等离子谱控制仪

钢研纳克ICP光谱仪,35年电感耦合等离子体光谱仪方法开发经验,数十项ICP检测标准的起草单位,ICP光谱仪产品标准GB/T 36244-2018起草单位。央企品牌，上市公司，品质之选！ Plasma2000型电感耦合等离子体发射光谱仪采用中阶梯光栅光学结构和科研级CCD检测器实现全谱采集。仪器稳定性好、检测限低、快速分析、运行成本低。 Plasma2000型电感耦合等离子体发射光谱仪可用于地质、冶金、稀土及磁材料、环境、医药卫生、生物、海洋、石油、化工新型材料、农业、食品商检、水质等各领域及学科的样品分析。可以快速、准确地检测从微量到常量约70种元素。1、 中阶梯光栅与棱镜交叉色散结构，径向观测，具有稳健的检测能力。2、 稳定的固态射频发生器，体积小巧，匹配速度快，确保仪器的稳定运行。3、 高速面阵CCD采集技术，单次曝光获取全部谱线信息，真正实现“全谱直读”。4、 功能强大的软件系统，简化分析方法的开发过程，为用户量身打造简洁、舒适的操作体验。Plasma 2000 电感耦合等离子体发射光谱仪技术参数1. 光学系统：中阶梯二维分光光学系统，焦距400mm2. 谱线范围：165nm~950nm，光学分辨率：0.007nm（200nm处）3. 光栅规格：中阶梯光栅，52.67刻线/毫米，尺寸：100mm x 50mm4. 晶体管固态射频发生器，小巧高效5. 27.12MHz频率提高信噪比，改善了检出限6. 自动匹配调节7. 全组装式炬管，降低了维护成本8. 计算机控制可变速12滚轴四通道蠕动泵，具有快速清洗功能9. 实验数据稳定性良好：重复性 RSD ≤0.5% (1mg/L) （n=10）；稳定性：短时间稳定性 RSD≤0.5%（500 × LOD）/长时间稳定性 RSD≤1.0% （500 × LOD）稳健的全固态光源 全固态射频发生器，体积小、效率高，全自动负载匹配，速度快、精度高，能适应各种复杂基体样品及挥发性有机溶剂的测试，具有良好的长期稳定性。 垂直炬管的设计，具有更好的样品耐受性，减少了清洁需求，降低了备用炬管的消耗。 简洁的炬管安装定位设计，快速定位，精确的位置重现。 实时监控仪器运行参数，高性能CAN工业现场总线，保障通讯高效可靠。 精密的光学系统中阶梯光栅与棱镜交叉色散结构，使用超纯SiO2棱镜，高光路传输效率，保证了深紫外区的元素测量。 优化的光学设计，采用非球面光学元件，改善成像质量，提高光谱采集效率。光室多点充气技术，缩短光室充气时间，提高紫外光谱灵敏度及稳定性，开机即可测量。光室气路独立，可充氮气或氩气。 包围式立体控温系统，保障光学系统长期稳定无漂移。 进样系统仪器配备系列经过优化的进样系统，可用于有机溶剂、高盐/复杂基体样品、含氢氟酸等样品的测试。 使用一体式炬管，易于维护，转换快速，使用成本低。使用质量流量控制器控制冷却气、辅助气和载气的流量，流量连续可调，保障测试性能长期稳定。4通道12滚轮蠕动泵，泵速连续可调，确保样品导入稳定性。 检测器大面积背照式CCD检测器, 全谱段响应，高紫外量子化效率，抗饱和溢出具有极宽的动态范围和极快的信号处理速度一次曝光，完成全谱光谱信号的采集读取，获得更为快速、准确的分析结果同类产品中大靶面尺寸，百万级像素，单像素面积24μm X 24μm三级半导体制冷,制冷温度低于-40℃，具有更低的噪声和更好的稳定性

LabICP 1000电感耦合等离子体发射光谱仪，具有非常高的分辨率，即使谱线非常复杂的稀土元素也可以实现分离，避免光谱干扰，非常适合稀土元素合稀土永磁材料的分析。同时也可广泛应用于食品、环境、地矿、有色金属冶炼等各种应用领域。非常高的分辨率，即使谱线非常复杂的稀土元素也可以实现分离，避免光谱干扰，确保分析数据的准确性闭环控制的射频发生器高压供电回路，与传统的升压变压器和高频阻流圈的高压系统相比，功率控制精度提升到优于0.1%高精度分光系统： 反射式分光系统设计，避免引入额外色差； 机械控制精度，确保光谱定位准确； 高分辨率长焦光路设计，实现了优良的信噪比和极低的基体效应；恒温控制光室，提升测量稳定性，光室冲入氩气后可高精度测量 S（180nm）和Sn（190nm）5-6个数量级的动态线性范围，可满足痕量到常量的元素分析优秀的测量精度和元素检出限，ppb量级全面安全保护系统：具有冷却水保护、氩气保护、过压保护、过流保护、灭弧保护等

产品说明、技术参数及配置ICP-3000电感耦合等离子体发射光谱仪是天瑞仪器公司经多年技术积累开发出的一款性能优异的全谱直读型光谱仪，用于测定不同物质（可溶解于盐酸、硝酸、氢氟酸等）中的微量、痕量元素含量。自动化程度高，操作简便，稳定可靠。目前仪器广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。性能优势全自动化设计整台仪器除了电源开关，仪器所有功能都通过计算机控制，可靠、安全、方便。蠕动泵蠕动泵为十二转子四通道全自动设计，蠕动泵转速可根据需求流量设置调节；通过蠕动泵平稳进样和排除废液，确保进样速度与废液排除速度一致，客户可以根据需要适当调节速度，确保进样系统稳定。气体流量自动控制进样系统中，载气、等离子气、辅气均采用先进的质量流量控制器（MFC）来控制，具有流量连续可调、流量稳定等优点，确保了进样系统的稳定，为光源的稳定奠定了坚实的基础。稳定先进的全固态射频电源仪器采用的射频电源为天瑞仪器自主研发的全固态射频电源，具有体积小、效率高、输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点，进一步提高了仪器的稳定性与安全性。快速准确的全自动匹配功能负载终端采用天瑞仪器自主研发的全自动匹配技术，具有匹配速度快、精度高等优点，确保了输出功率大限度地加予负载，提高了电源的使用效率，从而提高仪器的稳定性，并使得整个点火过程简单方便。先进的进样系统进样系统高效、稳定，可配备国内外各种雾化器、雾化室，可以配备高盐雾化器、耐氢氟雾化器等，满足客户的各种需求；同时天瑞自主研发的自动进样器让测试操作更加便捷，进一步提高测试效率。独特精密的光学系统采用中阶梯光栅-棱镜交叉色散方式，专业的光学优化设计使得光通量大化的同时保证了优异的光谱分辨率；无任何移动光学元件，保证了良好的长期稳定性；超低杂散光设计配合独特的光学设计，大大降低了背景光的干扰，进一步提高检出限；高效的氮气分布式吹扫光室配合高品质的光学元件保证了深紫外区特别是P、S、As等元素的测量。精准的波长定位智能精确的自动波长校准算法，无需进行额外的谱峰校正即可进行测量，保证准确测量的同时节约大量的标液和测量时间。性能优异的探测器采用大尺寸CID探测器，先进、成熟、稳定；大靶面尺寸，百万级像素；165-900nm范围连续覆盖，一次曝光，全谱显示；非破坏性读取(NDRO) 功能，改善了弱分析线的信噪比，提高了结果的准确性，并且数据采集与分析均优于CCD； 极佳的线性动态范围和与生俱来的抗溢出功能确保任意强弱的谱线可在一次曝光内测量并进行分析，同时为方法选择理想波长提供了灵活性（可选第二、第三或更次灵敏线来排除干扰）。超快的测试速度各分析谱线可以在曝光时间内设置任意合适的积分时段来实现测量的优化；可以一次曝光读出所有分析谱线的强度积分值加快分析速度；还可以指定谱线独立读出，读出时间不超过2ms。强大的软件分析功能软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能，具有仪器诊断优化功能，灵活的全谱研究功能，强大的离线再处理功能，具有科学智能的背景校正、去除干扰的算法功能，让测试变得更加专业与准确。技术参数射频发生器技术指标输入电源：交流220V，电流20A输出功率：700~1600W调节精度：2W工作频率：27.12MHz频率稳定性：＜0.05%输出功率稳定性：＜0.1%匹配方式：自动匹配电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜0.5V/m进样装置技术指标输出工作线圈：内径25mm、3匝三同心石英炬管：外径20mm；根据中心通道大小有多种型号可选高效进口雾化器：同心型雾化器，外径6mm ；多型号可选，高盐、耐HF等雾化室：双筒型雾化室，可以选配旋流式雾化室，外径57.2mm蠕动泵：十二转子四通道，转速可根据需求流量设置调节（即根据进样速度设定，直观，准确）总氩气消耗量：氩气总消耗量小于14L/min氩气流量计和载气压力表规格：1.等离子气流量计（100~1000）L/h (1.6~16L/min)2.辅助气流量计（6~60）L/h (0.1~1L/min)3.载气流量计（6~60）L/h (0.1~1L/min)4.载气稳压阀（0.2MPa）5.冷却水：水温20~25℃ 流量5L/min 水压0.1MPa分光器技术指标光栅：中阶梯光栅，52.67 lp/mm，64闪耀角，采用德国肖特公司热膨胀系数接近于零的Zerodur材料做基底，性能更出众棱镜：超纯康宁紫外熔融石英，在170nm处内透过率99.6%波长范围：165nm~900nm焦距：430mm数值孔径：F/8，超高的光通量保证仪器的检出限和灵敏度分辨率：0.0068nm@200nm杂散光：10000ppmCa 溶液在As189.042nm处的等效背景浓度2ppm光室：精密恒温，35±0.1℃分布式氮气吹扫，正常吹扫2L/min，快速吹扫4L/min检测装置技术指标检测器类型：电荷注入式检测器（CID）靶面尺寸：27.6mm×27.6mm，1024×1024寻址检测单元读取方式：非破坏性读取(NDRO) ，全幅读取（FF）和任意读取积分（RAI）线性动态范围：108波长响应范围：165nm~1000nm电子快门：单独设置各谱线的积分时间；可指定谱线独立读出，读出时间＜2ms量子效率：无任何镀膜，200nm紫外区可达35％以上检测器冷却：高效三级半导体制冷，制冷温度-45℃仪器技术指标观测方式：垂直观测液体含量：0.01ppm~几千ppm固体含量：0.001%~70%重复性：（即短期稳定度）相对标准偏差RSD0.5%稳定性：相对标准偏差RSD1% @2小时测试速度：单个谱线CID读出时间仅需2ms，一分钟内可实现所有元素的测量元素检出限（μg/L）：大部分元素1ppb~10ppb仪器尺寸：台式1300mm*840mm*740mm应用领域1.硅工业：磁性材料加工行业2.冶金工业：可分析对金属材料质量影响很大的As、Bi、Pb、Sb、Sn等杂质元素3.水质分析：可检测水质污染的八大重金属等元素4.地质、矿石分析：岩石样品中Ca、Mg、Na、Fe、Cu、Mn、Zn、Co、Ni、Au、Ag等元素的测定5.石油化工和轻工领域的应用：测试原油中的30多种元素，主要有Fe、Na、Mg、Ni、V、Ca、Pb、Mo、Mn、Cr、Co、Ba、As等6.医疗、卫生、农业环保、商品、食品质量检测

ICP-3000电感耦合等离子体发射光谱仪是天瑞仪器公司经多年技术积累开发出的一款性能优异的全谱直读型光谱仪，用于测定不同物质（可溶解于盐酸、硝酸、氢氟酸等）中的微量、痕量元素含量。自动化程度高，操作简便，稳定可靠。目前仪器广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。性能优势全自动化设计整台仪器除了电源开关，仪器所有功能都通过计算机控制，可靠、安全、方便。蠕动泵蠕动泵为十二转子四通道全自动设计，蠕动泵转速可根据需求流量设置调节；通过蠕动泵平稳进样和排除废液，确保进样速度与废液排除速度一致，客户可以根据需要适当调节速度，确保进样系统稳定。气体流量自动控制进样系统中，载气、等离子气、辅气均采用先进的质量流量控制器（MFC）来控制，具有流量连续可调、流量稳定等优点，确保了进样系统的稳定，为光源的稳定奠定了坚实的基础。稳定先进的全固态射频电源仪器采用的射频电源为天瑞仪器自主研发的全固态射频电源，具有体积小、效率高、输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点，进一步提高了仪器的稳定性与安全性。快速准确的全自动匹配功能负载终端采用天瑞仪器自主研发的全自动匹配技术，具有匹配速度快、精度高等优点，确保了输出功率大限度地加予负载，提高了电源的使用效率，从而提高仪器的稳定性，并使得整个点火过程简单方便。先进的进样系统进样系统高效、稳定，可配备国内外各种雾化器、雾化室，可以配备高盐雾化器、耐氢氟雾化器等，满足客户的各种需求；同时天瑞自主研发的自动进样器让测试操作更加便捷，进一步提高测试效率。独特精密的光学系统采用中阶梯光栅-棱镜交叉色散方式，专业的光学优化设计使得光通量大化的同时保证了优异的光谱分辨率；无任何移动光学元件，保证了良好的长期稳定性；超低杂散光设计配合独特的光学设计，大大降低了背景光的干扰，进一步提高检出限；高效的氮气分布式吹扫光室配合高品质的光学元件保证了深紫外区特别是P、S、As等元素的测量。精准的波长定位智能精确的自动波长校准算法，无需进行额外的谱峰校正即可进行测量，保证准确测量的同时节约大量的标液和测量时间。 性能优异的探测器采用大尺寸CID探测器，先进、成熟、稳定；大靶面尺寸，百万级像素；165-900nm范围连续覆盖，一次曝光，全谱显示；非破坏性读取(NDRO) 功能，改善了弱分析线的信噪比，提高了结果的准确性，并且数据采集与分析均优于CCD； 极佳的线性动态范围和与生俱来的抗溢出功能确保任意强弱的谱线可在一次曝光内测量并进行分析，同时为方法选择理想波长提供了灵活性（可选第二、第三或更次灵敏线来排除干扰）。超快的测试速度各分析谱线可以在曝光时间内设置任意合适的积分时段来实现测量的优化；可以一次曝光读出所有分析谱线的强度积分值加快分析速度；还可以指定谱线独立读出，读出时间不超过2ms。强大的软件分析功能软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能，具有仪器诊断优化功能，灵活的全谱研究功能，强大的离线再处理功能，具有科学智能的背景校正、去除干扰的算法功能，让测试变得更加专业与准确。技术参数射频发生器技术指标输入电源：交流220V，电流20A输出功率：700~1600W调节精度：2W工作频率：27.12MHz频率稳定性：＜0.05% 输出功率稳定性：＜0.1%匹配方式：自动匹配电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜0.5V/m进样装置技术指标输出工作线圈：内径25mm、3匝三同心石英炬管：外径20mm；根据中心通道大小有多种型号可选高效进口雾化器：同心型雾化器，外径6mm ；多型号可选，高盐、耐HF等雾化室：双筒型雾化室，可以选配旋流式雾化室，外径57.2mm 蠕动泵：十二转子四通道，转速可根据需求流量设置调节（即根据进样速度设定，直观，准确）总氩气消耗量：氩气总消耗量小于14L/min氩气流量计和载气压力表规格：1.等离子气流量计（100~1000）L/h (1.6~16L/min) 2.辅助气流量计（6~60）L/h (0.1~1L/min) 3.载气流量计（6~60）L/h (0.1~1L/min)4.载气稳压阀（0.2MPa）5.冷却水：水温20~25℃ 流量5L/min 水压0.1MPa分光器技术指标光栅：中阶梯光栅，52.67 lp/mm，64闪耀角，采用德国肖特公司热膨胀系数接近于零的Zerodur材料做基底，性能更出众棱镜：超纯康宁紫外熔融石英，在170nm处内透过率99.6%波长范围：165nm~900nm焦距：430mm数值孔径：F/8，超高的光通量保证仪器的检出限和灵敏度分辨率：0.0068nm@200nm杂散光：10000ppmCa 溶液在As189.042nm处的等效背景浓度2ppm光室：精密恒温，35±0.1℃分布式氮气吹扫，正常吹扫2L/min，快速吹扫4L/min检测装置技术指标检测器类型：电荷注入式检测器（CID）靶面尺寸：27.6mm×27.6mm，1024×1024寻址检测单元读取方式：非破坏性读取(NDRO) ，全幅读取（FF）和任意读取积分（RAI）线性动态范围：108波长响应范围：165nm~1000nm电子快门：单独设置各谱线的积分时间；可指定谱线独立读出，读出时间＜2ms量子效率：无任何镀膜，200nm紫外区可达35％以上检测器冷却：高效三级半导体制冷，制冷温度-45℃仪器技术指标观测方式：垂直观测液体含量：0.01ppm~几千ppm固体含量：0.001%~70%重复性：（即短期稳定度）相对标准偏差RSD0.5%稳定性：相对标准偏差RSD1% @2小时测试速度：单个谱线CID读出时间仅需2ms，一分钟内可实现所有元素的测量元素检出限（μg/L）：大部分元素1ppb~10ppb仪器尺寸：台式1300mm*840mm*740mm应用领域1.硅工业：磁性材料加工行业2.冶金工业：可分析对金属材料质量影响很大的As、Bi、Pb、Sb、Sn等杂质元素3.水质分析：可检测水质污染的八大重金属等元素4.地质、矿石分析：岩石样品中Ca、Mg、Na、Fe、Cu、Mn、Zn、Co、Ni、Au、Ag等元素的测定5.石油化工和轻工领域的应用：测试原油中的30多种元素，主要有Fe、Na、Mg、Ni、V、Ca、Pb、Mo、Mn、Cr、Co、Ba、As等6.医疗、卫生、农业环保、商品、食品质量检测

珀金埃尔默全新Avio® 500 ICP-OES：专为高通量检测实验室打造的多元素无机分析设备，完美应对复杂的环境、化学和工业样品 作为原子光谱领域的领导者和创新者，珀金埃尔默公司于2017年7月6日发布全新Avio 500电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）。这款ICP-OES是专为高通量检测实验室打造的多元素无机分析设备，可以应对各个领域的多种类型样品。 作为一款真正的同步检测ICP-OES，Avio 500具备同步背景校正功能，可提供更高的样品通量和数据可靠性；超群的基体耐受性；以及业内最低的氩气消耗量。无论待测元素的种类和浓度范围再宽，Avio 500都可以有效应对，使用户的检测工作符合行业规范。Avio 500的可兼容多个应用领域，包括环境、石化（尤其是润滑油服役情况分析）、地矿、食品、制药、制造业（包括电池制造）等。 以下关键功能使得Avio 500具备卓越的性能：为提升样品通量而设计的同步数据采集功能、为节约使用成本设计的业内最低的氩气消耗量、为缩短样品前处理流程设计的超宽线性范围。无论样品多么复杂，这些功能都可确保检测数据的准确性。 带有快速拆装炬管座的垂直炬焰设计：带来强悍基体耐受性，有效缩短样品预处理时间；平板等离子体™ 技术：仅消耗同类产品一半的氩气就可以生成稳定的等离子体炬，无论样品基体多么复杂；双向观测技术：可同时对等离子体进行全波长轴向和径向观测，高低含量元素一次进样同时分析；全谱全读技术：对全波长进行同步数据采集，无需重复进样就可以获得全部光谱数据；空气刀（PlasmaShear™ ）技术：无需氩气，即可消除等离子体冷尾焰产生的基体干扰，而且完全无需维护；全彩等离子体观测（PlasmaCam™ ）技术：提供全彩色的等离子体实时影像，简化方法开发工作，并使远程诊断成为可能。 此外，Avio 500配备跨平台的Syngistix™ 操作软件，AA、ICP、ICP-MS操作无缝对接。更多有关Avio 500的信息请请访问PerkinElmer官方网站。

LAUDA Semistat 温度控制系统，通过对静电卡盘 (ESC，E-chuck) 的动态温度控制，为等离子刻蚀应用提供稳定的温度控制。LAUDA Semistat 基于 Peltier 元件传热理论设计，与传统压缩机系统相比，可以节省高达90%的能耗。体积小，占地空间少，可选择安装在地板下的夹层中，节省洁净室空间。LAUDA Semistat 可以快速和精准地将过程温度控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。产品特点：无压缩机和制冷剂的低能耗系统，运行安静、振动小带清洁干燥空气 (CDA) 吹扫接口，可防止冷凝水产生结构紧凑，重量轻，占地面积小，非常适合安装于地板之下导热液体用量极少无需过滤器或 DI 组件水冷型典型应用：在半导体生产中，等离子蚀刻是工艺链的核心部分，有干法蚀刻和湿法蚀刻之分。在干法蚀刻中，半导体板（晶片）在真空蚀刻室中进行等离子处理。等离子体中的离子轰击晶片，从而使材料脱离。例如，硅晶片上的氧化层可以用这种方法去除，然后涂上掺杂层（添加了外来原子，因此具有一定的导电性）。等离子体的温度会影响蚀刻的速度和效率。如果温度过低，等离子体就不够活跃，无法有效地烧蚀材料。如果温度过高，材料可能会被过度烧蚀，导致误差和损坏。因此，在半导体生产中，对等离子体温度进行最精确的控制非常重要，因为晶片的加工范围在微米和纳米之间。即使温度发生微小变化，也会导致蚀刻结构的尺寸和形状发生显著变化。LAUDA Semistat 可以为干法蚀刻这一敏感工艺提供专门的温度控制解决方案。产品参数：工作温度范围 -20℃ ... 90 °C温度稳定性 0.1 °C加热器功率最小 6 kW最小填充容量 1.25 L最大填充容量 1.6 L外形尺寸（宽 x 深 x 高） 116 x 300 x 560 mm重量 25 kg 冷却功率输出根据不同的工艺温度和冷却水流量同系列其他型号

等离子体监控系统PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3ms就可以获得测量结果。特点 1、光学分辨率1.0nm(FWHM)2、光谱范围 200-1100nm3、快速的建模及存储实验方法Recipe编辑器Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。多种工具用于等离子体诊断随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。PlasCalc 配置说明光谱范围:200-1100 nm光学分辨率:1.0 nm (FWHM)D/A 转换:14 bit数字I/O:8 x TTL模拟输出:4 x [0-10V]接口:USB 1.1功耗:12 VDC @ 1.25 A

ICP3600型全自动发射光谱仪是由射频发生器、试样引入系统、扫描分光器、光电转换、计算控制系统和分析操作软件组成。它的分析过程是：射频发生器产生的高频功率通过感应工作线圈加到三同心石英炬管上，在石英炬管的外层通入氩气并引入电火花使之电离形成氩等离子体，这种氩等离子体的温度可达6000K～8000K。待测水溶液试样通过喷雾器形成的气溶胶进入石英炬管中心通道，受到高温激发后，以光的形式放出特征谱线，通过透镜进入扫描分光器，分光器将待测元素的特征谱线光强，准确定位于出口狭缝处，光电倍增管将该谱线光强转变成光电流，再经电路处理和模数变换后，进入计算机进行数据处理，最后由打印机打出分析结果。由于仪器的稳定性好，测量范围宽，检出限低，因此广泛地应用于稀土分析、环境保护、水质检测、合金材料、建筑材料、医药卫生等科学领域作元素定量分析。

ICP-6800SD型电感耦合等离子体发射光谱仪产品介绍： ICP-6800SD型电感耦合等离子体发射光谱仪是公司经多年技术积累而开发的电感耦合等离子体发射光谱仪，用于测定各种物质（可溶解于盐酸、硝酸、氢氟酸等）中的微量、痕量金属元素或非金属元素的含量，自动化程度高、操作简便、稳定可靠。 ICP-6800SD型电感耦合等离子体发射光谱仪广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。工作环境：内容 适应范围贮存运输温度 15℃-25℃贮存运输相对湿度 ≤70％大气压 86-106 kPa电源适应能力 220±10v 50-60MHz工作湿度 ≤70％工作温度 15℃-30℃ 技术指标：固态电源技术指标电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制工作频率：27.12MHz±0.05%频率稳定性：＜0.1%输出功率：800W—1200W输出功率稳定性：＜0.3%电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜2V/m 进样系统技术指标输出工作线圈内径25mm矩管，三同心型，外径20mm的石英矩管同轴型喷雾器外径6mm双筒形雾室外径34mm 氩气流量计规格和载气压力表规格1.等离子气流量计（100-1000）L/h (1.6-16L/min)2.辅助气流量计（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)3.载气流量计（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)4.载气稳压阀（0-0.4MPa）5.冷却循环水：水温20-25℃ 流量5L/min 水压0.1MPa 单色器技术指标光路：Czerny-Turner焦距：1000mm光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm(可选用刻线密度2400线/mm)线色散率倒数：0.26nm/mm分辨率：≤0.007nm(3600刻线）. ≤0.015nm(2400刻线）扫描波长范围：3600线/mm扫描波长范围：190—500nm 2400线/mm扫描波长范围：190—800nm步进电机驱动最小步距:0.0006 nm出射狭缝：12μm入射狭缝：10μm 光电转换器技术指标光电倍增管规格：R293或R298光电倍增管负高压：0-1000V稳定性＜0.05% 整机技术指标：扫描波长范围：195nm～500nm（3600L/mm光栅）195nm～800nm（2400L/mm 光栅）重复性：（即短期稳定度）相对标准偏差RSD≤1.5％稳定性：相对标准偏差RSD≤2％

1、主要配置及附件：以光电倍增管PMT检测器为基础的单道扫描电感耦合等离子体发射光谱仪，高频发生器，自动调谐，提供具有中英文操作界面的软件；专用自动温控循环冷却水系统；氩气导管；冷却水管；高灵敏度进样系统（高效进口雾化器加双筒型雾化室）。2、主要技术参数：台式,等离子体垂直观测系统。等离子体火焰可进行二维调整（由计算机控制），并利用“仪器诊断”功能，实时观察调整结果。精密度 ：优于国家检定规程A级标准稳定性 ：优于国家检定规程A级标准分辨率 ：在Mn257.610nm处，峰半高宽为≤0.008nm（3600线光栅）。≤0.015 nm（2400线光栅）。所有元素满足国标A级标准，部分元素如Ba检出限远低于国家A级标准谱线灵活性：可对分析元素的谱线进行定性、半定量和定量分析。拥有几千条谱线，可以根据需要与爱好选择适当的谱线，避开可能存在的干扰，为您提供更多的选择，更合理的推荐，让测试变得更加专业与准确。3、进样系统：炬管：一体式。根据中心通道大小有多种型号可选雾化器：高效进口雾化器，多型号可选，高盐、耐HF等雾化室：双筒型雾化室，可以选配旋流式雾化室总氩气消耗量：氩气总消耗量小于14L/min蠕动泵转速可根据需求流量设置调节（即根据进样速度设定，直观，准确）4、射频发生器和等离子体：类型：固态射频发生器，水冷，自动调谐，带有过载、过温各种安全保护。输出功率：800W~1600W，连续可调，调节精度为2W等离子气、辅气、载气开启与流量为软件控制，点火、灭火也均由软件控制。5、光学系统：光学稳定性：与进样系统设计在一个平台上，整个光学系统具有防震措施，一般的地面震动不影响其分析性能。同时仪器稳定脚垫再增加一套防震保护，起到二次防震的目的。温度稳定性：±0.1℃。最小步距为0.0004nm6、控制软件：软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能，具有仪器诊断优化功能，软件具有全中文，可根据需要选择切换。报告格式输出格式为pdf、excel，电子档或直接打印，且可以为中文模板。控制软件可以在中文版Windows 7下运行、XP下运行。软件带有自动进样器控制接口。分析谱线：具有谱线描迹功能、背景扣除功能 曲线拟合：测量方式有峰高、峰面积两种不同选择 分析参数：针对不同谱线选择不同积分时间、负高压、扫描步距、衰减值。分析参数：每条谱线测量时会自动进行实时波长校正，确保测量峰位准确。自动衰减：每条谱线都可以进行自动衰减。全自动安全保护功能，仪器通讯和控制采用控制卡，观测位置由软件控制并优化，具有控制蠕动泵转速功能。可以与天瑞AS100自动进样器联合使用，控制样品的切换、清洗、进样等过程。仪器诊断软件和网络通讯，数据再处理功能，自动生成测试报告。软件具有数据档案管理功能，支持数据的备份、恢复、删除，支持数据的文本格式输出。格式类可选，也可以打印输出。

产品概述WEPER ICPMS9000质谱仪稳定可靠、维护简便、配置灵活，配置长寿命稳定的ICP离子源、高灵敏度且宽动态范围的ETP检测器、消除质谱干扰的动能歧视碰撞反应池、双重离轴式离子传输系统，使WPER ICPMS9000同时拥有高性能、高稳定性、易用性的特点。开发了智能化的软件系统，具有简单易用的自动调谐、自动校正、自动优化和数据分析工具，与高性能质谱一起给您带来极致的测试体验。性能优势灵活的进样系统，用户可根据自身的应用需求灵活选择标准进样系统、耐氢氟酸进样系统、耐高盐进样系统；还可根据需要选配波尔贴半导体制冷装置，精确控制雾化室温度，降低基质干扰。采用一体式同心炬管，矩管基座导轨式设计，安装简便，自动定位，使得进样系统维护便捷和操作简单。采用高效稳定的全固态自激式射频发生器，保证样品原子化/离子化的稳定性和重复性。自激式射频发射器通过射频线圈将能量高效率传输至等离子体工作区域，功率在300～1600W范围连续可调，即使面对复杂基体样品，等离子体依然可以强劲高效激发。多重安全防控措施，确保仪器安全可靠的运行，避免用户误操作带来的风险。活动的锥接口设计，可使仪器在真空状态下更换锥接口和维护锥接口。新一代碰撞反应池技术，可消除多原子和双电荷离子干扰，提高数据准确性；同时还可以采用高纯氦气作为碰撞气体，设置简单安全，无需切换气体。智能化操作软件，支持用户自己编辑报告模板。应用领域环境保护：包括自来水，地表水 ，地下水，海水以及各种土壤、污泥 、废弃物等的分析食品安全：卫生防疫、商检、烟及酒等食品的质量控制，鉴别真伪等合金材料：钢铁合金、玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析

Nu 生产的飞行时间等离子体质谱仪 主要特点： 1、可获得高灵敏度的成熟离子提取和聚焦光学器件2、新型分段反应池，具有多个气体控制器，可消除干扰3、专利的物理离子束衰减器，提高质谱仪的工作动态范围4、变频离子采样，高分辨率飞行时间 (TOF) 质谱仪按应用优化灵敏度5、采用 Bradbury-Nielson 离子门，选择进入TOF的质量数范围6、可靠耐用的MagneTOF检测器，动态范围宽，可在信号超出范围时快速恢复7、快速数据采集和处理电子器件，可为关键应用提供微秒级不间断数据8、可选装全尺寸四极杆，配有专利旁路离子光学，可覆盖整个质量数范围，且无质量偏差

1.应用范围：ICP-7800型全谱直读型电感耦合等离子体发射光谱仪，具有突出的抗干扰和分析检测性能，应用于研发、检测等高端分析需求， 可方便进行定性、半定量和精确定量分析，是常量、微量和痕量无机元素同时分析的理想仪器。2.工作环境电压：220V AC±10%\\MKJ 室温：环境温度（10-30）℃ 相对湿度：（20-80）%RH3.技术规格3.1.等离子体射频源：3.1.1：全数字控制的双电源设计射频电源，更宽功率范围500-1600W，功率可调，具有更强的样品适应性； 3.1.2：自激式RF射频发生器：自激式电源匹配速度快，功率负载能力强，可以直接分析100%的甲苯样品。自动调谐，水冷散 热，适应复杂样品分析功率切换，无运动部件，抗震抗干扰，更加可靠；3.1.3：LOW模式：提供500W超低功率待机，降低氩气消耗50%以上，待机时氩气用量≤5L/min；3.1.4：等离子体观测方式：可配置轴向、径向、双向和同时双向四种观测模式。垂直矩管可避免高盐沉积，延长炬管使用寿命， 降低炬管耗材支出。轴向观测使用金属冷锥去除尾焰，获得较高的灵敏度，无需配置空气压缩机，节省外部配件及消耗。径向观 测的等离子观测位置可调，针对不同元素的分析需求，具有更强的抗干扰能力； 3.1.5：智能衰减：具有轴向衰减和径向衰减功能，可衰减100倍以内浓度的样品，使得样品高含量元素，能够一次分析完成，不 需要反复稀释，降低样品前处理难度，支持简化分析； 3.1.6：RF射频频率：27.12MHz，耦合效率大于80%；3.1.7：RF功率稳定性: ≤0.1%；RF频率稳定性：≤0.01%； 3.2.光学系统： 3.2.1：恒温三维光学系统，反射次数少，光能量损失低。所有光学元件均密封于热平衡光室中，主机与光室热隔 离设计，更好的抵御外界环境温度变化。光室：精密恒温36℃±0.1℃，驱氩气；3.2.2：稳定高效的全固定中阶梯光栅分光系统，无运动部件，抗震强，稳定可靠； 3.2.3：波长范围：165-900nm，全波长覆盖；3.2.4：单色器：焦距：400mm，全反射成像光路，石英棱镜二维色散系统；3.2.5：中阶梯光栅：53.6L/mm，63.5度闪耀，刻数越多，分辨率越高； 3.2.6：波长校正: 每次点火，仅用Ar谱线，自动进行光谱位置校正，保证分析波长的正确性，无须波长校正溶液；3.2.7：全谱实时校准技术（TARC）：利用无干扰的氖特征谱线，对光谱的细微偏移进行实时校正，实现光谱的最 优积分，确保长期稳定性，良好消除光谱漂移对于测量的影响。 3.2.8：吹扫型光室：对189nm以下波长测定，选择氩气进行光路吹扫，无需使用真空泵，避免真空返油，污染光 室； 3.2.9：杂散光：≤2.0mg/L（10000mg/L Ca溶液在As 188.980nm处测定）； 3.2.10：光学分辨率（FWHM）：≤7pm @200 nm（分辨率和检出限须在相同条件获得）； 3.2.11：可扩展深紫外Cl/Br分析功能：双光栅设计，使得光谱分析下限达到130nm深紫外区域。3.3.检测器：像元级制冷的专有大面阵ECCD检测器 3.3.1：检测单元：1024*1024像素大面阵CCD检测器，一次曝光；3.3.2：成像尺寸：25.4mm×25.4 mm大面阵成像感光单元，采用24×24um大像元，带来高灵敏度的响应，整 体面幅大，能够在高分辨率的同时，获得更宽的光谱范围； 3.3.3：像元级制冷：封装在传感器内部的TEC制冷，直接作用像元，制冷温度大于-10℃，有效防止CCD表面冷 凝，无需气体吹扫保护；3.3.4：防饱和溢出：针对每一个像素进行背泄式防溢出保护设计，彻底消除谱线饱和溢出问题，无需担心谱线饱 和对邻近谱线的影响；3.3.5：智能积分设计：信号背景同步采集，曝光时间取决于谱线的光强，自动计算谱线最佳曝光时间，同时以最 佳信噪比获得高强度信号和弱信号，拓宽的动态范围，使高低含量元素可以同时检测，避免试样反复稀释；3.3.6： 检测器表面无任何光转换化学涂膜，不会因为涂层老化而导致检测器损坏更换。 3.4.样品导入系统： 3.4.1：波长校正: 每次点火，仅用Ar谱线，自动进行光谱位置校正，保证分析波长的正确性，无须波长校正溶液； 确保稳定进样的同时，可支持进样管、内标管、废液管和辅助试剂进样管（氢化物发生器）同时运行，有利于复杂 样品分析； 3.4.2：气路控制：采用精密质量流量控制器控制多路气体流量，最多可控制五路，包括雾化气、辅助气、冷却气 和可扩展的附加气体（O2和Ar），精度0.01L/min。 - 3.5. 软件性能：3.5.1：图形化操作界面，软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能； 3.5.2：基于分类和版本的方法库管理软件，便于方法的管理、维护和传承；内置部分标准方法，有助于提高分析 效率； 3.5.3：具有同时记录所有元素谱线全谱数据采集功能，数据可安全存储，支持分析数据保存和检索功能，方便日 后再分析；3.5.4：具有50000条以上的谱线库，每条谱线至少可以选择30个象素点进行测量；3.5.5：具有全谱采集功能，软件上可直接获取完整全谱图，了解样品光谱及光谱干扰状态；3.5.6：具有多种干扰校正方法和实时背景扣除功能：如标准比较法、内标法、干扰元素校正系数法（IEC）、标 准加入曲线法等，丰富了用户多种分析研究的手段； 3.5.7：具有仪器校准功能，支持炬管准直、光源优化等功能，方便用户日常维护；具有可视化的仪器运行状态监 控； 3.5.8：具有登录口令保护，多级操作权限设置和网络安全管理，永久历史记录保存； 3.5.9：具有可视化炬焰观测模块；3.5.10：同时具有中英文版本软件；3.5.11：具有网络远程服务功能，自带远程服务助手，远程诊断，4G网络数据连接技术服务部门对于仪器实现远 程诊断维修； 3.5.12：软件设计全面符合电子签名管理的21 CFR Part 11管理法规，软件具有三级管理权限和审计追踪功能， 符合3Q认证等法规要求； 3.5.13：可集成自动化分析仪器平台、在线分析仪器平台的软件操作。3.6.分析性能： 3.6.1：分析速度：约每分钟200条谱线； 3.6.2：样品消耗量：仅需2ml ；3.6.3：测定谱线的线性动态范围：≥105（以Mn257.6nm 来测定，相关系数≥0.999）；3.6.4：精密度：测定1ppm或10ppm多元素混合标准溶液，重复测定十次的RSD≤0.5%； 3.6.5：稳定性：测定1ppm或10ppm多元素混合标准溶液， 8小时的长时间稳定性RSD≤1%； 3.6.6：检出限：(单位ug/L，按JJG768-2005规定的元素) 可对分析元素的任何一条谱线进行定性、半定量和定量分析，支持内标法、标准加入法、干扰元素校正等 方法；3.6.7：预热时间：从待机状态到等离子体点燃时间小于5分钟。 3.7. 仪器接口（含联用分析软件）： 3.7.1可实现自动化消解样品处理工作站联用(消解系统采用石墨消解电热模式，实现消解、定容、进样自动化操作， 支持48位以上样品同时处理） 3.7.2具有有机样品直接进样分析系统接口（提供样品制冷功能，温度小于-15摄氏度以下）； 3.7.3具有在线消解模块接口（支持在线全自动电热消解和浓度控制、进样管路自动清洗功能）；3.7.4具有在线氢化物发生分析系统接口（支持反应液体自动添加和浓度控制、进样管路自动清洗功能）； 3.7.5可连接离子交换工作站进行价态分析或低浓度富集高基体去除的分析；3.7.6可连接自动进样器进行分析（支持样品位240以上可配置）；4附件系统：4.1计算机系统 4GB内存，500G硬盘，配DVD和键盘鼠标。 4.2冷却循环水系统 制冷量1490W，温度范围5-35℃。4.3激光打印机 黑白激光打印机 4.4单相交流稳压器 10KVA，精度1%，输入电压160V-280V，输出电压220V。

仪器简介：Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。技术参数：应用： 蚀刻 / 沉积作用研究 离子植入 / 激光烧蚀 残余气体分析 / 泄漏检测 等离子体电感耦合，即在操作中遵从电极设定条件 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析主要特点： 软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动最小 45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输 带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围 可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析 Penning规和互锁装置可提供过压保护 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体 Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft

提升您的期望 — 新型 Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪开启了 ICP-MS 的新纪元。新型 Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪将再次重新定义 ICP-MS：与世界上最畅销的 7700 ICP-MS 系列相比，其高盐基质耐受能力增强了 10 倍，动态范围扩展了 10 倍，信噪比提高了 10 倍 ，而且功能强大的软件还可帮您编写方法。全球最强大的全自动 ICP-MS 具备业内最高效的氦气碰撞模式，具有无与伦比的干扰消除能力，无论什么样的应用，都能为您提供最优异的数据质量。Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪的每个组件都经过精心设计，造就了卓越的性能和可靠性，为您开辟成功之路。特性1. 史无前例的高盐基质耐受能力 — Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪的稳定等离子体和可选的超耐高盐进样系统（UHMI）可帮助您对高达 25% 总溶解固体（TDS）含量的样品进行常规测量，其高盐基质耐受能力比传统 ICP-MS 限量高 100 倍，远远超出了其他任何 ICP-MS。2. 最宽的动态范围 — 新型正交检测器系统（ODS）可提供高达 11 个数量级的动态范围，从亚 ppt 级到百分级浓度，用户可在同一次运行中同时测量痕量与常量元素。3. 痕量物质检测更胜一筹 — 新型的接口设计和优化的扩展级真空系统提高了离子传输效率，在 2% CeO 的条件下可提供 109 cps/ppm 的灵敏度，ODS 则可提高增益并降低背景，进而提高信噪比。4. 更快的瞬时信号分析 — Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪每秒可完成 10000 次独立测量，可为瞬时信号的准确分析提供极短的积分时间5. 无可比拟的易用性 — 最新一代 ICP-MS MassHunter 软件提供了直观的控制面板设计，配备的小工具可指导您完成每一步分析。只需简单回答几个应用问题，或者对一个典型的样品进行分析，创新的方法设置向导即可自动为您创建方法。您还可以使用远程监控应用程序随时随地监测与控制您的 ICP-MS 仪器，增强了灵活性。6. 更高的分析效率 — 超耐高盐进样系统（UHMI）技术结合可选的集成样品引入系统 （ISIS 3）以及 ODS，可以在最宽的动态范围内分析并定量几乎任何样品，避免了因产生量程外结果而不得不重新分析所耗费的额外时间及成本。

上海善福电子科技有限公司专业从事实验室仪器设 备、生物仪器设备、 配件耗材的销售、租赁、维修。公司主 营产品有色谱、质谱、光谱、测序仪等化学、生物类全新分 析仪器及二手仪器，如HPLC，GC，LCMS，GCMS，AAS，IPC， PCR等。公司经营品牌有Agilent、Waters、Thermo Fisher、 PerkinElmer、AB SCIEX、岛津等。公司为生物医药、第三方 检测、化工能源、食品环境等企业 及高校、科研院所提供 国内外*的分析技术产品。公司拥有专业的技术团队，可提供 稳定可靠的售后服务和技术支持，让客户无后顾之忧。公司 可为客户节约大量实验成本，并帮助客户得以快速发展。电感耦合等离子体原子发射光谱仪5110 ICP-OESAgilent 5110 同步垂直双向观测 (SVDV) ICP-OES 具有独特的智能光谱组合 (DSC) 技术，可以实现同步的水平和垂直测量。配合使用垂直炬管与速度更快且无需气体吹扫的 VistaChip II CCD 检测器，5100 ICP-OES（也称作 ICP-AES）能够以一半的氩气用量来运行最具挑战的样品，速度可提升 55%，并且不影响任何分析性能。产品特性：● 独特的智能光谱组合 (DSC) 技术可实现同步水平和垂直信号测量，消耗更少气体即可运行最快的 ICP-OES 分析● 高级阀系统 (AVS) 可降低每次分析成本并使分析效率提高一倍以上● 垂直炬管设计可以测量包括高基质和挥发性有机溶剂在内的复杂样品● 通过分析过程中精准气泡注入控制，可选 AVS 能够有效缩短样品提升、稳定时间和清洗延时，从而实现高精度的分析● 固态 RF 系统可提供稳定的等离子体，确保长期稳定的分析性能● IntelliQuant 模式使样品中的所有元素一目了然，大大简化了方法开发过程并实现了快速样品筛选● 直观的 ICP Expert 软件和 DSC 技术使方法开发更为便捷流畅● 完全集成式切换阀与即插即用式炬管极大程度减少了培训需求，确保实现快速启动。● 5110 提供三种灵活配置：同步垂直双向观测、垂直双向观测和垂直观测。

电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）应用领域各级疾控中心理化所/科,职业卫生技术服务机构理化分析；职业病监测理化分析；职业病诊断-职业医学检验疾控中心理化分析。电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）◇ 高效进样系统：分体式炬管，自准直装配，直观简单。◇ 稳定的ICP离子源：自激式全固态射频电源，采用频率匹配调谐，调谐速率高，可直接分析有机样品，无运动部件，稳定可靠；平衡驱动，无需屏蔽炬即可获得离子动能平衡。◇ 可靠的双锥接口设计：高效率传输待分析离子，保持分析物组份的代表性，专门离子接口设计大幅度提升灵敏度；提手是换锥接口，稳固可靠，操作便利。◇ 复合离子传输系统：前后两次离轴，良好消除中性粒子干扰；采用复合电场多极杆导引技术、复合透镜偏轴离子传输技术，在消除光子和中性粒子干扰之外大幅度的提升离子传输效率。◇ 高速动态碰撞反应池：分布式碰撞/反应气扩散方式，大大提高碰撞效率，提升灵敏度；采用离子动能歧视技术，结合喷碰撞和动态反应两种模式的优点；高效碰撞模式，可直接稀释到测试血液样品。◇ 四极杆质量分析器：纯钼四极杆，超高稳定性；抗温湿度变化的RF电源，确保在普通实验室条件下也有良好的稳定性。◇ 高灵敏电子倍增器：专有的数字/模拟双模式检测器，具有9~10个数量级的动态范围。电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）◇ 自主研发的国产ICP-MS替代进口产品，完全满足疾控客户水、食品、土壤、环境等检测需求，成为各级疾控中心理化采购热点；◇ 满足ICP-OES替代方法，检出限可到ppq，四级杆质量分析器，全数字频率调谐射频发生器。

上海伯东日本 Atonarp Aston&trade 质谱仪 ALD 工艺控制的原位计量原子层沉积 ALD 是一种广泛且越来越多地用于先进半导体制造存储器（3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM ）和先进逻辑制程（例如全环绕栅极）的工艺.这些工艺的特点是需要控制几十个分子厚的薄膜层, 通常测量只有几十埃（1&angst =1x10-10m）.使用 ALD 可以沉积多种材料, 包括氧化物, 氮化物和金属. ALD 工艺被广泛使用, 因为它提供了超薄, 高度可控的单层材料, 这些材料本质上是保形和无针孔的. 从 2020 年到 2025 年, ALD 市场预计将以 16%-20% 的复合年增长率增长（来源: ASM）.上海伯东 Aston&trade 质谱分析仪是一款快速, 强大的化学特异性气体质谱仪, 提供 ALD 过程控制解决方案, 可在这些非等离子体（“lights-off”）过程中提供原位计量和控制. 它可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 低至十亿分之几的水平, 提供 ALD 过程控制所需的实时数据.上海伯东日本 Aston&trade 质谱仪提供“lights-out” ALD 工艺的原位计量解决方案为实现 ALD 工艺监测和控制, 需要一种高速化学特定量化计量解决方案, 该解决方案可以处理苛刻的工艺气体, 例如盐酸或氢氟酸副产物, 并且可以处理在过程中可能在腔室表面形成的冷凝颗粒.计量解决方案需要量化存在的气体, 以便在多个操作阶段之间实现准确, 快速的转换: 前体气体注入, 气体吹扫, 反应气体注入和副产品气体去除. 通常, 每个完整的周期只需几秒钟, 因此计量解决方案需要以高采样率和灵敏度实时工作.然而, 大多数 ALD 工艺没有等离子体或使用弱的远程等离子体源. 这意味着诸如光学发射光谱 OES 等传统的原位计量技术在黑暗中迷失.由于没有强等离子源使其能够运行, 因此由于信噪比低或根本没有信号, 它们无法提供所需的信息.如果没有原位计量, 这些工艺步骤转换通常会运行固定的持续时间, 这会导致处理效率低下, 因为需要在步骤之间留出足够的余量以确保前体和反应气体不会无意中混合到腔室中. 在没有计量的情况下运行 ALD 工艺也会面临严重的生产线产量损失或工艺偏差的风险, 例如, 如果其中一种反应气体浓度波动高或低.上海伯东 Aston&trade 质谱仪可在这些非等离子体（“lights-off”）过程中提供原位计量和控制. 它可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 低至十亿分之几的水平, 提供 ALD 过程控制所需的实时数据.Atonarp Aston&trade 技术参数类型Impact-300 Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)Atonarp Aston&trade 质谱仪优点1. 耐腐蚀性气体2. 抗冷凝3. 实时, 可操作的数据4. 云连接就绪5. 无需等离子体6. 功能: 稳定性, 可重复性, 传感器寿命, 质量范围, 分辨率, 最小可检测分压, 最小检测极限 PP,灵敏度 ppb, 检测速率.Atonarp Aston&trade 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测和 EPD: CVD Monitoring and EPD4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston&trade 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Avio™ 200 系统能处理难度最高的、未经稀释的高基体样品，为ICP 带来全新的性能及灵活性。 而且，前所未有的性能还带来了无可比拟的易用性。独特的硬件特性与业界最直观易用的软件相结合，使多元素测量变得与单元素分析一样简单。 作为市场上最小巧的 ICP，Avio 200 可通过以下性能，提供最高效的操作、最可靠的数据和最低的拥有成本： 所有 ICP 中最低的氩气消耗 最快的 ICP 启动（从关机状态启动，光谱仪在短短几分钟内即可准备就绪） 对所有适用的元素都具有出色的灵敏度与分辨率 具有双向观测技术的最宽线性范围 性能可靠、功能强大、经济实惠、Avio 200 具备您所寻求的 ICP所具有的一切。 既然可以成为开拓者，谁还愿意当操作者？ Avio 200 ICP 专为满足最具挑战性的客户需求并超越此类需求而设计，凭借一系列专有独特的功能，可帮助您运行多个样品，所取得的成本效益远超以往任何时候。 最低的运行成本借助获得专利的 Flat Plate™ (平板) 等离子体技术，Avio 仅需消耗其他系统一半的氩气量，即可生成强健、耐基体的等离子体，同时赋予您： 所有 ICP 中最低的操作成本 无需再进行与传统螺旋负载线圈有关的冷却和维护，提供出色的运行时间和生产力 另外，为了提高效率，珀金埃尔默仪器具有获得专利的动态波长，稳定功能。可令您从关机状态启动，在短短几分钟内即可进行分析，因而您大可在仪器不使用时随意关掉。 强大的双向观测功能与提供轴向和径向观测而牺牲性能的同步垂直双向观测 ICP 系统不同，Avio 200 系统获得专利的双向观测功能，可测量所有波长，不会造成光或灵敏度的损失。即使是波长大于 500 纳米或低于 200 纳米的元素也完全可以测量，即便是在 ppb 的含量水平。该 Avio 系统独特的双向观测设计也提供了可扩展的线性动态范围，确保实现： 样品制备和稀释最小化 高、低浓度可以在同一运行中进行测量 更好的质量控制和更准确的结果 减少重复运行 集成等离子体观测相机可简化您的开发方法，同时借助 Avio 200 系统的 PlasmaCam™ 技术，尽享远程监控等离子体的便利。作为行业首创，彩色相机可帮助您： 实时观测等离子体 执行远程诊断 查看进样部件 革新性 PlasmaShear 系统，可实现无氩干扰消除为了消除轴向观测的干扰，需要消除等离子体的冷尾焰。没有其他同类仪器能比 Avio 200 更有效、更可靠或更经济。其他 ICP 消除尾焰需要消耗高达 4 升/分钟的氩气流量，Avio系统独特的 PlasmaShear™ 技术只需空气即可。无需高维护、高提取系统或锥体。就是一个完全集成的、完全自动化的、能提供无故障轴向分析的干扰消除系统。 CCD 检测器，可实现无与伦比的准确度和精密度借助全波长功能，Avio 200 系统的强大电荷耦合器件（CCD）检测器能不断提供正确的答案。Avio 系统的 CCD 检测器可同时测量所选谱线及其谱线附近波长范围，实时扣背景，实现出色的检测精密度。在分析过程中，它还可以同时执行背景校正测量，进一步提高准确度和灵敏度。 带有快速转换炬管底座的垂直等离子体，可实现无与伦比的基体灵活性即使 ICP 正在运行，Avio 200 系统的垂直炬管无需工具也能进行简便快捷的调节，可提供更大的样品灵活性并简化维护。炬管底座的设计与众不同，具有以下特点： 一个可拆卸的、独立于炬管的中心管，旨在减少维护和破损的可能性 自动自对准，即使在拆卸后也能提供一致的深度设置 兼容各种雾化器和雾室，可提高灵活性 友情提示：根据型号及配置不同，仪器价格会有不同，欲了解详情请与我司联系。

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新品详情上市时间：2012年6月产品介绍：SPECTROBLUE是最新推出的电感耦合等离子体原子发射光谱仪（ICP-OES）它结构紧凑、光谱范围通用、操作便易、维护简单而优质实用；750mm焦距的帕邢-龙格光学系统与15个线性CCD阵列检测器，使其具有无与伦比的光学分辨率和灵敏度；创新性的采用UV-PLUS气体净化技术，免除了高纯气体吹扫的耗费，确保远紫外谱区的高传输效率和优异的长时间稳定性。功率强大、长期稳定、久经耐用的RF发生器使其能胜任极端的等离子体负荷，而大功率陶瓷管与ICP所产生的热量通过全新的空冷方式进行冷却，不再需要昂贵的外部水冷装置。此外，SPECTROBLUE 装配了SPECTRO的 SMART ANALYZER VISION智能分析软件， 提供了简单灵活而强大的用户界面，软件易学易用，而仪器操作简单、分析能力强。创新点：1、密闭充氩气循环光室，专利技术德国出厂时在光室中即密闭了高纯氩气，无须提前吹扫高纯氩气或氮气，可随时分析深紫外区谱线（如P，S等元素），从而省去了高纯氩气或氮气提前吹扫的等待时间，节约了高纯气体的使用费用，提高了工作效率。2、一级光谱光学系统，检测器常温工作光室采用帕邢-龙格光学系统，全部谱线采用一级光谱，保证了最大的光亮值。采用该类型分光系统，可以使检测器捕捉到最强的信号，从而检测器无需依靠降温来降低噪声干扰。检测器15℃恒温工作，无需制冷，缩短了开机稳定时间，开机即用，降低了仪器能耗；同时检测器也无需高纯气体吹扫，降低了气体使用费用。3、风冷式冷锥专利技术去除尾焰水平炬管，轴向观测型号，采用了风冷式冷锥去除尾焰专利技术，无需再购置冷却循环水配套设备，不仅降低了仪器采购成本，同时降低了仪器能耗。4、RF发生器具有功率强大、长期稳定、经久耐用的完美性能RF发生器选用的是4.5kW的固态集成电路和27MHz的自激振荡器，功率范围700-1700 W连续可调，是目前商品化仪器中最强的功率，非常适用于高等离子体负载的样品，如：高盐、有机和基质较复杂的样品。

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PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。 差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接 电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS Penning规和互锁装置可提供过压保护 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间 标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选 灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆 质量数范围： 0 ~ 2500amu 脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围 能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选 ） Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选， 高压操作可选 通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制

激光诱导击穿光谱技术(LIBS)，利用脉冲激光产生的等离子体烧蚀并激发样品（通常为固体）中的物质，并通过光谱仪获取被等离子体激发的原子所发射的光谱，以此来识别样品中的元素组成成分，进而可以进行元素鉴定、材料的识别、分类、定性以及定量分析。 CNI生产的激光诱导等离子体光谱仪中，激光器稳定可靠，光谱仪分辨率高，软件分析快速准确，是实验室、工业现场的实用分析仪器。■ 基本组成 脉冲激光器、光纤光谱仪、聚焦透镜、样品、转台、耦合透镜、光纤座、光纤。■ 激光器的选择固态物质LIBS检测金属样品(金属、合金、钢、矿石等组分检测)高能脉冲激光器E:100μJ~10mJ样品导热性好，激光器能量足够高即可非金属多组分样品(土壤中重金属、氮磷钾肥检测、煤质分析等)低频高能脉冲激光器E:10mJ~100mJ样品导热性，高温易化学反应或燃烧液态物质LIBS检测液体样品(海水、工业污水检测等)高能脉冲激光器E:100mJ~500mJ由于等离子体冲击波作用，液面波动影响探测稳定性气态物质LIBS检测气体或气溶胶(空气成分、大气污染物、汽车尾气、工业废气检测等)低频高能脉冲激光器E:100mJ~1000mJ气体击穿阈值大，需要高能激光作为激发光源

EV 2.0 专用于单腔室或多腔室配置下的光发射光谱（OES）或多波长干涉测量（INT）终点过程实时监测，主要应用于干法蚀刻、等离子清洗和等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）等半导体工艺的先进终点控制、故障检测或腔室健康监测，为各种半导体原始设备制造商（OEM）和最终用户应用定制，包括具有自动终点配方创建功能的工艺工程，以及执行完整终点和过程质量管理的机上处理。产品特色- Sigma_P 软件Sigma_P 软件允许快速配置配方，然后创建可靠的终点检测。通过基于 Windows 10 的软件平台，直观的用户交互设计允许处理光谱或直接处理波长。该软件包含一个具有等离子体发射波长的开放库。用户可使用配方编辑器构建有效的配方，包括多波长算法、信号算法和过滤，以及终点/健康监测条件和决策，并集成在线帮助。同一界面最多可显示 8 条曲线，同时监测特定种演变、终点和腔室健康。- OES 配方编辑器 2.0为简化 OES 工程流程，无监督 AI 机器学习可简化 OES 工程并创建强终点配方。制程工程师只需设置4 个参数：时间窗口、波长范围、断裂方向和阈值。然后，配方编辑器允许自动提取包含原谱、等离子体变化特征（如实现的接口、杂质检测、发现的终点等）的相关波长, 随后，一个终点配方被自动构建并一键传送到 Sigma_P。- 用于干涉测量的动力学建模器通过材料结构（每层由其材料、厚度和蚀刻/沉积速率来表征）和所用波长得到的理论干涉曲线。可选配置-多种配置选配：三种不同的软件包-从低分辨率到高分辨率的多种光谱仪-管理光发射光谱或多波长干涉测量诊断的多种配置-管理单腔室或多腔室（最高 6 个处理室）的多种配置应用方向-等离子干法蚀刻和沉积的监测：数据采集、分析、比较(使用内部发射光谱库)、制程识别、一致性控制-先进终点制程控制：全自动终点、批间控制、故障检测分类、健康监测系统，以提高半导体制造的成品率和生产率-终点判断：晶圆批间控制、接口检测、制程一致性、低开口区域、减少过刻、生产再现性、良率提升-腔室健康：湿法清洗周期中的腔室、制程稳定性控制、等离子体光谱监测、工艺漂移、趋势分析、预防性维护、腔室气体纯度控制和泄漏检测、故障分析-清洗过程技术指标

珀金埃尔默Optima 8000等离子体发射光谱仪继续延续 PerkinElmer 在 ICP 技术方面的卓越成就和*地位，秉承一贯的设计，提供分辨率和线性动态范围。更重要的是，8x00 系统的稳定性和检出限是以往任何ICP 仪器都无法企及的。基于可靠的 Optima 平台设计，在业界*的 Windows 7 兼容 WinLab32 软件的控制下，8x00 系列将令您对 ICP-OES 刮目相看。 该系列的超凡性能是通过优化进样系统、增强等离子稳定性、简化方法建立和大大降低操作成本的新技术实现的。珀金埃尔默Optima 8000等离子体发射光谱仪革新技术 - 令人瞩目的成就eNeb 进样系统高效、稳定的进样系统。通过不断地形成大小*的液滴，eNeb 选件可令 Optima 提供很好的稳定性和无可比拟的检出限，非常适用于环境和药物制剂实验室。平板等离子体技术RF 发生器采用免维护的等离子体感应板，替代传统的螺旋负载线圈。无需冷却，氩耗降低，操作成本大大降低。PlasmaCam 观测相机通过提供连续等离子观测，该彩色内置相机简化方法建立过程，使远程诊断功能成为可能，以大程度增加正常运行时间。 非常适用于有关食品/产品安全和地球化学的高输出合约实验室。

垂直炬管双观测，灵敏度提高1倍，无需双向观测仪器改变观测方向后重新测定，降低基体效应，提高了准确度，基体耐受度更高高测量速度：高速同步的全光谱采集，缩短了样品分析时间，每天可分析多达700个样品运行成本低：光路吹扫流量可低至仅0.5 l/min。整机风冷，无需外部冷却水装置SPECTRO GENESIS ICP-OES等离子体发射光谱仪经过重大更新，采用了全新的紧凑型设计和一些关键性的当代技术，再次证明了它是入门级元素分析仪器的金标准。SPECTRO GENESIS ICP-OES等离子体发射光谱仪使用方便，具有工业级的耐用性和样品通量，而且购买和操作成本都很低。它的线性动态范围可从十亿分之一 (ppb) 到百分浓度水平。新型 DSOI光学结构显著提高了灵敏度，因此，它可以为排放控制和过程控制等更广阔的应用领域提供快速、准确的分析毫无疑问它成为众多环境、工业和科研实验室适合的高性价比仪器，可轻松分析的样品包括污废水、石化、化工和化学品等。SPECTRO 完整的产品系列中的其他ICP-OES机型包括：SPECTROGREEN和SPECTRO ARCOS。

安捷伦 7900 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪是一款灵活的单四极杆 ICP 质谱仪，可提供非常出色的基质耐受性、有效的氦碰撞模式、超低的检测限和宽广的动态范围。因此，无论样品类型如何，您都可以确信始终报告准确的数据，即使在痕量分析中也是如此。7900 ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪为要求苛刻的商业和工业应用提供了超高的性能，并具有研究和高级分析（例如形态分析）所需的灵活性。高灵敏度和瞬时信号的快速采集是单纳米颗粒 (spICP-MS)、单细胞分析和激光剥蚀所必需的，让您能够在竞争中脱颖而出。 安捷伦 7900 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪产品特性：● 高盐基质耐受能力 — Agilent 7900 ICP-MS 的稳定等离子体和可选的超耐高盐进样系统 (UHMI) 可帮助您对高达 25% 总溶解固体 (TDS) 含量的样品进行常规测量，其高盐基质耐受能力比传统 ICP-MS 限量高 100 倍。● 宽动态范围 — 新型正交检测器系统 (ODS) 可提供高达 11 个数量级的动态范围，从亚 ppt 级到百分级浓度，用户可在同一次运行中同时测量痕量与常量元素。● 痕量物质检测更胜一筹 — 新型的接口设计和优化的扩展级真空系统提高了离子传输效率，在 2% CeO 的条件下可提供 109 cps/ppm 的灵敏度，ODS 则可提高增益并降低背景，进而提高信噪比。● 更快的瞬时信号分析 — 7900 ICP-MS 每秒可完成 10000 次独立测量，可为瞬时信号的准确分析提供很短的积分时间。● 易用性 — 新一代 ICP-MS MassHunter 软件提供了直观的控制面板设计，配备的小工具可指导您完成每一步分析。只需简单回答几个应用问题，或者对一个典型的样品进行分析，创新的方法设置向导即可自动为您创建方法。您还可以使用远程监控应用程序随时随地监测与控制您的 ICP-MS 仪器，增强了灵活性。● 更高的分析效率 — 耐高盐进样系统 (UHMI) 技术结合可选的集成样品引入系统 (ISIS 3) 以及 ODS，可以在宽动态范围内分析并定量几乎任何样品，避免了因产生量程外结果而不得不重新分析所耗费的额外时间及成本。 二手安捷伦 7900 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪应用优势：1、使用 HPLC-ICP-MS 进行一体化多元素形态分析Agilent 7900 ICP-MS 可提供要求极高的应用所需的灵活性。针对安捷伦液相色谱系统提供全面的连接支持和集中的软件控制，能够实现常规以及高性能的形态分析。同时还支持其他色谱分离（例如 GC、CE 和 FFF。HPLC-ICP-MS 高级功能包括自动切换色谱柱和流动相，能够在一次无人值守运行序列中分析多种 HPLC-ICP-MS 方法。2、单纳米颗粒 (sNP) 分析的高灵敏度和快速信号采集在激光剥蚀 (LA) ICP-MS 成像应用中，高灵敏度是检测极小纳米颗粒 (NP) 的重要因素，也是获得理想空间分辨率的关键。7900 在整个质量数范围内具有出色的灵敏度，结合优化的 0.1 ms 驻留时间，可实现快速时间分辨分析 (TRA) 采集。将高灵敏度与 ICP-MS 高稳定性等离子体以及宽动态范围检测器相结合，可轻松实现常量元素分析。3、利用灵活的配置和较高的性能轻松应对 ICP-MS 高级应用7900 可提供要求极高的应用所需的灵活性。利用 ORS4 碰撞/反应池有效控制干扰，并结合高效的冷等离子体，实现高纯度加工化学品的超痕量分析。可选的样品引入工具包能够实现有机溶剂和腐蚀性样品（例如 HF）的常规分析。易于连接至第三方外围设备（例如激光剥蚀 (LA-ICP-MS)），从而实现固体的直接、高灵敏度分析。

赛默飞世尔科技的的iCAP 7400 电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES) 是功能强大的多元素同时检测的光谱仪，它采用赛默飞世尔科技iCAP 7000 系列ICP-OES 的核心技术，具有高性能、多用途以及高产能等特点。最先进的设计使用户设置最简洁、维护时间最短，并且在进行标准分析、拓展应用及常规的液体分析中均取得优异的表现。iCAP 7400 ICP-OES 具有稳定、灵敏及成本低等特点，可全面提升实验室的分析能力。仪器使用了独特优化的高效率等离子体炬管和接口设计，减少了气体消耗，降低了运行成本。完整的样品处理组件包括各种进样系统。这些特征使得仪器可以“即插即用”，并保证日常分析结果严谨和始终如一；并且可以帮助刚接触ICP-OES 技术的分析工作者快速实现标准化的操作。iCAP 7400 ICP-OES 等离子体光谱仪是可靠耐用，占用空间小的强有力的元素分析仪器；您的实验室可以-- 信赖这款性能出色的仪器。-- 适用于广泛行业范围的解决方案-- 用途多样，适用于各种应用-- 完美地支持 QA/QC 和合同实验室-- 适用于中等样品通量-- 通过性能提高生产力-- 高效的光传输，优异的分辨率、灵敏度和检测能力-- 可自由选择 波长166–847 nm内的最佳信噪比的谱线进行检测-- 专用的垂直观察等离子体或双向观察等离子体的配置，适合感兴趣的样品类型和元素-- 使用气体质量流量控制器控制雾化器气流量，改善长期信号稳定性-- 灵活的 Thermo Scientific&trade Qtegra&trade Intelligent Scientific Data Solution&trade 软件，可以最大程度地降-- 低任务执行时间和最大程度提高自动化程度，提高准确度和生产力

申贝科学仪器电感耦合等离子体光谱仪 ICP-OES EXPEC 6500系列产品，采用垂直矩管双向观测技术，齐聚了第四代自激式固态RF源、定制的大面阵E-CCD检测器和结构优化设计，实现了仪器更高的检测灵敏度、更宽的线性动态范围、更优的稳定性（RSD1%@8h）和更好的样品适应性。性能优势数字自激式全固态射频电源自激式全固态射频电源，全数字控制，500-1600W功率可调，具有更强的样品适应性；iStandby模式提供超低功率待机功能，降低氩气消耗50%以上；无运动部件结合水冷式设计，同时保证电源的稳定性和可靠性。新一代垂直矩管双向观测技术轴向观测获得高灵敏度，径向观测避免基体干扰，同时垂直矩管可避免高盐沉积，延长矩管使用寿命，同时氩气消耗减少，降低仪器使用成本。大面阵E-CCD检测器大面阵CCD检测器，获得高分辨率的同时得到更宽的光谱范围；其优异的低噪声、深紫外相应结合防溢出设计，有效提升电感耦合等离子体光谱仪 EXPEC 6500的检出能力；大面阵设计确保仪器真正实现全谱一次采集，一次曝光可完成所有160nm-900nm范围内72种元素分析。稳定性和可靠性通过高精密温度梯度场仿真，风道流体力学仿真，结合反复实践验证，优化内部结构设计，使设备具有较好的环境温度耐受性。结合RF电源，进样系统等多处关键部件的稳定性设计，具有8小时连续测量数据RSD1%的超高稳定性。可扩展多种应用需求高分辨光学系统配置可满足稀土行业检测需求。可扩展样品智能前处理设备我们为电感耦合等离子体光谱仪 EXPEC 6500 配套开发了样品智能前处理系统，从样品称量开始，至出结果等一系列过程，“一键式”智能处理，不需要人工参与。应用领域水、土壤、大气、固废等环保领域，石油、化工、纺织品，冶金、矿石、高纯金属，食品、药品，在线监测/联用技术等科研领域产品选型产品型号特点EXPEC 6500 D型 垂直炬管双向观测EXPEC 6500 R型 垂直炬管径向观测EXPEC 6500 H型 全谱高分辨率EXPEC 6000 D型 水平炬管双向观测EXPEC 6000 R型 垂直炬管径向观测