位移高精量仪

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位移高精量仪相关的厂商

  • 长沙易道电子测量仪器有限公司成立于二0一0年十二月,位于长沙市天心区新韶东路318号天心创业大厦,主要致力于各种新型位移传感器、监控通信产品的研制、开发、生产销售,以及全系列压力传感器(气体、液体、拉伸、称重等)、GSM/CMDA/TD-SCDMA/WCDMA直放站、GSM/CMDA/TD-SCDMA/WCDMA手机伴侣的代理销售。其母公司长沙钛合电子设备有限公司是直属中南大学的传感器高新技术企业,现有教授级高工2人、博士生4人、硕士生7人、中级职称高工12人,核心员工数近30人,年销售额达500万以上。本公司拥有一批团结、务实、高效、具有很强开拓精神的领导集体,他们在对科技的理解和把握上,在市场开发、公司管理上,在产品研发、经营销售、公共关系等方面具有高超的知识和丰富的经验,他们的坚强领导确保了公司的长远发展。公司在持续研发的同时,与其合作伙伴致力于市场的开拓,目前,我们已经和国内多家有实力的公司建立了长期合作关系,为客户提供性价比很高的产品和优质的服务,其中GPRS监控通信平台已经在GSM/CMDA/TD-SCDMA/WCDMA直放站上配套投入使用,新型基于视觉测量的位移传感器正在研发末期并即将投放市场使用。我们将以严谨的办事作风、诚恳的工作态度、专业的技术支持及完善的售后服务立足市场,致力于开发与推广最先进实用的产品和技术,以更快捷、更高效的优质服务来感谢客户对我们的鼎力支持,为中国传感、测控、通信事业的发展尽一份绵薄之力。
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  • 上海纳动纳米位移技术有限公司是专业从事纳米定位、测控技术、运动控制产品的研发制造与产业化的高新技术企业。公司坐落于我国社会经济和科学技术发展最具活力的地区之一 ——上海市国家级漕河泾高科技园区。我们的开发人员拥有数字和模拟电子技术,空间研究,机械工程和纳米技术等相关专业知识的工程师。产品应用包括硬盘驱动器的磁头测试,半导体制造的光刻和计量仪器,扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),以及大量的航空航天等空间应用,半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化、MEMS等领域。广泛应用和服务于国内各高校、科研院所以及各类生产光学显微镜、激光设备、半导体IC装备、检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工机床等的装备制造商。公司一直坚定地参与前沿技术的研究和发展。这些年来我们一直提供领先的、具有成本效益的纳米定位和运动控制的位置传感技术。我们专注于关键的OEM应用的定制解决方案开发。我公司以最低的成本在最短的时间,提供最佳的解决方案,我们提供快速、全面的服务和支持,并始终如一地达到最佳的性价比。我们的方案已完美解决各合作公司的挑战性任务及科研难题,我们期待与您共同合作与进步,遨游科技的海洋。我们的目标:用我们高质量和高性能的技术,提供超性价比的产品和服务,实现价格最优惠。公司本着“正直,进取,合作,创新”的精神,努力把公司打造成为我国重要的纳米定位与运动控制的研发和产业化基地。
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  • 昆山艾弗特计量仪器有限公司经销批发的三次元、影像仪、2.5D、高度仪、卡尺、千分尺、百分表、千分表、粗糙度仪、扭力扳手畅销消费者市场,在消费者当中享有较高的地位,公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。昆山艾弗特计量仪器有限公司经销的量具量仪品种齐全、价格合理。昆山艾弗特计量仪器有限公司实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以多品种经营特色和薄利多销的原则,赢得了广大客户的信任。昆山艾弗特计量仪器有限公司被中国航天科技集团公司第一计量测试研究所授权为江浙沪地区唯一的业务合作单位。承接...
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位移高精量仪相关的仪器

  • 仪器简介:卓立汉光新开发出的高承载电动角位移台,适合于高负载情况下使用,高承载电动角位台最大承重可达50Kg以上,角度范围±15°.欢迎来电垂询!技术参数:型 号 PSAG15-250 PSAG15-370 角度范围(°) ±15 ±15 台面尺寸(mm) 280×250 340×250 轴心高(mm) 250 370 导轨 弧形导轨 传动比 610:1 870:1 8细分下分辨率(°) 0.00018 0.00013 步进电机(步距角°) 57(1.8) 工作电流(A) 2.4 中心负载(kg) 50主要特点:卓立汉光新开发出的高承载电动角位移台,适合于高负载情况下使用,高承载电动角位台最大承重可达50Kg以上,角度范围±15°.欢迎来电垂询!
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  • 微型精密电动位移台MD系列MD系列小尺寸精密电动位移台采用高精密交叉滚柱导轨配合小导程进口C5 或C3 级滚珠丝杠直联两项步进电机,具有更高的分辨率和定位精度以及更紧凑的外形。其电机内部集成编码器,让MD 系列产品形成闭环系统,在分辨率和定位精度得到了保证。本系列产品主体材料均采用优质铝合金,通过卓立特有的精密磨削技术及加工中心一次定位铣削工艺保证产品零件的尺寸和形位公差。整体装配采用激光干涉仪和三坐标测量仪实时跟踪,保证最终产品组装精度及运动定位精度。产品注重尺寸小巧,节省空间。MD系列微型精密电动位移台产品特点: 结构小巧、精度高采用小导程滚珠丝杠,适合微步移动采用日本进口2mm交叉滚柱导轨,实现超高直线运动性能采用丝杠直连式一体化电机驱动,免去联轴器引起的丢步,实现高运动精度。MD系列微型精密电动位移台选型表: 型号MDP13-40MDP25-65MDT13-40MDT25-65行程范围(mm)±6.5±12.5±6.5±12.5台面尺寸(mm)40X4065X6540X4065X65主体材料及表面处理铝合金,黑色阳极氧化处理导轨交叉滚柱导轨滚珠丝杠直径Φ6mm X导程1mm分辨率(μm/脉冲)Step:2 Half:1Step:5 Half:2.5最大速度(mm/sec)10定位精度(μm)1030重复定位精度(μm)13回程间隙(μm)26静态平行度(μm)30405080运动平行度(μm)15202530俯仰/偏摆 (″)25/2520/2030/3025/25最大静扭矩(Nm)16mN.m80mN.m中心负载(Kg)3535自重(Kg)0.40.60.50.8限位传感器2个原点传感器1个表面处理阳极氧化(符合RoHS)
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  • 1. 英国IMETRUM公司英国Imetrum公司,2003年从英国布里斯托大学分出,成立独立的公司。公司15年致力于非接触式视频精确测量领域的研究和开发工作,使其成为这一领域的佼佼者。非接触式应变位移视频测量仪于2007年投入市场,以其非接触式、实时监测和高精度等优势,很快被广泛应用于各大院校、科学研究所和企事业单位,在国防和军工单位也有大量的客户。比如:NPL(英国国家物理实验室)AWE(英国原子武器研究所)MBDA(欧洲导弹集团)Airbus(欧洲空中客车公司)Rolls Royce(劳斯莱斯)ThyssenKrupp(蒂森克虏伯)2. 工作原理采用高分辨数字工业摄像机,并选用合适的镜头,视频测量仪器可以对小到1mm、大到超过100m的被测物进行测量。此仪器采用亚像素技术。亚像素技术,是一种图像计算方法,一般情况下,图像的最小单位是像素,即是说,图像是有一系列的像素点组成。但是,利用这种亚像素技术,可以将一个像素再进行细分,认为一个像素是有多个亚像素组成。比如:通过一种计算方法,可以把一个像素细分成10个亚像素,这样的话,可以识别的最小单位由原来的一个像素,变成1/10个像素,那么测量精度也就提高了10倍。此仪器在测量小试样的时候,可分辨1/500个像素。视频测量仪器利用英国Imetrum公司专利的图像计算方法,利用亚像素技术,可精确测量摄像机图像上目标点的位置。不需要设定专门的目标点。比如以下特征点都可以用做测量的目标点。l 自然的纹理(比如:建筑物的表面特征)l 标记笔做的标记l 喷漆产生的斑点在Imetrum视频分析软件中,用户可以任意指定一系列的目标点,系统将准确跟踪视频中这些目标点的位置,从而达到测量应变和位移的目的。3. 使用意义3.1 功能准确跟踪视频中指定的目标点的位置,一个目标点相当于一个位移传感器,两个目标点相当于一个应变传感器。2 可实时精确测量二维参数:• 位移 应变• 距离 角位移• 速度 加速度• 泊松比• 应力/应变曲线、模数(需要另外提供载荷信号)2 可实时测量多个目标点,目标点的最大数量取决于所用计算机的性能。2 可同步测量多个参数;比如:同时测量位移、变形、泊松比等等。2 可拍摄实验过程,后期对录像进行再分析。3.2 优点(与传统接触式传感器相比)非接触式应变位移测量仪与传统的传感器相比,在保证测量精度高(应变精度5个微应变,位移精度0.05微米)的情况下,可以进行: 非接触式测量 动态实时测量 同步多点测量 同步测量多个参数 此仪器可以解决接触式传感器普遍遇到的一些问题。比如:小试样、大变形、表面光滑等等。具体区别见下表: 非接触式应变位移测量仪传统传感器(如:引伸计、应变片等)性能可能遇到的问题工作方式非接触式接触式打滑(特别是在疲劳试验时)无法固定在试样上试样断裂可能损坏传感器测量对象所有材质的试样;试样尺寸范围广常规尺寸的材料特殊材料无法测量小试样无法测量大试样需要贴大量应变片测量量程任意设定标距:从几个毫米,到几米均可容易超出量程测量环境宽泛:高温、潮湿、高速等常规条件测量方向平面内任意方向多点同时测量单一方向测量不同方向需要更多的应变片可测参数位移、应变、泊松比等等一种传感器实现一种功能 非接触式应变位移测量仪,可以解决接触式传感器存在的以上问题。4. 用途及测量案例非接触式应变位移测量仪可以动态实时测量应变、位移、泊松比等等。广泛应用于:材料测试领域、结构检测领域、组合件测量领域。4.1 材料测试领域4.1.1 测量精度(材料力学测试)在材料领域里,主要是用于测量小试样的变形。广泛应用于各种力学试验机上,作为一种非接触式的多点式引伸计进行使用。这时采用材料测试专用镜头,非接触式应变位移测量仪的测量精度为: 应变:5个微应变位移:0.05微米测量误差:在拉伸机上,测量铝制试样的变形。 与传统的应变片相比,误差在0.5%。同时测量了泊松比为0.33, 铝的标准值。具有英国皇家认可委员会认证书。 4.1.2 应用领域l 各种材料的力学测试(可与试验机相连)。比如:金属、塑料、橡胶、复合材料、高分子材料、混凝土、皮革、光纤、薄膜、木材、岩土、生物材料等等l 可调整标距l 可实现测量信号的反馈控制比如:与疲劳试验机相连,实现应变信号的反馈控制。l 特殊条件下的测量:高温测量:800度以上时,可能需要滤光片 高速冲击、高频振动:需要高速摄像机 损伤和破坏性实验: 疲劳试验、测泊松比、裂纹的繁衍 等等4.1.3与各种试验机结合使用非接触式应变位移测量仪能够与试验机结合使用,可测量:应力-应变曲线 弹性模量 泊松比等等。 视频测量仪利用一个数字/模拟输入/输出模块,可以将测量数据以数字或者模拟信号的方式实时输出,以供其它设备使用。从而能够与大多数力学实验机结合使用 4.1.4 材料力学测试案例(1)小尺寸试样 优势:• 标距可调;标距可以小于1毫米。因此可以测量小尺寸试样。• 非接触式;因为采用非接触的方式进行测量,所以,安装方便,并且不会在被测物上附加任何重量,可以测量柔软的材料。 (2)压缩试验优势:n 这种材料很难使用引伸计或者应变片进行测量。n 视频测量仪可以同时测量多个部位的应变。如上图,测量4个部位的变形。 (3)疲劳试验 优势:2 视频测量仪不会出现打滑现象;传统的引伸计容易出现打滑2 视频测量仪可长时间的工作;传统的应变片无法长时间工作2 视频测量仪可实现测量信号的反馈控制。(4)高温试验测量高温试验,需要在加热炉上开观察窗,视频测量仪通过观察窗进行测量。说明:从上图中可以看到,在1000度的情况下,视频测量仪仍然可以捕捉到清晰的图像,即,视频测量仪可以完成测量工作。 (5)断裂、高速冲击力学测量非接触式应变位移测量仪与高速摄像机相结合,可用于研究断裂瞬间试样变形、高速冲击碰撞瞬间变形。非接触式视频测量仪的分析软件,可以对高速摄像机拍摄的非压缩avi格式的视频进行测量,可很容易得到实验过程中的应变和位移。下图6显示的数据来自于一个碳纤维布料在大约每秒400%的变形速度下的测试实验。此实验利用25000帧/秒的高速摄像机采集图像。 图6 与高速摄像机结合,测量变形说明:目前,测量瞬态力学是一个难题,因为需要超高的采集频率。普通的采集设备很难达到这么高的采集频率。视频测量仪为您提供了一种新的测量方法。 (6)混凝土材料 说明:上图中红色框即为被测点,同时测量7个点,可以测量每个点的水平和垂直方向的位移。说明:利用视频测量测量两个被测点(上图中两个红色框)的应变。 说明:动态测量图中4个被测点的位移。 (7)微观力学测试非接触式视频测量仪与显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、扫描探针显微镜(SPM)相结合,可以实现纳米测量。通过采集这类显微镜下的图像,结合视频分析软件,可以对这些微观图像进行测量分析。从而达到测量变形的目的。4.2 结构监测 利用非接触式应变位移测量仪,可以测量几米甚至上百米的结构件的变形和位移。具有一下优势: 非接触式 测量精度高 多角度多点同步动态测量 可同时连接8台摄像机,即可同时对8个面进行测量。4.2.1 功能:l 24小时监测可以实现测量数据的长距离光纤传输或者无线传输。l 不定期监测可保证每次测量数据的连贯性。4.2.2监测参数:l 动态挠度l 位移、应变l 速度、加速度、弯曲度 4.2.3测量精度(大型结构监测)非接触式应变位移测量仪的测量精度和摄像机采集的视场大小有关,位移分辨率为视场大小的十万分之一,最高可达到二十万分之一。比如:采用焦距为50mm的镜头(镜头可根据实际需求,进行调配),则测量精度为:物距/米(摄像机到被测物距离)位移测量精度(毫米)1m0.0012mm10m0.012mm100m0.12mm1000m1.2mm 4.2.4应用领域举例:l 风洞试验 振动台l 桥梁、建筑、钢结构、井架l 航空航天l 堤坝、烟囱、电站4.2.5结构监测案例(1)风洞试验在航空航天领域、土木结构领域,需要研究空气动力学、建筑桥梁抗风性能,这些都需要做风洞试验,以便在模拟的气流条件下,测量飞行器的飞行能力;或者建筑、桥梁等的抗风能力。为了减轻对风洞中气流的影响,采用非接触式的测量仪是最好的选择。非接触式应变位移测量仪可以在风洞外,透过透明的玻璃,对风洞内的被测物进行测量。采用多个摄像机,可实现多角度,多点同步测量。 (2)震动台 (3)钢结构、建筑、桥梁在测量钢结构、桥梁、建筑的时候,无需在被测物体上做标记点,因为这些大型结构表面的天然纹理就可以当做标记点。 测量距离:目测在1公里以上。 测量过程:塔吊所吊重物的下降过程,即被测点4的下降过程。利用视频测量仪可以非常方便的测量桥梁上各个点的动态挠度。4.2.6优势(a) 安装省时、简单(安装少于30分钟)非接触式应变位移测量仪是属于便携式测量仪,非常方便携带及安装。 (b) 同步测量上百个点目前,市场上有其它类型的非接触式的测量仪,但是,能够同时测量多个被测点的测量仪却非常少。 (c) 可测量X、Y两个方向上的参数视频测量仪可以测量二维平面上任何方向上的参数。 (d) 无需做标记点此仪器采用图像散斑识别技术跟踪被测点,在进行结构监测时,一般被测物表面存在灰度不均匀的纹理,这些天然的纹理就可以作为被测目标点,而无需再贴任何标记。当然,也可以贴标记点作为被测点。 (e) 测量精度高被测距离100米的时候,测量精度可达到0.12毫米。 (f) 测量数据处理简单非接触式应变位移测量仪测量得到的结果,可以以文本格式存储,可利用Excel、Original等软件进行作图或处理。 (g)可对拍摄的录像,进行后续处理,使您能够对被测物进行更为详细的分析。5. 技术指标5.1. 设备工作环境电源:交流电220V 50Hz操作系统:Windows2000/XP5.2. 工作方式非接触式5.3. 测量精度测量位移和应变的精度取决于:摄像机的有效像素和视场的大小。• 大型结构测试的分辨率(采用高分辨镜头):1/100至1/200个像素 位移分辨率:10微米(以1米的视场为例) 应变分辨率:20个微应变• 材料测试的分辨率(用特制的材料测试专用镜头,25mm的视场):1/500个像素 位移分辨率:0.05微米 应变分辨率:5个微应变5.4. 测量准确性仪器测量的准确性分为位移和应变两个方面。1.位移的准确性在测量位移方面,视频测量仪器与一个已校准的千分表相对比,两个设备的测量结果误差在1%。此实验有空客公司独立操作。2.应变的准确性在测量应变方面,视频测量仪器与一个已校准的应变片相对比,两个设备的测量结果误差在0.5%。5.5. 采样频率设备的采样频率取决于摄像机的拍摄频率,可根据实际需求进行调整。标准配置设备的采样频率为15Hz。5.6. 测量数据处理- 测量结果可以通过数模转换模块,与拉伸机相连。- 可以文本方式记录测试结果,便宜导入Excel,进行分析。- 可以以数据曲线的方式,实时显示测量结果。- 测量结果,数据简单,部分参数的测量,无需进行标定。5.7. 可扩展性- 系统支持8个视频通道的输入,即可同时连接8台摄像机。- 支持的摄像机端口:USB2.0以上接口或者Fireware接口5.8. 与其他设备结合使用USB数字&模拟 输入&输出模块:利用此模块,可以将外部其他设备的测量信号输入进来,也可以将此设备的测量结果以数字或者模拟信号的方式,输出给其他设备,以供外部设备使用。利用此模块可以与拉伸机或MTS机结合使用。5.9. 软件分析功能(a)实时动态分析实时同步测量多个参数。比如:同步测量不同点的位移和应变。(b)后处理功能利用设备的分析软件,可以对任何非压缩式AVI格式的视频文件,进行分析处理。6. 主要设备的技术参数整套设备包括:• 英国Imetrum视频分析软件• 视频采集部分• 其他配件 以下是主要设备的技术参数:1) 专用CCD部件性能指标:- 成像设备:1/2’’黑白 逐行扫描 CCD- 有效成像:1280×960像素- 像素尺寸:4.65mm×4.65mm像素大小- 帧率:每秒钟15,7.5,3.75,或者1.875帧。- 曝光时间:快门速度1/10000s到17.5s- 触发输入:TTL,10ms脉冲时间- 1394a Fireware接口连接电脑 2) 镜头整套设备将配备高分辨镜头和材料测试专用镜头。高分辨镜头:主要应用于测试大型结构或者组合件。高分辨镜头焦距 (mm)最小物距 (mm)最大物距 (mm)最小物距1m物距视场 (mm)位移分辨率 (μm)应变分辨率 (με)测量长度(mm)视场 (mm)位移分辨率 (μm)应变分辨率 (με)测量长度 (mm)25148.3∞35.30.35209-262382.42060-17950191.8∞22.80.23206-171191.22030-89材料测试专用镜头:专门应用于材料实验,它比高分辨镜头提供更高的分辨率和测量精度。材料测试专用镜头物距 (mm)视场(mm)最小测量长度 (mm)最大测量长度 (mm)最大异面距离 (mm)应变分辨率 (με)5432561955 3) USB数字&模拟 输入&输出此设备提供数字和模拟信号的输入和输出模拟输入:通道:16单/8双分辨率:16位电压范围:+/-0.2V到+/-10V模拟输出:通道:2 分辨率:16位 电压范围:+/-10V数字输入:通道:4 逻辑电平:TTL数字输出:通道:4 逻辑电平:TTL
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位移高精量仪相关的资讯

  • 《高绝缘电阻测量仪(高阻计)》国家校准规范顺利通过审定
    近日,全国电磁计量技术委员会在广西壮族自治区南宁市召开了全国电磁计量技术委员会年会暨国家计量技术规范审定会,来自计量、仪器仪表、电力等行业86个单位的代表200人参加了会议。北京市计量检测科学研究院电磁所张磊、谷扬和王跃佟三位同志参加了此次会议。会上,由北京市计量院作为主起草单位编制的《高绝缘电阻测量仪(高阻计)》国家校准规范顺利通过审定。   由北京计量院作为主起草单位编制的《高绝缘电阻测量仪(高阻计)》国家校准规范,经过起草组成员一年多的认真筹备,多方听取专家意见,顺利通过了专家审定。专家一致认为,起草组广泛征集了全国各个地区高阻计校准工作中存在的问题,特别是针对不同温湿度条件下进行了大量的实验工作,进行归纳汇总后,制定出适用于全国范围内的高绝缘电阻测量仪(高阻计)校准规范。经过与会专家的充分讨论,对高阻计校准规范的编制工作给予了充分肯定,全票通过审定。   电磁所张磊同志作为电磁委员会委员,全程参与了七项计量技术规范审议工作,认真听取规范起草人的报告,对规范报审稿进行了逐条审查,并且提出了宝贵意见。   《高绝缘电阻测量仪(高阻计)》修订工作,结合了全国各个地区的实际使用和工作情况,规范了高阻计的校准项目和方法,澄清了原来检定过程中存在的一些模糊问题,使生产者、试验者有统一的规范可依。会议之余,北京市计量院同志和同行进行专业上交流,了解更多行业动态,为北京市计量院电磁计量工作的发展起到良好推动作用。
  • 超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
    超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1,2,付海金 1,2,胡鹏程 1,2*,杨睿韬 1,2,邢旭 1,2,于亮 1,2,常笛 1,2,谭久彬 1,2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080; 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10,位移分辨力为 0. 077 nm,光学非线性误差最低为 13 pm,最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量(DMLI)技术是一种以激光 波长为标尺,通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点,DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪,已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例,其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪,来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求,目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米,并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级;而位移测量速度需求,则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言,影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求,以美国 Keysight 公司(原 Agilent 公司)和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构,长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破, 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而, 一方面,上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单,不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求;另一方面,上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求, 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉 仪,可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段,而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性,本课题组围绕这 3 个核心指标(特别是光学非线性)设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入,具备抗环境干扰能力强的优点,是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径,并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于,通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性,并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统,保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性[19- 20]。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组(图 11) 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″,与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上, 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠,优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年,本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构[2,21],具体结构如图 12 所示,测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源,建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法,改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组[2-3],并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K[22- 25]。同时,本课题组也采用多光纤高精度平行分光,突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光,致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题,保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 (图 17),其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 (k=3),位移分辨力为 0. 077 nm,最低光学非线性误差为 13 pm,最大测量速度为 5. 37 m/s(表 2)。并成功应用于上海微电子装备(集团)股份有限公司 (SMEE)、中国计量科学研究院(NIM)、德国联邦物理技术研究院(PTB)等十余家单位 ,在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。(a)20轴以上超精密高速激光干涉仪;(b)单轴亚纳米级激光干涉仪;(c)三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量, 不仅考验仪器的研制水平,更考验仪器的应用水 平,如复杂系统中的多轴同步测量,亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理,高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制:多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面,多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是,一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运;另一方面该类仪器技术复杂、难度极大,我国一直未能完整掌握,这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,典型应用如图 18 所示,其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求,打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁,在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中,干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上,最大测量速度可达 5. 37 m/s,激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10(k=3),位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm,光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴(3~5 mK@ 10 min)和隔振环境,可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦,以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求,进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制:亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面,如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义,被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中,关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量,其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此,本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪,并成功应用于我国首套量子化质量基准装置(图 19),在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用,并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一[30- 32]。为达到亚纳米级测量精度,除了精密的隔振与温控环境以外,该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响, 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外,为了实现对被测对象的姿态监测,该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来,随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展,光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此,本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展,下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面: 1)围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中,其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升,将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度,对激光干涉仪的研发提出严峻挑战;极紫外光刻机采用真空工作环境,可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差,同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2)皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年, 国家自然科学基金委员会(NSFC)联合德国科学基 金会(DFG)共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”(2021 至 2023 年)。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院(PTB)合作完成,预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪,并进行国际范围内的直接 比对。3)空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后,各国纷纷开展了空间引力波探测计划,这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中,中国的空间引力波探测计划,将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上,实现皮米精度的超精密测量,本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下,将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究,特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作,预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础,建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队,并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持,建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台,开发了系列超精密激光干涉测量仪,在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用,推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展,并将通过进一步研发,为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见:超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf
  • 物美价廉:安东帕SNAP50便携式酒精测量仪全新发布
    亲爱的客户,您是否也需要在生产过程中持续关注酒精含量?从选择原材料到灌装为成品。您是否也在期待一款能在生产现场直接从储酒罐或是酒桶检测酒精含量的产品?毫无疑问,这种检测必须既简单又快速,而且,足够精确! 便携式酒精测量仪SNAP 50,唯一的答案 奥地利安东帕公司全新推出便携式酒精测量仪SNAP 50,它小巧轻便、操作简单,而精度高达0.1%v/v,可以轻松地在现场完成测试,并能立即读取或是储存测量数据。注意:它完全不受环境温度的影响,其内置的温度补偿功能可以轻易的消除温度变化的影响,无需额外的计算。 快速现场检测,就这么简单 您可以直接从储酒罐或是酒桶中测量,而不必先将样品导入烧杯中。Snap50能够在极短的时间内快速显示样品的酒精含量。他能保存高达1024个数据,包括测量时间、样品ID等信息。Snap50可以适用于多种工业领域的应用。 怎么实现的?事实胜于雄辩 为什么测量如此快速为什么您不再需要文本工具?为什么环境温度没有影响?如何达到如此高的测量精度?您可以在我们的网站上找到这些问题的答案,或是与我们的专家咨询联系。在酒精检测领域,有技术问题,当然要找安东帕。 安东帕SNAP50便携式酒精分析仪详细技术参数:http://www.anton-paar.com/cn-cn/products/details/alcolyzer-spirits-mme-alcohol-analysis-system-1/alcohol-meter/

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  • 生物医疗设备涂层应用-Filmetrics 膜厚测量仪
    Filmetrics 膜厚测量仪的卓越技术,Filmetrics膜厚测量仪提供了范围广泛的测量生物医疗涂层的方案。支架: 支架上很小的涂层区域通常需要显微镜类的仪器。 我们的 F40膜厚测量仪 在几十个实验室内得到使用,测量钝化和/或药物输送涂层。我们有独特的测量系统对整個支架表面的自動厚度测绘,只需在测量时旋轉支架。植入件: 在测量植入器件的涂层时,不规则的表面形状通常是唯一挑战。 Filmetrics 提供这一用途的全系列探头。导丝和导引针: 和支架一样,这些器械常常可以用象 F40 这样的显微镜仪器。 用 F42 可以进行显微区域内厚度的两维测绘。导液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可见光谱不透明性决定了 F20-NIR 是这一用途方面全世界众多实验室内最受欢迎的仪器。
  • 顶空气相色谱法分析血液中酒精含量仪器成套方案
    顶空气相色谱法分析血液中酒精含量仪器成套方案 顶空GC定量分析的最早应用就是1964年报道的测定血液中乙醇浓度,经多次改进后,这个方法已经被世界各国所普遍采用,主要用来测试酒兵种驾车司机血液中乙醇、甲醇、正丙醇的浓度。
  • 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测
    苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体,次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性,发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。本实验利用attocube皮米精度激光干涉仪IDS3010成功实现声子四拓扑缘体的次观测。IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪体积小、测量精度高,分辨率高达1 pm,适合集成到工业应用与同步辐射应用中,包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。

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  • 非接触式应变位移视频测量仪

    求助各位朋友,有谁知道以下这个设备是那个生产厂家的,请加我,谢谢非接触式应变位移视频测量仪:一、性能要求1. 非接触式应变位移视频测量分析软件,用于处理摄像机视频图像信息,测量全场应变位移;2. 控制软件配置开放接口,可加配红外热像仪控制节点;3. ★所有测试数据,能够与MTS共享。二、技术参数1. 可测量参数:包括应变、位移、泊松比、拉伸/压缩模量、应力-应变曲线等。2. 仪器专用CCD摄像,象素≥1380x1024,15fps,1394b。3. 专用镜头(6-19mm标距,70mm物距)4. 结构监测镜头焦距50mm,25mm5. 测量间距:不小于500mm6. 标距可调:最小不大于5mm,最大不小于150mm7. 视频扫描频率:不小于100次/秒。8. ★测量位移分辨率:不大于0.05微米(可用MTS检测);9. ★应变分辨率:不小于5个微应变(可用MTS检测)10. 提供数字和模拟信号的输入和输出。模拟输入: 16单/8双通道;分辨率:16位;电压范围:+/-0.2V到+/-10V 模拟输出:通道:2 ;分辨率:16位电压范围:+/-10V 数字输入:通道:4 ;数字输出:通道:4 三、仪器配置1. ★一体化视频测量仪(含主机、摄像机及镜头、视频光源);2. 笔记本电脑: 13’屏;CPU i5;硬盘500G ;内存4G;独显2G;配三脚架。

  • 【分享】非接触式应变位移视频测量仪

    非接触式应变位移视频测量仪在材料力学性能测试领域,对于一些特殊的实验,测量被测物体的变形和位移非常困难。比如: 测量断裂伸长(断裂会破坏传感器) 测量压缩模量 测量疲劳实验(引伸计可能会打滑,或者应变片自身会疲劳)采用非接触式的视频测量仪或许可以解决您的问题。技术参数:1. 测量精度:位移分辨率:0.05微米应变分辨率:5个微应变2.测量参数:应变、位移、泊松比、拉伸/压缩模量、应力-应变曲线等等3.标距可调:可以测量柔软、细小的材料

  • 一个“身份证” 计量仪器将实行唯一识别代码

    [align=left] 计量仪器仪就像是一把尺子,衡量着世间万物的尺度。小到我们家庭中用到的压力表、温度计、电流表,大到一些精密的测量分析仪器,都属于计量仪器仪表。[/align][align=left] 作为制造行业的重要组成部分,计量仪器仪表一直都在不断地向前发展。比如说,从以往的机械式水电表到现在的智能水电表,都展现了仪器仪表发展的向前性。如今,随着物联网和大数据技术等新一轮技术的不断发展,仪器仪表行业也将迎来进一步的改变。[/align][align=left] 在11月25日召开的中国物联网计量创新发展论坛上,山东计量测试学会副理事长荆书典研究员首次将“计量”与物联网结合,提出了计量仪器仪表实行唯一性代码的方案。[/align][align=left] 在过去,一个计量仪器仪表会产生多个代码编号。制造企业在计量仪器仪表出厂时会编制了一个出厂编号 到了使用单位时,为管理方便,使用单位又会对该计量器具给予一个设备编号 而到了第三方检定机构时,鉴定机构又会对计量器具发放一个另外编号的检定证书。生产、流通、检定、维修各个环节都是各自为营,自行管理,信息难以打通,无法满足物联网发展的需要。[/align][align=left] 面对“智能”和大数据两方面发展的趋势,通过计量器具识别编码管理平台,来实行计量仪器仪表的唯一性识别代码的需求也就越强烈。计量器具识别编码管理平台是一种简单的以二维码和电子标签为载体的平台,可以给计量仪器仪表唯一的一个“身份证”,建立起一套计量器具生产、使用、检定和监管单位信息互联互通和数据共享的服务系统,打破信息壁垒。[/align][align=left] 对于生产企业来说,唯一性识别代码的实现有利于计量仪器仪表在生产、使用、检定、维修、报废等全生命周期的信息共享和溯源,有效地进行管理,为产品的生产做能效分析,更好地发现问题。[/align][align=left] 在论坛上,荆书典研究员提到,工作人员通过计量器具识别编码管理及能源管控中心平台对一家电厂的能效进行分析,发现该电厂是热电偶比正常的工作温度低了10摄氏度,才导致发电效率变慢。在查到问题后,该电厂有效的进行了能效管控,每年增收了500多万元。[/align][align=left] 另一方面,计量仪器仪表在准确地测量、保障设备安全运行的同时,也需要对计量仪器仪表自身进行监测和能量平衡分析,才能不断进行优化控制和优化管理。[/align][align=left] 通过唯一识别代码的实行,可以让用户对计量仪器仪表的状况有更多的了解,管理和检修也会变得更加方便。当出现问题时,用户可以通过计量仪器仪表的“身份证”,直接查到仪器仪表的来源,找到第一责任人,增加了计量器具的安全性,让生产制造商更注重自己的生产质量。[/align][align=left] 除了对供需主体两方面提供很大的便利之外,统一性代码还可以提高仪器仪表在流通中的生产效率,降低了成本。这也这符合物联网的发展趋势,实现对每一台计量仪器仪表进行监控,推进智慧城市的建设。[/align][align=left] 据了解,规定仪器仪表唯一识别代码的GB/T 36377-2018《计量器具识别编码》已经通过了审核,并将于2019年1月正式实施。除此之外,计量器具识别编码管理及能源管控中心平台已经在国内20多个省市的数千家企业落了地,为能源管理、节能量交易、碳交易和大数据建设作出了重要贡献,同时也为之后工作的开展提供了宝贵的经验。[/align][align=left] 不过需要注意的是,面对我国目前数目种类繁多的仪器仪表,统一性识别代码还需要很长的时间才能完全落实,此外,如何安全有效的实现计量仪器仪表在流通过程中的信息共享,也是一项非常值得关注的问题。[/align][align=left] 科技变化日新月异。随着无线技术的发展,水表的无线远传、电表的智能抄表等都已经成为了现实,如今,随着智能化和大数据的发展,计量仪器仪表行业很可能迎来另一次重要的变化。对于计量仪器仪表企业来说,千万不能故步自封,更是要紧跟历史潮流,不断进行创新。[/align]

位移高精量仪相关的耗材

  • XH-2010高灵敏环境级χ 、γ 测量仪
    XH-2010高灵敏环境级χ、γ测量仪,简介,办事处,操作说明书,规格,现货:销售热线:15300030867,13718811058,张经理,欢迎您的来电咨询! XH-2010高灵敏环境级χ、γ测量仪采用大体积(NaI)闪烁晶体,配用高灵敏光电倍增管,对χ、γ射线具有极高的探测灵敏度,仪器能量响应宽、能量探测下限低,具有宇宙射线反符合功能,可用于专门测量人工放射性。仪器具有数据存储功能、数据传输功能。特别适用于环保部对环境中放射性微小变化的测定及卫生疾控部门用于评估χ光机开机时对周围环境的影响。XH-2010高灵敏环境级χ、γ测量仪,简介,办事处,操作说明书,特点 1、大体积闪烁晶体,配用高灵敏光电倍增管,确保仪器量程下限达1nSv/h(0.001μSv/h)。2、采用薄壁晶体,使仪器的能量响应下限可达25Kev。3、大屏幕液晶显示,自动量程转换,自动报警,自动背光。4、可存储100组测量数据,并具有数据下载功能。5、仪器配备铝合金手提箱,方便携带。XH-2010高灵敏环境级χ、γ测量仪,简介,办事处,操作说明书,性能指标测量范围:剂量率: 1n Sv/h~150μSv/h 累计剂量:0.01~108μSv/h相对固有误差: ±10%稳定性:连续工作8h误差≤7%角响应:0~90° 灵 敏 度:1μSv/h ≥1000 Cps能量响应:25Kev ~ 7Mev ±15%报 警:声音报警报警阈:0.1~150μSv/h,测量范围内连续可调。背 光:仪器有背光灯,方便在较暗环境中读数。数据下载:可通过专用软件下载数据。供 电:充电电池供电,可连续工作24h。工作环境:环境温度:-20℃~50℃环境湿度:≤ 90%(40±2℃)重 量:1.2kg(含电池)
  • XH-2030型高灵敏χ 、γ 剂量仪
    XH-2030型高灵敏χ、γ剂量仪,特点,说明书,现货,特价,总代理,北京,代理处,操作步骤,规格:销售热线:15300030867,13718811058,张经理,欢迎您的来电咨询!1、能量阈约30Kev。2、字符点阵式液晶显示,中文菜单提示,操作方便。3、同时显示剂量率、累计剂量,冷冻模式显示峰值剂量率。4、峰值测量响应时间达30ms,可用于瞬时放射性场的测量。5、可存贮100组剂量率值和剂量值。6、剂量率声频与活度成正比。7、采用锂充电电池,连续开机时间不小于48h。8、欠压报警:电池电压不足时,有中文“请充电”提示,并可自动关机。XH-2030型高灵敏χ、γ剂量仪,特点,说明书,现货,特价,总代理,北京,代理处,操作步骤,规格,技术指标1、探测器:75×75mm,塑料闪烁晶体2、灵敏度: 1μSv/h≥ 1500cps 分辨率:0.001μSv/h3、相对固有误差:±10%4、非线性:5、能量响应:35Kev~3Mev≤±30%6、测量范围:剂量率: 0.01~100μSv/h 累计剂量:0.001~9999μSv7、读数重复性:8、读数显示:五位数字以μSv/h、μGy/h、Cps为单位给出测量结果9、报警阈连续可调:剂量率:0.01~100μSv/h,累计剂量:0.001~9999μSv10、测量时间:每秒测量,最长响应时间3s。11、使用环境:温度 -10℃~+50℃,相对湿度(在+40℃温度下)90%12、重量:1.5kg(含电池)
  • 共焦位移传感器
    共焦位移传感器是一种高精度共焦位置传感器,应用于高精位置传感和测量,共焦位移传感器外径仅为4mm,是不锈钢表壳,应用于窄腔或钻孔内。共焦位移传感器规格测量范围(mm): 0.4 | 1.5 | 2.5 | 3.5 | 6.5最大线性 0.3μm最高分辨率 0.016μm独特的微型传感器孔内测量设计稳固轴向或径向版本
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