一、产品概述:智能型多功能椭偏仪是一种高精度的光学测量仪器,用于分析薄膜材料的光学特性和厚度。该仪器结合了椭偏技术和智能化控制系统,能够提供实时测量和数据分析,广泛应用于半导体、光电材料和表面科学等领域。Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µ m薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。二、设备用途/原理:设备用途智能型多功能椭偏仪主要用于测量薄膜的折射率、消光系数和厚度,适用于各种薄膜材料的研究,包括氧化物、氮化物和有机材料。它在半导体制造、光学涂层开发和材料表征等方面发挥着重要作用,帮助工程师和研究人员优化材料性能。工作原理 椭偏仪的工作原理基于光的偏振状态变化。当偏振光照射到样品表面时,反射光的偏振状态会发生变化,这种变化与材料的光学性质及薄膜厚度相关。智能型椭偏仪通过检测反射光的偏振状态,利用数学模型分析光学参数。通过智能化的软件系统,仪器能够自动进行测量、数据处理和结果分析,提高了测试的效率和准确性。三、主要技术指标:1. Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µ m薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)2. 光谱范围:450nm to 1000nm3. 光谱分辨率:优于3nm4. 光源:卤素灯和蓝光LED5. 测试时间:小于1到106. 光斑尺寸: 75µ m * 150µ m, 100µ m * 250µ m, 100µ m * 500µ m, 150µ m * 150µ m, 250µ m * 250µ m, 250µ m * 500µ m, 500µ m*500µ m7. 入射角:450 to 900 ,步径508. 样品尺寸:200mm以内9. 样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角 10. 空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.2011. 厚度准确性:0.04%12. 厚度重复性:±0.02%13. 可选附件: 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测 冷热台,液体样品池和电化学反应池 十字星自准直系统
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