四探针电阻仪

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四探针电阻仪相关的厂商

  • 天津丘山仪器科技有限公司 铜牌2年
    400-860-5168转5974
    丘山仪器致力于材料研发相关的高通量实验仪器及测试服务，包括高通量扫描四探针电阻测量仪、电阻-温度传感芯片及其测试系统、差分纳米量热仪、纳米量热传感器、扫描液滴电化学测试系统、高通量霍尔效应测试仪等囊括电学、热学、电化学、力学等多方面自动化高通量实验仪器。可以广泛应用于金属玻璃、形状记忆合金、高温热障涂层、锂离子电池、平板显示器以及半导体芯片工艺检测等。我们也提供相关材料的表征测试服务。
    主营产品： 其它物性测试仪器  
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  • 苏州晶格电子有限公司
    苏州晶格电子有限公司是一家集研发、生产、经销：教育、科研、生产用电子测量仪器仪表的专业高新技术企业。主营导体半导体材料电阻率方块电阻测试的四探针试仪器、交直流电压表电流表。公司位于苏州市吴中区新家工业园内，比邻吴中名胜石湖，近连苏州环城高速与友新高架，环境优美交通便利。主要产品：公司现有导体半导体材料电阻率方阻测试的四探针测试仪系列，可测固体粉末ITO涂层镀膜的电阻率方阻，有绝缘材料超高阻微电流测试仪系列，有低频、视频、宽频、超高频各频段模拟式、数字式交流毫伏表系列（含真有效值），交直流数字式电压、电流、电阻多用表系列等系列等九大系列二百余种产品，并可按客户要求研制特种测量仪器。JG品牌系列产品，以其领先行业技术功能和极高的性价比，已得到越来越多客户的青睐。广泛应用于教学、科研、军工、生产制造等领域。研制开发：公司不仅配有成套、完备、高档的研发硬件设备，更有一批资深、高新专业研发人才队伍。采用以SOC单片机为核心的嵌入式系统技术实现的手动自动一体化测量仪器仪表，技术功能先进，款式新颖，操作简便，是本公司产品时新的亮点。
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  • 登封市创威碳化物制品有限公司
    登封市创威碳化物制品有限公司（登封市钰锋电热材料有限公司分公司）位于登封市三里庄高新技术工业园区，这里207国道、豫03省道、郑少洛高速公路交汇，距名刹嵩山少林寺20公里，距省会郑州68公里，西距九朝古都洛阳70公里。交通便利，山清水秀，环境优美。 主要从事于二硅化钼（硅钼棒），异型硅钼棒碳化硅电热元件（硅碳棒），马弗炉，实验电炉和高温钨钼制品的研究和生产，及其相关领域的生产技术的研究与开发，不断提升产品品质，积累了丰富的制造经验和技术，采用先进的工艺装备、完善的ISO9001质量管理体系和科学的管理模式，为国内外客户提供着高品质的产品和服务。 硅钼棒电热元件是一种以硅化钼为基础的电阻发热元件，其在氧化气氛下加热到高温，表面生成一层致密的石英玻璃膜，保护其不再氧化。因此，其具有独特的高温抗氧化性。在氧化气氛下，1800型元件最高温度可达1800℃。规格尺寸有：Φ3、Φ6、Φ9、Φ12等多种规格，硅钼棒有直型棒、U型棒、W型棒、压弯直角棒等类型。另外，还有二硅化钼通管、二硅化钼热电偶保护管、二硅化钼探针等异型硅化钼产品。
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  • 便携式四探针电阻率测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针电阻率检测仪 四探针电阻率测定仪 400-860-5168转3128
    1:便携式四探针电阻率测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针电阻率检测仪 四探针电阻率测定仪 型号：KDK-KDY-1A概述便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。本仪器按照半导体材料电阻率的际及家标准测试方法有关规定。它主要由电器测量份（主机）及四探头组成，需要时可加配测试架。为减小体积，本仪器用同块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由宽的恒流源提供，随时可行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分材料也可以用来作产品检测。对1～100&Omega &bull cm标准样片的测量瓿差不过± 3%，在此范围内达到家标准机的水平。测量范围：可测量 电阻率：0.01～199.9&Omega &bull cm。可测方块电阻：0.1～1999&Omega /口当被测材料电阻率&ge 200&Omega &bull cm数字表显示0.00。（2）恒流源：输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档10mA量程：0.1～1mA 连续可调10mA量程：1mA ～10mA连续可调恒流度：各档均优于± 0.1%适合测量各种厚度的硅片（3） 直流数字电压表测量范围：0～199.9mv灵敏度：100&mu v准确度：0.2%（± 2个字）（4） 供电电源：AC：220V ± 10% 50/60HZ 率8W（5） 使用环境：相对湿度&le 80%（6） 重量、体积重量：2.2 公斤体积：宽210× 100× 深240（mm）（7）KD探针头压痕直径：30/50&mu m间距：1.00mm探针合力：8± 1N针材：TC2:· 数字式硅晶体少子寿命测试仪 型号：KDK-LT-100C为解决太阳能单晶、多晶少子寿命测量，特按照标GB/T1553及SEMI MF-1535用频光电导法研制出了数字式少子寿命测试仪。 该设备是按照家标准GB/T1553&ldquo 硅单晶少数载流子寿命测定的频光电导衰减法&rdquo 。频光电导衰减法在我半导体集成电路、晶体管、整流器件、核探测器行业已运用了三十多年，积累了丰富的使用经验，经过数次十多个单位巡回测试的考验，证明是种成熟可靠的测试方法，特别适合于硅块、硅棒研磨面的少子体寿命测量；也可对硅片行测量，给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面，制样简便。 KDK-LT-100C数字式硅晶体少子寿命测试仪有以下特点：1、 可测量太阳能多晶硅块、单晶硅棒少数载流子体寿命。表面无需抛光，直接对切割面或研磨面行测量。同时可测量多晶硅检验棒及集成电路、整流器、晶体管硅单晶的少子寿命。2、 可测量太阳能单晶及多晶硅片少数载流子的相对寿命，表面无需抛光、钝化。3、配备软件的数字示波器，液晶屏上直接显示少子寿命值，同时显示动态光电导衰退波形，并可联用打印机及计算机。4、配置两种波长的红外光源：a、红外光源，光穿透硅晶体深度较深&ge 500&mu m，有利于准确测量晶体少数载流子体寿命。b、短波长红外脉冲激光器，光穿透硅晶体深度较浅&asymp 30&mu m，但光强较强，有利于测量低阻太阳能硅晶体。5、测量范围宽广测试仪可直接测量：a、研磨或切割面：电阻率&ge 0.3&Omega &bull ㎝的单晶硅棒、定向结晶多晶硅块少子体寿命，切割片的少子相对寿命。b、抛光面：电阻率在0.3～0.01&Omega &bull ㎝范围内的硅单晶、锗单晶抛光片。寿命可测范围 0.25&mu S&mdash 10ms 温馨提示：以上产品资料与图片相对应。
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    厂商： 北京恒奥德仪器仪表有限公司
    品牌： 未知
    型号： KDK-KDY-1A
    价格： 面议
  • 四探针导电电阻测试仪 400-860-5168转6231
    硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A-5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量准确度尚未评估。使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.导体材料电阻率测试仪GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法提要探针与试样压力分为小于0.3N及0.3 N¯ 0.8N两种。以下文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。但凡注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括订正的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本适用于本标准。GB/T 1552硅、储单晶电阻率测定直排四探针法样品台和操针架样品台和探针架应符合GB/T152 中的规定。样品台上应具有旋转360"的装置。其误差不大于士5"，测量装置测量装置的典型电路叉图1，范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。
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    厂商： 北京百川宏宇交通设施有限公司
    品牌： 百川宏宇/bchy
    型号： B CD-310
    价格： 2万元
  • 四探针电阻测试仪 400-860-5168转6231
    导体材料电阻率测试仪GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法提要探针与试样压力分为小于0.3N及0.3 N¯ 0.8N两种。以下文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。但凡注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括订正的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本适用于本标准。GB/T 1552硅、储单晶电阻率测定直排四探针法样品台和操针架样品台和探针架应符合GB/T152 中的规定。样品台上应具有旋转360"的装置。其误差不大于士5"，测量装置测量装置的典型电路叉图1，范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A-5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量准确度尚未评估。使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.采用四探针组合双电测量方法，液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.高集成电路系统、恒流输出；选配：PC软件进行数据管理和处理.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响.
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    厂商： 北京百川宏宇交通设施有限公司
    品牌： 百川宏宇/bchy
    型号： BCD-310
    价格： 2万元
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四探针电阻仪相关的资讯

  • 瑞柯发布瑞柯全自动四探针测试仪新品
    FT-3110系列全自动四探针测试仪一.功能描述：四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.FT-3110系列全自动四探针测试仪二.适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等. FT-3110系列全自动四探针测试仪三.技术参数： 规格型号FT-3110AFT-3110B1.电阻10^-5～2×10^5Ω10^-6～2×10^5Ω2.方块电阻 10^-5～2×10^5Ω/□10^-6～2×10^5Ω/□3.电阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm10-7～2×106Ω-cm4.测试电流 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA5.电流精度 ±0.1% 6.电阻精度 ≤0.3%7.PC软件操作PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、报表生成等8.压力范围：探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调9.探针针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制10.可测晶片尺寸选购 晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm11.分析模式单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试12.加压方式测量重复性：重复性≤3% 13.安全防护具有限位量程和压力保护 误操作和急停防护 异常警报14.测试环境真空15.电源输入: AC220V±10%.50Hz 功 耗：瑞柯全自动四探针测试仪
    时间： 2020-11-20
    作者： 新品发布
  • 进口率超九成，美日仪器垄断市场——全国共享探针台盘点
    探针台是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。随着半导体市场的逐步开放和增长，作为半导体检测的必备仪器—探针台的市场也在逐年增长和扩大中，不论是海外品牌还是国产品牌，近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。由于高校的管理模式及制度，探针台大多养在“深闺”，大量科研资源潜能没有得到充分发挥。为解决这个问题并加速释放科技创新的动能，中央及各级政府在近几年来制订颁布了关于科学仪器、科研数据等科技资源的共享与平台建设文件。2021年1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享。其中，对探针台的统计分析或可一定程度反映科研领域相关仪器的市场信息（注：本文搜集信息来源于重大科研基础设施和大型科研仪器国家网络管理平台，部分仪器品牌信息不全则根据型号等信息补全，不完全统计分析仅供读者参考）。不同地区（省/市）仪器分布情况本次统计，共涉及探针台的总数量为235台，涉及20省（直辖市/自治区），84家单位。其中，上海市共享磁测量仪器数量最多达63台，占比29%，涉及17所高校、研究院所和企事业单位等，上海如此高的占比主要是由于其集成电路等半导体产业发达。上海市探针台主要来自于上海华岭集成电路技术股份有限公司，共有25台，占上海市总共享探针台的11%。仪器所属学科领域分布从仪器所属学科领域分布可以看出，探针台主要用于电子与通信技术、物理学和材料科学研究，占比分别为32%、17%和14%。不过，信息科学与系统科学和信息与系统科学相关工程与技术两个学科重合度较高，合计占比达16%，比材料科学略高。需要注意的是，以上统计存在交叉分布的情况，即该仪器同时属于多类学科领域。仪器所属单位性质分布那么这些仪器主要分布在哪些单位呢？统计结果表明，共享探针台主要分布于高校中，占比达60%，这一结果主要是因为共享仪器平台的仪器由高校上传所致，统计结果并不能体现出此类仪器的市场分布。不过共享仪器最多的确实企业中的上海华岭集成电路。而高校和科研院所共享数量TOP5分别为清华大学、苏州大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、东南大学、北京大学，这些高校院所都具有集成电路研发的基础。探针台主要品牌分布探针台品牌所属地区分布这些探针台主要品牌为美国Cascade、美国Lake Shore和日本东京精密，占比分别为28%、23%和16%。Cascade是全球领先的的探测系统、探针、探测器等产品的设计生产商，公司成立于1983年，总部设在美国俄勒冈州西北部城镇，为全球晶圆级测试的销售、服务和应用而存在，自主拥有150多项专利技术。Lake Shore公司成立于1968年，位于美国俄亥俄州哥伦布市，是低温与磁场科研设备的国际领导者。主要产品包括：振动样品磁强计、低温真空探针台、霍尔效应测量系统、低温控温仪、低温传感器、高斯计、磁通计等。可以看出，目前我国高校院所的探针台仍以进口为主，大部分市场被美日产品垄断，进口产品占比超过90%。此外，在统计过程中，笔者发现探针台常与半导体参数测量仪搭配联用，而搭配的半导体参数测量仪主要是美国Keithley的4200-SCS型号的产品。这是美国泰克旗下的吉时利品牌的一款产品。不过目前该型号已下架，最新款是4200A-SCS型号，4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。Keithley 4200A-SCS 参数分析仪本次共享探针台仪器盘点，涉及等Cascade、Lake Shore、东京精密、MPI、Janis、SUSS、东京电子、奕叶、Signatone、ARS、FORMFACTOR、MPI等三十多家厂商，呈现出三超多强局面。探针台高校院所市场将爆发随着集成电路产业的爆发式发展，2018 年开始，将集成电路设置成一级学科的提案开始出现。2018 年中国科学院院士王阳元在新时期中国集成电路产业论坛中提议，微电子学科提升为一级学科。学术界和产业界对集成电路成为一级学科异常关注。2019 年 10 月 8 日，工信部官网发布《关于政协十三届全国委员会第二次会议第 2282 号（公交邮电类 256 号）提案答复的函》中表示，工信部与教育部等部门将进一步加强人才队伍建设，推进设立集成电路一级学科，进一步做实做强示范性微电子学院。去年12月30日，国务院学位委员会、教育部正式下发关于设置“集成电路科学与工程”一级学科的通知。过去一年来，北京航空航天大学、安徽大学、广东工业大学、中山大学、清华大学等国内多所高校均成立集成电路相关学院。随着集成电路学院的纷纷成立，高校院所对半导体相关仪器设备需求将剧增，探针台作为半导体检测的重要仪器，相关市场将爆发。
    时间： 2021-09-03
    作者： KPC
  • 高鸿钧院士团队成果：多探针扫描隧道显微镜分时复用切换技术
    科学仪器的发展，不断促进对新材料的探索，从而直接或间接影响各科技领域的方方面面。工欲善其事必先利其器，深化与落实科学仪器的自主研发，更是科技攻关的桥头堡。扫描隧道显微镜（STM），及一系列扫描探针显微镜（SPM） ：原子力显微镜（AFM）、扫描近场光学显微镜（SNOM） 等，掀起一场纳米技术革命，广泛应用于材料表面纳米尺度局域电子态、形貌以及分子振动等丰富物性的研究。电输运性质作为材料的关键参数，被广泛关注。集成多个独立STM的多探针STM系统，通过施加电/力等调控手段，实现纳米尺度、原位表征材料局域电子态与局域电输运性质，有望加速后摩尔时代新器件的基础研究。四探针 STM 可实现微观体系的四端法测量，有效消除接触电阻带来的测量误差，获得材料的本征电导率。多个独立探针的协同操纵和成像，往往需要相同数量的多套STM控制系统。随着STM探针／压电驱动部件的增加，多探针控制系统的成本和复杂度急剧增加。因此，发展低成本、高效率、可扩展的通用控制解决方案，实现STM控制系统分时操纵多个探针、乃至探针阵列的技术十分必要。中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心高鸿钧研究团队多年来一直致力于扫描探针显微学及其在低维量子结构方面的应用，在前沿科学研究取得一系列重要成果。同时，他们也在相关高精尖仪器自主研制方面不断积累，奠定了扎实的基础。物理所技术部郇庆/刘利团队一直致力于科研仪器设备的自主研发，与所内外多个课题组紧密合作，在核心关键部件、成套系统等方面取得了一系列成果（包括一台商业化四探针系统的彻底升级改造【Review of Scientific Instruments, 88(6):063704, 2017】、光学-低温扫描探针显微镜超高真空联合系统【Review of Scientific Instruments 89, 113705 (2018)】和新一代高通量薄膜制备及原位表征系统【Review of Scientific Instruments 91, 013904 (2020)】的自主研制）。两个团队再次密切合作、联合攻关，共同指导N04组博士生严佳浩（已毕业，爱尔兰科克大学博士后）、马佳俊、王爱伟（已毕业，国家纳米中心博士后）、马瑞松（已毕业，物理所关键技术人才）等同学成功研制并搭建了一台多探针STM分时复用切换系统，完成单个STM控制系统依次操纵多个探针在纳米尺度下的成像与定位，以及维持探针位置后的局域电输运测量。该系统采用的核心思路为研发团队首次提出，软硬件均完全自主研发，采用了ARM + DSP + FPGA多核数字平台来兼备复杂切换逻辑、多路高精度高速并行采样与数据处理，涉及C/C++与Verilog HDL编程语言，并提供图形操作界面以提高易操作性，具备多项独特优点：1）单个探针内大、小扫描管及多个探针间的无缝切换，无瞬态抖动；2）皮安级电流切换；3）任意单个探针具备毫米级移动范围与原子级空间分辨；４）多个探针可无限靠近，最小距离仅取决于针尖曲率半径；５）原位、纳米尺度、相同区域内，STM成像与电输运测量。该联合研发团队用６年多时间对系统进行了反复地设计优化和改进，并进行了全面性能测试。该研发成果所涉及的多项关键技术，如微弱信号的放大与切换、高稳定电压保持、复杂控制逻辑等，是未来大规模探针阵列应用的重要技术基础。分时切换的核心思路具有可扩展性强、成本低廉的特点，有望在材料基因组研究高通量表征领域有广泛的应用。该系统的详细介绍发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments 92, 103702 (2021) doi: 10.1063/5.0056634】。该工作得到了中国科学院关键技术研发团队项目(GJJSTD20200005)、国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(11927808)和国家自然科学基金委青年基金项目(12004417)等的支持。图1：分时复用切换方案图2：分时复用系统硬件设计图3：分时复用切换系统软件架构图4：分时复用切换系统部分图形用户界面图5：单STM探针空间定位图6： 多探针切换与空间定位附：Rev. Sci. Instrum. 92, 103702 (2021).pdf
    时间： 2021-12-22
    作者： 阳离子
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  • 四探针电阻率测试仪

    四探针电阻率测试仪。XH-KDY-1BS 型四探针电阻率测试仪是严格按照硅材料电阻率测量的国际标准（ASTM F84）及国家标准设计制造，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。整套仪器有如下特点：1、 配有双数字表： 一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更精确。数字电压表量程：0—199.99mV 灵敏度：10μV输入阻抗：1000ΜΩ基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)2、可测电阻率范围：10—4 —1.9×104Ω·cm可测方块电阻范围：10—3 —1.9×105Ω/□。2、 设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4 探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4 探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3 探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。3、 流经硅料的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度10 万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。5、 加配软件配电脑使用，实现自动换向测量、求平均值，计算并打印电阻率最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。6、 四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（国家知识产权局已于2005.02.02 授予专利权，专利号：ZL03274755.1）。

  • 四探针测试金属银膜不稳定的情况

    四探针测试自制的金属银纳米线薄膜时，出现一个现象，随着探头压力的增加，电阻率发生相应的变化，应该是压力越大，电阻率越大。我测试硅片的时候就很稳定，不知道是什么原因造成的。大家有没有其他材料有这种情况呢

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四探针电阻仪相关的耗材

  • 全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针
    全新压电阻自感应悬臂梁AFM探针 ——从此形貌探测无需激光 SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年，公司的主要业务是制造和销售硅基压电阻式自感应AFM探针。这种全压电式悬臂，在AFM、纳米、力测量等传感应用领域都有全新的应用。我们的多学科团队由物理、商业和金融、半导体和微电子学、电子工程和生物科学等领域的专家组成。除了我们自己的团队之外，我们还与著名高校：University of Tampere (UTA)，école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 许多的研究团队合作，密切接触前沿研究和开发。自感应悬臂探针安装了一个全压电电阻式的惠特斯通电桥，两个可变电阻在悬臂上，两个在晶片上可以直接测量悬臂的信号，从而避免了光学技术对空间要求。这种悬臂式芯片被连接在一个小的PCB上，带有一个小的连接器，用于快速和高度可重复的悬臂交换。传感器信号是通过一个小型的前置放大器PCB来读出和放大的。这使得与各种仪器，如SEM，TEM和许多其他测量系统的简单无缝集成。这种自感的悬臂可以满足各种共振频率和弹性系数的要求。SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加热的悬臂AFM探针和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加热的悬臂AFM探针。我们建议用塑料镊子更换裸悬臂AFM探针，用钢镊子来更换固定在PCB板上的悬臂AFM探针。 常规自感应悬臂梁探针（针材质Si） Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip 左图展示的是标准的SCL自感应悬臂探针的，半径小于15纳米。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) 型号列表： PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP 我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数不能在没有电触点的情况下测量。 共同特点Common 针锐度Silicon tip radius (rtip) 15 nm长宽Cantilever length, width (l/w) l = 305 μm, w = 110 μm灵敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm应用ApplicationsAFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.PRSA-L300-F50-Si-PCB共振频率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz刚度Stiffness (k)k = 1~15 N/mPRSA-L300-F80-Si-PCB共振频率Resonant frequency (fR)65...95 kHz刚度Stiffness (k)15...56 N/mPRS-L70-F900-Si-PCB/CHP PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP针锐度Silicon tip radius (rtip) 15 nm长宽Cantilever length, width (l/w)l = 70...85 μm, w = 30 μm灵敏度Sensitivity (s)3 μV/nm应用ApplicationsAFM, 纳米探测, 结合 SEM/TEM的力学探测.共振频率Resonant frequency (fR)500...1300 kHz刚度Stiffness (k)35...400 N/m 自感应悬臂梁（不含针）Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless) 这是一种特殊类型的SCL的自感应悬臂，没有探针针，可将自己设计制造的针粘在其上或者直接粘上样品，满足个性化的需求。这种无探针的悬臂尤其适用于扭矩磁力仪、力感测力、气体特性测量，以及更多的应用。正常情况下，悬臂探针会预先安装特制的PCB板（CL-PCB）上，在它的下侧有一个10pin的连接器。如果有特殊要求，我们也可以提供没有PCB板的悬臂探针。探针有两种版本，可加热的探针PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加热的探针PRS (Piezo-Resistive Sensing) 型号列表： PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP 我们可以提供两中特定频率范围内使用的探针（中频为50 kHz或80 kHz），频率取决于悬臂的厚度。当选择没有PCB板的裸探针时（PRSA-L300-CHP）时，使用的频率范围是未知的，因为这些参数无法在没有电触点的情况下测量。 共同特点Common 长宽Cantilever length, width (l/w)l = 300 μm, w = 110灵敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针的安装PRSA-L300-F50-TL-PCB 共振频率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz刚度Stiffness (k)k = 1~15 N/mPRSA-L300-F80-TL-PCB共振频率Resonant frequency (fR)65...95 kHz刚度Stiffness (k)15...56 N/mPRS-L100-F400-TL-PCB/CHP PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP 长宽Cantilever length, width (l/w)l = 100 μm, w = 48 μm灵敏度Sensitivity (s)1...3 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针的安装共振频率Resonant frequency (fR)fR = 250...550 kHz刚度Stiffness (k)k = 14...170 N/m PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP长宽Cantilever length, width (l/w)l = 450 μm, w = 100 μm灵敏度Sensitivity (s)1...2 μV/nm应用Applications扭矩磁力仪，力感应，气体特性，特殊针的安装共振频率Resonant frequency (fR)fR = 14...48 kHz刚度Stiffness (k)k = 0.5...24 N/m 自感应基础套件（DYI必备） Self-Sensing Starter-Kit自感悬臂探针的每个应用中没有激光扰度探测，无法直接用于普通AFM设备里，需要我们提供的自感应基础套件。该基础套件为您提供了所有基本但必要的配置，可以立即开始使用自感应悬臂（探针）。自感应基础套件包含以下内容： ★ 低噪声悬臂信号前置放大器（下图-2) ★ 连接前置放大器到悬臂和后加工设备（锁定放大器，AFM控制器等）的电缆。(1 + 3) ★ 10个自我感觉的悬臂（4)
    供应商： QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司
    品牌： SCL
    价格： ¥1000
  • 四探针方阻测试探头 4PP光伏硅片4点探头 KLA、CDE、NAPSON 原厂；晶圆 ITO薄膜电阻探头
    四点探针头是用于方阻测试设备上的精密零件，我公司生产的探头能适配到国内外所有的方阻测试设备上，稳定性和一致性十分优秀；无缝替代由国外生产的探头JANDEL、CDE等国外品牌，打破国外技术垄断和封锁。探针的针尖材料一般是用碳化钨。每一种探头的主要选择配置参数： A，探头主体材料及外形尺寸 B，针尖半径 C，针头的间隔 D，针头的负载 E，针头排列，线型，或者正方形。 F，连接方式： 连接器，或导线联接及长度主要的应用领域： 硅片电阻率的测量。 晶圆的电阻率的4点测量。 外延、离子注入层的4点电阻测量。 金属薄膜和其他薄膜的4点电阻测量。
    供应商： 中山市新微细线电子有限公司
    品牌： Anasys
    价格： 面议
  • AFM探针/原子力探针/导电探针(DDESP-10)
    Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。 布鲁克AFM探针制造优势：*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。
    供应商： 北京亚科晨旭科技有限公司
    价格： 面议
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