半导体电子元器检测方案_半导体电子元器行业应用

半导体中简并电子气稳定的电子激发
半导体和绝缘体中的激子由费米子系统、电子和空穴组成，它们的吸引相互作用促进了具有准玻色子性质的束缚准粒子。在存在简并电子气的情况下，这种激子由于自由载流子屏蔽而离解。尽管它们不存在，但我们在高达100℃的体锗掺杂GaN的带下边缘区域发现了明显的发射痕迹 K、模拟高自由电子浓度下的清晰光谱特征（3.4E19–8.9E19 cm−3）。我们对数据的解释表明，简并的三维电子气稳定了一类新的准粒子，我们将其命名为collexon。这些多粒子配合物是通过与费米气体交换电子而形成的。由于掺杂剂几乎理想地取代了主体原子，因此高晶体质量使得能够观察到collexon的潜力及其随着掺杂浓度的上升而稳定化。

厂商：天津瑞利光电科技有限公司

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上海伯东KRI离子源在半导体材料中的预清洗及刻蚀应用
半导体材料（semiconductor material）是一类具有半导体性能（导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩcm～1GΩcm范围内）、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。二氧化硅是制造玻璃、石英玻璃、水玻璃、光导纤维、电子工业的重要部件、光学仪器、工艺品和耐火材料的原料，是科学研究的重要材料。本文主要介绍上海伯东KRI离子源在半导体材料SiO2中的预清洗及刻蚀应用。

厂商：伯东公司德国普发真空pfeiffer

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紫外荧光法+电子半导体+半导体表面油污检测
随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，特别是对半导体圆片的表面质量要求越来越严，其主要原因是圆片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率，在目前的集成电路生产中，由于圆片表面沾污问题，在生产过程中造成了很多原材料的浪费。不能获取最高的经济效益。

厂商：普洛帝中国服务中心/普洛帝测控技术有限公司

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哈希应用案例---XOS-TAs 在电子半导体排放废水监测中的应用
背景介绍电子半导体行业近几年发展特别快，随之而来的是生产过程中产生了大量的有毒有害废水，包括酸碱废水、含氟废水、金属废水、有机废水、氰化物废水等，这些废水必须经过处理达标后才能排放。目前，电子半导体行业没有针对性的污染物排放标准发布，其执行的标准仍为《污染物综合排放标准》，但是，电子半导体企业对废水排放有严格的内控指标。电子半导体企业除了监控 COD、氨氮等常规指标外，也非常重视砷、铅等一类重金属污染物的排放量。厦门某电子公司于 2015 年采购了一台 XOS 总砷分析仪，用于排口废水总砷监测，测试数据通过 MODBUS 通讯(仪表自带 RS485 接口)传输至 PLC，实时上传至当地环保局。仪表从企业正常生产后开始运行，连续运行两个多月无需维护，测量数据稳定，用户反馈较好。更多关于本案例的详情，请您下载后查看。

厂商：哈希公司（HACH）

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指定位点的化学掺杂在有机半导体晶体表面的电子分布表征解决方案
本文描述了一种独特的、特定位点的n型掺杂机制，用两种有机半导体的单晶做实验，用特定位点的兴奋剂消除电子陷阱并增加背景电子浓度，使晶体拥有更优异的导电性。掺杂晶体组成的场效应晶体管（FET）的电子传输特性得到显著改善。增强了FET的电特性。表面化学掺杂是专门针对晶体层间边界，即已知的电子陷阱，钝化陷阱并释放流动电子设计的掺杂方法。化学方法掺杂对晶体的电子传输的影响是巨大的，FET中电子迁移率增加了多达10倍，并且其与温度相关的行为从热激活转变为带状。研究结果表明新的位点掺杂有机半导体的策略与传统的随机分布取代的氧化还原化学不同，这个有趣的结果表明针对特定位点的掺杂可能是一种富有成效的新的有机半导体材料掺杂的策略，拓展了有机半导体材料在电子学方面的应用前景。

厂商：冠乾科技（上海）有限公司

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COXEM台式电镜在电子半导体领域应用（中文）
使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时，需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法，都是非常重要的。

厂商：北京天耀科技有限公司

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inTEST 热流仪半导体元器件高低温测试
半导体器件 semiconductor device, 是导电性介于良导电体与绝缘体之间, 利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件, 可用来产生, 控制, 接收, 变换, 放大信号和进行能量转换.

厂商：伯东公司德国普发真空pfeiffer

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COXEM台式电镜在电子半导体领域应用（中文）
使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时，需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法，都是非常重要的。

厂商：北京欧波同光学技术有限公司
XRM应用分享 | 半导体芯片（封装）/电子元器件
目前的半导体产业正面临CMOS微缩极限的挑战,业界需要通过半导体封装技术的不断创新和发展来弥补性能上的差距。

厂商：束蕴仪器（上海）有限公司

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科众精密-半导体晶圆为什么要测接触角，晶圆疏水性测量
水滴角接触角测量仪是一种用于测量液滴与固体表面接触角的仪器，可以用于研究半导体晶圆的表面润湿性能。接触角是液滴与固体表面接触时形成的角度，该角度反映了晶圆表面的亲水性或疏水性，以及液体在固体上的润湿性，包括润湿速度的分析。通过晶圆水滴角仪来测量半导体晶圆，常用于实际的操作过程中。

厂商：东莞市科众精密仪器有限公司

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使用微型 ATR FTIR 成像系统在电子和半导体行业中进行无损故障/缺陷分析
电子和半导体行业高度依赖于故障和缺陷分析，以最大程度提高工作效率并缩短昂贵的停机时间。随着技术的不断发展，生产出的设备越来越小巧，而其生产工艺也越来越复杂精细。因存在颗粒物和化学污染物引起的高成本停机对正常生产操作的影响越来越大。任何污染物的出现都需要停止生产过程，同时准确并可靠地表征缺陷、确定污染源并设法补救。最大限度缩短完成这一过程所需的时间，实际上能够节省数百万美元之多。安捷伦 Cary 620 化学成像系统利用 FPA（二维矩阵检测器元件，可产生行和列像素）来采集精密组件表面的真实组成图像。

厂商：安捷伦科技(中国)有限公司
X射线衍射成像技术(XRDI)在半导体退火制程中进行晶圆破裂和缺陷形成机理诊断的应用
X射线测量技术已经被逐步应用于半导体集成电路芯片的生产制程中。在半导体生产制程中，硅晶圆内部的不可视缺陷 (NVD, Non-Visual Defect) 以及晶圆破片(Wafer Breakage)是器件生产中面临的严重问题，导致良率降低、制造成本增加、生产机器诊断和维护成本增加等。晶圆内部出现的不可视微裂纹可能会导致晶圆的破片，位错和滑移带等类型的内部晶格缺陷会降低电子设备的性能和良率。

厂商：秉创科技（无锡）有限公司

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微波消解半导体薄膜材料
半导体膜是指由半导体材料形成的薄膜。随着制备半导体薄膜的技术不同，在结构上可分为单晶，多晶和无定形薄膜。半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。我们选择一种半导体薄膜材料，探索最适合的消解参数，有利于后续对多种无机元素的快速准确测定。

厂商：海能未来技术集团股份有限公司

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微波消解半导体薄膜材料
半导体膜是指由半导体材料形成的薄膜。随着制备半导体薄膜的技术不同，在结构上可分为单晶，多晶和无定形薄膜。半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。我们选择一种半导体薄膜材料，探索最适合的消解参数，有利于后续对多种无机元素的快速准确测定。

厂商：上海新仪微波化学科技有限公司

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爱丁堡光谱系列在半导体行业中的应用解决方案
半导体是电子产品的核心,是信息产业的基石。半导体行业已成为全球重要的战略性产业之一。随着全球经济的发展,半导体市场需求与竞争也不断增加,对半导体创新技术和材料迭代更新均提出了更高的需求。目前,半导体材料作为整体行业重要的上游支撑材料,如今已发展到四代半导体,在这些材料提纯制备和生产过程中,其物理性质如晶型结构、杂质含量。缺陷类型及浓度、应力及应变等决定了最终产品的各种性能。爱丁堡分子光谱提供显微拉曼、光致发光及傅里叶红外表征技术,协助生产过程对这些材料属性进行监测与把控。

厂商：天美仪拓实验室设备（上海）有限公司

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上海伯东 Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-C 用于半导体晶圆刻蚀
某半导体公司为了去除晶圆反应表面产生的反应产物, 进而提高反应效率, 同时提高晶圆的均匀度, 采用 Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-C 用于半导体晶圆刻蚀.

厂商：伯东公司德国普发真空pfeiffer

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共聚焦显微镜+半导体激光器+缺陷检测及尺寸测量
利用共聚焦显微镜，进行半导体激光器的晶圆缺陷检测，以及波导结构的尺寸测量

厂商：日本lasertec株式会社

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半导体HAST高压加速老化试验箱
在电子行业中，半导体技术一直是一个不可或缺的领域。而在半导体技术中，柔性材料PCB（Printed Circuit Boards）被越来越广泛地运用于各种电子产品中。这些柔性材料的 PCB 能够在弯曲、拉伸等不同形状的设备中灵活运用，具有很高的适应性和可靠性。然而，随着电子设备的不断进步和发展，柔性材料 PCB 面临着各种环境和使用条件下的耐久性及可靠性挑战

厂商：广东德瑞检测设备有限公司

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半导体材料检测应用文集
赛默飞世尔科技作为科学服务行业的领导者，凭借其离子色谱和电感耦合等离子体质谱和辉光放电质谱的技术实力，不断开发各类半导体材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，为半导体集成电路制造行业提供多种解决方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品、晶圆基材和靶材等各方面，全方位满足半导体生产对相关材料的质量要求，从完整制程出发提供全面可靠的分析技术，促进行业整体质量水平的提高，帮助半导体客户建立起完整质量控制体系，促进中国半导体行业与国际水平接轨。

厂商：赛默飞色谱与质谱

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海能仪器：硫磷混酸体系用于半导体研磨剂（液）微波消解（微波消解法）
磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式，抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控，对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法，来解决研磨剂成分分析。下面，本文以某研磨剂为样本，探索研磨剂的微波消解方法。

厂商：海能未来技术集团股份有限公司
平顶光束整形器在半导体工业行业的应用
衍射光学元件（DOE）在半导体工业的多种应用中广泛使用，主要工作在紫外和可见波段。高质量的UV熔石英DOE在直写刻蚀、晶圆检测中表现出优秀的性能稳定性。在这类应用中，DOE的角度精确度、热稳定性和高损伤阈值尤为重要。

厂商：先锋科技（香港）股份有限公司

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半导体材料快速温变试验检测瑕疵暴露实验
一、方案概述本方案利用快速温变试验箱对半导体材料进行测试，以暴露其在温度快速变化环境下可能存在的瑕疵。通过对实验设备、条件、步骤及结果分析的详细规划，为半导体材料的质量评估和改进提供依据。二、实验目的检测半导体材料在快速温变环境下的性能表现，暴露潜在瑕疵。确定半导体材料的温度耐受性和可靠性。为产品设计和质量控制提供数据支持。三、实验设备及材料快速温变试验箱，具备精确的温度控制和快速变化能力。各种半导体材料样品。测量设备如显微镜、电子显微镜、X 射线检测仪等。数据记录设备。四、实验条件设定合适的温度范围、温变速率、循环次数和环境湿度。确保实验环境稳定，避免其他因素干扰。五、实验步骤准备阶段：检查设备状态，选择样品并记录初始数据，安装样品。实验过程：设置试验箱参数，启动测试，定期观察记录。后处理阶段：外观检查、物理结构和化学成分检测，整理分析数据。六、结果分析外观检查结果分析，判断是否有裂纹、变形等现象及原因。物理结构检测结果分析，研究微观结构变化对性能的影响。化学成分检测结果分析，分析元素组成和含量变化的影响。性能参数变化结果分析，探讨温度变化对各项性能参数的影响。七、结论与建议根据实验结果评价半导体材料性能，提出改进建议。

厂商：东莞市皓天试验设备有限公司

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半导体工厂中的氦气泄漏检测
智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器，这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业，现代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如，在半导体生产设施（被称为“晶圆厂”）投入运行后，需要以测量压力上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可，才能批准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值，则晶圆厂关闭，并启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后服务体系，提供最佳专家支持（甚至为现场泄漏检测提供支持）。

厂商：普发真空技术（上海）有限公司

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赛默飞半导体全产业链解决方案
半导体行业是国民经济支柱性产业之一，多个“十四五”相关政策均将集成电路列入重点发展项目。随着芯片制程从微米进入到纳米时代，逐渐达到半导体制程设备和制造工艺的极限，细微的污染都可能改变半导体的性质，对于产线的良率管理和提升成为半导体工业界面临的重要挑战！赛默飞作为科学服务领域的领导者，可为半导体行业关键环节提供多层次技术支撑，领先的离子色谱、电感耦合等离子体质谱仪、气质联用仪和液质联用仪等技术可为半导体支撑材料、晶圆制造以及下游应用提供痕量离子态杂质、痕量金属杂质、有机态杂质及材料研发等提供稳健可靠的分析方法，助力全面提升产品良率！

厂商：赛默飞色谱与质谱

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扫描电镜在半导体失效分析中的应用案例分享
失效分析对于纠正设计和研发错误、完善产品、提高产品良品率和可靠性有重要意义，飞纳电镜可以提供简单、高效、精确的电子半导体材料检测方案，对于失效模式的确定有极大的帮助。

厂商：复纳科学仪器（上海）有限公司

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高压加速老化测试箱测试半导体封装之抗湿气能力方法
PCT高压加速老化测试箱也称为压力锅蒸煮试验或是饱和蒸汽试验,最主要是将待测品置于严苛之温度、饱和湿度(100%.H.饱和水蒸气及压力环境下测试,测试待测品耐高湿能力,针对印刷线路板(PCB&FPC),用来进行材料吸湿率试验、高压蒸煮试验等试验目的,如果待测品是半导体的话,则用来测试半导体封装之抗湿气能力

厂商：上海荣计达仪器科技有限公司

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用和频光谱（SFG）方法测量有机场效应晶体管半导体/绝缘体界面累积电荷分布
采用立陶宛Ekspla公司的由PL2231-50型脉冲皮秒激光器，PG501-DFG1P高能光学参量发生器构成的和频光谱测量系统，对有机场效应晶体管半导体/绝缘体界面处累积电荷分布进行了实验测量研究。

厂商：北京欧兰科技发展有限公司

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半导体芯片高低温湿热性能测试方法
高低温湿热试验箱是一种专门用于对半导体芯片和电子元器件进行高温、低温和湿热环境测试的设备。它可以模拟不同的环境条件，以评估芯片和元器件在极端温度和湿度下的性能和可靠性。

厂商：上海荣计达仪器科技有限公司

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快速温度变化试验箱对半导体表面温度控制解决方案
快速温度变化试验箱符合半导体表面温度控制的试验标准，根据温度循环试验和温度影响的许多要求，电动汽车和汽车电子的相关国际规范，其主要试验也是基于待测产品表面的温度循环试验。

厂商：上海林频仪器股份有限公司

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上海伯东 HVA真空阀门在半导体领域的应用
真空阀门在半导体领域的应用主要体现在其对于气体流量和压力的精确控制上。半导体制造过程中，对环境的稳定性和可控性要求极高，因为任何微小的气体流量或压力变化都可能对半导体的质量和性能产生重大影响。真空阀门的使用可以确保半导体的质量和性能，不仅提高了半导体制造的效率，也推动了半导体技术的不断进步。

厂商：伯东公司德国普发真空pfeiffer

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半导体电子元器

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