精密温度传感器

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

2023年7月，宁波柯力传感科技股份有限公司（“柯力传感”）与深圳点联传感科技有限公司（“点联传感”）正式签署协议，完成天使轮投资。柯力传感是此次点联传感天使轮融资的领投方。 　　深圳点联传感科技有限公司正式成立于2022年，是由多名清华大学博士领衔的高层次人才硬核团队，精密仪器专业出身，专注传感检测研究15年。 　　点联传感在精密光学系统、高速硬件电路以及综合检测算法方面有深厚的研究基础，依托底层高速高精度CMOS激光测量传感器技术框架，逐步拓展对射式、反射式以及同轴共聚焦的产品矩阵，实现对工业品形位尺寸的精密检测与定位，提高生产效率与性能。未来，点联传感将在产学研基础上，进一步构建名校传感器成果转化平台，立志解决中国工控及其他领域中高端传感器卡脖子问题。据悉，柯力投资点联传感主要是基于以下三个方面的考虑： 　　第一、当前国内精密测量传感器的发展仍处于起步阶段，未来是一个确定性的发展机会，是柯力布局传感器行业的重要市场方向。 　　第二、高精密测量传感器有一定的技术壁垒，需要依赖技术型团队才能打造升级产品，形成品牌。点联传感团队是由多名精密仪器专业出身的博士组成，专业技术能力强。 　　第三、通过柯力投资与赋能，可以快速提升点联传感的客户拓展能力，整体价值实现1+1＞2。 　　当前，中国制造业正在向高精度、智能化的方向转型升级。高精度工控传感器是制造装备的基础要素，柯力传感对点联传感的投资与赋能，将助力其成为中国制造业转型升级过程中的国内外一流传感器品牌，同时，也将加速柯力从单一物理量传感器向多物理量传感器融合的步伐与进程。

近年来，各大品牌的折叠屏手机、柔性可穿戴电子等智能设备层出不穷，成为行业热点。作为柔性电子设备的重要组成部分，柔性传感器用以测量温度，反映人体的各项指标。现有的柔性薄膜温度传感器受柔性衬底、敏感材料等限制，难以实现高温物理场的温度测量。因此，如何继承柔性薄膜传感器优势，实现柔性薄膜传感器在高温环境下的应用是一个值得关注的问题。近日，来自微纳制造领域的一项最新研究成果，为柔性传感器突破高温应用瓶颈提供了新思路。西安交通大学机械工程学院精密工程研究所的刘兆钧博士、田边教授、蒋庄德院士及其合作团队首次制备出了具有良好温度敏感性的高温柔性温度传感器。相关成果发表于工程制造领域期刊《极端制造》。传统柔性温度传感器难以实现高温无损监测柔性传感器是指采用柔性材料制成的传感器，具有良好的柔韧性、延展性，甚至可自由弯曲、折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意布置，能够非常方便地对复杂表面进行检测。在可穿戴方面，柔性的电子产品适合“人体不是平面”的生理特性，因此更易于测试皮肤的相关参数，其可将外界的受力或受热情况转换为电信号，传递给机器人的电脑进行信号处理，从而实时精准地监测出人体各项指标。“柔性薄膜温度传感器能变形、易附着、轻薄等优点受到了研究人员的广泛关注。”田边说，“热电偶式传感器以结构简单、动态响应快、便于集中控制等优点脱颖而出。”结合二者优势，热电偶式柔性薄膜温度传感器应运而生。“温度传感器主要由两部分组成，由两种不同材料制成的温度敏感层和柔性基板。温度敏感层常由金属以及金属化合物组成，柔性基材则选择已经商业化的聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺等高分子聚合物材料。”田边表示。实际上，柔性传感器的优势使其能运用到多个领域当中，除了可穿戴设备，柔性传感器还在医疗电子、环境监测等领域显示出很好的应用前景。然而，现有的柔性薄膜温度传感器受柔性衬底、温度敏感材料等限制，难以在高温环境场中工作，更无法实现功能化应用。“因为柔性基板的熔点通常低于400℃，在高温环境中发生碳化后会变脆、变硬，因此，很难在高温环境下使用现有的柔性温度传感器。这一点也限制了它们在航空航天、钢铁冶金和爆炸损伤检测等极端环境中的应用。”田边解释道。“现有的高温温度测量手段受限于设备尺寸大、需要破坏结构、破坏气流场、受环境干扰等，难以实现对温度场的无损实时温度监测。”博士生刘兆钧补充道。因此，如何继承柔性薄膜传感器的优势，实现柔性薄膜传感器在高温环境下的安装与应用是亟须解决的关键问题。突破多项柔性温度传感器测量瓶颈为了突破柔性温度传感器的温度测量瓶颈，田边教授团队创新性地选择了具有宽温域的铝硅氧气凝胶毡作为温度传感器的柔性基板。由于柔性基板表面不均匀、粗糙度较大，难以通过传统的微纳制造工艺实现薄膜沉积与功能化，因此团队选用了丝网印刷技术制备厚膜以克服上述困难。在制备传感器的实际操作中，田边、刘兆钧等人使用有机黏合剂混合功能粉末完成浆料配置，利用高温热处理的方法去除薄膜中的多余有机物，如环氧树脂、松油醇等。同时，团队还针对不同应用表面，基于柔性材料可变形、可共形的优势，实现了功能薄膜的特定曲面化制备。“就像球鞋设计者根据球星脚底的尺寸大小来制定码数一样，这种‘独家订制’能有效解决一些问题。”田边表示，这样制备好的柔性温度传感器能够贴附于不同曲率曲面，例如叶片等。同时，其也具有超薄、超轻等优点。这项研究首次实现柔性传感器在零下190℃至零上1200℃这一极广的温度范围内工作，测试灵敏度也达到了可观的226.7微伏每摄氏度（μV/℃）。这是现有所有柔性温度传感器难以实现的。扩大柔性传感器的工作温域，为柔性传感开拓了更广阔的应用领域，它在探险排难、航空航天、钢铁冶金等领域将呈现出巨大的应用潜力。在被问及新型柔性传感器何时能够实现实际应用时，蒋庄德表示：“我们团队的研究人员对制备的柔性温度传感器已经进行了多种实验室级测试与实际测试。其中，包括对航模发动机的尾喷温度进行实时监控，小型物理爆炸场爆炸瞬时温度测量以及对坩埚中金属熔化过程进行温度监测等。传感器在整个测试过程都表现出了优异的测温能力。”在蒋庄德看来，科技发展的目标始终围绕造福人类。他指出：“我们根据柔性温度传感器极轻、极薄的特点，创新性地将其应用于智能穿戴设备，如传感器与环保透明面罩相结合设计出的智能口罩，实现对人体呼吸状态的实时监测，有望惠及长期独居旅行者和慢性病患者。我们的科研成果可以给人们的生活带来便捷，这也让科研有了‘温度’。”目前，柔性传感器许多技术仍停留在研究阶段，柔性传感器产业链整体能力亟待增强。就技术本身而言，传感器本身的稳定性、耐磨损性等还需要进一步提高。而从整个产业链的配套来说，柔性电路、柔性存储，以及软硬连接等环节也需要跟进步伐。在未来，团队也期望将制备的柔性传感器进一步优化，实现飞机表面、涡轮叶片等国之重器上的温度测量，为我国科技进步添砖加瓦。

近日，广东省科学院化工研究所研究员曾炜团队在国家自然科学基金项目等的资助下，在双应变-温度传感器性能研究方面取得新进展。相关研究发表于Composites Part A。张静斐为该论文第一作者，曾炜为通讯作者。 　　在目前的双应变-温度传感器研究中，一般是将应变/温度敏感的导电材料，如金纳米粒子、氧化石墨烯和碳纳米管等引入弹性体或水凝胶来实现的。由于弹性体的伸展性差和导电材料的不透明性限制了其在大应变和可视化设备中的应用。而离子导电水凝胶具有透明度高、柔韧性好的优点，可以实现基于三维网络离子传输的同时，利用其电导率随应变和温度的变化而实现应变-温度双重传感，为传感器的多功能化提供了广阔应用前景。 　　研究人员通过自由基聚合，在氯化锂和甘油的存在下，制备了具有良好应变和温度敏感性的可拉伸离子导电性水凝胶。氯化锂的强离子水化作用和水分子、甘油形成强氢键协同作用从而抑制了冰晶的生成，使水凝胶具有优异的抗冻能力，能在-30 ℃~ 80 ℃的较宽温度范围内检测温度的变化。该水凝胶在36.5~40 ℃范围内的温度灵敏度为5.51 %/℃，检测限为0.2 ℃，并具有良好的升温-降温循环稳定性。 　　此外，水凝胶传感器在2000%的宽应变范围内具有良好的线性，可以达到17.3的高灵敏度，并具有低至1%的检测下限。利用该方法制备的应变-温度双重刺激响应水凝胶，在人体运动监测、发热检测等可穿戴设备中具有很大的应用潜力。

仪器信息网讯 8月23日，为期三天的2022世界传感器大会在郑州国际会展中心完美落幕，此次传感器大会由中华人民共和国工业和信息化部、中国科学技术协会与河南省人民政府主办，郑州市人民政府、河南省工业和信息化厅、河南省科学技术协会、中国仪器仪表学会承办。福禄克（FLUKE）展位本次世界传感器大会，众多知名传感器公司携新品和主推产品参展，同时也吸引了多家仪器企业参加，福禄克（FLUKE）公司也携一系列计量校准产品亮相。据了解，福禄克早在2000年就收购了Wavetek Wandell Goltermann的精密测量部门，从而稳固了其在电气校准市场内已经获得的地位。近几年，福禄克公司又先后收购了以温度计量和校准著称的 HART公司，以及以压力计量和校准而著称的DHI公司，从而使福禄克公司的计量和校准技术和产品覆盖了电学、温度以及压力，成为全面提供计量和校准产品的仪器仪表公司。1586A高精度多路测温仪（下）和外置接线模块（上）1586A高精度多路测温仪可以扫描测量并记录直至40通道的直流电压和电流，电阻，扫描速度可达每秒10个通道。1586A可以配置为多通道的记录仪在现场使用，也可以配置为参考温度计连接方式用于实验室的温度传感器校准。1586A高精度多路测温仪可满足制药，生物，食品，航空航天以及汽车行业的大量的温度分布，传感器校准，温度测量的应用。2271A工业压力校准器这款仪器兼容两个不同精度级别的模块。PM200模块为大部分量程提供 0.02% FS。PM500模块提供0.01%的读数不确定度，确保2271A可用于测试或校准更高精度的变送器和数字仪表。2271A的压力量程达到-100 kPa至20MPa(-15 psi至3000psi)，满足较宽范围的压力计和传感器需求。仪器内置支持HART功能的电学测量模块(EMM)，因此能够对4-20 mA设备（例如，智能变送器、压力计和开关）进行闭环、全自动校准。此外，该仪器顶部的双测试端口可安装两台被测设备（DUT），提升工作效率。9173高精度干式计量炉干井炉是早期最传统的现场热源。而福禄克最早开发的干式计量炉，其不确定度要远远小于干井炉的不确定度。不确定度越低，客户就越有能力校准准确度更高的传感器。干式计量炉提供了接近恒温槽的性能，但是却不需要昂贵的恒温槽液体。干式计量炉达到预定温度点并且稳定的时间比恒温槽快5到10倍，这样即可节省技术人员的工作时间，提高检定速度。干式计量炉的便携性使其能够到现场进行校准的工作，从而解决了恒温槽在运输上的困难。而此次参展的福禄克9173高精度干式计量炉采用了双段控温技术。传统的炉子在轴向(垂直方向)的温度场很难做到均匀，越接近炉口温度变化就越大。所谓双段控温就是在垂直方向上使用上下两层双路控温的方式，这种新型的模拟和数字控制技术提供了高达±0.005 C的稳定性。而且利用两段控温技术，轴向(垂直方向)的均匀性在60 mm区域内可达到±0.02 ℃。7109A便携式恒温槽在制药、生物科技和食品生产等行业，过程制造工厂大量使用卫生型温度传感器，这些传感器需要定期校准，在校准时必须停止生产。因此，校准效率越高意味着工厂停工时间越短。此外，在有些生产过程中，0.1摄氏度的误差就会造成严重成本损失，温度准确度对于保证质量至关重要。而本次展出的这款7109A便携式校准恒温槽与市面上许多恒温槽相比，系统准确度提高了两倍，能在更短的时间内校准更多的卫生型传感器，工作效率提高四倍。用户可以将4支卡箍式卫生型传感器同时置于恒温槽中进行校准，温度显示准确度达±0.1°C。对于小法兰或没有法兰的卫生型热电阻，校准效率甚至更高。7109A恒温槽覆盖温度范围可达-25°C至140°C，内置测温仪直接用于连接外部参考探头以及被校温度探头。8588A八位半数字多用表8588A是一款八位半数字化标准多用表，专门为校准实验室量身打造，拥有直观的用户界面和彩色屏幕和超过12项的测量功能，包括新增的数字化电压、数字化电流、电容、射频(RF)功率，以及用于交/直流电流的外部分流器，帮助用户将实验室级别的系统测试成本统一整合到单台测量仪器中。8588A拥有1年期直流电压准确度(2.7μV/V@95%置信区间，或3.5μV/V@99%置信区间)和最佳的24小时稳定度(0.5 μV/V@95%置信区间，或0.65 μV/V @99%置信区间)，使其能够傲视市场上其他标准数字多用表。8588A还能够在短短1秒内产生稳定的八位半读数，进一步提高速度覆盖范围。

应用背景温度数据的监测在制药行业里有相当重要的地位，不论是产品质量保障、节能降耗还是合规要求，再或者药品研发、生产、包装、运输、存储的各个环节，都与温度息息相关，而且对温度参数的准确可靠有较高要求。温度监测系统由温度传感器和显示设备组成，随着时间的推移，温度传感器会受到诸多因素的影响，例如震动，应力变化，化学腐蚀等，其性能参数也会产生变化，因此需要对其进行校准以确定其误差的大小，确保其在允许误差范围内工作。而新版GMP规范第五章第五节对校准也做了明确规定：对于生产和检验用的仪表要定期校准，保存校准记录，未经校准的仪表不得使用。AMETEK校准仪器具有40年的温度校准经验，深入了解用户需求，为制药行业用户设计了有综合性的专业解决方案：✔ 卫生型温度传感器✔ 超短支温度传感器✔ 无法拆卸狭小空间温度传感器✔ 超低温冰箱、冻干设备温度传感器✔ 湿热灭菌器温度传感器✔ 隧道灭菌温度传感器✔ 表面安装温度开关如何实现超短支温度传感器校准？解决方案：RTC-158B 干体-液槽两用温度校准仪配特殊专用套管✔ 干湿两用：干体炉-微型液槽均可使用，对于插入深度小于30mm的传感器可选择液槽。✔ 温场直径大：特殊设计的专用恒温块可匹配超短或异形传感器，即使是卡盘超短卫生型传感器也可使用 。✔ 性能： D LC 动态负载补偿 及外部参考控温，保证垂直温场均匀稳定，控温准确。✔ 快捷： 升降温速度远快于传统液槽，成倍提高工作效率。关于Ametek Jofra 干体炉Ametek校准仪器是全球主要的温度、压力及电信号校准仪生产厂商之一，AMETEK JOFRA生产和销售干体炉有三十多年历史，能提供快速精准的温度校准方案。AMETEK干体炉有5大系列共50多个型号，温度覆盖-100~1205℃，满足各个行业的温度校准需求。根据应用情况提供多样的解决方案，实现实验室及现场的快速精准温度校准。

p style=" line-height: 1.75em " 　 & nbsp 国内科研人员成功研发基于石墨稀材料的大量程、高精度的流量、温度传感器，有望在热力系统进行规模应用。 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/3e7bf569-3c52-4b91-b4b2-dd53a82c552f.jpg" title=" 20160407151516449.jpg" / 　　 /p p style=" line-height: 1.75em text-align: center " 清华大学 朱宏伟 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　近日，清华大学朱宏伟教授团队和北京华大智宝电子系统有限公司合作开发出石墨烯温度流量一体化传感器件。他们针对热力系统检测用流量、温度传感器的应用需求，通过对石墨烯传感的作用与规律研究，突破石墨烯材料在热量表流量计应用的关键技术，开发热力系统检测用石墨烯流量、温度传感器件，解决了现有传感器表面结垢、功耗高等问题，形成了批量制备能力，有望在热力系统进行规模应用。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　该团队完成了石墨烯晶片形状、尺寸、表/界面状态对传感性能调制研究，通过基于石墨稀材料的传感工艺结构设计，开发了大量程、高精度的流量、温度传感器。流量传感器元件测量范围达到0.01~6m3/h，测量精度达到0.005m3/h 温度传感器元件测量范围达到0~100℃，测量精度达到0.02℃。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　在石墨烯流量、温度传感材料基础上，同时开展了两项拓展研究：1)提出了一种实现高灵敏柔性应变传感的新思路，通过石墨烯与超弹超薄高分子材料复合构建了一类基于柔性传感器原型器件，开发了面向可穿戴装备的传感器的制造方法和工艺，在应变、压阻、扭转、挥发性有机物、声波等几个典型传感应用上进行了探索，并可探测脉搏、语音等微弱生理信号，有望应用于移动医疗、可穿戴式设备等领域 2)研究了水在石墨烯层片孔中的扩散特性，开发了一种同位素标记法，揭示了水分子在石墨烯中的扩散系数比微孔滤膜中微米尺寸通道的扩散系数高4~5个数量级，证明了水分子可超快速传输，为基于石墨烯的传质特性研究奠定了基础，并在快速过滤与分离领域展现出广阔的应用前景。 /p p style=" line-height: 1.75em " 　　相关研发成果已发表SCI收录论文15篇，申请国家发明专利5项，获授权实用新型专利1项。所制备的六种传感器发表在ACSNano、Adv.Funct.Mater.、Small、NanoRes.、Appl.Phys.Lett.、Chem.Commun.等期刊上，并被学术媒体Nanowerk、Graphene-Info和MaterialsViewsWiley做为研究亮点报道，被评价为“…全新的传感机制、石墨烯的高性能应用…”，“石墨烯的机电效应结合其它特性…促进了在高灵敏传感中的应用，…这些传感器的潜在用途包括柔性显示、智能服装、电子皮肤、体外诊断等，在可穿戴健康检测类设备上有较大的应用空间”。 /p p br/ /p

应用背景温度数据的监测在制药行业里有相当重要的地位，不论是产品质量保障、节能降耗还是合规要求，再或者药品研发-生产-包装-运输-存储的各个环节，都与温度息息相关，而且对温度参数的准确可靠有较高要求。温度监测大都由温度传感器和显示设备组成，随着时间的推移，温度传感器会受到诸多因素的影响，例如震动，盈利变化，化学腐蚀等，其性能参数也会产生变化，因此需要对其进行校准以确定其误差的大小，确保其在允许误差范围内工作。而新版GMP规范第五章第五节对校准也做了明确规定：对于生产和检验用的仪表要定期校准，保存校准记录，未经校准的仪表不得使用。AMETEK校准仪器具有40年的温度校准经验，深入了解用户需求，为制药行业用户设计了有综合性的专业解决方案：✔ 卫生型温度传感器✔ 超短支温度传感器✔ 无法拆卸狭小空间温度传感器✔ 超低温冰箱、冻干设备温度传感器✔ 湿热灭菌器温度传感器✔ 隧道灭菌温度传感器✔ 表面安装温度开关制药行业温度校准方案（一）安装于工艺设备卫生型温度传感器校准解决方案：RTC-156B 超级标准体炉配短支校准套件✔ 专业套件：定制套管保证与卫生型卡盘传感器充分热平衡，补偿热损失，外接参考传感器与被检传感器位置保持一致，精准控温。✔ 洁净 无液体介质，不易污染探头，尤其适用于对探头洁净度有严格标准的企业 。✔ 性能： 双区加热配合 DLC 动态负载补偿 ，保证垂直温场均匀稳定，不受被检传感器 插入深度影响 。✔ 便携 干体炉 便于携带至 现场 ，可以 进行 全回路校准，减少分离回路校准的附加误差 。✔ 安全： 无液体挥发，不会对操作人员健康产生危害，也不会污染实验室工作空间✔ 快捷： 升降温速度远快于 液槽，成倍提高 工作效率关于Ametek Jofra 干体炉Ametek校准仪器是全球主要的温度、压力及电信号校准仪生产厂商之一，干体炉的发明者，能提供快速精准的温度校准方案。AMETEK干体炉有5大系列共50多个型号，温度覆盖-100~1205℃，满足各个行业的温度校准需求。根据应用情况提供多样的解决方案，实现实验室及现场的快速精准温度校准。

量子芯片运行对温度环境要求极为苛刻，如何实时监测温度变化，了解制冷机运行状态？近日，记者从安徽省量子计算工程研究中心获悉，国产量子计算超低温温度传感器研制成功，并已投入国产量子计算机中使用。安徽省量子计算工程研究中心相关研发团队负责人张俊峰向记者介绍：“随着稀释制冷机技术的发展，国内外稀释制冷机技术越来越成熟，与之相配套的温度测量需求也不断加大。为了保证量子芯片在合适的温区运行，需要实时监测量子芯片运行的温度环境，这款传感器就像是‘量子芯片温度计’，可实时监测温度变化。”该超低温温度传感器由合肥本源量子完全自主研发，支持实时温度监测，具备较高测量精度等优势。该产品通用性很广，可以非常方便地安装到稀释制冷机上，目前已投入国产量子计算机中使用。张俊峰表示，量子芯片是量子计算机的核心器件，实时监测量子芯片运行的温度环境能够对整个量子计算机系统起到关键性作用。该国产超低温温度传感器的成功研制，使我国在极低温领域的温度测量精度达到国际先进水平，向着量子计算机完全自主可控迈出了重要一步。

人体活动所产生的包括应变和温度等生理信号是医疗健康、运动监测的重要数据来源，利用柔性可穿戴设备实现应变和温度的感知意义重大。柔性传感器是柔性可穿戴设备的核心部件，其发展趋势是集成化和多功能化。发展柔性应变-温度双模态传感器，实现应变和温度等信号的监测以及区分，同时兼具高的分辨率仍是一个难点。 　　Co基磁性非晶丝具有优异的软磁性能和巨磁阻抗效应(GMI)，可以实现对磁场的高灵敏探测，是发展柔性多功能传感器的理想材料之一。前期，中国科学院宁波材料技术与工程研究所研究员李润伟、刘宜伟基于磁性非晶丝设计与发展了仿生触觉传感器与自供电弹性应变传感器，并在机器人假肢的触觉感知、运动捕捉的智能服装方面实现应用(Science Robotics. 2018, 3, eaat0429；Nano Energy, 2022, 92, 106754)。在此基础上，研究人员以磁性非晶丝为敏感材料，通过设计具有管状异质结构的双模态传感器实现了单一传感器对应变和温度的灵敏监测和实时区分。 　　该传感器具有独立的应变和温度感知机制。一方面，结合磁弹性体的磁弹效性和Co基非晶丝的巨磁阻抗效应可以实现应变灵敏探测；另一方面，用于阻抗输出的热电偶线圈具有显著的塞贝克效应，可以同时实现温度的检测。基于独立的感应机制，温度和应变信号之间不存在相互耦合，后续通过信号读取电路可实现温度和应变信号的实时区分和输出。 　　该研究中双模态传感器的应变-磁转换单元中具有磁弹效应的磁弹性体提供随应变而变化的磁场，通过内置的Co基磁性非晶丝，能够灵敏感知微小变化的磁场，从而输出变化的阻抗，实现应变的感知。此外，该工作设计了具有双功能的Cu-CuNi热电偶线圈，不仅可以实现阻抗的输出，而且本身具有的塞贝克效应可以实现对温度的感知。 　　进一步地，通过调控应变-磁转换单元的不同区域的相对模量，即磁弹性管和非磁性弹性管的相对模量，可以控制磁场变化快慢，从而能够实现应变灵敏度的可调。该传感器可实现0.05%的应变和0.1℃的低探测极限，5.29和54.9μV/℃的较高应变和温度感知灵敏度。 　　此外，该研究也从模拟和实验上对该双模传感器的应变-温度信号输出的耦合和相互干扰进行了验证。研究人员分别测试了双模传感器在不同应变下的温度输出信号和不同温度下的应变输出信号，发现该传感器具有的管状异质结构能够有效避免应变对温度的干扰，且磁性非晶丝和磁粉的磁性能在低于居里温度下具有良好的温度稳定性，可以确保温度对应变感知几乎没有影响。 　　该研究将所设计的管状线型双模传感器与织物集成，可以同时用于人体微小应变的探测，比如呼吸和吞咽等检测，也可用于膝盖弯曲等较大应变的探测，同时能实现体温或环境温度的实时监测，在健康监测、智慧医疗以及人机交互领域具有良好的应用前景。 　　相关成果近期以Dual mode strain-temperature sensor with high stimuli discriminability and resolution for smart wearables为题在线发表在Advanced Functional Materials上。研究工作得到国家自然科学基金重大仪器研制项目、国家自然科学基金项目、国家自然科学基金委中德交流项目、中科院国际合作重点项目、浙江省自然科学基金等项目的支持。图1(a)双模传感器的感应机制，(b)具有管状异质结构的双模传感器传感器制备流程，(c)应变-磁转换单元中磁弹性管的微观形貌，(d-i)具有磁弹效应的磁弹性管不同磁化方向磁化具有不同的磁性能，(j-m)双模传感器外观和柔性展示图2 双模传感器的应变感知性能

近日，广东省计量科学研究院公开招标，购买精密露点仪标准温度计、空气离子测量仪等多台仪器，预算784.35万元。　　项目编号：CLF0121GZ02ZC99　　项目名称：2021年度国产计量检测仪器设备采购项目(第一批)　　采购方式：公开招标　　预算金额：7,843,500.00元　　采购需求：　　合同包1(比对类检测设备):　　合同包预算金额：678,500.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1试验仪器及装置精密露点仪标准温度计1(套)详见采购文件--1-2试验仪器及装置高精度直流标准表1(套)详见采购文件--1-3试验仪器及装置一般压力表15(个)详见采购文件--1-4试验仪器及装置高精密数字测温仪4(台)详见采购文件--1-5试验仪器及装置温湿度巡检仪1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后 。　　合同包2(财政专项类检测设备):　　合同包预算金额：4,421,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1试验仪器及装置气体活塞式压力真空计1(套)详见采购文件--2-2试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--2-3试验仪器及装置直流电能表综合检测装置1(套)详见采购文件--2-4试验仪器及装置三相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-5试验仪器及装置磁场标准装置1(套)详见采购文件--2-6试验仪器及装置高精度直流测试系统(标准表)1(套)详见采购文件--2-7试验仪器及装置全自动活塞式压力计1(套)详见采购文件--2-8试验仪器及装置温湿度标准箱1(套)详见采购文件--2-9试验仪器及装置直流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-10试验仪器及装置高低温湿热试验箱3(套)详见采购文件--2-11试验仪器及装置双通道高精度直流多用表1(套)详见采购文件--2-12试验仪器及装置交流电压传感器校准装置1(台)详见采购文件--2-13试验仪器及装置单相电能表耐久性试验装置1(台)详见采购文件--2-14试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包3(监督抽查类检测设备):　　合同包预算金额：1,585,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)3-1试验仪器及装置膜式燃气表温度适应性装置1(套)详见采购文件--3-2试验仪器及装置直流高压浪涌耦合/去耦合网络1(台)详见采购文件--3-3试验仪器及装置紫外线耐气候试验箱1(套)详见采购文件--3-4试验仪器及装置电子式交流电能表射频电磁场感应的传导骚扰抗扰度试验装置1(套)详见采购文件--3-5试验仪器及装置电能表继电器负载测试台1(套)详见采购文件--3-6试验仪器及装置三相耐久性程控源5(台)详见采购文件--3-7试验仪器及装置三相电能表检定装置1(套)详见采购文件　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　合同包4(化学省站建设项目检测设备):　　合同包预算金额：1,159,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)4-1试验仪器及装置30m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-2试验仪器及装置高纯气体脱氧、脱水系统1(套)详见采购文件--4-3试验仪器及装置气体标准物质自动配气装置1(套)详见采购文件--4-4试验仪器及装置3m3环境测试舱（玻璃舱体）1(套)详见采购文件--4-5试验仪器及装置1m3环境测试舱（玻璃舱体）2(套)详见采购文件--4-6试验仪器及装置空气消毒机消毒效率检测系统1(套)详见采购文件--4-7试验仪器及装置空气离子测量仪1(台)详见采购文件--　　本合同包不接受联合体投标　　合同履行期限：自签订之日起至所有设备质保期满后　　开标时间：2021年05月20日 09时30分00秒(北京时间)委托协议.pdf2021年度国产计量检测仪器设备采购项目（第一批）招标文件（2021042903）.pdf

全自动馏程测定仪是一种用于测定液体样品馏程的专用仪器。馏程是指液体样品在不同温度下蒸发后残留物含量的变化情况，是衡量液体样品挥发性和蒸馏性能的重要指标之一。 产品链接https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104275/C547621.htm 首先，全自动馏程测定仪能够快速准确地测定液体样品的馏程。传统的馏程测定方法需要依靠人工操作，不仅耗时而且容易受到人为因素的影响。而全自动馏程测定仪采用先进的传感器和测量系统，能够自动测量液体样品的馏程，提高了测量效率和准确性。 其次，全自动馏程测定仪具有自动化和智能化的特点。它可以实现自动样品准备、测量和分析等功能，避免了人为操作的误差和干扰。同时，全自动馏程测定仪还具有数据处理和分析功能，可以将测量数据转化为可视化的图表和报告，方便用户进行数据分析和处理。 最后，全自动馏程测定仪还可以为石油化工、医药、食品等领域的企业提供技术支持。通过测量液体样品的馏程，可以帮助企业了解产品的性质和特点，为产品的生产和加工提供重要的参考依据。 总之，全自动馏程测定仪对于液体样品的馏程测量和质量保障具有重要意义。它能够提高测量效率和准确性，实现自动化和智能化测量，为相关领域的企业提供技术支持。

近日，来自山东师范大学物理与电子科学学院的联合研究团队发表了一篇题为Effects of Temperature and Humidity on the Absorption Spectrum and Concentration of N2O Using an Open-Path Sensor System的研究论文。IntroductionSince China’ s proposal of the “carbon peak” and “carbon neutrality” goals, the government and society have attached great importance to the problems of air pollution and global warming. Nitrous oxide (N2O) isamong the six greenhouse gases under the Kyoto Protocol. N2O content is relatively low compared to carbon dioxide (CO2), but its global warming potential is about 310 times that of CO2. In addition, it is destructive to ozone (O3). There are many reasons for the changes in N2O concentrations in the atmosphere, which are partly due to anthropogenic activities, such as the widespread use of fertilizers in agricultural activities. The concentrations of other gases in the atmosphere, as well as the wind speed and direction, are all correlated with changes in N2O concentrations. At the macro level, temperature and humidity are also factors affecting the absorption coefficient of N2O gas. However, relatively few studies have been conducted on the specific effects of temperature and humidity on N2O gas, and analysis has also been lacking on the influence of temperature and humidity on the absorption spectrum and the concentration of N2O. Moreover, some uncertainty and variability remain in the observations of the relationship between N2O gas concentrations and temperature and humidity. The reasons for these discrepancies may be regional differences, differences in observation methods, and imperfections in data, which are all important bases for measuring the N2O concentration in atmospheric, medical, combustion, and agricultural processes. Thus, further research and exploration, combined with additional field observations and modeling experiments, can uncover the mechanism of temperature and humidity on the N2O concentration. Consequently, providing a scientific basis for this concentration is essential for reducing N2O emissions, controlling climate change, and promoting sustainable development and environmental protection. 简介自中国提出“碳峰值”和“碳中和”目标以来，政府和社会对空气污染和全球变暖问题给予了极大关注。N2O是《京都议定书》下的六种温室气体之一。与二氧化碳（CO2）相比，N2O含量相对较低，但其全球变暖潜力约为CO2的310倍。此外，它对臭氧（O3）具有破坏性。大气中N2O浓度的变化有许多原因，部分原因是人类活动造成的，例如在农业活动中广泛使用化肥。大气中其他气体的浓度以及风速和风向都与N2O浓度的变化相关。在宏观水平上，温度和湿度也是影响N2O气体吸收系数的因素。然而，对温度和湿度对N2O气体具体影响的研究相对较少，对温度和湿度对N2O吸收谱和浓度的影响分析也不足。此外，在N2O气体浓度与温度和湿度之间的关系观察中仍存在一些不确定性和变异性。导致这些差异的原因可能是地区差异、观测方法差异以及数据的不完善，这些都是测量大气、医疗、燃烧和农业过程中N2O浓度的重要基础。因此，进一步的研究和探索，结合更多的现场观测和建模实验，可以揭示温度和湿度对N2O浓度的机制。因此，为减少N2O排放、控制气候变化，促进可持续发展和环境保护提供科学依据至关重要。Experimental DetailsSensor SetupBased on WMS technology and an open optical path, an open optical-path detection system for detecting N2O gas in the atmosphere was built. The schematic diagram is shown in Figure 1. The sensor system is composed of a light-source module, photoelectric Remote Sens. 2023, 15, 5390 4 of 11 detection module, and data processing module. The light-source module mainly consists of signal generation, a laser drive, QCL, and an indication light source. To effectively realize the tunable characteristics of laser emission wavelength, we designed the signal generator plate to generate a high-frequency sine wave signal with a frequency of 10 kHz to realize the modulation function and to generate a low-frequency sawtooth wave signal with a frequency of 10 Hz to realize the scanning function. The two signals are superimposed on the laser driver, controls the temperature and central emission wavelength of QCL and converts it into an injection current acting on the detection light source QCL so that the emission wavelength of QCL is in the tunable range of 2203.7–2204.1 cm&minus 1.实验细节传感器设置基于波长调制光谱学（WMS）技术和开路光学路径，建立了一种用于检测大气中N2O气体的开路光学路径检测系统。示意图如图1所示。该传感器系统由光源模块、光电检测模块和数据处理模块组成。光源模块主要包括信号生成、激光驱动、量子级联激光器（QCL）和指示光源。为了有效实现激光发射波长的可调特性，我们设计了信号生成器板，生成频率为10 kHz的高频正弦波信号以实现调制功能，并生成频率为10 Hz的低频锯齿波信号以实现扫描功能。这两个信号叠加在激光驱动器上，控制QCL的温度和中心发射波长，并将其转化为作用于检测光源QCL的注入电流，使QCL的发射波长处于2203.7–2204.1 cm-1的可调范围内。Figure 1. Schematic diagram of N2O open optical sensor system.项目使用的激光驱动器是宁波海尔欣光电科技有限公司的QC750-TouchTM量子级联激光屏显驱动器。&bull 集成电流及温控驱动，功能完备；&bull 温度控制驱动采用非PWM式的连续电流输出控制，大大延长TEC器件的使用寿命；&bull 多种输出安全保护机制，保护QCL使用安全：可调电流钳制、输出缓启动、过压欠压保护、超温保护、继电器短路输出保护；&bull 大电流软钳制功能，避免误操作大电流损坏激光管；&bull UI界面显示便于用户操作使用及数据观测；&bull 全自主研发，集成度高，性价比高。QC750-TouchTM, Ningbo HealthyPhoton Technology, Co., Ltd.Selection of N2O TransitionsTo achieve effective detection of N2O gas molecules, we need to select the absorption line intensity and the emission central wavelength of the laser. First, combined with the HITRAN-2016 database, the wave number range of 2000–2250 cm&minus 1 was selected to analyze the region of the absorption spectral line intensity of N2O, and then carbon monoxide (CO), carbon dioxide (CO2), and water (H2O) molecules were simulated and analyzed, as shown in Figure 2. Within this wave number range, the absorption spectra of CO2 were mainly distributed within the 2000–2081 cm&minus 1 range, and the absorption spectra of CO gas were distributed within the 2025–2200 cm&minus 1 wave number range. The absorption spectra of N2O gas were distributed before the 2020 cm&minus 1 wave number range. The absorption spectra of N2O gas molecules were mainly distributed in the 2200–2250 cm&minus 1 wave number range, and they were far from the absorption spectra of water vapor and other gases, reducing interference. At around 2203.7 cm&minus 1 , the absorption spectra ofN2O gas were the strongest. Therefore, we set the position of the N2O absorption line to 2203.7333 cm&minus 1, which was used as the wave number of the QCL emission center. The corresponding spectral line intensity was 7.903 × 10&minus 19 (cm&minus 1 .mol&minus 1 ). The central current and temperature of QCL were set at 330 mA and 36.0 ◦ C, respectively.N2O跃迁的选择为了有效检测N2O气体分子，我们需要选择吸收线强度和激光的发射中心波长。首先，结合HITRAN-2016数据库，选择了2000–2250 cm&minus 1的波数范围，以分析N2O吸收光谱线强度的区域，然后对一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）和水（H2O）分子进行了模拟和分析，如图2所示。在这个波数范围内，CO2的吸收光谱主要分布在2000–2081 cm&minus 1范围内，CO气体的吸收光谱分布在2025–2200 cm&minus 1波数范围内。H2O气体的吸收光谱分布在2020 cm&minus 1波数范围之前。N2O气体分子的吸收光谱主要分布在2200–2250 cm&minus 1波数范围内，远离水蒸气和其他气体的吸收光谱，减少了干扰。在2203.7 cm&minus 1左右，N2O气体的吸收光谱最强。因此，我们将N2O吸收线的位置设置为2203.7333 cm&minus 1，用作QCL发射中心的波数。相应的光谱线强度为7.903 × 10&minus 19（cm&minus 1mol&minus 1）。QCL的中心电流和温度分别设置为330 mA和36.0 ℃。Figure 2. The intensity distribution of absorption lines of N2O, CO, CO2, and H2O in the range of 2000–2250 cm&minus 1.ConclusionsIn this study, we investigated the effects of temperature and humidity on the concentration of N2Oand its absorption spectra using an open-path sensor system. By combining theoretical analysis and field monitoring, we first conducted monitoring of N2O in a campus environment, analyzing the effects of temperature on its concentration and absorption spectra. We discovered that the concentration of N2O would increase correspondingly with the increase in temperature. The influence of humidity on N2O concentration was monitored under the condition that the ambient temperature of the laboratory remained unchanged. The concentration of N2O was negatively correlated with humidity. The 2f and 1f signals under different temperature and humidity levels were extracted for analysis. We found that the higher the temperature, the smaller the peak value ofthe 2f and the 1f signals, which accords with the trend of the Gaussian function changing with temperature. Under different humidity conditions, the lower thehumidity, the larger the 2f signal peak the higher the humidity, the smaller the 2f signal. This study is of great significance for analyzing the relationship between N2O and environmental parameters such as temperature and humidity. We hope that our research findings can assist environmental agencies in formulating more effective environmental policies for different environments. In the future, we can use QCL to analyze the relationship between N2Oand other environmental and gas parameters.结论在本研究中，我们利用开路传感器系统研究了温度和湿度对N2O浓度及其吸收光谱的影响。通过理论分析和现场监测相结合，我们首先在校园环境中进行了N2O监测，分析了温度对其浓度和吸收光谱的影响。我们发现随着温度升高，N2O浓度相应增加。在实验室环境中，保持环境温度不变的条件下监测了湿度对N2O浓度的影响。N2O浓度与湿度呈负相关。在不同温度和湿度水平下提取并分析了2f和1f信号。我们发现温度越高，2f和1f信号的峰值越小，这与高斯函数随温度变化的趋势相符。在不同湿度条件下，湿度越低，2f信号峰值越大；湿度越高，2f信号越小。这项研究对分析N2O与温度、湿度等环境参数之间的关系具有重要意义。我们希望我们的研究结果能够协助环境机构为不同环境制定更有效的环境政策。未来，我们可以利用QCL来分析N2O与其他环境和气体参数之间的关系。参考：Effects of Temperature and Humidity on the Absorption Spectrum and Concentration of N2O Using an Open-Path Sensor System, Remote Sens. 2023, 15, 5390.

过去的温湿度传感器都比较简单，而随着技术的成熟，科技的进步，如今温湿度传感器发展也是越来越好。由于温度与湿度不管是从物理量本身还是在实际人们的生活中都有着密切的关系，所以温湿度一体的传感器就会相应产生。 温湿度传感器是指能将温度量和湿度量转换成容易被测量处理的电信号的设备或装置。 市场上的温湿度传感器一般是测量温度量和相对湿度量。结合目前市场上的传感器类型，即使是温湿度传感器，这一类型的传感器，还会分为很多种类，有很多的类型。当然它们的应用领域也是千差万别的。下面具体来看下湿度传感器的种类都有哪些?温湿度传感器按监测方法分有接触式和非接触式两种接触式： 接触式温度传感器的检测部分与被测对象有良好的接触，又称温度计。温度计通过传导或对流达到热平衡，从而使温度计的示值能直接表示被测对象的温度。一般测量精度较高。在一定的测温范围内，温度计也可测量物体内部的温度分布。但对于运动体、小目标或热容量很小的对象则会产生较大的测量误差，常用的温度计有双金属温度计、玻璃液体温度计、压力式温度计、电阻温度计、热敏电阻和温差电偶等。非接触式： 它的敏感元件与被测对象互不接触，又称非接触式测温仪表。这种仪表可用来测量运动物体、小目标和热容量小或温度变化迅速(瞬变)对象的表面温度，也可用于测量温度场的温度分布。常用的非接触式测温仪表基于黑体辐射的基本定律，称为辐射测温仪表。辐射测温法包括亮度法(见光学高温计)、辐射法(见辐射高温计)和比色法(见比色温度计)。各类辐射测温方法只能测出对应的光度温度、辐射温度或比色温度。温湿度传感器也分分体式和一体式两种，上面介绍了一体式，下面介绍分体式。分体式又温度传感器和湿度传感器组成。温度传感器通过感温元件来分类可以大致分成铂热电阻温度传感器、热电偶温度传感器、热敏电阻温度传感器三大类。1：铂热电阻温度传感器铂热电阻是利用铂丝的电阻值随着温度的变化而变化这一基本原理设计和制作的，按0℃时的电阻值R（℃）的大小分为10欧姆（分度号为Pt10）和100欧姆（分度号为Pt100）等，测温范围均为-200~850℃。利用PT100铂热电阻作为感温元件的型号有铠装式、装配式、插座式、端面热电阻。主要应用了需要温度误差小的行业或者是精密仪器仪表。2：热电偶温度传感器热电偶是温度测量中常用的温度传感器。其主要好处是宽温度范围和适应各种大气环境，而且结实、价低，无需供电，也是便宜的。热电偶由在一端连接的两条不同金属线(金属A和金属B)构成，当热电偶一端受热时，热电偶电路中就有电势差。通过电势的变化来得出相应的温度变化。热电偶是简单和通用的温度传感器，但热电偶并不适合高精度的的测量和应用。3：热敏电阻由金属氧化物陶瓷组成，是低成本、灵敏度高的温度传感器。热敏电阻是用半导体材料， 大多为负温度系数，即阻值随温度增加而降低。温度变化会造成大的阻值改变，因此它是灵敏的温度传感器。但热敏电阻的线性度极差，并且与生产工艺有很大关系。热敏电阻在两条线上测量的是温度， 有较好的精度，但它比热偶贵， 可测温度范围也小于热偶。一种常用热敏电阻在25℃时的阻值为5kΩ，每1℃的温度改变造成200Ω的电阻变化。注意10Ω的引线电阻仅造成可忽略的 0.05℃误差。它非常适合需要进行快速和灵敏温度测量的电流控制应用。尺寸小对于有空间要求的应用是有利的，但必须注意防止自热误差。湿度传感器的湿敏元件分为电阻式和电容式 两种。湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。常见的湿度测量方法有：动态法(双压法、双温法、分流法)，静态法(饱和盐法、硫酸法)，露点法，干湿球法和形形色色的电子式传感器法。

我国企业在传感器高端领域(如红外传感器、速度传感器、加速传感器、GIS传感器等)已经突破了技术门槛，伴随消费电子和物联网行业的高速发展，有望迎来高成长。国内相关公司包括汉威电子、华工科技、苏州固锝、歌尔声学等。 　　 汉威电子从事气体传感器研究生产已有二十年的历史，是国内从事气体传感器研究、生产的最早厂家。公司拥有从气体传感器-气体检测仪器仪表-气体检测控制系统的完整产业链，拥有年产65万套气体检测仪器仪表和280万支气体传感器的生产能力，而且产业链各环节已经形成了良性循环，为公司建立行业领先地位提供根本保证。2012年公司在传感器、智能仪器仪表、监控系统三大产业领域已完成及正在开发的新产品及产品升级改进共计30余项，包括由工信部批复的国家电子信息产业发展基金项目&ldquo 基于双光路气体探测技术的煤矿安全监控系统&rdquo 和国家物联网发展专项&ldquo 微型智能半导体气体传感器&rdquo ，以及由国家发改委批复的国家物联网技术研发及产业化专项&ldquo 电化学式气体探测智能终端关键技术研发及产业化项目&rdquo 。高性能热释电红外探测器、用于疾病诊断的电化学气体传感器、激光原理燃气检漏设备、激光原理工业气体检测仪、湿度传感器在2012年下半年分别投产。 　　 华工科技是华中地区批由高校产业重组上市的高科技公司。子公司新高理自1988年始即专业从事PTC、NTC系列热敏电阻的设计、生产、安装和服务，建有教育部敏感陶瓷工程研究中心等科研机构，具有年产1亿只热敏电阻的生产能力，是目前国内的热敏电阻专业生产厂家。产品高精密温度传感器可应用于家电、厨房设备、汽车、军工及中低温干燥箱、恒温箱等场合的温度测量与控制。2012年公司提高了NTC传感器的耐候性，实现PTC传感器批量销售，积极推进汽车电子领域应用，通过东风汽车(3.04,-0.03,-0.98%)等客户审核。未来公司拟拓展办公自动化及通讯设备元器件领域，实现NRC、GRC项目批量销售。 此信息由和呈小编摘录，和呈产品有培养箱系列：、霉菌培养箱、生化培养箱、恒温培养箱、细菌培养箱、低温培养箱、培养箱、隔水式恒温培养箱、电热恒温培养箱

赛智科技（杭州）有限公司依托浙江大学先进学科、专注于分析测试领域的科技型企业，是国内领先的液相色谱仪及部件、耗材制造商，专业的HPLC应用方案服务提供商，也是我国最大的色谱软件供应商和服务商。 2012年，赛智科技取得美国micron instruments公司Micron传感器系列的代理权，成为该公司在中国的独家总代理商。　　赛智科技的代理产品：Micron Model MP40是一个由防腐蚀钛(6AL4V)制成可安装的微型，低成本，可冲洗的一般型压力/温度传感器。钛密封头保证了MPT40系列绝对密封性质，并且正好位于传感器应变计隔膜后方，惰性环境使得传感器的稳定性和可靠性大大提高，也适用于高震动的情况。该产品广泛应用于测试和测量设备，能源控制，生产设备和控制，液位，实验室仪器及设备，校准设备应用领域。 2014年新年伊始，赛智科技根据特定用户需求，再次推出订制版140997系列传感器。Micron传感器细节图：中国官方代理申明： 以下为订制版140997系列数据：性能参数：平衡（零点） 0±3.00 mV全方位灵敏度 20.0 ±2.0 mV/V静误差带 ±0.50 %FS热平衡浮动 ± 0.02 %FS/°F热敏感性 ± 0.02 %FS/°F温度范围 0° TO 180°F补偿温度范围 30° TO 130°F加速度 100 g' s, any axis输入电压 5.0 V DC or AC最大电压 30 V for short periods输入电阻 1400 ± 400?输出电阻 850 ± 200?最小绝缘电阻 50 M? @ 50 VDC设计图： 赛智科技（杭州）有限公司 全国服务热线：400 001 2010 公司总机：0571-28021919技术服务热线：0571-28021930官方网站：www.surwit.com

日前，中科院长春光机所在国内首次研制出碱金属原子光学传感技术专用的795nm和894nm 垂直腔面发射激光器(VCSEL)。该器件采用完全自主的结构设计、材料生长和芯片工艺研制而成，芯片体积仅为0.05立方毫米(0.5mmx0.5mmx0.2mm)。器件高稳定单模态激光输出高于0.2毫瓦，工作电流低于1.5毫安，功耗低于3毫瓦，工作温度超过100℃，可作为核心光源用于芯片级原子钟、原子磁力计、原子陀螺仪等碱金属原子传感器。 　　基于原子光学技术的精密传感需要一些特定的波长(如795nm和894nm等)并且满足窄线宽、低功耗、可直接调制、单模和稳定偏振态的光源来激发碱金属原子。传统灯泵浦光源方案的传感器存在的体积大、功耗高、稳定性差等问题一直是困扰原子光学传感器小型化的主要难题。垂直腔面发射激光器(VCSEL)作为一种新型的半导体激光器，具有窄线宽、低功耗、高调制频率、小体积和容易集成等特征，因此基于VCSEL的相干布居俘获(CPT)方法使得原子光学器件的微型化和低功耗应用成为可能。 　　目前，国外只有个别实验室和公司具有制作该类原子光学传感器专用VCSEL的能力。中科院长春光机所大功率半导体激光组在十余年研究基础上成功制备出性能符合要求的VCSEL器件，为国内原子传感器的研制提供了必需的核心元器件并掌握了自主知识产权，目前正在与国内相关单位开展合作研究，促进芯片级原子传感器的产品开发。这些产品将应用于航天、国防以及民用领域，例如：精密计时技术、单兵卫星精确定位，长航时远距离惯性导航，高灵敏度水下金属磁场测量等。 　　 795nm VCSEL 芯片(左)和TO46封装器件(右)

近日，中国科学院西安光学精密机械研究所与西北大学合作，在表面功能化光纤传感器研究方面取得重要进展。研究基于通信单模光纤开发出一种免标记、高灵敏度、高选择性的法布里-泊罗(Fabry-Perot)型干涉探针。该探针具有测试便捷、成本低、温度稳定性高等特点，在生物大分子光谱检测方面具备广泛应用前景。 　　胆固醇是细胞膜、脂蛋白、神经细胞和脑细胞中的重要脂质大分子，其浓度与心脏病、高血压、动脉硬化、中风等疾病密切相关。因此，胆固醇水平检测备受关注。与目前常用的电化学法、酶分析、液相色谱、质谱等检测方法相比，光纤光谱检测方法具有体积小、抗电磁干扰、成本极低、免标记等突出特点，在生物化学检测领域备受关注。 　　传统的光纤光谱检测器件(如长周期光栅、倾斜光栅、表面刻蚀布拉格光栅等)受到制备仪器要求严格、温度及形变交叉敏感等困扰，在实用性上有较大局限。 　　该团队从光纤干涉理论及光与物质的相互作用理论出发，采用单模光纤和光纤插芯制备光纤光谱检测器件，通过范德瓦耳斯力在光纤插芯端面依次贴覆环氧树脂-氧化石墨烯(GO)-β环状糊精多层功能膜，基于最外层β环状糊精的疏水型空心分子结构与胆固醇的靶向性吸附结合原理，实现对胆固醇分子的高灵敏度光谱浓度检测，并在尿素、葡萄糖、抗坏血酸、人体血红蛋白等生化分析领域常见干扰物作用下可以呈现出强选择性，具备可重复制备和可重复检测特性，检出限达到3.5M, 灵敏度为3.92 nm/mM。该成果为表面功能化光纤器件在生化光谱分析领域的应用提供了新的思路和手段。 　　此外，研究通过X射线光电子能谱(XPS)探究EDC/NHS活化GO羧基对分子间键合相互作用影响以及β环状糊精和胆固醇分子的成键作用特性，对检测机制进行了验证分析。 　　相关研究成果发表在Analytica Chimica ACTA上。西安光机所为第一完成单位及通讯单位。图1.(a)为实验装置，(b)(c)为干涉结构。图2.(a)胆固醇检测光谱；(b)参杂/未参杂样本检测波长的Langmuir拟合；(c)选择性；(d)器件制备重复性测试。图3.XPS结果。(a) EDC/NHS未活化/活化羧基传感器的XPS光谱；(b)活化羧基传感器的N 1s光谱；(c)(d)分别为经过/未经过EDC/NHS活化羧基传感器的C1s光谱,(e)(f)分别为其O1s光谱EDC/NHS处理的传感器 (g)EDC/NHS活性羧基示意图。

table border=" 1" cellspacing=" 0" cellpadding=" 0" width=" 600" tbody tr td width=" 142" p style=" line-height: 1.75em " 成果名称 /p /td td width=" 506" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " strong 明场在线叶绿素传感器 /strong /p /td /tr tr td width=" 142" p style=" line-height: 1.75em " 单位名称 /p /td td width=" 506" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " 中国科学院大连化学物理研究所 /p /td /tr tr td width=" 142" p style=" line-height: 1.75em " 联系人 /p /td td width=" 158" p style=" line-height: 1.75em " 关亚风 /p /td td width=" 161" p style=" line-height: 1.75em " 联系邮箱 /p /td td width=" 187" p style=" line-height: 1.75em " guanyafeng@dicp.ac.cn /p /td /tr tr td width=" 142" p style=" line-height: 1.75em " 成果成熟度 /p /td td width=" 506" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " □正在研发 & nbsp □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产 /p /td /tr tr td width=" 142" p style=" line-height: 1.75em " 合作方式 /p /td td width=" 506" colspan=" 3" p style=" line-height: 1.75em " √技术转让& nbsp & nbsp & nbsp & nbsp □技术入股& nbsp & nbsp & nbsp & nbsp □合作开发& nbsp & nbsp & nbsp & nbsp □其他 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 成果简介： /strong & nbsp & nbsp /p p style=" text-align:center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/be6ab2fa-adbb-408d-93e0-ed1b0eba8ddf.jpg" title=" 叶绿素传感器.png" width=" 400" height=" 240" border=" 0" hspace=" 0" vspace=" 0" style=" width: 400px height: 240px " / span style=" line-height: 1.75em " & nbsp /span /p p style=" line-height: 1.75em " & nbsp & nbsp 该传感器以蓝色发光二极管激发水中叶绿素发出荧光，双光纤收集荧光，用光电倍增管检测荧光，同时测量本底荧光值，扣除本底值后得到水体中叶绿素浓度。传感器能够有效抑制明场光和扣除阳光激发的叶绿素荧光。因此适合野外环境在线昼夜监测叶绿素a的浓度。探头配有温度传感，实时检测水温并通过校正曲线对叶绿素a浓度进行校正。同时，采用机械刷定期自动清除光纤表面附近的藻类干扰物，适用于连续监测。该传感器稳定可靠，测定精密度和国标法相近，明显高于美国YSI同类产品，完全能够满足水体样品分析的要求。该传感器已交付国家海洋环境监测中心出海实测，并应用于太湖栈桥监测点连续实时监测叶绿素浓度。 br/ & nbsp & nbsp & nbsp strong 主要技术指标： /strong br/ & nbsp & nbsp & nbsp 检测模式：双窗口 br/ & nbsp & nbsp & nbsp 检测参数：叶绿素a，水体温度 br/ & nbsp & nbsp & nbsp 温度精度：± 0.15℃ & nbsp & nbsp & nbsp 叶绿素a检测精度：0.05μg/L br/ & nbsp & nbsp & nbsp 叶绿素a检测范围：0.05~100μg/L；1~500μg/L br/ & nbsp & nbsp & nbsp 精密度：RSD& lt 5% br/ & nbsp & nbsp & nbsp 采样间隔：10 min br/ & nbsp & nbsp & nbsp 操作模式：SD卡存储，RS232传输 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 应用前景： /strong br/ & nbsp & nbsp & nbsp 适用于环境领域河流、湖泊、海洋等水体中叶绿素a的连续、实时检测。该传感器的性能优于进口产品；技术路线清晰明确，易于产业化推广。市场容量大，具有广阔的推广应用前景。 /p /td /tr tr td width=" 648" colspan=" 4" p style=" line-height: 1.75em " strong 知识产权及项目获奖情况： /strong br/ & nbsp & nbsp & nbsp 以技术秘密形式保护知识产权。 /p /td /tr /tbody /table p br/ /p

天津大学精密仪器与光电子技术学院教授李恩邦研究发现一种新技术构成的光纤应变传感器，具有灵敏度高且对温度变化不敏感等特点。 　　光纤应变传感器是世界上应用广泛的传感器类型，具有许多电传感器不可比拟的优点，对于保障大型设施安全、防止恶性和灾难性事故发生具有非常重要的意义。 　　李恩邦的研究成果已发表在《应用物理快报》上，英国物理学会官方网站optics.org和美国《激光世界》杂志也对此进行了报道。

近日，记者从北京怀柔仪器和传感器有限公司获悉，公司正在推动建设包括高端精密加工共享服务平台、智能感知产业服务平台、真空技术联合实验室等在内的仪器传感器产业科创平台，其中部分平台将于年内投入运营，为怀柔仪器和传感器企业提供关键技术研发和中试生产、测试、实验验证等服务。（北京怀柔仪器和传感器有限公司供图）高端精密加工共享服务平台可针对中高端科学仪器关键零部件精度不高、稳定性不好、定位精度差等难题进行技术攻关，为怀柔科学城的科技创新主体提供定制化、小批量的精密加工服务。该平台占地3600平方米，目前已具备高端精密加工、测量等方面能力，预计将于2024年正式运行。智能感知产业服务平台具备温度压力、惯性、气体等传感器的技术服务与测试验证能力，可为相关领域高校、科研院所和企业提供产品设计、工艺优化、科技孵化等服务。该平台占地1500平方米，目前已具备芯片测试、光电传感器测试等方面能力，预计2024年年底正式运行。真空技术联合实验室可为怀柔科学城入驻的科研单位、科学设施及生产制造企业提供真空领域设计、研发、维保、培训等一站式服务。实验室总建筑面积650平方米，规划了洁净实验区、展示培训区、办公研讨区及库房区四个功能区域。目前，实验室各功能区域工程建设和装修已完成，年内也将正式对外运行。“为了解决研发单位资金紧张、设备投入不足、研制产品无行业标准、行业顶层设计不足等问题，我们通过建设公共服务平台来指引行业并提供服务，让各研究机构可以全身心地进行细分领域研究。”北京怀柔仪器和传感器有限公司相关负责人告诉记者，未来希望通过平台打造高端仪器装备和传感器产业发展新范式，引领怀柔成为新变革的力量源、硬科技产业的策源地。

近日，记者从北京怀柔仪器和传感器有限公司获悉，公司正在推动建设包括高端精密加工共享服务平台、智能感知产业服务平台、真空技术联合实验室等在内的仪器传感器产业科创平台，其中部分平台将于年内投入运营，为怀柔仪器和传感器企业提供关键技术研发和中试生产、测试、实验验证等服务。高端精密加工共享服务平台可针对中高端科学仪器关键零部件精度不高、稳定性不好、定位精度差等难题进行技术攻关，为怀柔科学城的科技创新主体提供定制化、小批量的精密加工服务。该平台占地3600平方米，目前已具备高端精密加工、测量等方面能力，预计将于2024年正式运行。智能感知产业服务平台具备温度压力、惯性、气体等传感器的技术服务与测试验证能力，可为相关领域高校、科研院所和企业提供产品设计、工艺优化、科技孵化等服务。该平台占地1500平方米，目前已具备芯片测试、光电传感器测试等方面能力，预计2024年年底正式运行。真空技术联合实验室可为怀柔科学城入驻的科研单位、科学设施及生产制造企业提供真空领域设计、研发、维保、培训等一站式服务。实验室总建筑面积650平方米，规划了洁净实验区、展示培训区、办公研讨区及库房区四个功能区域。目前，实验室各功能区域工程建设和装修已完成，年内也将正式对外运行。“为了解决研发单位资金紧张、设备投入不足、研制产品无行业标准、行业顶层设计不足等问题，我们通过建设公共服务平台来指引行业并提供服务，让各研究机构可以全身心地进行细分领域研究。”北京怀柔仪器和传感器有限公司相关负责人告诉记者，未来希望通过平台打造高端仪器装备和传感器产业发展新范式，引领怀柔成为新变革的力量源、硬科技产业的策源地。

7月7日，记者从广东工业大学获悉，该校生物医药学院教授赵肃清团队与美国加州大学戴维斯分校合作，首次制备出高亲和力的可溶性环氧化物水解酶抑制剂（EC5026和TPPU）纳米抗体，并用于开发灵敏的间接竞争性免疫分析传感器。相关研究论文发表于《药物分析学报》（Journal of Pharmaceutical Analysis）。该论文第一作者为杨慧怡，通讯作者为赵肃清和Bruce D. Hammock。　　该研究以可溶性环氧化物水解酶抑制剂（EC5026和TPPU）为分析物，报道了一种基于纳米抗体的酶联免疫分析传感器的构建与应用，该传感器能够实现灵敏地、准确地对抑制剂给药后临床人体样品中抑制剂含量的监测。可溶性环氧化物水解酶抑制剂在各种动物模型中都是有效的神经性疼痛镇痛药，其中EC5026已成功通过美国FDA人体1a期试验，TPPU因其优异的药代动力学特征、靶效和体内生物活性被广泛应用于研究。　　该研究首次制备了高亲和力的EC5026和TPPU纳米抗体，并用于开发灵敏的间接竞争性免疫分析传感器。该传感器具备较高的精密度和准确度。研究表明，纳米抗体为小分子药物的临床开发和治疗过程中的监测提供了质谱法的替代和补充分析工具。

近日，由上海测振自主研发的YDYT9800一体化电涡流传感器成功试用负600米深海作业。YDYT9800一体化电涡流传感器电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力测量金属导体距探头表面的距离，它是一种非接触线性化计量工具，被广泛应用在机械、航空、汽车、电力、石油、化工、冶金等行业。其中，深海作业对电涡流传感器的壳体、探头、接头、电缆等都有非常高的品质要求。电涡流传感器在深海作业过程中，因所处环境较为恶劣，极有可能出现个类故障，造成经济损失甚至重大事故。上海测振的技术研发团队经多次试验，最终攻克超高水压密封、高腐蚀环境、复杂电磁干扰等难题，通过微型封装技术把前置器内置探头内部，完成探头与前置器融为一体化方案，可满足深海领域的使用环境要求。作为深海领域传感器的代表作，YDYT9800一体化电涡流传感器采用耐腐蚀、耐水解的壳体、探头、接头、电缆等，防水及密封性能强，可在恶劣环境下长期稳定工作，此外，还具有安装使用方便、非接触测量等优势，是一种高性能、低成本的新型电涡流位移传感器，可对厚度、速度、位移、转速、应力、表面温度、材料损伤等进行持续不间断的测量。当前传感器国产化需求加重，国内传感器正在趋向技术化、创新化、自主研发化路线发展。YDYT9800一体化电涡流传感器的成功研发，正表明了我国传感器技术在不断突破，同时也将助推我国深海工业领域的不断发展。关于上海测振：上海测振自动化仪器有限公司（简称“上海测振”）成立于2006年，专业从事研发和生产振动传感器、位移传感器、转速传感器以及工业监控保护仪器，具有自营进出口贸易权。主要经营的产品有电涡流位移传感器，振动传感器，转速传感器及其配套仪器仪表四大类，包括四十多个不同型号，其中YD9200A、CZ9300、YDYT9800、YD260、YD280为国内首次推出。产品覆盖军工、重工、科研、教育等各个领域，与中国航空工业集团、沈阳黎明航天发动机集团、大连华锐重工集团等知名企业建立了良好的合作关系。

成果简报基于量子特性，电子自旋传感器具有高灵敏度，可以广泛应用于探测各种物理化学性质，如电场、磁场、分子或蛋白质动力学以及核或其他粒子等。这些独特的优势和潜在应用场景，使基于自旋的传感器成为当前热点的研究方向。Sc3C2@C80具有由碳笼保护的高度稳定的电子自旋，适用于多孔材料内的气体吸附检测。Py-COF是一种最近出现的具有独特吸附性能的多孔有机框架材料，它使用具有甲酰基和氨基的自缩合构建块制备，其理论孔径为1.38 nm。因此，一种金属富勒烯Sc3C2@C80单元（尺寸约0.8 nm）可以进入Py-COF的一个纳米孔。中国科学院化学研究所王太山研究员开发了一种基于金属富勒烯的纳米自旋传感器，用于探测多孔有机框架内的气体吸附情况。将顺磁性金属富勒烯，Sc3C2@C80嵌入基于芘基的共价有机框架(Py-COF)的纳米孔中。使用EPR技术(国仪量子EPR200-Plus)记录嵌入Sc3C2@C80自旋探针的Py-COF内吸附的N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8。研究表明，嵌入Sc3C2@C80的EPR信号有规律地随Py-COF的气体吸附性能有关。研究结果以“Embedded nano spin sensor for in situ probing of gas adsorption inside porous organic frameworks”为题，发表在Nature Communications上。利用 Sc3C2@C80 的分子自旋探测 Py-COF 的气体吸附性能在研究中，作者使用一种具有顺磁性金属富勒烯，Sc3C2@C80(尺寸约0.8 nm)作为自旋探针嵌入到基于芘基的COF(Py-COF)的一个纳米孔，检测Py-COF内的气体吸附。然后，通过记录嵌入的Sc3C2@C80 EPR信号，研究了Py-COF对N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8气体的吸附性能。研究表明，Sc3C2@C80的EPR信号有规律地随Py-COF的气体吸附性能有关。并且与传统的吸附等温线测量不同，这种可植入的纳米自旋传感器可以通过原位实时监测来探测气体的吸附和解吸。所提出的纳米自旋传感器还用于探测金属-有机框架(MOF-177)的气体吸附性能，证明了其多功能性。气体吸附性能与EPR信号的关系气压对EPR信号的影响EPR信号线宽分析用Sc3C2@C80的分子自旋法探讨MOF-177的气体吸附过程摘要Nature Communications：嵌入式纳米自旋传感器用于原位探测多孔有机框架内气体吸附Embedded nano spin sensor for in situ probing of gas adsorption inside porous organic frameworks. Nature Communications (2023)自旋传感器因其高灵敏度而备受关注。在此，我们开发了一种基于金属富勒烯的纳米自旋传感器，用于探测多孔有机框架内的气体吸附情况。为此，我们选择了顺磁性金属富勒烯Sc3C2@C80，并将其嵌入芘基共价有机框架（Py-COF）的纳米孔中。使用电子顺磁共振波谱（EPR）技术检测了Sc3C2@C80在Py-COF中吸附N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8后的信号。结果表明，嵌入Sc3C2@C80后EPR信号有规律变化，这与Py-COF的气体吸附性能有关。与传统的吸附等温线测量方法不同，这种植入式纳米自旋传感器可以对气体的吸附和解吸进行原位实时监测。所提出的纳米自旋传感器还被用于探测金属有机框架(MOF-177)的气体吸附性能、证明了它的多功能性。因此，该纳米自旋传感器适用于量子传感和精密测量。国仪量子EPR用户奖励政策细则1.IF 提及国仪量子仪器型号的方法：要求在实验方法中提及仪器品牌型号：国仪量子EPR200-Plus，国仪量子EPR200M等，英文参考如下：Electron paramagnetic resonance spectroscopy spectra were measured on Chinainstru&Quantumtech (Hefei) EPR200-Plus with continues-wave X band frequency.奖励实施流程：1.用户申请：需为测试申请者及文章作者，直接联系CIQTEK应用中心应用专家、登录CIQTEK官方网址http://www.ciqtek.com、拨打CIQTEK官方服务热线400-0606-976；2.资格审核：身份审核、对相应文章发表情况、提及仪器情况及影响因子进行审核（提供相应证明：发表论文的接收函及论文原文，或已发表论文的网上版本链接）；3.审核通过后由公司统一发放奖励，发放形式协商确定。奖励申请说明：1.奖励后我司内部备注，每篇文章原则上只奖励一次；2.作品获得奖励后，即默认为作者授权主办方可以使用作者名及成果名称进行宣传推广活动，包括但不限于媒体宣传、现场展示、网络推广等；3.本政策有效期自2023年6月30日至2023年12月31日（如有变化会另行通知）；4.本奖励政策最终解释权归国仪量子（合肥）技术有限公司所有。国仪量子电子顺磁共振波谱仪近年来，国家大力支持国产高端科学仪器发展，推进高水平科技成果自立自强，国产高端科学仪器迎来了长足进步。国仪量子电子顺磁共振波谱仪为直接检测顺磁性物质提供了一种非破坏性的分析方法。可研究磁性分子、过渡金属离子、稀土离子、离子团簇、掺杂材料、缺陷材料、自由基、金属蛋白等含有未成对电子物质的组成、结构以及动力学等信息，能够提供原位和无损的电子自旋、轨道和原子核等微观尺度的信息。在物理、化学、生物、材料、工业等领域具有广泛的应用。国仪量子EPR系列

近日，上海微系统所传感技术国家重点实验室采用微纳加工技术制备了一种基于氮空位（NV）色心的微型光电一体化集成钻石量子磁传感器。相关研究成果于2022年5月9日以“Amicrofabricatedfiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers”为题发表在当期的Applied Physics Letters上。 钻石，不仅可以作为珠宝装饰品，更是具有极高研究价值的新型量子材料。氮空位缺陷——NV色心，是钻石晶体结构中最常见的点缺陷，由氮原子取代碳原子和相邻空穴而形成，利用其在磁场中的量子顺磁共振效应及荧光辐射特性可以进行精密磁测量。NV色心在常温下也具有稳定的量子态，可以在非制冷的室温下工作。同时，钻石量子磁传感器以其高空间分辨率、高灵敏度、高生物兼容性等技术优势，在近场微观磁共振、磁异常探测、生命科学等领域具有重要的应用前景。 小型化、集成化、便携化是钻石量子传感器取得实际应用的重要条件。该团队基于晶圆级微机电工艺平台，利用标准微纳加工技术，制备出钻石量子磁传感器的核心——钻石芯片。芯片内部集成了微波辐射结构，实现了原位微波量子态操控。采用金属热压键合技术实现了钻石单晶与硅晶圆的异质集成，确保了机械稳定性。钻石芯片耦合带有梯度变化折射率透镜的光纤模块，实现了“光进光出”的工作模式，大大缩小了探头尺寸，实现了钻石磁强计探头的高集成度。并进一步指出，采用双频共振技术可以同时进行磁场和温度场的同步实时测量，不仅通过温漂抑制提高了磁场测量的信噪比，还确保了传感器的温度稳定性。 该团队提出的制备工艺可以在晶圆级进行拓展，具有批量化制备的潜力，为建立高一致性、高灵敏度的可穿戴传感器阵列提供了可能性。目前钻石量子磁传感器整体尺寸仅有20×15×1.5 mm3，灵敏度达到2.03nT/√Hz。同时，该钻石磁传感器可以对小于0.5 mm（甚至更小）的目标区域进行近距离测量，具有在心磁、脑磁等弱磁信号探测场景的应用潜力，为后续实用化的可穿戴生物磁传感器提供了良好的研究基础。 该论文的第一作者单位和通讯单位为中科院上海微系统所，第一作者为博士研究生谢非，通讯作者为武震宇研究员和陈浩副研究员。该工作得到中国科学院战略性先导科技专项（XDC07030200）、国家重点研发计划（2021YFB3202500）、中科院科研仪器装备研制（YJKYYQ20190026）等项目的支持。 论文链接：https://doi.org/10.1063/5.0089732

产品介绍 细胞生长对培养环境有着极高的要求， 如温度、CO2浓度、剪切、培养基浓度等。尤其是动物细胞，生长周期较长， 对培养条件运行的连续性、 稳定性和可靠性提出了非常高的要求。 ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是ZHICHENG公司推出的具有我国自主知识产权的细胞振荡器新品。 该产品凝聚了ZHICHENG公司中国研发团队二十年恒温振荡器的专业设计经验和现代生物技术的应用经验，携手海外专家攻关，在引进、消化、吸收国外一线同类旗舰产品的基础上，再创新提高而形成的技术成果。 应用范围ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是生物培养在进入发酵培养前最完善的培养装置，可广泛应用于微生物细胞发酵、动物细胞和植物细胞培养， 在生物医药、食品开发、生物农业环境治理等领域进行微生物培育、菌种或细胞系筛选等有着很好的应用前景， 也可应用于对温度、供氧、剪切等具有较高要求的细菌培养、动植物细胞培养、杂交和生物化学反应以及酶反应研究。 产品特点三大系统：指纹（密码）识别电子门系统、手机天网系统、数据无线传输采集系统五大功能：恒温、振荡、恒湿，光照、CO2六大亮点：自保温聚氨酯壳体、杀菌加湿器、紫外高效灭菌、导流冲洗通道、便捷可卸托盘，绿色粘板功能介绍:? 基本功能(恒温振荡)1、ZHICHENG公司精密细胞培养振荡器，单层振荡培养箱体，振幅12.5mm、25mm、50mm三档可调。全温型；转速为30-300r/min，可调并显示。2、专利技术的单轴悬挂滑杆五驱自平衡驱动单元，连续工作时间长，耗能少，能承受不平衡负载。3、稳定性能高，设备可在最大负荷状态下不间断运行，在启动、运转和停止过程中能保持平稳，设备在重启（包括断电来电）后，维持原有设置自动开启。4、独特的空气循环系统，内外空气持续环流，保证培养过程中有充足的空气补入确保温场均匀性，使腔体内无温度死角。5、超温报警保护功能：l 当实测温度超过报警设定值时培养振荡器报警；l 当实测温度超过断电设定值时加热器停止工作。6、 超速报警保护功能:l 当实测转速超过报警设定值时培养振荡器报警；l 当实测转速超过最高转速时，振荡平台停止振荡。 ? 可选功能（恒湿培养）l 控制范围：40-90%RH，精度：± 5%RH（可修正）l 最新发明专利技术：1）采用金属模块腔体蒸发技术，体积小，效率高，反应快。2）腔体内多通道的独特设计，形成了一次加热蒸发、二次高温消毒、三次压缩增压的制湿技术， 最终形 成高达140℃的雾状蒸汽迅速喷射，均匀扩散，不易形成水滴，而且湿度分布非常均匀。 ? 可选功能（光照培养）l 两种光照单元供选择：（1）日光光照系统：模拟日夜光照环境（2）LED不同光波组合系统：波长主要集中在红橙光和蓝紫光波段区域，主要应用于光合生物的培养 ? 可选功能（CO2培养）l 浓度范围：0-20%l 控制精度：±0.2%（浓度5%时），显示精度：±0.1%（可修正）l 国际顶级品牌的红外传感器，确保控制的高精度和高稳定性l 控制方式：P.I.D（微电脑环境扫描微处理芯片）l CO2供气瓶可自动切换 ? 可选功能（OD在线检测）l 完全替代繁琐的手工定时采样测量方法，是一种自动化教学、科研设备l 采用非接触式检测技术，在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线l 可在线实时测量微生物细胞浓度的光密度（optical density,OD）值l 可选4、8、12和16通道, 适合正交试验、均匀实验和DOE设计实验l 可高效实现菌种筛选、培养基优化、发酵工艺优化研究和动力学分析l 根据研究需要，可更换激光波长，应用于酶、蛋白质等活性物质的检测 ? 可选功能（可选模块）l 具有短信报警等手机互联功能。l 数据无线传输采集系统。能更方便地记录设备的运行数据，实时监控摇床的运行状态。 ? 六大亮点l 一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体，保温性能良好，强化了箱体的密封效果，提高了操作的稳定性和安全性。l 拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器，腔体灭菌彻底，加湿效果良好。l 紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。l 导流冲洗通道，便于及时冲洗，避免细菌污染。l 托盘与箱门连动，装卸便捷。l 独特的绿色粘板，粘性和稳定性好，节省空间，易于清洗维护。 技术参数产品名称ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器控制方式P.I.D（微电脑环境扫描微处理芯片）显示方式5.6吋640×480点阵65K色真彩触摸式显示屏对流方式强制对流式振荡方式回旋振荡式驱动方式单轴驱动环境温度要求（℃）5～35工作室（个）1～3空气循环360m3/h曲线编程设定（段/步）反复、步调、温度阶梯、曲线编程设定：9/18(段/步)，每段时间：999.9（min）定时时间（min）0～9999温度传感器Pt100温度控制范围（℃）4～60温度分辨精度（℃）≤0.1温度波动度（℃）≤±0.1温度均匀度（℃）≤ 0.2（37℃时）可选功能湿度控制范围（%RH）40～90湿度控制精度（%RH）2～3湿度波动度（%RH）≤2振荡幅度（mm）∮12.5、25、50三档可调转速范围（r/min）30～300转速精度（r/min）≤±1平均照度（Lux）≥300紫外强度（mW/m2）≥400可选功能CO2传感器进口品牌的NDIR单束双波红外传感器CO2控制范围（%）0～20CO2控制精度（%）0.2（浓度5%时）CO2显示精度（%）0.1CO2恢复速度（开门1分钟后）≥95%（7天）测量通道选4、8、12和16通道可选噪音水平dB（A）≤70 dB（距离设备表面1m处）安全功能上、下限超温报警，上、下限超速报警，上、下限湿度报警，传感器故障报警，独立式过升防止器，独立式超温保护器（可调），独立式漏电、过电流跳闸保护，制冷机超荷保护，门与摇板连锁保护附属功能光照培养系统、自动停机、自动开机、温度/湿度表示校正、监视计时器、时钟显示、来电恢复、参数记忆、参数加密、可扩展RS-485接口制冷功能空冷式、R134.a 功率可控式制冷、无霜运行加速度柔性慢启动摇板数量1～3托盘类型粘性托盘（八块/单元）摇板尺寸（mm）850*450容积/单元（L）225最大装瓶量（支*容量）60*250ml 32*500ml 18*1000ml 10*2000ml 　8*3000ml 内胆尺寸/单元（长*宽*高）（mm）937*572*420外型尺寸/单元（长*宽*高）（mm）1080*960*590重量/单元（kg）98电源AC 220V 50/60Hz，1200W 创新点：一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体，保温性能良好，强化了箱体的密封效果，提高了操作的稳定性和安全性。 拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器，腔体灭菌彻底，加湿效果良好。 紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。 采用非接触式检测技术，在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线 精密细胞培养振荡器

“2024中国检测技术与半导体应用大会暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛”于2024年7月11-13日在上海虹桥新华联索菲特大酒店隆重举行。大会以“大会报告+分会报告+产品展览+高校科技成果展示+学术墙报+晚宴交流”的形式召开，91个口头报告专家及15个提供墙报的学生，分别来自于半导体检测领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体检测企业等。大会设立了包括集成电路晶圆级缺陷检测技术、半导体器件可靠性及失效分析、集成电路先进制造及封装技术、半导体检测设备及核心零部件等在内的15个分会场报告，多样的报告主题讨论极大促进了与会者之间的互动交流和融合创新。会场外也精心布置了国内多家知名企业展位，如安捷伦、珀金埃尔默、北方华创等，他们纷纷展示了各自在半导体量检测领域的新技术、新设备。会议期间，仪器信息网特别采访了安徽见行科技有限公司联合创始人孙洪明。在采访中，孙老师就见行科技在半导体量检测设备传感器方面的发展现状，见行科技系列产品技术优势、市场应用情况，最近一年取得的成绩以及未来的发展规划，后摩尔定律时代半导体量检测设备零部件面临的挑战和机遇等话题进行了深入的交流和分享。以下是现场采访视频：纳米级产品系列仪器信息网：近年来，贵公司在半导体量检测方面提供了什么样的解决方案及产品？孙老师：大家好，我是见行科技联合创始人孙洪明，也很高兴能够有机会参加仪器信息网采访，谢谢大家。见行是一个小微公司，主要提供三个系列的产品，一个系列是电涡流传感器，一个系列是电容传感器，还有一个是压电位移台，这三个系列的产品都是纳米级的。涡流、电容、压电材料是技术核心仪器信息网：其运用的主要原理与技术有哪些？孙老师：我给大家分别简单的介绍一下。电涡流传感器的原理是通过涡流的原理测位移，那么涡流大家都比较熟知的可能是家里的电磁炉，那么电磁炉是通过涡流产生热，那么我们电涡流传感器是通过探头产生的涡流在目标导体里边，涡流会对原来的电感和电阻产生影响，它跟位移有一个函数关系值，那么我们通过解调里边的电感和电阻的数值来反映距离的值。第二个电容传感器是两个极板，那么极板之间它有一个电容的容值，通过容值的这种分析来反映它的这种距离。那么第三个就是说压电材料，你给它一个电，那么它会有一个形变，这个形变是非常微小的，但是非常迅速，那么它也可以达到纳米级的这种促动，这是三个产品的基本原理。不断实现技术突破，成就见行特色优势仪器信息网：系列产品有哪些创新点？孙老师：比如说电涡流传感器，它最大一个突出点，它可以适应各种检测环境，它对检测环境不挑剔，比如说一些有油污、水污它都可以去适应，但它最大的一个弱点是它的温漂系数非常大，因为你比如说温度的改变，本身它的线圈的电阻值和电感值，它自身就会发生变化。全世界通行的方法都是说只用它的电感值的变化来反映它的距离，电阻值这个参数认为没有用。那么见行，利用电阻值的变化来反馈它的温度来进行闭环的温度补偿，也就是说我们在测量的时候，我们不用去测环境的温度，我们直接测电阻值，直接就能反馈出温度的变化。所以在温飘这个领域，见行在全球的领域是最优的。那么涉及到电容，因为我们涉及到纳米级的测量，就是说涉及到这种溯源和传递，比如说标准的定义，这个很难，那么如果我们去做的时候，包括现在我们去标定的时候，我们也用的是国外的一些仪器和设备，你在没有标准值的时候，那么如何做出自己的标准，那么见行它有自己的独特的这种工艺，比如说我们自己制作了我们自己的标准的这种探头。那么另外还有涉及到一些细节，比如说电容传感器探头接触面的这种工艺是极其复杂的，那么我们在这里边进行了极其深入的研究，那么研究的时候，我们要面对国情，一开始我们设计的也是全世界最领先的，但是国内制造不出来，我们的配套加工不出来，那么我们会降指标，后边又出现了良率的问题。比如说我们可以达到国外的这种水准，在国内这种良率，它只有百分之三四的时候，你也不可能进行产业应用和批产。经过不断的这种磨合，现在我们探头既能国内生产，良率指标又很高，然后又不弱于国外。那么再说到就是压电制动器，它是一个触动的一个装置，我们做的基本上都是闭环反馈，因为本身我们有了位移传感器，我们用的就是电容位移传感器它所反馈的，那么我们的电容传感器，在做促动器这个行业里边，见行的位移传感器应该是最好的，所以我们的反馈也是最好的，这就是见行的产品的这种特色和优势。我补充下，见行两个字，“见”就是看见，看见就是测量、传感，那么“行”就是制动、触动、推动。所以见行这两个字就代表着见行所从事业务。“看得见”又“看得准”仪器信息网：相关解决方案/产品市场应用情况如何？帮助客户解决了哪些问题？孙老师：现在见行传感器是最成熟的，那么传感器里边，尤其是电涡流传感器是最为成熟的，我们投入的时间和精力也是最多的，我们主要是帮助客户解决的是看见这个问题，看见这个问题其实就是一个测量的问题。那么比如说我们所有的量检测设备，这里边包括我们的光刻设备里边，那么首先第一个你要解决的是看见的问题，第一你看得见，第二你要看得准，这个问题是非常关键的问题，我们相当于给我们的下游的包括这次会议的一些设备商比如说量检测的设备，那么比如说键合类的设备，比如说光刻类的设备，那么首先它要解决看见的问题。见行在位移这个领域能提供全世界最先进的传感设备给我们的客户，助力他们更好的去发展。瞄准国内空白领域，注重零部件底层超越仪器信息网：您是如何进入这个行业的？能否简单说下公司发展历程？孙老师：这个可以聊一聊，因为今天会议是在上海，其实我去安徽合肥去创立公司之前，其实我就是在虹桥这一边是一个偶然的因素。那么我想去做一点事情，当时因为我们整个团队都是中国科学技术大学的，当时实验室有三个技术领域这个方向，那么我就当时用了半年的左右的时间去调研，调研我就选择了这个方向，选择这个方向的原因有几条，第一，这个的确是国内的空白，没有其他企业去做。第二它又足够的高端，因为全世界从事这个领域，能够达到纳米级的这种电容电涡流这种检测，包括制动，全世界也不会超过10家的这种企业。我们从事企业，就是说赚钱是我们的首要的目标，但除了赚钱，还得做一点有意义的事情。所以当时我就觉得这个方向这个领域应该是值得去做的，所以我们我回到合肥之后，跟我们几个合伙人，当时就决定在这个领域方向去发力去做，但是具体电容、电涡流传感器，包括压电制动系统应用到哪个领域和方向，我们当时并不是很清晰。然后后边的事情大家就知道了，美国和中国之间这种贸易制裁，一些核心的元器件，已经开始限定了之后，反而是给了见行一个机会。03年之前见行几乎没有做市场推广和宣传，客户都是通过一些媒体，通过一些有学术论文他们去查去找。那么在中国在这个领域这个方向，我们可以查连续十几年在这个方向都有科研，就是中国科学技术大学传感与制动实验室，然后找到实验室了，然后他就找到我们公司。说一下我们的营收，我们19年成立了公司，一直到22年8月份，我们基本上没有营收，因为那时候我们都闷头研发，但是在这个期间国内的一些Top级的一些企业它已经找到了我们，找到我们之后，我们当时是不卖给他东西，因为那时候东西我没有做好，因为我觉得我卖给你，我是不负责任，你可以免费去用，一直他就这么去用。原来都是客户找我们，几乎多数是通过论文和文献的方式，他找到我们的，然后他找到我们之后，他提出他的需求，我们就给他定制化的这种研发，然后一点点做。那么你看到22年8月之后，尤其是电涡流传感器，稳定了之后，我就开始进行销售。那么22年我的营收，订单额是400万左右，那么23年一年就达到2,400万，那么今年上半年已经达到了去年的营收这种水准，那么所以这也是我们前期都是客户来找我们，然后我们去帮他去把他这种功能去完善。那么在这个过程中，我觉得也是核心的元器件，或者是说产业的这种新兴者的必经的路径。那么产业链上下游要有一个紧密的一种结合。第一，做核心元器件也有做核心元器件的这种操守，你做这个事情你要做得好，你要做到极致，你要能跟全世界最顶级的企业进行PK，你要坚守这个原则，你有问题的东西不要去给客户，你给客户你会给他添麻烦。第二作为产业链，上游的企业对下游企业那也要有一个支撑。那么包括就是说你的资金价格或者是应用场景，真正是你的核心合作伙伴，你要给他去开放，你要去磨练，你要有给他这种成长空间。所以今天走到我们这种比较紧密的这种结合方式，用我的客户说，我们见行的电涡流传感器真正达到了世界领先的这种水准，因为这也是超出他们意料之外的。那么原来他们用国外的产品的时候，比如说我们说做光刻那一块，他的供应商，国外采用的供应商，同时也是荷兰A公司的供应商，那么A公司明确规定最顶级的那种产品，它的供应链是不可能给大陆地区的这些供应商的。如果所有的这种元器件都是这样，那么我们国内这种半导体的产业，你就是不可能存在超越，那么超越的根和源在哪？那么我们必须从最底层，比如说我一个电涡流传感器，那么可能在整个光刻机里边，10万个零部件里边，我只占一两个，那么这一两个重不重要？重要，如果所有10万个零部件，都能从最底层去超越国外，那么我们再加上材料再加上工艺，我们就有超越的这种可能。但是如果你不给产业这么小的这种根枝末梢，你不给他去成长的这种空间的时候，那么他没法成长起来，你就对付用的时候，永远我们是不会超越到国外的这种文化产业水准的。对标业界顶级企业，横向拓宽发展渠道仪器信息网：贵公司未来有哪些发展规划？孙老师：那么首先的第一点就是说面向于半导体的这种产业，见行现在只能是证明，我们现在所从事的这块业务，是被我们的产业被我们的合作伙伴认可了，只能是初步的证明了见行现在能够立足了。那么包括像这次会议，那么我们来也向产业做更多的这种学习，做更多的了解。那么看看见行能不能在整个半导体的这种产业链，无论是光刻设备、量检测设备、键合设备、封装设备里边是否能够从事更多的工作。那么第二，那么见行也想把见行这种前面经过市场实际的验证的这种模式，继续去横向的去推广，从事更多的种类或者是品类这种工作。那么另外本身就是说因为见行做的东西就是非常小，那么就是说见行也会在其他的领域，比如说我们会面向航天航空，比如说或者是像军工或者是一般的大众类的这种产业去发展。那么首先见行特征有几点，包括见行今天能做到这个水平的原因，就是说跟我们的出发或者是使命是相关的。第一，一定是对标国际最顶级的品牌的最顶级的这种产品，这点是不容置疑的。那么前面说到的其实是侥幸进入半导体这个行业，但是半导体对核心元器件的需求量非常小。那么第二个我对标的一定是有大市场的，因为在广在的泛在的其他的工业领域，我们还是有很多的核心的这种元器件，是被国外卡脖子的，因为制约工业的核心的三个要素就是传感、材料和工艺。那么见行尤其是传感领域，在更多的产业领域做出自己的贡献。研发投入不设限是见行高速发展的底气仪器信息网：随着芯片的制程需求越来越精密，您认为这对半导体量检测设备的零部件带来了哪些机遇和挑战？ 孙老师：现在这两天我参加会议的时候，大家更多讨论的就是摩尔定律，那么因为我刚刚上午参加一个会议，苏州一家企业他说他给出了一张数表，那么从22纳米制程之后，光刻这个领域，摩尔定律渐渐就开始失效，但是往更深度的时候，路线在短时间内是不可变的。那么这个时候就要求尤其是见行，从事精密这个领域的，就需要我们做更多的工作，那么去做更深入的这种研发。这种研发不只是一个全世界顶标级的这种企业，它不只是一种技术层面的研发，包括一些理论层面的这种支撑。如果你理论层面支撑不够的时候，你只跨越了技术的门槛的时候，你是到达不了国际顶尖的这种企业的。那么所以在这个方向的时候，新的产业和领域，更精密的时候，需要大家做更多的投入做更多的工作，尤其是研发的投入。这一点我补充一下，见行科技之所以能做到今天，包括当下见行做所有的研发，是不做限制的。我们的研发部门，他要什么仪器，可以买什么仪器，要什么设备，可以买什么，没有预算管制，无限制投入，因为我们的PK的是最顶级的企业。

【科学背景】随着柔性电子技术的迅猛发展，柔性触觉传感器因其在多种应用中的潜力而引起了科学家的广泛关注。柔性触觉传感器的核心概念是模仿人类皮肤的物理特性和感知能力，以实现对外部环境的高精度感测。这些传感器在工业自动化、人机界面、机器人操作和生物医学等领域具有重要应用前景。然而，由于其柔性的形式因子，这些传感器在与基于晶片的设备、商业芯片或电路板的集成方面面临诸多挑战。具体来说，现有的柔性触觉传感器面临以下几个主要难题：首先，一些用于制造这些传感器的弹性或复合材料无法使用传统的光刻和湿/干法刻蚀进行图案化，从而限制了触觉传感器的特征尺寸和空间分辨率。其次，构建柔性触觉传感器的过程通常需要转移、粘接等步骤，这些步骤阻碍了与其他基于硅片的设备和集成电路（IC）的单片集成。第三，大面积的柔性触觉传感器阵列通常具有固定设计，而为了满足多样的应用需求，需要可定制的空间分布和整体形状。有鉴于此，北京大学未来技术学院生物医学工程系助理教授韩梦迪研究员团队提出了一套创新的制造方法和设备设计方案。这些方案包括利用微电机系统（MEMS）技术制造柔性模块化触觉传感器，通过在传感器中引入具有内应力的二氧化硅（SiO2）层，使得可以构建用于测量机械刺激的三维微应变传感器（μSGs）阵列。这种方法与微电子工艺的兼容性使得这些传感器能够与其他传感器在硅（Si）晶片上进行单片集成，或配置成具有高空间密度的阵列。此外，这些传感器还具有模块化特性，使其与贴片、柔性印刷电路板（FPCB）及其他宏电子技术兼容，可以组装成大面积阵列，并与商业设备配合使用。【科学亮点】1. 本文首次展示了高密度集成的柔性模块化触觉传感器。这些传感器通过在晶片或柔性印刷电路板（FPCB）上布置二维和三维金属/合金细线，实现了与其他电子组件的无缝集成。这种设计克服了传统柔性传感器在集成中的挑战，提高了传感器的空间分辨率和适应性。2. 实验采用模块化设计和微电机系统（MEMS）技术，使得传感器能够在柔性印刷电路板上与商业电子产品配合，形成多种电子系统。这些系统具备了无线测量皮肤界面、生物力学信号连续监测和触觉信息空间映射的能力，展示了柔性传感器在不同应用场景中的兼容性。3. 实验表明，这些二维和三维金属/合金细线的触觉传感器能够准确区分法向力、剪切力和温度，并且对弯曲和拉伸等机械刺激具有免疫性。这种高空间分辨率和大面积覆盖的能力，使得这些传感器在机器人技术、生物医学和消费电子产品中具有广泛的应用潜力。【科学图文】图 1. 柔性模块化触觉传感器的设计与制造。图 2. 触觉传感器的表征。图 3. 由模块化触觉传感器构建的各种阵列。图 4. 由模块化触觉传感器和其他电子组件构建的多功能系统。图 5. 皮肤界面的触觉信息空间映射。【科学结论】本文的研究提供了关于柔性触觉传感器设计与制造的新视角，揭示了将这些传感器与电子组件无缝集成的潜力。通过利用光刻定义的金属/合金细线，这些传感器在三维空间中精准测量法向力、剪切力和温度，并对弯曲和拉伸等机械刺激表现出免疫性。这种设计不仅提高了传感器的空间分辨率和测量准确性，还扩展了其在机器人技术、生物医学和消费电子等领域的应用前景。尤其是高密度阵列、柔性多功能系统、大面积弯曲无敏感阵列和无线可穿戴贴片等示例，展示了柔性触觉传感器在微电子和宏电子技术中的兼容性及其实际应用潜力。研究表明，通过优化传感器的设计和集成策略，可以显著提升其性能，并为未来的技术进步提供新的机会。参考文献：Chen Xu et al. ,Three-dimensional micro strain gauges as flexible, modular tactile sensors for versatile integration with micro- and macroelectronics.Sci. Adv.10,eadp6094(2024).DOI:10.1126/sciadv.adp6094

介观尺度(10μm-1mm)的3D点阵结构为新应用领域提供了最佳的几何结构，例如轻质力学超材料、生物打印组织支架等。其周期性、多孔的内部结构为调谐3D点阵结构对力、热、电以及磁场的多功能响应提供了机会。借助这种结构优势，多材料3D点阵结构可用于实现器件的多功能性。由于传统微加工技术在复杂三维结构制造方面的局限性，而3D打印技术在制备复杂三维结构方面可较好的克服这一局限性。目前，研究人员基于挤压成型、立体光刻(SLA)等3D打印技术制备了金属点阵或者复合材料点阵实现结构的功能化。但是这些方法打印分辨率比较低，挤压成型制备的点阵需要高温烧结处理，工艺比较繁琐。面投影微立体光刻(PμSL) 3D打印技术具有超高的精度，可以实现介观尺度3D聚合物点阵结构的制备。纳米薄膜可以利用表面驱动的静电对化学吸附和物理吸附的敏感性而被用于化学和生物传感领域。因此，基于PμSL技术，通过纳米薄膜与3D聚合物点阵结构的集成化可以实现介观尺度传感器件的制备。近日，美国达特茅斯学院William J. Scheideler课题组基于面投影微立体光刻(PμSL) 3D打印技术结合原子层沉积技术(ALD)制备了多功能3D电子传感器。该团队基于摩方精密(BMF)超高精度光固化3D打印机 microArch S240打印了3D点阵结构，结构表面光滑，有利于电子薄膜的均匀沉积(图1)。采用原子层沉积技术先在聚合物点阵表面低温沉积一层Al2O3晶种层，然后再均匀沉积一层导体(SnO2，ZnO : Al)和半导体(ZnO)的金属氧化物薄膜材料，从而实现3D打印聚合物到多功能3D电子器件的转变(图2)。其中，Al2O3晶种层可以促进导电薄膜在聚合物点阵表面的生长。图1. 基于PμSL 技术制备的3D导电点阵结构 图2. 金属氧化物在3D打印点阵结构上的生长图3. 金属氧化物包覆的3D打印八面体点阵的电学性能图4. 3D导电点阵结构的传感性能 3D导电点阵结构电学性能的测试表明金属氧化物薄膜厚度、3D网络结构以及生长温度等均可影响结构的导电性能；同2D结构相比，3D导电点阵结构具有更大的比表面积，为电流传导提供更多的平行通道，因此，该结构的导电性能明显增强。研究结果发现，八面体导电点阵具有高比表面积、高理论预测电导率和热导率，因此研究者将其用于多模态传感器进行传感性能的研究并进行验证。结果表明3D几何结构不仅提高了传感器的灵敏度，而且增强了传感器对化学、热以及机械刺激的响应。该研究成果表明3D导电点阵结构在植入式生物传感器、3D集成微机电系统等介观尺度器件方面具有巨大的应用潜力，以“Transforming 3D-printed mesostructures into multimodal sensors with nanoscale conductive metal oxides”为题发表在Cell Reports Physical Science上。原文链接：https://doi.org/10.1016/j.xcrp.2022.100786官网：https://www.bmftec.cn/links/10