精密位移传感器

精密位移传感器技术比较PIEZOCONCEPT 在其压电级中使用什么类型的位移传感器？为什么它优于其他传感器技术？PIEZOCONCEPT 使用单晶硅传感器，称为Si-HR 传感器。尽管它是应变仪传感器大系列的一部分，但它的性能优于其他两种常用技术（电容式传感器和金属应变仪）。这两种位置传感技术有其自身的特定缺点。 电容式传感器与 PIEZOCONCEPT 公司Si-HR 传感器的比较电容式传感器非常常用。他们提供了不错的表现，但他们对以下情况很敏感：• 气压变化：空气的介电常数取决于气压。电容测量将受到任何压力变化的影响。• 温度变化：同样的，空气的介电常数会随温度变化• 污染物的存在以上所有都会导致一些纳米级的不稳定性，因此如果您想实现真正的亚纳米级稳定性，则需要将它们考虑在内。即使可以对气压和温度进行校正，也无法校正其他因素（污染物、脱气）的影响。这解释了电容式传感器在真空环境中性能不佳的原因。此外，电容式传感器非常昂贵且体积庞大。因此，带有电容传感器的位移台不可能做的有像的 BIO3/LT3 这样薄，即使设计的好也会在稳定性方面进一步牺牲性能。因为它是一种固态技术，所以Si-HR 传感器的电阻不依赖于气压或污染物的存在。其次，温度变化会对测量产生影响（主要是因为材料的热膨胀），但这可以通过使用传感器阵列来纠正。基本上，我们为每个轴平行使用 2 个硅传感器 - 一个用于测量，另一个用于考虑由于温度变化导致的材料膨胀。金属应变计与 PIEZOCONCEPT Silicon HR 技术的比较金属应变计与我们的 Silicon HR 技术（也是应变计）之间的差异更大。金属应变计和硅传感器应变计之间存在两个巨大差异。竞争对手试图说所有的应变仪都具有相同的性能，因为它们测量的是应变。这是不正确的。半导体应变计在稳定性方面与金属应变计有很大不同。金属应变计和Si-HR 传感器（PIEZOCONCEPT 使用）之间的第yi个区别是应变系数：半导体应变仪（Si-HR）的应变系数大约是金属应变仪的 100 倍。更高的规格因子导致更高的信噪比，最终导致更高的稳定性。 更重要的是，第二个区别是金属应变计不能直接安装在弯曲本身上（即实现运动的地方）：金属应变计必须安装在某种“背衬”上。因此，它必须安装在执行器本身上，因为您没有足够的空间将其安装在挠性件上。仅在执行器上测量的问题是压电执行器有很多缺陷......存在蠕变或滞后等现象。因此，由于压电执行器的伸长不均匀，因此仅测量执行器的部分伸长率并不能精确地扣除其完全伸长率。通过对弯曲本身进行测量，我们不会遇到这种“不均匀”问题。由于上述原因，如果您比较应变计（金属）和 PIEZOCONCEPT 的Si-HR 传感器，在信噪比和稳定性方面存在巨大差异。 关于法国PIEZOCONCEPT公司 PIEZOCONCEPT 是压电纳米位移台领域的领宪供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱、纳米工业和原子力显微镜。其产品已被国内外yi流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用，在工业和科研领域受到广泛好评。 多年来，纳米定位传感器领域电容式传感器一直占据市场主导地位。但这项技术存在明显的局限性。PIEZOCONCEPT经过多年研究，开发出硅基高灵敏度位置传感器（Silicon HR）技术，Si-HR传感器可以实现更高的稳定性和线性度，以满足现代显微镜技术的更高分辨率要求。 PIEZOCONCEPT的目标是为客户提供一个物美价廉的纳米或亚纳米定位解决方案，让客户享受到市面上蕞高的定位准确性和稳定性的产品使用体验。我们开发了一系列超稳定的纳米定位器件，包含单轴、两轴、三轴、物镜扫描台、快反镜和配套器件，覆盖5-1500um行程，品类丰富，并提供各类定制化服务。与市场上已有的产品相比具有显着优势，Piezoconcept的硅传感器具有很好的稳定性、超本低噪声和超高的信号反馈，该技术优于市场上昂贵的高端电容传感器。因此，我们的舞台通过其简单而高效的柔性设计和超本低噪声电子器件提供皮米级稳定性和亚纳米（或亚纳米弧度）本底噪声。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。

2023年7月，宁波柯力传感科技股份有限公司（“柯力传感”）与深圳点联传感科技有限公司（“点联传感”）正式签署协议，完成天使轮投资。柯力传感是此次点联传感天使轮融资的领投方。 　　深圳点联传感科技有限公司正式成立于2022年，是由多名清华大学博士领衔的高层次人才硬核团队，精密仪器专业出身，专注传感检测研究15年。 　　点联传感在精密光学系统、高速硬件电路以及综合检测算法方面有深厚的研究基础，依托底层高速高精度CMOS激光测量传感器技术框架，逐步拓展对射式、反射式以及同轴共聚焦的产品矩阵，实现对工业品形位尺寸的精密检测与定位，提高生产效率与性能。未来，点联传感将在产学研基础上，进一步构建名校传感器成果转化平台，立志解决中国工控及其他领域中高端传感器卡脖子问题。据悉，柯力投资点联传感主要是基于以下三个方面的考虑： 　　第一、当前国内精密测量传感器的发展仍处于起步阶段，未来是一个确定性的发展机会，是柯力布局传感器行业的重要市场方向。 　　第二、高精密测量传感器有一定的技术壁垒，需要依赖技术型团队才能打造升级产品，形成品牌。点联传感团队是由多名精密仪器专业出身的博士组成，专业技术能力强。 　　第三、通过柯力投资与赋能，可以快速提升点联传感的客户拓展能力，整体价值实现1+1＞2。 　　当前，中国制造业正在向高精度、智能化的方向转型升级。高精度工控传感器是制造装备的基础要素，柯力传感对点联传感的投资与赋能，将助力其成为中国制造业转型升级过程中的国内外一流传感器品牌，同时，也将加速柯力从单一物理量传感器向多物理量传感器融合的步伐与进程。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

近日，中国科学院上海微系统所信息功能与材料国家重点实验室硅光子课题组研究员武爱民团队、深圳大学教授袁小聪、杜路平团队及英国伦敦国王学院教授Anatoly V. Zayats课题组合作，在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。相关研究成果发表在Nanoscale上，并被选为当期封面文章。光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术及量子技术等领域具有重要应用。目前广泛应用的激光干涉法具有非接触和精度高的特点，然而，其对激光波长的稳定性要求高且严重依赖光学器件和光学路径，难以满足光学系统集成化和轻量化的发展需求。布洛赫表面波产生于多层介质膜与周围环境的界面处，具有低损耗，宽色散域，高定向性和CMOS兼容等优势。该研究基于硅基衬底，利用不对称狭缝形成纳米天线调控布洛赫表面波，实现了布洛赫表面光场的非对称传输，布洛赫表面波的不对称光场对纳米天线和入射高斯光场的相对位置具有超灵敏的依赖作用，通过对其远场表征就可以获得精确到亚纳米量级灵敏度的位移传感。该工作利用纳米尺度的狭缝实现了布洛赫表面波的非对称传输，通过连续改变光与狭缝的相对位置，在实验上实现了对于位移的精确测量，灵敏度可达0.12 nm-1，分辨率和量程达到8 nm和300 nm。该研究为纳米测量及超分辨显微提供了新的物理原理，并为超灵敏的位移测量提供了精巧的微型化方案。

近日，由上海测振自主研发的YDYT9800一体化电涡流传感器成功试用负600米深海作业。YDYT9800一体化电涡流传感器电涡流传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力测量金属导体距探头表面的距离，它是一种非接触线性化计量工具，被广泛应用在机械、航空、汽车、电力、石油、化工、冶金等行业。其中，深海作业对电涡流传感器的壳体、探头、接头、电缆等都有非常高的品质要求。电涡流传感器在深海作业过程中，因所处环境较为恶劣，极有可能出现个类故障，造成经济损失甚至重大事故。上海测振的技术研发团队经多次试验，最终攻克超高水压密封、高腐蚀环境、复杂电磁干扰等难题，通过微型封装技术把前置器内置探头内部，完成探头与前置器融为一体化方案，可满足深海领域的使用环境要求。作为深海领域传感器的代表作，YDYT9800一体化电涡流传感器采用耐腐蚀、耐水解的壳体、探头、接头、电缆等，防水及密封性能强，可在恶劣环境下长期稳定工作，此外，还具有安装使用方便、非接触测量等优势，是一种高性能、低成本的新型电涡流位移传感器，可对厚度、速度、位移、转速、应力、表面温度、材料损伤等进行持续不间断的测量。当前传感器国产化需求加重，国内传感器正在趋向技术化、创新化、自主研发化路线发展。YDYT9800一体化电涡流传感器的成功研发，正表明了我国传感器技术在不断突破，同时也将助推我国深海工业领域的不断发展。关于上海测振：上海测振自动化仪器有限公司（简称“上海测振”）成立于2006年，专业从事研发和生产振动传感器、位移传感器、转速传感器以及工业监控保护仪器，具有自营进出口贸易权。主要经营的产品有电涡流位移传感器，振动传感器，转速传感器及其配套仪器仪表四大类，包括四十多个不同型号，其中YD9200A、CZ9300、YDYT9800、YD260、YD280为国内首次推出。产品覆盖军工、重工、科研、教育等各个领域，与中国航空工业集团、沈阳黎明航天发动机集团、大连华锐重工集团等知名企业建立了良好的合作关系。

1 引 言激光干涉位移测量技术具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等优势，广泛应用于精密计量、微电子集成装备和大科学装置等领域，成为超精密位移测量领域中的重要技术之一。近年来，随着这些领域的迅猛发展，对激光干涉测量技术提出了新的测量需求。如在基于长度等量子化参量的质量基准溯源方案中，要想实现1×10−8 量级的溯源要求，需要激光干涉仪长度测量精度达0. 1 nm 量级；在集成电路制造方面，激光干涉仪承担光刻机中掩模台、工件台空间位置的高速、超精密测量任务，按照“ 摩尔定律”发展规律，近些年要想实现1 nm 节点光刻技术，需要超精密测量动态精度达0. 1 nm，达到原子尺度。为此，国际上以顶级的计量机构为代表的单位均部署了诸如NNI、Nanotrace 等工程，开展了“纳米”尺度测量仪器的研制工程，并制定了测量确定度在10 pm 以下的激光干涉测量技术的研发战略。着眼于国际形势，我国同样根据先进光刻机等高端备、先进计量的测量需求，制定了诸多纳米计量技术的研发要。可见，超精密位移测量技术的发展对推进我国众多大高端装备具有重要战略意义，是目前纳米度下测量领域逐步发展的重大研究方向。2 激光干涉测量原理根据光波的传播和叠加原理，满足相干条件的光波能够在空间中出现干涉现象。在激光干涉测量中，由于测量目标运动，将产生多普勒- 菲佐（Doppler-Fizeau效应，干涉条纹将随时间呈周期性变化，称为拍频现象。移/相移信息与测量目标的运动速度/位移关系满足fd = 2nv/ λ ， （1）φd = 2nL/ λ ， （2）式中：fd为多普勒频移；φd为多普勒相移；n 为空气折射率；v 和L 为运动速度和位移；λ 为激光波长。通过对干涉信号的频率/相位进行解算即可间接获得测量目标运动过程中速度/位信息。典型的干涉测量系统可按照激光光源类型分为单频（零差式）激光干涉仪和双频（外差式）激光干涉仪两大类。零差式激光干涉测量基本原理如图1 所示，其结构与Michelson 干涉仪相仿，参考光与测量光合光干涉后，经过QPD 输出一对相互正交的信号，为Icos = A cos (2πfd t + φ0 + φd ) ， （3）Isin = A sin (2πfd t + φ0 + φd ) ， （4）式中：（Icos， Isin）为QPD 输出的正交信号；A 为信号幅值；φ0 为初始相位。结合后续的信号处理单元即可构成完整、可辨向的测量系统。图1　零差激光干涉测量原理外差式激光干涉仪的光源是偏振态相互垂直且具有一定频差Δf 的双频激光，其典型的干涉仪结构如图2 所示。双频激光经过NPBS 后，反射光通过偏振片发生干涉，形成参考信号Ir；透射光经过PBS，光束中两个垂直偏振态相互分开，f2 光经过固定的参考镜反射，f1 光经运动的测量镜反射并附加多普勒频移fd，与反射光合光干涉后形成测量信号Im。Ir = Ar cos (2πΔft + φr ) ， （5）Im = Am cos (2πΔft + φm )， （6）式中：Δf、A 和φ 分别为双频激光频差、信号幅值和初始相位差。结合式（5）和式（6），可解算出测量目标的相位信息。图2　外差激光干涉测量原理零差式激光干涉仪常用于分辨力高、速度相对低并且轴数少的应用中。外差式激光干涉仪具有更强的抗电子噪声能力，易于实现对多个目标运动位移的多轴同步测量，适用于兼容高分辨力、高速及多轴同步测量场合，是目前主流的干涉结构之一。3 激光干涉测量关键技术在超精密激光干涉仪中，波长是测量基准，尤其在米量级的大测程中，要实现亚纳米测量，波长准确度对测量精度起到决定性作用。其中，稳频技术直接影响了激光波长的准确度，决定激光干涉仪的精度上限；环境因素的变化将影响激光的真实波长，间接降低了实际的测量精度。干涉镜组结构决定光束传播过程中的偏振态、方向性等参数，影响干涉信号质量。此外，干涉信号相位细分技术决定激光干涉仪的测量分辨力，并限制了激光干涉仪的最大测量速度。3. 1　高精度稳频技术在自由运转的状态下，激光器的频率准确度通常只有±1. 5×10−6，无法满足超精密测量中10−8~10−7的频率准确度要求。利用传统的热稳频技术（单纵模激光器的兰姆凹陷稳频方法等），可以提高频率准确度，但系统中稳频控制点常偏离光功率平衡点，输出光频率准确度仅能达2×10−7量级，无法完全满足超精密测量的精度需求。目前，超精密干涉测量中采用的高精度稳频技术主要有热稳频、饱和吸收及偏频锁定3 种。由于激光管谐振腔的热膨胀特性，腔长随温度变化呈近似线性变化。因此，热稳频方法通过对谐振腔进行温度控制实现对激光频率的闭环调节。具体过程为：选定稳定的参考频标（双纵模激光器的光功率平衡点、纵向塞曼激光器频差曲线的峰/谷值点），当激光频率偏离参考频标时，产生的频差信号用于驱动加热膜等执行机构进行激光管谐振腔腔长调节。热稳频方法能够使激光器的输出频率的准确度在10−9~10−8 量级，但原子跃迁的中心频率随时间推移受腔内气体气压、放电条件及激光管老化的影响会发生温度漂移。利用稳频控制点修正方法，通过对左右旋圆偏振光进行精确偏振分光和对称功率检测来抑制稳频控制点偏移的随机扰动，同时补偿其相对稳定偏置分量。该方法显著改善了激光频率的长期漂移现象，阿伦方差频率稳定度为1. 9×10−10，漂移量可减小至（1~2）×10−8。稳频点修正后的激光波长仍存在较大的短期抖动，主要源于激光器对环境温度的敏感性，温差对频率稳定性的影响大。自然散热型激光器和强耦合水冷散热型激光器均存在散热效果不均匀和散热程度不稳定的问题。多层弱耦合水冷散热结构为激光管提供一个相对稳定的稳频环境，既能抑制外界环境温度变化对激光管产生的扰动，冷却水自身的弱耦合特性又不影响激光管性能，进而减小了温度梯度和热应力，提高了激光器对环境温度的抗干扰能力，减少了输出激光频率的短期噪声，波长的相对频率稳定度约为1×10−9 h−1。碘分子饱和吸收稳频法将激光器的振荡频率锁定在外界的参考频率上，碘分子饱和吸收室内处于低压状态下（1~10 Pa）的碘分子气体在特定频率点附近存在频率稳定的吸收峰，将其作为稳频基准后准确度可达2. 5×10−11。但由于谐振腔损耗过大，稳频激光输出功率难以超过100 μW 且存在MHz 量级的调制频率，与运动目标测量过程中产生的多普勒频移相近。因此，饱和吸收法难以适用于多轴、动态的测量场合。偏频锁定技术是另一种高精度的热稳频方法，其原理如图3 所示，通过实时测量待稳频激光器出射光与高精度碘稳频激光频差，获得反馈控制量，从而对待稳频激光器谐振腔进行不同程度加热，实现高精度稳频。在水冷系统提供的稳频环境下，偏频锁定激光器的出射光相对频率准确度优于2. 3×10−11。图3 偏频锁定热稳频原理3. 2　高精度干涉镜组周期非线性误差是激光干涉仪中特有的内在原理性误差，随位移变化呈周期性变化，每经过半波长，将会出现一次最大值。误差大小取决光束质量，而干涉镜组是决定光束质量的主导因素。传统的周期非线性误差可以归结为零差干涉仪的三差问题和外差干涉仪的双频混叠问题，产生的非线性误差机理如图4 所示，其中Ix、Iy分别表示正交信号的归一化强度。其中，GR为虚反射，MMS 为主信号，PISn 为第n 个寄生干涉信号，DFSn 为第n 阶虚反射信号。二者表现形式不完全相同，但都会对测量结果产生数纳米至数十纳米的测量误差。可见，在面向亚纳米、皮米级的干涉测量技术中，周期非线性误差难以避免。图4　零差与外差干涉仪中的周期非线性误差机理。（a）传统三差问题与多阶虚反射李萨如图；（b）多阶虚反射与双频混叠频谱分布Heydemann 椭圆拟合法是抑制零差干涉仪中非线性误差的有效方法。该方法基于最小二乘拟合，获得关于干涉直流偏置、交流幅值以及相位偏移的线性方程组，从而对信号进行修正。在此基础上，Köning等提出一种基于测量信号和拟合信号最小几何距离的椭圆拟合方法，该方法能提供未知模型参数的局部最佳线性无偏估计量，通过Monte Carlo 随机模拟后，其非线性幅值的理论值约为22 pm。在外差干涉仪中，双频混叠本质上是源于共光路结构中双频激光光源和偏振器件分光的不理想性，称为第1 类周期非线性。对于此类周期非线性误差，补偿方法主要可以从光路系统和信号处理算法两个方面入手。前者通过优化光路可以将非线性误差补偿至数纳米水平；后者通过椭圆拟合法提取椭圆特征参数，可以将外差干涉仪中周期非线性误差补偿至亚纳米量级；两种均属补偿法，方法较为复杂，误差难以抑制到0. 1 nm 以下。另一种基于空间分离式外差干涉结构的光学非线性误差抑制技术采用独立的参考光路和测量光路，非共光路使两路光在干涉前保持独立传播，从根本上避免了外差干涉仪中频率混叠的问题，系统残余的非线性误差约为数十皮米。空间分离式干涉结构能够消除频率混叠引起的第1 类周期非线性误差，但在测量结果中仍残余亚纳米量级的非线性误差，这种有别于频率混叠的残余误差即为多阶多普勒虚反射现象，也称为第2 类周期非线性误差。虚反射现象源自光学镜面的不理想分光、反射等因素，如图5所示，其中MB 为主光束，GR 为反射光束，虚反射现象普遍存在于绝大多数干涉仪结构中。虚反射效应将会使零差干涉仪中李萨如图的椭圆产生畸变，而在外差干涉仪中则出现明显高于双频混叠的高阶误差分量。图5　多阶虚反射现象使用降低反射率的方法，如镀增透膜、设计多层增透膜等，能够弱化虚反射现象，将周期非线性降低至亚纳米水平；德国联邦物理技术研究院Weichert等通过调节虚反射光束与测量光束间的失配角，利用透镜加入空间滤波的方法将周期非线性误差降低至±10 pm。上述方法在抑制单次的虚反射现象时有着良好的效果，但在面对多阶虚反射效应时作用有限。哈尔滨工业大学王越提出一种适用于多阶虚反射的周期非线性误差抑制方法，该方法利用遗传算法优化关键虚反射面空间姿态，精准规划虚反射光束轨迹，可以将周期非线性误差抑制到数皮米量级，突破了该领域10 pm 的周期非线性误差极限。3. 3　高速高分辨力相位细分技术在激光干涉仪中，相位细分技术直接决定系统的测量精度。实现亚纳米、皮米测量的关键离不开高精度的相位细分技术。相位的解算可以从时域和频域两个角度进行。最为常用的时域解算方法是基于脉冲边缘触发的相位测量方法，该方法利用高频脉冲信号对测量信号与参考信号进行周期计数，进而获取两路信号的相位差。该方法的测量速度与测量分辨力模型可表达为vm/dLm= Bm ， （7）式中：vm 为测量速度；dLm 为测量分辨力；Bm 为系统带宽。在系统带宽恒定的情况下，高测速与高分辨力之间存在相互制约关系。只有提高系统带宽才能实现测量速度和测量分辨力的同时提升，也因此极度依赖硬件运行能力。在测量速度方面，外差激光干涉仪的测量速度主要受限于双频激光频差Δf，测量目标运动产生的多普勒频移需满足fd≤Δf。目前，美国的Zygo 公司和哈尔滨工业大学利用双声光移频方案所研制的结构的频差可达20 MHz，理论的测量速度优于5 m/s。该方法通过增加双频激光频差来间接提升测量速度，频差连续可调，适用于不同测量速度的应用场合，最大频差通常可达几十MHz，满足目前多数测量速度需求。从干涉结构出发，刁晓飞提出一种双向多普勒频移干涉测量方法，采用全对称的光路结构，如图6所示，获得两路多普勒频移方向相反的干涉信号，并根据目标运动方向选择性地采用不同干涉信号，保证始终采用正向多普勒频移进行相位/位移解算。该方法从原理上克服了双频激光频差对测量速度的限制，其最大测量速度主要受限于光电探测器带宽与模/数转换器的采样频率。图6 全对称光路结构在提升测量分辨力方面，Yan 等提出一种基于电光调制的相位调制方法，对频率为500 Hz 的信号进行周期计数，该方法实现的相位测量标准差约为0. 005°，具有10 pm 内的超高位移测量分辨力，适用于低速测量场合。对于高速信号，基于脉冲边缘触发的相位测量方法受限于硬件带宽，高频脉冲频率极限在500 MHz 左右，其测量分辨力极限约为1~10 nm，难以突破亚纳米水平。利用高速芯片，可以将处理带宽提升至10 GHz，从而实现亚纳米的测量分辨力，但成本较大。闫磊提出一种数字延时细分超精细相位测量技术，在硬件性能相同、采样频率不变的情况下，该方法利用8 阶数字延迟线，实现了相位的1024 电子细分，具有0. 31 nm 的位移测量分辨力，实现了亚纳米测量水平。该方法的等效脉冲频率约为5 GHz，接近硬件处理极限，但其测量速度与测量分辨力之间依旧存在式（7）的制约关系。德国联邦物理技术研究院的Köchert 等提出了一种双正交锁相放大相位测量方法，如图7所示，FPGA 内部生成的理想正交信号分别与外部测量信号、参考信号混频，获取相位差。利用该方法，可以实现10 pm 以内的静态测量偏差。双正交锁相放大法能够处理正弦模拟信号，充分利用了信号的频率与幅值信息，其测量速度与测量分辨力计算公式为vm/0. 1λ0= Bm， （8）dLm/0. 5λ0=Bs/dLc， （9）式中：Bs为采样带宽；dLc为解算分辨力。图7 双正交锁相方法测量原理可见，测量速度与测量分辨力相互独立，从原理上解决了高测速与高分辨力相互制约的矛盾，为激光干涉仪提供了一种兼顾高速和高分辨力的相位处理方法。在此基础上，为了适应现代工业中系统化和集成化的测量需求，美国Keysight 公司、Zygo 公司及哈尔滨工业大学相继研发出了光电探测与信号处理一体化板卡，能够实现高于5 m/s 的测量速度以及0. 31 nm 甚至0. 077 nm 的测量分辨力。此外，从变换域方面同样可以实现高精度的相位解算。张紫杨等提出了一种基于小波变换的相位细分方法，通过小波变换提取信号的瞬时频率，计算频率变化的细分时间，实现高精度的位移测量，该方法的理论相位细分数可达1024，等效位移精度约为0. 63 nm。Strube 等利用频谱分析法，从信号离散傅里叶变换（DFT）后的相位谱中获取测量目标的位移，实现了0. 3 nm 的位移测量分辨力。由于采用图像传感器为光电转换器，信号处理是以干涉条纹为基础的，适用于静态、准静态的低速测量场合。3. 4环境补偿与控制技术环境中温度、气压及湿度等变化会引起空气折射率变化，使得激光在空气中传播时波长变动，导致测量结果产生纳米量级的误差。环境误差补偿与控制技术是抑制空气折射率误差的两种重要手段。补偿法是修正空气折射率误差最常用的方法，具有极高的环境容忍度。采用折光仪原理、双波长法等可以实现10−7~10−8 量级的空气折射率相对测量不确定度。根据Edlen 经验公式，通过精确测定环境参数（温度、湿度和大气压等），可以计算出空气折射率的精确值，用于补偿位移测量结果，其中温度是影响补偿精度的最主要因素。采用高精度铂电阻传感器，设备可以实现1 mK 的温度测量精度，其折射率的补偿精度可达10−8量级，接近Edlen 公式的补偿极限。环境控制技术是保证干涉仪亚纳米测量精度的另一种有效方法。在现行的DUV 光刻机中，采用气浴法，建立3 mK/5 min 以内恒温、10 Pa/5 min 以内恒压、恒湿气浴场，该环境中能够实现10−9~10−8 量级空气折射率的不确定度。对于深空引力波探测、下一代质量基准溯源等应用场合，对激光干涉仪工作的环境控制要求更为严苛，测量装置需置于真空环境中，此时，空气折射率引入的测量误差将被彻底消除。4 激光干涉测量技术发展趋势近年来，超精密位移测量的精度需求逐渐从纳米量级向亚纳米甚至皮米量级过渡。国内在激光干涉仪中的激光稳频、周期非线性误差消除和信号处理等关键技术上均取得了重大的突破。在LISA 团队规划的空间引力波探测方案中，要求在500 万千米的距离上，激光干涉仪对相对位移量需要具有10 pm 以内的分辨能力。面对更严苛的测量需求，超精密位移测量依然严峻面临挑战。激光干涉测量技术的未来发展趋势可以归结如下。1）激光波长存在的长期漂移和短期抖动是限制测量精度提升的根本原因。高精度稳频技术对激光波长不确定度的提升极限约为10−9量级。继续提升激光波长稳定度仍需要依托于下一阶段的工业基础，改善激光管本身的物理特性，优化光源质量。2）纳米级原理性光学周期非线性误差是限制激光干涉仪测量精度向亚纳米、皮米精度发展的重要瓶颈。消除和抑制第1 类和第2 类周期非线性误差后，仍残余数十皮米的非线性误差。由于周期非线性误差的表现形式与耦合关系复杂，想要进一步降低周期非线性误差幅值，需要继续探索可能存在的第3 类非线性误差机理。3）测量速度与测量分辨力的矛盾关系在动态锁相放大相位测量方法中得到初步解决。但面对深空引力波探测中高速、皮米的测量要求，仍然需要进一步探索弱光探测下的高分辨力相位细分技术；同时，需要研究高速测量过程中的动态误差校准技术。高速、高分辨力特征依旧是相位细分技术今后的研究方向。全文下载：亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器_激光与光电子学进展.pdf

清晨，长春街头刮起寒风。5日早上六点半，记者与王智相约在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（以下简称长春光机所）大门口见面。“他每天都是最早来单位的那拨人之一。”门卫大爷开门时，竖着大拇指称赞，“这群人真敬业！”进楼后，王智直奔实验室。昨晚进行的惯性传感器电容位移传感测试刚出了结果。他操作电脑，仔细查看结果后，严肃的神情才略有放松。“结果还行。”他说。这是国庆节假期的第五天，王智如往常工作日一样，很快就进入工作状态。“指标一天不达标，没法在家安心休息。”他说。长春光机所空间一部研究员王智带领团队参与的是空间引力波探测“太极计划”项目。为了捕捉引力波信号，2017年，由中国科学院发起的“太极计划”正式启动。2019年8月，我国首颗空间引力波探测技术实验卫星“太极一号”成功发射。“太极一号”上有三个关键有效载荷，堪称系统“大脑”，王智团队参与其中两个有效载荷研制。结合“太极一号”在轨实验结果，王智团队正在为“太极计划”研制性能和指标更高的新一代载荷。“一切还是老样子，团队在忙、‘崩溃’、调整状态、继续攻关中反复循环。”他笑着说。自2018年起，记者一直关注着团队研发动向。每天，王智和同事们或是在布满仪器的实验室里做测试，或是开会讨论下一步工作方向。“一点都不‘酷’，还很枯燥。”他说。10月5日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所空间一部研究员王智（左后）与同事在实验室进行测试。新华社记者 孟含琪 摄以最近攻关的惯性传感器电容位移传感为例，为了在宇宙存在的无数声音中捕捉到微弱的引力波信号，需要保证惯性传感器在太空中非常稳定，其一旦受其他因素干扰产生偏离，电容位移传感就能测出偏离值，帮助系统纠正偏离。从今年6月到8月，团队反复研制和试验，但惯性传感器电容位移传感的研发始终没有突破。王智心里火急火燎，但不敢催，生怕大家压力更大。负责惯性传感器电容位移传感攻关的汪龙祺钻进实验室里两个月，几乎不怎么说话。9月中旬，团队终于有了突破。王智发现，汪龙祺的话又逐渐多了起来。汪龙祺告诉记者，取得突破其实没什么诀窍，查海量文献找办法，开会集思广益，请教老专家，最后他们将每一个元器件性能逐一提升改造，再化零为整，使惯性传感器电容位移传感比原有设计方案性能提升4倍。短暂的喜悦过后，他们又投入到新任务中，努力实现“积跬步，至千里”。其实，很多变化也在发生。王智说，团队承担的项目属于面向世界科技前沿的项目，短期内很难出成果，也写不出论文。为了鼓励大家“坐稳冷板凳”，长春光机所将其作为重大创新专项给予经费支持，以实际贡献作为人才晋升的关键考核指标，团队成员从2018年的几个人增加到如今的20多人，大家心无旁骛地搞研究，凝聚力进一步增强… … “项目难度很高，但大家干劲很足，这个国庆节大部分人都主动要求来加班。”王智说，“我们用实际行动为祖国庆生。因为面向国家战略需求进行研究，就是科学家的职责和使命。”10月5日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所空间一部研究员王智（左二）与同事边吃午饭边讨论工作。新华社记者 孟含琪 摄午休时间，王智本来想请大家出去吃饭，但被大家拒绝了。“趁着中午休息一会儿，下午还有测试要做”“中午要讨论昨天的测试结果”… … 他和汪龙祺也拿着泡面走进会议室，边吃饭边讨论起来。

7月7日，记者从广东工业大学获悉，该校生物医药学院教授赵肃清团队与美国加州大学戴维斯分校合作，首次制备出高亲和力的可溶性环氧化物水解酶抑制剂（EC5026和TPPU）纳米抗体，并用于开发灵敏的间接竞争性免疫分析传感器。相关研究论文发表于《药物分析学报》（Journal of Pharmaceutical Analysis）。该论文第一作者为杨慧怡，通讯作者为赵肃清和Bruce D. Hammock。　　该研究以可溶性环氧化物水解酶抑制剂（EC5026和TPPU）为分析物，报道了一种基于纳米抗体的酶联免疫分析传感器的构建与应用，该传感器能够实现灵敏地、准确地对抑制剂给药后临床人体样品中抑制剂含量的监测。可溶性环氧化物水解酶抑制剂在各种动物模型中都是有效的神经性疼痛镇痛药，其中EC5026已成功通过美国FDA人体1a期试验，TPPU因其优异的药代动力学特征、靶效和体内生物活性被广泛应用于研究。　　该研究首次制备了高亲和力的EC5026和TPPU纳米抗体，并用于开发灵敏的间接竞争性免疫分析传感器。该传感器具备较高的精密度和准确度。研究表明，纳米抗体为小分子药物的临床开发和治疗过程中的监测提供了质谱法的替代和补充分析工具。

3D工业视觉传感器供应商立仪科技获得浩澜资本独家投资的数千万人民币的A轮融资，据悉，本轮融资将主要用于市场拓展、新品研发及补充流动资金。立仪科技成立于2014年，是一家专注于精密光学检测的公司，旗下有光谱共焦传感器等产品。公司的点共焦传感器已经量产，且服务多家头部客户；线共焦产品原型机已打样，正研发商业量产版本。主流的3D工业视觉的技术路线包括线激光、光谱共焦、条纹结构光、TOF、双目等技术路线。光谱共焦传感器是目前市场精度最高且能应用于各种特性的表面和复杂形状测量场景的新型传感器，其市场主要被基恩士等国外厂商占据，但国产率较低。光谱共焦传感器的原理是通过使用特殊的透镜及光学系统，拉开不同颜色光的焦点分布范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射波的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。光谱共焦目前正处于技术迭代周期。激光技术的研发目前已逐渐见顶，而市场对测量传感器的需求越来越广，市场需求正从人工监测向自动化监测产品发展。与传统的激光相比，光谱共焦技术精度较高，且材料适应性更广，稳定性更高。立仪科技创始人兼CEO刘杰波表示：“我们之前曾做过三维激光扫描研究，过程中意识到激光扫描很难完成一些对高精度扫描有需求的测试任务，便开始向光谱共焦转向。”目前，立仪科技有点共焦位移和线共焦位移两类传感器产品，产品型号超百种。点共焦传感器上，立仪科技在拿到天使轮融资后，于2019年完成点共焦原型产品的量产。至今，公司的点共焦已经迭代到第三代，进入华为、三星、苹果供应链。除在产品设计上有着多项创新外，公司还开发了为国外禁止出口的激光干涉光谱共焦校准仪等专用仪器工装，且工艺经过量产验证，能帮助产品更好生产。在性能上，其传感器可以做到光强提高200%，线性度提高200%，反射干扰降低50%。价格上，产品售价比国外产品低。产品示意图公司2020年开始研发线共焦产品，目前已有原型机，是已能完成三维形状物体的扫描，具有精度高材料适应性好、无盲区、效率高等优点，可广泛应用于半导体、新能源、3C等领域。本轮融资完成后，立仪科技也将集中精力，研发商业化量产版本线共焦产品。未来，公司还将继续研发高光谱+AI传感器和光纤传感器。

3月18日，重庆市政府印发《重庆市战略性新兴产业发展“十四五”规划(2021—2025年)》(下称《规划》)，提出到2025年，全市战略性新兴产业规模将实现万亿级，战略性新兴产业主营收入超过10亿元的企业突破100家，规模以上工业战略性新兴产业企业达到1500家，新型研发机构数量突破300家。《规划》提出，重庆“十四五”战略性新兴产业发展将围绕“创新驱动、聚焦重点、集群发展、绿色低碳、开放协作”这5个要素进行。其中，重庆市将通过实施战略性新兴产业5类工程，包括集群梯次发展工程、优质企业培育工程、科技创新引领工程、应用示范推广工程和成渝协同发展工程，在发展战略性新兴支柱产业方面，重点建设集成电路、新型显示、新型智能终端、新能源汽车和智能汽车、生物医药、先进材料、高端装备制造、绿色环保、软件和信息技术服务、新兴服务业等10类产业；在面向未来的先导性产业方面，重点建设卫星互联网、氢能与储能、生物育种与生物制造、脑科学与类脑智能和量子信息等5类产业。其中，在高端装备制造方面，《规划》提出，顺应装备高端化、智能化、成套化发展趋势，聚焦汽车、3C(计算机、通讯和消费电子)、无人机等产业发展迫切需求，进一步提升关键基础件的精度和可靠性，提升传感器和智能仪器仪表产业发展能级，提升新能源装备竞争优势，推动智能制造装备迈向中高端水平，在若干细分领域打造西部领先、国家重要的产业集群。提升先进传感器和智能仪器仪表产业发展能级。面向重庆市智能终端、智能汽车、智能制造和智慧城市等领域应用需求，发展互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器、车身传感器/控制器、超声波传感器、流量传感器、惯性传感器、位移传感器、智能安防设备等传感设备。支持龙头企业整合市内外创新资源建设国家级产业创新平台，牵头开展核心技术攻关、产业孵化、产业招商等工作，提升产业发展能级。依托汽车、智能终端、装备制造等产业优势，加强产业链上下游合作，完善先进传感器及智能仪器仪表配套体系。推动智能制造装备迈向中高端水平。瞄准六轴机器人、双腕机器人、双旋机器人等工业机器人细分领域，提升产品的柔性化程度及低成本生产能力。依托机器人检测与评定中心，进一步完善机器人检验与认证体系，加快推动重庆市乃至西部地区机器人检测认证工作迈向制度化、规范化。拓展焊接、喷涂、柔性抛光等工业机器人应用领域。完善伺服电机、减速器、视觉系统、控制系统、视觉传感器、力矩传感器和碰撞传感器等关键零部件配套体系。发挥齿轮产品等制造优势，发展精密级高效磨齿机、滚齿机、数控加工中心和数控锻压机等中高档数控机床，引进培育高速钻攻中心等高端数控机床企业。紧抓增材制造产业高速发展契机，引进培育激光、电子束、离子束驱动的增材制造装备企业及超细合金粉末、高性能塑料粉末等企业，打造增材制造装备产业链。推动增材制造装备在工业机械、航空航天和汽车等领域的应用。在高端装备制造产业发展重点方面，《规划》提出，加快仪器仪表基地、呼吸机用流量与压力传感器、智能安防设备产业园等项目建设，扩大传感设备规模。此外，《规划》还部署了五项保障措施，包括加强组织领导、加强政策扶持、加强产业引培、加强人才供给和加强考核监测。

近日工业智能传感器解决方案提供商「志奋领科技」宣布完成近千万级美元A+轮融资，顺为资本领投、怡合达联合投资。势能资本担任独家财务顾问。本轮融资将主要用于两个方面。一是研发方面，公司将持续扩建底层研发团队，支撑光电底层器件和芯片、光学研发，同时建设精密光学等5个实验室，升级智能化车间、提升产能；二是业务方面，持续升级公司各部门业务流，新增6个外地办公室，形成能支撑200家核心经销商、4万家用户的服务网络，进一步提升客户体验和服务速度，提供更全面的工业智能传感器解决方案。志奋领科技成立于2010年，主要聚焦工业级智能传感器的开发，面向3C电子、新能源、半导体制程、医疗电子和服务机器人行业，提供包括高精度定位、图像识别、精密测量以及避障安全在内的精密智能和AI传感解决方案。近年来，工业物联网的高速发展大大刺激着工业传感器市场的爆发，其中智能传感器作为工业领域的重要器件之一，可广泛应用于3C电子、锂电/光伏、智慧物流、半导体、医疗检测、工程机械等领域，国产替代需求显著增长。据MarketsandMarkets报告数据，全球工业传感器市场规模预计将从2021年的206亿美元（约1380.4亿人民币）增长到2026年的319亿美元（约2137.6亿人民币），从2021年到2026年期间，该市场预计将以9.1%的复合年增长率增长。但一直以来，全球工业传感器市场主要被欧姆龙OMRON、松下Panasonic、西克SICK、基恩士KEYENCE等国外品牌占据，加之他们在半导体新材料与核心技术专利的布局积累，我国工业智能传感器市场的国产化率较低，约30%左右，面临着缺乏核心技术、低端产品过剩、产品同质化严重等挑战。在志奋领科技创始人&CEO唐可信看来，工业智能传感器除了做好底层技术之外，还需要提升品牌力，构建销售网络。他表示，公司成立最初以代理德国工业传感器品牌为主，2011年成立了明治传感器（meijidenki）品牌，与中国台湾SCAN公司战略合作，形成了最初的产品线，并在2014年开始自主研发工业光电传感器产品。如今，志奋领科技已构建精密定位传感器、深度学习、精密测量传感器、安全避障传感器四大产品线，覆盖14个品类和93种不同系列。其中，公司最为核心的是精密定位传感器和精密测量传感器两大品类。例如，在动力电池制程中，明治传感器可以提供动力电池极片的厚度测量、颜色识别、单双张检测、微米级激光纠编、涂层厚度测量产品，基于深度学习的瑕疵、划痕检测，智能读码和安全防护的AI传感方案，同时还可以支持禁铜场景、耐高温感应以及干燥强酸环境等特殊场景应用的传感器定制化服务。唐可信谈道，公司的核心竞争优势在于拥有领先的光电技术、AI底层研发力、工业级传感器研发能力、光学正向设计能力、精密工艺平台支撑力，覆盖芯片、算法、材料、光学和精密工程等方面，其产品能更好应对恶劣的工业环境。此外，志奋领科技的封装工艺能很好提升产品的一致性，保证产品在工业现场的稳定使用。“与同行相比，我们是一家理念驱动，能击穿底层和拥有正向研发能力的工业级传感器企业，我们的差异化是不仅能提供高品质、高精度、智能一体化的工业传感器产品，还能提供一站式的用户体验。”唐可信说。这一系列能力的实现与志奋领科技的团队息息相关。公司团队规模将近300人，研发人员占比超30%，核心团队来自西门子、华为、英特尔、霍尼韦尔、伊顿、西克、基恩士等知名企业，汇聚了一批业界优秀的科学家和工程师，在工业传感领域拥有20年产业及技术经验。如今，志奋领科技已拥有超120余项核心专利，在深圳和长沙设有研发中心，年产能达千万只。其中，仅今年，明治传感器出货量将超600万只，全球代理商已超过200家，客户遍布在60个国家及地区，合作客户达1.6万家以上。许多知名制造商、供应商和集成商均使用公司产品以确保所生产的产品符合用户的质量要求，这些用户包括苹果、华为、富士康、三星、比亚迪、ATL、三一重工等企业。营收方面，2021年公司收入持续增长，已实现近亿元营收，其中60%以上来自3C电子和新能源市场，预计今年总营收将增长120%。同时，志奋领科技的国际市场也在快速发展，2021年国际市场营收占比将近20%。体系方面，志奋领科技正在全面提升新产品开发上市、生产制造发货、销售服务的业务流，通过主流程的梳理，明晰各部门的权、责、分工。“清晰明确的业务流是志奋领科技成为行业破局者的重要保障。”唐可信说。“尽管疫情对供应链造成了一定影响，但我们正在通过建立安全库存来缓解供应链压力。”唐可信提到，从另一方面看，疫情也加速了智能制造领域的无人化和自动化发展，一定程度上将利好行业成长。接下来一年，志奋领科技将基于自研芯片、实验平台和工艺体系，陆续推出微米级激光位移、精密TOF测距光电、高精度光纤放大器、颜色传感器、智能读码器和视觉传感器、IO-link系列传感等产品，进一步升级产品的一体化、高精度、易操作和经济性等特点。此外，公司还将基于客户需求，加快定制化产品的开发，为工业领域客户提供一站式的智能传感器解决方案。顺为资本投资副总裁马艳新表示：“工业传感器是自动化领域的底层器件，是智能制造的感知基础。工业传感器需求场景的碎片化、使用安装等多样化，初创企业冷启动难、规模化难、品牌化难。我们很高兴看到志奋领经过多年积累，已在规模化和品牌化上取得突破，期待公司能抓住发展契机，在工业传感器领域持续精进，成就国产工业传感器领先品牌。”怡合达董事长金立国表示：“志奋领作为国产传感器主流供应商，一直非常重视产品建设，每年投入大量的资金在新产品的设计研发，也在品牌塑造和海外市场推广上持续发力。依托中国完善的产业链的优势，在确保产品品质同时又能很好的解决产品的交付问题。我们相信，在国产替代的大背景下，随着其产品线不断丰富和性能的稳定，志奋领将在这条赛道上走得更远更坚实。”

“2024中国检测技术与半导体应用大会暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛”于2024年7月11-13日在上海虹桥新华联索菲特大酒店隆重举行。大会以“大会报告+分会报告+产品展览+高校科技成果展示+学术墙报+晚宴交流”的形式召开，91个口头报告专家及15个提供墙报的学生，分别来自于半导体检测领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体检测企业等。大会设立了包括集成电路晶圆级缺陷检测技术、半导体器件可靠性及失效分析、集成电路先进制造及封装技术、半导体检测设备及核心零部件等在内的15个分会场报告，多样的报告主题讨论极大促进了与会者之间的互动交流和融合创新。会场外也精心布置了国内多家知名企业展位，如安捷伦、珀金埃尔默、北方华创等，他们纷纷展示了各自在半导体量检测领域的新技术、新设备。会议期间，仪器信息网特别采访了安徽见行科技有限公司联合创始人孙洪明。在采访中，孙老师就见行科技在半导体量检测设备传感器方面的发展现状，见行科技系列产品技术优势、市场应用情况，最近一年取得的成绩以及未来的发展规划，后摩尔定律时代半导体量检测设备零部件面临的挑战和机遇等话题进行了深入的交流和分享。以下是现场采访视频：纳米级产品系列仪器信息网：近年来，贵公司在半导体量检测方面提供了什么样的解决方案及产品？孙老师：大家好，我是见行科技联合创始人孙洪明，也很高兴能够有机会参加仪器信息网采访，谢谢大家。见行是一个小微公司，主要提供三个系列的产品，一个系列是电涡流传感器，一个系列是电容传感器，还有一个是压电位移台，这三个系列的产品都是纳米级的。涡流、电容、压电材料是技术核心仪器信息网：其运用的主要原理与技术有哪些？孙老师：我给大家分别简单的介绍一下。电涡流传感器的原理是通过涡流的原理测位移，那么涡流大家都比较熟知的可能是家里的电磁炉，那么电磁炉是通过涡流产生热，那么我们电涡流传感器是通过探头产生的涡流在目标导体里边，涡流会对原来的电感和电阻产生影响，它跟位移有一个函数关系值，那么我们通过解调里边的电感和电阻的数值来反映距离的值。第二个电容传感器是两个极板，那么极板之间它有一个电容的容值，通过容值的这种分析来反映它的这种距离。那么第三个就是说压电材料，你给它一个电，那么它会有一个形变，这个形变是非常微小的，但是非常迅速，那么它也可以达到纳米级的这种促动，这是三个产品的基本原理。不断实现技术突破，成就见行特色优势仪器信息网：系列产品有哪些创新点？孙老师：比如说电涡流传感器，它最大一个突出点，它可以适应各种检测环境，它对检测环境不挑剔，比如说一些有油污、水污它都可以去适应，但它最大的一个弱点是它的温漂系数非常大，因为你比如说温度的改变，本身它的线圈的电阻值和电感值，它自身就会发生变化。全世界通行的方法都是说只用它的电感值的变化来反映它的距离，电阻值这个参数认为没有用。那么见行，利用电阻值的变化来反馈它的温度来进行闭环的温度补偿，也就是说我们在测量的时候，我们不用去测环境的温度，我们直接测电阻值，直接就能反馈出温度的变化。所以在温飘这个领域，见行在全球的领域是最优的。那么涉及到电容，因为我们涉及到纳米级的测量，就是说涉及到这种溯源和传递，比如说标准的定义，这个很难，那么如果我们去做的时候，包括现在我们去标定的时候，我们也用的是国外的一些仪器和设备，你在没有标准值的时候，那么如何做出自己的标准，那么见行它有自己的独特的这种工艺，比如说我们自己制作了我们自己的标准的这种探头。那么另外还有涉及到一些细节，比如说电容传感器探头接触面的这种工艺是极其复杂的，那么我们在这里边进行了极其深入的研究，那么研究的时候，我们要面对国情，一开始我们设计的也是全世界最领先的，但是国内制造不出来，我们的配套加工不出来，那么我们会降指标，后边又出现了良率的问题。比如说我们可以达到国外的这种水准，在国内这种良率，它只有百分之三四的时候，你也不可能进行产业应用和批产。经过不断的这种磨合，现在我们探头既能国内生产，良率指标又很高，然后又不弱于国外。那么再说到就是压电制动器，它是一个触动的一个装置，我们做的基本上都是闭环反馈，因为本身我们有了位移传感器，我们用的就是电容位移传感器它所反馈的，那么我们的电容传感器，在做促动器这个行业里边，见行的位移传感器应该是最好的，所以我们的反馈也是最好的，这就是见行的产品的这种特色和优势。我补充下，见行两个字，“见”就是看见，看见就是测量、传感，那么“行”就是制动、触动、推动。所以见行这两个字就代表着见行所从事业务。“看得见”又“看得准”仪器信息网：相关解决方案/产品市场应用情况如何？帮助客户解决了哪些问题？孙老师：现在见行传感器是最成熟的，那么传感器里边，尤其是电涡流传感器是最为成熟的，我们投入的时间和精力也是最多的，我们主要是帮助客户解决的是看见这个问题，看见这个问题其实就是一个测量的问题。那么比如说我们所有的量检测设备，这里边包括我们的光刻设备里边，那么首先第一个你要解决的是看见的问题，第一你看得见，第二你要看得准，这个问题是非常关键的问题，我们相当于给我们的下游的包括这次会议的一些设备商比如说量检测的设备，那么比如说键合类的设备，比如说光刻类的设备，那么首先它要解决看见的问题。见行在位移这个领域能提供全世界最先进的传感设备给我们的客户，助力他们更好的去发展。瞄准国内空白领域，注重零部件底层超越仪器信息网：您是如何进入这个行业的？能否简单说下公司发展历程？孙老师：这个可以聊一聊，因为今天会议是在上海，其实我去安徽合肥去创立公司之前，其实我就是在虹桥这一边是一个偶然的因素。那么我想去做一点事情，当时因为我们整个团队都是中国科学技术大学的，当时实验室有三个技术领域这个方向，那么我就当时用了半年的左右的时间去调研，调研我就选择了这个方向，选择这个方向的原因有几条，第一，这个的确是国内的空白，没有其他企业去做。第二它又足够的高端，因为全世界从事这个领域，能够达到纳米级的这种电容电涡流这种检测，包括制动，全世界也不会超过10家的这种企业。我们从事企业，就是说赚钱是我们的首要的目标，但除了赚钱，还得做一点有意义的事情。所以当时我就觉得这个方向这个领域应该是值得去做的，所以我们我回到合肥之后，跟我们几个合伙人，当时就决定在这个领域方向去发力去做，但是具体电容、电涡流传感器，包括压电制动系统应用到哪个领域和方向，我们当时并不是很清晰。然后后边的事情大家就知道了，美国和中国之间这种贸易制裁，一些核心的元器件，已经开始限定了之后，反而是给了见行一个机会。03年之前见行几乎没有做市场推广和宣传，客户都是通过一些媒体，通过一些有学术论文他们去查去找。那么在中国在这个领域这个方向，我们可以查连续十几年在这个方向都有科研，就是中国科学技术大学传感与制动实验室，然后找到实验室了，然后他就找到我们公司。说一下我们的营收，我们19年成立了公司，一直到22年8月份，我们基本上没有营收，因为那时候我们都闷头研发，但是在这个期间国内的一些Top级的一些企业它已经找到了我们，找到我们之后，我们当时是不卖给他东西，因为那时候东西我没有做好，因为我觉得我卖给你，我是不负责任，你可以免费去用，一直他就这么去用。原来都是客户找我们，几乎多数是通过论文和文献的方式，他找到我们的，然后他找到我们之后，他提出他的需求，我们就给他定制化的这种研发，然后一点点做。那么你看到22年8月之后，尤其是电涡流传感器，稳定了之后，我就开始进行销售。那么22年我的营收，订单额是400万左右，那么23年一年就达到2,400万，那么今年上半年已经达到了去年的营收这种水准，那么所以这也是我们前期都是客户来找我们，然后我们去帮他去把他这种功能去完善。那么在这个过程中，我觉得也是核心的元器件，或者是说产业的这种新兴者的必经的路径。那么产业链上下游要有一个紧密的一种结合。第一，做核心元器件也有做核心元器件的这种操守，你做这个事情你要做得好，你要做到极致，你要能跟全世界最顶级的企业进行PK，你要坚守这个原则，你有问题的东西不要去给客户，你给客户你会给他添麻烦。第二作为产业链，上游的企业对下游企业那也要有一个支撑。那么包括就是说你的资金价格或者是应用场景，真正是你的核心合作伙伴，你要给他去开放，你要去磨练，你要有给他这种成长空间。所以今天走到我们这种比较紧密的这种结合方式，用我的客户说，我们见行的电涡流传感器真正达到了世界领先的这种水准，因为这也是超出他们意料之外的。那么原来他们用国外的产品的时候，比如说我们说做光刻那一块，他的供应商，国外采用的供应商，同时也是荷兰A公司的供应商，那么A公司明确规定最顶级的那种产品，它的供应链是不可能给大陆地区的这些供应商的。如果所有的这种元器件都是这样，那么我们国内这种半导体的产业，你就是不可能存在超越，那么超越的根和源在哪？那么我们必须从最底层，比如说我一个电涡流传感器，那么可能在整个光刻机里边，10万个零部件里边，我只占一两个，那么这一两个重不重要？重要，如果所有10万个零部件，都能从最底层去超越国外，那么我们再加上材料再加上工艺，我们就有超越的这种可能。但是如果你不给产业这么小的这种根枝末梢，你不给他去成长的这种空间的时候，那么他没法成长起来，你就对付用的时候，永远我们是不会超越到国外的这种文化产业水准的。对标业界顶级企业，横向拓宽发展渠道仪器信息网：贵公司未来有哪些发展规划？孙老师：那么首先的第一点就是说面向于半导体的这种产业，见行现在只能是证明，我们现在所从事的这块业务，是被我们的产业被我们的合作伙伴认可了，只能是初步的证明了见行现在能够立足了。那么包括像这次会议，那么我们来也向产业做更多的这种学习，做更多的了解。那么看看见行能不能在整个半导体的这种产业链，无论是光刻设备、量检测设备、键合设备、封装设备里边是否能够从事更多的工作。那么第二，那么见行也想把见行这种前面经过市场实际的验证的这种模式，继续去横向的去推广，从事更多的种类或者是品类这种工作。那么另外本身就是说因为见行做的东西就是非常小，那么就是说见行也会在其他的领域，比如说我们会面向航天航空，比如说或者是像军工或者是一般的大众类的这种产业去发展。那么首先见行特征有几点，包括见行今天能做到这个水平的原因，就是说跟我们的出发或者是使命是相关的。第一，一定是对标国际最顶级的品牌的最顶级的这种产品，这点是不容置疑的。那么前面说到的其实是侥幸进入半导体这个行业，但是半导体对核心元器件的需求量非常小。那么第二个我对标的一定是有大市场的，因为在广在的泛在的其他的工业领域，我们还是有很多的核心的这种元器件，是被国外卡脖子的，因为制约工业的核心的三个要素就是传感、材料和工艺。那么见行尤其是传感领域，在更多的产业领域做出自己的贡献。研发投入不设限是见行高速发展的底气仪器信息网：随着芯片的制程需求越来越精密，您认为这对半导体量检测设备的零部件带来了哪些机遇和挑战？ 孙老师：现在这两天我参加会议的时候，大家更多讨论的就是摩尔定律，那么因为我刚刚上午参加一个会议，苏州一家企业他说他给出了一张数表，那么从22纳米制程之后，光刻这个领域，摩尔定律渐渐就开始失效，但是往更深度的时候，路线在短时间内是不可变的。那么这个时候就要求尤其是见行，从事精密这个领域的，就需要我们做更多的工作，那么去做更深入的这种研发。这种研发不只是一个全世界顶标级的这种企业，它不只是一种技术层面的研发，包括一些理论层面的这种支撑。如果你理论层面支撑不够的时候，你只跨越了技术的门槛的时候，你是到达不了国际顶尖的这种企业的。那么所以在这个方向的时候，新的产业和领域，更精密的时候，需要大家做更多的投入做更多的工作，尤其是研发的投入。这一点我补充一下，见行科技之所以能做到今天，包括当下见行做所有的研发，是不做限制的。我们的研发部门，他要什么仪器，可以买什么仪器，要什么设备，可以买什么，没有预算管制，无限制投入，因为我们的PK的是最顶级的企业。

成果简报基于量子特性，电子自旋传感器具有高灵敏度，可以广泛应用于探测各种物理化学性质，如电场、磁场、分子或蛋白质动力学以及核或其他粒子等。这些独特的优势和潜在应用场景，使基于自旋的传感器成为当前热点的研究方向。Sc3C2@C80具有由碳笼保护的高度稳定的电子自旋，适用于多孔材料内的气体吸附检测。Py-COF是一种最近出现的具有独特吸附性能的多孔有机框架材料，它使用具有甲酰基和氨基的自缩合构建块制备，其理论孔径为1.38 nm。因此，一种金属富勒烯Sc3C2@C80单元（尺寸约0.8 nm）可以进入Py-COF的一个纳米孔。中国科学院化学研究所王太山研究员开发了一种基于金属富勒烯的纳米自旋传感器，用于探测多孔有机框架内的气体吸附情况。将顺磁性金属富勒烯，Sc3C2@C80嵌入基于芘基的共价有机框架(Py-COF)的纳米孔中。使用EPR技术(国仪量子EPR200-Plus)记录嵌入Sc3C2@C80自旋探针的Py-COF内吸附的N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8。研究表明，嵌入Sc3C2@C80的EPR信号有规律地随Py-COF的气体吸附性能有关。研究结果以“Embedded nano spin sensor for in situ probing of gas adsorption inside porous organic frameworks”为题，发表在Nature Communications上。利用 Sc3C2@C80 的分子自旋探测 Py-COF 的气体吸附性能在研究中，作者使用一种具有顺磁性金属富勒烯，Sc3C2@C80(尺寸约0.8 nm)作为自旋探针嵌入到基于芘基的COF(Py-COF)的一个纳米孔，检测Py-COF内的气体吸附。然后，通过记录嵌入的Sc3C2@C80 EPR信号，研究了Py-COF对N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8气体的吸附性能。研究表明，Sc3C2@C80的EPR信号有规律地随Py-COF的气体吸附性能有关。并且与传统的吸附等温线测量不同，这种可植入的纳米自旋传感器可以通过原位实时监测来探测气体的吸附和解吸。所提出的纳米自旋传感器还用于探测金属-有机框架(MOF-177)的气体吸附性能，证明了其多功能性。气体吸附性能与EPR信号的关系气压对EPR信号的影响EPR信号线宽分析用Sc3C2@C80的分子自旋法探讨MOF-177的气体吸附过程摘要Nature Communications：嵌入式纳米自旋传感器用于原位探测多孔有机框架内气体吸附Embedded nano spin sensor for in situ probing of gas adsorption inside porous organic frameworks. Nature Communications (2023)自旋传感器因其高灵敏度而备受关注。在此，我们开发了一种基于金属富勒烯的纳米自旋传感器，用于探测多孔有机框架内的气体吸附情况。为此，我们选择了顺磁性金属富勒烯Sc3C2@C80，并将其嵌入芘基共价有机框架（Py-COF）的纳米孔中。使用电子顺磁共振波谱（EPR）技术检测了Sc3C2@C80在Py-COF中吸附N2、CO、CH4、CO2、C3H6和C3H8后的信号。结果表明，嵌入Sc3C2@C80后EPR信号有规律变化，这与Py-COF的气体吸附性能有关。与传统的吸附等温线测量方法不同，这种植入式纳米自旋传感器可以对气体的吸附和解吸进行原位实时监测。所提出的纳米自旋传感器还被用于探测金属有机框架(MOF-177)的气体吸附性能、证明了它的多功能性。因此，该纳米自旋传感器适用于量子传感和精密测量。国仪量子EPR用户奖励政策细则1.IF 提及国仪量子仪器型号的方法：要求在实验方法中提及仪器品牌型号：国仪量子EPR200-Plus，国仪量子EPR200M等，英文参考如下：Electron paramagnetic resonance spectroscopy spectra were measured on Chinainstru&Quantumtech (Hefei) EPR200-Plus with continues-wave X band frequency.奖励实施流程：1.用户申请：需为测试申请者及文章作者，直接联系CIQTEK应用中心应用专家、登录CIQTEK官方网址http://www.ciqtek.com、拨打CIQTEK官方服务热线400-0606-976；2.资格审核：身份审核、对相应文章发表情况、提及仪器情况及影响因子进行审核（提供相应证明：发表论文的接收函及论文原文，或已发表论文的网上版本链接）；3.审核通过后由公司统一发放奖励，发放形式协商确定。奖励申请说明：1.奖励后我司内部备注，每篇文章原则上只奖励一次；2.作品获得奖励后，即默认为作者授权主办方可以使用作者名及成果名称进行宣传推广活动，包括但不限于媒体宣传、现场展示、网络推广等；3.本政策有效期自2023年6月30日至2023年12月31日（如有变化会另行通知）；4.本奖励政策最终解释权归国仪量子（合肥）技术有限公司所有。国仪量子电子顺磁共振波谱仪近年来，国家大力支持国产高端科学仪器发展，推进高水平科技成果自立自强，国产高端科学仪器迎来了长足进步。国仪量子电子顺磁共振波谱仪为直接检测顺磁性物质提供了一种非破坏性的分析方法。可研究磁性分子、过渡金属离子、稀土离子、离子团簇、掺杂材料、缺陷材料、自由基、金属蛋白等含有未成对电子物质的组成、结构以及动力学等信息，能够提供原位和无损的电子自旋、轨道和原子核等微观尺度的信息。在物理、化学、生物、材料、工业等领域具有广泛的应用。国仪量子EPR系列

2013年12月10日，Hamilton(瑞士哈美顿)宣布已签署了一项协议，收购全球生物量监测公司Fogale Nanotech的生物传感器业务。这笔交易预计在2013年12月完成，具体交易金额没有披露。随着该项收购的完成，Hamilton成为唯一能提供所有有价值过程监测参数的传感器制造商，如pH、溶解氧和生物量。 　　据Hamilton实验室和传感器副总裁Jö rg Pochert介绍，FOGALE的生物传感器主要利用活细胞的介电性能，其优势在于只测量活细胞密度。不同于光学技术，该系统对于气泡、微载体、细胞碎片，以及悬浮液中的其它颗粒不敏感。(编译：杨娟)

2017年11月24日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“一体化高精度称重传感器的研制及应用”项目在牵头单位上海舜宇恒平科学仪器有限公司召开了启动会。上海市科学技术委员会基地处领导，行业专家，项目参与单位的领导、科研骨干等参加了本次会议。该项目为期三年，由上海舜宇恒平科学仪器有限公司牵头，联合中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、长沙湘平科技发展有限公司、四川中测测控科技有限公司共同承担。项目将开发十万分之一分辨的高精度称重传感器，并完成工程化产业化开发和计量测试标准方法，实现批量生产，在天平称重、水分测量、密度和热重测量等领域形成应用示范和产业化推广。 据项目负责人朱新强总经理介绍，高精度称重传感器不但在工业、制药、环境、医疗等诸多行业中不可或缺，广泛应用，而且也是精确量值传递的计量保障，具有重要科学意义。我国只能实现万分之一分辨，对这一传感器部件进行研究，不但可打破国外的垄断，使我国称量和计量领域进入国际先进行列，而且对各领域的基础研究可提供有力支撑。上海舜宇恒平科学仪器有限公司在精密称重技术和电子天平产品方面具有自己的核心技术和丰富研究经验，是我国首先开发出万分之一称重传感系统并商品化的企业，当前是国产天平品种最多、技术领先、国内产值最大的公司，开发的AE224型电子分析天平2016年被行业协会等权威机构评为“国产好仪器”中唯一称重类产品。

北京怀柔雁栖湖畔，一个综合性科创产业中心正在蓬勃兴起。　　近日，《科创板日报》记者随“北京投资促进宣传媒体行”走进怀柔活动来到怀柔科学城，发现这个风景优美的首都市民周末度假地，已悄然变身为北京东北部科创高地，一批扎根于此的企业，在经历了数十余年与怀柔共同成长后，已顺利登陆科创板等A股市场。　　调研中，记者了解到，怀柔以高端科学仪器装备和传感器产业为核心，建设国家高端科学仪器装备产业聚集区，已落地仪器和传感器相关企业291家。此外，还建起“引导基金+母基金+子基金”多级联动的科技金融生态体系，总规模超18亿元。　　培育多场低温等“潜力股”， 仪器和传感器基金已超18亿　　在万物互联、万物智联时代，芯片和5G技术等都离不开传感器。今天，传感器已越来越多地应用在工业生产、环境保护、医学诊断、海洋探测、宇宙探索等领域。　　根据财联社创投通数据显示，2020年以来，全国传感器领域的一级市场融资已超150亿元。　　北京市怀柔区把仪器和传感器产业列为当地科创发展的重中之重。　　为此，怀柔设立了多支相关基金，首先是投资偏向早、小及科技创新的公司，该基金总规模1.01亿元，目标锁定怀柔区仪器和传感器领域的“苗圃”企业，护航种子企业、天使企业加速成长；其次设立投资偏向初创和发展期项目的怀柔硬科技产业发展基金，总规模5.05亿元，目标是怀柔区这两大领域拥有高技术壁垒、巨大发展潜力的企业，着力打造“专精特新”“独角兽”企业；再是投资偏向发展和成熟期项目的怀柔科技创新创业基金，总规模2亿元，目标锁定龙头企业，发挥龙头企业带动作用。　　今年初，北京北工怀微传感科技股权投资基金成立，传感器产业基金总规模10亿元，由北京京国盛投资基金联合智能传感器产业龙头上市企业北京赛微电子股份有限公司怀柔区传感科技产业生态建设国有投资公司、北京怀胜基金管理有限公司等共同发起设立。　　此外，怀柔还加入国家自然科学基金委区域创新发展联合基金，每年安排6000万元，采取“揭榜挂帅”的方式，面向全国科学仪器和传感器企业，征集技术难点与需求“发榜”，邀请全国科研团队“揭榜”。　　越来越多企业选择落地于此，其中，北京怀柔仪器和传感器有限公司是怀柔区的国有平台公司，注册资本8.5亿元。也是中关村高新技术企业，入围工信部第四批产业技术基础公共服务平台（信息服务类）名录。　　截止目前，怀柔科学城已集聚了“多场低温”、“卓力汉光”等290余家仪器装备和传感器企业。　　（多场低温科技（北京）有限公司记者李明明摄）　　作为怀柔区政府引导基金支持的典型，“多场低温”专注高端科学仪器研发与生产，目前产品聚焦在基于压电的超精密运动和极端环境下的综合物性测试系统。创始人丛君状是中科院物理博士，靠着第一笔订单赚到的10万元开启创业之路，2021年公司被北京怀柔科学城作为重点项目引进。　　谈及核心技术优势，多场低温科技联合创始人邢健对《科创板日报》记者介绍，公司的主要产品低温压电位移台属于首创，在国内没有竞品，目前已在国内综合极端条件实验装置等科学设施里得到应用。　　今年8月，“多场低温”已开启新一轮融资，投资机构为峰瑞资本、水木创投、中芯聚源。　　2020 年，在怀柔科学城的支持下，“卓立汉光”在怀柔科学城成立卓立分析仪器公司，聚焦于高端光电科学仪器、光电分析测试解决方案、精密光学机械运动控制解决方案，直接服务怀柔科学城大科学设施、重点科研及行业用户。　　（北京卓立汉光分析仪器有限公司记者李明明摄）　　目前，怀柔还在申报全国首个国家级高端科学仪器领域示范区，力争到2025年，实现一千家高端科学仪器和传感器领域硬科技企业落地。　　一体化3D打印制造航天飞行器 ，科创板上市公司已扎根20余年　　当下，怀柔也在努力创造资本市场的“园区速度”。深交所、上交所、北交所均在怀柔成立了上市企业服务中心，一批头部公司和“隐形冠军”企业正加速成长。　　其中，有研粉末新材料股份有限公司(688456，简称：有研粉材)就是佼佼者，公司已成功登录科创板，铜基金属粉体材料产销量及市场占有率均为国内第一、全球第二。　　据了解，有研粉材成立于2004年3月，是一家由有研科技集团(隶属国务院国资委的央企)控股、国际领先的有色金属粉体材料生产企业。主要产品包括铜基金属粉体材料、微电子锡基焊粉材料和 3D 打印粉体材料。作为高端制造业的关键基础性材料，产品广泛应用于汽车、高铁、机械、航空、航天、化工、电子信息、国防军工等行业。　　(有研粉末新材料股份有限公司记者李明明摄)　　特别是在航天航空领域中，航天器上的电子器件冷却板、封装板和防护板等部件，都可以用3D打印技术打印出来，而且航天发动机需要大量采用高温合金、钛合金等难加工材料，设计结构复杂、工艺流程长，其轻量化、低成本、快速研制的迫切需求，与3D打印成型自由度高且快等特点，高度契合。　　上述应用场景，《科创板日报》记者在有研粉材的厂房内看到了实例，灵活移动的激光束喷射着灼灼白焰，将金属粉末不断地熔化、粘接、冷却，层层堆积，一个个结构复杂的金属零部件被“打印”出来。　　“卫星的结构比较复杂，用传统的机加工很难完成，加工工序比较繁琐，3D打印可以通过结构的优化减轻支架重量。现在，一体成型工艺由原来的两三个月，已缩短至一星期左右。”有研增材（即有研粉材子公司）副总经理赵新明透露，下一步，3D打印也会实际应用在火箭发动机上。　　有研粉材此前发布公告，未来将在3D打印领域继续深耕，为市场提供更高性能的增材产品。　　谈及为何选择落户怀柔时，有研增材技术总监王林山介绍说，此前，原北京有色金属研究总院（现中国有研，以下简称“有研总院”）在一次“偶然”的机会，院里将电解铜粉的生产技术转让给一家合资企业，院领导派公司创始人汪礼敏先生担任临时厂长。1996年底，那家合资企业因缺乏技术等原因而停产，于是再次找到汪礼敏先生，希望通过共同持股的方式合作。1997年汪礼敏受控股方—有研总院的委托，来到重建后位于怀柔的北京恒源粉末合金厂，7年后的2004年，有研粉材正式成立。　　“怀柔科学城的发展，从硬件、软件的配套支持到政策和资金支持，都成为企业发展的坚实后盾。”王林山说。

近日，3D工业视觉传感器供应商立仪科技获得浩澜资本独家投资的数千万人民币的A轮融资，据悉，本轮融资将主要用于市场拓展、新品研发及补充流动资金。立仪科技成立于2014年，是一家专注于精密光学检测的公司，旗下有光谱共焦传感器等产品。公司的点共焦传感器已经量产，且服务多家头部客户；线共焦产品原型机已打样，正研发商业量产版本。主流的3D工业视觉的技术路线包括线激光、光谱共焦、条纹结构光、TOF、双目等技术路线。光谱共焦传感器是目前市场精度最高且能应用于各种特性的表面和复杂形状测量场景的新型传感器，其市场主要被国外厂商占据，但国产率较低。光谱共焦传感器的原理是通过使用特殊的透镜及光学系统，拉开不同颜色光的焦点分布范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射波的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。光谱共焦目前正处于技术迭代周期。激光技术的研发目前已逐渐见顶，而市场对测量传感器的需求越来越广，市场需求正从人工监测向自动化监测产品发展。与传统的激光相比，光谱共焦技术精度较高，且材料适应性更广，稳定性更高。立仪科技创始人兼CEO刘杰波告诉36氪：“我们之前曾做过三维激光扫描研究，过程中意识到激光扫描很难完成一些对高精度扫描有需求的测试任务，便开始向光谱共焦转向。”目前，立仪科技有点共焦位移和线共焦位移两类传感器产品，产品型号超百种。点共焦传感器上，立仪科技在拿到天使轮融资后，于2019年完成点共焦原型产品的量产。至今，公司的点共焦已经迭代到第三代，进入华为、三星、苹果供应链。除在产品设计上有着多项创新外，公司还开发了为国外禁止出口的激光干涉光谱共焦校准仪等专用仪器工装，且工艺经过量产验证，能帮助产品更好生产。在性能上，其传感器可以做到光强提高200%，线性度提高200%，反射干扰降低50%。价格上，产品售价比国外产品低。产品示意图公司2020年开始研发线共焦产品，目前已有原型机，是已能完成三维形状物体的扫描，具有精度高材料适应性好、无盲区、效率高等优点，可广泛应用于半导体、新能源、3C等领域。可应用领域据刘杰波介绍，线共焦传感器进口产品占 99%以上市场，售价昂贵，立仪科技可以做到同时解决漫反射和曲面镜面材质检测的技术，具备性能优势。本轮融资完成后，立仪科技也将集中精力，研发商业化量产版本线共焦产品。未来，公司还将继续研发高光谱+AI传感器和光纤传感器。公司的光谱共焦产品有着7、8年的积累，服务了半导体、新能源与3C、先进制造设备、精密仪器、科研院校等领域，面向京东方、天马等客户都有着数百套的出货量。经过长期打磨，立仪科技对市场需求和行业认知理解深刻。据刘杰波介绍，目前公司在国产品牌中市场占有率排名第一。在营收上，公司2022年预计完成数千万营收，较2021年有两、三倍的增长。在创始团队上，公司创始人兼CEO刘杰波有着十几年的精密光学测量研发经验，曾任数家世界500强公司高管，在光机电软件上融会贯通。公司首席科学家张巍博士曾就职于中科院物理研究院，有着丰富的光谱、激光等研究经验。目前，公司共有60多名员工，在深圳、苏州、成都、长沙都设有办事处，研发占比50%以上。

center img style=" width: 368px height: 400px " title=" " alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441271.jpg" height=" 400" hspace=" 0" border=" 0" vspace=" 0" width=" 368" / /center p style=" text-align: center " 　　精密坐标测量 /p p 　　 strong 精密测量技术 /strong /p p 　　现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。 /p p 　　在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智慧化的发展趋势。三坐标测量机(CMM)是适应上述发展趋势的典型代表，它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。 /p p 　　 strong 三坐标测量机 /strong /p p 　　三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用。 /p p 　　1、误差自补偿技术 /p p 　　德国CarlZeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术，使坐标测量机的测量精度在17.8～25.6℃范围不受温度变化的影响。国内自行开发的数控测量机软件系统PMIS包括多项系统误差补偿、系统参数识别和优化技。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441250.jpg" height=" 286" width=" 278" / /center p style=" text-align: center " 　　CNC小型坐标测量机 /p p 　　2、丰富的软件技术 /p p 　　CarlZeiss 公司开发的坐标测量机软件STRATA-UX，其测量数据可以从CMM直接传送到随机配备的统计软件中去，对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理，根据要求对其进行评估。依据此数据库，可自动生成各种统计报表，包括X-BAR& amp R及X_BAR& amp S图表、频率直方图、运行图、目标图等。 /p p 　　美国公司的Cameleon测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。 /p p 　　日本Mistutor公司研制开发了一种图形显示及绘图程序，用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较，具有多种输出方式。 /p p 　　 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441295.jpg" height=" 333" width=" 484" / /center p style=" text-align: center " 　　STRATA-UX系统处理简图 /p p 　　3、非接触测量 /p p 　　基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息，进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。 /p p 　　该方法克服了接触测量的局限性。将激光双三角测量法应用于大范围内测量，对复杂曲面轮廓进行测量，其精度可高于1μm。英国IMS公司生产的IMP型坐标测量机可以配用其它厂商提供的接触式或非接触式探头。 /p p 　　 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441352.jpg" height=" 357" width=" 241" / /center p style=" text-align: center " 　　IMP型坐标测量机 /p p 　　 strong 微/纳米级精密测量技术 /strong /p p 　　科学技术向微小领域发展，由毫米级、微米级继而涉足到纳米级，即微/纳米技术。 /p p 　　纳米级加工技术可分为加工精度和加工尺度两方面。加工精度由本世纪初的最高精度微米级发展到现有的几个纳米数量级。金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达1nm，已经可以制作10nm以下的线、柱、槽。 /p p 　　微/纳米技术的发展，离不开微米级和纳米级的测量技术与设备。具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟，如HP5528双频激光干涉测量系统(精度10nm)、具有1nm精度的光学触针式轮廓扫描系统等。 /p p 　　因为扫描隧道显微镜、扫描探针显微镜和原子力显微镜用来直接观测原子尺度结构的实现，使得进行原子级的操作、装配和改形等加工处理成为近几年来的前沿技术。 /p p 　　1、扫描探针显微镜 /p p 　　1981 年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜，把人们带到了微观世界。它具有极高的空间分辨率，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。与此同时，基于STM相似的原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或接口纳米尺度上表现出来的性质的扫描探针显微镜(SPM)，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息，成为人类认识微观世界的有力工具。下面为几种具有代表性的扫描探针显微镜。 /p p 　　(1)原子力显微镜(AFM) /p p 　　为了弥补STM只限于观测导体和半导体表面结构的缺陷，Binning等人发明了AFM，AFM利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面的起伏而上下运动，通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移，实现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测，从而得到表面形貌信息。 /p p 　　就应用而言，STM主要用于自然科学研究，而相当数量的AFM已经用于工业技术领域。1988年中国科学院化学所研制成功国内首台具有原子分辨率的AFM。安装有微型光纤传导激光干涉三维测量系统，可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜可使目前纳米测量技术定量化。 /p p 　　利用类似AFM的工作原理，检测被测表面特性对受迫振动力敏组件产生的影响，在探针与表面10～100nm距离范围，可以探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力，相继开发磁力显微镜、静电力显微镜、摩擦力显微镜等，统称为扫描力显微镜。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010441475.jpg" height=" 229" width=" 600" / /center p style=" text-align: center " 　　原子力显微镜及工作原理 /p p 　　(2)光子扫描隧道显微镜(PSTM) /p p 　　PSTM的原理和工作方式与STM相似，后者利用电子隧道效应，而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场，其强度随距接口的距离成函数关系，获得表面结构信息。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442144.jpg" height=" 198" width=" 270" / /center p style=" text-align: center " 　　光子扫描隧道显微镜 /p p 　　(3)其它显微镜 /p p 　　如扫描隧道电位仪(STP)可用来探测纳米尺度的电位变化 扫描离子电导显微镜(SICM)适用于进行生物学和电生理学研究 扫描热显微镜已经获得了血红细胞的表面结构 弹道电子发射显微镜(BEEM)则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和接口结构的先进分析仪器，国内也已研制成功。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442219.jpg" height=" 194" width=" 362" / /center p style=" text-align: center " 　　扫描隧道电位仪 /p p 　　2、纳米测量的扫描X射线干涉技术 /p p 　　以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率，却不能给出表面结构准确的纳米尺寸，这是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度(0.10～0.01nm)尺寸测量的定标手段。 /p p 　　美国NIST和德国PTB分别测得硅(220)晶体的晶面间距为192015.560± 0.012fm和192015.902± 0.019fm。日本 NRLM在恒温下对220晶间距进行稳定性测试，发现其18天的变化不超过0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。 /p p 　　扫描X射线干涉测量技术是微/纳米测量中的一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位，加上X射线波长比可见光波波长小两个数量级，有可能实现0.01nm的分辨率。该方法较其它方法对环境要求低，测量稳定性好，结构简单，是一种很有潜力的方便的纳米测量技术。 /p p 　　自从1983年D.G.Chetwynd将其应用于微位移测量以来，英、日、意大利相继将其应用于纳米级位移传感器的校正。国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在1997年5月利用自己研制的X射线干涉器件在国内首次清楚地观察到X射线干涉条纹。软X射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。迈克尔逊型差拍干涉仪，适于超精细加工表面轮廓的测量，如抛光表面、精研表面等，测量表面轮廓高度变化最小可达0.5nm，横向(X，Y向)测量精度可达0.3～1.0μm。渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中，其分辨率可达0.1nm数量级。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442402.jpg" height=" 354" width=" 351" / /center p style=" text-align: center " 　　迈克尔逊型差拍干涉仪 /p p 　　3、光学干涉显微镜测量技术 /p p 　　光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Ferry-Perot)标准的测量技术等，随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率，如光外差干涉轮廓仪具有0.1nm的分辨率 基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度，其精度可达0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有0.1μm。而扫描电子显微镜(SEM)可使几十个原子大小的物体成像。 /p p 　　美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于0.6nm，可在1.1m/s的高速下测量，适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。 /p p 　　目前，在微/纳米机械中，精密测量技术一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。微细结构的缺陷研究，如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析技术，用于研究样品顶部几个微米之内缺陷情况的纳米激光雷达技术，其探测尺度分辨率均可达到1nm。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442693.jpg" height=" 269" width=" 400" / /center p style=" text-align: center " 　　以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移 /p p 　 strong 　图像识别测量技术 /strong /p p 　　随着近代科学技术的发展，几何尺寸与形位测量已从简单的一维、二维坐标或形体发展到复杂的三维物体测量，从宏观物体发展到微观领域。 正确地进行图像识别测量已经成为测量技术中的重要课题。 /p p 　　图像识别测量过程包括：(1)图像信息的获取 (2)图像信息的加工处理，特征提取 (3)判断分类。计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类，这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。 /p p 　　图像 /p p 　　测量系统一般由以下结构组成。以机械系统为基础，线阵、面阵电荷耦合器件CCD或全息照相系统构成摄像系统 信息的转换由视频处理器件完成电荷信号到数字信号的转换 计算机及计算技术实现信息的处理和显示 回馈系统包括温度误差补偿，摄像系统的自动调焦等功能 载物工作台具有三坐标或多坐标自由度，可以精确控制微位移。 /p center img alt=" " src=" http://2.eewimg.cn/news/uploadfile/2018/0401/20180401010442902.png" height=" 243" width=" 547" / /center p style=" text-align: center " 　　图像测量系统结构 /p p 　　1、CCD传感器技术 /p p 　　物体三维轮廓测量方法中，有三坐标法、干涉法、穆尔等高线法及相位法等。而非接触电荷耦合器件CCD是近年来发展很快的一种图像信息传感器。它具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确及敏感单元尺寸小等优点。随着集成度的不断提高、结构改善及材料质量的提高，它已日益广泛地应用于工业非接触图像识别测量系统中。 /p p 　　在对物体三维轮廓尺寸进行检测时，采用软件或硬件的方法，如解调法、多项式插值函数法及概率统计法等，测量系统分辨率可达微米级。也有将CCD应用于测量半导体材料表面应力的研究。 /p p 　　2、照相技术 /p p 　　全息照相测量技术是60年代发展起来的一种新技术，用此技术可以观察到被测物体的空间像。激光具有极好的空间相干性和时间相干性，通过光波的干涉把经物体反射或透射后，光束中的振幅与相位信息。 /p p 　　超精密测量技术所代表的测量技术在国防、航天、航空、航海、铁道、机械、轻工、化工、电子、电力、电信、钢铁、石油、矿山、煤炭、地质、勘侧等领域有极其广泛的应用，在国民经济建设中占有重要的地位。在发展高端装备制造业的背景下，提高我国在超精密测量方面的科研实力和技术水平，成为不得不解决的迫切问题。 /p

p style=" text-indent: 2em " 目前，传感器产业已被国内外公认为具有发展前途的高技术产业，它以技术含量高、经济效益好、渗透力强、市场前景广等特点为世人所瞩目。我们国家工业现代化进程和电子信息产业20%以上速度高速增长，带动传感器市场快速上升。 /p p style=" text-indent: 2em " 企查查数据显示，目前我国共有传感器相关企业4.9万家，广东省以超过9700家的企业数量排名首位，江苏、浙江分列二三名。2019年，相关企业新注册超过7600家，同比增长17.22%，今年上半年新增企业数量为2369家。此外，全行业68%的企业注册资本低于500万。 /p p style=" text-indent: 2em " 接近传感器(也称为检测器)是电子设备，用于通过非接触方式检测附近物体的存在。因此，它们可以被用于多个行业，包括机器人技术，制造，半导体等。据工作原理，接近传感器可以分为：电感式接近传感器、电容式接近传感器、磁感应传感器等。 /p p style=" text-indent: 2em " br/ & nbsp & nbsp & nbsp 其实在智能化场景中常用的两种接近传感器是电感式接近传感器和电容式接近传感器。电感式接近传感器只能检测金属目标。这是因为传感器利用电磁场，当金属靶进入电磁场时，金属的电感特性改变了场的特性，从而警告接近传感器存在金属靶，根据金属的感应方式，可以在更大或更短的距离处检测目标。 br/ & nbsp br/ 　　电感式接近传感器也叫涡流式传感器，由三大部分组成：振荡器、开关电路及放大输出电路。电感式接近传感器是核心是振荡器和放大器，用于检测金属材质的物体。但是不同的金属的衰减，标准的检测物体是铁，但是不锈钢、铝合金、铝、铜等等都会有不同的衰减程度。由此可见，这种接近开关所能检测的物体必须是导电体。 br/ & nbsp br/ 　　电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 br/ & nbsp br/ 　　由于电容式传感器带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能感应0.01μm甚至更小的位移。 br/ & nbsp br/ 　　据统计数据显示，2019年中国传感器市场规模达2188.8亿元，预计到2021年市场规模将达到2951.8亿元，行业将保持17.6%的快速增长速度。值得注意的是，随着物联网技术的发展，对传统传感技术又提出了新的要求，产品正逐渐向微机电系统(MEMS)技术、无线数据传输技术、红外技术、新材料技术、纳米技术、复合传感器技术、多学科交叉融合的方向发展。 br/ & nbsp br/ 　　传感器作为智能制造的重要设备，电子产品的发展已经进入到数字化时代，传感器的需求越来越广泛。如何在传感器领域实现突破？业内人士纷纷表示，原材料、技术、工艺等方面均存在“突破口”。 br/ & nbsp br/ 　　接下来，国内传感器企业需要从自身出发，加大科技创新投入力度，继续优化技术和工艺细节，实现这些领域与进口产品对比的突破。与此同时，发挥在国内市场应用、服务、渠道、价格、产业生态系统等领域的固有优势，实现整体实力提升，积极推进市场化应用。 br/ & nbsp br/ 　　在政策鼓励、资金扶持、技术进步等多种利好因素的作用下，相信国内传感器产业发展将取得更多成果，并造福于产业升级和社会民生。 br/ br/ /p

近年来，传感器朝着灵敏、精确、适应性强、小巧和智能化的方向发展。在这一过程中，光纤传感器这个传感器家族的新成员倍受青睐。光纤具有很多优异的性能，例如：抗电磁干扰和原子辐射的性能，径细、质软、重量轻的机械性能 尽缘、无感应的电气性能 耐水、耐高温、耐腐蚀的化学性能等，它能够在人达不到的地方(如高温区或者对人有害的地区，如核辐射区)，起到人的线人作用，而且还能超越人的生理界限，接收人的感官所感受不到的外界信息。 　　基本工作原理及应用领域 　　光纤传感器的基本工作原理是将来自光源的光经过光纤送进调制器，使待测参数与进进调制区的光相互作用后，导致光的光学性质(如光的强度、波长、频率、相位、偏正态等)发生变化，称为被调制的信号光，在经过光纤送进光探测器，经解调后，获得被测参数。 　　光纤传感器的应用于对磁、声、压力、温度、加速度、陀螺、位移、液面、转矩、光声、电流和应变等物理量的丈量。光纤传感器的应用范围很广，几乎涉及国民经济和国防上所有重要领域和人们的日常生活，尤其可以安全有效地在恶劣环境中使用，解决了很多行业多年来一直存在的技术困难，具有很大的市场需求。主要表现在以下几个方面的应用： 　　1、市建设中桥梁、大坝、油田等的干涉陀螺仪和光栅压力传感器的应用。光纤传感器可预埋在混凝土、碳纤维增强塑料及各种复合材料中，用于测试应力松驰、施工应力和动荷载应力，从而评估桥梁短期施工阶段和长期营运状态的结构性能。 　　2、电力系统，需要测定温度、电流等参数，如对高压变压器和大型电机的定子、转子内的温度检测等，由于电类传感器易受电磁场的干扰，无法在这类场合中使用，只能用光纤传感器。分布式光纤温度传感器是近几年发展起来的一种用于实时丈量空间温度场分布的高新技术，分布式光纤温度传感系统不仅具有普遍光纤传感器的优点，还具有对光纤沿线各点的温度的分布传感能力，利用这种特点我们可以连续实时丈量光纤沿线几公里内各点温度，定位精度可达米的量级，丈量精度可达1度的水平，非常适用大范围交点测温的应用场合。 　　在实际生活中，光纤传感器种类是非常多的，但是，我们将这些传感器类型归结为两大类型，即传感型与传光型。和传统电传感器进行比较，光纤传感器具有很多的优点，例如抗干扰能力较强、绝缘性好、灵敏度偏高，所以，当前在各个领域都有光纤传感器的身影。 　　光纤传感器助力物联网发展市场容量将近万亿 　　自出现光纤传感器后，它的优势与应用引起了各个国家人们的高度关注。并且对光纤传感技术进行了深入的研究。现如今，通过光纤传感器可以对位移、温度、速度、角度等物理量进行测量。现如今，很多西方发达国家将对光纤传感器研究的重点放在光纤控制系统、核辐射监控、民用计划等多个方面，同时已经取得了可喜的成绩。 　　我国对光纤传感器的研究起步较晚，有很多研究所、企业等对光纤传感器的深入研究促进了光纤传感技术的发展。在2010年，张旭平的关于&ldquo 布里渊效应连续分布式光纤传感技术&rdquo 通过了专家的鉴定。专家组都认为此技术有很强的创新性，技术已达到世界先进水平，因此，有广阔的发展前景。此技术的发展主要是应用了物联网技术，从而加速了我国物联网的发展。 　　传感器成为物联网极其重要的一组成部分。因此，传感器性能好坏决定了物联网的性能好坏。可以说，物联网获得信息的主要手段为传感器。这样一来，传感器所采集信息的可靠性与准确性都会对控制节点处理和传输信息产生一定影响。由此看来，传感器的可靠性、抗干扰性等都会对物联网应用性能发挥举足轻重的作用。 　　光纤传感技术在物联网中的应用 　　通过上述分析得知，物联网的发展必须要借助大量传感器获得各种环境参数，从而为物联网更可靠的数据信息，再经过系统的处理，得到人们需要的结果。以下是对光纤传感技术在物联网中的应用进行详细的探讨。 　　目前应用最广的光纤传感器有四种，分别是光纤陀螺、光纤水听器、光纤光栅传感器和光纤电流传感器。其中，光纤陀螺有干涉型、谐振型和布里渊型三种类型，干涉型光纤陀螺是技术上很成熟的第一代商品化阶段，谐振光纤陀螺是处于实验室研究阶段的第二代，布里渊型光纤陀螺是在理论研究阶段的第三代光纤陀螺传感器 光纤水听器是在光纤、光电子技术基础上的一种水下声音信号传感器，这种传感器通过高度灵敏的光纤相干检测，把水中的声音信号转换成光信号，再通过光纤传到信号处理系统转换为声音信号，这种传感器按原理可以分为干涉型、强度型、光栅型等类型 在光纤光栅传感器的产品中包括应变传感器、温度传感器和压力传感器，其中光纤bragg光栅传感器是这几年的研究热点，它们大部分属于光强型和干涉型，并且各有利弊。自今年来电力的发展是突飞猛进的，这种情况下，面对着强大电流的测量问题，光纤电流传感器可以很好的避免一些由于电力过强而引发的事故。

p 　　2017年11月24日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项“一体化高精度称重传感器的研制及应用”项目在牵头单位上海舜宇恒平科学仪器有限公司召开了启动会。上海市科学技术委员会基地处领导，行业专家，项目参与单位的领导、科研骨干等参加了本次会议。 /p p 　　该项目为期三年，由上海舜宇恒平科学仪器有限公司牵头，联合中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、长沙湘平科技发展有限公司、四川中测测控科技有限公司共同承担。项目将开发十万分之一分辨的高精度称重传感器，并完成工程化产业化开发和计量测试标准方法，实现批量生产，在天平称重、水分测量、密度和热重测量等领域形成应用示范和产业化推广。 /p p 　　据项目负责人朱新强总经理介绍，高精度称重传感器不但在工业、制药、环境、医疗等诸多行业中不可或缺，广泛应用，而且也是精确量值传递的计量保障，具有重要科学意义。我国只能实现万分之一分辨，对这一传感器部件进行研究，不但可打破国外的垄断，使我国称量和计量领域进入国际先进行列，而且对各领域的基础研究可提供有力支撑。上海舜宇恒平科学仪器有限公司在精密称重技术和电子天平产品方面具有自己的核心技术和丰富研究经验，是我国首先开发出万分之一称重传感系统并商品化的企业，当前是国产天平品种最多、技术领先、国内产值最大的公司，开发的AE224型电子分析天平2016年被行业协会等权威机构评为“国产好仪器”中唯一称重类产品。 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ee74af00-ad68-4bfd-8b50-828e3ceb74e1.jpg" title=" 微信图片_20171219134856(1)_meitu_1.jpg" / /p p style=" text-align: center " （一）项目启动大会 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/b791e411-dc3b-4cc4-885a-5c19d9754690.jpg" title=" 微信图片2_meitu_2.jpg" / /p p style=" text-align: center " （二）颁发技术专家组聘书 /p p style=" text-align: center " img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/7de672c8-8b51-4a22-bf08-4b593324bf75.jpg" title=" 微信图片3_meitu_3.jpg" / /p p style=" text-align: center " （三）颁发用户专家委员会聘书 /p

2023年11月5日，2023世界传感器大会“MEMS智能传感器——先进技术分场活动”在郑州国际会展中心成功召开。来自智能传感器等领域专家学者、企业代表、新闻媒体近2000余人线上线下参加会议。会议由郑州市人民政府、河南省科学技术协会、沈阳仪表科学研究院有限公司、传感器国家工程研究中心、中国仪器仪表学会仪表元件分会、中国仪器仪表学会仪表工艺分会承办，郑州（国家）高新技术产业开发区管理委员会、郑州市科学技术协会、郑州众智科技股份有限公司协办。河南省科学技术协会副主席王继芬、郑州市人民政府副秘书长王举等领导出席会议并致辞。由沈阳仪表院院长助理、行业中心主任张阳主持。沈阳仪表院院长助理、行业中心主任张阳领导致辞中国工程院蒋庄德院士致开幕词。蒋院士回顾了MEMS智能传感器技术的发展历程，并鼓励中国传感器人在传感器产业细分领域不断攻坚克难、突破瓶颈，以国家战略需求为导向，加快实现高水平科技自立自强。中国工程院蒋庄德院士致开幕词中国科学院上海微系统与信息技术研究所李铁研究员作《微型全集成红外CO2气体传感器及其应用》主题报告，分享了红外二氧化碳气体传感器发展现状以及最新应用领域。传感器国家工程研究中心副总工程师、沈阳仪表院研发中心主任张春光作《大型模锻压机状态监测传感器关键技术研究》主题报告，介绍了压力传感器、位移传感器、振动传感器、粘度传感器在大型装备中应用的关键技术。西安交通大学赵立波教授聚焦压力传感器技术做《微纳特种压力传感器技术》专题报告。杭州师范大学传感技术中心钱正洪主任作《磁传感测量与数据融合处理技术》专题报告，从磁传感芯片的设计、信号测量与数据融合等方面作了详细的介绍。国防科技大学吴学忠教授作了《AI赋能MEMS传感器智能化发展新趋势》专题报告，从MEMS传感器智能化发展需求、技术途径、发展现状及趋势四个方面梳理了MEMS智能传感器技术发展方向。杭州晶华微电子股份有限公司副总经理赵双龙作了《智能传感器中国芯的方案》专题报告，分享了传感器信号调理芯片国产化方案。中科院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁传感器国家工程研究中心副总工程师沈阳仪表院研发中心主任张春光西安交通大学教授赵立波杭州师范大学传感技术中心主任钱正洪国防科技大学教授吴学忠杭州晶华微电子股份有限公司副总经理赵双龙本次会议围绕MEMS智能传感器的前沿技术、产业趋势和热点问题等进行了深入研讨，来自不同领域的行业专家分享了传感器技术、产业和应用领域的最新研究成果，探讨了今后的发展方向。

如今，滴定法已成为重要的化学分析技术之一，这种方法应用广、速度快、成本低且可自动化。近年来，电极传感器技术的发展，极大地扩展了滴定法分析样品的种类和分析项目。近日，海能仪器与瑞士哈美顿（Hamilton）达成战略合作，海能仪器作为瑞士哈美顿实验室电极中国地区唯一合作伙伴，全权负责其实验室感应器在中国区域的市场拓展、深度开发以及技术支持等工作。未来，双方将充分融合彼此的技术优势，共同推动电极感应器的多元化应用。近年来，海能仪器电化学产品线增长迅速。2009年成立上海海能，进入电化学分析仪器领域；2015年成立通用仪器事业部，专注电化学与物理光学产品研发、生产及营销，产品已经逐渐得到市场及用户的认可。 瑞士哈美顿Hamilton成立于1947年，其生产研发总部位于瑞士Bonaduz，在美国，德国，法国，意大利和英国均设有分公司，成为全球性跨国公司。1989年开始扩展电极传感器产品线，是知名的传感器供应品牌。 通过建立起与瑞士哈美顿（Hamilton）的合作，海能将会获得性能更加优越、质量更加成熟稳定的电极传感器供应渠道，结合自身应用团队的经验，能够更好地满足用户多元化需求。在为海能仪器研发新型滴定产品铺路的同时，还能给国内同行业合作伙伴提供高性能的电极感应器。未来，双方将携手努力，共同推进电极感应器的多元化应用与发展，为各领域科技工作者提供更为优质的产品及服务，为用户朋友们带来更多的帮助和便利！

近期，中国科学院沈阳自动化研究所智能检测与装备研究室IDE团队在国家重点研发计划项目的支持下，经过艰苦攻关，创新性提出了高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法，并依此方法研发了大型圆柱度测量仪。　　圆柱度是精密回转类零件重要的精度指标之一。目前，圆柱度测量仪大多通过接触式传感器获取被测目标信息，采用精密转台回转的方式实现测量，如英国Talyrond公司研制的最大测量直径达1.6米的1600型圆柱度测量仪。接触式传感器的可形变量极小，在圆柱度测前定心调整过程中，大偏心距累积的运动定位误差极易超出传感器的极限行程而造成传感器损坏。受被测对象的尺寸、重量及高精密转台的制造技术等因素的影响，过大的载荷将严重影响精密轴系的回转精度，所产生的随机误差难以通过算法有效补偿，无法满足大型工件的高精度测量需求。对于直径超过2米的大型轴承套圈，由于零件尺寸巨大、圆柱度测量精度要求高以及测量环境的局限性，现有的接触式传感器与转台回转的测量方式难以满足其测量要求。因此，亟需研究针对大型回转类零件圆柱度的现场快速精密测量方法及相应的评定技术。　　沈阳自动化所智能检测与装备研究室IDE团队提出的高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法采用具有精密、隔震等特性的气浮驱动技术，配合精密耦件，通过测前快速自适应偏置调整技术实现工件测前自动定心，采用精密测头回转的方式快速获取有效测量信息。在测量原理方面，提出了更完善的圆柱度测量模型及误差分离算法，测前定心与实际测量采用分立的运动控制系统，既解决了大型工件的载荷问题，又能够通过模型参数拟合的方式实现偏心、测量线偏置、被测圆柱轴倾斜等误差的精准分离；测量系统采用对称式双测头测量方案，综合了非接触式位移传感器安全、柔性的特点与接触式位移传感器精密、可靠的特性。本方法的提出突破了传统测量方法在大型圆柱度测量过程中的局限性，实现了大型回转类零件圆柱度测前自适应偏置调整和现场快速精密测量。大型零件圆柱度测量仪样机　　目前，该研发团队已完成大型圆柱度测量仪原理样机的研发工作，并在《光学精密工程》《中国激光》等高质量期刊发表相关论文2篇，申请发明专利4项。经过国家权威计量专家及天津计量院的检定，大型圆柱度测量仪样机的回转精度为42.6nm，Z向导轨精度139nm/100mm，最大测量直径为2500mm，且其测量范围可根据使用需求进一步拓展。这意味着该原理样机的核心技术指标已达到国内领先、国际先进水平。本项目的实施将进一步夯实我国大型轴承及以大型轴承为核心基础部件的高端装备的制造技术基础，填补直径大于2米的大型轴承圆柱度测量仪的国内空白，掌握大型圆柱度测量仪的核心技术，提高轴承及相关行业的自主创新能力，为我国高铁、风电和高档数控机床等高端装备制造业的进一步发展提供保障能力，对我国从制造大国迈向制造强国，具有重要的现实意义和巨大的社会经济效益。

11日5日，2023世界传感器大会在郑州国际会展中心隆重举行。本次大会由河南省人民政府与中国科学技术协会主办，河南省人民政府副秘书长魏晓伟主持开幕式。尤政、蒋庄德、周立伟等11位中外院士受邀参加。河南省副省长刘尚进、郑州市副市长马志峰、中德友好协会联合会副主席菲力克斯库尔兹出席致辞。中国科学院院士褚君浩、英国皇家工程院院士肯尼斯格拉特、开鸿数字产业发展有限公司首席执行官王成录、赛迪顾问股份有限公司副总裁李珂作大会主旨报告。相关省市领导，国际组织代表，高校、科研机构专家学者以及国内外协会、学会、知名企业代表等嘉宾共同出席开幕式。大会现场中国仪器仪表学会仪表功能材料分会、重庆材料研究院有限公司、河南省科学院、河南理工大学等单位联合承办了大会的“智能传感器关键材料及元器件”产业基础分场论坛。中国科学院院士刘云圻，俄罗斯工程院院士、欧洲科学院外籍院士李长明，河南省工业和信息化厅二级巡视员卢钦华，郑州市人民政府办公厅副主任李广利，中国仪器仪表行业协会副理事长、重庆材料研究院有限公司副总经理（主持工作）吴保安，重庆材料研究院有限公司副总经理刘奇等出席会议。论坛由河南理工大学微电子封装与精密成形研究院院长曹军主持。曹军院长主持论坛，吴保安副总经理致辞卢钦华巡视员、李广利副主任为论坛致辞，吴保安副总经理向出席的院士、专家及代表表示诚挚欢迎。刘云圻院士、李长明院士、仪综所所长欧阳劲松、中广核高级技术专家黄美良、智能传感功能材料国家重点实验室教授级高工赵鸿滨、厦门大学电子科学与技术学院副教授廖新勤分别作了题为《二维材料的可控制备及其高性能传感器》、《智能传感的创新与产业化》、《新时代传感器高质量发展的思考与建议》、《面向数字化转型的核电智能传感器的技术》、《智能传感功能材料发展现状与趋势》《功能复合材料与柔性智能触摸传感器》的学术报告，围绕智能传感器领域的技术前沿、产业趋势和热点问题进行高端对话，共享成果，共话未来。刘云圻院士作报告李长明院士作报告欧阳劲松所长作报告黄美良高工、赵鸿滨高工、廖新勤副教授作报告本次论坛的主题是“材料创新助力技术发展”，论坛采取线上线下结合的方式，来自传感器关键材料及元件、智能传感器等领域专家学者、企业代表、科技工作者代表、新闻媒体线下逾150余人参加。论坛现场

光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点，已成为现代信息社会的支柱。同时，传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合，则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势，但与非线性光学领域不同的是，到目前为止，电光器件需要经典调制场，其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件，而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题，也是目前面临的大挑战。近期，奥地利科学技术研究所（位于奥地利克洛斯特纽堡）的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路（如图一所示）。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器，其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器，通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率，演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换，总（内部）效率为0.03%（0.7%），附加输出转换噪声为5.5光子（如图二所示）。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点，为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一：实验装置示意图图二：转换噪声与模式布居结果在10mK温度下，实现转换的关键是：光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner，ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner，ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器，扫描器，及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下： 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)

当今世界正经历百年未有之大变局，国内外环境的深刻变化既带来一系列新机遇，也带来一系列新挑战。习近平总书记指出，制造业是国家经济命脉所系，是立国之本、强国之基。“十四五”时期，是推动制造业高质量发展的关键期，也是产业进入全面工业化的攻坚期、深度工业化的攻关期。广东省从2019年12月开始，组织省有关单位开展制造业高质量发展系列调查、研究、论证，出台《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》（以下简称“《规划》”），作为“十四五”时期推动全省制造业高质量发展的重要指引性文件。本《规划》纳入广东省“十四五”重点专项规划，是制造业领域唯一的一个“十四五”省重点专项规划。《规划》提出，“十四五”时期将立足广东省制造业发展基础及未来发展趋势，继续做强做优战略性支柱产业，高起点培育壮大战略性新兴产业，谋划发展未来产业：一是巩固提升战略性支柱产业。战略性支柱产业是广东制造稳定器，具体包括新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车、先进材料、现代轻工纺织、软件与信息服务、超高清视频显示、生物医药与健康、现代农业与食品。二是前瞻布局战略性新兴产业。战略性新兴产业是广东制造推进器，具体包括半导体及集成电路、高端装备制造、智能机器人、区块链与量子信息、前沿新材料、新能源、激光与增材制造、数字创意、安全应急与环保、精密仪器设备。三是谋划发展未来产业。未来产业是会对未来经济社会发展产生重要支撑和巨大带动作用的先导性产业。聚焦发展前沿领域，立足全省技术和产业发展基础优势，积极谋划培育卫星互联网、光通信与太赫兹、干细胞、超材料、天然气水合物、可控核聚变-人造太阳等若干未来产业领域。精密仪器产业集群纳入广东省“十四五”十大战略性支柱产业布局之一。《规划》指出，未来将在广州、深圳、珠海、佛山、东莞、惠州、中山、江门、肇庆、汕头、潮州、湛江、茂名、韶关、梅州、河源、清远、云浮18个城市布局建设精密仪器设备产业集群。广东省各城市仪器产业发展布局城市仪器发展布局广州健康监测仪器和检测设备智能水电气表和智能传感器钟表与计时仪器产品医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器工业自动化测控仪器与系统大型精密科学测试分析仪器高端信息计测与电测仪器（高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等）深圳健康监测仪器和检测设备智能水电气表和智能传感器钟表与计时仪器产品医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器工业自动化测控仪器与系统大型精密科学测试分析仪器高端信息计测与电测仪器（高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等）珠海医疗仪器设备及器械制造大型精密科学测试分析仪器佛山医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器红外光谱仪等测量仪器东莞智能水电气表和智能传感器数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器中山数控设备精密仪器共焦显微仪器、超精密多轴基台和平板在线检测装备等大型精密科学测试分析仪器江门医疗仪器设备及器械制造数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器肇庆数控设备精密仪器大型精密科学测试分析仪器汕头医疗仪器设备及器械制造大型精密科学测试分析仪器阳江数控设备精密仪器韶关数控设备精密仪器河源钟表与计时仪器产品广州、深圳、珠海、佛山四大城市被纳入精密仪器设备产业集群布局核心城市，东莞、惠州、中山、江门、肇庆、汕头、韶关、河源八大城市被纳入精密仪器设备产业集群布局重点城市，潮州、湛江、茂名、梅州、清远、云浮六城被纳入精密仪器设备产业集群布局一般城市。“十四五”时期全省制造业总体空间布局图（说明：产业集群区域布局的重要程度用★的数量表示，其中★★★标注核心城市，★★标注重点城市，★标注一般城市；未标星的地市可以结合自身实际谋划发展。）“十大”战略性支柱产业布局产业集群珠三角地区沿海经济带东翼沿海经济带西翼北部生态发展区具有布局该集群的地市数量广州深圳珠海佛山东莞惠州中山江门肇庆汕头汕尾揭阳潮州湛江茂名阳江韶关梅州河源清远云浮（个）11.半导体与集成电路★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1112.高端装备制造★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1513.智能机器人★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1314.区块链与量子信息★★★★★★★★★★★★★★★815.前沿新材料★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1616.新能源★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1417.激光与增材制造★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1318.数字创意★★★★★★★★★★★★★★★★819.安全应急与环保★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★1820.精密仪器设备★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★★18各地市布局的新兴产业集群数量（个）101010101089107844562443532此外，在广东省多个重点领域发展布局中也提到了大力发展科学仪器：（一）新一代电子信息重点细分领域发展健康监测仪器和检测设备、智能水电气表和智能传感器。（二）现代轻工纺织重点细分领域发展钟表与计时仪器产品。（三）生物医药与健康重点细分领域发展医疗仪器设备及器械制造，包括体外诊断产品、先进医疗设备、医学影像诊断类、放射治疗类、医用电子仪器类、基因测序等。（四）高端装备制造重点细分领域发展智能化数控设备精密仪器、激光装备、高端医疗设备装备与精密制造、智能化仪器仪表、新型传感器、专用智能检测设备、专用核心元器件、高端装备零部件等。（五）区块链与量子信息领域，开展量子计算、量子精密测量与计量、量子网络等新兴技术研发与应用，建立先进科学仪器与“卡脖子”设备研发平台。（六）前沿新材料领域开发高端测试仪器设备，突破材料基因工程的高通量计算/实验/专用数据库等关键技术，促进平台融合和协同。（七）精密仪器设备领域，巩固提升示波器、监护仪、血细胞分析仪、功率分析仪、基因测序仪、质谱仪等国内国际领先优势。重点突破工业自动化测控仪器与系统、大型精密科学测试分析仪器、高端信息计测与电测仪器等领域技术研发与产业化应用。支持新型传感技术、智能化技术、计量测量技术、功能安全控制技术等共性核心技术研究与产业化应用，打造贯穿创新链、产业链的创新生态系统。到2025年，精密仪器设备产业规模达到约3000亿元，基本建成产业结构布局合理、自主创新能力突出、具有核心国际竞争力的世界级现代化产业集群。精密仪器设备重点细分领域发展空间布局1.工业自动化测控仪器与系统。以珠三角地区为核心，重点支持广州、深圳开展精密仪器设备研发创新、制造，广州加快推进面向消费电子产线的模块化嵌入式仪器平台、基于AI的产线视觉测试平台、面向自动化产线的模块化夹具与载板平台等研制工作。深圳加快OCA(光学胶)自动全贴合设备研发。中山加快“超精密仪器技术与工程产业化及研发中心”建设，研发共焦显微仪器、超精密多轴基台和平板在线检测装备等。2.大型精密科学测试分析仪器。以广州、深圳为核心，支持东莞、佛山、江门、肇庆、珠海、中山、汕头等市发挥生产制造优势，建设精密仪器设备生产基地，支持其他市做好产业配套发展。支持广州、深圳等市高校、科研院所加强精密仪器设备检测创新原理和方法的基础研究，解决精密仪器设备的关键技术问题，逐步实现精密仪器设备产业的短板技术与关键设备国产化突破和进口替代。支持广州加快建设粤港澳大湾区高端科学仪器创新中心，以质谱仪器开发为主线，重点攻克激光器、离子源、真空系统、数据采集等关键核心技术。在广州、深圳、佛山、东莞、珠海等市布局建设精密仪器设备科技产业园区，支持中山西湾国家重大仪器科学园、东莞松山湖科技产业园区、广州生命科学大型仪器区域中心等各类专业园区(中心)建设。3.高端信息计测与电测仪器。以广州、深圳为核心，加快高精度电测仪器、户外高加速老化试验仪、高精度多声道超声波流量计、5G数据采集综合测试仪、高精密触发测量、高精密扫描测量等仪器研发创新，支持开展环境应力筛选、可靠性强化、产品寿命等可靠性工程试验、产品可靠性检验检测等应用。支持佛山加快红外光谱仪等测量仪器研发创新。《规划》提出，到2025年，广东省制造强省建设迈上重要台阶，制造业整体实力达到世界先进水平，创新能力显著提升，产业结构更加优化，产业基础高级化和产业链现代化水平明显提高，部分领域取得战略性领先优势，培育形成若干世界级先进制造业集群，成为全球制造业高质量发展典范。展望2035年，制造强省地位更加巩固，关键核心技术实现重大突破，率先建成现代产业体系，制造业综合实力达到世界制造强国领先水平，成为全球制造业核心区和主阵地。全文如下：广东省制造业高质量发展“十四五”规划目录前言… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5第一章发展现状和发展趋势… … … … … … … … … … … … … … 7第一节发展现状… … … … … … … … … … … … … … … … … … … 7第二节发展趋势… … … … … … … … … … … … … … … … … … 11第二章总体要求… … … … … … … … … … … … … … … … … … 13第一节指导思想… … … … … … … … … … … … … … … … … … 14第二节基本原则… … … … … … … … … … … … … … … … … … 14第三节发展定位… … … … … … … … … … … … … … … … … … 16第四节主要发展目标… … … … … … … … … … … … … … … … 17第三章发展重点方向… … … … … … … … … … … … … … … … 20第一节巩固提升战略性支柱产业… … … … … … … … … … … 20第二节前瞻布局战略性新兴产业… … … … … … … … … … … 39第三节谋划发展未来产业… … … … … … … … … … … … … … 54第四章重大工程… … … … … … … … … … … … … … … … … … 55第一节实施强核工程，完善制造业协同创新体系… … … … 55第二节实施立柱工程，打造具有国际竞争力的产业集群和企业群… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 58第三节实施强链工程，

11月22日，备受瞩目的2023年中国科学院、中国工程院两院院士增选名单正式公布！2023年中国科学院选举产生了59名中国科学院院士， 2023年中国工程院院士增选共选举产生74位中国工程院院士。中国科学院、中国工程院是国家科学技术界和工程科技界的最高学术机构，是国家战略科技力量，入选两院院士是我国科学研究人员的最高荣誉。据悉，本次两院院士增选名额进一步向国家急需的关键领域和基础学科、新兴学科、交叉学科倾斜；向为国防和国家安全作出突出贡献的科研人员倾斜；向承担国家重大科研任务、重大科技基础设施建设和重大工程并作出突出贡献的科研人员倾斜。本次两院院士有多位传感器及仪器仪表、半导体等领域专家当选！简要整理，以飨读者。2023年新当选中国科学院院士名单-传感器领域专家名单&简介刘胜年龄：59工作单位：武汉大学研究方向：微纳制造及芯片封装与集成学部：技术科学部【简介】刘胜，教授、国家杰出青年基金获得者（B类）、长江学者特聘教授、美国电气和电子工程师协会会士、美国机械工程师学会会士。现受聘为科技部“十三五”微纳制造主题专家组成员。目前在研国家重大科研仪器研制项目、国家重点研发计划项目等多项国家级重点重大项目。刘胜院士是电子封装科学与技术领域杰出专家，他长期从事集成电路、LED 和微传感器封装及可靠性理论和前沿技术研究，取得了系统的原创性研究成果。曾荣获国家技术发明二等奖（2016）、电子学会技术发明一等奖（2018）、电子学会十佳工作者（2018）、教育部技术发明一等奖（2015）、美国白宫总统教授奖等，发表SCI论文260余篇，引用超过2800次，出版著作5本，已授权专利170余项。现任武汉大学工业科学研究院 执行院长、武汉大学微电子学院副院长。郑海荣年龄：45工作单位：中国科学院深圳先进技术研究院研究方向：医学成像仪器与医疗设备学部：信息技术科学部【简介】博士，研究员，博士生导师。国家杰出青年基金获得者、何梁何利科技创新奖及全国“创新争先”奖状获得者。中科院深圳先进技术研究院副院长、Paul C. Lauterbur生物医学成像中心主任。担任国家高性能医疗器械创新中心主任、中科院健康信息学重点实验室主任。本科毕业于哈尔滨工业大学，2006年获美国科罗拉多大学博士学位。主要研究领域为医学成像理论、技术与仪器系统、信号处理与电子学。主持承担国家973计划项目（首席）、国家重大科研仪器专项等科研项目。发表论文200余篇，授权专利100余项，一批专利技术实现产业化。主持完成的高场磁共振成像技术与设备成果以第一完成人获国家科技进步一等奖。孙胜利年龄：52工作单位：中国科学院上海技术物理研究所研究方向：光学工程学部：信息技术科学部【简介】1999年5月至今，中国科学院上海技术物理所。曾任中国科学院上海技术物理所工程三室主任。现任中国科学院上海技术物理研究所副所长、智能红外感知中科院重点实验室主任、国家级专家。主要从事天基信息获取研究工作，致力于揭示特殊环境中红外探测噪声与时空相关性机理，系统研究了影响探测灵敏度的基本问题，使广域空间微弱时变信号高效捕获难题获得突破。研究领域包括红外智能感知、光电仪器的现代设计方法、数字化制造和全过程定量化测试。近年，引入人工智能、智能制造、天文学等领域的新方法新理念，追求智能红外感知的新突破。荣获中国航天钱学森杰出贡献奖，中国首届创新争先奖，国家技术发明一等奖 （天基高时效红外探测技术），中国科学院杰出成就奖 （天基红外探测关键技术）。张荣年龄：58工作单位：厦门大学研究方向：半导体光电子器件与材料学部：信息技术科学部【简介】张荣 教授，中国科学院院士，教育部“长江学者奖励计划”特聘教授，博士生导师，1964年2月出生，1983年南京大学物理学系本科毕业，1986年南京大学物理学系半导体专业硕士研究生毕业并获硕士学位，1995年获南京大学半导体专业博士学位。现任第十四届全国人大代表，厦门大学党委书记（副部长级）、党委党校校长。先后主持国家“973”计划、“863”计划、国家自然科学基金重大项目等十余项国家和地方重大研究课题，在新型低维量子结构与器件方面，特别是在Ⅲ族氮化物异质结构与器件、硅基异质结构、纳米结构与器件、宽禁带半导体自旋电子材料等方面取得一系列有重大创新意义的研究成果。2023年新当选中国工程院院士名单-传感器领域专家名单&简介孙以泽年龄：64工作单位：东华大学学部：环境与轻纺工程学部【简介】孙以泽，现任东华大学机械工程学院教授、博士生导师、机械电子工程学科带头人、上海市领军人才，获国务院特殊津贴、宝钢优秀教师奖、桑麻奖教金、上海市松江区先进工作者、机械电子工业部优秀科技工作者等荣誉。主要学术兼职为东华大学学术委员会委员。研究方向：1、复杂机械系统及其智能传感测控技术2、高端纺织装备技术与系统3、太阳能光伏系统集成与逆变技术李清泉年龄：57工作单位：深圳大学学部：土木、水利与建筑工程学部【简介】工学博士，二级教授，博士生导师，动态精密工程测量专家，国际欧亚科学院院士，现任深圳大学党委书记。1998年获得武汉测绘科技大学摄影测量与遥感工学博士学位。自然资源部大湾区地理环境监测重点实验室主任，中国测绘学会副理事长，教育部测绘专业教学指导委员会副主任委员，教育部高等学校教学信息化与教学方法创新指导委员会副主任委员。长期从事精密工程测量的多传感器集成与同步控制、测量新技术、测量数据处理新方法研究，形成了动态精密工程测量技术体系，突破影响基础设施性能和安全的刚度/弯沉、表观变形和线形变化连续高精度测量关键难题；发明研制了激光动态弯沉检测装备、移动道路检测车、隧道检测装备、地铁测量小车、管道检测胶囊等系列高端测量专用装备，服务我国70%以上等级公路、数百城市道路以及机场、隧道、地铁、地下管网等领域的状态测量，推动精密工程测量从“静态到动态”、“离散到连续”的转变，显著提升我国基础设施状态测量技术水平，并实现了国际化推广。主持973计划项目、863计划项目、国家重点研发计划课题、国家自然科学基金中欧国际合作项目、重点项目等科研项目50余项。获授权发明专利31项（第一），出版专著5部，发表论文300余篇（SCI 100余篇），引用超过超过16500次，H-index 63；获国家技术发明二等奖1项（第一），国家科技进步二等奖1项（第二），国家科技进步创新团队奖1项（第五），国家教学成果二等奖1项（第一），何梁何利科技进步奖，省部级科技进步一等奖7项（第一），中国青年科技奖，全国十大测绘科技创新人物、全国创新争先奖等，入选全球前2%顶尖科学家榜单。张学军年龄：54工作单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所学部：信息与电子工程学部【简介】张学军，男，1968年9月生，汉族，吉林长春人。现任光机所副所长，研究员，博士研究生导师。1990毕业于吉林工业大学（现吉林大学），1997年在长春光机所获得理学博士，后赴美国亚利桑那大学光学中心做访问学者。归国后一直从事空间光学系统先进制造技术方面的研究，相关研究成果曾获2011年度国家科技进步二等奖（排名第一）、2013年度国家技术发明二等奖（排名第三）、2008年度国家技术发明二等奖（排名第三）、1999年度国家科技进步二等奖（排名第三）、2014年度吉林省科技进步一等奖（排名第一）、2012年度国防技术发明一等奖（排名第三）。申请发明专利30项(授权10项)，发表学术论文142篇，其中SCI收录15篇，EI收录95篇。从上世纪90年代开始张学军一直从事空间光学系统超精加工与检测方面的研究工作，归国后积极投身先进光学制造技术研究，在大口径光学加工、检测等方面做出了一系列开创性工作，成果主要体现在两个方面：一是突破、发展了大口径非球面高精度加工设备、工艺及复合检测技术。研制成功了具有自主知识产权的四代大口径非球面加工中心，技术指标与见诸报道的国际最高水平相当，使我国成为了继美、法之后第三个具备大口径空间反射镜系统制造能力的国家。二是突破了以离轴三反系统为代表的新型光学系统工程化应用的技术瓶颈，推动了我国空间对地遥感新技术体制的建立。多个型号空间相机以及背景预研项目均采用了可同时实现长焦距与大视场的离轴三反光学系统形式，其中8台相机已经在轨服役，全部满足用户使用要求，部分指标为当前国际最高水平。于海斌年龄：58工作单位：中国科学院沈阳自动化研究所学部：信息与电子工程学部【简介】1964年生, 工学博士，研究员、博士生导师，“十一五”国家863计划先进制造领域专家组成员，国家科学技术 奖励评审委员会评审专家。现任中国科学院沈阳分院院长、分党组副书记。主要研究方向：工业通信与实时系统理论，分布控制系统技术，工业无线技术，网络协同与智能制造。主持并参加了多项国家级项目，包括国家自然科学基金杰出青年基金项目、国家自然科学基金重点项目、国家高技术研究发展计划（863）重点项目以及中国科学院重要方向性项目等。在高水平国际国内期刊和知名国际会议上发表论文100余篇，出版学术专著2部 。王岩飞年龄：59工作单位：中国科学院空天信息创新研究院学部：信息与电子工程学部【简介】1984年毕业于北方交通大学，1987年毕业于中国科学院电子学研究所，获硕士学位，1998年获博士学位。现任中国科学院电子学研究所研究员，博士导师。主要研究方向：微波成像与数字信号处理技术。从1987年至今在中国科学院电子学研究所工作，1992年至1993年在澳大利亚新南威尔士大学遥感中心访问学习。先后参加了国家自然科学基金课题“雷达图像模拟”、“宽带微波成像原理研究”、863项目“星载SAR总体及关键技术可行性研究”、科学院攻关项目“机载多极化合成孔径雷达系统”、863项目“机载SAR实时数字成像处理器”、以及干涉式合成孔径雷达、雷达图像的模拟和几何校正研究等工作。目前，主要从事“机载成像雷达系统”、“合成孔径雷达实时成像处理器”、“星载合成孔径雷达系统”、“星载合成孔径雷达原始数据实时压缩技术”、以及“分布式卫星成像雷达系统”等项目的研究工作。童小华年龄：51工作单位：同济大学学部：信息与电子工程学部【简介】童小华，男，1971年出生，江西抚州人，教授，博士生导师。分别于1993、1996、1999年获同济大学学士、硕士和博士学位。历任同济大学土木工程学院测量与国土信息工程系副主任、土木工程学院党委副书记兼测量与国土信息工程系党总支书记、测绘与地理信息学院院长、科研管理部部长、校长助理。2021年1月任同济大学党委常委、副校长。研究领域为测绘科学与技术，主要研究方向是航天测绘遥感与深空探测。曾是武汉大学测绘遥感信息工程国家重点实验室博士后、香港理工大学客座研究员、美国加州大学圣巴巴拉分校访问学者。航天测绘遥感与空间探测上海市重点实验室主任，国家杰出青年科学基金获得者，国家重点研发计划项目首席，全国优秀科技工作者，全国教育系统先进集体带头人。现担任国务院学位委员会学科评议组测绘科学与技术组成员、教育部科学技术委员会委员、多部学术期刊编委。研究成果应用于嫦娥探月、测绘卫星和国土资源调查等工程，获得国家科技进步奖一等奖、国家自然科学奖二等奖、全国创新争先奖状。

用玄学都难以预测的俄罗斯世界杯终于被开了挂的法国人夺得了大力神杯，在其中承载的是无数球迷的期盼与伤心的夜晚，每一届世界杯都有老将黯然离场。还没有被击垮的梅西表示，不会在没夺得世界杯之前退役；在采访中明确表示自己将战斗到2026年的C罗；也有34岁的伊涅斯塔选择退役代表着西班牙黄金一代的终结。承载着青春回忆，总有一日要告别。30多年来，DPRn传感器系列也一直在安东帕为密度在线分析提供参考，战斗在第一线。今年，在奥地利格拉茨他们光荣滴退役啦。最后一台DPRn卖给了美国人，在线团队对这台最后的仪器做了独特性的改进。本期栏目特邀安东帕中国在线产品团队，为大家讲述在线密度测量的潜力与发展。除了啤酒饮料行业，新能源、石油化工、生物医药、空调制冷等行业都有相关应用，这条小众的产品线一直保持着低调从容的形象，默默奋战。我们经验丰富的工程师和应用团队负责为您定制最佳的解决方案，提供终身免维护，精度高的产品。这次除了L-Dens 7000以外，也将为大家带来另两个专题：在线产品在新能源汽车以及半导体行业的测量。敬请期待!----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------安东帕的密度传感器在啤酒饮料和酿造行业里一直深受欢迎。新的L-Dens和L-com系列结合了老一代DPRn产品的高精度以及L-Dens 4X7系列的灵活性。新L-Dens系列的X或W型振荡管将取代DPRn的Y型振荡管，结构紧凑，更轻盈，且容易集成在现有的生产工艺上。L-Dens 7000可以配备新型 Pico 3000人机界面 (HMI)，在PICO 3000软件支持下，可与电脑之间通过USB通讯，完成所有的设置及数据导入和导出等功能。----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------L-Dens 7000 密度传感器系列及其浸液部件和适配器可用于以下领域： 石油、化工、制药、乙醇或啤酒饮料行业 危险区域 卫生应用 可耐受腐蚀性极强的化学品 全流式、直路式、旁路式或罐体安装 ---------------------------应用范围广L-Dens 7000 传感器系列无需任何维护，您只需安装传感器，即可在未来数十年内享有最高精度的测量结果。无需维护用于非防爆版本的不锈钢外壳无耗材 ---------------------------终身免维护，精度高

近日，记者从北京怀柔仪器和传感器有限公司获悉，公司正在推动建设包括高端精密加工共享服务平台、智能感知产业服务平台、真空技术联合实验室等在内的仪器传感器产业科创平台，其中部分平台将于年内投入运营，为怀柔仪器和传感器企业提供关键技术研发和中试生产、测试、实验验证等服务。（北京怀柔仪器和传感器有限公司供图）高端精密加工共享服务平台可针对中高端科学仪器关键零部件精度不高、稳定性不好、定位精度差等难题进行技术攻关，为怀柔科学城的科技创新主体提供定制化、小批量的精密加工服务。该平台占地3600平方米，目前已具备高端精密加工、测量等方面能力，预计将于2024年正式运行。智能感知产业服务平台具备温度压力、惯性、气体等传感器的技术服务与测试验证能力，可为相关领域高校、科研院所和企业提供产品设计、工艺优化、科技孵化等服务。该平台占地1500平方米，目前已具备芯片测试、光电传感器测试等方面能力，预计2024年年底正式运行。真空技术联合实验室可为怀柔科学城入驻的科研单位、科学设施及生产制造企业提供真空领域设计、研发、维保、培训等一站式服务。实验室总建筑面积650平方米，规划了洁净实验区、展示培训区、办公研讨区及库房区四个功能区域。目前，实验室各功能区域工程建设和装修已完成，年内也将正式对外运行。“为了解决研发单位资金紧张、设备投入不足、研制产品无行业标准、行业顶层设计不足等问题，我们通过建设公共服务平台来指引行业并提供服务，让各研究机构可以全身心地进行细分领域研究。”北京怀柔仪器和传感器有限公司相关负责人告诉记者，未来希望通过平台打造高端仪器装备和传感器产业发展新范式，引领怀柔成为新变革的力量源、硬科技产业的策源地。