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[b]特种气体工艺系统一般性要求 [color=#00b0f0] [/color][/b]一般工艺气体都是储存在钢瓶中,钢瓶作为气源相对方便使用。过去无论是在半导体生产车间,抑或是科研单位的实验室,钢瓶总是出现在需要的地方,而没有一个统一的规划布置。随着半导体行业的蓬勃发展,对其配套项目也提出了更高要求。比如在集中供气系统中一般要有专用装置储存钢瓶,在过去十多年中,盖斯帕克没有发明集中供气之前,特种气体供应没有形成有效的系统,钢瓶凌乱,管理混乱,不相容气体混放等问题比较严重,极大的影响到用气安全。彼时,随着半导体、微电子行业的发展壮大,特气系统的工艺要求也越来越规范,本文从宏观方面探讨整个系统设计初期需要注意的问题。特种气体工艺系统的硬件需求:储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格。气体分配用阀门箱、阀门盘。辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置。工艺气体的储存方式比较多样,有槽车、鱼雷管拖挂车、集装格、杜瓦罐、各类储罐等。实验室、科研单位、一般半导体生产厂用的特气多用钢瓶存储。特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特气工艺的参数、污染控制、使用安全的要求。不相容的特种气体的排气管道不应该接入同一排气系统。不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。
您好,请问从哪可以下载《特种设备目录》2022版,谢谢![align=center][img]https://xgzlyhd.samr.gov.cn/gjjly/img/fd-a-avator.png[/img][/align][b]回复部门: 特种设备安全监察局[/b][color=#999999][back=transparent]时间:2024-03-08[/back][/color]您好。您可以从国家市场监管总局特种设备局官网-通知公告-总局文函查找质检总局关于修订《特种设备目录》的公告(2014年第114号)下载。 下载链接:https://www.samr.gov.cn/tzsbj/tzgg/zjwh/art/2014/art_075b6c60ca144be7a425e80f20c17af3.html
[b]特种气体管路的材料选型[/b]特种气体管道输送系统一般会选择洁净管道。把需要超高洁净度级别的工艺生产线,放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式,叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的,高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。一般有几种抛光等级:AP:酸洗管MP: 机械研磨处理或称[url=https://www.baidu.com/s?wd=%E6%9C%BA%E6%A2%B0%E6%8A%9B%E5%85%89&tn=SE_PcZhidaonwhc_ngpagmjz&rsv_dl=gh_pc_zhidao]机械抛光[/url]BA:光亮固溶处理或称[url=https://www.baidu.com/s?wd=%E5%85%89%E4%BA%AE%E9%80%80%E7%81%AB&tn=SE_PcZhidaonwhc_ngpagmjz&rsv_dl=gh_pc_zhidao]光亮退火[/url]EP:电解研磨处理[b]材料选型:[/b]1. 特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管,内表面应进行洁净和钝化处理。2. 腐蚀性气体管道,宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管,内表面应进行洁净和钝化处理。3. 用于接触工艺气体(特种气体)的阀门的密封座,不宜使用塑料材质,必须使用时,应尽量减少塑料材质的使用量和表面接触面积,且材质应与气体性质匹配。4. 双层管的外层管道宜采用SS304AP管或SS304BA不锈钢管道,内层管道应按所输送特种气体的性质匹配。5. 特种气体系统的排气、尾气真空管道宜采用普通不锈钢管道,并应经过脱脂处理。6. 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材,并应进行脱脂处理。