【技术参数】样品室玻璃腔体尺寸120mm ? x 120mm H,高强度不锈钢结构样品台尺寸可放置12个标准钉形样品台,高度可在 30mm内调节蒸镀源高纯度碳棒,直径6.15mm蒸镀控制系统微处理器控制,远程电流/电压感应;最大电流180A,程序化数字控制;提供真空安全联锁装置,配有过流保护;模拟计量真空 Atm - 0.001mb 电流: 0 – 200A控制方式自动蒸镀控制;可选择手动操作,也可通过控制数字定时器 (1 – 30秒)及电压设定 (0.1 to 5.5V)实现自动蒸镀控制;自动放气功能;机械泵2L/s,25-30s内真空度下降到0.1mb工作电压220V, 50/60HZ膜厚监控仪(选配)通过6MHz石英晶体进行原位监控,显示纳米级厚度,碳厚度可精确到0.1nm适用配套Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镜【产品详情】Agar 全自动喷碳仪为英国进口设备,操作简单,适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪使用高纯度碳棒,更容易实现在高倍下得到高质量的镀膜效果,以便对样品进行形貌观察及进行能谱EDS或EBSD分析。 喷碳仪使用的是碳棒,真空度相对来说要高一些;用碳棒的喷碳颗粒要细一些,同时对样品的加热温度也要高一些。样品台:碳棒:膜厚监测仪:
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