(CD)临界尺寸校准标样
尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准,亦可用于校准AFM。使用高性能SEM或FIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.18mm硅片上含系列条纹,款式分两种:1、10-5-2-1-0.5um结构 标样的准确性和均一性:粒径10μm5μm2μm1μm0.5μm准确性0.20%0.22%0.35%0.56%0.78%均一性0.27%0.34%0.53%0.80%1.2% 货号产品描述包装无样品座618-5CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 无样品座个618-7CD结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 有证书, 无样品座个有样品座, 无认证: 618-5ACD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 A个618-5BCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 B个618-5CCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 C个618-5DCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 D个618-5ECD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 E个618-5FCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 F个618-5GCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 G, 自己提供样品座个618-5KCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 K个618-5LCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 L个618-5MCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 M个618-5OCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 O个618-5PCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 P个618-5QCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 Q个618-5RCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 R个有样品座, 由 German Physikalische Technische Bundesanstalt 认证618-7ACD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 A个618-7BCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 B个618-7CCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 C个618-7DCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 D个618-7ECD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 E个618-7FCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 F个618-7GCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 G, 自己提供样品座个618-7KCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 K个618-7LCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 L个618-7MCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 M个 618-7OCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 O个618-7PCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 P个618-7QCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 Q个618-7RCD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 R个 2、500-200-100nm结构标样的准确性和均一性:粒径500nm200nm100nm准确性0.30%0.55%0.50%均一性0.24%0.60%1.20% 货号产品描述包装618-4CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 无样品座个618-4ACD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 A个618-4BCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 B个618-4CCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 C个618-4DCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 D个618-4ECD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 E个618-4FCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 F个618-4GCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 G, 自己提供样品座个618-4KCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 K个618-4LCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 L个618-4MCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 M个618-4OCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 O个618-4PCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 P个618-4QCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 Q个618-4RCD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 R个