等离子电原射仪

石墨烯是近年来受到广泛关注的二维材料，具有特的物理化学性质，在信号传感、物质检测、和能源电池领域都有着广阔的应用前景。2016年9月，南开大学许京军、蔡卫老师研究团队在国际期刊 2D Materials上公开发表题为“Tailorable re?ection of surface plasmons in defect engineered graphene”的全文文章，通过探讨缺陷改变石墨烯光、电、热性质的可能性，提出了对石墨烯纳米尺度下的等离子激元性质进行操控的思路，为未来纳米光电设备的实现开辟新篇。(a) NeaSNOM测量原理示意图 (b)NeaSNOM的AFM成像显示了石墨烯缺陷处的形貌结构 (c)NeaSNOM的纳米显微光学成像展示了该区域的表面等离子波传播图样许京军、蔡卫老师研究团队先设计了离子束对石墨烯缺陷边界的操控可行性，并通过AFM等常规测量手段对这一设想进行了重复验证，检验其可行性。该研究团队对石墨烯表面等离子波在缺陷边界的传播进行了深入研究，通过NeaSNOM提供的可靠等离子激元成像手段，他们近场等离子激元成像图中观测到了靠近边界的明显干涉条纹。通过典型的石墨烯楔形结构，边界处的等离子激元的有效散射波通过操控的缺陷得到了大的增强。在缺陷边界处的等离子激元反射次得到清晰观测，证实了这些缺陷在表面等离子波传播中散射中心的作用。不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究在入射激光波长为10.653um下，不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究。其中，等离子激元干涉峰值被定义为M，在边界处衰减比例为0.28，实验结果与理论数值得到了很好的拟合。该研究团队证明了通过引入离子束在石墨烯缺陷边界处改变等离子激元的反射的结论，他们认为缺陷可以作为有效的等离子激元传播散射中心，通过缺陷程度的控制可以实现对等离子激元的操控，这一研究结果有效开创了控制表面等离子波的新篇章。参考文献：Luo W, Cai W, Wu W, et al. Tailorable reflection of surface plasmons in defect engineered graphene[J]. 2D Materials, 2016, 3(4): 045001.本文涉及的研究过程及实验结果均以原著作为准。相关产品：超高分辨散射式近场光学显微镜：http://www.instrument.com.cn/netshow/C170040.htm纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR：http://www.instrument.com.cn/netshow/C194218.htm

项目概况深圳市清新电源研究院--电感耦合等离子体发射光谱仪 招标项目的潜在投标人应在深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F获取招标文件，并于2022年01月27日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：LD2022EP-SZA002项目名称：深圳市清新电源研究院--电感耦合等离子体发射光谱仪预算金额：70.0000000 万元（人民币）采购需求：电感耦合等离子体发射光谱仪采购。合同履行期限：见招标文件本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：见招标文件3.本项目的特定资格要求：2.1？？具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织（提供法人或者其他组织的营业执照等证明文件）；2.2？？投标人为制造商须提供合法生产、销售所投产品的相关证明，投标人为代理商投标的须提供制造商合法销售代理证明并同时提供制造商合法生产、销售所投产品的相关证明。2.3？？投标截止时间前，投标人未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（招标机构将通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）渠道查询相关主体信用记录）；2.4 投标人参与本项目招投标活动时其经营活动中不存在重大违法记录；2.5？？本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件时间：2022年01月07日 至 2022年01月14日，每天上午9:00至11:30，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F方式：现场购买或国内银行汇款邮购。现场购买：供应商代表携营业执照（核验原件，留复印件，复印件加盖公章）及法人代表授权委托书，至招标机构填写《投标报名登记表》办理报名手续。如需邮购，请于办理汇款手续后，传真前款有关资料、汇款单及《投标报名登记表》至招标机构。售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年01月27日 14点30分（北京时间）开标时间：2022年01月27日 14点30分（北京时间）地点：深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F深圳龙达招标有限公司开标厅五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜采购公告查询：http://www.szldzb.com （深圳龙达招标网）http://www.cebpubservice.com （中国招标投标公共服务平台）http://www.ccgp.gov.cn （中国政府采购网）七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：深圳市清新电源研究院　　　　　地址：/　　　　　　　　联系方式：/　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：深圳龙达招标有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：深圳市福田区深南大道6008号深圳特区报业大厦31F　　　　　　　　　　　　联系方式：陈康 王上锋0755-83864290　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：陈康电　话：　　0755-83864290

粮食土壤元素分析仪（等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10）本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理，即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析，为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法，有效地提升了对固体样品的分析效率。 1、仪器特点： △ 直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析，无需化学消解；△ 装载高能激发源，灵敏度高，检出限可达ppb级 ，RSD尺寸：400*410*662 mm重量：32kg功率：200W进样方式：固体直接进样样品前处理：简单混样压片、用时2-3分钟（无需消解）分析时间：光谱范围：190nm-1100 nm （可 根据用户需求选配）光谱分辨率：0.10~0.25nm软件：全自动检测，直接给出测试结果存储：128 GB SSD数据接口：4XUSB，1X网口，1XVGA创新点：粮食土壤元素分析仪（等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10） 本产品是基于射流等离子体技术的固体样品元素直接分析的光谱仪器。该仪器无需对固体样品进行湿法消解等复杂的化学前处理，即可快速对固体样品中的元素进行定性和定量分析，为固体样品的直接快速分析提供了新的检测技术和方法，有效地提升了对固体样品的分析效率： 1.直接对固体样品中的多种元素进行快速定性和定量分析，无需化学消解； 2.装载高能激发源，灵敏度高，检出限可达ppb级 ，RSD9%； 3.分析速度快，60秒内可以同时获得190nm-1100 nm波段的全谱信号，覆盖Cd，Cr，Cu，Pb，Zn，Ca，Fe等多种元素； 4.配备自动样品仓和智能软件，可实现多个待测样品自动检测并输出结果。 等离子体固样分析发射光谱仪-PJ10

一、项目基本情况1.项目编号：SDSHZB2023-200项目名称：中国海洋大学电子背散射衍射仪、电感耦合等离子体质谱仪、原位X射线衍射仪器等设备采购项目预算金额：600.0000000 万元（人民币）采购需求：本项目分为3个包，预算总金额为600万元，其中：A1包：原位X射线衍射仪器等设备（接受进口产品），预算金额：330万元；A2包：电子背散射衍射仪（接受进口产品），预算金额：120万元；A3包：电感耦合等离子体质谱仪（接受进口产品），预算金额：150万元。具体参数详见附件。合同履行期限：详见附件。本项目( 不接受 )联合体投标。2.项目编号：HYHAQD2023-0269项目名称：中国海洋大学机金相显微镜、激光切割机、模型制作平台等设备采购项目预算金额：312.5000000 万元（人民币）最高限价（如有）：312.5000000 万元（人民币）采购需求：预算金额及最高限价：312.50万元，其中：第一包：137.80万元，第二包：72.10万元，第三包：81.80万元，第四包：20.80万元。简要技术需求详见招标公告附件。合同履行期限：合同签订后开始履行，至项目完成（质保期满）为止。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2023年06月07日 至 2023年06月13日，每天上午8:00至11:30，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01房间或邮件报名方式：以下方式二选一：（1）现场报名：须携带加盖单位公章的营业执照副本复印件及现金，按照上述时间、地点获取招标文件。（2）邮件报名：有意参加本次采购活动的投标人填写项目名称、项目编号、包号、公司名称、联系人、联系电话、邮箱、营业执照扫描件及标书费汇款底单发送至shzbqdb@163.com,邮件名称命名为：中国海洋大学电子背散射衍射仪、电感耦合等离子体质谱仪、原位X射线衍射仪器等设备采购项目-报名-“投标单位名称”。开户银行：兴业银行青岛市北支行，开户名：山东盛和招标代理有限公司，银行账号：522130100100053768，提交标书费须从投标人基本账户或一般账户转出，电汇时须注明2023-200-包号、资金用途注明标书费。未按规定报名的投标人其报名无效，本项目实行资格后审，获取招标文件成功不代表资格后审通过，招标文件售后不退。售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：中国海洋大学　　　　　地址：青岛市崂山区松岭路238号　　　　　　　　联系方式：崔老师0532-66781979　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：山东盛和招标代理有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：青岛市市北区敦化路138号甲西王大厦24楼23A01房间　　　　　　　　　　　　联系方式：孙萌、肖颖梦0532-67737979　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：孙萌、肖颖梦电　话：　　0532-67737979

佰汇兴业（北京）科技有限公司最新代理日本MICRO EMISSION MH-5000等离子体发射光谱仪,该仪器为一款利用液态电极等离子体来分析痕量金属的发射光谱仪，它通过向溶液施加电压以使其加热并蒸发，液体电极产生等离子体，溶液中的溶质被送入等离子体中产生发射光谱。它可以应用到冶金制造、工业废物处理和环境监测等领域中。 特点： 手持掌上型尺寸的实现（小型，便携式手持） 操作简单，初学者也可快速入门 电池驱动，可使用于现场测定 同时测定多种元素 检测极限0.1ppm～100ppm 工程管理、土壤测定、水质测定、食品测定

一、项目编号：项目名称：电感耦合等离子体质谱仪采购项目预算金额：98.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：98.0000000 万元（人民币）采购需求：1. 标的名称：包组1：电感耦合等离子体质谱仪采购项目2. 标的数量：包组1：1套3. 简要技术需求或服务要求：（1） 项目编号: CLF22SH01QY17（2） 最高限价: 人民币 ¥ 980,000.00元（3） 交货期限: 采购合同签订之日起至1个月内。（4） 本项目只允许采购本国产品；（5） 简要技术要求： a） 电感耦合等离子体质谱仪具备可搭配LC、自动进样器、全自动石墨消解系统、全自动微波消解系统等连用技术。 b） 可广泛应用于水质、土壤、大气颗粒物、固废、食品、动植物、食品接触材料、化妆品、半导体、高纯材料、矿产、石油化工、工业品、纺织等领域，且符合相关国家标准分析方法的要求。具体详见采购需求。 合同履行期限：自合同签订之日起至2023年10月前本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号：0705-224002028052项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028052招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，频率大于40MHz预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：0705-224002028082项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028082招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，进样系统可耐高盐样品预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：0705-224002028082项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028082招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，进样系统可耐高盐样品预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

一、项目编号：0705-224002028052项目名称：复旦大学电感耦合等离子体发射光谱仪采购国际招标预算金额：99.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：97.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：电感耦合等离子体发射光谱仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028052招标项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1电感耦合等离子体发射光谱仪1套自激式射频发生器，频率大于40MHz预算金额：人民币99万元 最高限价：人民币97万元 合同履行期限：签订合同后4个月内合同履行期限：签订合同后4个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、项目编号：0705-224002028053项目名称：复旦大学激光粒度分析仪采购国际招标预算金额：60.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：58.0000000 万元（人民币）采购需求：1、招标条件项目概况：激光粒度分析仪采购资金到位或资金来源落实情况：本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件2、招标内容：招标项目编号：0705-224002028053招标项目名称：激光粒度分析仪采购项目实施地点：中国上海市招标产品列表(主要设备)：序号产品名称数量简要技术规格备注1激光粒度分析仪1套测量速度：扫描速度≥10KHz预算金额：人民币60万元 最高限价：人民币58万元 合同履行期限：签订合同后3个月内合同履行期限：签订合同后3个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

一、项目基本情况项目编号：CFTC-BJ01-2405058项目名称：中国食品药品检定研究院2024年专项设备购置项目第一批预算金额：2276.000000 万元（人民币）采购需求：预算金额：总预算：2276万元，其中05包预算金额：156万元采购需求：包号品目采购标的名称用途数量是否允许进口05包5-1电感耦合等离子体发射光谱仪用于国产和进口放射性药品注册检验中金属杂质检查项目测定1套否05包5-2电感耦合等离子体发射光谱仪对样品中的各个元素进行准确定量以及定性分析1套否 备注：具体产品技术参数见招标文件第八章。本项目按包公布分项控制预算。若投标人报价高于此分项控制预算，其投标将被作为无效投标处理。交货期：合同签订后60日内。合同履行期限：合同签订之日起至质保期结束本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2024年07月11日 至 2024年07月18日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：网上获取方式：网上获取，详见其它补充事宜售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

从西安电子科技大学获悉，西电科大申报的国家自然科学基金委员会国家重大科研仪器研制项目(部门推荐类)“临近空间高速目标等离子体电磁科学实验研究装置”日前获得批准，实现了西电国家重大科研仪器项目零的突破，对解决“黑障”难题、实现临近空间高速飞行器全程测控与可靠探测、拓展等离子体电磁物理学前沿研究、促进临近空间开发、提升空间探索能力具有重要理论意义。　　该项目是2016年基金委批准的4个项目之一，也是信息学部今年唯一被批准的项目，获直接资助经费6712.34万元，项目负责人是西安电子科技大学空间科学与技术学院院长包为民院士。该项目联合了浙江大学、哈尔滨工业大学、中国人民解放军空军工程大学、中国科学院合肥物质科学研究院、北京遥测技术研究所等单位共同申报，在通过基金委组织的两轮会议评审脱颖而出后又顺利通过9月份专家现场考察，最终获得立项。据了解，重大科研仪器研制项目(部门推荐类)自2011年立项以来，全国共有40余个项目获批，其中信息学部项目共批准了7项。　　据介绍，该项目将开拓等离子体物理学、空气动力学、电磁学、控制与信息传输理论多学科交叉研究能力，以期揭示高速目标等离子体与电磁波相互作用新机理，发展电磁调控等离子体特性新途径，突破高速目标等离子体信息传输及目标探测的理论瓶颈。　　国家重大科研仪器研制项目面向科学前沿和国家需求，以科学目标为导向，加强顶层设计、明确重点发展方向，鼓励和培育具有原创性思想的探索性科研仪器研制，着力支持原创性重大科研仪器设备研制，为科学研究提供更新颖的手段和工具，以全面提升我国的原始创新能力。资助目标为通过关键核心技术突破或集成创新，用于发现新现象、揭示新规律、验证新原理、获取新数据的科研仪器设备的研制。

一、项目基本情况项目编号：GXZC2023-J1-000602-KLZB项目名称：电感耦合等离子体发射光谱仪、气质联用仪采购采购方式：竞争性谈判预算金额：280.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：280.0000000 万元（人民币）采购需求：序号标的的名称单位数量简要技术需求01电感耦合等离子体发射光谱仪台2简要技术需求见附件。具体内容详见本竞争性谈判文件02气质联用仪台3合同履行期限：自签订合同之日起60个日历天内供货安装调试验收完毕。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取采购文件时间：2023年04月03日 至 2023年04月07日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至21:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：“政采云”平台（https://www.zcygov.cn）方式：网上下载。本项目不发放纸质文件，供应商可自行在本公告“七、其他补充事宜”网上查询地址中的信息公告处下载采购文件。电子响应文件制作需要基于“政采云”平台（http：//www.zcygov.cn）获取的采购文件编制，拟参与本项目的供应商需使用账号登录或者使用CA登录“政采云”平台-进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，获取采购文件。售价：￥0.0 元（人民币）三、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：广西大学地址：广西南宁市大学东路100号联系方式：肖老师，0771-32741212.采购代理机构信息名称：广西科联招标中心有限公司地址：广西南宁市西乡塘区大学东路170号联系方式：杨工 0771-34862363.项目联系方式项目联系人：杨工电话：0771-3486236

项目编号：GXZC2022-J1-002381-YZLZ（代理编号：YZLGL2022-J1-032-GXZC）项目名称：环境学院2022年一流学科电感耦合等离子体发射光谱仪等设备采购采购方式：竞争性谈判预算金额：A分标：人民币壹佰万元整（￥1000000.00）；B分标：人民币壹佰柒拾万元整（￥1700000.00）最高限价（如有）：无采购需求：（1）标的的名称、数量及单位：A分标：电感耦合等离子体发射光谱仪1套、原子荧光光度计1套；B分标：气相色谱-三重串联四极杆质谱联用仪1套；（2）简要技术需求或者服务要求：A分标：按国家有关产品“三包”规定执行“三包”，免费保修期不得少于1年（免费保修期从设备验收合格之日起计算，项目要求及技术需求中规定的，按规定执行）；B分标：按国家有关产品“三包”规定执行“三包”，免费保修期不得少于1年（免费保修期从设备验收合格之日起计算，项目要求及技术需求中规定的，按规定执行）。合同履行期限：A分标：自签订合同之日起90个工作日内到货并全部安装调试合格完毕；B分标：自签订合同之日起90个工作日内到货并全部安装调试合格完毕。本项目各分标均不接受联合体。

一、项目基本情况项目编号：CG2022-PL-GK-HW-065项目名称：海关总署2022年科技司电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目预算金额：372.0000000 万元（人民币）采购需求：（一）货物内容包件号序号品目名称数量交货期交货地点质保期包件11电感耦合等离子体发射光谱仪1（标配）1产品合同签订后90日内交货。海关指定地点产品安装调试经用户验收合格当天起，质保期2年，并提供仪器终身维修服务。包件21电感耦合等离子体发射光谱仪43包件31电感耦合等离子体发射光谱仪52（二）行业类型：工业（三）其它要求1.投标人必须对所投标包中的所有货物进行投标，不允许拆包投标。2.针对同一包，一个投标人不得提交两个或两个以上不同的投标文件或投标报价。3.各品目产品的投标报价不能超过本品目预算（品目预算详见项目需求书中的分配表），否则视为无效投标。合同履行期限：详见招标文件本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：根据有关规定，本项目将对小微型企业、监狱企业及残疾人福利性单位制造的产品的报价给予12%的扣除，扣除后的报价参与评审打分。未提供有效证明材料的，评审时其投标报价不予扣除。3.本项目的特定资格要求：1、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条及《政府采购法实施条例》第十七、十八条规定。2、开标日通过“信用中国”网站、中国政府采购网查询，未被列入“失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单”的。3、从采购机构在本公告中规定的渠道获取了招标文件，且在法律上和财务上独立于采购机构。4、其他条件：（1）本项目不接受联合体投标。（2）本项目01包不接受进口产品投标（进口产品是指通过中国海关报关，验放进入中国境内，且产自关境外的产品）。三、获取招标文件时间：2022年11月10日 至 2022年11月16日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至21:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：http://hgcg.customs.gov.cn方式：网上下载售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年11月30日 08点30分（北京时间）开标时间：2022年11月30日 08点30分（北京时间）地点：线上开标五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜技术指标详见招标文件七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：海关总署物资装备采购中心地址：北京市东城区安外大街56号办公楼14层1425室（原国资委安外办公区）联系方式：010-65194838（平台技术支持）010-65195902（项目询问）010-65195677（质疑受理）2.项目联系方式项目联系人：010-65195902电话：吴先生

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核心参数光学分辨率全光谱范围0.008nm以下稳定性《1.5%重复性《1.5%检出限ppb级波长范围165-770仪器种类全谱直读创新点上市时间：2019年10月创新点：SPECTROGREENICP-OES采用全新研发的DSOI技术，该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍，非常适合环境及农业等样品的检测，同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。 全新的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。 新推出的GigE读出系统，能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据，从而加快分析速度，缩短了样品切换的时间，使单位时间内的样品分析数量大大增加。 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器，不需要外部冷却：具有分析高重的复杂基体的能力--而无需稀释样品–仪器开机速度快（约10分钟）--生产率高 新的NewSPECTROICPAnalyzerPro操作软件采用了简单直观的界面，易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统，为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号，使用两个光学接口，并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光，以增加灵敏度，巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此，DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍，同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。仪器详情注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途全新的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。新推出的GigE读出系统，能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据，从而加快分析速度，缩短了样品切换的时间，使单位时间内的样品分析数量大大增加。极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器，不需要外部冷却：具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快（约10分钟）-- 生产率高新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro操作软件采用了简单直观的界面，易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统，为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号，使用两个光学接口，并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光，以增加灵敏度，巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此，DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍，同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。SPECTROGREEN在分析挑战性的高重基体中的痕量元素方面具有显著优势，这类样品包括黑色及有色、石油及化工、污水及废水、土壤及淤泥、高盐和金属等。同时SPECTROGREEN光谱仪是环境、农学、医药、食品、及日用品安全等常规分析的理想选择。 SPECTROGREEN的推出得益于德国斯派克分析仪器公司40年的仪器研发制造及服务经验，集多年电感耦合等离子发射光谱（ICP-OES、ICP-AES及ICP等离子体）技术之大成。SPECTROGREEN ICP-OES光谱仪预制了斯派克公司专有的ICP ANALYZER PRO software软件，简洁直观，易于操作，分析效率高。德国斯派克分析仪器公司生产的其他型号的ICP-OES包括：SPECTRO GENESIS, SPECTROBLUE及 SPECTRO ARCOS。点击收起售后服务免费上门安装：是保修期：1年是否可延长保修期：是保内维修承诺：保内免费维修报修承诺：48小时抵达现场免费仪器保养：详谈免费培训：1次现场技术咨询：有创新点：SPECTROGREEN ICP-OES采用全新研发的DSOI技术，该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍，非常适合环境及农业等样品的检测，同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。 全新革命性的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。 • 新推出的GigE读出系统，能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据，从而加快分析速度，缩短了样品切换的时间，使单位时间内的样品分析数量大大增加。 • 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器，不需要外部冷却：具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快（约10分钟）-- 生产率高 • 新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面，易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统，为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号，使用两个光学接口，并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光，以增加灵敏度，巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此，DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍，同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。 德国斯派克ICP-OES等离子体发射光谱仪GREEN

项目概况 受南平市产品质量检验所委托，福建晖源工程咨询有限公司对[350700]fjhy[GK]2022001、南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2022-03-25 09:30（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号：[350700]fjhy[GK]2022001 项目名称：南平市产品质量检验所省级建盏产品质量检验中心电感耦合等离子体发射光谱仪采购项目货物类采购项目 采购方式：公开招标 预算金额：750000元 包1： 合同包预算金额：750000元 投标保证金：7500元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）1-1A02100404-光学式分析仪器电感耦合等离子体发射光谱仪1（套）否2技术参数部分2.1 光学系统▲2.1.1:整个中阶梯光学系统无任何移动部件，所有光学元件均密封于35℃恒温光室中，保证最低的检出限和优异的长期稳定运行。2.1.2:中阶梯光栅+CaF2棱镜交叉色散多色器系统，波长连续覆盖167？785nm，无任何波长断点。■2.1.3：光学系统需让每一个波长在通过这个独特的自由曲面镜时，让每一个波长都很完美的形成聚焦，使检测器边缘波长的边缘效应影响降到最低。2.1.4：测定方式：紫外和可见区由同一狭缝，同一检测器同时测定，一次分析测定全谱覆盖，真正的全谱直读，一个样品选择任意多的元素波长，测试时间都不变；■2.1.5: 波长校正: 采用氩的发射谱线自动进行周期性的波长校准, 保证分析波长的正确性，没有汞灯或氖灯校准的预热和耗材问题。每半年或需要的场合可采用15种元素标准混合溶液进行波长例行校核。2.1.6：吹扫型光室：对189nm以下波长测定，可选择氩气或者氮气进行光路吹扫。吹扫流量：标准的光室吹扫气体流量为0.7L/Min，测定低紫外波长谱线时，电脑控制，增加3L/min 的气体流量，所有光室吹扫气体流量均由质量流量计（MFC）控制。■2.1.7：分辨率：光学分辨率＜0.007nm (在As 188.980nm 处实际测量半峰宽) 。2.1.8：杂散光：≤2.0mg/L（10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定）。2.2 检测器 2.2.1:需要检测器覆盖从167-785nm整个波长范围；整个波长范围内所有元素一次测定一次读出。 2.2.2：紫外区平均量子化效率：独特的背投照射技术，使平均量子化效率≥75%，检测器表面无任何光转换化学涂膜。 ▲2.2.3：检测器冷却：半导体制冷，－40℃，暗电流和背景噪音低。检测器充氮密封，无需气体吹扫，开机即可点火，提高分析效率，降低气体消耗。 2.2.4: 防饱和溢出：针对每一个像素进行防饱和溢出保护，彻底消除谱线饱和溢出问题。2.2.5：积分方式：智能化积分，同时以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号，使高低含量元素可以同时检测。2.3 射频发生系统 ▲2.3.1: 自激式27.12MHz固态发生器，耦合效率大于75%。2.3.2: 功率范围：700？1500W，10W增量，连续可调，计算机控制进行功率调节。■2.3.3：高效强劲的自激式固态发生器轻松应对从无机到有机各种复杂基体的样品，快速的功率反馈速度确保样品基体变化时仍然获得稳定准确的结果。2.4 观测方式★2.4.1：垂直火炬双向观测方式；更快分析效率；更高样品分析通量▲2.4.2:尾焰去除：需要有能够高效去尾焰CCI冷锥接口。检出限较垂直观测提高5-10倍，具有高的分析灵敏度。2.4.3: 冷锥接口无切割气体的消耗，降低运行成本。2.4.4: 观测位置调节：等离子体观测位置由计算机控制。 2.5 样品导入系统■2.5.1：进样系统：标配双通道玻璃旋流雾化室和玻璃同心雾化器，其它多种类型的雾化器和雾化室可选。■2.5.2：炬管：标配一体化炬管，快速插拔式炬管，无需气体管路连接和炬管准直定位，便于安装和维护，其它多种类型的炬管可选，同时可配置中心管为陶瓷或者石英的可拆卸式炬管。▲2.5.3:气体控制：所有等离子体相关气体均为质量流量计（MFC）控制，软件在线调节：等离子体气：8？20L/min，增量0.1L/min；辅助气：0？2.0L/min，增量0.01L/min；雾化气0-1.5L/min，增量0.01L/min；补偿气（用于可选附件）：0？2.0L/min，增量0.01L/min； ▲2.5.4：蠕动泵：5通道蠕动泵，转速0-80rpm可调，全计算机控制，具有快泵功能。2.5.5：雾化器压力可以由用户自己设定阈值，当压力低于阈值下限或超过阈值上限的时候，软件会弹框提示雾化器压力异常，需要用户去检查进样系统。3、软件性能：3.1：软件需易学易用，可快速进行方法的开发、顺序的编辑。 3.2：计算机全自动化控制，仪器设置和参数选择可自动完成，包括气体流量、功率、点火、诊断等。具有自动安全连锁系统。3.3: 背景校正功能：包含传统的单边、双边离峰法背景校正技术，同时，具备多点自动拟合法（FITTED）背景校正技术。 ▲3.4: 谱图自动解析功能：快速自动谱线拟合技术（FACT），在线校正基体谱线干扰。3.5: 多重检量限（Multical）功能：根据不同的元素含量范围选择不同的谱线，使仪器能够同时测定高低含量的元素，使仪器的动态线性范围得到扩展。3.6：提供多种光谱分析方法：如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法（IEC）、标准加入曲线法等，丰富了用户多种分析研究的手段。 ■3.7：软件系统需内置计数器，能够在系统需要维护时为用户提供指导，可以在方便的时间安排维护，而不必中断工作进程，最重要的是，它能够帮助您最大程度延长仪器正常运行时间。3.8：数据存取：所有结果、方法和顺序可以在同一工作页面一起保存和读取；谱图、结果和标准曲线同时显示；实时图形显示光谱信号、结果和曲线谱图；快速运行过往数据的编辑。3.9：数据输出：提供多种报告打印和数据输出格式。 3.10: 需有详尽的中文在线帮助功能和操作、维护录像。 3.11：远程诊断功能：远程诊断—Web连接使远端的技术服务部门和应用支持部门能够对仪器实现完全远程控制和维修诊断。3.12：符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规。 3.13：需实现快速全谱扫描，对样品中所有元素进行定性和半定量分析，并且可以设定阈值，实现样品的快速筛选，并且可以跟样品定量分析在同一个工作列表中，实现每一个样品的全元素监测。▲3.14： 需有强大的开发工具，能够针对不同的基体样品，快速的实现全元素扫描，实时反馈，根据不同基体样品和不同元素波长的各种干扰判断，自动选择最佳元素波长，可以把选定的波长直接导入定量工作表开始定量分析，还可以针对不同基体和不同的标准创建模板，让结果更精确。3.15：需有内标监测图，可以更直观准确的监控做样过程，快速的做出响应。3.16：软件需支持集成的高级采集阀，该高级采集阀系统可以极大的提升样品通量，降低氩气消耗，延长进样系统（炬管，雾化器，雾化室，蠕动泵管）使用寿命，降低后期维护消耗。3.17：需有强大的诊断软件，支持简便的仪器诊断和仪器错误提示。清晰的“仪表盘”式仪器状态显示，以及自检功能，使可能维修费用大大降低，并使仪器正常运行时间最大化。4、仪器性能指标：■4.1： 长期稳定运行：8小时，RSD≤1%（不加内标，不采用基线飘移修正）；4.2： 短期稳定运行：RSD≤0.5%；▲4.3：冷启动时间：从待机状态到等离子体点燃时间小于35分钟；▲4.4: 做样速度：60个元素或波长，每个元素或波长积分时间10秒，测试时间小于60秒，内标和待测元素必须同时积分；4.5： 测定谱线的线性动态范围：≥106（以Mn257.610nm 来测定，相关系数≥0.9996）；4.6： Pb220.353nm 2ug/L，4ug/L，6ug/L，8ug/L，10ug/L 拟合曲线，线性相关系数999以上；5、工作条件：5.1环境温度： 10℃-30 ℃；5.2环境湿度：20%-80% （不冷凝）；5.3 电源：仪器整体功率不大于2.9kVA, 电源： 220VAC+/-10% ，50 或60Hz+/-1Hz；5.4 通风系统：最小流量要求：2.5m3/min。6、仪器配置要求：1.仪器主机一台2.循环冷却水机一台3.气源一套4.输入输出设备一套5.仪器耗材包一套750000 合同履行期限： 按招标文件要求 本合同包：不接受联合体投标二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.本项目的特定资格要求： 包1 (1)明细：招标文件规定的其他资格证明文件（若有） 描述：1、（强制类节能产品证明材料，若有，应在此处填写）； 2、（按照政府采购法实施条例第17条除第“（一）-（四）”款外的其他条款规定填写投标人应提交的材料，如：采购人提出特定条件的证明材料、为落实政府采购政策需满足要求的证明材料（强制类）等，若有，应在此处填写）。 ※1上述材料中若有与“具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料”有关的规定及内容在本表b1项下填写，不在此处填写。 ※2投标人应按照招标文件第七章规定提供。 (2)明细：具备履行合同所必需设备和专业技术能力专项证明材料（若有） 描述：1、招标文件要求投标人提供“具备履行合同所必需的设备和专业技术能力专项证明材料”的，投标人应按照招标文件规定在此项下提供相应证明材料复印件。 2、投标人提供的相应证明材料复印件均应符合：内容完整、清晰、整洁，并由投标人加盖其单位公章。（如项目接受联合体投标，对联合体应提出相关资格要求；如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品，不适用于（本项目），节能产品，适用于（合同包1），按照财库[2019]19号文所附品目清单执行。环境标志产品，适用于（合同包1），按照财库[2019]18号文所附品目清单执行。信息安全产品，适用于（合同包1）。小型、微型企业符合财政部、工信部文件（财库〔2020〕46号），适用于（合同包1）。监狱企业，适用于（合同包1）。促进残疾人就业 ，适用于（合同包1）。信用记录，适用于（合同包1），按照下列规定执行：（1）投标人应在（填写招标文件要求的截止时点）前分别通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询并打印相应的信用记录（以下简称：“投标人提供的查询结果”），投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件（或截图）。（2）查询结果的审查：①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录（以下简称：“资格审查小组的查询结果”）。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的，以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的（资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档），以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的，其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间：2022-03-04 08:15至2022-03-19 23:59（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至11:59:59，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外) 地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。 方式：在线获取 售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022-03-25 09:30（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：福建省南平市建阳市武夷新区建安大街318号赤岸统建房A区4号楼1104室晖源公司开标室六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南平市产品质量检验所 地 址：南平市文体路203号 联系方式：0599-8830407 2.采购代理机构信息（如有） 名 称：福建晖源工程咨询有限公司 地　　址：南平市延平区八一路73号延水大厦6楼 联系方式：0599-8314701 3.项目联系方式 项目联系人：小刘 电　　 话：0599-8314701 网址：zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名：福建晖源工程咨询有限公司 福建晖源工程咨询有限公司 2022-03-04

2020年10月，中国分析测试协会标准化委员会组织了以王海舟院士为组长的专家组，对成都西奇仪器有限公司提出的《稻米镉的测定等离子体固样直接分析发射光谱法》的CAIA标准草案和编制说明，进行了网上审定。与此同时，北京中实国金国际实验室能力验证研究有限公司，依照《方法精密度符合性评价指导书》，采用成都西奇仪器有限公司提出的《稻米镉的测定等离子体固样分析发射光谱法》，对大米粉中Cd的含量进行测定后，对该方法的精密度进行了符合性评价。成都西奇仪器有限公司根据专家们的意见，修改了标准草案和编制说明。中国分析测试协会标准化委员会秘书组将修改后的标准草案报批稿、标准草案编制说明和精密度符合性评价报告用电子邮件发给中国分析测试协会标准化委员会的每个委员进行审议。规定的审议时间内，委员们在同意该标准草案的前提下对标准草案和编制说明提出了一些修改意见。标准草案的起草人根据委员们提出的修改意见，对标准草案再次进行了修改，形成了“CAIA标准”的正式文本，报中国分析测试协会标准化委员会主任委员张玉奎院士审批。　　经张玉奎院士审查同意，现将这该CAIA标准正式发布。　　该标准规定了由等离子体固样分析发射光谱法测定稻米中镉元素含量的筛选方法，适用于稻米及制品(糙米、粳米及米粉)中镉元素含量的筛查。　　附：《稻米 镉的测定 等离子体固样直接分析发射光谱法》标准文本（发布稿1）.pdf

全新的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。新推出的GigE读出系统，能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据，从而加快分析速度，缩短了样品切换的时间，使单位时间内的样品分析数量大大增加。极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器，不需要外部冷却：具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快（约10分钟）-- 生产率高新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面，易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统，为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号，使用两个光学接口，并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光，以增加灵敏度，巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此，DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍，同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。SPECTROGREEN在分析挑战性的高重基体中的痕量元素方面具有显著优势，这类样品包括黑色及有色、石油及化工、污水及废水、土壤及淤泥、高盐和金属等。同时SPECTROGREEN光谱仪是环境、农学、医药、食品、及日用品安全等常规分析的理想选择。 SPECTROGREEN的推出得益于德国斯派克分析仪器公司40年的仪器研发制造及服务经验，集多年电感耦合等离子发射光谱（ICP-OES、ICP-AES及ICP等离子体）技术之大成。SPECTROGREEN ICP-OES光谱仪预制了斯派克公司专有的ICP ANALYZER PRO software软件，简洁直观，易于操作，分析效率高。德国斯派克分析仪器公司生产的其他型号的ICP-OES包括：SPECTRO GENESIS, SPECTROBLUE及 SPECTRO ARCOS。创新点：SPECTROGREEN ICP-OES采用全新研发的DSOI技术，该技术将传统径向系统的灵敏度推高了数倍，非常适合环境及农业等样品的检测，同时适用于消费品安全、药品、石化产品、高盐、金属、化学品和食品等行业。 全新革命性的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。 • 新推出的GigE读出系统，能够在不到100毫秒的时间内收集、传输光谱及数据，从而加快分析速度，缩短了样品切换的时间，使单位时间内的样品分析数量大大增加。 • 极为灵敏及响应快速的LDMOS发生器，不需要外部冷却：具有分析高重的复杂基体的能力 -- 而无需稀释样品 – 仪器开机速度快（约10分钟）-- 生产率高 • 新的New SPECTRO ICP Analyzer Pro 操作软件采用了简单直观的界面，易于使用 SPECTRO公司新研发的垂直同步双观测DSOI光学系统，为提升ICP-OES的灵密度提供了一种全新解决方案。采用该技术解决了等离子体观测的核心问题。该技术采用全新的视角观测并记录垂直燃烧的等离子体所产生的信号，使用两个光学接口，并用一个增强反射镜来捕获等离子体两侧发出的光，以增加灵敏度，巧妙地解决了困扰垂直炬焰双观测所存在的干扰等诸多问题。因此，DSOI提供的灵敏度是传统径向观测仪器的数倍，同时简单明了地解决了传统垂直双观测所存在的模式复杂、使用成本高等问题。 斯派克电感耦合等离子体发射光谱仪SPECTROGREEN

各有关单位及专家：由广东省分析测试协会组织制订的《水溶性有机化合物中氯、溴、碘元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》团体标准已完成征求意见稿，根据《广东省分析测试协会团体标准制修订工作程序》，现公开征求意见。欢迎各有关单位及专家提出修改意见，并请于2023年10月15日之前将《征求意见表》（附件3）反馈到下面指定邮箱。 联系人：1.梁敏思，13802833035，liangmsi@mail.sysu.edu.cn2.协会秘书处，020-37656885-227，gdaia@fenxi.com.cn 附件：1.《水溶性有机化合物中氯、溴、碘元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法（征求意见稿）》2.《水溶性有机化合物中氯、溴、碘元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法（征求意见稿）》编制说明3. 征求意见表 广东省分析测试协会2023年9月15日附件1 《水溶性有机化合物中氯、溴、碘元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法标准（征求意见稿）》.pdf附件2 《水溶性有机化合物中氯、溴、碘元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法（征求意见稿）》编制说明.pdf附件3 征求意见表.doc

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 2019年10月31日，由牛津仪器主办的“2019牛津仪器等离子技术研讨会——光电及微机电器件制造工艺解决方案”在湖北武汉隆重举行。本次会议是一次针对等离子技术在光电及微机电应用领域的信息共享盛会，参会人数近百人。来自中山大学、华中科技大学、德国Axitron、深圳珑璟光电、湖南启泰传感科技、以及牛津仪器的技术专家为到会人员讲解了半导体行业前沿动态和等离子技术应用实例。仪器信息网在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士，听两位大咖谈半导体产业和等离子技术的最新进展。 /p p 　　牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟首先对到场人员表示欢迎，并作“牛津仪器等离子技术部全产品介绍”的报告。牛津仪器诞生在牛津大学，并在1959年成为第一家独立于牛津大学的商业机构，恰好今年也是牛津仪器的60岁生日。世界只有一个硅谷，在美国 世界只有一个光谷，即武汉光电发展产业园，这也是牛津仪器选择在武汉举办第三次用户会的原因。牛津仪器目前关注的重点主要有三部分：光电子、传感器、射频和功率器件 并且牛津仪器超过50%的用户都是量产型用户。其他在研的领域还有二维材料和原子层镀膜刻蚀等，这些领域可能在未来3-5年后才会产生应用。牛津仪器等离子产品主要集中在刻蚀和沉积两块，陈经理介绍了铌酸锂在体声波传感器应用、ICP、PECVD 离子束产品、离子束刻蚀、离子束沉积等内容。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8dacdfad-60e0-4a08-957b-8b2be967ceec.jpg" title=" 陈伟.jpg" alt=" 陈伟.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 牛津仪器等离子技术部中国区经理 陈伟 /strong /p p 　　中山大学教授蔡鑫伦作“基于硅-铌酸锂复合基底的马赫-曾德尔调制器”的报告。光电子芯片是光通信的基石，而硅基光电子器件是目前最有前景的集成平台，具有高集成度和CMOS兼容带来的低成本等优势。硅基电光调制器是其中最重要的部分，能把电域转化成光域，使得器件速率提高。硅基电光调制器目前主要有传统硅基调制器和硅基异质集成两种(如石墨烯/硅、聚合物/硅、磷化铟/硅、铌酸锂/硅等)。铌酸锂材料具有优秀的电光、声光、压电等性质，但面临折射率差小、尺寸大、集成度低、效率低等问题。使用干法刻蚀工艺制备的铌酸锂薄膜材料在垂直方向上可形成高折射率差，具有折射率差大、尺寸小、集成度高、效率高等优势。2018年，哈佛大学发表的铌酸锂材料做到了半波电压1.4V，电光带宽40GHz，速率210Gbit/s 2019年，中山大学取得了进一步的突破，半波电压提升到1.6V，电光带宽提升到了45GHz，速率提升到了220Gbit/s。铌酸锂薄膜与硅光结合，全面突破电光调制器的性能瓶颈，能够更好地支撑下一代光通信技术。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/176f1ba3-e146-4a90-944a-6284c5ea47b0.jpg" title=" 蔡鑫伦.jpg" alt=" 蔡鑫伦.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 中山大学教授 蔡鑫伦 /strong /p p 　　牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“磷化铟半导体化合物光子器件等离子等离子刻蚀工艺综述”的报告。邓丽刚在牛津仪器工作了超过25年，在等离子刻蚀等领域具有超过30年的经验,长期在英国从事等离子体刻蚀等方面的工作。磷、铟等广泛应用于光电子器件中，报告中介绍了不同的器件对于工艺的基本要求、基本的等离子体概念、由基本概念引申出等离子体刻蚀影响因素以及如何利用这些概念调制刻蚀形貌 还介绍了DFB激光器的刻蚀工艺、器件损伤和工艺的重复性等。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8c3e4706-f280-4738-9372-fd82b27bf801.jpg" title=" 邓丽刚.jpg" alt=" 邓丽刚.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 牛津仪器等离子技术部 邓丽刚 /strong /p p 　　湖南启泰传感科技有限公司董事长王国秋作“薄膜压力传感器与物联网发展”的报告。压力传感器，由于压力源会造成表面变形，导致破坏性作用，使得传感器面临损坏、失效、寿命缩短等问题，目前国内主要使用进口产品。湖南启泰传感制造的压力传感器应用了金属基底，不但弹性更好、稳定性高、可靠性好、温度适应性好(-200℃-200℃)，而且避免了使用硅和陶瓷材料的极端高压适应性问题 王总还以消防行业为例，阐述了物联网动态监测对于下一代压力传感器的革命性变革。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 237px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c07e59d6-debf-4766-9d80-6a00a7129eb6.jpg" title=" 湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" alt=" 湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" width=" 400" height=" 237" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋 /strong /p p 　　深圳珑璟光电技术有限公司赵硕博士作“AR光学方案趋势”的报告，介绍了AR和VR市场目前发展趋势及相关技术方案、衍射波导相关内容以及AR仪器在现实场景中的应用。赵博士认为，VR和AR市场取代手机是一个必然的发展趋势，2025年AR市场将达到8000亿美金以上。华为、英特尔、高通、微软、苹果等行业巨头已经在AR领域开始布局，其中，AR眼镜产品将成为焦点，而光学模组限制了AR场景的使用，且成本占比接近50%，是AR产品的重要元部件。 赵博士介绍了深圳珑璟光电在棱镜、Birdbath、阵列光波导、光栅的产品研发计划以及在G端、B端、C端的应用。 br/ /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/0faa9bd8-d9dd-4e5a-8c16-0e3d45edf8fd.jpg" title=" 赵硕.jpg" alt=" 赵硕.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 深圳珑璟光电技术有限公司 赵硕 /strong /p p 　　华中科技大学引力中心刘骅锋教授作“基于硅基刻穿工艺的高精度MEMS加速度计”的报告，介绍了MEMS火星微震加速度计原理及关键技术，包括高深宽比体硅刻穿工艺、高精度位移传感技术、电磁力反馈控制技术、温度自补偿技术、冲击过载保护技术、低应力封装技术等。刘教授还在现场播放了来自火星的风声，令现场观众耳目一新。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/d22f4dee-1b9e-414c-9444-386f844bd6ce.jpg" title=" 刘骅锋.jpg" alt=" 刘骅锋.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 华中科技大学 刘骅锋 /strong /p p 　　牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“VCSEL及其他镓砷-铝镓砷等离子刻蚀工艺”的报告，通过大量实例介绍了VCSEL解决方案和镓砷-铝镓砷的刻蚀工艺。报告后，邓丽刚向参会观众提出两个与VCSEL有关的基础性问题，并为两位答题观众颁发了奖品。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c03d2870-7b58-4670-a0b6-6d1d35a372c2.jpg" title=" 邓丽刚为答题者颁奖.jpg" alt=" 邓丽刚为答题者颁奖.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 牛津仪器等离子技术部邓丽刚为答题者颁奖 /strong /p p 　　Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士作“III/V族光电设备的大批量外延制造”的报告，介绍了VCSEL具体在砷化镓基、磷化铟基方面的应用以及Micro LED在显示方面标杆性的工作。方博士表示，VCSEL器件的出现已经很多年历史，但落实到生产要考虑到良率等问题，比如在均匀性方面，要考虑厚度均匀性、组分均匀性，另外也要考虑成本问题 尺寸在50微米以下的Micro LED产品，在未来必然会替代LCD、OLED等，但这离不开业界的努力，其市场相比于LED照明市场更加广阔，是LED市场的10倍以上。市面上见到的Micro LED产品其实还没有实现量产，而目前工业届最大的问题就是量产，Axitron公司也正在解决如何实现低成本、高良率生产问题，因为只有这样才能打开更广阔的市场。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/db4f3c98-a467-4476-8443-c2b69cc8e72a.jpg" title=" 方子文.jpg" alt=" 方子文.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理 方子文 /strong /p p 　　牛津仪器纳米分析部马岚博士作“半导体材料的表面分析”的报告，介绍了EDS及EBSD在半导体中的应用以及原子力显微镜在半导体中的应用。EBSD主要用于长程有序的结晶半导体样品分析，如微焊点等。EBSD能通过采集周期性样品表面所产生的衍射电子信号，确定样品晶体结构、晶粒取向、晶粒尺寸和界面分布，可以用于芯片的失效分析。随后，马岚博士也就原子力显微镜如何分析半导体表面粗糙度、形貌、缺陷等进行了详细介绍。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e05c777d-cf78-47be-8e59-4999118212af.jpg" title=" 马岚.jpg" alt=" 马岚.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / & nbsp /p p style=" text-align: center " strong & nbsp 牛津仪器 马岚 /strong /p p style=" text-align: center " strong img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 400px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/02f3ede5-bd2f-4713-b0d0-d61cde0ce5ee.jpg" title=" 颁奖_副本.png" alt=" 颁奖_副本.png" width=" 400" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" / /strong /p p style=" text-align: center " strong 牛津仪器为报告人颁奖 /strong /p p style=" text-align: left " 　　仪器信息网还在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士，了解国内半导体产业发展现状与等离子技术发展的趋势。 br/ /p p 　　 strong 牛津仪器： /strong strong 以客户需求为中心 以行业应用为导向 /strong /p p 　　陈经理谈到，得益于国内政策导向的支持与半导体芯片企业的飞速发展，牛津仪器凭借着每年10%以上的科研投入保持着两位数的高速增长。一方面，牛津仪器迎合客户需求，积极推陈出新，关注化合物半导体的发展，尤其是在光电、能源领域 另一方面，牛津仪器积极发展等离子体技术，比如在等离子体低损伤方面，不同于传统ICP以时间为单位，新型原子层刻蚀以每个Cycle为单位，刻蚀可以控制在原子层级别，精度大幅提升。 /p p 　　牛津仪器目前超过50%的用户都是量产型用户，通过举办类似的线下用户会，与用户面对面交流，第一时间了解到用户的问题和攻克的难点，确定攻克方向上的优先顺序。在传统领域，牛津仪器主要是帮助量产型用户提升产能、良率 在新领域研发方面，牛津仪器也在关注二维材料等领域，虽然三到五年内尚不会成为主流，但其发展潜力看好。包括砷化镓，碳纳米管以及二硫化钼等低维材料都有希望成为替代硅的晶体管材料。目前，客户对等离子技术的需求日益提高，以无机材料中的化合物半导体为例，随着芯片的迭代升级，对频率和功率的要求更加严格，不仅要朝着刻蚀的无损化的方向发展，还要求一台设备能对应更多类型的材料，这都是牛津仪器目前在研发的方向。 /p p strong 　　Axitron公司：将与牛津仪器密切合作 携手促进等离子技术发展和半导体相关产业升级 /strong /p p 　　方博士表示，Axitron公司与牛津仪器是上下游的合作关系，比如在薄膜的沉积和刻蚀方面，双方合作攻克新材料，从硅基材料到新型化合物半导体材料，如砷化镓及磷化铟等新兴材料。目前，化合物半导体材料在性能上比硅强，但是化合物半导体材料的普及主要还是集中在成本上，这包括了整个行业长期的质量验证过程以及行业整体“量”上的提升。以LED蓝宝石衬底为例，过去单片成本高昂，但随着政府的支持和大量工厂的兴起，单片成本大幅降低。在这个过程中，科研用户在化合物半导体领域进行初筛，选择最具量产前景的半导体新材料 工业用户主要负责降低单位成本，比如基台的成本和消耗，保证产能和良率的提升和化学源效率的提高。 /p p 　　对于国内半导体产业面临的问题，方博士也指出，国内产业在数据分析方面还停留在初级阶段，产品质量出现问题才由工程师人为分析，尚未建立起工业的自动化，进行常见参数如温度、压力与对应产品批次的质量分析。对于国内半导体产业技术相对落后的问题，牛津仪器和Axitron公司也经常为客户做一些技术分享，帮助半导体相关产业升级。 /p p 　　陈经理最后谈到，中国市场对于牛津仪器意义非凡，在整个亚太市场都占有很高的比重，牛津仪器也会重视中国市场的巩固与开拓，未来考虑将在上海建立DEMO实验室，帮助用户提供专业解决方案。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/aa4ca30d-bd3b-434f-ab51-7ad34ef13c6c.jpg" title=" Axitron公司方子文博士（左）和牛津仪器经理陈伟（右）.jpg" alt=" Axitron公司方子文博士（左）和牛津仪器经理陈伟（右）.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong Axitron公司方子文博士(左)和牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟(右) /strong /p p 　　本次会议在武汉隆重举行，牛津仪器与用户进行了深入的交流讨论，对于用户痛点以及未来的发展方向有了更加清晰的认知，也帮助用户解决了科研生产中的工艺问题，会议取得了圆满成功。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 266px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/897cf5fb-7e61-4f7d-9275-41ac011fb8f7.jpg" title=" 获奖.jpg" alt=" 获奖.jpg" width=" 400" height=" 266" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 研讨会期间还举办了抽奖环节，牛津仪器为与会老师提供了丰富的奖品 /strong /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e67b1886-c314-44cd-b252-629652092789.jpg" title=" 会后热烈讨论.jpg" alt=" 会后热烈讨论.jpg" width=" 400" height=" 267" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 会后热烈讨论 /strong /p p br/ /p

利用高精度直接驱动马达的驱动方式有效提高了精度和测量效率 　精工电子纳米科技有限公司（简称：SIINT，社长：川崎贤司，总公司：千叶县千叶市）是精工电子有限公司（简称：SII，社长：新保雅文，总公司：千叶县千叶市）的全资子公司。公司的最新产品—利用高精度直接驱动马达的驱动方式，兼备高精度和高效率测量的ICP等离子体发射光谱仪（ICP-OES或ICP-AES※1）「SPS3500DD系列」将于8月4日正式开始销售。 ICP等离子体发射光谱仪　SPS3500DD系列 　ICP-OES能够对应从ppm（百万分率）到ppb（十亿分率）级别的分析。由于可进行元素的精密分析，因此被很多法定法规所采用。其应用特别是在近年来极其关注的稀有金属和稀土类元素分析的领域，另外也广泛应用在电子仪器中的环境管制物质的管理、电镀、工业材料、钢铁等高共存元素样品中的组成分析以及品质管理。　以往的SPS3500是通过旋转驱动光栅，对元素所发出的特征光线进行分离，来对样品中所含有的各种元素进行精密分析的扫描型ICP-OES。过去为了驱动光栅，使用的是滚珠丝杠和斜口滑块等几个部件组合起来的正弦设定方式。因此，在测量的精度和效率方面就有所限制。此次新开发的「SPS3500DD系列」，使用新开发的直接驱动马达来直接驱动光栅，避免了一些无用的机械动作，使得高精度・ 高效率的测量成为可能。与过去的驱动方式相比，其波长位置精度提高了5倍，定性分析提高约6倍，大大提高了测量的效率。　此外，由于「SPS3500DD系列」可更大角度地驱动高分辨率光栅，可对长达460nm波长范围进行分析，而其中有着很多需要利用高灵敏度分析线才能分析的稀土类元素镨、钕、钐等元素，也能够进行高分辨率的测量。并且，通过直接驱动马达方式，最小驱动波长单位为2pm，通过一次测量，进行全波长能谱的广域波长分析。测定结束后，能够对广域波长的能谱进行局部扩大并进行观察。特别是在未知样品的元素干扰分析方面，是非常有效的。【SPS3500DD系列的主要特征】 (1) 实现高精度分析光栅的驱动无需使用正弦设定、滚珠丝杠等辅助部件，通过直接驱动马达直接驱动。因此、基本不会受到各部件的热膨胀等影响，可进行高精度的分析。(2) 可进行快速测量由于可以快速驱动（以往的10倍以上）分光的光栅，全元素定性测量所花的时间只是以往的约1/6。同时也可减少样品的消耗量。(3) 可测量广域波长通过采用高分辨率直接驱动马达，增加了对任意设定广域连续能谱进行高分辨率的获取功能。可进行全元素、全波长的能谱确认和以此信息为基本的定性判断。也可简单地设定含有复杂的共存元素的样品的测量条件。(4) 高分辨率测量由于采用了直接驱动马达，光栅的角度就没有限制了。可大角度驱动高分辨率的光栅（4320根/mm），所以可在以往不可能达到的450nm附近的波长进行高分辨率测量。通过采用4320根/mm光栅，实现了世界顶尖水平的分辨率0.0045nm，可精确测量金属等的共存元素高的样品。(5) 定性分析功能的充实可选择快速定性分析和高精度定性分析等定性分析方法。根据样品内容和目的可进行广泛的对应。(6) 紧凑型设计与以往机型同样，采用的是分光器竖着配置，高频电源和循环冷却水装置内置在主机内的一体化紧凑型设计。 【价格】　1700万日元～（不含税）【预定销售台数】　100台（2011年度） 本产品的咨询方式中国：精工盈司电子科技(上海)有限公司TEL：021-50273533FAX：021-50273733MAIL：sales@siint.com.cn日本：【媒体宣传】精工电子有限公司综合企划本部 秘书广告部【客户】精工电子纳米科技有限公司分析营业部 营业二科TEL: 03-6280-0077（直线）MAIL：info@siint.co.jp

在半导体行业，晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时，等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻，并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线，可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态，其中一部分原子已经被激发或电离，形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时，等离子体中存在的原子就会发射特有波长的辐射光，其光谱图可用来确定等离子体的组成。等离子体是用一系列高能方法使原子电离而形成的，包括热、高能激光、微波、电和无线电频率。实时等离子体监测以改进工艺等离子体有一系列的应用，包括元素分析、薄膜沉积、等离子体蚀刻和表面清洁。通过对等离子体样品的发射光谱进行监测，可以为样品提供详细的元素分析，并能够确定控制基于等离子体的过程所需的关键等离子体参数。发射线的波长被用来识别等离子体中存在的元素，发射线的强度被用来实时量化粒子和电子密度，以便进行工艺控制。像气体混合物、等离子体温度和粒子密度等参数都是控制等离子体过程的关键。通过在等离子体室中引入各种气体或粒子来改变这些参数，会改变等离子体的特性，从而影响等离子体与衬底的相互作用。实时监测和控制等离子体的能力可以改进工艺和产品。一个基于Ocean Insight HR系列高分辨率光谱仪的模块化光谱装置用于监测等离子体室引入不同气体后，氩气等离子体发射的变化。测量是在一个封闭的反应室中进行的，光谱仪连接光纤和余弦校正器，通过室中的一个小窗口观察。这些测量证明了模块化光谱仪从等离子体室中实时获取等离子体发射光谱的可行性。从这些发射光谱中确定的等离子体特征可用于监测和控制基于等离子体的过程。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，使用高分辨率光谱仪，如Ocean Insight的HR或Maya2000 Pro系列（后者是检测UV气体的一个很好的选择）。对于模块化设置，HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合，以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量，用户可以增加一个光谱库来比较数据，并快速识别未知的发射线、峰和波段。监测真空室中形成的等离子体时，一个重要的考虑因素是与采样室的接口。仪器部件可以被引入到真空室中，或者被设置成通过视窗来观察等离子体。真空通管为承受真空室中的恶劣条件而设计的定制光纤将部件耦合到等离子体室中。对于通过视口监测等离子体，可能需要一个采样附件，如余弦校正器或准直透镜，这取决于要测量的等离子体场的大小。在没有取样附件的情况下，从光纤到等离子体的距离将决定成像的区域。使用准直透镜可以获得更局部的收集区域，或者使用余弦校正器可以在180度的视野内收集光线。测量条件HR系列高分辨率光谱仪被用来测量当其他气体被引入等离子体室时氩等离子体的发射变化。光谱仪、光纤和余弦校正器通过室外的一个小窗口收集发射光谱，对封闭反应室中的等离子体进行光谱数据采集（图1）。图1：一个模块化的光谱仪设置可以被配置为真空室中的等离子体测量。一个HR2000+高分辨率光谱仪（~1.1nm FWHM光学分辨率）被配置为测量200-1100nm的发射（光栅HC-1，SLIT-25），使用抗曝光纤（QP400-1-SR-BX光纤）与一个余弦校正器（CC-3-UV）耦合。选择CC-3-UV余弦校正器采样附件来获取等离子体室的数据，以解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀问题。其他采样选项包括准直透镜和真空透镜。结果图2显示了通过等离子体室窗口测量的氩等离子体的光谱。690-900纳米的强光谱线是中性氩（Ar I）的发射线，400-650纳米的低强度线是由单电离的氩原子（Ar II）产生的。图2所示的发射光谱是测量等离子体发射的丰富光谱数据的一个例子。这种光谱信息可用于确定一系列关键参数，以监测和控制半导体制造过程中基于等离子体的工艺。图2：通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。氢气是一种辅助气体，可以添加到氩气等离子体中以改变等离子体的特性。在图3中，随着氢气浓度的增加添加到氩气等离子体中的效果。氢气改变氩气等离子体特性的能力清楚地显示在700-900纳米之间的氩气线的强度下降，而氢气浓度的增加反映在350-450纳米之间的氢气线出现。这些光谱显示了实时测量等离子体发射的强度，以监测二次气体对等离子体特性的影响。观察到的光谱变化可用于确保向试验室添加最佳数量的二次气体，以达到预期的等离子体特性。图3：将氢气添加到氩等离子体中会改变其光谱特性。在图 4 和 5 中，显示了在将保护气添加到腔室之前和之后测量的等离子体的发射光谱。 保护气用于减少进样器和样品之间的接触，以减少由于样品沉积和残留引起的问题。 在图 4中，氩等离子体发射光谱显示在加入保护气之前，加入保护气后测得的发射光谱如图5所示。保护气的加入导致了氩气发射光谱的变化，从400纳米以下和~520纳米处的宽光谱线的消失可以看出。图4：加入保护气之前，在真空室中测量氩等离子体的发射。图5：加入保护气后，氩气发射特性在400纳米以下和~520纳米处有明显不同。结论紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法，以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。HR2000+高分辨率光谱仪和模块化光谱学方法在测量等离子体室条件改变时，通过等离子体室的窗口测量等离子体发射光谱，效果良好。还有其他的等离子体监测选项，包括Maya2000 Pro，它在紫外光下有很好的响应。另外，光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中，并与机器学习工具相结合，以实现对等离子体室条件更复杂的控制。以上文章作者是海洋光学Yvette Mattley博士，爱蛙科技翻译整理。世界上第一台微型光谱仪的发明者海洋光学OceanInsight，30年来专注于光谱技术和设备的持续创新，在光谱仪这个细分市场精耕细作，打造了丰富而差异化的产品线，展现了光的多样性应用，坚持将紧凑、便携、高集成度以及高灵敏度、高分辨率、高速的不同设备带给客户。2019年，从Ocean Optics更名为Ocean Insight，也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。此后，海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线，且增强支持和服务能力，为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴，爱蛙科技（iFrogTech）致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题，为打造量身定制的光谱解决方案而努力。如需了解更多详情或探讨创新应用，可拨打400-102-1226客服电话。关于海洋光学海洋光学作为世界领先的光学解决方案提供商，应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者，如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技（iFrogTech）是海洋光学官方授权合作伙伴，提供光谱分析仪器销售、租赁、维护，以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

项目编号：GDJY220624004HG031项目名称：韶关学院材料与化工硕士学位点及教学科研平台建设大型精密仪器、实验室家具及设备采购项目采购方式：公开招标预算金额：1,600,000.00元采购需求：合同包1(材料与化工硕士学位点建设):合同包预算金额：850,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表电感耦合等离子体原子发射光谱仪（ICP）1(台)详见采购文件550,000.00-1-2其他专用仪器仪表高效液相色谱仪（LC）1(台)详见采购文件300,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后15个日历日内交货。合同包2(无机非金属材料专业教学科研平台建设（实验室家具购置）):合同包预算金额：160,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1其他家具用具通风橱2(套)详见采购文件20,000.00-2-2其他家具用具中央台(带水槽）12(台)详见采购文件25,100.00-2-3其他家具用具中央台(带水槽）21(台)详见采购文件13,550.00-2-4其他家具用具边台12(台)详见采购文件6,400.00-2-5其他家具用具边台（带水槽）11(台)详见采购文件4,050.00-2-6其他家具用具边台21(台)详见采购文件4,250.00-2-7其他家具用具边台（带水槽）21(台)详见采购文件3,350.00-2-8其他家具用具边台31(台)详见采购文件3,800.00-2-9其他家具用具边台（带水槽）31(台)详见采购文件11,700.00-2-10其他家具用具边台42(台)详见采购文件3,900.00-2-11其他家具用具中央台3(台)详见采购文件60,900.00-2-12其他家具用具中央台试剂架（与中央台配套）3(台)详见采购文件3,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后30个日历日内交货。合同包3(无机非金属材料专业教学科研平台建设（实验室设备购置）):合同包预算金额：590,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)3-1其他专用仪器仪表电化学分析仪1(台)详见采购文件68,000.00-3-2其他专用仪器仪表实验室热风循环烘箱2(台)详见采购文件6,000.00-3-3其他专用仪器仪表数显粘度测试仪7(台)详见采购文件28,000.00-3-4其他专用仪器仪表台式数显白度仪4(台)详见采购文件6,000.00-3-5其他专用仪器仪表超声波清洗机2(台)详见采购文件7,200.00-3-6其他专用仪器仪表土壤液塑限联合测定仪2(台)详见采购文件3,600.00-3-7其他专用仪器仪表数显可塑性测试仪3(台)详见采购文件25,800.00-3-8其他专用仪器仪表超声波清洗机1(台)详见采购文件5,500.00-3-9其他专用仪器仪表酸碱计2(台)详见采购文件5,000.00-3-10其他专用仪器仪表磁力搅拌器电热套2(台)详见采购文件6,000.00-3-11其他专用仪器仪表数显控温磁力搅拌器2(台)详见采购文件2,000.00-3-12其他专用仪器仪表蠕动泵1(台)详见采购文件2,000.00-3-13其他专用仪器仪表高速离心机1(台)详见采购文件9,500.00-3-14其他专用仪器仪表全自动界面张力测试仪1(台)详见采购文件9,500.00-3-15其他专用仪器仪表不锈钢数显式电热鼓风干燥箱2(台)详见采购文件7,000.00-3-16其他专用仪器仪表循环水真空泵1(台)详见采购文件1,200.00-3-17其他专用仪器仪表杯式超滤器2(台)详见采购文件7,200.00-3-18其他专用仪器仪表数显旋转粘度计1(台)详见采购文件4,800.00-3-19其他专用仪器仪表电热恒温真空干燥箱1(台)详见采购文件4,500.00-3-20其他专用仪器仪表混凝土搅拌机1(台)详见采购文件4,000.00-3-21其他专用仪器仪表混凝土试件蒸汽养护箱1(台)详见采购文件8,000.00-3-22其他专用仪器仪表智能恒温恒湿试验箱1(台)详见采购文件6,000.00-3-23其他专用仪器仪表SHR-6水泥水化热测定仪（直接法）1(台)详见采购文件35,000.00-3-24其他专用仪器仪表pH计1(台)详见采购文件3,000.00-3-25其他专用仪器仪表电子天平1(台)详见采购文件3,000.00-3-26其他专用仪器仪表硅酸盐矿物断口标本5(套)详见采购文件1,250.00-3-27其他专用仪器仪表硅酸盐矿物解理标本5(套)详见采购文件1,250.00-3-28其他专用仪器仪表电动搅拌机2(台)详见采购文件1,600.00-3-29其他专用仪器仪表数显可调式封闭电炉3(台)详见采购文件1,500.00-3-30其他专用仪器仪表恒温水箱水槽4(台)详见采购文件2,400.00-3-31其他专用仪器仪表真空钨丝炉1(台)详见采购文件200,000.00-3-32其他专用仪器仪表箱式高温炉2(台)详见采购文件42,000.00-3-33其他专用仪器仪表管式电炉1(台)详见采购文件18,300.00-3-34其他专用仪器仪表高温箱式炉1(台)详见采购文件13,900.00-3-35其他专用仪器仪表行星式球磨机2(台)详见采购文件20,000.00-3-36其他专用仪器仪表硬度计1(台)详见采购文件20,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后15个日历日内交货。

安捷伦科技微波等离子体原子发射光谱仪荣膺 R&D 杂志评选的百大科技研发奖 2012 年 6 月 25日，北京&mdash &mdash 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）宣布了 4100 微波等离子体原子发射光谱仪 (MP-AES) 在权威的百大科技研发奖名单中榜上有名，该奖项评出过去一年中全球范围内推出的技术最先进的 100 种产品。 安捷伦副总裁光谱产品总经理 Philip Binns 说：&ldquo 4100 ＭＰ-AES 从根本上改变了科学家进行元素分析的方法。该产品在 2011 年投放市场，开创了一个全新的产品类别，为科研人员提供了最低维护成本的元素分析设备，同时还提高了实验室的安全性。这一突破性元素分析仪器被授予百大科技研发大奖，我们深感荣幸。&rdquo 长期以来，百大科技研发大奖一直是通讯、高能物理学、软件、制造业和生物技术行业衡量卓越的标杆。该奖项是由独立评审小组和 R&D 杂志的编辑共同甄选。 4100 MP-AES 使用空气运行的氮气等离子发生器，因此不需要易燃的或昂贵的气体。4100 MP-AES 不用连接外部气瓶，也无需持续供气，是所有元素分析实验室的上乘之选，这对于偏远地区和流动实验室来说尤为可贵。有了该光谱仪，实验室无需再使用多种气体，也免除了手动搬运和处理气瓶，有效改善实验室的安全。 关于安捷伦科技 安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是全球领先的测量公司，同时也是化学分析、生命科学、电子和通信领域的技术领导者。公司的 20,000 名员工为 100 多个国家的客户提供服务。在 2011 财政年度，安捷伦的业务净收入为 66 亿美元。要了解安捷伦科技的信息，请访问：www.agilent.com.cn。

全体会员及各有关单位：根据《青海省标准化协会团体标准管理办法》的要求，2023年9月9日青海省标准化协会组织专家，对由海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心申请的《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》、《工业氯化钙中钠镁钾含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》、《硫酸钾镁肥中钙镁钠含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》3 项团体标准进行立项评估。经专家组质询及现场答疑，同意立项。请各单位严格按照相关要求抓紧组织实施，严把标准质量关，切实提高标准制定的质量和水平，增强相关标准的适用性和有效性。欢迎会员单位积极参与本标准的编制工作，有意者请与青海省标准化协会联系。联系人：刘伟朝电 话：0971-4110866地 址：青海省西宁市城西区西关大街31号邮 箱：744636392@qq.com 附件：拟立项团标清单序号拟立项团标名称主要参编单位1《工业盐中 10 种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心2《工业氯化钙中钠镁钾含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心3《硫酸钾镁肥中钙镁钠含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》海西州盐化工产品质量检验检测中心、青海省盐湖工业股份有限公司、青海省柴达木综合地质矿产勘查院、海西州质量技术检验检测中心、西宁大学(筹)、茫崖市食品药品和质量技术检验检测中心青海省标准化协会2023年9月11日青海省标准化协会关于《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》等 3项团体标准立项的公告1.jpg青海省标准化协会关于《工业盐中10种金属离子含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》等 3项团体标准立项的公告2.jpg

最新推出的ARCOS光谱仪将电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）的效率和性能推向了新的高度。该产品是业界领先的ARCOS系列更新产品，也是目前拥有30多年世界领先ICP-OES设备生产经验的SPECTRO的又一巅峰之作。SPECTRO ARCOS广泛适用于工业和科研领域中面向未来的金属、化学、石化和其他材料的元素分析。它拥有独一无二的全新MultiView等离子体接口，第一次真正地在同一台仪器上实现轴向和径向的直接观测。此外还有创新的独家固态发生器，功率极高，且高能效，适合未来应用。SPECTRO ARCOS采用独特的设计，运行成本低、性能可靠且使用寿命长。它配有符合人体工程学设计的现代化机箱，拥有多项先进功能，如免吹扫UV-PLUS密封空气净化技术、无需外部冷却的OPI-Air接口、简洁的进样系统以及方便的维修保养设计。所有这一切的精心和独到设计，使得SPECTRO ARCOS无需使用任何额外技术或设备即能实现无与伦比的性能。详情欢迎浏览:http://www.instrument.com.cn/netshow/C223190.htm www.spectro.com.cn欢迎垂询：400 100 3885 400 162 7360

一、招标编号： CG2024-WT-GK-HW-060二、项目名称： 昆明海关2024年瑞丽海关实验室提升改造项目采购项目三、采购预算：本项目预算金额合计总金额人民币14,480,000.00元，其中包1人民币6,360,000.00元，包2人民币2,870,000.00元，包3人民币3,050,000.00元，包4人民币2,200,000.00元。四、招标内容：（一）货物内容包件号序号品目名称数量单价预算（元）交货期交货地点质保期包件11电感耦合等离子体发射光谱仪1780,000.00合同签订后90日内交货昆明海关指定地点详见项目需求书2液相色谱-电感耦合等离子体质谱仪11,290,000.003液相色谱-高分辨质谱仪14,290,000.00包件21高效液相色谱仪1450,000.002二维液相色谱仪1790,000.003气相色谱-三重四级杆质谱仪11,630,000.00包件31超景深显微镜1820,000.002体视显微镜1380,000.003显微激光共焦拉曼光谱仪11,850,000.00包件41多层螺旋CT机12,200,000.00 （二）行业类型：工业（三）其它要求1.投标人必须对所投标包中的所有货物进行投标，不允许拆包投标。2.针对同一包，一个投标人不得提交两个或两个以上不同的投标文件或投标报价。3.各品目产品的投标报价不能超过本品目预算（品目预算详见项目需求书中的分配表），否则视为无效投标。五、投标人资格条件1、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条及《政府采购法实施条例》第十七、十八条规定。2、开标日通过“信用中国”网站、中国政府采购网查询，未被列入“失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单”的。3、从采购机构在本公告中规定的渠道获取了招标文件，且在法律上和财务上独立于采购机构。4、其他条件：（1）本项目不接受联合体投标。（2）本项目不接受进口产品投标（进口产品是指通过中国海关报关，验放进入中国境内，且产自关境外的产品）。六、获取招标文件方式及时间1、潜在投标人获取招标文件的步骤：第一步：网上报名登录中国海关政府采购网（http://hgcg.customs.gov.cn）点击供应商登录访问海关智慧政采综合管理平台供应商端，查看招标公告并针对拟参加的项目按包号进行报名。未在海关智慧政采综合管理平台注册的，应首先阅读中国海关政府采购网“供应商专栏”中的《供应商注册地址及流程手册》并进行注册，然后再针对拟参加的项目按包号进行报名。第二步：下载招标文件网上报名成功后方可免费下载招标文件，并通过海关智慧政采综合管理平台供应商端在线投标，不再接受纸质投标文件。网上报名时间：2024-08-20 00:00:00至2024-08-27 23:59:59止（北京时间）。请潜在投标人务必在网上报名截止时间前进行报名并按包号下载招标文件，超过报名截止时间的将无法下载招标文件。七、投标截止时间及投标方式1.投标文件提交截止时间：2024-09-12 08:30:00（北京时间）。本项目采用海关智慧政采综合管理平台进行网上投标，请符合投标条件的投标人安装投标工具，编制完成后加密上传投标文件。除上述方式之外，不接受投标人以纸质文件或其他任何方式提交的投标文件。2.供应商投标工具下载供应商投标前需安装投标终端，请访问中国海关政府采购网（http://hgcg.customs.gov.cn）在常用下载栏目下载工具及驱动程序。八、开标时间及方式1.开标时间：2024-09-12 08:30:00（北京时间）2.开标方式：本项目通过网上开标大厅进行开标，投标人可以在开标前登录海关智慧政采综合管理平台点击开标大厅，参加开标过程并确认唱标结果，投标人未参加开标的视同认同唱标结果。九、采购机构相关信息采购机构名称：海关总署物资装备采购中心地址：北京市东城区金宝街61号鑫海锦江大酒店邮政编码：100005联系方式：010-65194838（平台使用技术咨询）010-65195902（业务咨询）010-65195677（质疑受理）

p style=" text-align: center " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/94c59ab4-b437-4f62-92f9-ae26a382d0da.jpg" title=" 001.jpg" alt=" 001.jpg" width=" 500" height=" 250" border=" 0" vspace=" 0" style=" text-align: center max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 250px " / /p p 　　聚焦离子束(FIB)光源与扫描电子显微镜(SEM)相结合，由于其独特的生成各种结构的能力，无论是通过切割还是离子束诱导沉积(IBID)，都引起了人们的极大兴趣。通过SEM观察。直到最近，只有镓(Ga +)和氙(Xe +)FIB / SEM仪器可商购。由于其光斑尺寸小和电流密度高，Ga + FIB可为样品制备和纳米原型制作提供良好的结果。Xe +等离子体FIB(PFIB)具有更高的最大电流，可实现高通量切割，适用于大体积表征，同时还可消除Ga +污染样品。但是，在一些情况下，两种离子源都不是理想的选择。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 299px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/58f259f0-038b-4bd3-9e82-95b5382b4679.jpg" title=" 002.jpg" alt=" 002.jpg" width=" 300" height=" 299" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 图1.用Helios Hydra UX DualBeam制备的高质量GaAs薄片的HR S / TEM图像，使用Ar FIB进行最终抛光。 /strong /p p 　　为了扩展FIB应用领域的视野，赛默飞推出了新的Thermo Scientific Helios Hydra DualBeam。这种先进的仪器具有新一代PFIB光源，支持多种离子作为主光源。Helios Hydra与氙一起提供三种额外的离子种类：氩，氧和氮。单个离子源，提供多种离子，可在10分钟或更短的时间内在各个光源之间进行独特、轻松的切换。这为各种应用案例提供了显着的优势 例如，先进的TEM样品制备，其中采用氩束的最终抛光可以显着改善成像结果。这项新技术还将使科学家能够对离子 - 物质相互作用进行基础和应用研究，例如氮离子束硅藻与硅相互作用。 /p p 　　& quot 为科学家在一台仪器中轻松选择四种不同离子源的整合能力,将扩大和优化跨长度尺度研究材料性能的应用空间,& quot 赛默飞世尔科技-材料和结构分析总裁Mike Shafer说，& quot 我们新的 Helios Hydra DualBeam 系统提供了所需的灵活性,可以更好地分析样品、改进结果并开发新的和增强的材料。” /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 300px height: 326px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201908/uepic/c117ffc6-bd94-4bbb-92d6-0aa93a46826c.jpg" title=" 003.jpg" alt=" 003.jpg" width=" 300" height=" 326" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong 图2.使用Helios Hydra CX DualBeam采用O +聚焦离子束和AS& amp V4软件进行自动连续切片的汽车机油滤清器壳体(聚合物/玻璃纤维复合材料)的三维重构。HFW(水平宽度)为350μm。 /strong /p p 　　Helios Hydra 双束电镜允许材料科学研究人员发现和设计新材料并分析其性能和结构。凭借其氧离子束,非常适合用于切割碳基材料,如电池正极中使用的石墨,它可以帮助研究人员开发更安全、更轻、更高效的储能设备。 /p p 　　据介绍，这是第一款商业化的，允许快速、简便地进行离子束切换的仪器。以前，应用不同的离子束需要研究人员在仪器之间转移样品,或进行冗长而复杂的源交换。例如,独立的专用宽束氩离子抛光机目前是高质量透射电子显微镜(TEM)样品制备工作流程的典型部件。使用 Helios Hydra DualBeam 电镜,在初始切割后,可直接将聚焦的氩离子应用于样品抛光,从而大大减少了样品的转移和处理时间。切换时间为 10 分钟或更短,研究人员还可以在一个小节内将所有 4 束光束应用于样品,以确定哪种离子最适合其预期用途。这种灵活性扩展了FIB在探索电子-样品相互作用方面的潜在应用。 /p p 　　据悉， a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100537/C18181.htm" target=" _blank" strong Helios Hydra 双束电镜 /strong /a 的正式生产将于 2019 年 9 月开始。 /p p 　　更多详情请点击： a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100537/C18181.htm" _src=" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100537/C18181.htm" https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100537/C18181.htm /a & nbsp /p p & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp /p

仪器信息网讯 2013 年5 月14 日，由牛津仪器等离子技术公司主办的“牛津仪器纳米级等离子工艺研讨会”在北京举行，来自广大企业及科研院所的160余名用户参加了此次会议。 会议现场 　　会议就微纳米技术在科研领域的新发展、未来的加工趋势、微纳米结构及器件应用等内容进行了探讨和交流。 牛津仪器商务发展总监 Frazer Anderson先生 　　牛津仪器商务发展总监Frazer Anderson先生首先介绍了牛津仪器及牛津仪器等离子体技术公司的基本情况。牛津仪器的业务主要分为纳米分析部、工业分析部和服务三大部分。其业务收入目前38%来自亚洲、32%来自欧洲、北美占27%，其他区域占3%。 　　牛津仪器等离子体技术公司属于纳米分析部，作为等离子体与沉积处理系统的领导供应商，成立于1982年，拥有超过30年的工艺经验，超过6000件的工艺库，能刻蚀、沉积或使用超过50%的元素周期表中的自然界元素。应用领域包括高亮度发光二极管(HBLED)、微机电系统MEMS、第三代光伏发电及下一代半导体技术等。拥有遍布全球的销售服务网络，并在英国、德国、中国、美国、日本、新加坡等设立了分公司与办事机构。 中科院半导体所半导体集成技术研究中心主任 杨富华教授 　　杨富华教授介绍了中科院半导体所、半导体技术研究中心、纳米技术在中科院半导体所的应用、半导体所采用的牛津仪器等离子体技术公司的产品使用情况等。他表示举办这样的交流会对于科研人员更好的了解相关领域的前沿动态及技术交流很有帮助。等离子体技术对于未来的科研工作非常重要，我们的研究人员一定要懂得仪器的使用原理，更好的操作仪器，获取出色的研究成果。同时他提出对于仪器公司来说，要想提高在中国的市场占有率，需要在仪器质量、价格、服务及技术打包方案等方面做更多的关注。 牛津仪器MEMS首席工艺科学家 Mark McNie先生 　　Mark McNie在报告中主要介绍了深硅刻蚀和低温纳米刻蚀技术在微机电系统(MEMS)中的应用。目前微机电系统的主要应用领域包括微机械、微流体、传感器及生物医药等领域。其发展趋势主要在于一体化和复杂化。 台湾工研院微系统技术中心经理 Dr.Lin Ching-Yuan 　　Lin Ching-Yuan博士在报告中指出微机电系统(MEMS)的市场规模到2017年将达到210亿美元，其2011年的市场规模为102亿美元，年均复合增长率将达到13%。未来在消费品和生物应用领域将发挥重要的角色，晶圆级的组合结构设计、3D一体化设计将成为MEMS的发展趋势，MEMS技术在半导体及移动电话领域的应用需求依然强劲。 牛津仪器首席技术官 Dr. Mike Cooke 　　Mike Cooke博士介绍了ALD(Atomic layer deposition)原子层沉积系统及其应用。ALD是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法，该技术作为一种先进的薄膜生长技术，已经在高介电和半导体薄膜生长等多方面得到了应用。新型高介电栅介质材料，纳米材料和纳米技术以及3D电子器件等是推动ALD发展重要的需求动力。 　　另外，此次交流会中Mike Cooke博士还就纳米薄膜加工工艺面临的问题及解决方案作了介绍。 牛津仪器III-V族刻蚀应用首席工艺科学家 邓力刚博士 　　邓博士在报告中介绍了激光干涉、光谱发射技术在III-V族刻蚀中的应用，这两种技术均可以很好的用于刻蚀监测及控制刻蚀深度。III-V 族刻蚀工艺优化中应注意了解材料特点，保持腔体干净，另外好的掩膜对于获取良好的刻蚀结果也十分重要。 牛津仪器HBLED产品经理 Dr.Mark Dineen 　　Mark Dineen博士介绍说PlasmaPro 1000 Astrea刻蚀设备，可以为PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蚀提供解决方案。牛津仪器在高亮度发光二极管(HBLED)产业中已具备15年以上的供应设备经验， HBLED制造业要求高产量、高性能和低使用者成本， PlasmaPro1000 Astrea大批量刻蚀设备完全符合以上要求。 牛津仪器Ion Beam产品经理 梁杰荣博士 　　梁杰荣博士介绍说，Ion Beam(离子束)技术可广泛的用于金属、氧化物和半导体的刻蚀与沉积。随着离子源栅网设计技术的持续改进，将使离子束技术更好的用于纳米结构的精细刻蚀。高离子能量及低压操作将为高质量的光学涂层和金属沉积提供理想的环境。 中科院半导体所 王晓东教授 　　王晓东教授介绍了Ion Beam Optofab3000 离子束沉积的应用情况。Optofab3000型离子束溅射系统的离子束能量可达几十至1000eV，被溅射出的原子带有10-20eV的能量，比蒸发镀膜高约100倍，薄膜的粘附性及致密度显著提高，靶材的表面原子逐层被撞出来，薄膜以原子层级生长，均匀性好。 牛津仪器半导体设备部区域销售经理王宏主持会议 　　会议中，与会人员在听取报告后，还就自己感兴趣的问题同专家进行了沟通和交流。现场还特别设置了墙报展，各位专家分别将自己的研究内容同与会人员就行了探讨。 现场交流 撰稿编辑：秦丽娟