生产线大功率IGBT模块静态参数全自动量产测试系统型号/定义:ST-DC1520_FATLST-(Semiconductor Test) DC (Direct current) 1520 (1500V2000A)FATL(fully auto test line)用于大功率 IGBTs模块静态直流参数测试,生产线全自动量产测试1500V/2000A,短路电流2500A? 功能单元概览实景照片结构单元说明基础部分产线架构,水印*西安天光测控*水印 伺服系统整体系统的控制的电控系统水印*西安天光测控*水印 输送单元产线输送带及电机水印*西安天光测控*水印 机械臂通过往复运动取放被测模块水印*西安天光测控*水印 预加热单元加热模块水印*西安天光测控*水印 冷却单元同时带有风冷和水冷两套水印*西安天光测控*水印 托盘铝基板材质的托盘,针对DUT外观定制? 量产测试简述水印*西安天光测控*水印 “生产线大功率IGBT模块静态参数全自动量产测试系统”人工操作部分只有两项(被测模块的“放”和“取”)。产线启动,先由工作人员将其被测模块放置在专用托盘内。放置模块的托盘被输送带输送至预加热区域进行加热。加热后输送将其输送至测试区,由测试臂识别抓取放置测试主机的托盘(测试主机的托盘会自动弹出)。测试主机托盘收回并关闭安全门进行电测试,测试完毕,弹出托盘,被测模块被机械臂抓取送至冷却区域,冷却区域提供风冷和水冷两种方式。冷却完毕,输送带将被测模块送至成品区,等待下一步工序。水印*西安天光测控*水印 ? 产线测试能力水印*西安天光测控*水印 分类项目基础参考实际响应静态电源高稳定性自主电源(高度适配,扩展灵活);静态电压等级1500V1500V(支持扩展)水印*西安天光测控*水印 静态电流等级2000A2000A(支持扩展)水印*西安天光测控*水印 静态测试时间 水印*西安天光测控*水印 单次测:5s/上臂或下臂(测试单元);水印*西安天光测控*水印 模块测试:42s/模块,分两次测;静态机械动作时间2s (设备移动;测试单元及DBC之间切换)静态测试产能1000模块/D水印*西安天光测控*水印 半自动,一次测一个上臂/下臂,换料30s, 一天按20h计算水印*西安天光测控*水印 DBC:3600/(42+30)*3=150DBC/H,3600*20/(42+30)*3=3000DBC/D(设计一次放3个DBC)模块:3600/(42+30) =50模块/H,(3600*20)/(42+30)= 1000模块/D静态切换方式 (继电器或机械切换) 水印*西安天光测控*水印 继电器切换水印*西安天光测控*水印 Handler进出料机械控制方式半自动 (手动放料、自动进出)半自动(气动式夹具柜),可以预留分选机接口;或全自动(外购全自动机械臂)水印*西安天光测控*水印 手动放料,自动进出;高温取放戴手套;温度高温测试200℃高温支持室温到200℃,分辨率 0.1℃温度高温监控Tc监测支持Ta, Tc监测;水印*西安天光测控*水印 温度加热方式水印*西安天光测控*水印 设备:自带可控型恒温加热板电加热;模块:可代购或自购温箱;温度升温、降温时间水印*西安天光测控*水印 升温:20~30 min降温:风冷20~30min 自冷2~3h温度温度控制精度水印*西安天光测控*水印 常温-125℃±1.0℃ 125℃-150℃±1.5℃150℃-200℃±2℃温度温度校准/水印*西安天光测控*水印 夹具DBC&模块 兼容性切换时间小于30min响应,设计同时放两套夹具,无需手动换置;其它特性水印*西安天光测控*水印 /水印*西安天光测控*水印 ? 技术规格分类测试指标典型值 西安天光测控测量范围测量解析度和精度测试条件静态Kelvin contact四线开尔文接触检测支持/水印*西安天光测控*水印 /静态NTC测试水印*西安天光测控*水印 5kΩI=1mA支持/水印*西安天光测控*水印 /静态栅极-发射极漏电流IGES(正反)25℃:±45nA150℃:±60nA(VGE = ±20V)IGE: 0-10uAIGE测试解析度:1nAIGE测量精度:+/-2%+/-5nAVGE输出精度:+/-2%+/-0.2VVge: +/-5-40VVCE: 0V tp(脉宽): 40-100ms,静态集电极-发射极电压BVCES水印*西安天光测控*水印 25℃:750V水印*西安天光测控*水印 VCE: 0-1500VVCE测试解析度:1VVCE测量精度:+/-0.5%+/-2VICE输出精度:+/-5%VCE输出精度:+/-1%+/-1VVGE=0VICE: 0.1-100mAVCE max: 100-1500Vtp(脉宽): 5-200ms 静态集电极发射极饱和电压VCESAT水印*西安天光测控*水印 25℃:1.45V125℃:1.60V150℃:1.65V(VGE = 15V IC = 550A)VCE: 0-10VVCE测试解析度:1mVVCE测量精度:+/-1%+/-1mVIC输出精度:+/-3%+/-0.2AVGE输出精度:+/-2%+/-0.2VVGE: 1-30VICE: 2-2000Atp(脉宽): 500us静态集电极-发射极截止电流ICES水印*西安天光测控*水印 25℃:0.5mA125℃:20mA150℃:10mA(VCE=750V)ICE: 0-300mAICE测试解析度:ICE*大值的0.1%ICE测量精度:+/-2%+/-10uAVCE输出精度:+/-1%+/-1VIC*大值输出精度:+/-5%VGE=0VVCE: 100-1500VICE max: 0.1–100mAtp(脉宽): 5 -200ms 静态栅极-发射极阀值电压测试VGETH25℃:5.9V(IC=20mA)水印*西安天光测控*水印 VGE: 0-20VVGE测试解析度:5mVVGE测量精度:+/-1%+/-5mVIC输出精度:+/-3%+/-0.05mAVGE=VCEICE: 0.1mA –100mAtp(脉宽): 2-10ms静态二极管压降测试VF水印*西安天光测控*水印 25℃:1.45V125℃:1.50V150℃:1.50V(IF=550A)水印*西安天光测控*水印 VEC: 0-10VVEC测试解析度:1mVVEC测量精度:+/-1%+/-1mVIEC输出精度:+/-3%+/-0.2AVGE=0VIEC: 2-2000Atp(脉宽): 500us? 系统介绍 “生产线大功率IGBT模块静态参数全自动量产测试系统”主要针对半导体功率器件的静态参数测试而开发设计。通过DUT适配器的转换,可实现对各种封装形式的 IGBTs,MOSFETs,DIODEs 等半导体器件的静态电参数测试,包括器件、模块以及DBC衬板和晶圆。水印*西安天光测控*水印 设备融入了自动化及智能化的设计理念及功能,支持批量上下料并进行全自动测试。用于规模化量产可节省人力并提高测试产能,适合产线量测以及器件研发设计阶段的实验室测试,设备由主控计算机操控,测试数据自动上传以及保存。测试能力包含输出特性、转移特性、击穿特性、漏电流、阈值电压、二极管压降等。产品功能及输出功率进行了模块化设计,满足用户潜在的后期需求,*高测试电压电流可扩展至10KV/10KA,变温测试支持常温到200℃水印*西安天光测控*水印 产品系列晶体管图示仪半导体分立器件测试筛选系统静态参数(包括IGEs/VGE(th)/VCEsat/VF/ICEs/VCEs等)动态参数(包括Turn_ON&OFF_L/Qrr_FRD/Qg/Rg/UIS/SC/RBSOA等)环境老化(包括 HTRB/HTGB/H3TRB/Surge等)热特性(包括 PC/TC/Rth/Zth/Kcurve等)可测试 Si / SiC / GaN 材料的 IGBTs / MOSFETs / DIODEs / BJTs / SCRs 等功率器件
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