进口真空测量仪

◆PLMapping测量◆多种激光器可选◆Mapping扫描速度：优于20点/秒◆空间分辨率：10um（物镜），50um（透镜）◆光谱分辨率：0.1nm@1200g/mm◆Mapping结果以3D方式显示◆最大8吋的样品测量◆晶片精确定位◆样品真空吸附◆可做低温测量◆膜厚测量测试原理：PL是一种辐射复合效应。在一定波长光源的激发下，电子吸收激发光子的能量，向高能级跃迁而处于激发态。激发态是不稳定的状态，会以辐射复合的形式发射光子向低能级跃迁，这种被发射的光称为荧光。荧光光谱代表了半导体材料内部，一定的电子能级跃迁的机制，也反映了材料的性能及其缺陷。操作简便、全电脑控制PMEye-3000系列PL Mapping测量仪，是一款适合于半导体晶片和LED外延片科研、生产和质量控制环节的仪器；采用整机设计，用户只需要根据需要放置合适的检测样品，无需进行复杂的光路调整，操作简便；所有控制操作均通过计算机来控制实现。全新的样品台设计，采用真空吸附方式对样品进行固定，防止对样品的损伤；可对常规尺寸的晶圆样品进行精确定位，提高测量重复性。系统采用直流和交流两种测量模式，直流模式用于常规检测，交流模式用于微弱荧光检测。荧光测量一般的PL测量仪只是测量荧光的波长和强度。PMEye-3000系列增加对激光强度的监控，并根据监控结果来对荧光测量进行校正。这样就可以消除激发光源的不稳定带来的测量误差，也使测量结果有可比性。Mapping功能PMEye-3000系列配置200X200mm的X-Y电控位移台，最大可测量8英寸的晶圆样品。用户可以根据不同的样品规格来设置扫描区域及空间分辨率，扫描速度优于每秒20个点，空间分辨率可达10um（物镜），50um（透镜）。扫描结果以3D方式显示，以不同的颜色来表示不同的荧光强度。激光器PMEye-3000系列有多种高稳定性的激光器可选，系统最多可内置2个激光器和一个外接激光器，标配为1个激光器。用户可以根据测量对象来配置不同的激光器，使PL检测更加灵活。PMEye-3000系列可内置的激光器波长有：266nm，405nm，442nm，532nm、785nm等，外置激光器波长有：325nm，632.8nm等。功能强大的软件我们具有多年的测量仪器操作软件的开发经验，熟悉用户的操作习惯，这使我们开发的这套PMEye-3000系列操作软件功能强大且操作简便。PMEye-3000系列操作软件提供单点PL光谱测量及显示，单波长的X-Y Mapping测量及显示，mapping结果以3D方式显示。同时具有多种数据处理方式来对所测量的数据进行处理。低温样品室附件该附件可实现样品在低温状态下的荧光检测。有些样品在不同的温度条件下，将呈现不同的荧光效果，这时就需要对样品进行低温制冷。如图所示，从图中我们可以发现在室温时，GaN薄膜的发光波长几乎含盖整个可见光范围，且强度的最高峰出现在580nm附近，但整体而言其强度并不强；随着温度的降低，发光强度开始慢慢的增加，直到110K时，我们可以发现在350nm附近似乎有一个小峰开始出现，且当温度越降越低，这个小峰强度的增加也越显著，一直到最低温25K时，基本上就只有一个荧光峰。GaN薄膜的禁带宽度在室温时为3.40Ev,换算成波长为365nm，而我们利用PL系统所测的GaN薄膜在25K时在356.6nm附近有一个峰值，因此如果我们将GaN薄膜的禁带宽度随温度变化情况也考虑进去，则可以发现在理论上25K时GaN的禁带宽度为3.48eV，即特征波长为357.1nm，非常靠近实验所得的356.6nm，因此我们可以推断这个发光现象应该就是GaN薄膜的自发辐射。性能及功能扫描模式单波长mapping摄谱模式峰值波长mapping；给定波长范围的积分光源405nm激光（标配）150W溴钨灯（可选，用于膜厚测量）光源调制斩波器光谱仪三光栅DSP扫描光谱仪光谱仪焦距500mm（标配）波长准确度± 0.2nm（1200g/mm，300nm）± 0.6nm（600g/mm，500nm）± 0.8nm（300g/mm，1250nm）探测器Si探测器，波长范围：200～1100nm （标配）数据采集设备带前置放大器的数字采集器DCS300PA锁相放大器SR830二维位移平台行程200*200mm，重复定位精度3&mu m样品台具有真空吸附功能，对主流的3&rsquo &rsquo ,4&rsquo &rsquo ,5&rsquo &rsquo ,6&rsquo &rsquo ，8&rsquo &rsquo 的晶片可进行精确定位Mapping扫描速度优于20点/秒Mapping位移步长最小可到1um空间分辨率10um（物镜方式），50um（透镜方式）重复定位精度3&mu m探测器选择探测器类型光谱响应范围R1527光电倍增管200～680nmCR131光电倍增管200～900nmDSi300硅光电探测器200～1100nmDInGaAs1700常温型铟镓砷探测器800～1700nmDInGaAs1900制冷型铟镓砷探测器800～1900nmDinGaAs2200制冷型铟镓砷探测器800～2200nmDinGaAs2600制冷型铟镓砷探测器800～2600nm

LT-12净空测量仪是我公司新开发的超远距离免棱镜全站仪，可以用于机场或雷达站周围建筑物三维坐标的测量。该产品在国际上率先采用1.57波长人眼安全激光，免棱镜测程达到12公里，测距精度优于1米，测距时间小于1秒，测量的坐标数据直接存储到内存中；可通过U盘将数据复制到电脑，本测量仪采用Windows mobile。LT-12净空测量仪集成了GPS定位功能和全站仪测角、测距功能，不受地域和时间限制，不依靠控制网，没有作业半径限制，是全天候、无盲区、智能型的测量系统。技术参数角度测量：水平角范围:0～360°垂直角范围：-45°-+90°水平角精度：2″(2秒=0.0005°)垂直角精度：2″(2秒=0.0005°)最小读数:1″/5″可选测角方法：绝对编码，动态测量角度补偿方式：电子补偿角度补偿范围：±3′（补偿范围内仪器自动消除仪器不平对角度的影响）采点速度：1点/3秒非合作目标距离测量：测程：12000米测距精度：1米测距激光波长：1.57波长测距激光类型：1级人眼安全激光（最安全等级）数据存储/通讯：可扩展内存:标配8G内存，可扩充至32G数据接口：U盘，蓝牙，Wifi,3G上网及语音通话功能（选配）数据格式：文本格式/CSV格式望远镜：放大倍数：16倍物镜口径：23mm视场：2°30′（100m处视场4.4m）调焦范围：2.5m至无穷远显示屏：显示屏：3.5寸电阻式彩色触摸屏，640×480像素，亮度可调节操作系统：Windows Mobile：6.5主频：800HZ激光对电器：类型：红色激光点对中精度：1.5m处对中精度1.5mm电池：类型：12V可充电锂电池1800mA操作时间：双电池在打开激光条件下可工作8小时以上物理指标：整机重量：5.3kg体积：170×160×330mm环境指标：工作温度范围：-30℃到+60℃，极地耐低温型-40℃到+60℃（可定制）防尘/防水：IP55，防雨防尘湿度：95%，无冷凝软件功能：后方交会法：有站点测量法：有角度定向法：有原始坐标输出：有原始坐标数据输出，便于用户验证检查，数据兼容性好智能测量导航：有产品特征1．可选配大范围倾角补偿器。2．可选配3G上网卡实施将测量数据发回办公室。3．LT-12净空测量仪系统从GPS获取绝对坐标，无需做控制网或控制点，使作业更简单。4．可选配高精度GPS进行定位定向，结合全站仪数据采集功能，实现全站仪、GPS测量数据共享。

超高温真空接触角测量仪原理介绍：接触角（Contact angle）是指在气、液、固三相交点处的气-液界面的切线，此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ，是润湿程度的量度，是现今表面性能检测的主要方法。由主体支架、专用光源、远焦镜头、工业成像CCD、高温高真空炉体、水循环冷却系统、真空泵、专用分析软件等组成。超高温真空接触角测量仪应用范围：在高温真空条件下，通过视频光学原理，测试各种材料的润湿铺展性能；目前已经广泛应用于陶瓷材料研究、金属材料研究、钎焊研究、航空航天材料研究、钢铁冶炼研究、复合材料研究等众多高校院所及企业。研究材料在高温状态下熔体与其相应的基底材料间的接触角变化规律。对于高熔点材料能实现高真空或惰性气体保护气氛下的表界面性能测试，而对于低熔点材料能现实升降温过程中的收缩、变形、融化、润湿、铺展及凝固行为进行图像化、定量化表征。设备性价比高、加热稳定、真空度高、功能全面、可满足各种金属材料科研的需要。1、测量液态金属在高温真空状态下对基材的润湿性能,评估不同材质在高温真空状态下润湿过程及附着性能 2、研究金属与陶瓷复合材料间的润湿性能,测量金属材料在高温真空状态下熔融时，在陶瓷材料上的接触角 3、研究钎焊过程,钎料在基材上的润湿铺展过程,动态分析钎料在高温下的接触角、润湿过程 4、测量金属在不同的高温状态下,以及不同的气体保护环境下,对于不同基材的接触角变化及区别:5、分析涂层与基材的接触角,分析涂层与基材的润湿过程及铺展机理,并研究不同温度及不同气氛下,润湿性能的区别:6、研究液体与固体间的接触角,评估液体与固体的附着粘附性能，分析固体的表面自由能 7、分析焊料与焊接体的接触角值,从而有效地提升焊接强度 8、基于分析接触角及表面张力的基础,控制合理润湿范围，查找有效的去除冶炼过程中炉垢的办法。应用案例超高温真空接触角测量仪核心参数介绍：型号CA600 腔内环境大气环境/真空/惰性/有氧气氛高温系统温度范围室温～1200℃/室温～1700℃长期使用温度室温～1100℃/室温～1600℃真空下温度1000/1500测温电偶1200°：N型电偶 1700°：B型国际铂铑热电偶测温精度±1℃温度控制30段程序温度设定实现复杂热处理工艺的分析升温速率常温-1000℃≤10℃/min1000℃-1600℃≤5℃/min加热体1200°HRE合金电阻丝/1700度U型硅钼棒恒温区尺寸长200mm加热管尺寸内直径50mm*长度700mm测温系统温度监控，测温材质美国钨铼合金，测量精度±0.1℃，可实时测量加热管内温度。进样方式具有快速样品制备专用工具，以及样品装载专用工具，确保样品快速定位视窗法兰专用同轴双视窗法兰，备双通道惰性保护装置，可同时或单独使用某种工艺气体对内部金属进行保护，带真空系统及保护气体管路、双水冷装置。采用进口石英材质并可快拆更换。炉膛材质1200°C内采用石英，1700°C以上采用高纯刚玉保温材料湿法真空抽滤成型制备的多晶无极氧化铝陶瓷纤维材料样品尺寸5*5*5mm真空系统真空度范围1*10-1Pa采用机械真空泵+数字流量计+真空法兰1*10-3Pa采用分子泵+复合全量程高精度真空计+真空法兰材质两级组合，在高温下达到高真空要求；泵体采用高纯度不锈钢；配置复合真空计；真空系统也可以通保护气体水冷系统温控范围温度范围：5-35℃外形尺寸约460mm（长）*380mm（宽）*590mm（高）水泵流量15L/min冷却系统容量≥11L实测制冷量1520W成像系统镜头Subpixel0.7-4.5倍超高温高清远焦距工业级连续变倍式显微镜、工作距离500mm相机日本SONY原装进口高速工业级芯片(Onsemi行曝光)传感器类型1/2.9 英寸逐行扫描CMOS分辨率1280× 1024镜头控制仰视角度：±10度，精度：1度，前后180mm（微调50mm）*左右200mm（微调50mm）帧率全局曝光高速400帧/s（最快2.5ms采集/次）视频录像功能可录制整个高温润湿过程连续测量测量间隔时间可调、实时记录、连续测量光源系统组合方式采用石英扩散膜与均光板使得亮度更均匀，液滴轮廓更清晰光源进口CCS工业级冷光源（有效避免因光源散发热量蒸发液滴），寿命可达5万小时 亮度调节PWM数字调节功率10W测量软件CA V2.0静/动态接触角测量软件+表面能测量软件操作系统要求windows 10(64位)测量方式自动与手动计算方法自动拟合法（ms级别一键全自动拟合，不存在人工误差）、三点拟合、五点拟合、自动测量（包括圆拟合法/斜圆拟合法（Circle method/ Oblique Circle）、椭圆拟合法/斜椭圆拟合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)）、凹凸面测量等基线拟合自动与手动角度范围0°＜θ＜180°精度0.1°分辨率0.001°分析自动计算多组数据中接触角的最大接触角、最小接触角、平均接触角，左右接触角分别计算与比较功能表面能测量方法Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法，得到固体表面能。表面能单位mN/m输入电源220V 50-60Hz仪器尺寸约1500mm（长）*405mm(宽)* 725mm(高)润湿性分析粘附功一键自动分析铺展系数一键自动分析粘附张力一键自动分析精度0.001 mN/m单位mN/m选配件1.机械真空泵，真空度：1*10-1Pa 2. FJ-110分子泵组一套，最大抽气速率110L/s (对空气)，真空度：1*10-3Pa 3.惰性气体气氛保护（Ar，N2，He或混合气体）4.冷浴装置：5℃-35°超高温真空接触角测量仪测试方法：电脑配置：（选配）出厂附件明细：1.usb3.0数字高速CCD摄像头 1个2.连续变倍光学系统 1个 3.手动CCD倾斜系统 1套4.高温表界面分析测量系统应用软件 1套5.说明书纸质一份及说明书电子版 1份6.保修卡及合格证 1份7.石英管 1个8.法兰 2套9.坩埚 1个10.炉钩 1个11.高温防护手套 1套12.滤光片 1个13.密封圈 4个14.电源线、相机数据线 2条15.XY专用水平仪 1个