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标准数字压力计

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标准数字压力计相关的论坛

  • 0.05级活塞式压力计与0.05级数字压力计比较

    以(0.04~0.6)活塞式压力计为标准值,测出来的数字压力计的值为41.75KPa, 81.11KPa, 121.00KPa, 160.80KPa, 200.60KPa,240.50KPa,280.50KPa,320.52KPa,360.35KPa,400.44KPa,,请问为什么数值会越来越小,两套设备都是合格的!

  • 气象专用高精度数字压力计

    高精度压力数字压力计以其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。应用领域:实验室,工业现场等LPG2500高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。产品特点. 精确度最高达到:0.01%FS. 支持多通道. 人性化智能设计. 支持外部通讯. 可用于差压表测试等. 多精度可选择:0.01%、0.02%、0.05%. 工作最大压力范围可订制应用客户:理化研究所、中国物理所等。服务理念:系统软件终身免费服务;定期进行用户回访;免费系统使用培训提供7X24小时服务,服务热线:13520277456选购配件l 工业级仪表箱:工业级仪表箱用于 LPG2500的运输,也可作为LPG2500空运容器。箱子由高强度抗冲击材料做成,外观为黑色,包含一个把手和一个伸缩拉杆;箱体内部专门根据LPG2500定制的高密度EVC泡沫,并且箱体内具有设备备件的储存空间。仪表箱体结实的特性和在恶劣环境的对设备的保护,非常适合成为LPG2500运输的保护箱体。l 校准证书每台LPG2500出厂时可溯源至计量院,可代送国家计量单位出具证书。

  • 气象专用高精度数字压力计

    气象专用高精度数字压力计

    [font=&][color=#333333]高精度压力数字压力计以其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。[/color][/font][font=&][color=#333333]应用领域:实验室,工业现场等[/color][/font][font=&][color=#333333]LPG2500高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。[/color][/font][font=&][color=#333333]产品特点[/color][/font][font=&][color=#333333]. 精确度最高达到:0.01%FS[/color][/font][font=&][color=#333333]. 支持多通道[/color][/font][font=&][color=#333333]. 人性化智能设计[/color][/font][font=&][color=#333333]. 支持外部通讯[/color][/font][font=&][color=#333333]. 可用于差压表测试等[/color][/font][font=&][color=#333333]. 多精度可选择:0.01%、0.02%、0.05%[/color][/font][font=&][color=#333333]. 工作最大压力范围可订制[/color][/font][font=&][color=#333333]应用客户:理化研究所、中国物理所等。[/color][/font][font=&][color=#333333]服务理念:系统软件终身免费服务;[/color][/font][font=&][color=#333333]定期进行用户回访;[/color][/font][font=&][color=#333333]免费系统使用培训[/color][/font][font=&][color=#333333]提供7X24小时服务,服务热线:13520277456[/color][/font][font=&][color=#333333]选购配件[/color][/font][font=&][color=#333333]l 工业级仪表箱:[/color][/font][font=&][color=#333333]工业级仪表箱用于 LPG2500的运输,也可作为LPG2500空运容器。箱子由高强度抗冲击材料做成,外观为黑色,包含一个把手和一个伸缩拉杆;箱体内部专门根据LPG2500定制的高密度EVC泡沫,并且箱体内具有设备备件的储存空间。仪表箱体结实的特性和在恶劣环境的对设备的保护,非常适合成为LPG2500运输的保护箱体。[img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433047774_606_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433047676_8628_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][img=,520,520]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261433046017_1593_5627570_3.jpg!w520x520.jpg[/img][/color][/font][font=&][color=#333333]l 校准证书[/color][/font][font=&][color=#333333]每台LPG2500出厂时可溯源至计量院,可代送国家计量单位出具证书。[/color][/font]

  • 压力传感器和数字式压力计区别在哪里

    请问各位高手,小第最近遇见个问题,客户问我压力传感器和数字式压力计有什么区别,我一时间回答不上来,他们的工作原理有什么不同呢?请哪位大哥帮我解释下好吗?

  • LPG2500高精度数字压力计技术参数

    [b][font=宋体]概述:[/font][/b][font=宋体] [/font][font=宋体]高精度数字压力计可测量当前压力。精确定度可达到:0.01%,解决现场测量标准,比如:实验室测量当前大气压力,达到高精度要求。解决风洞微压测量和高压风洞测量。其量程的灵活匹配,最大限度满足客户需求。此设备标配为单通道单模块,还可以选装大气压参考模块以模拟表压和绝压。[/font][font=宋体]可根据用户具体需求定制。这个特点使LPG2500特别适合用于需要对不同量程的压力装置进行数据比对的场合。[/font][b][font=宋体]技术参数:[/font][/b][font=宋体]1) [/font][font=宋体]精确度 : 0.01%、0.02%、0.05%可选;[/font][font=宋体]2) [/font][font=宋体]量程范围:-0.1~40MPa;[/font][b][font=宋体]3) [/font][/b][font=宋体]泄露:密封0泄露;[/font][font=宋体]4) [/font][font=宋体]系统供电:220VAC,1A; [/font][font=宋体]5) [/font][font=宋体]压力接口:7/16-20内螺纹接口;[/font][font=宋体]6) [/font][font=宋体]支持多通道:最多4通道;[/font][font=宋体]7) [/font][font=宋体]重量:约3kG;[/font][font=宋体]8) [/font][font=宋体]支持绝压及表压,可用于差压表测试等;[/font][font=宋体]9) [/font][font=宋体]选装大气参考:支持模拟;[/font][font=宋体]10) [/font][font=宋体]工作环境:15~55℃,5…95%RH;[/font][font=宋体]11) [/font][font=宋体]时尚外观:7寸大显示屏触摸操作;[/font][font=宋体]12) [/font][font=宋体]控制:触摸屏操作;[/font][font=宋体]13) [/font][font=宋体]可远程通讯操作,支持:RS232与RS48[/font][font=宋体]5[/font][font=宋体]。[/font][font=宋体] [/font]

  • 【原创】手持式压力计

    【原创】手持式压力计

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/09/201209051017_388774_2571111_3.jpgK0601手持式压差计是一种测量精度高、性能稳定操作简便的多功能压力计。该仪表根据压力源的波动情况选择实验室、标准工况及复杂工况三种测量方式,并具有温度显示和数据自动记录功能。该仪表广泛应用于气体的正压、负压、差压的测量。 分辨率:0.1Pa、1Pa 精度等级:0.5FS、1.0 FS 工作温度:-20-60℃电源:9V DC重量:0.3Kg外形尺寸:1407025(㎜) 液晶显示,数字直读、数码清零温度显示和9组数据自动记录功能自动温度补偿和智能数值稳定功能电池连续使用最高可达100小时以上功能选择和数值稳定功能,适合各种工况状态使用原装进口微差压传感器、高分辨率、高精度、高稳定性 常用量程范围:(单位:Pa 可根据客户需求定制)

  • JJG1037《涡轮流量计》中对温度计(和压力计)的要求

    JJG1037《涡轮流量计》,对测量被检流量计和标准流量计中检定介质的温度计和压力计的要求:所用温度计(和压力计)的测量误差应在流量计最大允许误差的1/5以内。显然温度(和压力)与流量不是同类量,我们应该理解为:所用温度计(和压力计)的测量误差所造成的流量误差,应在流量计最大允许误差的1/5以内。但是,这样的检定条件够间接的,具体我们该取准确度等级为何的温度计(和压力计)呢?请版友们各抒已见!

  • 【原创】推拉压力计的特点

    推拉压力计是一支体型轻巧、操作简单,易于携带,且精度高之多用途品管试验用拉压力计。峰值(PEAK)和瞬间值(TRACK)的转换,只要转动设定钮即,操作轻而易举,迅速准确。备有AK(Kgf刻度板)、AN(N刻度板)、NK(Kgf和N双刻度板)三种类,范围从1Kgf(10N)至50Kgf(500N)可供选择。特点具有高解析度 1 / 200的刻度板清晰易读。机体轻巧 机体重量轻,单手操作很灵活。高精度 精度为全刻度的0.5%。 该推拉压力计规格丰富 根据用途,从1Kgf至50Kgf共8种规格及3种刻度板可供选择。操作性佳 旋转设定钮,峰值的抓取或间值的测试,轻而易举。配合试验机台,精度更佳 安装于试验机台上使用,测试值稳定,再现度高,使品质更有保障。可同时看到N和Kgf两种单位 不论N的单位或Kgf单位均可在1支拉压力计做到,一举两得。

  • 《锰铜电阻压力计(静态)校准规范》征求意见稿

    [align=center][b][size=18px][color=#0000CC]关于征求《锰铜电阻压力计(静态)校准规范》[/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=18px][font=仿宋_GB2312][b][color=#0000CC]压力国家计量技术规范意见的通知[/color][/b][/font][/size][/b][/align][align=left][font=仿宋_GB2312][color=#0000cc][size=16px]有关单位:  根据总局下达的国家计量技术规范制修订计划,全国压力计量技术委员会已完成《锰铜电阻压力计(静态)校准规范》计量技术规范征求意见稿。  为了使国家计量技术规范能广泛适用和更具操作性,特向全国有关单位征求意见和建议。希望各有关单位在百忙之中抽出时间对征求意见稿提出宝贵意见和建议。  征求意见截止日期2021年4月30日,意见或建议可以通过邮件发送至第一起草单位联系人邮箱同时抄送全国压力计量技术委员会秘书处邮箱。。  第一起草单位联系人信息:  洪扁  联系电话:15901826980  电子邮箱:hongb@simt.com.cn  秘书处联系人:王灿  电子邮箱:MTC11@simt.com.cn附件下载:[url=http://www.cma-cma.org.cn/newjlfgzxd/wyh11/20210319/mtylj.rar]《锰铜电阻压力计(静态)校准规范》征求意见稿及其它文件[/url][/size][/color][/font][/align][align=center][size=16px][font=仿宋_GB2312]全国压力计量技术委员会秘书处[/font][font=仿宋_GB2312]2021年3月18[/font][/size][size=16px]日[/size][/align][b][size=18px][font=仿宋_GB2312][b][color=#0000CC][/color][/b][/font][/size][/b][align=center][/align]

  • 【原创大赛】解析压力表校准工具——活塞式压力计

    【原创大赛】解析压力表校准工具——活塞式压力计

    机械式压力表是一种广泛使用的仪表,通常采用活塞式压力计进行校验。活塞式压力计作为一种基础的压力标准器,主要用于企事业单位的计量室实验室,在生产和科学实验中作为压力基准器使用。下面拆解一台量程为0.04MPa~0.6MPa的活塞式压力计。一、外观摆在工作台上的机器:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272204_568168_1807987_3.jpg各部分名称:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272205_568174_1807987_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272204_568170_1807987_3.jpg该机器型号YS-6,测量范围0.04MPa~0.6MPa,精度等级为0.05级(即0.05%,校核仪器精度都很高呵),西安仪表厂2010年8月生产:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272204_568171_1807987_3.jpg二、工作原理绘制仪器结构示意图如下(未画出检测禁油仪表时,接入的油水隔离器):http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272204_568172_1807987_3.jpg仪器工作原理:活塞式压力计是根据流体静力学平衡原理和帕斯卡定律设计制造的。液压力由压力发生器产生,转动旋转手柄(摇把),丝杆推动工作活塞挤压工作液,将压力传递给测量活塞。测量时,托盘上放置标准砝码,测量活塞受到的液压作用力与活塞、托盘及标准珐码的质量所产生的压力相平衡时,测量活塞被托起并稳定在一定位置上,此时,标准压力表的读数就是压力读数,因此可以判断出被校压力表的准确性。三、仪器主要零件拆解1、拆油杯油杯用于给液压系统加液压介质——通常是特定的液压油,0.04~25MPa是变压器油、蓖麻油或与煤油的混合油;25MPa以上传压介质采用粘度很小的癸二酸二异辛酯,从而保证压力计有极高的灵敏度。旋下油杯截止阀手轮:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568180_1807987_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568181_1807987_3.jpg底部是针型截止阀:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568182_1807987_3.jpg2、拆油水隔离器在校验氧气表、乙炔表等严禁与油接触的压力表时,必需接入油水隔离器进行隔离(其它类型表可以不接入隔离器,直接接在被测表接口)。用六方扳手拆下隔离器排泄螺钉:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568183_1807987_3.jpg孔内是以前工作时留下的液体,工作完后没有及时排除:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568184_1807987_3.jpg隔离器下部螺纹,与仪器被测表接口相连:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568185_1807987_3.jpg这是取下的油水隔离器:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568186_1807987_3.jpg旋开排泄螺钉,倒出隔离器上部水压室的工作介质水,量不少,水中混有油、发黑,已经变质,如果直接用于禁油仪表测量,是非常危险的事:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272213_568187_1807987_3.jpg将隔离器夹在台钳上,用了很大的力,才将其旋开:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568188_1807987_3.jpg上部的隔膜被压凹没复原;下部是油压室,有一些锈蚀:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568189_1807987_3.jpg用平口改刀撬出隔膜:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568190_1807987_3.jpg取下隔膜,这是上部水压室,内壁已被腐蚀,渣滓不堪入目:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568191_1807987_3.jpg渣滓是内部的防腐层脱落块(可能是某种塑料喷涂层),说明内部防腐工艺没过关:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568192_1807987_3.jpg用清洁剂、钢丝球进行清洗:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568193_1807987_3.jpg清洁后的图片,可以看出,机件是普通钢,镀铜后,再覆涂塑料,但工艺不过关,才短短几年时间,防腐层就完全失效:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272214_568194_1807987_3.jpg这是清洗后的隔离器全部零件:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568195_1807987_3.jpg该油水隔离器是隔膜型,绘制结构示意图如下:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568196_1807987_3.jpg油水隔离器工作原理:首先将下接头接在仪器被测表接口上(此时关闭被测表管道截止阀),松开排泄螺钉和上接头,将清洁水从上接头加入,直到水从排泄孔漫出,然后旋上排泄螺钉和上接头,将被测表安装在上接头,旋紧。启动压力发生器,打开截止阀,管道内的油进入隔离器油压室,将压力通过隔膜传递给水压室的水,然后进入被测表。工作完后,首先将压力发生器摇把退回原位(即给管道系统降压),关闭被测表油压截止阀,取下被测表。工作一段时间后,被测表没有压力显示,检查水压室的水是否减少,补充加入水即可。3、拆卸测量活塞http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568198_1807987_3.jpg旋下托盘下面活塞缸的螺纹帽:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568199_1807987_3.jpg取出活塞(杆):http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568200_1807987_3.jpg再取下活塞缸:http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/09/201509272215_568201_1807987_3.jpg取下的活塞缸及活塞(杆)。活塞和活塞缸采用高强度,高硬度和低温度线胀系数的合金钢、

  • 【分享】U型管压力计的使用和安装

    [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2007/01/200701111818_38605_1644966_3.gif[/img] U型管压力计的使用和安装 U型管压力计属液柱式压力计。根据流体静力学原理用一定高度的液柱所产生的静压力平衡被测压力的方法来测量正压力、差压和真空度.由于它结构简单、坚固耐用、价格低廉、使用寿命长若无外力破坏可永久使用,读取方便、而且在0.1MPa范围内其测量准确度比较高,并可通过注入不同的工作液而灵活地测量不同介质的正压力、差压和真空度.因此被广泛地用于工矿企业和科研院所各部门.U型管压力计的U型管是用高硼玻璃加工而成,其物理和化学性质稳定透明度好且不易碎裂,安装架是用优质木材加工的平板,可根据现场工作需要在上面灵活的钻孔和安装挂勾等配件.U型管压力计的安装可悬挂在墙壁和安放在工作台上,再用橡胶软胶管将被测介质接口与U形管的一个或二个管口连接, 安装中应注意尽可能地保持垂直这样可提高测量精度,读数时眼睛应与液面平齐,以工作液弯月面顶部切线为准读取液面高度.工作液注入量为标尺刻度的1/2处为好,常用的U型管压力计工作液有:水、水银、酒精、四氯化碳、三溴甲烷等.其测量公式为:P=(ρ1-ρ2)hg。式中: P为被测介质的压力即物理学中的压强.ρ1为工作液的密度。ρ2为被测介质的密度。h为液注高度差。 g为当地重力加速度(m/s2) 一般取9.8(m/s2).使用中还应注意被测压力必须小于或等于U型管压力计的测量范围的上限值,并注意保持U型管压力计管内壁及工作液的清洁纯净,不用时应将橡胶软胶管口扎紧或用纱布或者棉花堵住管口,以保持U型管压力计的测量精度。 武汉仪器仪表-吴欣民 027-62411040,027-82429843 E-mail:zpzgwd@126.com http://zpzgwd.blog.bokee.net

  • 如何选择智能化标准压力表

    您还在使用单一的压力标准表吗?你还在为标准表的送检而浪费精力吗?工业飞速发展的时代,计量行业也逐步走上了智能化的道路,对标准器具的选择在精准之上提出了智能、便携等新的需求。华信仪表作为中国计量行业的领头羊,研发生产的HX601B智能压力校验仪已经达到世界水平,远销海内外。一、高智能满足高要求压力校准标准器已经摆脱了指针读数的时代,HX601B智能压力校验仪引领了压力校准标准智能新时代,实现数据补偿、数字通讯、数字校准功能,带有非易失性存储器不怕断电丢失,完全满足您对智能化程度的要求。二、单机多用途,覆盖各种压力测量压力校准器已经不满足于单一压力测量,HX601B智能压力校验仪功能强大,具有压力测量及高精度直流电压、电流测量功能,并且具有DC24V输出功能,可以直接为检压力变送器提供电源。适用于现场及实验室校验精密压力表、普通压力表、压力变送器、压力传感器、数字压力计、血压计和其他压力仪器仪表,以及精密压力测量等。三、衣兜携带超便携便携是工业设备发展的新方向。HX601B智能压力校验仪总体重量不到0.5kg,轻松装包携带。HX601B智能压力校验仪以其强大的功能、军工质量水平赢得了用户的一致好评,大屏幕液晶,读数醒目,9种压力单位,RS232通讯接口,为使用者提供各种便利方式。。 HX601B智能压力校验仪在用户的赞美声中将进一步升级,更加稳定的功能,漂亮外壳设计,在方寸间,尽显华信风采。

  • U型真空压力机计的校准

    [color=#444444]大家买到的U型真空压力机是怎样校正的啊?[/color][color=#444444]有没有什么专门的仪器?[/color]

  • 求燃气表现场检测密封性用U形压力计结构及原理

    [b][color=#ff0000]继:[/color][/b]请教燃气表出口管上用丝堵堵着的该孔起什么什用哦?_仪器检定/校准/计量仪器社区_仪器信息网论坛 https://bbs.instrument.com.cn/topic/8148844~~~~~~~~~~~~~~~~[align=left][font='微软雅黑',sans-serif][color=black][back=white] 通过围观了解些燃气表密封性检测过程:工作人员通过该孔连接着一介质为水的U形压力表,并进行了一些操作,因为表在厨柜内,空间狭小,我不便观察。现在联想来,是在燃气表安装后,通过该孔连接着一介质为水的U形压力表,将进、出口阀门均打开,使表后均达到正常燃气压力后,关闭进口阀并观测保压时长,从而实现检测密封性。[/back][/color][/font][/align][align=left][font='微软雅黑',sans-serif][color=black][back=white] 让我困惑的是,该工作人员说压力计应该指示2600~2800,不知什么意思?因为自已已不是相应检测机构的人了,不便打听,所以我很想了解燃气表现场检测密封性用U形压力计结构及原理。恳请相关专家赐教![/back][/color][/font][/align]

  • 万能试验机压力机漏油的原因

    (1)万能试验机压力机油缸加工质量差。有些生产油缸的厂家,加工尺寸掌握不好,装配的油缸,油封配合有的过紧,有的过松,有的加工设备比较落后,所以制造出的配件也是差强人意的。 (2)万能试验机压力机操作人员使用不当造成的,这个问题一般比较少见,超载或者倾卸角度过大,有时会拉伤液压油缸工作面、挤坏油封而引起漏油。目前一些企业基本上都是操作万能试验机压力机的熟练工,相对来讲这方面就容易解决多了。 (3)油封质量差会导致压力机液压油缸漏油,现在市场上销售的油封有的质量较差,使用时间不长就漏油,甚至有的刚换上就漏油。如维修时采取多车油封槽多加油封的方法来防止漏油,效果虽较理想,但费时费力。 建议大家以后使用间隙密封油缸

  • 彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

    彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

    [color=#cc0000]摘要:本文详细介绍了真空系统中压力和真空度测量和控制的基本概念已经常用的技术指标,详细介绍了模/数转换精度应压力和真空度测量分辨率的匹配,介绍了采用不同量程电容压力计进行真空度控制的最小建议范围。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#cc0000]1. 问题的提出[/color][/size]  在各种真空工艺和测试系统的真空容器中,容器内部的气体压力或真空度的准确测量控制对于保证产品品质和仪器测量精度至关重要。由此在气压或真空度控制过程中,需要根据容器内的真空度稳定性要求来确定控制方式和真空度采集精度,据此来选择合理的控制仪表,因此需要充分理解与真空度相关的基本概念,并深入了解压力和真空的测量方式以及控制器的特性和局限性。[color=#cc0000][size=18px]2. 真空和压力的度量[/size]2.1. 真空和压力的各种度量单位[/color]  在各种真空和压力测量系统中,需要清晰的了解不同压力指标的含义。  通常用于真空测量的度量单位是托(Torr),等于1mmHg,它表示将汞的沉没柱高度提高1.0mm所需的大气压力,一个标准大气压力等于760Torr。在一些真空系统的真空测量中使用Torr的衍生单位毫托或1/1000Torr。大于1.0毫托的真空度通常用科学计数法表示(例如5.0E-06 Torr),在欧洲和亚洲常用的真空系统中的真空和气象测量通常将条形图分为1/1000,以产生毫巴(mbar)。  在美国常用的压力度量标准是psi或“磅/平方英寸”,使用此度量标准,海平面上的大气压力测量值为14.69psi。为了进行比较,欧洲和亚洲的压力测量将大气压力定义为1.0bar。另一个指标是“水的英寸高度”,该指标通常用于报告美国天气预报中的气压,单位是指由大气压支撑的水下水柱的高度。使用此度量标准,大气压为406.8英寸水柱(在4°C时),有时此度量单位用于工业过程中的真空测量。  压力的国际单位制量度为Pascal(缩写为Pa),以法国数学家和物理学家Blaise Pascal命名,它被定义为单位面积上的力的度量,等于每平方米一牛顿。SI单位的大气压为1.01325E+05 Pa。有些气压测量通常也会以千帕斯卡(kPa)为单位进行报告。表2-1列出了最常见的压力表和真空表。[align=center][color=#cc0000]表2-1 压力和真空的度量[/color][/align][align=center][img=,690,302]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101131045122503_3567_3384_3.png!w690x302.jpg[/img][/align][color=#ff0000]2.2. 压力和真空传感器[/color]  压力和真空的测量一般采用传感器,这些传感器所组成的压力表和真空表根据测量原理的不同分为多种形式,这些仪表的主要类型包括:  (1)机械规:这类仪表使用某种形式的机械联动装置或膜片装置,无需任何电子器件,仅依靠机械式的移动来指示压力或真空度。因为无需带电运行,所以这类仪表常用于压力和真空系统的安全性指示,即使在系统断电情况下也能大致了解腔体内的情况。  (2)热导规:通常称为皮拉尼、热偶和对流表,其作用原理是气体的导热系数随压力而变化,电热丝是平衡电子电路中的传感元件。由于热丝的热损失率随气体的导热系数而变化,因此也会随着腔体内气体压力和真空度而发生改变,这种变化要求改变电路的电气特性之一(电流、电压或功率)以保持电路平衡。  (3)应变规:这是一类基于应变的压力测量仪表,常用于正压测量。它们采用了一个薄隔膜,其背面装有应变感应电子电路。压力的变化会引起膜片偏转,从而产生应变,该应变被传感器检测到。  (4)电容规:常用于压力/真空测量,它们依赖于隔膜和通电电极之间电容的变化。  (5)柱规:它们使用液体,其在封闭柱中的高度会随压力而变化。  (6)电离规:取决于周围气体分子的电离和相应离子电流的测量。离子电流与腔室内的真空压力直接相关。  表2-2显示了不同类型的压力/真空表的比较,从中可以看出没有一类仪表可以满足每个过程中的所有测量要求。[align=center][color=#cc0000]表2-2 主要类型压力表的性能比较[/color][/align][align=center][color=#cc0000][img=,690,167]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101131045550873_8034_3384_3.png!w690x167.jpg[/img][/color][/align][color=#cc0000][/color][align=center][/align][size=18px][color=#cc0000]3. 压力和真空仪表常用技术指标[/color][/size]  与其他物理量测量中存在的现象类似,很多用户对如何评价压力和真空仪表存在模糊的概念,因此这里简要说明压力和真空仪表的常用技术指标。  (1)参考标准:一种非常准确的压力或真空测量仪器,用于校准其他此类仪器。  (2)精确度:压力或真空仪表和用于校准的参考标准之间的绝对测量差。常用是以读数的百分比或满量程的百分比为单位来表达。  (3)线性度:与大多数其他传感器类似,压力和真空仪表(无论是数字还是模拟形式)都以设计为线性化输出作为达到理想状况的标准。线性度是衡量电子设备完成这项任务的程度——通常指定为满量程的百分比。  (4)重复性:衡量压力和真空仪表在多个不同过程运行期间,在相同压力下能达到相同输出的接近程度。一些仪表制造商在技术指标中包括了重复性,但并非全部都如此。如果没有特别注明,用户应要求供应商提高该指标。  (5)分辨率:压力和真空仪表可以实际测量的最小压力和真空度。如果仪表是模拟信号输出的型号,并且需要数字输入,则几乎总是需要高分辨率的模/数转换(至少14位),否则A/D分辨率将决定压力和真空测量的分辨率,而不是压力计和真空计的分辨率。  (6)零位和零位偏移:零位是指将压力计的输出调整为在(a)系统中可获得的最低压力或(b)低于电容式压力计分辨率的压力下读取零时发生的情况。经过一段使用时间后,零位置可能会发生变化,从而改变压力表的位置并在压力计的整体输出中产生偏移,因此必须除去这种偏移以获得可接受的精度。如果系统达到的基本压力低于压力计的分辨率,则可以将压力计的输出调整为最小输出。但是,如果最小系统压力高于压力计的分辨率,则必须使用永久零偏移量来确定正确的系统压力。零偏移或零漂移的存在并不总是表明设备需要重新校准,因为零位置的变化仅很少影响实际的压力计校准。  从表2-2可以看出,电容式压力/真空计的测量准确性最高,因此电容式真空计通常作为其他类型压力计的参考设备(即用来校准其他产品)。如对于无加热功能的的1000Torr电容压力计的准确度指标(包括重复性)约为读数的0.25%,相比之下,相同量程的皮拉尼或热偶压力计的读数精度为5~25%,电容式真空计的准确度是它们的100倍。[size=18px][color=#cc0000]4. 高精度压力和真空度控制的实现[/color][/size]  对于与真空相关的各种系统中,在指定的压力和真空度区间内进行精确测量和控制至关重要。例如,如果过程设定值介于5.0~6.0mTorr之间,并且所需的压力读数精度为0.5mTorr,则所需的测量精度为读数的10%,或者,对于100mTorr的电容压力计,为满量程的0.5%。如果选定的压力计或真空计不能达到这一精度水平,则无法将真空过程控制在所需的过程区间内。  用作闭环压力和真空度控制的压力计或真空计输入信号必须具有足够的分辨率,以辨别过程中非常小的压力变化。同时,回路中的压力和真空度控制器和控制阀也必须具有必要的分辨率,以便有效地利用这些数据来控制压力的微小变化。很多用户往往只重视了压力或真空计的选择和相应的技术指标,而忽视了控制器以及控制阀的分辨率指标,这基本是造成控制精度达不到要求或波动度较大的主要原因。[color=#cc0000]4.1. 压力计和真空计的选择[/color]  选择压力计和真空计的第一个考虑因素是满量程压力和真空度范围。为了获得良好的测量精度,真空计范围应与待测量的预期压力或真空范围相匹配。理想情况下,压力计范围应包含最高预期压力,这将最大化输出信号(模拟)并提高信噪比。如考虑在5mTorr和80mTorr之间操作的真空过程,该过程的最佳压力计(如电容压力计)的满量程范围为100mTorr。如果采用电容压力计,则该传感器在最小预期压力下的模拟输出为满量程的5%,在低压下提供良好的精度和高信噪比,同时保持足够的范围来测量高系统压力。虽然满量程为1Torr的电容压力计也适用于这种应用,但在5mTorr时的模拟输出将减少10倍,信号强度的这种变化将大大降低信噪比,降低读数精度。  许多商品化的压力计将其输出作为模拟信号发送给主机、过程控制器或数据记录设备,输出信号有多种形式,如0~10V直流电、0~5V直流电、0~1V直流电和4~20mA是最常见形式。在大多数格式中,输出与压力成线性关系,使得压力计的输出易于在软件中缩放。[color=#cc0000]4.2. 压力计和真空计信号的输出和采集[/color]  各种测量原理的压力计和真空计,其信号输出一般为模拟量,大多为连续的直流电压信号。为了将这些模拟信号直接以数字信号输出,或在控制过程中用控制器和数据记录仪采集这些模拟信号,都需要根据要求对这些模拟信号有足够高的采集精度,也就是说目标压力信号的模拟/数字(A/D)转换必须具有足够的分辨率,以将信号与压力计的正常背景噪声区分开来。例如,压力计信号的12位模数转换将区分压力计满量程模拟输出0.02%的最小信号。对于1Torr全刻度压力计,这意味着不能检测到小于0.2mTorr的压力或压力变化。在假设压力计和真空计的模拟输出为0~10V直流时,表4-1显示了各种压力计的最小可分辨压力与模数转换精度的关系。[align=center][color=#cc0000]表4-1 常见(A/D)模数分辨率下的最小可分辨压力(满量程测量范围为0~10V直流)[/color][/align][align=center][img=,690,309]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101131047065875_9748_3384_3.png!w690x309.jpg[/img][/align]  从上表可以看出,将压力计输出和所需过程测量精度与主机、数据记录器或控制器的分辨率相匹配非常重要。例如,如果过程在满量程范围的1.0%下运行,压力计的满量程输出为10.000V直流信号,主机必须能够可靠地辨别100mV模拟信号。因此,A/D数据采集系统需要至少12位分辨率才能在其大部分测量范围内使用压力计。更高位的分辨率允许在最低压力下提高压力计测量的分辨率。表4-1显示了不同A/D分辨率下的最小可分辨模拟信号。上海依阳实业有限公司的压力和真空度控制器都提供至少16位的模数转换,能够解析低至0.4mV的信号,也可以根据需要提供更高位数的模式转换及相应的控制器。[color=#cc0000]4.3. 压力和真空度的闭环控制[/color]  在微小变化的压力和真空度闭环工作过程中,需要将压力计的量程选择至少要限制少整整十倍。如考虑在5mTorr下使用压力计控制过程的情况,100mTorr满量程压力计是可以使用的最大压力范围。事实上,较低的满量程范围设备将是一个更好的选择,因为它们提供更高的输出信号,更容易检测和解决,这将提高压力控制的精度。表4-2给出了一些常见电容压力计真空范围的最小建议控制压力。[align=center][color=#cc0000]表4-2 满量程压力计范围的最低控制压力[/color][/align][align=center][img=,690,230]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101131047445188_687_3384_3.png!w690x230.jpg[/img][/align][size=18px][color=#cc0000]5. 结论[/color][/size]  压力计和真空计是许多工艺过程和测试系统应用中压力/真空测量的常用传感器,为了在准确性和精确性方面实现最大性能,必须考虑并正确选择压力计特性。这些包括压力计固有的电子特性,如量程和灵敏度。另外,使用这些压力计信号的任何系统,必须匹配合理的模/数(A/D)测量精度。当然,一般而言,模数精度越高,造价越高,体积越大。[align=center]=======================================================================[/align]

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