光电位移传感器

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the widerworking bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

对于传统的热膨胀仪，测试量程与分辨率这两个参数很难两全。如果分辨率上升，测量范围通常下降，反之亦然。德国耐驰公司热膨胀仪DIL 402 Expedis通过新型自反馈光电位移测量系统 NanoEye 克服了这一技术上的矛盾。Nanoeye是一种新型的自反馈光电位移测量系统，在过去尚不可能实现的测量范围内具有良好的线性度和最大的分辨率。这是市场上第一个支持调制力（振荡型载荷）的水平膨胀仪系列，藉此打破了膨胀测量和热机械分析(TMA)之间的鸿沟。　　热膨胀仪DIL 402 Expedis分为：Classic，Select ，Supreme三个版本。后两个版本是专门为研发和复杂的工业应用而设计的：即全面的、配置齐全的Supreme版本和可升级的Select版本。　　 　　　　功能原理　　在测试中，如果样品膨胀，图形中的所有绿色部分都会在线性导轨(蓝色)的引导下向后移动。光电解码器直接在适当的刻度上确定相应的长度变化。　　 　　识别功能与数据库　　用于识别和解释DIL测量的包括几个耐驰的数据库，其中有来自陶瓷、无机、金属、合金和聚合物或有机领域的上百条数据。此外，还可以创建特定于用户的库。它们可以与计算机网络中的其他用户共享。　　识别允许从测量曲线的绝对值、斜率或形状中识别未知样本。这也为比较已知的样品与未知样品、评价材料质量提供了可能性。所有测量值都可以存储在庞大的数据库中，并且始终可用于识别或质量评价。

北京怀柔雁栖湖畔，一个综合性科创产业中心正在蓬勃兴起。　　近日，《科创板日报》记者随“北京投资促进宣传媒体行”走进怀柔活动来到怀柔科学城，发现这个风景优美的首都市民周末度假地，已悄然变身为北京东北部科创高地，一批扎根于此的企业，在经历了数十余年与怀柔共同成长后，已顺利登陆科创板等A股市场。　　调研中，记者了解到，怀柔以高端科学仪器装备和传感器产业为核心，建设国家高端科学仪器装备产业聚集区，已落地仪器和传感器相关企业291家。此外，还建起“引导基金+母基金+子基金”多级联动的科技金融生态体系，总规模超18亿元。　　培育多场低温等“潜力股”， 仪器和传感器基金已超18亿　　在万物互联、万物智联时代，芯片和5G技术等都离不开传感器。今天，传感器已越来越多地应用在工业生产、环境保护、医学诊断、海洋探测、宇宙探索等领域。　　根据财联社创投通数据显示，2020年以来，全国传感器领域的一级市场融资已超150亿元。　　北京市怀柔区把仪器和传感器产业列为当地科创发展的重中之重。　　为此，怀柔设立了多支相关基金，首先是投资偏向早、小及科技创新的公司，该基金总规模1.01亿元，目标锁定怀柔区仪器和传感器领域的“苗圃”企业，护航种子企业、天使企业加速成长；其次设立投资偏向初创和发展期项目的怀柔硬科技产业发展基金，总规模5.05亿元，目标是怀柔区这两大领域拥有高技术壁垒、巨大发展潜力的企业，着力打造“专精特新”“独角兽”企业；再是投资偏向发展和成熟期项目的怀柔科技创新创业基金，总规模2亿元，目标锁定龙头企业，发挥龙头企业带动作用。　　今年初，北京北工怀微传感科技股权投资基金成立，传感器产业基金总规模10亿元，由北京京国盛投资基金联合智能传感器产业龙头上市企业北京赛微电子股份有限公司怀柔区传感科技产业生态建设国有投资公司、北京怀胜基金管理有限公司等共同发起设立。　　此外，怀柔还加入国家自然科学基金委区域创新发展联合基金，每年安排6000万元，采取“揭榜挂帅”的方式，面向全国科学仪器和传感器企业，征集技术难点与需求“发榜”，邀请全国科研团队“揭榜”。　　越来越多企业选择落地于此，其中，北京怀柔仪器和传感器有限公司是怀柔区的国有平台公司，注册资本8.5亿元。也是中关村高新技术企业，入围工信部第四批产业技术基础公共服务平台（信息服务类）名录。　　截止目前，怀柔科学城已集聚了“多场低温”、“卓力汉光”等290余家仪器装备和传感器企业。　　（多场低温科技（北京）有限公司记者李明明摄）　　作为怀柔区政府引导基金支持的典型，“多场低温”专注高端科学仪器研发与生产，目前产品聚焦在基于压电的超精密运动和极端环境下的综合物性测试系统。创始人丛君状是中科院物理博士，靠着第一笔订单赚到的10万元开启创业之路，2021年公司被北京怀柔科学城作为重点项目引进。　　谈及核心技术优势，多场低温科技联合创始人邢健对《科创板日报》记者介绍，公司的主要产品低温压电位移台属于首创，在国内没有竞品，目前已在国内综合极端条件实验装置等科学设施里得到应用。　　今年8月，“多场低温”已开启新一轮融资，投资机构为峰瑞资本、水木创投、中芯聚源。　　2020 年，在怀柔科学城的支持下，“卓立汉光”在怀柔科学城成立卓立分析仪器公司，聚焦于高端光电科学仪器、光电分析测试解决方案、精密光学机械运动控制解决方案，直接服务怀柔科学城大科学设施、重点科研及行业用户。　　（北京卓立汉光分析仪器有限公司记者李明明摄）　　目前，怀柔还在申报全国首个国家级高端科学仪器领域示范区，力争到2025年，实现一千家高端科学仪器和传感器领域硬科技企业落地。　　一体化3D打印制造航天飞行器 ，科创板上市公司已扎根20余年　　当下，怀柔也在努力创造资本市场的“园区速度”。深交所、上交所、北交所均在怀柔成立了上市企业服务中心，一批头部公司和“隐形冠军”企业正加速成长。　　其中，有研粉末新材料股份有限公司(688456，简称：有研粉材)就是佼佼者，公司已成功登录科创板，铜基金属粉体材料产销量及市场占有率均为国内第一、全球第二。　　据了解，有研粉材成立于2004年3月，是一家由有研科技集团(隶属国务院国资委的央企)控股、国际领先的有色金属粉体材料生产企业。主要产品包括铜基金属粉体材料、微电子锡基焊粉材料和 3D 打印粉体材料。作为高端制造业的关键基础性材料，产品广泛应用于汽车、高铁、机械、航空、航天、化工、电子信息、国防军工等行业。　　(有研粉末新材料股份有限公司记者李明明摄)　　特别是在航天航空领域中，航天器上的电子器件冷却板、封装板和防护板等部件，都可以用3D打印技术打印出来，而且航天发动机需要大量采用高温合金、钛合金等难加工材料，设计结构复杂、工艺流程长，其轻量化、低成本、快速研制的迫切需求，与3D打印成型自由度高且快等特点，高度契合。　　上述应用场景，《科创板日报》记者在有研粉材的厂房内看到了实例，灵活移动的激光束喷射着灼灼白焰，将金属粉末不断地熔化、粘接、冷却，层层堆积，一个个结构复杂的金属零部件被“打印”出来。　　“卫星的结构比较复杂，用传统的机加工很难完成，加工工序比较繁琐，3D打印可以通过结构的优化减轻支架重量。现在，一体成型工艺由原来的两三个月，已缩短至一星期左右。”有研增材（即有研粉材子公司）副总经理赵新明透露，下一步，3D打印也会实际应用在火箭发动机上。　　有研粉材此前发布公告，未来将在3D打印领域继续深耕，为市场提供更高性能的增材产品。　　谈及为何选择落户怀柔时，有研增材技术总监王林山介绍说，此前，原北京有色金属研究总院（现中国有研，以下简称“有研总院”）在一次“偶然”的机会，院里将电解铜粉的生产技术转让给一家合资企业，院领导派公司创始人汪礼敏先生担任临时厂长。1996年底，那家合资企业因缺乏技术等原因而停产，于是再次找到汪礼敏先生，希望通过共同持股的方式合作。1997年汪礼敏受控股方—有研总院的委托，来到重建后位于怀柔的北京恒源粉末合金厂，7年后的2004年，有研粉材正式成立。　　“怀柔科学城的发展，从硬件、软件的配套支持到政策和资金支持，都成为企业发展的坚实后盾。”王林山说。