进口精密盐度计

从我国食品药品监督管理局获悉，为建立减盐环境支持体系，营造低盐膳食环境，近日，由创维集团湖北工业大学维生素俱乐部组织的“维公益：科学膳食，健康生活”活动在2014年10月31日圆满结束。此次活动测试每个食堂饭菜的咸度，提倡科学膳食。活动目的是完善餐饮服务环节减盐政策措施，在餐饮服务环节开展降低食盐摄入量工作，引导餐饮服务单位提供低盐健康食品，最大限度减少高血压危害，提高全民健康水平。活动组织单位“科学膳食，健康生活”　　　　一些人长期处于“高盐”饮食状态下，对“咸”的感觉功能逐渐减退，口味越来越容易偏咸，节假日期间尤甚。每日摄取钠盐过多，易造成血压升高。一般每人每日摄入食盐总量以不超过6克为宜，对伴有高血压、高血糖、心脏病、糖尿病者，更需限制到4克以下。选择醋、柠檬汁、番茄酱等调味品可使食物变得更加有滋有味有色，促进人们的食欲，去腥解腻，其作用可谓大矣。有些调味品本身就具有较好的营养保健作用。但也有人喜欢食用刺激性较大的调味品（如芥末、辣椒）和浓肉汤等，虽可满足一时口味的需要，但时间长了对身体不利，例如可引起胃肠刺激、消化不良、大便干燥、便秘等，有的还有升高血脂和血尿酸的副作用。 从调查显示，中国国是心脑血管疾病的高发地区，成人高血压患病率达25.1%。研究表明，过高的食盐(钠)摄入量是导致人群血压水平上升和高血压患病的重要原因之一，而高血压又是脑卒中和冠心病发病的独立危险因素。根据2002年全国居民营养调查结果，中国居民人均每日烹调用盐量为12.6克，为《中国居民膳食指南》推荐量(6克)的2.1倍。国际实证经验表明，采取健康促进策略，推行综合性减盐措施，可以有效减少居民食盐摄入量并控制高血压及其相关疾病发病水平。 与此同时，为加大宣传力度，营造减盐氛围。建立餐饮服务环节减盐防控高血压监测与评价体系，做好餐饮服务单位和集体食堂食盐使用量监测工作。创维集团湖北工业大学维生素俱乐部在学校东西南北中五个食堂及各大餐馆饭菜进行了实地咸度对比，利用咸度检测仪，电导率盐度计进行饭菜咸度检测，纳入“科学膳食，健康生活”的考察内容，定期通报，考核将结果与国家建议日摄入盐含量进行对比，并作出结论分析，提供了一系列的重要依据。推行综合性减盐措施，逐步建立减盐政策与环境体系，实施科学减盐。餐饮服务单位实地盐度值采集一 活动展开后并搜集了学生饮食种类，食品偏好的餐饮服务单位，通过稀释一份饭菜，用科学的方法使用电导率盐度计计算浮于表面的油的体积，估算学生一日摄入的油量。 分别对学校不同食堂饭菜里的油取样，与正宗油进行色香味对比，做燃烧实验。学校饭堂盐度值采集点二 针对上述实验和活动结果通过咸度检测仪分析当前大学生饮食的健康情况进行了盐度测量，大学食堂和餐饮服务单位表示，通过使用盐度计，采用统一的盐度标准，控制和保证投料的准确性及产品口味和质量的一致性。 本文来自ATAGO(爱拓)中国分公司所有，超过200种产品应用解决方案

最近一项消费者认知调查发现，中国消费者对摄盐量和健康有很好的认知，他们知道每日摄盐量应少于6克。随着人们生活水平的提高，中国消费者的生活方式正在悄然发生改变，他们会更多食用加工食品。因此，如何有效控制盐分摄入，保持营养健康生活，这为食品生产商提出了新的研发方向&mdash &mdash 开发低盐加工食品。 盐是加工食品中重要的配料之一，它不仅能提升对咸味的感知，还能增强食物风味，因此减盐方案并不是简单去除盐份，而是一套完整的调配方案。食品配方师会根据产品的口味特点、工艺特性及客户需求，定制出一套具有成本效益的整体解决方案，这些方案能使产品在拥有美味的同时拥有健康。 而在加工食品过程控制盐分浓度含量的高低就显得尤为重要，ATAGO爱拓数字式盐度计，型号ES-421，采用漏斗型的感应部分（电导法），无需任何试剂，方便快捷，测量稳定，适合测量加工食品的盐分浓度从而有效控制盐分含量。 ATAGO数字式盐度计采用电导法代替实验室操作繁琐的滴定法进行测量，操作方法十分简单，其测量范围为0.00 至 10.0% ( 100公克 ) 的盐浓度；测量精确度为显示值 0.05% ( 用于盐浓度为 0.00 至 1.00% ) ，相关精确值 小于 5% ( 用于盐浓度 1.00 至 10.0% )，具有温度补偿功能，是一款实用性非常强的盐度计。 更多ATAGO盐度计产品应用咨询欢迎访问我们的官网http://www.atago-china.com/

减少隐形盐，怎么吃才健康？ 我国现有超过2亿高血压患者、1.2亿肥胖患者、9700万糖尿病患者、80%家庭人均食盐和食用油摄入量超标。 腌制食品、加工制成的肉制品含有较多的盐，此外一些吃着有点咸的食物也含有盐。另外一些不是很咸的食物如配餐面包、方便面、饼干等等都含有盐的&hellip &hellip 盐在食品中几乎无处不在！ 日本ATAGO (爱拓)公司全新推出PAL-FM1针式盐度计 (货号：4221)能帮到您!该产品采用漏斗型传感器的方法（电导法）来测量盐度，是专门测试腌制干鱼、肉的盐度的。 针式盐度计的特点及参数： 测量盐度范围为0.0 - 10.0%， 最小标度为0.1%， 测量时间：3秒。 PAL-FM1针式盐度计 快速便捷帮您检测腌制食品中的盐度，成为您的健康饮食好帮手！ ATAGO新品针式盐度计 同时我们提供接受客户邮寄样品测试，仪器与样品配合使用，效果更佳， 详情请咨询86-20-38108256/38106065/38106057 或email：info@atago-china.com 日本ATAGO （爱拓 ）中国分公司 市场部

2013年1月，世界卫生组织在一份声明中说：“成人每天的食盐摄入量需低于5克”。世界卫生组织称，钠元素水平过高的人会面临高血压的风险，从而增加罹患心脏病和中风的危险。 中国百姓日常饮食文化里，榨菜、酸腌制品是家庭必备的开胃和搭配佳品。特别是榨菜，其做工独特，配料讲究，在世界三大著名腌菜（中国榨菜、德国甜酸甘蓝、法国酸黄瓜）中，占据首位。 榨菜、酸菜腌制过程中，盐是很关键的原料，加入食盐的目的是使腌制品内有高的渗透压抑制微生物的生长，防止腌制品氧化等。 然而随着大众食品安全意识的提高，腌制品的一些危害也引起大众的诟病。其中盐分含量过高会引起慢性疾病、高血压等；维生素损失，营养偏低等。 今天我们就来做一个简单的实验来测试一下超市中能够购得的几款常见榨菜、酸菜的盐度含量。其中，实验器具为奥豪斯ST20S笔式盐度计，该测试笔操作简便、外壳坚硬、并且可防水防尘及反复使用。 通过实验的测量数据，这些榨菜、酸菜的盐度含量在75-100ppt左右，基本与产品包装上的值一致。根据世卫生组织的标准，若食用测试的几款榨菜、酸菜产品，我们需要将整包产品分15~20次食用完，不然摄入的盐量将会超过食盐摄入量，从而在一定程度上危害身体健康。 *产品食用次数=(总重量克数*盐含量ppt值/1000) / 5克 除了上述提到的盐度测试笔外，奥豪斯水质测试笔家族，总共包括pH、ORP(氧化还原电位)、电导率、盐度、TDS(溶解性总固体)等测试笔。 ST系列测试笔是您日常做简单测量时最为经济的选择！ OHAUS ST系列水质测试笔家族一览： 更多产品相关信息，请点击这里，也可关注奥豪斯中国官方微信或微博。

蠕动泵是一种高效稳定的流体输送设备，在化工、医药、环保等领域被广泛使用。选择和使用进口蠕动泵对于构建高效精密供应链系统至关重要。本文将详细介绍进口蠕动泵的工作原理、优势和应用领域，以及探讨其在供应链管理中的重要性。进口蠕动泵可以提高生产效率、降低成本，保证产品质量和运输安全。让我们一起深入了解。　　让我们先了解一下进口蠕动泵的工作原理。这种泵是通过蠕动轮的轴向滑动来推动管道中的液体，从而实现了液体的输送和控制。蠕动泵有着简单的结构、小巧的体积、低噪音、易于维护等特点，适用于输送各种粘度和含有固体颗粒的液体。相对于其他类型的泵，蠕动泵在输送过程中不会产生剪切力或破坏液体结构，因此能够保持液体的原始性质和颗粒分布，确保产品质量的稳定性。　　进一步比较进口蠕动泵与国产泵的优势。首先，进口蠕动泵采用先进制造工艺和材料，耐腐蚀性更强，使用寿命更长。其次，进口蠕动泵应用精密控制技术，实现更高的精确度和稳定性，确保输送流量、压力和速度控制更准确。此外，进口蠕动泵具备灵活的泵头结构和多样配件选择，可以适应不同场合需求。最后，进口蠕动泵的售后服务更全面，提供及时技术支持和维修服务，减少生产故障和停机时间。　　蠕动泵广泛应用于不同领域。在化工行业中，可用于输送各种酸碱、盐类和有机溶剂，在化肥、涂料和颜料等生产中得到广泛应用。在医药领域，蠕动泵用于输送精细化工品、药液和生物制品，确保药物纯度和有效成分稳定。在环保领域，蠕动泵用于输送废水、废气和污泥等固液混合物，具有高效清洁处理效果。　　在供应链管理中，蠕动泵的重要性不可忽视。首先，它具备出色的泵头可调性，可根据不同的流量和压力要求进行精确调节，确保产品稳定供应和质量标准。其次，蠕动泵在输送过程中不会产生涡流和剪切力，有效避免氧化和降解，保持产品性能不变。此外，蠕动泵体积小巧、结构简单，便于安装和维护，提高工作效率并节约成本。最后，蠕动泵提供全程可追溯性，具备灵活的数据采集和分析功能，有助于优化供应链管理，提升企业运营效率和竞争力。　　综上所述，进口蠕动泵作为一种高效精密的流体输送装置，在供应链管理中发挥着重要作用。其先进的工作原理、卓越的性能和广泛的应用领域，使其成为建立高效精密供应链系统的关键工具。无论是在化工、医药、环保或其他行业，进口蠕动泵都能够为企业提供稳定的供应和优质的产品，助推企业实现可持续发展。　　常州普瑞流体技术有限公司，专业蠕动泵生产商，专注于为全球医疗、制药、化工、环保等企业提供专业的蠕动泵解决方案。公司产品涵盖多个系列、多个型号，无论是在功能、外观、性能、价格、服务等方面。PreFluid可以提供多种标准产品应用解决方案供客户选择，也可以根据具体应用为客户提供定制化服务解决方案满足客户不同的应用需求。产品对标国际，进口平替，欢迎新老客户在线咨询。

8月22日上午，青岛市委、市政府召开全市科技创新大会，深入学习贯彻习近平总书记关于科技创新的重要论述，认真落实全省科技创新大会精神，总结成绩，表彰先进，研究部署我市科技创新工作。市委书记陆治原出席会议，为市科学技术最高奖获得者颁奖并讲话，市委副书记、市长赵豪志主持，市人大常委会主任王鲁明出席。大会宣读了《青岛市人民政府关于2022年度青岛市科学技术奖励的决定》。2022年度青岛市共授予科学技术最高奖1人，自然科学奖10项(一等奖3项、二等奖7项)，技术发明奖3项(一等奖1项、二等奖2项)，科技进步奖105项(一等奖22项、二等奖83项)，国际科学技术合作奖1人。山东省科学院海洋仪器仪表研究所作为第一完成单位共获市科学技术奖4项，其中科技进步一等奖2项(全市共22项)，二等奖2项；获奖数量创历史新高。 　　“山东省科学院海洋仪器仪表研究所海洋仪器装备成果转化卓越贡献团队”荣获2022年度青岛市科技进步奖科技成果转化卓越贡献个人(团队)类一等奖(全市共3项)。该奖项体现了研究所在科技成果转化工作的突出成绩和社会贡献。近年来，研究所通过不断探索创新，牵头建设国家海洋技术转移中心海洋仪器领域分中心、国家海洋监测装备产业技术创新战略联盟、青岛市海洋监测装备创新创业共同体，加入了青岛市科技创新服务机构库，构建了从市场技术需求对接、专利布局与保护、成果中试、成果推广应用、成果产业化等全链条技术服务体系；打造了可复用可移植的科研机构成果转化模式；推动了系列具有自主知识产权的重大仪器装备产业化；成立产业化公司8家，总注册资本18457万元，社会资本投资5807万元，提供就业实习岗位28个，工作岗位上百个，已吸引就业人员70余人。 　　“金刚石薄膜电极式海洋盐度传感器研制与应用”荣获2022年度青岛市科技进步一等奖，彰显了团队在海洋盐度传感器领域的领先地位。该项成果由海洋功能薄膜材料与应用创新单元盖志刚研究员主持完成，突破了海洋盐度核心传感电极材料及其器件化“卡脖子”技术，建立了从金刚石薄膜敏感材料设计制备，到盐度传感器研制应用及系列化传感器市场化的国产化替代技术链条，形成了系列化的温盐深传感器产品，打造核心技术自主可控、国内唯一的金刚石薄膜温盐深传感器产品线，有力支撑了国家海洋立体监测网络建设和海洋强国战略。

汞污染，国际社会广泛关注 汞是一种有毒性的重金属元素，会对人类和生态系统健康造成严重危害，目前已成为国际社会广泛关注的环境污染物之一。人类在食用含有超标汞的产品后，可引起心血管系统、免疫系统、神经系统等受损，历史上严重的汞中毒事件包括1956年的日本熊本县水俣病事件、1971年伊拉克全国性汞中毒事件等。汞通常以不同的形态（无机汞和有机汞）存在。其中，无机汞可通过生物体内代谢的方式排出体外，而有机汞（主要为甲基汞，水俣病的罪魁祸首）则易于与有机配位体基团结合，导致其在生物体内分解速度缓慢，毒性更强。 图1汞形态的转化及通过食物链的摄入（Poulain, A.J. et al, Science, 2013） 在生态系统中，有机汞具有生物富集性，例如，鱼肉中汞的含量可达10 mg/kg以上。为了人类健康和生态系统可持续发展，有必要对环境中的汞形态进行监测。 岛津应对策略及解决方案 环境中汞的含量通常比较低，如环境水样中总汞浓度在pg/L-ng/L，汞的形态分析需要借助高灵敏探测方法（如冷原子荧光光谱法和电感耦合等离子体质谱法）来实现。为了应对环境水样品中痕量汞形态分析的挑战，岛津中国创新中心与中科院生态环境中心合作开发了一套在线SPE-LC-ICPMS分析系统，用于测定环境水样品中的痕量汞形态。 图2 在中科院生态环境中心进行SPE-LC-ICPMS实验 该系统通过第一维液相上的SPE柱对水样品中不同形态的汞进行富集；然后通过六通阀切换，在第二维分析柱上完成不同形态汞的分离，并借助高灵敏ICPMS，实现了皮克量级汞形态的快速、灵敏检测。岛津中国创新中心通过对分析参数进一步优化，使SPE-LC-ICPMS分析系统对甲基汞的检出限达到0.25 pg（进样量5 mL），优于环保标准《水质 烷基汞的测定 吹扫捕集/冷原子荧光光谱法》中所用分析方法的检测能力（检出限0.90 pg，样品量45 mL）。 图3. 甲基汞、二价汞和乙基汞的标曲曲线（0.05 – 0.8ppt） 海水样品中甲基汞的测定 利用建立的SPE-LC-ICPMS联用系统，对3个海水样品（采样位置如图4所示）中的汞形态进行了分析。3个海水样品中甲基汞的含量分别为0.096 ng/L、0.061 ng/L和0.058 ng/L，与文献报道的加拿大附近海水中甲基汞浓度值（0.057-0.095 ng/L）【1】、意大利附近海水中甲基汞浓度值（0.06-0.13 ng/L）【2】基本一致，表明本方法准确、可靠，可应用于海水样品中汞形态的分析。图4 海水样品采样位置 表1 本方法（SPE-LC-ICPMS）与标准分析方法分析性能比较 方法特点分析全自动化操作：环境水样，在线SPE富集、分离、质谱检测简单、快速分析：前处理简单过滤，全部分析可在15 min内完成高灵敏分析：烷基汞、二价汞同时检测，甲基汞检出限0.25 pg高盐度海水样品分析：可直接进样分析盐度为35‰的海水样品 小结 岛津中国创新中心与中科院生态环境中心合作开发了在线SPE-LC-ICPMS联用系统，实现了环境水样中超痕量汞形态的准确、快速分析。分析方法对甲基汞的检出限为0.25 pg，优于国家标准中推荐方法的检出限，达到国际领先水平。简单、快速、灵敏的汞形态分析能力，使本方法在常规检测及应急响应场景下具有广阔的应用前景，在环境水样（生活饮用水、地表水、海水等）检测和食品安全及检测中将发挥重要作用。参考文献：1. Vincent L. ST. Louis，Holger Hintelmann, Jennifer A. Graydon, Jane L. Kirk, Joel Barker, Brian Dimock, Martin J. Sharp, Igor Lehnherr, Environ. Sci. Technol. 2007, 41, 6433-6441.2. W.R.L. Cairns, M. Ranaldo, R. Hennebelle, C. Turetta, G. Capodaglio, C.F. Ferrari, A. Dommergue, P. Cescon, C. Barbante, Analytica. Chimica. Acta, 2008, 622, 62-69. 本文内容非商业广告，仅供专业人士参考。

10月29日，全国人大常委会副委员长、农工民主党中央委员会主席、中国工程院院士桑国卫在出席第四届亚洲制造业论坛年会时表示：要加快科技创新步伐，全面提升工业化水平和工业化质量，推动制造业大国向制造业强国转变。 　　桑国卫在演讲中指出，尽管我国已经跃升为世界第二大工业化国家，但我国装备制造产业的整体实力和水平与世界先进水平比较，还有不小差距，特别是一些高端装备和精密仪器仪表等核心部件，很大程度上仍然依赖进口。高端装备制造产业是装备制造产业中技术密集度较高的产业，是发展高端制造业的核心和关键。当前，我们一定要加快科技创新步伐，抓住全球新一轮产业布局的良机，依托低碳技术和信息技术提升装备制造业整体水平，推动工业化进程。 　　桑国卫说，我国发展高端制造产业的目标是通过产业升级，最终实现核心技术自主化、高端产品国产化、出口产品高附加值化。发展高端制造产业，要瞄准全球生产体系的高端，大力发展具有较高附加值和技术含量的高端装备制造产业和战略性新兴产业，推动传统制造业由加工制造向价值链高端延伸。高端制造业是衡量一个国家核心竞争力的重要标志，是工业化发展的必然产物和最高境界。当前，我们正处于工业化中期向工业化中后期快速转变的时期，我们迎来了千载难逢的历史机遇，同时我们也面临着巨大的资源和环境压力。但从总体看来，机遇要大于挑战。 　　对我国高铁领域取得的成功桑国卫表示祝贺。他认为，代表中国制造业整体实力的中国高铁，必将诞生出一个全新的、庞大的高铁产业，对中国制造业和世界制造业都是一件好事。

7月9日，港中旅华贸国际物流股份有限公司（以下简称“华贸物流”）副总经理吴灏来我市，就加强务实合作、推动外向型经济发展进行考察交流。市委副书记、市长王玺玮代表市委、市政府对吴灏一行的到来表示欢迎。双方共同出席了花湖机场进口精密仪器出库交接活动。　　据悉，华贸物流成立于1984年，是一家以综合物流为主业的新央企中国物流集团有限公司控股子公司，旗下分支机构现已发展至90余家，遍布国内主要港口、内陆经济发达城市以及美国、新加坡、德国、法国、英国等国家，拥有国际空运、国际海运、工程物流、铁路运输、仓储第三方物流、跨境电商物流、航材物流、报关报检等核心业务。　　交接活动中，王玺玮从区位优势、战略定位、业务布局等方面介绍了鄂州花湖机场的相关情况。他说，当前鄂州多重战略机遇叠加汇集，正积极探索建设花湖机场内陆自由贸易港，努力打造新时代湖北对外开放高地和高质量发展新引擎，加快打造特殊政策先行区、外贸模式示范区、制度建设试验区，加快推进花湖机场开放平台建设。华贸物流是一家拥有丰富物流产业运作经验的公司，对经济区物流产业未来的发展具有推动作用，希望双方优势互补，进一步深化以项目为纽带的务实合作，携手共同发展。　　吴灏对双方未来的合作表示期待，并简单介绍了公司概况。他说，鄂州毗邻武汉，区位得天独厚，政企合作空间巨大。希望双方进一步巩固深化合作关系，在高质量发展中实现互利共赢。下一步华贸物流将加强与鄂州市的交流沟通，携手在物流经济、外向型经济上开新局、谋新篇，为推动鄂州高质量发展贡献力量。　　副市长彭波，华贸物流华东、华北区域总经理兼空运管理中心委员会负责人刘喆参加活动。

7月7日消息， 农林水产食品部(简称"农水产部")7日就中国蓬莱油田漏油事故表示，对于从渤海湾临近海域(山东省、辽宁省和河北省)进口的水产物正在进行油渍残留等的精密检查。 　　农水产部表示，对于申请进口的鲜扇贝等3件进口海鲜，正在进行苯并芘的精密化验，超标时将会禁止进口。 　　该部还说，对于上述中国三省主要输往我国的章鱼、桃花蛸、华脐鱼、蛤蜊、螃蟹等13种水产，也在进行精密检查。 　　韩国的进口标准的苯并芘含量在鱼类需低于2.0微克/千克，蛤蜊需低于10.0微克/千克，软体和甲壳类需低于5.0微克/千克。

25日凌晨，郑州市西关虎屯小区一单元楼底层电表箱着火，目前已造成13人死亡，4人受伤。据报道，火灾中被浓烟熏死呛死的人是烧死者的4-5倍。 为何火势不大却伤亡如此惨重？ 标准集团（香港）有限公司提出，在火灾中，材料燃烧时产生的浓烟毒气是造成人员伤亡的重要原因。 高层建筑发生火灾时，烟雾阻碍人们逃生、进行灭火行动从而导致人员死亡。统计表明,由于一氧化碳中毒窒息死亡或被其它有毒烟气熏死者一般占火灾总死亡人数的以上，而被烧死的人当中，多数是先中毒窒息晕倒后被烧死的。 标准集团（香港）有限公司认为，控制材料生烟性能以及烟气毒性是消防检测的一个重要问题，应该引起各方的重视。

新华网长春12月3日电 记者2日从中国科学院长春光机所了解到，我国高精度衍射光栅刻划机项目已经开始实施，预计2012年研制成功。 　　据国家光栅制造与应用工程技术研究中心常务副主任唐玉国博士介绍，新型光栅刻划机性能优越，最大刻划面积达400毫米×500毫米，最大刻线密度为6000线/毫米，均是国际一流水平。该精密机械系统还将包括采用完全符合“阿贝原则”的多层台结构、承重兼导向的一体式石英刀架导轨、金刚石刀具的中途连续切换技术以及实现连续运行与间歇刻划相结合的独特工作方式等多个创新点。 　　说起被称为“精密机械之王”的光栅刻划机，很多人觉得陌生，认为离自己的生活很远。其实大到空间探测，小到血糖化验，都少不了光栅发挥作用，而光栅刻划机就是制造光栅的工作母机。 　　唐玉国表示，光栅是光谱仪器的核心元件，只有拥有了新的光栅技术，才能催生新的光谱仪器，推动整个光谱仪器行业的创新和发展。研制大型高精度衍射光栅刻划机将大幅度提升我国光栅制造水平，促进光谱仪器产业及光谱测试技术的快速发展，提升我国精密机械制造行业的自主创新能力。 　　据了解，该项目将在我国长期技术积累、关键技术获得突破的基础上，依托中科院长春光机所及联合国内相关技术力量进行研制。目前已经获得国家重大科研装备研制项目支持，经费达1.18亿元。此外，该项目已被吉林省纳入十个重大科技攻关项目之列。

成果名称 高精密半导体激光系统的研制 单位名称 北京大学 联系人 马靖 联系邮箱 mj@labpku.com 成果成熟度 &radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产 成果简介： 在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。此外，发展具有我国自主知识产权的高精密半导体激光技术，使我国摆脱此类高端激光依赖进口的被动局面，将为我国新一代的高精度卫星全球定位系统、环境检测技术和生物检测技术等高新技术的发展打下坚实的基础。 北京大学信息科学与技术学院陈徐宗教授申请的&ldquo 高精密半导体激光系统的研制&rdquo 项目，以研制具有国际先进水平的高精度可调谐半导体激光器和高精度倍频激光器为目标，瞄准该课题中的关键技术，着力解决高精度可调谐外腔半导体激光器的光栅反馈的稳定性、宽连续可调谐范围、中心波长范围等核心问题。 2009年，该项目获得了北京大学&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金资助。在基金的资助下，通过关键器件的购置和实验材料的加工，课题组开展了一系列富有成效的工作，包括：外腔半导体激光头的研制、精密电源与高精密频率控制器的研制、精密光谱监测系统的研制、激光倍频光学系统的研制、倍频腔稳频电路的设计和精密控温器的研制等，实现了激光自动锁频、连续稳频、迁谱线智能识别等创新功能。在未来的工作中，课题组将进一步提升该系统的稳定性和可靠性，优化相关工艺设计，推动高精密半导体激光技术的发展与产业化。 应用前景： 在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。

日前，通标标准技术服务有限公司安吉分公司完成韩国FESTEC NBS 烟密度测试箱的安装调试工作，完毕后客户对该设备签订了安装调试验收单，同时对该设备及此次安装给予了高度的评价。 在此次安装验收过程中，专业的培训工程师对该设备的操作提供了耐心的讲解，同时严格按照测试标准进行的标准样品的测试，该标准样品来自于美国NIST，确保了测试结果的准确性。 通过该设备的投入使用，通标标准技术服务有限公司安吉分公司拓宽了其测试标准的领域，韩国FESTEC NBS 烟密度测试箱不仅仅可满足传统的ASTM E662和 ISO 5659-2 标准测试，通过测试附件的更换，同时可以满足NES 711标准测试，并连接傅立叶红外变换光谱（FTIR），完成DIN 5510-2、ISO 17902 等烟毒性测试标准的检测要求。 作为韩国FESTEC 在中国区域的独家代理，莫帝斯燃烧技术（中国）有限公司秉承着忠于测试结果的原则，我们使用最权威的标准检测样品，同时给予对方标准的校准报告及证书，确保我们测试结果的准确性，我们的数据完全可以追溯至美国NIST内部实验室，在保证测试结果准确性的基础上，同时追求最好的人性化操作也是我们的信念。 客户介绍： SGS阻燃实验室于2004年落户浙江省安吉县。经过几年的发展，现已从原先200平方米的单一的家具检测实验室发展成为目前涵盖软体家具、纺织品、建筑材积构建、交通工具、电线电缆以及电子电工等所有阻燃测试需求领域的5000平方米的实验室空间。凭借齐全的先进检测仪器设备和经验丰富的专业技术人才，SGS安吉阻燃实验室现已在国内乃至国际阻燃检测领域赢得了良好的口碑。在阻燃测试领域，安吉阻燃实验室已获得英国皇家认可委员会授权的UKAS实验室认可，成为国内唯一一家在防火领域具有此项资质的第三方检测机构。 值得一提的是，SGS安吉阻燃实验室能够提供全面的燃烧性能测试与评估服务，是目前国内首个具备轨道车辆燃烧性、浓烟度、烟毒性全面测试能力的实验室。在此次扩建过程中，SGS充分考虑到地域经济的发展特点，为安吉周边的客户带来便利高效的&ldquo 一站式&rdquo 专业服务。如为安吉、杭州、宁波、金华等地提供家具检测服务，为安徽、江苏等地的电线电缆燃烧测试提供便捷服务等。特别是针对户外用品检测服务的问题也通过此次扩建得以解决，从今以后公司可在该实验室中完成所有阻燃项目的检测而无须送到其他城市，从而为客户节省了大量的检测时间和成本。 www.firetester.cn

《中国制造2025》的提出，预示着我国医疗器械行业的转型升级正在加快，研发趋势也正在向国际靠拢。目前国产医疗器械产品仍集中在中低端品种，高端介植入器械整体处于由模仿创新到部分替代进口的关键竞争时期。国内医疗器械行业正在逐渐加大产品创新的维度，由于高端介植入医疗器械非常精密，相应的制造加工技术要求也越来越高，传统加工方式很难满足介植入医疗器械快速创新的要求，寻找创新型精密加工方式成为了行业创新的迫切需求。行业背景医疗器械是指直接或者间接用于人体的仪器、设备、器具、体外诊断试剂及校准物、材料以及其他类似或者相关的物品，包括所需要的计算机软件。在医疗器械众多的细分领域中，基于对市场规模及增速、竞争格局、政策支持力度等多维度的分析，介植入器械是最具潜力的细分方向之一，政策支持也是推动介植入器械高速发展的重要因素。近年来在创新医疗器械领域，我国出台了多项强有力的政策，推动本土医疗器械的创新能力和产业化水平，而介植入器械明确出现在诸如“十三五”规划纲要、国家科技创新规划等文件鼓励和支持范围内。随着我国居民经济生活水平的提高，医疗保健的意识逐渐加强，因此对医疗器械产品的需求也在不断攀升。尽管我国医疗器械行业市场容量扩张速度快，但由于相关基础科学和制造工艺的落后，国产医疗器械产品仍集中在中低端产品，高端医疗器械主要依赖进口。《中国制造2025》的提出，预示着我国医疗器械行业的转型升级正在加快，研发趋势也正在向国际靠拢。未来随着国家政策的扶持、不断扩大的市场需求、中国人口老龄化加速以及医疗器械行业的技术发展和产业升级，医疗器械将有望继续保持高速增长的良好态势，并实现从中低端市场向高端市场进口替代的愿景。近年来，我国医疗器械行业持续飞速发展，其中高值医用耗材市场增长速度更是排名行业前列，年均增速超20%，取得了令人瞩目的成绩，而介植入市场作为高值医用耗材最大的细分市场一直以来都备受业内关注。介植入器械目前整体处于由模仿创新到进口替代、甚至国际领跑的竞争格局重塑关键时期。国内医疗器械企业也在逐渐加大产品创新创造的力度，由于介植入医疗器械非常精密，对相应的制造加工技术要求也越来越高，传统加工方式很难跟上介植入医疗器械快速创新的脚步，寻找创新型精密加工方式成为了他们迫切的需求。市场概况根据艾媒咨询发布的医疗器械市场，全球方面，2017年全球医疗器械市场规模突破4000亿美元， 2018年全球医疗器械市场规模为4278亿美元，预计到2024年规模将接近6000亿美元，2017-2024 年间复合增长率为 5.6%。中国成为继美国、西欧、日本之后的第四大医疗器械市场。中国医疗器械整体市场规模已由2014年的2556亿元增长至2018年的5304亿元，年均增速保持在20%左右，营业收入及净利润均保持高速增长态势，属于医疗器械行业发展黄金期，预计到2022年中国医疗器械市场规模将超过9000亿元。现阶段我国医疗器械市场的基本构成为高端产品占比25%，中低端产品占比75% 而国际医疗器械市场中的医疗器械产品基本构成为高端产品所占份额一般为55%，中低端产品占45%。并且在占我国医疗器械25%的高端产品市场中，70%由外资占领，这70%的外资企业在医学影像设备和体外诊断等技术壁垒较高的领域，市场占有率超过80%，而我国医疗器械企业主要生产中低端品种。在介植入式等高端医疗器械市场中，由于其产品的技术含量和附加值较高，不易研发制造，技术水平的限制和发达国家的资源垄断等因素，仅占30%左右的比例，因此行业中的高端产品目前仍然主要依赖进口，高端产品市场大部分被美敦力，史赛克，雅培，GE医疗和波士顿科学等国外企业占据。基于对市场规模及增速、竞争格局、政策支持力度等多维度的分析，介植入器械是医疗器械最具潜力的细分方向之一。市场规模及增速方面，根据Evaluate MedTech发布的报告，到2024年，全球6000亿美元规模的医疗器械市场中，与介植入器械密切相关的心血管、神经、骨科、口腔、眼科类设备，都将处于大市场、高成长的阶段。创新投入不够，技术研发能力差、商业模式不清晰，成为了未来国内介植入式医疗器械行业企业发展的阻碍。受益于市场需求和政策导向，未来10年中国的植入介入医疗器械企业将会加大和重视布局技术创新，从而释放介植入式医疗器械的创新维度。高精密3D打印在介植入式医疗器械行业的应用近年来，人口老龄化加剧，不合理的用眼习惯增加，我国眼科疾病高发，呈现年龄早、进展快、程度深的趋势。虽然眼科患者数量增长迅速，但受限于技术和经济发展水平，我国眼科产品市场渗透率还比较低。眼科属于高精尖学科，行业门槛高，尤其是高值医用耗材领域，对材料和技术的精细化程度要求高，因此目前全球市场主要集中在几家大型的国际医械企业手中，竞争程度较低。下图是深圳摩方同国内顶尖眼科医院合作的一个植入式导流钉，这个产品大小2.647*1.347mm，深圳摩方S140打印设备可以一次可以成型将近2000个产品，模型中有非常精细微小和复杂的结构，其内部含有一根弹簧和球阀。青光眼主要是由于眼压过高从而压迫视神经导致的。目前国内这种导流钉是通过机加工钛合金成型，价格3500元一枚，由于受机加工成型自由度限制，传统导流钉结构比较简单。带有微弹簧的引流钉，可以稳定的释放眼压，改善青光眼患者植入体验和病患。摩方以突破性精密制造能力，为青光眼治疗提供了革命性微创治疗方案。2016年全球有近1.8亿人死于心血管病，占全因死亡人数的31%。据《中国心血管病报告》，我国心血管病患病率及死亡率处上升阶段，患病人数约为2.9亿；心血管疾病前期治疗主要依靠药物，中后期则需要进行手术介入，如血管支架、心脏瓣膜、起搏器等器械。血管支架是心血管介植入器械中应用最广泛的一类产品，主要用于治疗血管闭塞或者狭窄。目前主流的支架是载药型金属支架，但由于金属不可降解性会导致血管炎症的发生，所以新一代载药型聚合物可降解支架将成为未来研究的主流方向。下图是我们深圳摩方S140设备用生物相容性材料加工的聚合物血管支架，高12mm，直径2mm，杆径0.15mm,打印的支架具有很好的回缩性。随着世界老龄化趋势加深和环境问题日趋严峻，消化道、呼吸道等疾病的发病率不断提高，内窥镜检查的需求也越来越多。医用内窥镜技术凭借诊疗精准性高，创伤小，不易感染，术后恢复快和近乎无疤痕等特点受到医学界的广泛关注，也是全球医疗器械产业中增长最快的产品之一。随着微型化和定制化趋势的到来，产品结构越来越小和薄，内窥镜企业都在致力于寻找相匹配的精密加工方法。对于壁厚小于0.15mm的精密内窥镜端部座，CNC和开模注塑等传统加工方式成型都比较困难，尤其对于一些深宽比大的薄壁件。下图中的内窥镜端部座中的圆管壁厚是70微米，管径1mm，高度为4mm，精度要求±10~25微米，CNC和开模注塑，很难加工出这样逼近极限的结构，深圳摩方公司的P140设备约两个小时就可以加工出高质量合格的产品，最快一天内可以交付。目前，中国医美服务消费群体相对年龄更小，为形成医美消费习惯、创造更长的消费周期创造了条件。德勤报告显示，2017年中国医美市场规模1760亿。而据ISAPS预测，至2020年，中国医美市场有望达到3150亿元。随着国人对医美行业越来越推崇，未来医美行业将成未来热门产业。下图是深圳摩方的S130设备加工的阵列结构的美容微针，该微针底部直0.198mm，高度0.572mm，针尖的最尖端宽度仅0.006mm，加工的微针表面光滑，针尖细节更加明晰。该微针打印材料属于丙烯酸聚合物类微针，通常使用该聚合物打印出针尖形态阳模，通过二次倒模形成实际需要的医用聚合物针尖结构，比如形成溶解型微针。通过摩方精密3D打印设备可以很好的解决传统方式加工微针的局限，对于推动医美行业发展有着非常重大和积极影响。客户访谈 “摩方是目前在亚毫米尺寸评估过的最好的技术企业”----引自世界500强国外医疗器械巨头评价 “打印效果令人非常惊讶和影响深刻，可以实现传统方式无法加工的微米级别复杂细节，精度媲美模具注塑和机加工”----引自国内医疗器械巨头评价深圳摩方提供的高精密3D打印技术非常契合介植入式医疗器械行业微型化和精密化发展需求，目前深圳摩方已和国内外大型医疗器械公司进行了深入合作，通过深圳摩方的精密3D打印技术可以大大缩短研发周期和降低研发成本以及产品小批量定制生产。

《中国制造2025》的提出，预示着我国医疗器械行业的转型升级正在加快，研发趋势也正在向国际靠拢。目前国产医疗器械产品仍集中在中低端品种，高端介植入器械整体处于由模仿创新到部分替代进口的关键竞争时期。国内医疗器械行业正在逐渐加大产品创新的维度，由于高端介植入医疗器械非常精密，相应的制造加工技术要求也越来越高，传统加工方式很难满足介植入医疗器械快速创新的要求，寻找创新型精密加工方式成为了行业创新的迫切需求。行业背景医疗器械是指直接或者间接用于人体的仪器、设备、器具、体外诊断试剂及校准物、材料以及其他类似或者相关的物品，包括所需要的计算机软件。在医疗器械众多的细分领域中，基于对市场规模及增速、竞争格局、政策支持力度等多维度的分析，介植入器械是最具潜力的细分方向之一，政策支持也是推动介植入器械高速发展的重要因素。近年来在创新医疗器械领域，我国出台了多项强有力的政策，推动本土医疗器械的创新能力和产业化水平，而介植入器械明确出现在诸如“十三五”规划纲要、国家科技创新规划等文件鼓励和支持范围内。随着我国居民经济生活水平的提高，医疗保健的意识逐渐加强，因此对医疗器械产品的需求也在不断攀升。尽管我国医疗器械行业市场容量扩张速度快，但由于相关基础科学和制造工艺的落后，国产医疗器械产品仍集中在中低端产品，高端医疗器械主要依赖进口。《中国制造2025》的提出，预示着我国医疗器械行业的转型升级正在加快，研发趋势也正在向国际靠拢。未来随着国家政策的扶持、不断扩大的市场需求、中国人口老龄化加速以及医疗器械行业的技术发展和产业升级，医疗器械将有望继续保持高速增长的良好态势，并实现从中低端市场向高端市场进口替代的愿景。近年来，我国医疗器械行业持续飞速发展，其中高值医用耗材市场增长速度更是排名行业前列，年均增速超20%，取得了令人瞩目的成绩，而介植入市场作为高值医用耗材最大的细分市场一直以来都备受业内关注。介植入器械目前整体处于由模仿创新到进口替代、甚至国际领跑的竞争格局重塑关键时期。国内医疗器械企业也在逐渐加大产品创新创造的力度，由于介植入医疗器械非常精密，对相应的制造加工技术要求也越来越高，传统加工方式很难跟上介植入医疗器械快速创新的脚步，寻找创新型精密加工方式成为了他们迫切的需求。市场概况根据艾媒咨询发布的医疗器械市场，全球方面，2017年全球医疗器械市场规模突破4000亿美元， 2018年全球医疗器械市场规模为4278亿美元，预计到2024年规模将接近6000亿美元，2017-2024 年间复合增长率为 5.6%。中国成为继美国、西欧、日本之后的第四大医疗器械市场。中国医疗器械整体市场规模已由2014年的2556亿元增长至2018年的5304亿元，年均增速保持在20%左右，营业收入及净利润均保持高速增长态势，属于医疗器械行业发展黄金期，预计到2022年中国医疗器械市场规模将超过9000亿元。现阶段我国医疗器械市场的基本构成为高端产品占比25%，中低端产品占比75% 而国际医疗器械市场中的医疗器械产品基本构成为高端产品所占份额一般为55%，中低端产品占45%。并且在占我国医疗器械25%的高端产品市场中，70%由外资占领，这70%的外资企业在医学影像设备和体外诊断等技术壁垒较高的领域，市场占有率超过80%，而我国医疗器械企业主要生产中低端品种。在介植入式等高端医疗器械市场中，由于其产品的技术含量和附加值较高，不易研发制造，技术水平的限制和发达国家的资源垄断等因素，仅占30%左右的比例，因此行业中的高端产品目前仍然主要依赖进口，高端产品市场大部分被美敦力，史赛克，雅培，GE医疗和波士顿科学等国外企业占据。基于对市场规模及增速、竞争格局、政策支持力度等多维度的分析，介植入器械是医疗器械最具潜力的细分方向之一。市场规模及增速方面，根据Evaluate MedTech发布的报告，到2024年，全球6000亿美元规模的医疗器械市场中，与介植入器械密切相关的心血管、神经、骨科、口腔、眼科类设备，都将处于大市场、高成长的阶段。创新投入不够，技术研发能力差、商业模式不清晰，成为了未来国内介植入式医疗器械行业企业发展的阻碍。受益于市场需求和政策导向，未来10年中国的植入介入医疗器械企业将会加大和重视布局技术创新，从而释放介植入式医疗器械的创新维度。高精密3D打印在介植入式医疗器械行业的应用近年来，人口老龄化加剧，不合理的用眼习惯增加，我国眼科疾病高发，呈现年龄早、进展快、程度深的趋势。虽然眼科患者数量增长迅速，但受限于技术和经济发展水平，我国眼科产品市场渗透率还比较低。眼科属于高精尖学科，行业门槛高，尤其是高值医用耗材领域，对材料和技术的精细化程度要求高，因此目前全球市场主要集中在几家大型的国际医械企业手中，竞争程度较低。下图是深圳摩方同国内顶尖眼科医院合作的一个植入式导流钉，这个产品大小2.647*1.347mm，深圳摩方S140打印设备可以一次可以成型将近2000个产品，模型中有非常精细微小和复杂的结构，其内部含有一根弹簧和球阀。青光眼主要是由于眼压过高从而压迫视神经导致的。目前国内这种导流钉是通过机加工钛合金成型，价格3500元一枚，由于受机加工成型自由度限制，传统导流钉结构比较简单。带有微弹簧的引流钉，可以稳定的释放眼压，改善青光眼患者植入体验和病患。摩方以突破性精密制造能力，为青光眼治疗提供了革命性微创治疗方案。2016年全球有近1.8亿人死于心血管病，占全因死亡人数的31%。据《中国心血管病报告》，我国心血管病患病率及死亡率处上升阶段，患病人数约为2.9亿；心血管疾病前期治疗主要依靠药物，中后期则需要进行手术介入，如血管支架、心脏瓣膜、起搏器等器械。血管支架是心血管介植入器械中应用最广泛的一类产品，主要用于治疗血管闭塞或者狭窄。目前主流的支架是载药型金属支架，但由于金属不可降解性会导致血管炎症的发生，所以新一代载药型聚合物可降解支架将成为未来研究的主流方向。下图是我们深圳摩方S140设备用生物相容性材料加工的聚合物血管支架，高12mm，直径2mm，杆径0.15mm,打印的支架具有很好的回缩性。随着世界老龄化趋势加深和环境问题日趋严峻，消化道、呼吸道等疾病的发病率不断提高，内窥镜检查的需求也越来越多。医用内窥镜技术凭借诊疗精准性高，创伤小，不易感染，术后恢复快和近乎无疤痕等特点受到医学界的广泛关注，也是全球医疗器械产业中增长最快的产品之一。随着微型化和定制化趋势的到来，产品结构越来越小和薄，内窥镜企业都在致力于寻找相匹配的精密加工方法。对于壁厚小于0.15mm的精密内窥镜端部座，CNC和开模注塑等传统加工方式成型都比较困难，尤其对于一些深宽比大的薄壁件。下图中的内窥镜端部座中的圆管壁厚是70微米，管径1mm，高度为4mm，精度要求±10~25微米，CNC和开模注塑，很难加工出这样逼近极限的结构，深圳摩方公司的P140设备约两个小时就可以加工出高质量合格的产品，最快一天内可以交付。目前，中国医美服务消费群体相对年龄更小，为形成医美消费习惯、创造更长的消费周期创造了条件。德勤报告显示，2017年中国医美市场规模1760亿。而据ISAPS预测，至2020年，中国医美市场有望达到3150亿元。随着国人对医美行业越来越推崇，未来医美行业将成未来热门产业。下图是深圳摩方的S130设备加工的阵列结构的美容微针，该微针底部直0.198mm，高度0.572mm，针尖的最尖端宽度仅0.006mm，加工的微针表面光滑，针尖细节更加明晰。该微针打印材料属于丙烯酸聚合物类微针，通常使用该聚合物打印出针尖形态阳模，通过二次倒模形成实际需要的医用聚合物针尖结构，比如形成溶解型微针。通过摩方精密3D打印设备可以很好的解决传统方式加工微针的局限，对于推动医美行业发展有着非常重大和积极影响。客户访谈 “摩方是目前在亚毫米尺寸评估过的最好的技术企业”----引自世界500强国外医疗器械巨头评价 “打印效果令人非常惊讶和影响深刻，可以实现传统方式无法加工的微米级别复杂细节，精度媲美模具注塑和机加工”----引自国内医疗器械巨头评价深圳摩方提供的高精密3D打印技术非常契合介植入式医疗器械行业微型化和精密化发展需求，目前深圳摩方已和国内外大型医疗器械公司进行了深入合作，通过深圳摩方的精密3D打印技术可以大大缩短研发周期和降低研发成本以及产品小批量定制生产。—— END ——官网：https://www.bmftec.cn/links/10

超精密机床基础部件与应用技术的突破，能为制造业的生存和发展提供强大技术支撑。然而此前我国的超精密机床及关键基础部件主要依赖进口。轴类零件外圆圆度加工方面，国内外基本是靠超精密的外圆磨床实现。以磨削直径100毫米、长300毫米的轴芯为例，我国的外圆磨床大概能够磨到1至2微米的水平，而国外可达到0.3至0.5微米的水平。为破解机床和关键部件“卡脖子”技术难题，国防科技大学教授戴一帆科研团队历时5年，提出轴类零件外圆圆度确定性修形加工工艺技术，使轴芯加工圆度精度提升到0.1微米，并成功研制出超精密空气静压主轴，近日经中国计量科学研究院测试，该静压主轴相关参数达到国际先进水平，这将使我国超精密加工精度有效提升。像铁锹整地那样研磨超精密零件我国超精密机床及关键基础部件此前主要依赖进口，最大的技术难题在于缺少加工核心零件的“工作母机”。所谓“工作母机”，就是制造机器和机械的机器，又称工具机，包括车床、磨床、刨床、钻床等，是制器之器、工业自强之基。一般的机械加工是将机床精度“复印”到零件的过程，也就是说，没有精度高的机床就加工不出精度高的零件。没有精度高的零件，也就组装不出精度高的部件和机床。没有制造高精度零件的工作母机，就限制了整个超精密机床行业的发展。戴一帆科研团队长期从事现代光学制造技术研发，他们发现光学零件的最终制造精度远超出所使用的加工设备精度，而光学制造的基本原理是逐步将误差高点去除的一种精度进化加工原理，团队尝试将这种“精度进化”原理的加工方法用于机械零件高精度加工，最终通过加工原理的创新提出轴类零件外圆圆度确定性修形工艺技术，突破高精度“工作母机”的限制。芯轴多传感器在位测量。国防科技大学 供图确定性修形工艺是如何工作的？“好比使用铁锹平整一块地，就是将看上去凹凸不平的地方铲去适量的土，如此反复直到获得非常平整的地。”戴一帆说，这个过程依靠的是成套数字化设备，比如采用了高精度圆度仪获取圆柱形貌；发明了专用的控时磨削机床实现材料去除量的数字化精确可控；采用专用计算机程序计算获得磨削工具需要在特定空间位置停留的精确时间。机械取代有经验的工人师傅借助新工艺，戴一帆科研团队突破了基于精度进化原理的控时磨削加工技术，形成了圆柱类零件在位加工检测一体工艺方法，成功研制出超精密空气静压主轴。中国计量科学研究院测试结果显示，该空气静压主轴径向跳动小于15纳米、端面跳动小于15纳米。这个跳幅相当于头发丝直径的六千分之一。如果是地球这么大一根主轴的话，回转运动造成的振幅不会超过1米。测试结果还显示，空气静压主轴径向静刚度大于200N/μm、轴向静刚度大于200N/μm。通俗地说，就是主轴可以在20公斤的重力载荷下纹丝不动，变形量不会超过1微米，即头发丝直径的百分之一。对比代表美国超精密领域最高水平Precitech公司的产品手册，上述技术指标与其相当甚至更高。当前，国内外可将轴类零件外圆圆度加工研磨到零点几微米的水平，如果再要提升只能靠手工研磨修整。“我们的新技术可以摆脱对极其有经验人工师傅的依赖，能很容易地按照现代工业化的模式组织生产，促进超精密基础部件的大批量、高效率生产和应用。”戴一帆表示，超精密机床基础部件与应用技术的突破，将为制造业的生存和发展提供强大技术支撑，完善高端机床产业链配套，大幅增强高性能功能部件竞争力，促进高端精密与超精密机床方面实现国产化。他补充说，这些突破还将有效解决探测制导关键零部件超精密加工面临的超精密装备和核心工艺难题，进一步助力国防领域高端核心零件超精密加工批量化生产，实现科研成果向生产力和战斗力的快速转化。系列成果获得了湖南省十大技术攻关等项目的支持。相关成果先后发表于Materials、Micromachines等期刊上，戴一帆为通讯作者。为支撑超精密加工，促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14-15日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。点击图片直达会议页面

广东省科学技术厅关于征集2024年度广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”重点专项项目指南建议的通知粤科函基字〔2024〕755号各有关单位：为做好2024年度广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”重点专项的启动工作，现向各有关单位征集该专项申报指南建议。一、总体要求广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”重点专项，面向科学前沿和我省高质量发展需求，以应用需求目标为导向，鼓励和培育具有原创性、自主可控的高端精密仪器设备研制开发，重点鼓励开展高端科学测试分析仪器的研发，为科学研究和产业发展提供先进的仪器设备和工具。二、征集内容依据《广东省培育精密仪器设备战略性新兴产业集群行动计划（2023-2025年）》，结合精密仪器设备产业发展现状和实际需求，为更好支持我省开展关键核心技术攻关，解决科研仪器严重依赖进口的问题，本次指南意见征集着重针对科学测试分析仪器，以及相关的传感器、元器件、材料，信息计测与电测仪器等领域开展。本次指南建议征集的目标主要为面向我省科学研究、重点产业创新发展具有关键作用的高端精密仪器设备的成套设备或关键零部件的研制开发及相关产业化项目建议。支持省内及粤港澳大湾区有关科研单位对标国内外一流技术和产品标准，瞄准核心关键技术和卡脖子技术，提出高端精密仪器研究方向和项目建议。三、报送要求（一）各单位原则上可推荐指南建议1～2项。（二）请于2024年6月30日24:00前提供指南建议表的盖章扫描件及可编辑电子版。（三）联系人：张子良、路智林，020-83163450、83163889附件：广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”重点专项指南建议表（请登录广东省科技业务管理阳光政务平台查看）广东省科学技术厅2024年6月14日原通知链接

“稳定性、技术先进性，均优于国产同类产品”、“国内产品没法达到这样的技术指标”、“国产无法同时达到上述要求”......这些字眼经常出现在很多进口仪器的专家论证意见中，国产仪器的质量水平一直“纠结”着广大用户和仪器厂商。　　8月24日，四川政府采购网上发布《泸州市食品药品检验所进口产品专家组论证意见公示》，此次论证采购进口的仪器共计12类，既包括三重四级杆气相色谱联用仪、气相色谱仪、高效液相色谱仪等大型仪器，也有电子天平、酸度计、离心机等实验室常用设备。仪器信息网特别摘录专家的论证意见，供大家参考。　　一、三重四级杆气相色谱联用仪　　三重四级杆气质联用仪被广泛应用于复杂组分的分离与鉴定，其具气相色谱的高分辨率和质谱的高灵敏度。采购人采购该仪器主要用于食品基质复杂的样本中农药残留、非法添加等有毒有害物质的痕量分析与检测。该仪器是目前绝大部分行业检测实验室主流的定性、定量分析与研究的高通量检测必备仪器，具有很高的使用率。为满足标准要求，要求该设备具有相当的稳定可靠性、灵敏度以及实验室环境耐受能力。采购人要求：　　1、灵敏度：EI Scan模式下：1pg OFN(八氟萘)，S/N≥ 1400(氦气做载气)，S/N≥ 200(氢气做载气)。　　2、分辨率：0.6～3.0u 　　3、质量稳定性：± 0.1u/48h 　　4、最大扫描速度不低于18,000 u/sec。　　目前进口三重四级杆气质联用仪在检测的可靠性、检测灵敏度和耐用性等方面满足食品复杂样品的检测，具有线性范围特别宽、抗干扰强、灵敏度高、精度好、分析速度快等特点，是其它仪器无法替代的。而国内尚无同类产品，采购人需求合理。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　二、气相色谱仪　　气相色谱仪是用于农药残留、有机污染物、食品添加剂等检测。国产气相色谱仪由于灵敏度较低、稳定性较差等原因，对部分农药残留项目无法准确定性、定量检测。为达到标准要求，采购人要求：　　1、具有大气压力传感器，可补偿高度或环境温度的变化对气路压力的影　　响。　　2、压力设定范围：0-100psi，精度：0.001psi。　　3、保留时间重现性0.01%。　　4、最低检出限(对十三烷)：1.4pg碳/秒。　　进口产品的稳定性、技术先进性，均优于国产同类产品。具体如下：　　1、进口产品具有大气压力传感器，可补偿高度或环境温度的变化对气路　　压力的影响，提高色谱分析重现性，国内产品无此配置。　　2、进口产品电子气路控制模块压力精度可达0.001psi，提高色谱分析的重现性，而国内产品压力精度只能达到0.1-0.01psi。　　3、重现性较好：保留时间重现性小于0.01%，国内产品尚无该项指标说　　明。　　4、检测器的检出限低：如火焰离子化检测器(FID)1.4pg碳/秒 电子捕获检测器(ECD)4.4fg/mL，林丹(γ -六氯环己烷)，目前国内产品没法达到这样的技术指标。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　三、高效液相色谱仪　　高效液相色谱仪主要用于食品中添加剂和非法添加物的检测，要求设备可以进行定性和定量分析，具备高的灵敏度和检测效率。为达到标准要求，采购人要求：　　1.输液泵的流速精度：0.06%RSD、梯度精度0.15%RSD。　　2.二极管阵列检测器，基线噪音± 0.35×10-5Au ，基线漂移1×10-4Au/hr 。　　3.荧光检测器，蒸馏水的拉曼峰S/N≥ 300。　　4.柱后衍生系统原厂生产。以上配置能确保设备符合法定标准要求，采购需求合理。　　目前在以下方面存在差距：　　1.进口设备的输液泵流速精度可以达到0.06%RSD，国产设备一般为　　0.1%RSD。　　2.进口设备的梯度精度可以达到0.15%RSD，国产设备一般为0.25%　　RSD。　　3.进口设备的二极管阵列检测器数据采集频率可以达到80HZ，基线噪音± 0.35×10-5 Au ，基线漂移1×10-4Au/hr，国产设备数据采集频率一般为70HZ，基线噪音一般为± 0.75×10-5Au，基线漂移3×10-4Au/hr。　　4.进口设备的柱后衍生系统为原厂生产，国内厂家没有自己的柱后衍生装置，需要外购，协调性不好。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　四、原子吸收光谱仪　　原子吸收光谱仪主要用于食品样品中重金属元素的检测。主要依据GB 5009.12-2010《食品安全国家标准 食品中铅的测定》 、GB/T 5009.13-2003《食品中铜的测定》 、GB 5009.15-2014《食品安全国家标准 食品中镉的测定》等标准。为达到标准要求，采购人要求：　　配备火焰和石墨炉原子化系统、自动进样器 石墨炉能扣除2A以上的背景干扰 石墨炉自动进样器的进样精度及进样重复性要求测量精度2%，其加热及温度控制精度一般是在2600° C以上时，温度波动± 10° C。　　目前国产原子吸收光谱仪火焰原子吸收的性能指标与进口产品的相应性能比较接近，但其石墨炉原子吸收的主要性能指标却与进口产品的性能指标差距较大。尤其在石墨炉扣除背景干扰的能力、石墨炉自动进样器进样精度及进样重复性、石墨炉快速加热及温度控制精度等关键技术指标上与采购人的要求差距较远。具体如下：　　国产石墨炉只能扣除2A以下的背景干扰，其检测的精度一般在10% 甚至更高，加热及温度控制精度一般是在2500° C以上时，温度波动高达± 20° C，使用石墨炉检测铅、镉等指标时，达不到理想的检测精度和要求，影响检测结果准确性。进口产品可以扣除2A以上的背景干扰，石墨炉自动进样器的进样精度及进样重复性要求测量精度一般要小于2%，其加热及温度控制精度一般是在2600° C以上时，温度波动小于± 10° C，并且进口产品对被测品种反应时间快、测试结果精确度高，做工精良、性能可靠、灵敏度高，直观，其稳定性好。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　五、微波消解仪　　微波消解仪用于食品中金属元素分析的样品前处理即样品消解，其工作过程涉及高温高压和强腐蚀性化学物质，因此设备的安全性、维护成本、样品处理效率等是关键性能指标。为达到标准要求，采购人要求：　　1、采购人实际检测工作中，会同时消解不同特性、不同称样量的样品，加入的化学试剂也各不相同。微波消解时，各个消解管装入不同特性、不同称样量的样品，加入不同的化学试剂后，升温过程中会存在温度差异。为确保安全，要求消解转子内所有消解管的温度都能够被监控并同时在主机控制终端显示。　　2、工作过程中压力监测对于安全性十分重要，压力监测数据传输方与及后期维护成本密切相关。要求采用无线数据传输模式，所有数据均通过无线数据传输系统与主机进行数据交换，主机和消解转子无任何连线，减少后期维护成本。　　3、具有原厂超快速自动赶酸装置，要求在15分钟内完成赶酸操作，提高前处理速度。　　目前在以下方面存在差距：　　1、进口设备的消解转子内所有消解管的温度都能监控并同时显示，操作更安全，安全性能更卓越。国产设备同时处理多个样品时只能监控并显示其中一个消解管的温度，如果未被监测的消解管反应更剧烈有可能出现温度过冲的情况，出现这种情况可能会导致爆管、强腐蚀性化学物质喷溅，严重影响操作人员安全。　　2、进口设备采用先进的无线数据传输模式，所有数据均通过无线数据传输系统与主机进行数据交换，主机和消解转子无任何连线，不存在连接线损坏问题，无维护成本。国产设备压力监控系统采用有线连接的方式，工作过程中消解转子在微波炉腔中360度旋转，有线连接压力传感器在这种环境中容易损坏，增加后期维护成本。　　3、进口设备具有原厂超快速自动赶酸装置，该装置15分钟内即可完成赶酸操作，极大提高工作效率，确保数据结果最佳重现性。国产设备有的经消解结束后需要通过转移到电热板上加热进行赶酸操作，整个过程需要3小时以上，严重影响工作效率，同时长时间赶酸过程会导致挥发性元素损失，影响数据重现性 有的设备虽然可以配置赶酸装置，但是自动化程度不高，赶酸速度慢，不能在15分钟内完成赶酸操作。　　综上所述，进口设备具有的所有消解管温度都能监控并显示、无线压力数据传感系统、原厂超快速(15分钟内)自动赶酸装置等特点及配置国产设备均不具备。采购人需要消解的样品量大，样品组分复杂，因此购置一套安全性能好、维护成本低、工作效率高的进口设备能极大提升采购人的样品前处理能力，缩短样品分析时间，提高检测工作效率，确保检测结果准确。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　六、马弗炉　　马弗炉主要用于药品、食品重金属、炽灼残渣、灰分等指标检测，为达到标准要求，采购人要求：　　温度范围：300℃-1100℃，炉内温度均一性≤ ± 10° C，故障率低，性能稳定。　　目前进口马弗炉与国产马弗炉相比，具有不可替代性。进口马弗炉参数与国产马弗炉参数比较如下：　　1、 进口马弗炉温度范围300℃-1100℃，炉内温度均一性小于等于　　± 10 ° C。国产马弗炉的产品炉内温度均一性不能满足实验室要求。　　2、进口马弗炉故障率低。采购人已使用进口马弗炉和国产马弗炉的故障率表明，由于进口马弗炉材质和结构的优越性，决定其故障率低，从而大大降低了维修成本。　　3、进口马弗炉性能稳定。进口马弗炉能直接满足使用需要，且采购人已使用进口马弗炉和国产马弗炉的维修情况表明，进口马弗炉配件现成，维修更换便捷，国产马弗炉依我们使用要求属订制产品，且维修难度大，若是需要更换配件时再通过订制，则维修周期很长，价格高又严重影响检验周期。　　4、国产马弗炉关键的参数如电源配置、使用功率、故障率、维修费周期、维修费用等均与进口马弗炉有较大差距，国产马弗炉目前尚不能完全满足采购技术要求。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　七、电子天平　　十万分之一天平主要用于药品微量和痕量物质(如标准物质)的称量，为保证痕量物质称量的准确性，采购人要求：　　1、重复性0.007mg，线性误差低于0.015mg。　　2、采用专业级全自动校准技术，可自动感应环境中温度等因素的变化自　　动启动天平校准。　　目前在以下方面存在差距：　　1、进口十万分之一天平重复性可做到0.007mg，线性误差低于0.015mg，精度高，可以满足用户精准称量要求，国产同类设备重复性一般都高于0.04，线性误差高于0.05，称量准确度低，无法满足用户使用需要。　　2、进口十万分之一天平采用专业级全自动校准技术，可自动感应环境中温度等因素的变化自动启动天平校准，同时用户可定时设置校准方式，国内同类设备只具备普通内部校正功能，不能感应环境变化对天平的影响。　　3、进口十万分之一天平的配置静电检测技术、红外感应术、状态指示灯技术，而国内同类设备无此技术，无法满足精准称量和安全称量的要求。　　4、进口十万分之一天平采用后置式传感器网格秤盘设计，可以有效的降低温度以及气流流动对称量结果的影响，保证称量准确度，国产产品不具备该技术，无法满足用户要求。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　八、酸度计　　酸度计主要用于食品的pH值、电导率等参数的测定。为达到标准要求，采购人要求：　　1、模块化设计，可同时三通道测量显示。　　2、5点PH校准，提供8组内置缓冲溶液组和20个用户自定义缓冲溶液点 PH测量范围：-2.000~19.999 分辨率：0.001/0.01/0.1三级可调 测量精度：± 0.002 PH测量温度补偿范围：-30.0~130.0℃ 分辨率：0.1 精度：± 0.1 电导率：0.001uS/cm～2000mS/cm，精度:± 0.5%, 分辨率自动可变, 温度：-30.0～130.0℃，精度:0.1℃。　　目前国产酸度计无法同时达到上述要求。具体如下：　　1、进口酸度计为模块化设计，可同时三通道测量显示 一表多用，除精密测定PH外，加配相应模块和电极可测量电导率、离子浓度、氧化还原电位(ORP)、盐度、电阻率、TDS、温度等数据，并可自动识别测量模块。而国产酸度计无法同时达到上述要求。　　2、进口酸度计具备5点PH校准，提供8组内置缓冲溶液组和20个用户自定义缓冲溶液点 PH测量范围：-2.000~19.999 分辨率：0.001/0.01/0.1三级可调 测量精度：± 0.002 PH测量温度补偿范围：-30.0~130.0℃ 分辨率：0.1 精度：± 0.1 电导率：0.001uS/cm～2000mS/cm，精度:± 0.5%, 分辨率自动可变, 温度：-30.0～130.0℃，精度:0.1℃。　　而国产酸度计无法同时达到上述要求。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　九、超纯水一体化系统　　超纯水一体化系统以纯化水为进水，通过预处理-RO膜-紫外灯-精纯化等纯化流程。同时连续生产用于玻璃器皿的最后冲洗、化学/生化试剂配制、分析试剂及食品配制、稀释等的分析级纯水(II级水)及高精密分析设备(AAS,IC,HPLC,LC,GC-MS等)配液所需超纯水(I级水)。　　为达到标准要求，采购人要求：　　1. 电导率仪的精确度：具备电极常数为0.01—0.1cm-1的在线电导池，并具有温度自动补偿功能。　　2. 总有机碳含量(TOC)：≤ 5ppb(μ g/L)，可在线监测并显示 内毒素0.001EU/ml。　　3. 离子截留率 97% 有机物截流率(MW 200 Dalton) 99% 细菌和颗粒 99%。　　目前国产纯水机由于纯化技术的不成熟，造成水质波动大，对分析结果及分析仪器寿命造成很大的影响。进口超纯水机的核心纯化技术，目前国产水机还不具备。具体如下：　　1. 电导率仪的精确度：进口水机具备电极常数为0.01—0.1cm-1的在线电导池，并具有温度自动补偿功能。国产纯水机为0.1-0.5 cm-1，且不具备温度补偿功能。　　2. 总有机碳含量(TOC)：≤ 5ppb(μ g/L) ,可在线监测并显示 内毒素0.001EU/ml。TOC(总有机碳)监测仪：进口纯水机内置TOC监测仪，检测精度± 1ppb。国产纯水机目前均不具备独立的TOC监测仪，主要以电导率的差值进行模拟。　　3. RFID电子标识技术：进口RFID技术能及时记录纯化住的安装时间，使用时间以及过水量。　　4. 离子截留率 97-98% 有机物截流率(MW 200 Dalton) 99% 细菌和颗粒 99% 系统可监测和显示反渗透膜的截留率 流速：8 L/h 电阻率：18.2MΩ .cm @25℃ (具有温度补偿和非温度补偿两种模式) 总有机碳含量(TOC)：≤ 5ppb(μ g/L) ,可在线监测并显示 内毒素0.001EU/ml。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　十、紫外分光光度计　　紫外分光光度计广泛用于食品样品中微量、超微量和常量的无机和有机物质的测定。　　为达到标准要求，采购人要求：　　1、波长准确性：± 0.1nm。　　2、噪声(700nm)± 0.00005Abs。　　进口产品及与国产产品的主要性能差异：　　1、进口产品的波长准确性为± 0.1nm 国内产品的波长准确性为± 0.3nm。　　2、进口产品的噪声(700nm)± 0.00005Abs，国产仪器的噪声± 0.0004 Abs。　　3、进口产品采用一次冲压成型的铸铝光学平台和金属外壳，可以保证光学系统极高的耐用度。另外进口产品的波长准确性、噪声漂移等指标都优于国产设备，且工作站软件设计合理，多基线记忆功能能极大方便不同使用人员测试不同样品，节省测试时间。以上这些都是国产仪器不具备的。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　十一、全自动氮吹浓缩工作站　　全自动氮吹浓缩工作站主要用于食品样品前处理后的样品浓缩。为达到标准要求，采购人要求：　　1、 具备微处理器控制，可同时处理50个样品及处理单个样品。　　2、 采用漩涡气流法，提高样品的浓缩速度。　　3、 蒸发速度2-6ml/min。控温精度± 2° C。　　目前，国内产品不能完全满足采购需求，采购人采购进口产品的需求是合理的。　　进口全自动氮吹浓缩工作站相对于国产同类产品有以下优点：　　1、进口全自动氮吹浓缩工作站具备微处理器控制，可同时处理50个(1-28ml)样品及处理单个样品，自动快速、无需人员看管 而国产同类产品无此技术。　　2、进口全自动氮吹浓缩工作站采用专利的漩涡气流法，气体在样品管内　　产生漩涡，增大了同气体的接触面积，成倍的提高样品的浓缩速度 而国产同类产品无此技术。　　3、进口全自动氮吹浓缩工作站使用水浴均匀的控制样品温度，防止温度过高造成有机物的物理和化学变化 水浴温度范围：室温至95℃，可调。控温精度± 2℃　　4、进口全自动氮吹浓缩工作站蒸发速度：根据水浴温度和气体吹扫速度，在大多数应用中的蒸发速度为2～6ml/min。　　5、进口全自动氮吹浓缩工作站无须在通风橱进行，气体直接由提供的气体排空端口及管道排到安全的地方。　　6、进口全自动氮吹浓缩工作站吹扫气体要求：气源最小入口压力:45psi,最大入口压力：85psi，并带有压力调节装置。所有部件抗酸碱腐蚀，部件选材比国产同类产品好，更耐受有机溶剂，使用寿命更长。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　十二、高速台式离心机　　高速台式离心机主要用于食品理化分析领域，进行分离悬浮液等工作。为保证分离效果，该设备要求：角转头最高转速：大于等于15,200转/分钟, 25,000×g 配置角转头为碳纤维材质 具有转头自动锁定装置，可以在5秒内实现转头的安全锁定和转头更换 有第三方认证的生物安全密封盖。根据采购人的需求和实际应用情况，采购人需求合理。　　通过市场调查了解到，目前在以下方面存在差距：　　1、进口高速台式离心机配置角转头为碳纤维材质，使用寿命超过十年以上。国产高速台式离心机没有碳纤维角转头。　　2、进口高速台式离心机具有转头自动锁定装置，可以在5秒内实现转头的安全锁定和转头更换。国产高速台式离心机产品转头没有自动锁定装置，安全性达不到实验室要求。　　3、进口高速台式离心机有第三方认证的生物安全密封盖，具备防生物污染功能，有利于保护实验室操作人员的健康。国产高速台式离心机产品没有防生物污染功能。　　该设备未列入《中国禁止进口限制进口技术目录》和《限制进口机电产品目录》。因此，建议同意用户单位购买进口产品以便满足业务工作需求。　　鉴于上述参数要求，所购仪器目前国内同类产品在具体的技术指标不能够满足采购人的工作需要，同时，以上产品不属于《中国禁止进口限制进口产品目录》禁止或限制的产品。采购人申请理由是合理的、必要的，建议采购进口产品。

目前，测量方法标准在制修订中通常涉及精密度的内容，国家标准、行业标准主要有“允许差”和“重复性限、再现性限”两类精密度的表述方法。为科学、合理地给出测量方法精密度，国际标准化组织发布了ISO 5725《测量方法与结果的准确度(正确度和精密度)》系列标准，我国等同采用ISO 标准，颁布了GB/T 6379系列标准。该系列标准的第2 部分GB/T 6379.2-2004《测量方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2 部分：确定标准测量方法重复性与再现性的基本方法》，系统介绍了测量方法正确度与精密度的基本概念，给出了一些通过协同实验室间试验获得测量方法精密度的数值估计的试验设计中应遵循的原则，提供了组织和进行测量方法精密度的试验的程序，测量方法精密度试验的数学模型和统计方法等。　　为帮助测量方法标准制修订及使用人员更加深入理解GB/T 6379.2-2004《测量方法与结果的准确度(正确度和精密度)第2 部分：确定标准测量方法重复性与再现性基本方法》标准，在测量方法标准制修订过程中，运用GB/T 6379.2-2004，确定测量方法精密度的重复性限和再现性限参数或函数关系，提升制修订测量方法标准的水平，CSTM 科学试验领域标准委员会秘书处与全国分析检测人员能力培训委员会秘书处拟定于2021 年12 月14 日举办“测量方法标准制修订中精密度试验设计与统计方法”培训班。参加本次培训班学习并通过考核的学员，可取得CSTM“测量方法标准制修订中精密度试验设计与统计方法”培训证书。　　本次培训班具体安排如下：　　一、组织机构　　CSTM 科学试验领域标准委员会秘书处　　全国分析检测人员能力培训委员会秘书处　　二、培训对象　　各相关单位的测量方法标准制修订人员及标准使用人员。　　三、培训及研讨内容　　1、GB/T 6379.2-2004《测量方法与结果的准确度(正确度和精密度)第2部分：确定标准测量方法重复性与再现性基本方法》标准解读 　　2、测量方法标准制修订中精密度试验设计与统计案例解析及经验分享 　　3、互动答疑。　　四、授课时间及形式　　1、培训时间：2021 年12 月14 日9：00-17：00　　2、培训方式：腾讯会议(在线)　　五、培训专家　　罗倩华，女，工学博士。1990 年毕业于吉林大学环境科学系环境化学专业，现为钢研纳克检测技术股份有限公司正高级工程师，一直从事冶金材料分析方法研究和标准制修订等工作。现为全国钢标准化技术委员会钢铁及合金化学成分测定分技术委员会秘书长，组织和承担国际标准、国家标准、冶金行业标准和团体标准的制修订100 余项，曾获得冶金科学技术奖一等奖和二等奖。　　六、收费标准及付款方式　　1、培训费：1500 元/人　　2、付款方式：　　汇款至下列帐号：　　单位名称：中关村材料试验技术联盟　　开户行：中国工商银行北京新街口支行　　银行帐号：0200002909200227889　　微信及支付宝支付二维码：　　注： 请在提交培训回执表后及时付款， 付款后将转账凭证发送至邮箱(training@analysis.org.cn)。　　七、报名方式　　1、参加人员请将《培训报名回执》填写完毕发送至邮箱：　　training@analysis.org.cn，收到邮件“您的邮件已收到，稍后答复”视为秘书处收到了　　报名申请 工作日24 小时内未收到回复，请联系工作人员，联系电话：010-62182851。　　2、《培训报名回执表》(附件一)请于12 月10 日之前发送至上述邮箱。　　3、秘书处收到贵方所付本次培训的培训费，视为报名成功。　　八、联系方式　　联系电话：　　王爽：010-62182851 13381073503　　许康：010-62182851 18601075050　　邮箱：training@analysis.org.cn　　CSTM 科学试验领域标准委员会秘书处　　全国分析检测人员能力培训委员会秘书处附件1:培训报名回执.docx

作为我国集成电路装备行业的核心企业之一，华海清科股份有限公司成功推出了具有自主知识产权的十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300，于9月27日发往某客户大生产线。这款设备能满足3D IC制造、先进封装等制程的超精密晶圆减薄工艺需求，可提供超精密磨削、抛光、后清洗等多种功能配置，具有高刚性、高精度、工艺开发灵活等优势,主要技术指标达到了国际先进水平，填补了集成电路3D IC制造及先进封装领域中超精密减薄技术的空白。Versatile-GP300采用的工艺很巧妙。团队在设计之初，创新性地将高效减薄和抛光工艺集成，既能实现超平整减薄与表面损伤控制，又兼顾高效率与综合性价比，更匹配3D IC晶圆减薄市场的迫切需求。在我国3D IC制造、先进封装等领域中，十二英寸高精度晶圆减薄机全部依赖进口。如今，华海清科的首台十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300已完成厂内测试，出机进入客户产线验证。这是华海清科又一产品在实现国产半导体装备自主可控道路上的重要突破。“念念不忘，必有回响”。华海清科团队在自主研发道路上，始终秉承着初心，一如既往地用精益求精的态度，不断追求技术突破，不断丰富产品系列，为加速推动集成电路国产设备替代进程、更好地服务社会贡献力量。

十几年前，当数位战略科学家聚首探讨精密测量物理学科发展走向时，他们预判中国会一步步缩小和国际先进水平的差距，有一天会走在国际前沿，甚至引领发展。他们没料到的是，这一天来得如此之快，当然也没料到“卡脖子”同样来得很快。当下，世界正经历百年未有之大变局，科研环境也发生了巨大变化。所幸十几年前，在国家自然科学基金等的资助下，我国布局了一批前瞻性、引领性的基础研究。在国家自然科学基金重大研究计划——“精密测量物理”项目稳定资助下，我国不仅在精密测量领域取得了多项“世界最好”“精度最高”的成就，凝聚、培养了一支队伍，大大增强了在该领域的国际话语权和竞争力，还辐射带动了相关学科发展。“算是对我们10年‘打工’的鼓励吧。”谈及“精密测量物理”重大研究计划的研究成果对相关学科的引领带动作用，中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊的语调中透着实现“小目标”的轻松。实际上，这项超前布局的研究计划仅酝酿谋划就用了5年时间。此后在研10年，“聚队伍、聚智慧、聚重点、聚资源、聚突破”，项目成果全面超越预期目标。“十几年前，国家自然科学基金支持一批科研人员开展精密测量物理研究确实很有开拓性。”罗俊告诉《中国科学报》，“这项研究计划虽然圆满结题了，但精密测量永无止境，精益求精是无尽的追求。”破局，始于“香山科学会议”2008年7月，第327次香山科学会议（创立地点及会址在北京香山）破例在位于湖北省武汉市的华中科技大学召开。7位院士、50余位物理学家相聚喻家山，参加为期3天的“精密测量物理和方法”主题研讨会。“在香山科学会议之前，叶老师（中国科学院院士叶朝辉）和几位专家动念提出开展‘精密测量物理’研究，是因为我们遇到了一些问题。”罗俊回忆说，“当时我国很多学科面临怎样向前沿延伸的困境。一个严峻的现实是，我们的科研仪器基本全靠进口。别人生产的仪器卖给我们之前，实验室里该做的研究都做完了，我们一直跟在后面做，这样很难触及科学最前沿。”没有自己的仪器，跻身前沿都很难，更别说超越引领。科研仪器如此重要，但问题是，这种尖端的科研仪器谁来研制？在此背景下，叶朝辉等人提出了“精密测量物理”的概念。“我们现在对‘精密测量物理’有很多期待，赋予它很多内涵。但当时的出发点和最基本的想法就是做出一套最先进的仪器给科学家用。”罗俊说，“要挺进学科最前沿，验证物理学家的想法，进行实验研究，必须有自己的仪器设备。”香山科学会议后，叶朝辉、罗俊等人在国家自然科学基金支持下，开始推动重大研究计划立项，在数理科学部的主持下，组织双清论坛进行论证。2013年，“精密测量物理”重大研究计划获准立项。引领，辐射学科带动人才按照该重大研究计划最初的设计，研究目标分为三部分。一是精密测量工具仪器研制，以时间频率测量为代表，将光频这些和国际水平差距较大且非常基础的测量仪器“做上去”；二是在更高精度上测量物理基本常数并检验物理基本规律，这是精密测量物理的难点和重点；三是研究精密测量新体系，发展新方法和新技术，不断突破测量极限，包括突破标准量子极限等。实际上，在该重大研究计划执行的10年中，他们不仅圆满完成了三大目标，还屡屡取得突破性进展，获得多项“世界最好”“精度最高”的成就。“这项重大研究计划的特点之一是带动了整个中国精密测量物理学科的发展。”中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员詹明生说，“也带动了其他一些项目，辐射和延伸到了相关领域，比如影响了中国科学院的先导科技专项，带动基于原子分子的物理研究向精密测量物理延伸。”中国科学院国家授时中心研究员张首刚认为，该重大研究计划的意义在于10年前就有了明确目标，把精密测量这项前沿基础研究和国家战略需求相结合，从而做出一系列方向性、引领性的研究工作。“通过国家自然科学基金项目牵引，这些年我国精密测量物理研究队伍不断壮大，并从基础研究向前沿基础研究推进。”张首刚说，“我们不但超额完成了该重大研究计划的各项指标，还产生了原创性的想法，取得一批‘国际首次’级的成果，并在部分领域领先国际。”“量子精密测量是精密测量物理的一个前沿方向，很多微弱信号测量，比如引力波探测、量子操控、原子分子和光物理等研究都离不开精密测量。”上海交通大学教授张卫平补充道，“这个项目将我们的学术生涯和国家战略需求完美对接起来，我觉得最大成果之一是凝聚并培养了一支队伍。”清华大学教授尤力同样认为，这是个高瞻远瞩的研究计划。“过去四五年，国际科研环境发生了巨变，出现了更多的不确定性。我们必须科学上自主、技术上独立。好在我们进行了预研，建立了这么一支队伍。”求精，追求永无止境精密测量物理对实验条件要求极高，数千米外的振动、电流波动、地球磁场，甚至空气温湿度都会影响测量精度。为避免外界扰动，30多年前，罗俊等人就将实验室建在位于喻家山的一个山洞里。在罗俊团队的引力常数测量进行到关键时期时，地方政府按规划准备在喻家山下修一条路。“修路会引发两个问题：一是山体稳定性发生变化，这些微小变化会导致实验环境不稳定；二是修路过程中及修好后，车辆经过产生的震动会影响测量精度。”了解到罗俊的担忧，华中科技大学和武汉市都非常支持实验研究。最后，武汉市调整道路规划，终止了道路修建。得益于安静的实验环境，罗俊团队测出了世界上测量精度最高的G值（引力常数）。至今，该数值仍保持着世界第一的纪录。“精密测量物理要测的通常是非常小的数值，它无限趋近于‘0’，但永远不会达到‘0’。例如，我们进行粒子、量子、多粒子纠缠等前沿研究，背景补偿（抵消环境磁场的影响）做得越好，测量结果就越准。”尤力感慨地说，“我们测一个量，总希望向小数点后再多推一位，但最终要推到什么地方、推到什么程度，没有人知道。所以精密测量物理没有止境，需要长期坚持，也需要长期支持。”“精密测量的本质是永无尽头。”罗俊说，“精密永无止境。这种无限精密、精益求精的特点造就了精密测量物理研究者不断提高精度、不断开发新技术，挑战新极限的信念。”传承，精密测量精神“我们常说十年磨一剑，从事精密测量物理研究真的需要长期积累。”华中科技大学教授胡忠坤说，“它需要10年、20年，甚至更长时间才有可能见到成效，因此研究者要耐得住寂寞，但也需要得到长期稳定的支持。”“精密测量物理有两个特点：一是高精尖，二是研究周期特别长。”山西大学教授张靖补充说。20世纪90年代初，张靖还在华中科技大学读本科，有时会到位于喻家山山洞的实验室上课。他记得当时山洞两边都是实验室，里面很安静，感觉很神秘。“精密测量物理研究不是三两个人花两三年时间就能取得成果的。罗老师选择在山洞里做实验，还带出一支队伍，一步步把精度提高再提高，确实很有魄力。”张靖说。“我们国家的科学研究已经形成了崭新的局面，上了一个历史性的新台阶。现在我们山洞的实验条件是30年前根本无法想象的，每个实验室都‘鸟枪换炮’，不知道好到哪儿去了。”罗俊说，“但当初也没觉得条件多艰苦，因为有兴趣、有追求，希望能精益求精，所以并未在意‘苦’还是‘不苦’。”“进行精密测量物理研究，总是想精益求精，把精度提高点，再提高点。”清华大学教授尤力对《中国科学报》说，“进实验室打开仪器，我们就知道北京地铁4号线列车什么时间进站、什么时间出站，地铁运转产生的磁场会严重影响原子能级……”尽管北京地铁4号线从清华大学、北京大学两所高校旁通过时采取了一系列减震措施，但轻轨列车进站减速、出站加速时电流变化产生的磁场，还是会影响1.5公里外清华大学的原子分子与光物理实验。磁场变化会引起原子能级移动，给光学测量带来不确定性，使科学家无法判断是否出现了误差。虽然研究人员已经习惯在夜深人静时做实验，但很多扰动仍无法避免。“我们做原子分子与光物理研究时，原子的磁矩就像一块小磁石，它周围的磁场扰动会让原子磁矩抖动，导致测量信号不确定。”尤力说，“环境中各种扰动、噪声、磁场等都会影响测量结果。”尤力团队曾对实验室环境进行检测，不只地铁4号线列车进出站，包括地球磁场、实验室照明电路，甚至光学实验平台上的金属器件（螺丝钉、钻头等）所带磁性都会影响测量精度。“这些磁场是‘躲不掉’的，那就想办法把它‘干掉’。”尤力说。在多次测量、分析、计算的基础上，尤力团队创造性地应用了“背景补偿”这样一个解决方案。简单地说，就是针对一些无法改变的干扰因素，比如地球磁场、实验室电流磁场等，研究人员先测出环境磁场强度，计算出平均值，然后绕制一个通电线圈，使其产生相反的磁场，用“前置反馈”的手段，将环境磁场的磁力抵消。“用‘前置反馈’补偿（抵消）背景磁场是个亮点。”中国科学院院士，华中科技大学、中山大学教授罗俊说，“虽然‘前置反馈’不是新概念，但要把它做成，需要很好地掌握背景磁场，用它解决问题简单、高效。”“我们用的物理概念并不新鲜，但它能解决实际问题。”尤力说，“我们用一块电路板就解决了问题，同很多兄弟单位分享了这项技术，能为大家做点事我很高兴。”在反馈补偿技术的“加持”下，尤力团队取得了一系列重要突破。他们突破了标准量子极限测量非经典双数态新体系，解决了双数态确定性制备难题，该体系在原子数、原子数涨落、压缩系数以及相干性等多项重要指标上远超国际同类实验。团队通过调控量子相变过程，解决了传统动力学制备方法所存在的问题，在国际上首次确定性地制备了大粒子数双数态87Rb原子玻色爱因斯坦凝聚体。目前，该实验平台能在40秒内确定性地制备约1万个粒子组成的多体纠缠态，从非纠缠的初态到双数态凝聚体的转换效率高达（96±2）%。该双数态的量子噪声的压缩度为（13.3±0.6）dB，是国际同类实验中最好的指标。双数态的相干性更是达到了接近理想值的0.99，远优于此前国际上最好的0.9。由此，实验可以表征的纠缠粒子数也是目前能确定性制备量子纠缠数目的世界纪录。这项工作大大提高了双数态在精密测量中的实用性，首次验证了量子相变可以作为制备多体量子纠缠态的有效手段，为纠缠态的制备提供了新思路。追求极限, 刷新“钙帮”世界纪录近年来，中国科学院精密测量科学与技术创新研究院研究员高克林团队研制出不确定度为 3×10-18（相当于105亿年不差1秒）、稳定度为6.3×10-18@524000s的钙离子光频标，成为第五种不确定度指标达10-18水平的光频标、第二种稳定度达10-18量级的离子光频标，并研制出目前搬运距离最远的光钟，实现精度达到10-16的钙离子光频的溯源测量。该成果被国际时间频率咨询委员会推荐为次级秒定义。“钙离子有很多优点，比如其光频跃迁是搭建高精度光频标的理想参考，可有效抑制离子特有的微运动频移。其离子的量子态制备、激光冷却及钟跃迁探测所用的激光均可用商品化的半导体激光器发射，因此极有可能实现广泛应用。”高克林说，“但是钙离子光频标也面临两个世界级难题：一是钙离子对磁场非常敏感；二是钙离子在室温下对黑体辐射效应（环境温度）敏感。”频率标准研究对外场控制（环境中各种效应，如振动、噪声、磁场和温度等）的要求非常高，国际上许多光频标研究机构已经放弃参考钙离子搭建高精度光频标。目前，国际上仅有锶原子光频标、镱原子光频标、铝离子光频标，以及镱离子光频标的不确定度达到10-18量级。“能否直面这些国际难题，将钙离子光频标推进至更高精度是我们面临的艰巨挑战。”高克林说，“在叶朝辉、罗俊院士领导的精密测量项目专家组与频标科学家王义遒、王育竹、李天初等人的关心和支持下，我们一步步解决了这些难题，将钙离子光频标推至国际第一方阵。”为进一步提高钙离子光频标的性能，研究人员通过改进钟跃迁激光性能，建立了第二台钙离子光频标并进行比对，大幅降低了电四极频移、光频移和微运动频移，实现了不确定度达5.5×10-17、稳定度达7×10-17的钙离子光频标。2018年，团队通过“魔幻射频囚禁场”抑制了微运动频移，又通过降低黑体辐射频移、改进光频标伺服软件等措施，进一步将钙离子光频标不确定度提升至2.2×10-17。2019年，通过对两台钙离子光频标长达31天的频率比对，研究人员测得稳定度达到6.3×10-18@524000s。为降低钙离子光频标黑体辐射频移的影响，团队将离子阱置于液氮低温环境中，使黑体辐射频移对温度的敏感度降低了约两个数量级。与国际上采用的液氦系统相比，液氮系统造价低廉、操作简单。但缺点是使用中液氮会蒸发，系统运行时液氮容积变化易造成离子位置移动，从而导致荧光信号损失。为解决低温系统问题，研究人员反复迭代和纠错，并采用清华大学教授尤力团队的“前置反馈”技术，大幅降低了背景磁场噪声。最终，该团队在国际上首次实现了液氮低温钙离子光频标，不确定度达到3×10-18。2020年，该团队实现钙离子光频标系统集成、可靠和高精度运行等关键技术突破，研制出一台精度24亿年偏差不到1秒的可搬运钙离子光钟，首次将钙离子光频测量精度推进到国际最高水平，并实现从武汉到北京千公里级车载搬运。“研究钙离子的人称自己为‘钙帮’。”高克林说，“在实验关键时期，大家加班轮岗的故事很多，但没人觉得辛苦，因为热爱，所以乐在其中。”在精密测量领域实现量子优势前不久，中国科学院院士、中国科学技术大学教授潘建伟，中国科学技术大学教授陆朝阳等基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出并演示了一种新方案来实现可扩展的、无条件的、鲁棒的量子精密测量优势。相关成果发表于《物理评论快报》。“实际上，该成果是在‘精密测量物理’重大研究计划前期工作的基础上衍生出的一项新成果。”陆朝阳告诉《中国科学报》。“精密测量物理”重大研究计划有几个子研究方向，其中中国科学技术大学团队的目标更具探索性质，主要是基于单光子和纠缠光子探索精密测量的新原理、新方法。在研期间，团队基于高品质单光子和多光子纠缠突破超越标准量子极限，在国际上首次同时解决了单光子源的三个关键问题，实现国际上综合性能最优秀的单光子源。“制备单光子源是这个重大研究计划中的一项代表性工作。”陆朝阳解释说，“进行量子精密测量或量子计算时，有用的是单光子源。这就像幼儿园小朋友‘排排坐’，如果有100个小朋友，每个小朋友坐一条板凳是理想状态。但自然界的光源（灯光或阳光）是热光源，它们衰减之后只有约8%是单光子（相当于一个小朋友坐一条板凳），约90%是‘空板凳’，另有2%是两个或多个光子（一条板凳上坐多个人）。在量子技术中，‘空板凳’无法用于测量，而一条板凳坐多个人会引起测量误差。因此，科学家要在实验室通过主动量子调控制造一种非经典的量子光源。”精密物理测量往往会受一些在原理上都无法避免的“散粒噪声”的影响。因此，任何测量都存在精度极限。不过，量子光源可以打破这种物理极限。中国科学技术大学团队用制备出的新光源进行测量，发现它比之前用激光光源测量的精度提高了0.6dB，而且首次实现了强度压缩。此后，该团队又研发出“九章”系列光量子计算原型机。在“九章二号”的相关研究中，团队受到激光的启发，发明了一种受激辐射放大量子光源的新方法。在调节这种新光源的位相时，他们意外发现数据对相位特别敏感。“我们当时灵机一动，想利用这个现象做量子精密测量。”陆朝阳说。抱着试试看的想法，研究人员基于“九章二号”中自主设计的受激双模量子压缩光源，结合非线性干涉仪，提出了一种新方案来达到海森堡极限。该方案同时具有可扩展性、无条件优势、对外部光子损失鲁棒等优点。在未扣除任何实验噪声的情形下，在相位测量实验中直接观察到的单光子信息量（用于衡量测量的精度），达到了目前国际最高水平。精密物理测量领域有一个共识：如果把精度向前推进一个数量级（10倍），就有可能发现新物理、新规律。这一次，中国科学技术大学团队基于量子受激光源发展出新的量子精密测量技术，将测量精度极限提高了5.8倍。“学术界将量子计算在特定问题上的能力超越经典的超级计算机的里程碑称为‘量子计算优越性’。现在，类似的，我们又首次实现了‘量子精密测量优越性’。”陆朝阳说，“这有点像立体农业中塘中养鱼、塘泥肥田，在国家的整体布局下，量子信息的基础研究不仅开花结果，还可催生肥鱼。”

2007年，费业泰被授予国际测量与仪器委员会“终身贡献奖” 神舟浴火腾飞升空，蛟龙耐寒深潜入海，高度精密的仪器在热胀冷缩时会产生什么变化?如何才能保证它们正常运转?我国高新技术领域的每一项重大突破，都离不开精密仪器学科的支撑。　　在我国精密仪器领域，很多知名专家自称“费家军”，因为他们有着共同的导师——我国现代精度理论及工程应用的奠基人、合肥工业大学教授费业泰。在把60年人生奉献给精密仪器事业后，今年2月26日，费业泰教授在合肥逝世，享年82岁。　　60年努力，奠基我国现代精度理论及工程应用　　“精度”与“误差”这对反义词，是人类科学研究中不可回避的问题。而费业泰一辈子的工作，正是不断消除误差，追求越来越高的精度。　　1955年，费业泰在合肥工业大学留校任教，同年6月加入中国共产党，1959年来到新开办的精密仪器专业。那时，新中国工业建设刚刚起步，我国对精度与误差的研究几近空白，机械工业总是难逃噪音大、震动大、能耗大的“傻大粗”模式。　　现在精度测量以微米为标准，而当时的标准是毫米甚至厘米，相差千倍、万倍，为了改变这一切，费业泰养成了没日没夜工作的习惯。由于精密仪器特别敏感，为了确保实验质量，多年来，费业泰在忙碌一天后，晚上仍会趁夜深人静继续待在实验室。　　经过长期的研究，费业泰提出了精度误差理论，半个多世纪来，这一理论在我国社会主义现代化建设的各个领域中得到了广泛应用，并成为我国精度评定的基本方法以及精密仪器学科的理论基础。　　航天器在太空中飞行，向阳与背阳的两面温度相差数百摄氏度，由于膨胀系数标准有误，用什么材料才能确保卫星正常使用，一直长期困扰我国航空业的发展。九十年代末，时任我国某型卫星研制部门负责同志找到了费业泰。　　在大量实验的基础上，费业泰发现原有的检测方法和计算标准存在较大误区，于是创新膨胀系数的检测和制定方法，不仅成功解决了精密仪器的稳定问题，还依此提出了全新的热误差理论体系。　　在我国精密机械领域，曾一度陷入加工设备每个部件都要高精度的误区。这不仅大大提高了成本，而效果也并不稳定。针对这一情况，费业泰在我国率先提出“最好的部件在一起不一定能有最好的性能”这一理念，找到了误差传递的规律，并利用这一规律提出了新的方法，不再要求每个部件均为高精度，而是通过不同部件之间的最优组合，保证机械设备的高精度。这一方法成为我国最新精度理论的重要内容。　　60年来，费业泰承担并完成了40余项高水平科研项目，发表过320余篇论文，获得9项省部级奖励，是安徽省五一劳动奖章获得者，为我国重点科研项目解决了大量实践难题，被称为我国精度理论的开拓者。2007年，费业泰被国际测量与仪器委员会(ICMI)授予终身贡献奖。　　2010年，费业泰入选“感动工大十大人物”　　潜心钻研，淡泊名利拒绝美国抛出的“橄榄枝”　　《误差理论与数据处理》是费业泰的9本专著之一，他的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院院长于连栋教授介绍，该书1981年被列为国家重点教材，成为我国精密仪器学科理论的开拓之作。30多年来，该书再版7次，被全国200余所高校采用，很多年轻一代的杰出青年、长江学者，都是读着它迈进了精密仪器科学的殿堂。　　“做科研不能带有一点功利心。”合肥工业大学仪器科学与光电工程学院苗恩铭教授至今牢记着费业泰的教导。　　其实热误差理论，费业泰早在1980年代就已经发现并进行总结，但很长一段时间内，热误差的研究一直是领域内的“冷门”，甚至其理论的科学性也受到质疑。　　如今苗恩铭率领的热误差研究团队，在全国已处于领头羊的位置，但最初这个研究之“冷”，曾让他想到放弃。　　“科研不能追名逐利，什么方向热门做什么，你在科学的路上走不远。”费业泰的一再告诫，让苗恩铭坚持了下来。如今，热误差理论，已经成为精密仪器学科典型的三个学科方向之一。而热误差理论研究团队，也不断在我国重大项目中建功立业。　　费业泰的老伴郭子顺还记得，1989年费业泰在美国西雅图华盛顿大学做客座教授时，他所负责的波音公司一项科研项目原计划要做9个月，但在他的努力下仅用时6个月。费业泰的出色表现引起了美国方面的兴趣，向他抛出橄榄枝，表示如果他愿意留下，就可以拿到绿卡。但费业泰毫不犹豫地拒绝了，甚至放弃了应得的3个月优厚报酬，毅然提前回国。　　虽然淡薄名利，但费业泰对国内相关产业的发展一直十分关注。　　“中国数控机床的落后，让老先生一直耿耿于怀。”苗恩铭说，费业泰在1980年代发现热误差后，研究了国际上近30年来数控机床精度的发展，预测未来机床如果要提高精度，必须利用其材料结构的热特性来设计。　　当时费业泰找了很多国内大型企业，建议企业进行相关研发提高产品精度，但当时普通数控机床很好卖，他的建议被一一拒绝。1990年代中期，费业泰受邀到日本作学术报告，他的理论引起现场日本、德国专家的注意，并特意向他请教。2005年，日本企业生产了第一台热亲和数控机床，现在这种机床已经成为全世界最著名的数控机床之一。　　“现在很多国内企业产品卖不出去，又去模仿，但只能模仿个外形，其实它的核心思想是我们这边出来的，但是当年国内却没有人相信。”苗恩铭说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　教书育人，言传身教关注每个学生前行　　为了保证人才培养质量，费业泰不但对学生因材施教，还始终坚持在科研一线，用自己的言行给学生们做好榜样。　　“费老师知道每个学生的特点，哪怕我们毕业了，他还会一直关注着。” 于连栋说，费老师去世后，有同学在微信群里晒出老师以前寄来的信，老人家对这位学生从专业方向到人生道路，都给出了言辞真切的建议，让人十分感动。　　费业泰一生严谨，今年48岁、早已是博士生导师的胡鹏浩教授回忆起恩师的严谨时说：“怕挨训、被训怕了，但总是被训得心服口服。”　　2003年的暑假期间，时任学院副院长的胡鹏浩去找费业泰汇报工作，因穿着随意让老师很不高兴。　　最初胡鹏浩不以为然，他觉得不是工作日，也不在正式场合，穿着随便一些无所谓，但老师的反问让他意识到自己的不足：“老师说，如果现在学院有急事，需要你立即送一份材料到教育主管部门，你觉得你现在的穿着合适吗?这就是费老师的做事风格。”　　“我参加工作后，学校安排我授课，但费老师坚持让我再等一年，用一年的时间备课。” 费业泰的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院副院长夏豪杰副教授说，费老师认为“照本宣科是没有质量的授课”，只有精心准备，才能真正传授给学生知识。　　除了专业知识和严谨的科研态度，费业泰带给学生的，还有做人的道理。　　2004年，胡鹏浩评上了教授，但费业泰却说其实不希望他这么早获评，随后老先生的一席话让胡鹏浩非常感动。　　“他说虽然我评上教授，但知识的宽度和广度沉淀不够，可能会碍于面子，到哪都端着架子，不懂的也不好意思问，时间一长，就会越来越空。”胡鹏浩说，从那时起，他不管到哪，遇到不懂的就会直接问，　　2011年夏天，77岁高龄的费业泰在北京进行完一项国家专项答辩后，急着赶回合肥，由于北京暴雨，等到23点仍然不能起飞，临时也买不到火车票。　　“下着大雨，他跑到火车站，没有票又回到机场，这么大年纪，我看着很心疼，就劝他住一晚明天再走，他却坚持要当天回去。”当时随行的夏豪杰说，当天老人家等到凌晨4点，才得到登机的通知。　　早上7点，费业泰带着一身疲惫抵达合肥，随后立即赶到办公室时，这时夏豪杰才发现，费业泰坚持赶回来的原因，只是答应给一位研究生修改论文。　　“费教授辛勤工作60年，精于专业，一心教书育人，忠诚于人民的教育事业，是一位有理想信念、有道德情操、有扎实知识、有仁爱之心的好老师。”合肥工业大学党委副书记周军说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　2013年，费业泰与学生们在桃李园合影

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我国精密仪器市场需求大 　　精密检测仪器与我们的日常生活息息相关，但很多人对此并不甚了解。精密检测仪器自上世纪九十年代起开始在国内被广泛使用，成为检测工业产品必备的设备。在经历了简单的投影仪、二次元影像测量仪、高端三坐标测量机这三个发展阶段之后，目前的精密检测仪器更加趋向于智能化、自动化和集成化，解决了人工肉眼和卡尺卡规检测的局限性。 　　精密检测仪器被广泛应用在工业产品的检测上，随着国内工业的发展，精密检测仪器的市场需求不断增加。精密检测仪器目前已成为工业发展不可或缺的一个产业，是新兴产业中高速发展的一个行业。 　　新时代，更多的产品需要提供三维检测，这样才能更好的为现代社会的发展提供服务，所以国内的精密检测企业就在二次元影像仪的基础上研发生产了三坐标测量机，从而实现更高端的产品的三维检测任务。 　　当然，对于精密检测仪器这个国内新兴的行业来说，也会有高潮和低谷的存在，因此，企业需要有一个发展的规划，这样才能带领行业不断的超越和发展，最终成为世界领域里的领头羊。 　　业内人士认为，我国精密检测技术和仪器的现状仍然不甚理想，主要原因在于此类研发企业在国内是稀缺资源。随着中国工业自动化和产业升级的发展趋势，定向研发的精密检测仪器在工业检测领域将有很大的市场空间，与此同时，中国要成为工业强国，也必须重视研发与创新。 　　专家称，精密检测仪器本身是整个行业的粮草，而软件则又是仪器的核心。所以我们要想让整个的精密检测仪器行业的发展取得长足的进步，那么我们就要保证精密测量软件的不断更新和发展，为仪器的检测提供技术的支持。 　　未来发展需加大技术投入 　　随着国际市场需求的不断扩大，与人们生活息息相关的试验机行业也得到了迅猛的发展，但由于技术及创新等方面的原因，国内试验机行业与国外仍有巨大的差距，关键核心技术匮乏，低水平重复，产品的稳定性及可靠性得不到根本的解决，在高端精密仪器上仍严重依赖进口，大量进口对产业发展造成不利影响。 　　第一，高端通用试验仪器设备。将集中力量，重点突破一批我国需求量大、严重依赖进口、价格昂贵的试验仪器设备，攻克若干试验仪器设备核心技术和关键部件，带动重要领域试验仪器设备整体水平提升，打破国外垄断。 　　第二，前沿重大试验仪器设备。将依据我国在世界新一轮科技革命中的战略部署，研发若干具有国际领先水平的重大试验仪器设备，有效支撑我国开展世界一流科学研究、有特色科学研究，带动高新技术产业发展。 　　第三，常规通用试验仪器设备。将强化科技部门统筹作用，从现有各类科技计划(专项、基金)或自由资金开发的试验仪器设备中择优，采取应用示范、实施后补助等方式，以使国产优质试验仪器设备得到广泛应用，市场占有率大幅提升，壮大我国试验仪器设备产业。 　　加强研究和创造 　　科学技术就是第一生产力，这是我国的发展一直都在遵守的科学道理，在科学技术的领域，国家需要的精密的仪器越来越多，所以对于精密仪器的研究一直都是我国相关科技开发人员一直都在做的事情，在不断的努力中前进，争取赶超世界的先进水平，成为发展的主题。 　　在科学技术中，学到的知识非常的多，尤其是在精密仪器的开发和制造中，一定会遵循更多的实践经验来进行科学技术的开发和创造。这对于我国的电气行业是一个不小的考验，从而推动了科学技术的发展，精密仪器是我国使用的重要的仪器，一定要具备先进水平的精准，这样才能够满足使用需求。 　　我国在精密仪器的发展上面正在不断的进步，并且在十几年来的时间里已经发展了很多的科学水平，但是仍然赶超不了国际水平，但是只要是我们的努力发展和科学的不断的研究和创造，赶超先进水平的时期指日可待，在不断的发展中探索出来的成果才更加的稳固。 　　所以精密仪器的使用和发明，对于我国的电气行业来说是一个非常大的挑战，从根本上促进了社会的不断的发展和进步，主要是科学技术的不断的进步，这也是科学技术发展的动力，成为世界上数一数二的精密仪器的制造国家，是我国发展的重要目标，也在朝着这个目标不断的努力奋斗。

近日，中国的几何精密计量和测量仪器企业深圳中图仪器股份有限公司（简称“中图仪器”）宣布完成了B轮融资。此次融资由沃衍资本和钟鼎资本联合投资，其中，沃衍资本出资7800万领投。本次融资金额超过一亿元人民币。据悉，本次中图仪器的融资将为其高端产品的持续研发、团队拓展以及销售提供资金保障，进而加速其高端几何精密仪器产业的发展。中图仪器成立于2005年，是一家专注于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售的高新技术企业。中图仪器在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建等领域形成了设计和制造优势，并具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。此前，中图仪器已获得来自壹海汇资本、深创投等多家风投公司的投资。沃衍资本的合伙人在此次中图仪器的投资中表示，这是沃衍资本今年在数字化产业投资领域最重要的一项投资。他们认为中图仪器在创始人马俊杰的领导下全面掌握了发展现代精密测量产业所需的技术和算法，并完成了不同尺寸测量的平台型技术和产品的全面布局。同时，中图仪器的产品战略追求品类全，应用覆盖面广，品质高，得到了多行业多领域的头部客户验证，并在航空航天、工程机械、高端机床、3C电子、汽车、显微半导体、新能源、计量院所、科研院校等领域形成规模化销售。沃衍资本将与中图仪器共同努力，在精密测量领域进行技术创新，促进中国高端制造和数字化发展，并致力于打造中国自主品牌的高端几何量测量仪器和装备产品。

发展现代化先进量子测量体系具有重要的研究意义，它符合时代发展需求和国际化发展潮流，同时面向国际前沿和国家重大需求。由于里德堡原子具有较大的电偶极矩，可以对微弱电场产生很强的响应，因此已经成为一个非常有前景的微波测量量子体系。此外，由于里德堡原子之间具有长程强相互作用，常被用于模拟研究强关联系统以及相变。强关联系统在临界点附近对外界扰动更加敏感，可以被应用于量子精密测量领域。虽然有大量理论报道利用强关联系统的临界状态去做量子传感，但在实验上一直未能成功实现。“主要原因是多体系统相变过程制备难、临界点的外场调控技术欠缺等。” 论文共同作者、中科院量子信息重点实验室丁冬生教授介绍。近年来，史保森、丁冬生科研团队利用里德堡原子体系，聚焦量子模拟和量子精密测量科学研究，已取得了重要进展。此次工作中，团队发展了里德堡原子临界点与微波电场的耦合技术。基于室温铷原子体系，利用多体系统相变点对于微波扰动更加敏感的特点，显著提高了测量微波的精度和灵敏度。丁冬生说，“实验发现，多体系统中的原子透射谱线在相变点附近变得更加陡峭，这相当于一把频域上刻度更细的尺子，因此对于微波测量具有更高的精度。”在评估传感器时，一个关键量是Fisher information，它表示一个测量量包含多少关于未知参数的信息。实验表明，相比于少体无相变的情况，多体系统在临界点的Fisher information具有显著提高，具体提高了三个数量级。对应于测量精度提升至少一个量级，并且随测量时间的增加而增加，呈现指数增长的趋势。该工作得到审稿人高度评价：“该实验真正具有开创性，具有重大的潜在影响，因为它为开发基于强相互作用多体系统的新一代量子传感器打开了大门。” “49纳伏每厘米每根号赫兹的灵敏度令人印象深刻，很好地表明了这种方法在计量方面的潜在应用。”中科院量子信息重点实验室丁冬生教授与博士研究生刘宗凯为本文共同第一作者，丁冬生教授、史保森教授、丹麦奥尔胡斯大学Klaus Molmer教授和英国杜伦大学Charles S. Adams教授为本文共同通讯作者。

2023年7月10日，为期三天的“中国材料大会2022-2023”圆满落幕，全国1.9万余名材料科技工作者、1500余位杰青长江学者、50余位两院院士齐聚一堂，共同探讨学术发展前沿，碰撞智慧火花。本届大会是立足于国家全面推进高水平科技自立自强的大背景下举办的一次跨学科、跨领域、跨行业的学术交流大会，是中国新材料界学术水平最高、涉及领域最广、前沿动态最新的超万人国家级品牌大会。在本次盛会中，重庆摩方精密科技股份有限公司（以下简称：摩方精密）隆重亮相17号馆，展示了多样化的自主研发材料及超高精密3D打印解决方案，以满足不同领域的应用需求。多年来，摩方精密自主研发了多种具有不同性能的超高精密成型材料，包括高强度、高硬度、耐高温、韧性和生物相容性等材料。此次展出的材料样件是通过摩方精密的微纳3D打印设备制备而成，吸引了众多专家学者和各行业企业家前来参观，并受到了广泛关注和好评。摩方精密的超高精密3D打印解决方案为各行业提供了定制化的制造工艺，通过3D打印技术，可实现复杂结构和超高精密部件的快速制造，减少了传统制造工艺过程中的材料浪费和加工时间。同时，还可实现产品设计的灵活性和创新性，在科研、工业制造、航空航天、医疗等领域具有广泛的应用前景。例如，在科研领域，可用于制造具有复杂结构的材料样品，用于研究、培训和医疗实践等，提高实验的效率和准确性；在工业制造领域，可用于制造高强度和高硬度的零部件，提高产品的质量和可靠性；在航空航天领域，可制造轻量化的零件，降低飞行器的重量和燃料消耗；在医疗领域，可用于制造生物相容性好的医疗器械和植入物，提高治疗效果和患者的生活质量。摩方精密的技术和产品为不同行业的发展提供了新的机遇和可能性，并有望推动科学研究、工业制造等多领域创新的进一步发展。microArch® S230为了满足客户在精密样件加工尺寸、加工效率和加工材料等方面的需求，第二代摩方精密2μm精度3D打印系统microArch® S230具备了更大的打印体积（50mm×50mm×50mm），最高可提升5倍的打印速度，并且可以兼容树脂和陶瓷材料。通过配置激光测距系统，实现了打印平台和离型膜的调平。同时，配备滚刀涂层系统后，能够加快液面流平时间，扩大对各种树脂种类的支持范围，例如耐候性工程光敏树脂、韧性树脂、生物兼容性树脂和陶瓷浆料（如氧化铝、钛酸镁）等功能性复合材料。此外，材料的多元化也拓展了新的应用领域，例如毫米级微波应用（如5G天线、波导、太赫兹、雷达等电子元器件）、新能源器件和精密零件等。这不仅满足了工业领域对终端产品功能性和耐用性的需求，而且为科研领域开发新型功能性复合材料提供了支持。microArch® S240备受瞩目的microArch® S240设备荣获全球光电科技领域最高奖——"棱镜奖（Prism Award）"。该产品继承了第一代S140打印机在高精密度方面的特点，具备10µ m的打印精度和±25µ m的加工公差。为了更好地满足客户在精密结构件加工尺寸、加工效率和加工材料等方面的需求，S240拥有更大的打印体积（100mm×100mm×75mm），最高可提升10倍以上的打印速度，能够生产更大尺寸的零部件，或实现更大规模的小部件产量。在打印材料方面，S240支持高粘度陶瓷（≤20000cps）和耐候性工程光敏树脂、磁性光敏树脂等功能性复合材料，极大地满足了工业领域对产品耐用性的需求，同时也为科研领域开发新型功能性复合材料提供了有力支持。7月9日上午，在D18-仿生材料分论坛上，摩方精密产品应用部经理彭瑛博士作了《PμSL微尺度3D打印技术及其在仿生领域的应用》的主题报告。她精彩地分享了摩方精密PμSL技术在仿生领域的应用案例，包括仿南洋杉的3D锯齿结构（液体择向输运）、仿弹尾虫表皮结构（可控亲疏水性）、仿松针结构（液滴定向输运）、仿树蛙脚掌多级微纳结构（界面湿增摩效应）和多孔模结构（水下单向流）等。她指出：“摩方精密的专利技术——面投影微立体光刻技术（Pµ SL）是一种微米级精度的3D光刻技术。这一技术利用液态树脂在UV光照下的光聚合作用，借助滚刀快速涂层技术大大缩短了每层打印的时间，并通过打印平台的三维移动逐层累积成型，制作出复杂的三维器件。因此，Pµ SL技术成为仿生领域原型器件开发验证和终端零部件小批量制备的最佳选择。”报告结束后，彭博士受到了热烈的掌声。同时现场观众对公司产品表达了浓厚的兴趣，并向彭博士提出了关于产品性能、制造工艺和应用领域等方面的问题。彭博士以丰富的知识储备和经验，清晰地回答了观众们的疑问，详细介绍了公司产品的特点和优势。这使得观众们对公司产品有了更深入的了解，现场的热烈反应进一步验证了摩方精密在技术与研发上的实力与前景。新材料是战略性新兴产业发展的基石。我国新材料产业已经进入了一个快速发展的阶段，技术创新不断推动着产业的发展，应用领域不断拓展，成为支撑新一代信息技术、节能环保、高端装备制造等重要产业的关键材料。作为增材制造行业发展的先行者，摩方精密在“创新之都”深圳，与众多专家学者、企业家、行业同仁齐聚一堂，共同推动增材制造行业的创新与发展。未来，摩方精密将充分利用材料行业的资源禀赋，不断加强研发投入，探索新材料、新工艺的应用，从而提升整个材料产业链的附加值。我们相信，通过持续不断地努力和创新，摩方精密将引领材料发展的潮流，在众多领域提供颠覆性的生产制造方案！

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

“专精特新”小巨人企业中图仪器对资本市场发起冲刺。　　公开信息显示，10月21日，深圳市中图仪器股份有限公司（简称“中图仪器”）与中信建投（601066）签署上市辅导协议。成立于2005年的中图仪器致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。去年国家工业和信息化部公示了第三批专精特新“小巨人”企业名单，中图仪器顺利入选。　　自2005年成立以来，中图仪器逐步聚集了来自清华、西安交大、哈工大等高校毕业生带头的工程师队伍，从小仪器到大品种，持续推动国内精密测量技术创新与进步。　　中图仪器重点发展高端精密、超精密几何量检测仪器，提供一维、二维、三维的尺寸测量产品。中图仪器在精密轮廓扫描技术、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的研发设计、制造优势，已具备从纳米到百米为用户提供专业的精密测量仪器和测量解决方案的能力，大部分产品达到国际先进水平。　　目前，中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，部分产品达到国际先进水平，参与制定了多项国家标准。　　中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地，在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地。发展至今，中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区，海外市场快速成长，营销网络日逐完善。　　公开报道显示，多年来中图仪器的研发投入占销售额的25%以上，高于行业10%的平均水平。截至2021年10月31日，公司已拥有99项专利及软件著作权，参与制定3项ISO标准，主导或参与制定10余项国内或行业标准。　　辅导文件显示，马俊杰为中图仪器控股股东，直接及间接持有公司股权比例为36.28%。企查查显示，中图仪器自2016年起经历多轮融资，参投机构包括壹海汇资本、方广资本、架桥资本、海量资本和深创投等。　　据了解，在我国高端几何量仪器领域被蔡司、海克斯康、三丰、ZYGO等国际著名品牌全面占据的情况下，中图仪器研制的闪测仪、激光跟踪仪、激光干涉仪、光学3D表面轮廓仪、测长机等多款精密测量仪器逐步达到进口仪器性能水平，以较低成本较高性能服务于我国计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业领域，推动行业国产替代，同时市场占有率攀升。