视觉定姿模块，精度可达到15um+6um/m，测量范围可达100m左右。 图3 激光跟踪仪示例（中间是激光反射靶球）视觉CMM主要由高分辨率相机和光笔组成，其中相机用于跟踪定位，而光笔又由标志点、探针组成。这类设备的重量最轻，使用时最为灵活省力，精度通常能达到20~50um级别。视觉CMM的分类、发展和应用，将在下文中详述。 图4 视觉CMM示例（跟踪器和光笔）二、视觉CMM的发展视觉CMM是基于数字摄影测量和计算机视觉原理的坐标测量仪器，该领域的学者把相机抽象成一个小孔成像设备，利用“共线方程”这一基本原理，推导出了相机标定、前方交会、后方交会、相对定向、绝对定向、极线对应等解析法理论，表述的是“物-像”几何关系。在视觉CMM中，被观测的目标（光笔）通常是一组标志点，可以是玻璃微珠反光材料的，也可以是LED自发光的，从原理上标志点的数量至少应为3个，但为了更好的精度和可靠性，厂家通常会设计10个左右的标志点。标志点的三维坐标是事先测定过的已知值，相机对标志点进行拍照，得到标志点的成像，利用“物-像”几何关系求解被观测目标（光笔）的位置和姿态。视觉CMM根据相机的数量和使用方式的不同，可以分为单目跟踪CMM、双目跟踪CMM、单目反向定位CMM、单目主动跟踪CMM四种类型，下文逐一介绍。 图5 不同位置下光笔的成像图6 单目跟踪和双目跟踪原理示意图2.1 单目跟踪CMM单目CMM是利用单个相机对被观测目标（光笔）进行跟踪定位，其原理在摄影测量中称为单片空间后方交会，测量精度与相机分辨率、拍摄距离远近、目标的尺寸大小等因素有关。为了保证足够的测量精度，如图6所示，被跟踪的目标张角需要足够大，因此其配套使用的光笔的尺寸一般都很大（图7）。 图7 单目跟踪视觉CMM示例2.2 双目跟踪CMM双目CMM是利用两个相机对被观测目标（光笔）进行跟踪定位，其原理在摄影测量中称为前方交会和绝对定向。虽然市面上也有三个相机以上的跟踪系统，但其原理等同于两个相机。如图6所示，双目CMM不需要大的张角，它只需要较大的夹角，因此其配套的光笔尺寸可以比较小，更加有利于手持使用。 图8 双目跟踪视觉CMM示例2.3 单目反向定位CMM单目反向定位CMM的跟踪原理与单目跟踪CMM类似，但是其探针的安装位置是在相机上，而不是在被测目标（标志点载体）上。这样做的优势是，标志点载体不需要移动，可以把它做的非常大，并且可以把标志点的数量做的非常多，来提升跟踪定位的精度。标志点数量增多对软件的计算能力要求也更高，这是一种新颖的CMM设备。在国内由中观最早提出了这一独创性的产品设计，并诞生了代表性产品——MarvelProbe便携式反向定位CMM，它可以借助固定墙体或便携支架上的标志点，灵活进行反向定位，实现接触式测量功能，同时还兼具独立的摄影测量功能。图9 单目反向定位CMM示例2.4 单目主动跟踪CMM单目主动跟踪CMM，是指相机是活动的，它的相机视场角非常小，且相机会在电机的带动下主动跟踪目标的位置。它不同于激光跟踪仪的特征是没有激光反射靶球。 图10 单目主动跟踪CMM示例三、视觉CMM的应用视觉CMM的特点是轻便灵活，测量范围较大，精度可满足亚毫米级别的需求，在诸如汽车制造、骨科手术等领域有较为广泛的应用。另外，视觉CMM单点测量的精度较高，结合三维扫描仪配套使用，可以提升三维扫描的基准对齐精度，这种做法在三维检测中也较为常见。3.1 汽车制造在汽车制造的装配环节之前，对孔、槽、形面以及缝隙等特征进行检测，是保证顺利装配的前提。图11 视觉CMM对汽车白车身、汽车零部件进行检测3.2 骨科手术传统的骨科手术靠医生的主观判断来确定操刀的位置，而现代手术机器人依靠双目跟踪CMM来实现对骨骼、手术器械的精准定位，降低手术风险。图12 视觉CMM用于骨科手术的引导3.3 结合三维扫描使用三维扫描可以获得形面特征的高密度连续的三维数据，但是对一些边界特征（如孔槽）难以实现完整、精确的测量。而视觉CMM恰好适合对关键特征进行高精度测量。图13 视觉CMM结合三维扫描使用四、结语视觉CMM的优缺点是较为明显的，其优点是手持端的重量较轻，操作更为灵活，测量范围也较大，不受机械运动范围的限制，对环境的要求也较低，另外，视觉CMM的价格通常也较低。其缺点是测量精度不如三坐标和激光跟踪仪，在未来随着相机分辨率的不断提升，视觉CMM的精度还有一定的改进空间。（武汉中观自动化科技有限公司王晓南供稿）

2015年9月3日是反法西斯战争胜利70周年，虽然战争已过去这么久，但带给人类的伤害却是永远无法弥补的。“如果把这些战争资源用于科学研究，人类的前途将不可限量。” HORIBA科学仪器事业部（Jobin Yvon光谱技术）作为全球少数具有航天级光栅制造能力的厂家，在过去20年中一直与美国宇航局、欧洲宇航局、中国航天单位保持着密切的合作，并将全力支持未来的航天项目。 还记得这张萌翻众人的冥王星高清“大头照”吗？这是美国航空航天局（NASA）“新视野”号探测器近距离拍摄的画面。为了这次邂逅，“新视野”足足等待了九年。形似“短锹”的探测器 “新视野号”是NASA在2006年1月19日发射的一艘探测器，它从美国的佛罗里达州发射升空，外形像一把短锹，其中锹把是它的核电站，锹身是探测器本体，锹身上顶着的大锅则是它的天线。探测器本体为三角形，大小相当于一架钢琴。 HORIBA光栅"Inside" “新视野号”共携带了7台重30千克的科学仪器，其中光学设备有3台。分别是：远程勘测成像仪（LORRI）、可见-红外成像光谱仪（Ralph）、紫外成像光谱仪（Alice），分别拍摄可见光、红外和紫外图片。另外4台仪器分别是：太阳风测量仪（SWAP）、无线电科学实验仪（REX）、能量粒子谱仪（PEPSSI）、学生尘埃计数器（SDC），分别用于测量冥王星附近和表面的太阳风、大气、能量粒子和尘埃。 其中Alice中采用了HORIBA科学仪器事业部（Jobin Yvon光谱技术）航天级光栅。下一站，柯伊伯 在完成对冥王星及其卫星的飞越考察后，“新视野号”将在2017～2020年探测柯伊伯带的其它天体。 在经历了10年的太空之旅，HORIBA的航天级光栅依然拥有出色的性能，它将继续伴随“新视野号”遨游太空，并给人类带来更多的惊喜！关注我们HORIBA光谱学院：www.horibaopticalschool.com邮箱：info-sci.cn@horiba.com微信二维码：

这两年，拉曼光谱仪一直吸引着业内人士的眼球，各大仪器厂商不断在新产品、新技术、新应用等方面推陈出新，精心布局，不仅如此，新迈入此领域的仪器厂商也层出不穷，可谓热闹非凡。　　拉曼光谱如此的蓬勃发展给广大用户提供了更多可选择的空间，那么，当前有哪些主流企业/主流产品?有哪些最新的技术/应用?哪款仪器更适合用户自己的研究工作?　　仪器信息网：贵公司拉曼光谱仪的定位?　　赛默飞：赛默飞公司的Nicolet品牌是分子光谱领域的领导者，其拉曼产品线在公司市场战略发展及科研创新中占有极其重要的地位， 旗下最新推出的DXR2xi显微拉曼成像光谱仪更是引领了新一代的拉曼成像新技术。　　仪器信息网：请回顾贵公司拉曼光谱仪的研发及技术进展历史，贵公司在拉曼光谱仪器方面有哪些优势/专利技术?　　赛默飞：赛默飞公司自上世纪80年代开始开发拉曼产品以来，一直以更好地满足科学研究和高端研发为核心价值，开发出了一系列高灵敏度，高空间分辨率，高度智能化的拉曼光谱仪。　　2001年推出全球第一台全自动Almega系列激光拉曼光谱仪，其优异的设计性能在国际SDI的分析仪器评比中获得银奖。　　2008年推出真正新型智能模块化DXR拉曼光谱仪，特殊光机电自动化设计使拉曼光谱仪具有高度智能自动化，并且仪器设计超级稳定，彻底解决了拉曼光谱使用难和操作难的问题。　　为满足近年来科学研究和高端研发应用领域对快速拉曼成像愈来愈高的需求，我们于2015年推出一款革新型的超高灵敏度超快速拉曼成像光谱仪DXR2xi.并获得2015年R&D大奖的提名。　　支持赛默飞拉曼光谱仪优秀性能的是诸多的专利技术和高品质的硬件以及独特的软件算法。诸如：　　1) 专利自动光路准直技术(专利号：US6661509B2)，无需人工调节拉曼光谱仪光路，彻底解决实验室拉曼光谱仪维护的难题；　　2) 专利三反射镜光谱仪设计(专利号US7345760B2)，全范围拉曼光谱段的无像差和色差，确保光谱分辨率和线型的一致性和准确性；　　3) 专利可调动态点采样技术(专利号US7595873B1)，无需多点测试的平均光谱，即可快速获取非均相材料的所有成分的化学结构信息；　　4) 超低暗噪声和单光子信号水平探测的EMCCD探测器提供了无与伦比的超快速拉曼成像灵敏度；　　5) 独特的以并行数据流算法为核心的拉曼成像采集和分析软件OMNICxi可以数十秒内轻松处理和分析包含百万张级别以上的拉曼光谱的化学成像。　　仪器信息网：贵公司当前拉曼光谱仪的主流产品和主流技术?贵公司有什么样的产品发展计划?　　赛默飞：DXR2xi是最新推出的新一代超高灵敏度快速拉曼成像产品，先进的拉曼成像技术。　　主要特点：　　以成像为核心的拉曼成像软件OMNICxi；　　采用超低暗噪声和单光子信号水平探测的EMCCD探测器；　　超快速拉曼成像灵敏度远远优于同类产品上百倍；　　磁悬浮驱动与光栅尺反馈控制的三维XYZ样品台。磁悬浮驱动保证了超快速拉曼成像时样品快速移动的超高稳定性 而光栅尺反馈使得拉曼像的位置与所体现的测样品点的位置坐标完全匹配吻合；　　XY,XZ,YZ平面和切面成像 XYZ三维拉曼成像，独特的t(XY,XY,YZ)时间动力学拉曼成像；　　强大的数据流处理和分析能力，数十秒内可以轻松分析数百万张拉曼光谱；　　可与AFM/流变/XPS联用。　　仪器信息网：目前贵公司拉曼光谱仪重点关注的应用领域有哪些?最看好哪个领域?主推的解决方案?　　赛默飞：材料科学领域(包括碳材料，储能材料，生物医学材料)、生命科学领域、制药领域、公安刑侦物证文检领域、电子(微电子，光电子和触屏行业)、考古等。　　仪器信息网：从整个行业来分析，目前拉曼光谱仪都有哪些先进的技术值得大家期待?同时有哪些问题亟待解决?未来拉曼光谱仪的技术发展趋势?　　赛默飞：拉曼的成像技术、TERS技术、SERS技术是目前拉曼光谱仪的热门技术，可以帮助大家解决更多的问题。　　未来拉曼的趋势会朝着更快速、更高灵敏度、 更高重复性、更高空间分辨率、更小型化、更易学易用、价格更亲民等方向发展。　　仪器信息网：预测未来拉曼光谱仪的市场发展潜力？　　赛默飞：全球拉曼市场2016年会达到$1.6B, 而且在未来五年每年会呈10% 左右的增长， 其中主要的应用领域有： 材料科学、生命科学、 电子半导体、 医药和食品等。

p style=" text-align: justify " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　作为光谱仪器的核心部件,光栅的地位举足轻重。近年来，针对我国机械刻划光栅的刻划面积及精度不足等问题，中科院长春光学精密机械与物理研究所(以下简称：长春光机所)开展了一系列的技术攻关，不仅成功研制出大型高精度光栅刻划机，而且该刻划机已成功制作出刻划面积为400mm× 500mm的世界最大面积中阶梯光栅。 /span /p p style=" text-align: justify " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　为了更深入的了解我国光栅及光谱仪器的研究现状及未来发展态势，仪器信息网编辑特别邀请到中科院长春光学精密机械与物理研究所李晓天副研究员给大家分享其在光栅及光谱仪器研发过程中的经验。 /span /p p style=" text-align: justify " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " /span /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 356px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/6a4b4291-b891-4b13-b4aa-d667cb197457.jpg" title=" 微信图片_20200710094424.png" alt=" 微信图片_20200710094424.png" width=" 450" height=" 356" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 中科院长春光学精密机械与物理研究所 李晓天副研究员 /strong /p p style=" text-align: justify " span style=" font-size: 14px " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　李晓天，博士生导师，九三社员，Opt. Express等10余个权威SCI期刊审稿专家。自2006年参加工作，主要从事光电检测、衍射光栅及其在光谱技术领域应用研究等科研工作，作为项目负责人获批空间外差拉曼方面的国内第一个自然科学基金青年基金和第一个面上项目，以及吉林省技术攻关项目等 作为分系统或子课题负责人承担国家973课题、国家重大科研装备研制项目等，曾获“航天科技四院杰出青年”、“吉林省科技进步一等奖”、“吉林省青年文明号”等荣誉。获授权发明专利28项，其中第一发明人12项 在Opt.Express等权威SCI/EI期刊发表论文40余篇，其中第一/通讯作者16篇。培养的博士和硕士研究生获得国家奖学金、中科院院长奖、中科院新生奖等10余种奖励,其中一名学生连续两年获国家奖学金后公派留学于美国哈佛大学 /span 。 /span /p p style=" text-align: justify " 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 我国高精度平面刻划光栅已处于国际领先水平 /strong /span /p p style=" text-align: justify " 　　衍射光栅是最重要的一类光学色散元件，它是绝大多数光谱仪器的核心器件，其精度高低直接决定光谱仪器性能的优劣。按制作方法, 衍射光栅可分为机械刻划光栅、离子束刻蚀-全息光栅、体全息光栅等。随着国家支持力度的加大，我国各类光栅制作技术均有显著提升，与国外最高水平的差距也越来越小，特别值得一提的是，我国的机械刻划光栅制作技术已达到国际领先水平。 /p p style=" text-align: justify " 　　机械刻划光栅的性能主要由光栅刻划机的运行精度决定。据李晓天介绍，光栅刻划机是制作光栅的母机，机械刻划光栅主要是通过光栅刻划机的金刚石刻刀在光栅基底的膜层上挤压成形出一系列具有一定规则形状和间距的刻槽，在此期间，刻划机的基底工作台要不断进行精密进给运动，而金刚石刻划刀要不断进行往复运动，光栅刻划的定位精度要达到纳米量级。因此部件的加工装调精度要求极高，运行保障环境要求也极为苛刻，光栅刻划机也被誉为“精密机械之王”。 /p p style=" text-align: justify " 　　李晓天开展的光栅研究主要是针对机械刻划光栅，采访中他给大家详细介绍了自己在这方面的工作。据介绍，李晓天通过仿真分析和科研经验等，指出国产光栅刻划机刻划系统结构不够稳定是导致刻划出的光栅杂散光较大的主要原因之一，最终通过大量的实验验证了这一结论 据此，他在导师唐玉国研究员等前辈的悉心指导下，在国内率先开展了光栅刻划系统误差修正技术研究，最终使得刻划出的光栅杂散光从10 sup -3 /sup 量级降低至可达10 sup -5 /sup 量级，此外他还开展了衍射波前主动补偿、光栅性能实时检测技术等研究工作，有效提高了光栅刻划机及刻划光栅的性能。目前，李晓天及其所在的大光栅团队已研制出高精度大光栅刻划机1台，主要性能指标为：最大刻划面积：400mm× 500mm；最高刻槽密度：6000线/mm；仪器运行的短期定位误差：≤3.0nm(1σ)，并已成功制作出刻划面积为400mm× 500mm的世界最大面积中阶梯光栅,获得“吉林省科技进步一等奖”、“吉林省青年文明号”等荣誉。相关成果被中央电视台新闻联播、人民日报、科技日报、经济日报、光明日报等多家媒体进行报道。 /p p style=" text-align: justify " 　　谈到其开展的光栅相关工作，李晓天自豪的说，“就光栅定制而言，我们光栅产品价格要比国外产品低的多，国内的一些企业获得信息后，原本计划在国外采购的光栅也改为从我们单位定制采购了。”据悉，长春光机所的刻划光栅产品已在北京博晖创新光电公司、浙江大学、加拿大多伦多大学、中科院西安光机所、中科院上海技物所等单位研制的光谱仪器中得到了成功应用。其中，加拿大多伦多大学将他们研制的红外中阶梯光栅与美国Bach公司制作的194线/mm中阶梯光栅进行了对比，结果发现该光栅性能优于美国Bach公司产品，其中TM波的光栅衍射效率高出约20%左右；北京博晖创新光电公司将长春光机所的光栅产品与其购买的一块国外产品进行了对比，发现长春光机所的光栅产品性能更优。 /p p style=" text-align: justify " 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 以光栅自主创新促进光谱仪器进步 核心部件国产化率亟待提升 /strong /span /p p style=" text-align: justify " 　　作为光谱仪器的核心部件，光栅技术的深入对光谱仪器的开发具有重要的指导意义。在完成了光栅刻划机研制之后，李晓天的研究重心转向光栅应用技术，其曾参与了中阶梯光栅光谱仪、光栅杂散光测量仪、傅立叶变换型光栅衍射效率测量仪和成像光谱仪等研究工作。特别是近几年，他开始了拉曼光谱技术的研究工作。对此，李晓天表示说，由于拉曼光谱不怕水，可以在水溶液或者水环境中实现物质的检测，做完拉曼光谱仪技术的基础研究工作以后，下一步的工作重点是要将其应用到生物医学、星际探测等与国计民生息息相关的重要领域中。 /p p style=" text-align: justify " 　　现有的拉曼光谱技术，如色散型拉曼光谱仪因存在入射狭缝，导致其在高光通量、高分辨率、宽波段、无运动部件等性能方面难以兼顾。为解决以上影响拉曼光谱技术发展的关键问题，李晓天从2015年开始研发可兼具高光通量、高分辨率等以上性能的新型空间外差拉曼光谱仪，并作为项目负责人成功获批了空间外差拉曼光谱方面的国内第一个自然科学基金青年基金项目和第一个面上项目。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 312px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/0dc5b33a-9e92-4c9a-8052-ddb610c8743b.jpg" title=" 微信图片_20200710094022.png" alt=" 微信图片_20200710094022.png" width=" 600" height=" 312" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 拼接光栅型空间外差拉曼光谱仪原理样机(左)及硫磺样品的外差拉曼干涉图(右) /strong /p p style=" text-align: justify " 　　据介绍，空间外差拉曼光谱仪无入射狭缝，且整个仪器没有运动部件。通过探测器单次测量及分析，即可获得全波段的待测物拉曼光谱信息。而且仪器结构紧凑，其除探测器以外的核心光学模块的尺寸可以做到15cm× 15cm以内，因此仪器可兼具高光通量、高分辨率、宽波段、无运动部件等性能。空间外差拉曼光谱仪将在待测物拉曼信号较弱、有限载荷使用条件以及待测环境条件恶劣等方面具有较好的应用前景，此外在透射拉曼光谱领域也可以发挥其优势。 /p p style=" text-align: justify " 　　在拉曼光谱仪研究过程中，李晓天提出光栅拼接型空间外差拉曼及LIPS光谱仪、中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪和空间外差型太赫兹拉曼光谱仪等新型仪器结构，并带领团队突破关键理论与技术，设计出具有棱镜视场展宽能力的高光通量空间外差拉曼仪器原理样机，其测得的硫磺等样品信号强度可达同等分辨率和测量波段范围的传统色散型仪器的100倍；给出基于三阶极小值和多子区间分割的光谱背景扣除算法，可有效解决背景光干扰等对拉曼光谱测量的影响 提出通过光阑和光学陷阱等抑制仪器杂散光的方法；提出基于中阶梯光栅多级次锥面衍射的空间外差拉曼光谱仪结构等等。 /p p style=" text-align: justify " 　　近几年，国内的一些知名企业和院校纷纷开展了拉曼光谱仪器研发工作，使得我国拉曼光谱仪研发力量得到了较大的提高，但整体来说与国际最高水平仍存在一定差距，在全球市场中所占份额较低。对此，李晓天分析到，光栅等拉曼光谱仪的核心光学元件在国产拉曼光谱仪中的国产化率并不高，主要原因是我国光栅技术水平的提升是在近几年发生的，目前国内的科研院所和企业大多还不清楚国内的机械刻划光栅水平已得到显著改善且定制价格远低于国外产品这一事实。相信随着时间的推移，我国拉曼光谱仪产品中的光栅国产化率会得到大幅度提升。此外，李晓天也提到，除了光栅以外，拉曼滤光片也是仪器的核心元件，特别是低波数拉曼滤光片尚未实现高性能产品国产化，制约着相应仪器的发展。 /p p style=" text-align: justify " 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 国产光栅及光谱仪发展展望: 一代光栅对应着一代光谱仪 /strong /span /p p style=" text-align: justify " 　　从核心部件到仪器整机，李晓天在光学仪器研发领域已经工作了10余年。据悉，未来他还将继续开展新型高端光栅光谱仪研究工作，在高分辨率、高通量、高灵敏度光谱仪器研制方面继续开展深入的研究。不仅如此，他还计划尝试开展拉曼光谱技术在生物医学等领域的应用研究。 /p p style=" text-align: justify " 　　采访中，李晓天指出，目前国内的光栅刻划机只能刻划平面光栅，但是国内外市场对凹面光栅和凸面光栅等非平面光栅的需求也日益迫切，若能采用光栅刻划机进行非平面光栅研制，将能够有效解决现有的非平面光栅的衍射效率等性能难以满足诸多领域使用需求的难题，所以希望国家或地方政府可以对非平面光栅刻划机的研制进行专项资金投入。再者，国内外天文望远等领域对更大面积光栅仍有使用需求，不过如果直接研制可以刻划更大面积光栅的刻划机，对机械和精密控制等技术具有更高需求，需要的资金投入也较多，因此发展投入相对较低的大光栅拼接复制技术也是未来光栅技术的重要方向。此外，超环面光栅、大面积体全息光栅等其它光栅技术也应该开展深入研究。 /p p style=" text-align: justify " 　　对于我国光谱仪器研发的现状,李晓天分析到，衍射光栅是光栅光谱仪器的核心元件，在仪器研发中意义重大。但是现在国内大多数仪器厂家和单位在进行光谱仪器设计时，往往先在现有产品中选择一个测量波段等指标相对适合的光栅产品，然后根据该光栅参数进行仪器设计，这将导致仪器设计存在一定局限性。李晓天指出，大家应充分发挥光栅在光谱仪器研制中的重要作用，如根据仪器光路结构，去优化光栅参数再去定制该光栅，将大大提高仪器性能。一代光栅对应着一代光谱仪，若能进一步提出新的光栅设计参数或者新的光栅类型，则有望产生新一代光谱仪器!以新型的中阶梯光栅、离子束-刻蚀全息光栅、体全息光栅、超环面光栅、各类其它非球面光栅以及特殊类型光栅为核心元件的光谱仪器将逐步登上我国的历史舞台。 /p p style=" text-align: justify " 　　此外，对于大家关注的科研成果转化问题，李晓天也谈到，我国在光谱仪器研发方面已具有多年的经验积累，也取得了较好成绩，但是，企业与科研院所之间存在一定的技术脱节，也就是说科研院所把光谱仪器研发后，并没有与企业形成较好的对接。不过，他也提到，目前国家已经形成一些激励政策，相信未来科研院所和企业会形成的良好合作模式。 /p p style=" text-align: justify " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　附注：李晓天副研究员课题组隶属于国家光栅制造与应用工程技术研究中心(简称为国家光栅工程中心)，该中心拥有60年以上的光栅研制及光谱仪器研发经验，具有完善的光栅制造设备、丰富的光学设计及精密装调技术、光谱仪标定设备、精密微动工作台、精密光学检测仪器、光学系统计算辅助装调设备等，具有自主研制高刻线密度光栅、中阶梯光栅和多种全息光栅等能力。先后研制出中型和大型摄谱仪、红外分光光度计、紫外分光光度计、大型真空紫外单色器、空间太阳紫外光谱辐照监视器、可见和红外高分辨率成像光谱仪、中阶梯光栅光谱仪、凸面光栅光谱仪、微型生化分析仪、近红外水分分析仪、近红外粮食成分分析仪、荧光在线水中油测试仪等仪器。 /span /p

国产好仪器发展随想 &mdash &mdash 以中国试验机技术为例 　　(上海三思纵横机械制造有限公司总经理/刘亚东) 　　前言：试验机技术会怎样发展，未来好的试验机是什么样的?这是一个大题目、大思考，凭个人的经验和学识应是无法展开或说出些真知灼见的。然而，转念想做为试验机工作人员说说感想也无妨，虽是管中窥豹，坐井观天，抑或能抛砖引玉，给同仁们些许启示亦不失为一件好事。再者，谈谈三思纵横液压试验机技术水平则是心悦情愿。 　　■ 关于试验机技术发展的思考： 　　▼思考一： 国人态度。 　　众所周知，我国经济正处于产业结构调整，提升创新能力的关键转型阶段，而先进技术、新型工艺、优质材料是实现产业升级的重要基础。尤其是材料质量的保证，材料性能的优化，新材料的开发几乎影响到所有领域产品的进步和创新，材料劣质和落后所带来的恶果和受制处处可见，究其原因之一：不重视材料检测，不重视检测手段的提升和先进试验机的使用。随着改革开放的扩大，各行各业的迅猛发展，如何加快检测仪器设备的创新进步，如何严格试验标准摈弃或限制技术落后的试验装备，如何推广促进先进试验技术与设备的使用，为我国材料工业发展提供保证，应该引起国人的关注和重视。 　　三思纵横在董事长黄志方领导下长期以来坚持研发先进检测技术，生产制造高质量水平的试验机设备，近年先后推出动态试验机、高温疲劳试验机、自动摆锤、大吨位落锤和大型液压试验机等先进产品，不仅为中国试验机技术发展做出杰出贡献，同时也铸定了三思纵横在我国试验机行业的领头地位。然而，做为民族企业在完全市场化环境下进行诸多的先进技术设备的开发实属不易，坚持投入发展与国外先进企业比肩更不易。一边在黄董引领下对企业产品改革创新思考探索，一边盼望得到广大用户更多的理解和支持，民族振兴应是大家的共同愿望。 　　▼思考二：发展趋向。 　　与材料专家探讨试验机技术发展认识到：试验机是材料检测的关键工具，通过它按照规定要求装夹，按规定制度加载来获得材料的各种参数 其核心的要求是：精密的机器、合理的夹持、科学的加载、准确的采集。尤其是加载过程不能随意，须科学严密的控制使之能够揭示受力材料的真实性能变化，同时准确采集变化参数并可处理形成结果曲线，这是试验机技术的发展方向。 　　与标准制定专家探讨感悟到：我国材料检测试验标准已进入到全面更新换版时期，不断推出的新标准多增加了更细致更严格的检测要求，更注重与国际标准的接轨。未来的试验标准需要匹配更好的试验手段，对试验机技术和质量水平将会有更高的要求。他们认为三思纵横品牌是现今中国的好试验机，前途光明。 　　与用户们探讨试验机技术发现：各个行业有共同的期望也有各自不同的特点需求。共同点如，具备更高的可靠性和更细致的试验功能，试验操作更为人性化等。不同点如，钢厂希望试验设备能完成高效、规范、严格的检测，完成特种钢材全性能检测 学校想做高频率、多参数、多样化检测 建工行业则希望快速、专业化检测等。 　　▼思考三：希望何在。 　　纵观试验机行业，虽有少数企业在做订单式开发，但做超前式研发(针对国内水平)，想赶超国际先进技术的唯有三思纵横了。有可能吗，我想回答是肯定的。用户实践证明，三思纵横试验机产品是当今中国质量最好的，最具有先进技术含量，最贴近未来技术发展趋向。在此基础上，借助国际化环境，依靠有理想的三思人不懈地努力，不久的将来一定会引领中国试验机发展潮头抢滩上国际一流技术装备舞台。 　　从三思纵横现有情况看未来几年或将注重两个方面的发展，一是：突破性发展，意在动态试验领域，高性能检测和测控软件技术方面有更大突破 二是：趋势性发展，依据市场需求趋势在各类静态性能试验设备上取得进步。 　　■ 静态试验机发展趋势浅析： 　　根据一些新试验标准的要求趋势和广大客户反馈的意见倾向，感觉今后两年试验设备可能变化的趋势是：精密化，智能化和细分化。 　　▼精密化：未来精密化程度有些方面将提升，例如： 　　---测量采集频率提高：涉及传感器，采控硬件及软件，通讯方式等。将会提高规定时间对参数的采集精准度，对屈服点准度、微变形测量、冲击性能、衰变性能检测均会改善。 　　----加载控制频率提高：将改善速率控制精度，分段控制平滑过渡质量，以及多通道同步控制水平。 　　----动力平稳及精度提高：除了减少缸、泵、阀随压泄露外，运动与加载动力源分体，消除液压泵脉冲后的伺服泵技术也将得到应用。 　　----试验主机精度提高：将逐渐淘汰用料差，变形大，加工粗，精度低的机械设备，德国30年前的机械都比国内现在许多设备好得多。 　　----顺便介绍一下我们正研发等待推出的静态控制器参数：采集频率100、500、1000Hz可切换 控制频率50、100、200Hz可切换 主芯片DSC32位 3路AD、5路QEI、2路DA、2路232接口、1路TCP/IP网络接口。 　　▼智能化：是提高试验效率和安全可靠性的需要。这方面在宝钢中厚板和薄板全自动试验机上有充分体现。目前其它行业在单个工位的智能化也有需求，例如： 　　----全自动引伸计需求量增多，用于提高试验效率和完成最大力伸长率和断后伸长率。 　　----双空间万能机和压力机要求双位移控，实现横梁自动复位。 　　----在压力机上实现混凝土试块上样、对中、压缩自动化。 　　----需要单独的试样测量仪，试样尺寸自动测量读取，称重，扫二维码。 　　----需要单独的断后伸长率测量仪，替代人工测量和记录。 　　----需要更强大的试验软件，在同一台试验机上自动完成更多试验项目。 　　----需要试验机故障自动判断和显示，提高维修服务效率。 　　▼细分化：试验机功能细分化趋势也较明显，主要是建工行业为实现大批量快速检测的需要。例如： 　　----:专做拉伸的单空间试验机需求增多，追求拉伸试验精度，一机多用的咨询减少。 　　-----选配专用混凝土四点抗折机，单独的水泥试块抗折机，专用的螺栓拉伸试验机等(克服万能机存在的问题)。 　　-----试验软件操作人性化希望明显，如试验标准、方法、各种具体参数都能细分，不同控制方式组合细分，引伸计摘取位置细分等，并均可直接打钩选项运行。 　　■ 三思纵横液压试验机水平： 　　通过以下介绍再结合用户反映足以表明三思纵横品牌试验机是名副其实的：国产好仪器。 　　▼品种齐全： 　　静态液压类标准机型有10大类42个规格，有16种专用试验机型。试验机吨位从20kN到20000kN，均可实现多种方式伺服闭环控制，同步采集多个模拟信号或数字信号，完成不同试验标准要求的各类试验。 　　▼不断更新： 　　新近改进机型有： 　　新三缸式钢筋弯曲机。特点是，改为立式垂直及水平加载分开，加载吨位加大为垂直250kN，水平200kN，直辊加宽，可一次做多根试样。用触摸屏和集成电路板控制，可凭记忆重复运行。进口泵、阀、电机，保持高寿命，低噪音特色。 　　3000kN双空间万能试验机。采用蜗轮蜗杆横梁移动，封闭式刚性钳口，采用夹块专用缓冲机构解决大力值破断冲击，横梁水平开孔方便夹块更换。 　　单空间平推对夹试验机。软件和动力改进后，可完成高应力反复拉压及大变形反复拉压试验。可直接读取数显量具测量试样截面尺寸。主油缸停止时钳口可定位不动，解决活塞及钳口因自重不停下坠产生的不安全因素(国内同类产品仍存在)。 　　▼特色专机： 　　例1：20000kN-8000kNx4五面同步加载压力试验机特点：大吨位五面同步等速率闭环控制技术。 　　例2：2000kN全自动卧式拉力试验机特点：远端横梁自动行走定位，自动插销,反力架球面全方位调心设计。 　　例3：10000kN压剪机特点：大吨位上置油缸快速移动和精密加载的分压动力系统。 　　例4：2000kN石油钻井吊具高位拉伸试验机特点：6米高位拉伸同轴度保证。 　　例5：2000kN刚管压扁机特点：圈形管试样自动送取定位。 　　例6：1000kN超高精度压缩回弹试验机特点：直径400，超薄缠绕垫片，8点同步检测回弹变形。 　　例7：300Kh-10000kN大空间专用压力试验机特点：自动进样，各种结构件试验。 　　▼扩展器具： 　　许多试验需要配用专用的夹具和仪器，我们可生产几十种，例如： 　　长杆拉伸钳口(上下横梁有通孔)，岩石直剪夹具，岩石变角剪切夹具，闸阀拉伸夹具，台肩夹具，超高硬度拉伸夹具，混凝土抗拉夹具，混凝土四点抗折夹具，混凝土霹雳抗拉具，砌块专用夹具，水泥抗折夹具，弯曲夹具，钢球压碎夹具，长管件拉伸夹具，精密管件变形测量夹具，高温拉伸及压缩夹具，混凝土弹性混凝土模量仪，断后伸长仪，应力应变仪(可与加载同步显示)，全自动引伸计，全程测量引伸计，视频引伸计，残余变形测量仪，等等。可以较全面的为客户提供试验解决方案。 　　▼质量水平： 　　三思纵横液压试验机质量水平在国产试验机中是一流的，主要表现在：刚性好，精度高，动力平稳，噪音低，频率高，扩展性强。例如： 　　试验主机：通过材料和加工精度的保证，其刚性好，可靠耐用，在最大力值作用下钳口水平开度变形低于0.2mm.，整机同心度在5%以内 油缸设计结合柱塞缸与活塞缸特点保证运动平稳及无泄漏。模具钢夹块保证寿命周期。 　　液压动力：科学合理的设计和高水平配件保证了液压系统压力平稳，流量适中，波动小，精度高，低噪音，可靠。液压元件配置见表。恒扭矩电机，低泄漏泵和油缸，精密的伺服阀，压差控制技术使用形成对油压的精密控制，设计各种阀组成的集成系统涵盖了安全设置，阻压块泄，快速差动，节约能耗等。 　　电气及测控：主要包括强弱电控制，传感器元件，测控主板和软件。逻辑电路控制采用信号输出式固态继电器配开放式集成电路板，反应快，可靠性高，可通过软件实现自动控制。测控装置设有5路AD(含载荷和引伸计)、3路QEI(含位移和光栅尺)、伺服阀控制(DA)、逻辑控制输出、通讯接口及扩展通道各1个 最大采集频率120Hz，控制频率60Hz，分辨力450000码，通过国家级认证。整机通过欧洲出口标准(CE)认证。 　　▼质量对比： 　　结束语： 　　好仪器，是多方面的：品种配套、技术先进、质量上乘、服务优异，实事求是地进行综合对比评价，三思纵横试验机是当之无愧的国产好仪器 三思纵横品牌是现实中的中国一流的试验机民族品牌 超前的发展理念，科学的管理模式，真诚的服务态度预示着三思纵横一定会赶超世界先进水平成为代表中华民族的国产世界好仪器，希望这一天早日到来。 （编者注：文中观点不代表本网立场，谨供读者参考）

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong 仪器信息网讯 /strong 三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的最有效方法之一，它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，这是其它仪器达不到的效果。三坐标测量机广泛应用于机械、汽车、航空、军工、电子、塑胶等行业，近年来，市场需求量不断攀升。 br/ /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 值此年中之际，仪器信息网特从网络公开招标平台收集整理2019年7月至2020年6月近200条的三坐标测量机中标信息，并进行分析，整理成文，以便相关仪器厂商和用户了解三坐标测量机的招标采购市场动向。 span style=" font-size: 14px color: rgb(127, 127, 127) " （由于数据来源于网络公开招标平台，不包括非招标形式采购以及未公开采购项目，数据结果只作为采购市场行为规律定性参考。） /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " span style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp /span img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/9609b711-fbb9-40de-a001-418a3d150283.jpg" title=" 1.PNG" alt=" 1.PNG" style=" text-align: center text-indent: 0em max-width: 100% max-height: 100% " / /p p style=" text-indent: 0em text-align: center " strong 各月中标量占比 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 2019年7月至2020年6月，根据统计数据，三坐标测量机的总中标量为181台，涉及金额约两亿元。2019下半年，各月三坐标测量机的中标量较为稳定，平均中标量约19台每月。2020上半年，由于疫情影响，1月至5月招中标市场持续低迷，随着国内疫情稳定以及企业复产复工的深入，三坐标测量机招中标市场活力回升，6月产品中标量达28台。 /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " span style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp /span img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/4925a6ad-564d-4160-ba39-c054d3e8087f.jpg" title=" 2.PNG" alt=" 2.PNG" style=" text-align: center text-indent: 0em max-width: 100% max-height: 100% " / /p p style=" text-align: center " strong 采购单位性质分布 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 从三坐标测量机的招标采购单位来看，大专院校和企业是采购的主力军，采购量分别占比50%和49%。大专院校中，最大的一部分采购用户来源于高职高专，其次是高校和科研院所。企业方面的采购单位主要为汽车、航空和机械行业公司，总采购量占据企业采购量的百分之九十以上。 /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/8126ee60-4f91-4ce4-ac27-d964a10b94ac.jpg" title=" 3.PNG" alt=" 3.PNG" style=" text-align: center max-width: 100% max-height: 100% " / /p p style=" text-align: center " strong 招标单位地域分布（部分） /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 本次盘点，招标单位地区分布共涉及28个省份、自治区及直辖市。北京、陕西、山东、吉林、湖南为三坐标测量机招标采购量排名前5的地区，其中北京的中标量最多，达21台。2020上半年，我国各省份中，湖北受疫情影响严重，1月至5月没有产品中标，6月有1台中标。 span style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp /span /p p style=" text-indent: 0em text-align: center " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/9207b885-2545-415b-8026-4b8ded0c8911.jpg" title=" 4.PNG" alt=" 4.PNG" style=" text-align: center text-indent: 0em max-width: 100% max-height: 100% " / /p p style=" text-indent: 0em text-align: center " strong 各单价区间中标量占比 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 从三坐标测量机的中标价格来看，单价在50-100万区间的产品中标量占比最高，为34.8%，100-200万价格的产品中标量位居次席，占比31.9%。中标单价为200万以上的产品相对较少，仅占11.8%。从统计数据中注意到，中低价位产品的采购单位多来自高校和高职高专，高价位产品的采购单位多来自企业和科研院所。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 本次三坐标测量机中标盘点，涉及品牌有海克斯康、卡尔蔡司、思瑞、三O三所、Werth、Faro、Mitutoyo、Creaform、爱德华、博洋、弗尔迪、航锐科技、温泽等。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有： /p p style=" text-align: center " img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/a629af74-ddda-4774-9d00-c8bcddea46d4.jpg" title=" 5.jpg" alt=" 5.jpg" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100730/C255529.htm" target=" _self" style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " strong span style=" color: rgb(0, 112, 192) " & nbsp 海克斯康 Global S系列三坐标测量机 /span /strong /a /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " GLOBAL S三坐标测量机延续了Global测量机家族经典的机械机构和可靠的品质，精密的三角梁、整体式的燕尾导轨、全铝的框架、敞开式的测量空间、远置的电机和独特的光栅系统等充分保证了测量机运行的稳定性和系统分辨率。除此之外，GLOBAL S新增了Compass（高精度快速扫描）、Scan Pliot（未知路径扫描）、Fly mode 2（路径自动优化）、VHSS（可变快速扫描）4大核心技术。 /p p style=" text-align: center " & nbsp img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/562f976a-5bef-46f5-9a5f-3bc3b86f9f29.jpg" title=" 6.jpg" alt=" 6.jpg" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C312159.htm#RComment" target=" _self" style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " strong span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 卡尔蔡司 CONTURA紧凑型测量机 /span /strong /a /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " CONTURA可配备固定型被动式探头、RDS关节式探头座或主动式扫描测针。根据配置不同，CONTURA采用工业陶瓷或CARAT导轨，具有优异的刚性、较低的热膨胀性和轻盈的机身重量。三轴均采用四面环抱气浮轴承，可在高速运行和加速的条件下保持稳定性。悬浮安装在CONTURA导轨上的玻璃陶瓷光栅尺具有零膨胀特性，因此无需安装温度传感器或进行误差补偿。动态形变的桥架直接影响测量精度，尤其是在扫描测量时更是如此，CONTURA可计算这一动态效应所需的补偿值，在高速测量环境下亦可保证测量精度。此外，用户无需计算机，只需借助界面友好的控制面板即可对系统进行控制。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 339px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/f241c1d4-a4f9-4c0e-ab8c-408251da568b.jpg" title=" Explorer系列.jpg" alt=" Explorer系列.jpg" width=" 300" height=" 339" border=" 0" vspace=" 0" / & nbsp /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " strong a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100730/C79054.htm" target=" _self" style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " 海克斯康 Explorer系列三坐标测量机 /a /strong /span /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " Explorer系列是数控桥式测量机产品，分为Explorer Classic和Explorer Performance两款。Explorer Classic支持通用的触发测量，中小型工件的触发测量；Explore Performance为Explorer 系列新机型，可以支持不间断连续扫描功能且精度更高，性能更好。Explorer将精度和动态性能完美融合，并具备良好的可靠性的同时降低了拥有成本，是一款经济实用的数控测量机。 /p p style=" text-align: center " & nbsp img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 339px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/5240be64-ce7f-419d-a668-26d7516f0366.jpg" title=" Inspector 系列.jpg" alt=" Inspector 系列.jpg" width=" 300" height=" 339" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " strong a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100730/C79052.htm" target=" _self" style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " 海克斯康 Inspector系列三坐标测量机 /a /strong /span /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " Inspector系列是海克斯康入门级桥式三坐标测量机，分为Classic和Performance 两种型号，Inspector系列测量机可适用于众多行业的尺寸质量控制。Inspector测量机可配置多种测探系统，既可以支持常用的点触犯测量，也可以选择配置扫描测头进行不间断连续扫描测量（Performance机型）。 /p p style=" text-align: center " & nbsp img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202007/uepic/b8367c75-0743-48d5-9419-0a1a52aaee29.jpg" title=" 9.jpg" alt=" 9.jpg" / /p p style=" text-align: center " span style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " strong a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C311160.htm" target=" _self" style=" color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " 卡尔蔡司 DuraMax车间型三坐标测量机 /a /strong /span /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " DuraMax车间型三坐标测量机具有优异的温度稳定性、节省空间的设计、集成减震系统、全封闭式的导轨，并且无需压缩空气，可从四个方位进行上下料操作。其配备的VAST XXT扫描测头用于扫描和单点测量，CNC自动探针更换，25mm的探针吸盘确保可重复性。此外，DuraMax配备了双操纵杆的控制面板和实现自动探针更换的库位架。 /p p br/ 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“专精特新”小巨人企业中图仪器对资本市场发起冲刺。　　公开信息显示，10月21日，深圳市中图仪器股份有限公司（简称“中图仪器”）与中信建投（601066）签署上市辅导协议。成立于2005年的中图仪器致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。去年国家工业和信息化部公示了第三批专精特新“小巨人”企业名单，中图仪器顺利入选。　　自2005年成立以来，中图仪器逐步聚集了来自清华、西安交大、哈工大等高校毕业生带头的工程师队伍，从小仪器到大品种，持续推动国内精密测量技术创新与进步。　　中图仪器重点发展高端精密、超精密几何量检测仪器，提供一维、二维、三维的尺寸测量产品。中图仪器在精密轮廓扫描技术、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的研发设计、制造优势，已具备从纳米到百米为用户提供专业的精密测量仪器和测量解决方案的能力，大部分产品达到国际先进水平。　　目前，中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，部分产品达到国际先进水平，参与制定了多项国家标准。　　中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地，在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地。发展至今，中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区，海外市场快速成长，营销网络日逐完善。　　公开报道显示，多年来中图仪器的研发投入占销售额的25%以上，高于行业10%的平均水平。截至2021年10月31日，公司已拥有99项专利及软件著作权，参与制定3项ISO标准，主导或参与制定10余项国内或行业标准。　　辅导文件显示，马俊杰为中图仪器控股股东，直接及间接持有公司股权比例为36.28%。企查查显示，中图仪器自2016年起经历多轮融资，参投机构包括壹海汇资本、方广资本、架桥资本、海量资本和深创投等。　　据了解，在我国高端几何量仪器领域被蔡司、海克斯康、三丰、ZYGO等国际著名品牌全面占据的情况下，中图仪器研制的闪测仪、激光跟踪仪、激光干涉仪、光学3D表面轮廓仪、测长机等多款精密测量仪器逐步达到进口仪器性能水平，以较低成本较高性能服务于我国计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业领域，推动行业国产替代，同时市场占有率攀升。

技术人员将一个在精密机械、零件生产加工中常用的千分表放在高智能指示表全自动检定仪的检测位置，只需在电脑上的检定软件中选择表的类型、分度值和量程等参数后点击“开始”键，不需手工采样，2分钟就能完成一份包括各点的数据列表，正、反程误差曲线等内容的检定记录。“如果说千分表是测量工件形状和位置误差是否合规的‘尺子’，那么我们的仪器就是检验这把‘尺子’度量是否合格的‘尺子’。”在深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张和君的介绍下，记者见识了中图仪器的“尺子精神”。自2005年成立以来，中图仪器从自主研发具有独立知识产权的全自动指示表检定仪起步，逐步覆盖从纳米到百米的完整精密测量解决方案，在计量、3C电子、半导体、航空航天、高校科研、医疗器械、装备制造等领域树立了良好形象。同时中图仪器积极走出国门，与世界先进品牌同台竞技，在国际市场上传递“中国智造”的口碑。高端精密仪器是典型的高技术和高智力结晶，研发周期长，需要持续不断的技术积淀和投入。据统计，中图仪器年均研发投入占营收比例多年维持在20%以上，在精密轮廓扫描技术、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、精密光栅导轨测控等技术领域形成了独特的研发设计、制造优势。“作为制造数据获取的基本感知和测量工具，精密仪器设备是智能制造的火眼金睛，从纳米到百米，它都能找到用武之地。”张和君补充道，如果连评判度量标准是否合格的“尺子”都是别人造的，我国关键领域的自主发展就容易陷入被动。被誉为“几何量仪器皇冠上的明珠”的激光跟踪仪是一种空间大尺寸三维坐标精密测量的几何量仪器，它不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量，还能对运动的目标进行跟踪测量。张和君介绍，激光跟踪仪的测量范围和应用领域已延伸到大部分空间点坐标测量领域，并能对隐藏特征、曲面等复杂特征进行测量。如在航空航天领域对飞机零部件及装配精度的测量，在机床行业中对机床平面度、直线度、圆柱度等的测量，在汽车制造中对新车型的在线测量，在高端制造中对运动机器人(10.400, -0.26, -2.44%)位置的标定，在造船、轨道交通、核电等领域，激光跟踪仪也能大展拳脚。“尺子精神”的背后是工匠精神。位于宝安区石岩街道的中图仪器生产车间内，员工在自制的圆形标准块表面涂上研磨膏后，通过手工方式来回研磨一对用于超高精度全自动光栅测长机上的测帽，不停寻找测帽的光面高点。整个过程手腕需要长时间保持同一姿势，每次手指和手腕都会酸胀不已。经过四五个小时的研磨后，测帽的表面会逐渐光滑。“这个过程必须得有一股工匠精神，不仅静得下心，还要有经验，要将测帽任何平行位置的误差都控制在0.3微米以内。”制造总监贺放文告诉记者，作为光栅测长机的关键零部件，检测被测件精度的测帽越光滑平整，测长机的测量精度就越高。螺纹检测问题是另一个困扰机械工业的难题。中图仪器研发的SJ5200系列螺纹综合测量机利用扫描针与被测螺纹表面进行轴向截面轮廓的接触扫描，由测量系统获得螺纹轴向轮廓的形貌，按螺纹参数的相关定义直接进行分析与计算，获得螺纹的综合几何参数，进而根据数据库自动做出螺纹的合格性判断。相关技术颠覆了传统的螺纹检测方法。今年6月28日，由中国计量科学研究院和深圳中图仪器等单位起草的《JJF1950-2021螺纹量规扫描测量仪校准规范》正式实施。“目前，中图仪器已参与起草制定十余项国际、国家和行业标准，促进了我国计量、测量行业技术发展。”张和君说。

前文回顾：近二十年我国齿轮量仪的发展（上）5 CNC大齿轮测量中心和超大齿轮测量系统是CNC齿轮测量中心在大齿轮及超大齿轮测量的扩展和创新（1）1989年，工具所推出的局部CNC式1.2m大齿轮测量仪CZE1200D，如前所述，该仪器由单片式计算机控制步进电机二联动，首次实现齿轮量仪螺旋线的CNC数控数字化测量。其改进型为2015年的CZE1200DA齿轮测量仪（图24）；图24 工具所CZE1200DA齿轮测量仪（2）2004年，哈量国内首次开发2m CNC大齿轮测量仪CNC3929，改进型为CNC L200（图25）；图25 哈量L200 CNC大齿轮测量中心（3）2011年，精达创新设计开发2.5mCNC大齿轮齿轮中心，其改进型为JLR300（图26），在国内创新采用了三坐标三联动（θ,X,Y）的渐开线成形原理，实现沿端面啮合线对大齿轮渐开线齿廓精度的测量，即“NDG”法向展成测量原理；精达公司将该原理创新应用于小模数齿轮的测量中，取得了良好效果。图26 精达JLR300大齿轮测量中心（4）2017年，哈尔滨同和光学公司展出精密CNC大齿轮测量中心T150A（图27）。作为哈尔滨工业大学精密超精密加工和测量设备领域的科技成果产业化基地的哈尔滨同和光学展出的大齿轮测量中心，集成了超高精度气浮轴系、气浮托盘调心技术及直线电机驱动等先进技术。近年不少国产大型CNC齿轮测量中心，如哈量CNC L200（见图25）、精达JW型（图28）和智达ZD（图29）型大齿轮测量中心，都采用了5轴坐标系统结构布局，即径向坐标采用了上下二层，既简化机械结构又可减少测头阿贝误差，具有提高仪器稳定性和精度等优点。智达2020年新开发的Z系列大齿轮测量中心甚至采用了三种齿廓测量原理：法线极坐标、极坐标和啮合线测量原理，以适应不同用户需求。仪器采用全新分层控制理念的3U架构全闭环控制器实现动态位置全闭环控制，仪器性能得到了提升。图27 哈尔滨同和T150A齿轮测量中心图28 精达JW型齿轮测量中心图29 智达ZD型齿轮测量中心（5）2013年，北京工业大学成功开发了用于超大齿轮的双测量装置集成综合测量系统——“激光跟踪+三维平台”在位测量系统（图30），首次进行了大胆创新和探索，在超大齿轮的测量理论、技术和实践上，取得了令人可喜的成果。（a）（b）（c）图30 北工大超大齿轮旁置式双测量装置集成综合测量系统6 自动化智能化齿轮测量分选仪器/系统实现CNC齿轮测量中心在齿轮生产现场在线测量（1）2005年，工具所推出车间用齿轮在线三维双啮测量分选机CQPF2000, 随后哈量—北工大也成功开发出3501齿轮分选机（图31），能在线实现批产齿轮径向综合三维误差测量及分选功能。图31 工具所及北工大—哈量齿轮三维双啮测量机（2）2013年，精达为东风汽车变速箱生产线开发了JDFX-1型齿轮自动分选机，用机械手实现半自动盘/轴类齿轮的双啮检测和分选。2015年精达、智达及金量展出风格迥异的双啮式齿轮自动/半自动分选机（图32）。2015年，南京二机床展出了由六轴机器人操作的“智能化齿轮加工岛”（见图5），在实现齿轮无人化双啮自动检测的同时，通过网络连结，能根据测量结果进行反馈，对系统中的数控滚齿机和剃齿机的加工参数进行智能化调整后再加工，实现批产齿轮闭环质量控制与制造，在我国圆柱齿轮制造业的数字化、智能化和自动化中树立了发展标杆。哈量于2017年推出具有时代感的3503齿轮分选机（图33）。此外还有2005年秦川机床推出的在数控磨齿机上的数字化在机测量装置，近年在国内也得到重视，国产全自动流水线齿轮分选机的开发发展迅速。其中，哈尔滨精达和智达（图34）都有相应产品系列相继问世，服务于齿轮制造企业。以上齿轮分选机基本上都是以齿轮双啮仪为检测仪器。在提升齿轮双啮仪的自动误差补偿功能上，精达于2017年展出了获得专利的补偿式齿轮智能双面啮合检查仪产品，既提高仪器测量精度也满足了国际市场标准要求，该双啮仪的补偿功能引起行业的关注与好评。（a）（b）图32 精达半自动在线分选机（a）（b）图33 哈量3503齿轮分选机（a）和秦川机床在机测量（b）（a）（b）图34 精达JFE全自动流水线齿轮分选机（a）及智达2020年为浙江双环传动改造的日本制造桁架式齿轮在线检测分选设备（b）（3）2020年，智达为株洲齿轮有限公司提供了2台六轴机器人齿轮在线快速智能检测系统（见图6），集成了包括国产CNC齿轮测量中心和齿轮双啮测量仪以及意大利光学图像测量仪在内的3台检测功能各异的齿轮精密测量仪器，实现在线轴类齿轮零件的精度检测和质量统计及分选，充分显现了我国齿轮在线检测成套技术和装备的开发制造能力，在数字化、智能化和自动化方面已经提升到了一个崭新高度。7 齿轮整体误差测量仪技术传承难能可贵，新的发展令人期待和鼓舞1970年前后，由工具所黄潼年为首的我国齿轮制造与测量业界众多科研技术人员共同努力，创新开发的成套齿轮整体误差测量技术，致力于研究分析，力图探索齿轮的几何形状及位置精度和齿轮的啮合运动综合精度之间的因果关联。齿轮整体误差技术目前可大致分为三类：即采用坐标式几何解析测量法的齿轮静态整体误差测量技术、采用啮合滚动点扫描测量法的运动态齿轮整体误差测量技术以及与虚拟数字化测量齿轮或虚拟数字化配对工件齿轮进行啮合滚动的虚拟啮合滚动点扫描测量技术，三者都归类于运动几何测量原理。测量项目有：静态齿轮整体误差曲线族、运动态齿轮整体误差曲线族以及虚拟齿轮整体误差曲线族。期待今后会有传动动力态齿轮整体误差测量技术及相应曲线出现。（1）2002年，工具所持续开发锥齿轮整体误差测量技术，建立了锥齿轮局部互换性测量的相对测量体系，实现锥齿轮齿廓二次局部基准误差的补偿（图35），曾应用于青岛精锻齿轮厂。（a）（b）图35 工具所锥齿轮整体误差测量仪及局部互换性测量体系（2）至2007年，工具所不断改进并生产齿轮整体误差测量仪系列产品，包括CZD1200EA齿条式圆柱渐开线齿轮整体误差测量仪（见图24）、CZ450蜗杆式圆柱齿轮整体误差测量仪（图36）及用于小模数圆柱齿轮的CZ150蜗杆式测量仪（图37）。图36 工具所CZ450齿轮整体误差测量仪图37 工具所CZ150小齿轮测量仪（3）2015年，工具所和北工大相继成功开发出齿轮单面啮合差动式小模数齿轮整体误差测量仪（图38）。（4）2015年，北工大在蜗杆式圆柱渐开线齿轮整体误差测量理论和啮合计算上取得重大突破，在大幅提高齿轮误差测量范围评定精度和可靠性的基础上，成功开发出齿轮在线快速测量机及相应测量系统（图39）。测量机采用蜗杆式间齿单啮整体误差测量原理，集成了实施自动上下被测齿轮工件的工业机器人，组成了可用于汽车齿轮生产线的在线检测系统。该齿轮在线自动检测系统已于2015 年底在北齿和浙江双环二个企业的生产现场中得到了实际使用。图38 差动式整体误差测量仪图39 北工大齿轮在线测量机（a）（b）图40 基圆智能小模数齿轮影像测量系统和虚拟整体误差曲线（5）2021年，原北工大博士后和基圆智能科技（深圳）有限公司合作，在2015年齿轮整体误差测量与啮合计算的突破成果基础上，成功开发出CVGM小模数齿轮测量软件和配套的小模数齿轮机器视觉影像测量系统（图40），实现微小/小模数齿轮的在线快速测量。该CVGM软件系统除了采用齿轮整体误差测量理论，能够按照齿轮精度标准迅速计算得到传统小模数齿轮的单项几何误差，还能以虚拟（静态、运动态）齿轮整体误差（曲线）方式表达测量误差数据，从而大大扩展了该测量系统的齿轮误差分析和综合能力，为我国批量小模数精密齿轮快速测量开创了一个新局面，也大大丰富了我国开创的齿轮整体误差测量理论和实践。8 齿轮传动链综合测量仪呈现良好势头，开辟了齿轮测量仪器发展新天地从单个齿轮的几何精度测量与质量评价，进入到对齿轮副传动链的使用性能测试和评估，这可以看成是我国齿轮质量保障体系更为重要的一个环节和阶段，是我国齿轮制造从单个零件制造向关键传动部件制造发展质量保证提升的重要标志。近年国产齿轮传动链综合测量仪的蓬勃发展也揭示了这个发展趋势。秦川机床工具集团近期荣获的2021年度中国机械工业科学技术进步奖一等奖的项目“工业机器人精密减速器测试方法与性能提升技术研究“ ，充分显示了我国在国产减速器测试技术与实践领域所取得的丰硕成果。（1）2005年，重庆工学院和内江机床厂合作开发并提供的YKN9550锥齿轮滚动检验机产品（图41）；图41 YKN9550滚动检验仪（2）2017年，北京国际机床展览会上，精达首次展示了国产齿轮传动装置/传动链综合测量仪产品（图42），该仪器可实现齿轮装置运动性能和传动性能的综合检测，包括速度、载荷及温度等参数变量下传动链综合性能的精确测量与分析。智达展示了为谐波减速器开发的综合性能测试仪（图17）。图42 精达传动链综合检测仪（3）2019年，北工大、北京市精密测控技术及仪器工程研究中心在国际机床展览会上展出新开发的RV减速器传动链测量仪和小模数锥齿轮综合误差滚动测量仪（图43a）；2021年又开发了用于额定输出扭矩达1500Nm的RV减速器综合性能测试台（图43b）。该测试台集先进传感器、数据采集、控制技术与一体的高精度测试仪器，可测量RV减速器的传动误差、回差、扭转刚度、背隙、空载摩擦扭矩、启动转矩、反向启动转矩、传动效率等多种性能参数，选配不同附件可实现多种规格RV减速器的综合性能测试，已为厦门理工大学、集美大学及河南科技大等提供了产品。（a）（b）图43 北工大精密中心RV减速器综合性能测试仪及测试台9 一级齿轮精度基准的精心制作创建，成绩斐然；非渐开线基准的新途径探索，别有洞天（1）大连理工王院士团队通过几十年埋头实干，以工匠精神铸造出我国精品齿轮样板：研制出一级精度渐开线基准样板（图44）和标准齿轮；成套的超精加工测量理论、超精加工测量技术和制造工艺、成套超精加工的技术装备，为我国齿轮精加工和超精加工奠定了坚实基础。图44 大连理工一级精度渐开线基准样板（2）近年国家计量院研制开发了我国首个国家级直径1m齿轮形渐开线齿轮精度基准（图45），其技术参数供参考（见表1）。表1 中国计量院标准大齿轮参数图45 计量院基准齿轮（3）北工大研制开发了我国非渐开线齿廓精度基准：2011年开发的双球式非渐开线齿廓精度样板和2021年的双轴圆弧形齿廓精度样板（图46）。尝试探索一条新的途径来解决高精度及超高精度渐开线实物基准，尤其是解决大尺寸高精度渐开线实物基准的制造难题，以利于更切实地建立起具有我国特色的大尺寸齿轮几何精度的实物溯源体系。（a）（b）图46 北工大双球和双轴圆弧非渐开线样板10 结语北京国际机床展览会作为我国机床工具制造业改革开放的窗口和平台，是我国机床工具行业技术进步和发展的重要标杆和旗帜。自1989年创办以来，北京国际机床展览会是迄今为止我国规模最大、历时最久的机床工具展览会。经过多年不懈努力，已荣登当今世界四大国际机床工具展览会之列, 成为推动我国机床工具行业对外技术交流和商贸合作的重要平台。近20年来，北京机床展览会上真切展现了我国精密数控齿轮量仪的发展历程，揭示出我国精密数控齿轮量仪的发展方向是数字数控化、信息网络化、自动智能化，集成融入生产制造全过程是必由之路；从被动地在计量室进行齿轮精度质检，到生产一线现场批量齿轮的在线自动化快速检测，再进一步融入生产过程，通过测量数据处理实时反馈调整加工参数、实施齿轮的闭环制造，甚至实现了包括齿轮刀具在内的闭环齿轮物联网制造系统的建立。作者不能不由衷感叹我国齿轮量仪制造行业所取得的可喜成就和坚守实干敬业的奋发精神，更体会到党和政府领导下改革开放方针政策的英明正确。“制造业是国民经济的主体，是立国之本、兴国之器、强国之基。十八世纪中叶开启工业文明以来，世界强国的兴衰史和中华民族的奋斗史一再证明，没有强大的制造业，就没有国家和民族的强盛。打造具有国际竞争力的制造业，是我国提升综合国力、保障国家安全、建设世界强国的必由之路。” 为响应“中国制造2025”国家发展战略，支持并强化国产齿轮量仪制造业关键部件国产化精制化和齿轮测量与加工制造信息的网络闭环智能化，打造具有国际竞争力的齿轮量仪制造业，是我国齿轮制造业大国向齿轮制造业强国发展的必由之路。近来由北工大石照耀教授牵头的“小模数粉末冶金齿轮（MM/PM）高速高效大规模制造成套技术与产业化”项目，荣获“2021年度广东省科学技术奖”科技进步一等奖。该项齿轮制造成套技术与产业化的成功实施，显示了我国向齿轮制造强国目标阔步前进的强劲步伐。

日立分光光度计的衍射光栅技术 衍射光栅覆盖了从软X射线到远红外的各种波长，扩展了光谱仪中光学元件的应用领域。日立的衍射光栅在全球多个领域获得了高度评价。比如日本的国立基础生物学研究所的冈崎教授使用90cm*90cm的衍射光栅（刻有36条15cm*15cm的光栅格子）实现了一种人造彩虹，其强度是赤道处太阳光的20倍。此外，美国宇航局发射的探测卫星的极紫外分光光度计采用了日立变间距平面和凹面衍射光栅。 衍射光栅的原理图1衍射光栅衍射的过程衍射光栅是各种光学仪器的核心部件，是一种色散元件，可以将混合了不同波长的光（白光）分成单个波长的光（单色光）。其原理是根据衍射现象将入射处的白光分成不同波长的光，因此单色器中常用光栅作为色散元件。在单色器中，夹缝通常设置在光栅后面，选取特定波长的单色光。在凹面衍射光栅中，一般每毫米有几百或几千个凹槽，如图2所示。图2 凹面衍射光栅 光栅刻划机光栅刻划技术是世界上一种罕见的技术之一，使用机刻光栅能够制造出高质量的单色器。日立优异的衍射光栅刻制技术，能够将光栅刻槽精确到nm级别。光栅刻划机一般使用金刚石刀具，这样制作的光栅衍射效率高，同时凹槽设计具有像差校正功能。详细光栅种类和应用信息请参考：https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102446/down_917717.htm 总结日立开发的反射平面光栅和凹面光栅致力于满足前沿科学领域的需求，丰富的产品线能够适应多样化的实际应用。

近日，国务院印发《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》的通知提到，推动大规模设备更新和消费品以旧换新是加快构建新发展格局、推动高质量发展的重要举措，将有力促进投资和消费，既利当前、更利长远。并表示，至2027年工业、教育、医疗等领域设备投资规模较2023年增长25%以上。——来源：新华社3月13日报道宁波舜宇仪器是国家高新技术企业，是舜宇光学科技集团的核心企业之一。公司主要从事光学显微镜、“三化”（数码化、自动化、智能化）显微镜、自动化设备的研发、制造、营销和服务，产品广泛应用于生命科学研究、医学病理分析、高校互动教学、工业检测、金相矿物分析、精密工程测量等领域。生命科学研究无论是组织切片还是活细胞、活体成像，SOPTOP都能提供适合全面需求的方案，满足您多样化的成像需求。共聚焦显微镜四色扫描和探测 全软件控制多维图像采集集成电动控制按键，实现手动、自动一体化适用于高级研究镜检和显微图像拍摄▲ CLSM600激光共聚焦扫描显微镜结构光光切显微系统高分辨光切成像，XY分辨率：240nm，Z轴分辨率：600nm自动化控制流程四波长LED光源SRF研究级软件平台▲ M-SIM6000结构光光切显微系统宽场显微镜研究级倒置荧光显微镜IRX50/60电动机架，电动Z轴前置功能状态显示面板8孔荧光转盘高度可扩展性研究级正置荧光显微镜RX50大视场范围，可达25mm专业荧光分析软件可进行明场、暗场、相衬、荧光、DIC等多种观察方式活体显微影像系统支持900-1700nm光谱成像成像深度大，空间分辨率高成像时间分辨率高适合不同类型活体生物样品/模型的观测▲NIR ll-MS近红外二区活体显微影像系统研究级体视显微镜伽利略光学系统12.5:1 的出色大变倍比▲ SZX12平行光路连续变倍体视显微镜物联显微互动教学系统打破传统显微形态教学模式，将智能终端设备、无线通讯技术与数码显微技术结合，开启现代显微教学新模式。病理诊断分析专为提升医疗诊断工作设计，提高工作效率，降低视觉疲劳。血液形态学分析系统支持外周血涂片自动扫描分析扫描速度90s（100WBC+RBC+PLT）不停机加片数字玻片扫描仪显微镜式扫描系统同时满足镜下观察和玻片数字化成像XYZ轴手自一体载物台便捷的阅片软件▲ RX51生物显微镜箱式扫描系统支持标准载玻片以及各类定制尺寸载玻片低通量-高通量完整产品线可搭载舜宇远程会诊平台▲ HS系列、FS系列、AMS系列多人共览显微镜专为小组讨论模式所倾力研发合理解决多人共同探讨而无法达到共视的问题可根据需求选择3人/5人/10人▲ RX50DOM多人共览显微镜工业检测专业应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、精密磨具等检测领域。晶圆检查显微镜AWL系列晶圆检查系统适用4-12英寸全系列规格晶圆检测支持明场、暗场、偏光、DIC观察360°全自动宏观检查精密微观检查MX系列半导体检查显微镜最大支持 300mm 晶圆及17英寸液晶面板 人机工程学设计全面提升测量显微镜0.1μm高精度光栅尺电动Z轴，调焦可操作性强独立裂像光源，辅助对焦测量功能强大▲ MS测量显微镜自动化检测/制程设备以机器视觉技术为核心，针对不同应用场景为客户提供全面的AOI检测方案。▲ 手机镜片外观检测、手机镜头外观检测▲车载镜头内尘检测、车载激光焊接深耕显微行业，舜宇仪器一直坚持以客户为中心，敢于创新、敢于突破。未来，我们将继续前行，进一步推动国产光学仪器在科教、医疗、工业等领域的深度融合，为客户带来更优异的系统解决方案。

智能手机自1993年推出以来，已成为全球广泛使用并融入人们日常生活的电子设备。多年来，随着计算能力的提高，以及新的传感器及其功能的加持，智能手机集成平台不断发展。智能手机正在取代摄像机、照相机、闹钟、手表、全球定位系统（GPS）、日历、计算器、闪光灯等等过去常见的设备，变得像一台可以上网的小型计算机一样强大。新冠肺炎疫情期间的作用，也凸显了智能手机在快速向大范围人群分发应用的能力。光子学是丰富智能手机功能并提高其潜力的极具前景的技术。全球主要智能手机制造商已经将新的光子传感器集成到了一些最新款的高端产品上，例如，面向增强现实（AR）应用的激光雷达（LiDAR），或者用于采集实时血氧水平和心率的脉搏血氧计等。与此同时，许多研究小组正在积极利用现有板载传感器或开发新的传感器，在智能手机上创建新的功能。利用智能手机摄像头及算法的显微镜系统，已被证明可以计数白细胞或红细胞，以用于血样分析以及寄生虫、细菌和病毒的检测；还可以通过RGB摄像头评估蓝色和绿色光谱成分的比率来检测血糖水平；采用Mie扩散法还可以测量水的浊度水平；还有报道基于呼吸中酒精含量而造成的蒸发率差异的光学式酒精测试仪等。然而，这些新的功能通常需要添加占用空间的附加组件。对于尺寸敏感的智能手机来说，空间限制问题值得关注。为了解决这个问题，Lapointe等研究人员提出了在手机屏幕前作为保护层的750 μm厚的康宁大猩猩玻璃上蚀刻光子器件的想法。借助1030 nm飞秒（fs）激光直接写入，他们展示了在1550 nm波长0.053 dB/cm的低损耗单模波导。他们还展示了一种基于玻璃表面倏逝场相互作用损耗的折射率（RI）测量装置。Davis等研究人员在1996年介绍一种玻璃材料的飞秒激光功能化。该工艺利用多光子吸收或隧道电离等非线性效应来引起折射率的永久变化。折射率变化很大程度上取决于材料和写入条件，并受多种因素的叠加影响，例如色心形成、玻璃基质的结构变化或导致密度变化的热效应等等。在高重复率下还存在一种特殊的热积累机制，会导致较大的焦外折射率变化。继Lapointe等人的研究，研究人员对通过飞秒激光改性的保护玻璃层机械性能的完整性进行了研究，发现飞秒激光写入对玻璃强度的影响可以忽略不计。同一项研究表明，通过减少写入所需的光子数量（减少波长），折射率变化可以增加一个数量级。据麦姆斯咨询介绍，近期，加拿大蒙特利尔理工学院工程物理系的Jean-Sébastien Boisvert及其团队在Scientific Reports期刊上发表了一篇题为“Fs laser written volume Raman–Nath grating for integrated spectrometer on smartphone”的论文，研究人员首先展示了一种没有热量积累的新写入方式，可以实现具有正折射率变化的高分辨率精细写入点。正折射率变化对于波导写入特别重要，而小折射率变化区域，对于写入具有精细周期的光栅至关重要。正如研究人员在两种不同的玻璃中所展示的那样，这种机制并不局限于个别玻璃。智能手机集成光谱仪原理示意图在该研究中，飞秒激光写入采用了来自Light Conversion的8W Pharos激光系统，该系统具有250 fs脉冲长度。激光器被耦合到Orpheus OPA以将频率加倍，从原来的1030 nm到515 nm。利用50倍Olympus PLAN 0.65数值孔径（NA）显微镜物镜聚焦飞秒激光脉冲，并将样品置于由AEROTECH 3200控制器控制的3轴写入系统上。使用脉冲选择器来控制激光器的重复频率以节省脉冲能量。激光的偏振与写入方向平行。所使用的写入速度在0.1~100 mm/s之间，脉冲能量在82~825 nJ之间。用于写入的玻璃有两种类型：康宁大猩猩玻璃（一种用于保护多媒体屏幕设备的碱性铝硅酸盐玻璃）和钢化铝硅酸盐玻璃（来自Bodyguardz的一种通用屏幕保护玻璃层）。两种玻璃以101 kHz重复率不同写入速度时，飞秒激光曝光下诱导集成折射率剖面断层扫描变化的演变采用这种新颖的写入技术，研究人员展示了在智能手机摄像头前以拉曼纳斯机制运行的体相光栅（VRNG），以获得一种集成的智能手机光谱仪。其关键是产生一个弱VRNG，不会显著改变相机的传统功能，但在暴露于强光照射时会产生光谱。（a）写入钢化玻璃的VRNG，置于智能手机前置摄像头前；（b）如果没有明亮的光源，光栅不会影响相机拍摄的日光成像质量，但如果有明亮的光线靠近光栅或在弱光环境中拍摄则会出现衍射光谱在热积累范围之外，两种玻璃都发现了一种产生正折射率变化的新写入方式。对于这两种玻璃，都发现了这种无热累积写入机制的上限阈值，重复率分别小于150 kHz和101 kHz，光通量分别为8.7 × 106 J/m²和1.4 × 107 J/m²。将尺寸为0.5 × 3 mm²、间距为3 μm的弱VRNG放置在三星Galaxy S21 FE智能手机前，以使用第二衍射级记录光谱。该光谱仪覆盖了401-700 nm的可见光波段，探测器分辨率为0.4 nm/pixel，光学分辨率为3 nm。利用该光谱仪测定了水中有机激光染料Rhodamine 6G的浓度检测限为0.5 mg/L。这一概念验证为现场吸收光谱法快速收集信息铺平了道路。论文链接：https://doi.org/10.1038/s41598-023-40909-9