射频辉光光谱仪

尊敬的用户： 您好！感谢您一直以来对HORIBA的支持和关注。 射频辉光放光谱仪（GD-OES）是一款适用于材料表面分析和镀层界面元素分析的工具，它正被广泛应用于半导体、陶瓷/玻璃、镀膜钢铁、薄膜和粉末等样品的测试。 为了帮助HORIBA各系列GD-OES的用户提高仪器操作水平以及理论水平，以充分发挥仪器的性能，我公司将举办为期三天的GD-OES应用技术培训班。欢迎有培训需要的用户积报名。 主 办：HORIBA Scientific（Jobin Yvon光谱技术） 培训时间：2013年11月20 日-22日 培训地点：HORIBA Scientific上海应用中心 （上海市天山西路1068号联强国际广场A栋1层D单元，近2号线淞虹路地铁站） 培训对象：HORIBA射频辉光放电光谱仪用户 主 讲：Celia Olivero（法国应用实验室经理）、余卫华、武艳红（应用工程师） 培训安排： 培训费用： 1、1600元/人（保修期内可提供2人/次免费培训），请于11月12日前将费用转至HORIBA公司账户并予以确认。 2、培训期间，我们将为您免费提供午餐，住宿、差旅等费用需贵单位自理。 报名联系： 联 系 人：Ms. Shen （沈小姐） 电 话：021-62896060-161 邮 箱：yilei.shen@horiba.com 报名截止：2013年11月12日 账户信息： 公司名称：堀场（中国）贸易有限公司 开户行：三菱东京日联银行（中国）有限公司上海分行 账号：404029-00000308854（人民币） 关注我们： 邮箱：info-sci.cn@horiba.com 新浪官方微博：HORIBA Scientific 微信二维码：

研究镀层特性，有哪些常用的分析技术? 　　如今，大多数材料不是多层结构，如薄膜光伏电池、LED、硬盘、锂电池电极、镀层玻璃等就是表面经过特殊处理或是为改善材料性能或耐腐蚀能力采用了先进镀层。为了很好地研究和评价这些功能性镀层特性，有多种表面分析工具应运而生，如我们熟知的X射线光电子能谱XPS、二次离子质谱SIMS、扫描电镜SEM、透射电镜TEM、椭圆偏振光谱、俄歇能谱AES等。 　　为什么辉光放电光谱技术受青睐? 　　辉光放电光谱仪作为一种新型的表面分析技术，虽然近年来才崭露头角，但已受到了越来越多的关注。与上述表面分析技术相比，辉光放电光谱仪在深度剖析材料的表面和深度时具有不可替代的独特优势，它的分析速度快、操作简单、无需超高真空部件，并且维护成本低。 　　辉光放电光谱仪最初起源于钢铁行业，主要被用于镀锌钢板及钢铁表面钝化膜等的测定，但随着辉光放电光谱技术的逐步完善，仪器的性能也得以提升，可分析的材料越来越广泛。 　　其性能的提升表现在两方面：一方面随着深度分辨率的不断提升，辉光放电光谱技术已可以逐渐满足薄膜的测试需求。现在，辉光放电光谱仪的深度分辨率可达亚纳米级别，可测试的镀层厚度从几纳米到150微米，某些特殊材料可以达到200微米。 　　另一方面是辉光源的性能改善，以前辉光放电光谱仪主要用于钢铁行业的测试，测试的镀层样品几乎都是导体，DC直流的辉光源即可满足该类测试，但随着功能性镀层的不断发展，越来越多的非导体、半导体镀层出现，这使得射频辉光源的独特优势不断凸显。射频辉光源既可以测试导体也可以测试非导体样品，无需更换任何部件和测试方法，使用方便。如果需要测试热敏材料或是为抑制元素热扩散则需选用脉冲射频辉光源。脉冲模式下，功率不是持续性的作用到样品上，可以很好地抑制不期望的元素扩散或是造成热敏样品的损坏，确保测试结果的真实准确。 　　辉光放电光谱的工作原理 　　辉光放电腔室内充满低压氩气，当施加在放电两极的电压达到一定值，超过激发氩气所需的能量即可形成辉光放电，放电气体离解为正电荷离子和自由电子。在电场的作用下，正电荷离子加速轰击到(阴极)样品表面，产生阴极溅射。在放电区域内，溅射的元素原子与电子相互碰撞被激化而发光。 辉光放电源的结构示意图，样品作为辉光放电源的阴极 　　整个过程是动态的，氩气离子持续轰击样品表面并溅射出样品粒子，样品粒子持续进入等离子体进行激化发光，不断有新的层在被溅射，从而获得镀层元素含量随时间的变化曲线。 　　辉光放电等离子体有双重作用，一是剥蚀样品表面颗粒 二是激发剥蚀下来的样品颗粒。在空间和时间上分离剥蚀和激发对于辉光放电操作非常重要。剥蚀发生在样品表面，激发发生在等离子体中，这样的设计可以很好地抑制基体效应。 　　氩气是辉光放电最常用的气体，价格也相对便宜。氩气可以激发除氟元素外所有的元素，如需测试氟元素或是氩元素时需采用氖气作为激发气体。有时也会使用混合气体，如Ar+He非常适合于分析玻璃，Ar+H2可提高硅元素的检出，Ar+O2会应用到某些特殊的领域。 　　光谱仪的主要功能是通过收集和分光检测来自等离子体的光以实现连续不断监控样品成分的变化。光谱仪的探测器必须能够快速响应，实时高动态的观测所有元素随深度的变化。辉光放电光谱仪中多色仪是仪器的重要组成部分，是实现高动态同步深度剖析的保障。而光栅是光谱仪的核心，光栅的好坏决定了光谱仪的性能，如光谱分辨率、灵敏度、光谱仪工作范围、杂散光抑制等。辉光放电是一种较弱的信号，光通量的大小对仪器的整体性能有至关重要的影响。 　　如何进行定量分析? 　　和其他光谱仪一样，通过辉光放电光谱仪做定量分析也需要建立标准曲线。不同的是，辉光放电光谱仪的标准曲线不仅是建立信号强度和元素浓度之间的关系，还会建立时间和镀层深度间的关系。 　　下图是涂镀在铁合金上的TiN/Ti2N复合镀层材料的元素深度剖析，直接测试所得的信号强度(V)vs时间(s)的数据经过标准曲线计算后可获得浓度vs深度的信息，可清晰的读取各深度元素的浓度。 　　想建立标准曲线就会涉及到标准样品，传统钢铁领域已经有非常成熟的方法及大量的标准样品可供选择。然而一些先进材料和新物质，很难找到标准样品做常规定量分析。HORIBA研发的辉光放电光谱仪针对这类样品开发了一种定量分析方法，称为Layer Mode，该方法可以使用一个与分析样品相类似的参比样品建立简单的标准曲线，实现对待测样品的半定量分析。 　　辉光放电光谱的主要应用 　　除了传统应用领域钢铁行业，辉光放电光谱仪现在主要应用于半导体、太阳能光伏、锂电池、硬盘等的镀层分析。下面就这些新型应用阐述一下辉光放电光谱仪的独特优势。 　　1. 半导体-LED芯片 　　如上图所示，LED芯片通常是生长在蓝宝石基底上的多镀层结构，其量子阱活性镀层非常薄(仅有几纳米)，而且还包埋在GaN层下。这种结构也增加了分析的难度。典型的表面技术如SIMS和XPS可以非常好表征这个活性镀层，但是在分析过程中要想剥蚀掉上表面的GaN层到达活性镀层需要耗费几个小时，分析速度慢，时效性差。 　　辉光放电光谱仪的整个分析过程仅需几十秒即可获得LED芯片镀层中各元素随深度的分布曲线，可快速反馈工艺生产过程中遇到的问题。 　　2、太阳能光伏电池 　　太阳能电池中各成分的梯度以及界面对于光电转换效率来说至关重要，辉光放电光谱仪可以快速表征这些成分随深度的分布，并通过这些信息优化产品结构，提高效率。分析速度快、操作简单、非常适用于实验室或工厂大量分析样品。 　　3、锂电池 　　锂离子电池的正极材料是氧化钴锂，负极是碳。 　　锂离子电池的工作原理就是指其充放电原理。当对电池进行充电时，电池的正极上有锂离子生成，生成的锂离子经过电解液运动到负极。而作为负极的碳呈层状结构，它有很多微孔，到达负极的锂离子就嵌入到碳层的微孔中，嵌入的锂离子越多，充电容量越高。 　　同理，当对电池进行放电时(即我们使用电池的过程)，嵌在负极碳层中的锂离子脱出，又运动回到正极。回到正极的锂离子越多，放电容量越高。我们通常所说的电池容量指的就是放电容量。 　　辉光放电光谱仪可以通过测试正负电极上各种元素随深度的分布来判定其质量及使用寿命等。 　　辉光放电光谱仪除独立表征样品外，还可以和其他分析手段相结合多方位全面的进行表征。如辉光放电光谱仪可以与XPS、SEM、TEM、拉曼和椭偏等技术共同分析。 　　总体来说，辉光放电光谱仪是一种非常方便快速的镀层分析手段。它的出现极大地解决了工艺生产中质量监控、条件优化等问题，此外还开拓了新的表征方向。 　　关于HORIBA 脉冲射频辉光放电光谱仪 　　HORIBA研发的脉冲射频辉光放电光谱仪是一款用于镀层材料研究、过程加工和控制的理想分析工具。脉冲射频辉光放电光谱仪可对薄/厚膜、导体或非导体提供超快速元素深度剖析，并且对所有的元素都有高的灵敏度。 　　脉冲射频辉光放电光谱仪结合了脉冲射频供电的辉光放电源和高灵敏度的发射光谱仪。前者具有很高的深度分辨率，可对样品分析区域进行一层层剥蚀 后者可实时监测所有感兴趣元素。 　　(本文由HORIBA 科学仪器事业部提供)

摘要：本文首先简单回顾了辉光放电光谱仪（Glow Discharge Optical Emission Spectrometry，GDOES）的发展历程及特性，然后通过实例介绍了GDOES在微米涂层以及纳米超薄膜层深度剖析中的应用，并简介了深度谱定量分析的混合-粗糙度-信息深度（MRI）模型，最后对GDOES深度剖析的发展方向作了展望。1 GDOES发展历程及特性辉光放电发射光谱仪应用于表面分析及深度剖析已经有近100年的历史。辉光放电装置以及相关的光谱仪最早出现在20世纪30年代，但直到六十年代才成为化学分析的研究重点。1967年Grimm引入了“空心阳极-平面阴极”的辉光放电源[1]，使得GDOES的商业化成为可能。随后射频（RF）电源的引入，GDOES的应用范围从导电材料拓展到了非导电材料，而毫秒或微秒级的脉冲辉光放电(Pulsed Glow Discharges，PGDs)模式的推出，不仅能有效地减弱轰击样品时的热效应，同时由于PGDs可以使用更高激发功率，使得激发或电离过程增强，大大提高了GDOES测量的灵敏程度，极大推动了GDOES技术的进步以及应用领域的拓展。GDOES被广泛应用于膜层结构的深度剖析，以获取元素成分随深度变化的关系。相较于其它传统的深度剖析技术，如俄歇电子能谱（AES）、X射线光电子能谱（XPS）和二次离子质谱（SIMS）或二次中性质谱（SNMS），GDOES具有如下的独特性[2]：（1）分析样品材料的种类广，可对导体/非导体/无机/有机…膜层材料进行深度剖析，并可探测所有的元素(包括氢)；（2）分析样品的厚度范围宽，既可对微米量级的涂层/镀层，也可对纳米量级薄膜进行深度剖析；（3）溅射速率高，可达到每分钟几微米；（4）基体效应小，由于溅射过程发生在样品表面，而激发过程在腔室的等离子体中，样品基体对被测物质的信号几乎不产生影响；（5）低能级激发，产生的谱线属原子或离子的线状光谱，因此谱线间的干扰较小；（6）低功率溅射，属层层剥离，深度分辨率高，可达亚纳米级；（7）因为采用限制式光源，样品激发时的等离子体小，所以自吸收效应小，校准曲线的线性范围较宽；（8）无高真空需求，保养与维护都非常方便。基于上述优势，GDOES被广泛应用于表征微米量级的材料表面涂层/镀层、有机膜层的涂布层、锂电池电极多层结构和用于其封装的铝塑膜层、以及纳米量级的功能多层膜中元素的成分分布[3-6]，下面举几个具体的应用实例。2 GDOES深度剖析应用实例2.1 涂层的深度剖析用于材料表面保护的涂层或镀层、食品与药品包装的柔性有机基材的涂布膜层、锂电池的多层膜电极，以及用于锂电池包装的铝塑膜等等的膜层厚度一般都是微米量级，有的膜层厚度甚至达到百微米。传统的深度剖析技术，如AES，XPS和SIMS显然无法对这些厚膜层进行深度剖析，而GDOES深度剖析技术非常适合这类微米量级厚膜的深度剖析。图1给出了利用Horiba-Profiler 2（一款脉冲—射频辉光放电发射光谱仪—Pulsed-RF GDOES，以下深度谱的实例均是用此设备测量），在Ar气压700Pa和功率55w条件下，测量的表面镀镍的铁箔GODES深度谱，其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面各元素的深度谱，测量时间与深度的转换是通过设备自带的激光干涉仪（DIP）对溅射坑进行原位测量获得。从全谱来看，GDOES测量信号强度稳定，未出现溅射诱导粗糙度或坑道效应（信号强度随溅射深度减小的现象，见下），这主要是因为铁箔具有较大的晶粒尺寸。同时还可以看到GDOES可连续测量到~120μm，溅射速率达到4.2μm/min（70nm/s）。从插图来看， Ni的镀层约为1μm，在表面有~100nm的氧化层，Ni/Fe界面分辨清晰。图1 表面镀镍铁箔的GODES深度谱，其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面的各元素的深度谱图2给出了在氩-氧（4 vol%）混合气气压750Pa、功率20w、脉冲频率3000Hz、占空比0.1875条件下，测量的用于锂电池包装铝塑膜（总厚度约为120μm）的GODES深度谱，其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]。可以看出有机聚酰胺层主要包含碳、氮和氢等元素。在其之下碳、氮和氢元素信号的强度先降后升，表明在聚酰胺膜层下存在与其不同的有机涂层—粘胶剂，所含主要元素仍为碳、氮和氢。同时还可以看出在粘胶剂层下面的无机物（如Al，Cr和P）膜层，其中Cr和P源于为提高Al箔防腐性所做的钝化处理。很明显，图2测量的GDOES深度谱明确展现了锂电池包装铝塑膜的层结构。实验中在氩气中引入4 vol%氧气有助于快速溅射有机物的膜层结构，同时降低碳、氮信号的相对强度，提高了无机物如铬信号的相对强度，非常适合于无机-有机多层复合材料的结构分析，而在脉冲模式下，选用合适的频率和占空比，能够有效地散发溅射产生的热量，从而避免了低熔点有机物的碳化。图2一款锂电池包装铝塑膜的GDOES溅射深度谱，其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]2.2 纳米膜层及表层的深度剖析纳米膜层，特别是纳米多层膜已被广泛应用于光电功能薄膜与半导体元器件等高科技领域。虽然传统的深度剖析技术AES，XPS和SIMS也常常应用于纳米膜层的表征，但对于纳米多层膜，传统的深度剖析技术很难对多层膜整体给予全面的深度剖析表征，而GDOES不仅可以给予纳米多层膜整体全面的深度剖析表征，而且选择合适的射频参数还可以获得如AES和SIMS深度剖析的表层元素深度谱。图3给出了在氩气气压750Pa、功率20w、脉冲频率1000Hz、占空比0.0625条件下，测量的一款柔性透明隔热膜（基材为PET）的GODES深度谱，如图3a所示，其中最具特色的就是清晰地表征了该款隔热膜最核心的三层Ag与AZO（Al+ZnO）共溅射的膜层结构，如图3b Ag膜层的GDOES深度谱所示。根据获得的溅射速率及Ag的深度谱拟合（见后），前两层Ag的厚度分别约为5.5nm与4.8nm[8]。很明显，第二层Ag信号较第一层有较大的展宽，相应的强度值也随之下降，这是源于GDOES对金属膜溅射过程中产生的溅射诱导粗糙度所致。图3（a）一款柔性透明隔热膜GDOES深度谱；（b）其中Ag膜层GDOES深度谱[8]图4给出了在氩气气压650Pa、功率20w、脉冲频率10000Hz、占空比0.5的同一条件下，测量的SiO2(300nm)/Si(111)标准样品和自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GODES深度谱[9]。如果取测量深度谱的半高宽为膜层的厚度，由此得到标准样品SiO2层的溅射速率为6.6nm/s（=300nm/45.5s），也就可以得到自然氧化的SiO2膜层厚度约为1nm（=6.6nm/s*0.15s）。所以，GDOES完全可以实现对一个纳米超薄层的深度剖析测量，这大大拓展了GDOES的应用领域，即从传统的钢铁镀层或块体材料的成分分析拓展到了对纳米薄膜深度剖析的表征。图4 （a）SiO2(300nm)/Si(111)标准样品与（b）自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GDOES深度谱[9]3 深度谱的定量分析3.1 深度分辨率对测量深度谱的优与劣进行评判时，深度分辨率Δz是一个非常重要的指标。传统Δz(16%-84%)的定义为[10]：对一个理想（原子尺度）的A/B界面进行溅射深度剖析时，当所测定的归一化强度从16%上升到84%或从84%下降到16%所对应的深度，如图5所示。Δz代表了测量得到的元素成分分布和原始的成分分布间的偏差程度，Δz越小表示测量结果越接近真实的元素成分分布，测量深度谱的质量就越高。但是随着科技的发展，应用的薄膜越来越薄，探测元素100%（或0%）的平台无法实现，就无法通过Δz(16%-84%)的定义确定深度分辨率，而只能通过对测量深度谱的定量分析获得（见下）。图5深度分辨率Δz的定义[10]3.2 深度谱定量分析—MRI模型溅射深度剖析的目的是获取薄膜样品元素的成分分布，但溅射会改变样品中元素的原始成分分布，产生溅射深度剖析中的失真。溅射深度剖析的定量分析就是要考虑溅射过程中，可能导致样品元素原始成分分布失真的各种因素，提出相应的深度分辨率函数，并通过它对测量的深度谱数据进行定量分析，最终获取被测样品元素在薄膜材料中的真实分布。对于任一溅射深度剖析实验，可能导致样品原始成分分布失真的三个主要因素源于：①粒子轰击产生的原子混合（atomic Mixing）；②样品表面和界面的粗糙度（Roughness）；③探测器所探测信号的信息深度（Information depth）。据此Hofmann提出了深度剖析定量分析著名的MRI深度分辨率函数[11]： 其中引入的三个MRI参数：原子混合长度w、粗糙度和信息深度λ具有明确的物理意义，其值可以通过实验测量得到，也可以通过理论计算得到。确定了分辨率函数，测量深度谱信号的归一化强度I/Io可表示为如下的卷积[12]： 其中z'是积分参量，X(z’)为原始的元素成分分布，g(z-z’)为深度分辨率函数，包含了深度剖析过程中所有引起原始成分分布失真的因素。MRI模型提出后，已被广泛应用于AES，XPS，SIMS和GDOES深度谱数据的定量分析。如果假设各失真因素对深度分辨率影响是相互独立的，相应的深度分辨率就可表示为[13]：其中r为择优溅射参数，是元素A与B溅射速率之比（）。3.3 MRI模型应用实例图6给出了在氩气气压550Pa、功率17w、脉冲频率5000Hz、占空比0.25条件下，测量的60 Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14]，结果清晰地显示了Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) 膜层结构，特别是分辨了仅0.3nm的B4C膜层， B和C元素的信号其峰谷和峰顶位置完全一致，可以认为B和C元素的溅射速率相同。为了更好地展现拟合测量的实验数据，选择溅射时间在15~35s范围内测量的深度剖析数据进行定量分析[15]。图6 60×Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14]利用SRIM 软件[16]估算出原子混合长度w为0.6 nm，AFM测量了Mo/B4C/Si多层膜溅射至第30周期时溅射坑底部的粗糙度为0.7nm[14]，对于GDOES深度剖析，由于被测量信号源于样品最外层表面，信息深度λ取为0.01nm。利用（1）与（2）式，调节各元素的溅射速率，并在各层名义厚度值附近微调膜层的厚度，Mo、Si、B（C）元素同时被拟合的最佳结果分别如图7（a）、（b）和（c）中实线所示，对应Mo、Si、B(C)元素的溅射速率分别为8.53、8.95和4.3nm/s，拟合的误差分别为5.5%、6.7%和12.5%。很明显，Mo与Si元素的溅射速率相差不大，但是B4C溅射速率的两倍，这一明显的择优溅射效应是能分辨0.3nm-B4C膜层的原因。根据拟合得到的MRI参数值，由（3）式计算出深度分辨率为1.75 nm，拟合可以获得Mo/B4C/Si多层薄膜中各个层的准确厚度，与HR-TEM测定的单层厚度基本一致[15]。图7 测量的GDOES深度谱数据(空心圆)与MRI最佳拟合结果(实线)：(a) Mo层，(b) Si层，(c) B层；相应的MRI拟合参数列在图中[15]。4 总结与展望从以上深度谱测量实例可以清楚地看到，GDOES深度剖析的应用非常广泛，可测量从小于1nm的超薄薄膜到上百微米的厚膜；从元素H到Lv周期表中的所有元素；从表层到体层；从无机到有机；从导体到非导体等各种材料涂层与薄膜中元素成分随深度的分布，深度分辨率可以达到~1nm。通过对测量深度谱的定量分析，不仅可以获得膜层结构中原始的元素成分分布，而且还可以获得元素的溅射速率、膜层间的界面粗糙度等信息。虽然GDOES深度剖析技术日趋完善，但也存在着一些问题，比如在GDOES深度剖析中常见的溅射坑底部凸凹不平的“溅射坑道效应”（溅射诱导的粗糙度），特别是对多晶金属薄膜的深度剖析尤为明显，这一效应会大大降低GDOES深度谱的深度分辨率。消除溅射坑道效应影响一个有效的方法就是引入溅射过程样品旋转技术，使得各个方向的溅射均等。此外，缩小溅射（分析）面积也是提高溅射深度分辨率的一种方法，但需要考虑提高探测信号的强度，以免降低信号的灵敏度。另外，GDOES深度剖析的应用软件有进一步提升的空间，比如测量深度谱定量分析算法的植入，将信号强度转换为浓度以及溅射时间转换为溅射深度算法的进一步完善。作者简介汕头大学物理系教授 王江涌王江涌，博士，汕头大学物理系教授。现任广东省分析测试协会表面分析专业委员会副主任委员、中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会表面工程分会常务委员；《功能材料》、《材料科学研究与应用》与《表面技术》编委、评委。研究兴趣主要是薄膜材料中的扩散、偏析、相变及深度剖析定量分析。发表英文专著2部，专利十余件，论文150余篇，其中SCI论文110余篇。代表性成果在《Physical Review Letters》，《Nature Communications》，《Advanced Materials》，《Applied Physics Letters》等国际重要期刊上发表。主持国家自然基金、科技部政府间国际合作、广东省科技计划及横向合作项目十余项。获2021年广东省科技进步一等奖、2021年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、2021年粤港澳高价值大湾区专利培育布局大赛优胜奖、2020年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、总决赛一等奖。昆山书豪仪器科技有限公司总经理 徐荣网徐荣网，昆山书豪仪器科技有限公司总经理，昆山市第十六届政协委员；曾就职于美国艾默生电气任职Labview设计工程师、江苏天瑞仪器股份公司任职光谱产品经理。2012年3月，作为公司创始人于创立昆山书豪仪器科技有限公司，2019年购买工业用地，出资建造12300平方米集办公、研发、生产于一体的书豪产业化大楼，现已投入使用。曾获2020年朱良漪分析仪器创新奖青年创新入围奖；2019年昆山市实用产业化人才；2019年江苏省科技技术进步奖获提名；2017年《原子发射光谱仪》“中国苏州”大学生创新创业大赛二等奖；2014年度昆山市科学技术进步奖三等奖；2017年度昆山市科学技术进步奖三等奖；多次获得昆山市级人才津贴及各类奖励项目等。主持研发产品申请的已授权专利47项专利，其中发明专利 4 项，实用新型专利 25项，外观专利7项，计算机软件著作权 11项。论文2篇《空心阴极光谱光电法用于测定高温合金痕量杂质元素》，《Application of Adaptive Iteratively Reweighted Penalized Least Squares Baseline Correction in Oil Spectrometer 》第一编著人；主持编著的企业标准4篇；承担项目包括3项省级项目、1项苏州市级项目、4项昆山市级项目；其中：旋转盘电极油料光谱仪获江苏省工业与信息产业转型升级专项资金--重大攻关项目（现已成功验收，获政府补助660万元）、江苏省首台（套）重大装备认定、江苏省工业与信息产业转型升级专项资金项目、苏州市姑苏天使计划项目等；主持研发并总体设计的《HCD100空心阴极直读光谱仪》、《AES998火花直读光谱仪》、《FS500全谱直读光谱仪》《旋转盘电极油料光谱仪OIL8000、OIL8000H、PO100》均研发成功通过江苏省新产品新技术鉴定，实现了产业化。参考文献：[1] GRIMM, W. 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仪器信息网讯 2014年10月20-21日，由中国工程院、中国合格评定国家认可委员会、中国标准化协会、中国金属学会、国际钢铁工业分析委员会、中国钢研科技集团有限公司主办的&ldquo CCATM&rsquo 2014国际冶金及材料分析测试学术报告会&rdquo 之&ldquo 辉光光谱/表面分析/火花源原子发射光谱&rdquo 分会在北京国际会议中心举行。 会议现场 　　辉光放电光谱(GD-OES)由于具有固体样品直接分析、可分析非导体样品、分析速度快、气体消耗量低、分析成本低等优点，近年来，在元素分析中的应用逐渐增多。目前应用的商业化辉光放电光谱仪厂商主要有美国的Leco公司、德国的Spectro公司、法国的Horiba Jobin Yvon公司。 报告人：首钢技术研究院徐永林 报告题目：辉光放电光谱法在镀锡板检测上的应用 　　徐永林利用辉光放电光谱仪对镀锡板样品进行逐层剥离，根据样品由表至里的辉光放电积分图谱，分别设定公式积分计算镀锡板镀层厚度及重量、钝化层厚度及重量、基板成分、镀层中有害元素等。通过与传统方法的分析结果比对，说明采用辉光放电光谱法分析这些检测项目具有较佳的准确度及精密度，提高了检测效率，同时达到了镀锡板多个检测项目的同时测定。 报告人：首钢技术研究院梁潇 报告题目：直流辉光放电光谱法同时测定铸铁中12种元素 　　梁潇研究了利用辉光放电光谱法同时测定铸铁中的多种元素含量。通过分析激发电压、激发电流、光电倍增管、预燃时间和积分时间等因素对各元素光谱强度和稳定性的影响，以铁为内标建立了同时测定铸铁中碳、硅、锰、磷、硫、镍、铬、钼、铜、钒、硼等元素含量的分析方法。对不同铸铁样品进行准确度和精密度试验，均得到了很好的结果。 　　火花源原子发射光谱分析法是一项成熟的分析技术，具有操作简便、分析速度快和准确度高的优点。在生产实践中分析金属试样表现出的快速、准确和高精度是其他分析方法无法取代的，因而广泛的应用于钢铁和有色冶金行业炉前快速分析，也是分析各种常见固体金属材料的一种普及的标准分析方法。 　　在会议中，多位报告人介绍了火花源原子发射光谱的最新应用研究。江苏沙钢集团的陈熙介绍了火花源原子发射光谱快速测定钢中低含量硅 钢研纳克检测技术有限公司宋宏峰介绍了火花源原子发射光谱法分析高锰铬钢 上海宝钢工业技术服务有限公司张叶介绍了火花源发射光谱分析焊丝钢线材试样 宝山钢铁股份有限公司研究院赵涛介绍了火花源原子发射光谱法测定铁基非晶合金中的硅和硼。

p span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 　　1968年，W.R.Grimm(格里姆)推出了辉光放电光源，很快发展为辉光放电光谱(GD-OES)和表面分析技术，用于材料及镀层金属的逐层分析 1978年，出现了第一台商品化仪器 20世纪90年代，GD-OES在表面分析领域上得到迅速发展...... /span /p p span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 　　与其它表面分析技术相比，辉光放电光谱仪在深度剖析材料的表面和深度时具有不可替代的独特优势，它的分析速度快、操作简单、无需超高真空部件，并且维护成本低。鉴于此，辉光放电光谱仪受到了越来越多专业人士的关注，其应用领域也不仅仅限于最初的钢铁行业，可分析的材料越来越广泛。 /span /p p span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 　　那么，辉光放电光谱仪目前的技术水平和市场情况怎么样?用户的实际反馈情况如何?为了深入了解辉光放电光谱仪的技术及市场概况，日前仪器信息网编辑特别采访了HORIBA辉光放电光谱仪应用支持工程师武艳红及汕头大学王江勇教授。 /span /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 辉光放电光谱仪中国市场需求量逐年提升 /strong /span /p p span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong br/ /strong /span /p p style=" text-align: center " img title=" 1.jpg" style=" width: 177px height: 246px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/750dd2b6-0440-4ffc-8f38-83060d85a331.jpg" width=" 177" vspace=" 0" hspace=" 0" height=" 246" border=" 0" / /p p style=" text-align: center " strong HORIBA辉光放电光谱仪应用支持工程师武艳红 /strong /p p strong 　　仪器信息网：从行业发展角度分析，辉光放电光谱仪目前的技术水平如何?有哪些新的技术亟待推出或者有哪些技术瓶颈亟待突破? /strong /p p 　　 strong 武艳红： /strong 目前，辉光放电光谱仪已经是一类成熟的表面分析设备，被广泛应用到各个领域的定性和定量分析中。辉光放电光谱技术是有损分析技术，在分析后会在表面留有一个溅射坑，但溅射坑使得分析更加深入，检出限更好，当然样品不可回收也是它的主要缺点。不过，如果对内部结构感兴趣的话也可以利用这个溅射坑为其他表面分析设备服务，比如样品剥蚀完后还可以用扫描电镜观测袒露出来的内部表面结构，或是与XPS联合使用获得镀层结构、元素、分子等方面的信息。此外，辉光放电光谱仪目前在定量方面仍受限于国际标准样品的种类及数量，无法为新型镀层材料做定量曲线，尤其是新型材料还处于定性分析阶段，或实验室自行制备参比样品进行定量。 /p p 　　 strong 仪器信息网：您认为辉光放电光谱仪未来的市场需求情况怎么样? /strong /p p 　　 strong 王江勇： /strong 目前辉光放电光谱仪主要应用于工业界，比如，钢铁及半导体等行业，相信今后随着相关理论工作进一步地跟进与完善，辉光放电光谱仪不仅会拓宽其在工业领域的应用范围，而且也将逐渐被学术界所接受，更多地应用于表面、薄膜、涂层科学研究，所以，可以肯定辉光放电光谱仪未来市场的需求会越来越大。 /p p style=" text-align: center " img title=" 2.jpg" src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/9b4addd0-8eee-4b0b-afed-fbb63472c775.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong 汕头大学 王江勇教授 /strong /p p 　　 strong 仪器信息网：为什么会选择购置辉光放电光谱仪?主要是基于哪方面的科研需求? /strong /p p 　　 strong 王江勇： /strong 实验室选择购置辉光放电光谱仪主要有以下原因：深度分辨率较高，溅射速度快 较其它深度剖析设备价格低 完善现有的深度剖析定量分析理论模型 薄膜相变及功能多层膜成分的表征需求等。 /p p 　　 strong 仪器信息网：贵实验室采购的辉光放电光谱仪的配置情况如何?目前的使用情况如何?取得了哪些研究成果? /strong /p p 　　 strong 王江勇： /strong 我们实验室于2016年购置的HORIBA GD-Profiler 2辉光放电光谱仪, 配有47个谱线通道，并配有一个可进行扫描的单色通道，可以说是目前配置最为完备的辉光放电光谱仪，原则上可以测量所有元素的辉光激发光谱。另外，该谱仪还配备了去年开发出来的新附件-微分干涉测厚仪(DIP)，可进行溅射坑深度的实时测量。 /p p 　　该仪器目前使用良好，几乎每天都有使用。在成果方面，从理论上定量分析了溅射坑形貌对深度分辨率的影响 实验上，对各种基底材料(包括有机材料)最佳的深度剖析条件进行了探索，以确保高分辨率深度剖析的测量。总体来说，目前已对纳米级的金属-金属、氧化物、功能多层膜等进行了高分辨率的深度剖析测量。 /p p 　　 strong 仪器信息网：为什么会选择HORIBA的辉光放电光谱仪? /strong /p p 　　 strong 王江勇： /strong 选择HORIBA的辉光放电光谱仪是基于多方面的考虑：产品技术比较成熟，性价比高，售后团队强大等。 /p p 　　从仪器技术的角度，HORIBA的辉光放电光谱仪的射频光源可以适用于导体、半导体及非导体材料，应用面广，符合实验室多类型材料分析的需求 全自动脉冲分析模式对于玻璃衬底样品、热敏感样品或脆性样品的分析至关重要，可以有效抑制元素在分析过程中的元素层间扩散或样品受热下非期望性变化 深度分辨率高，样品剥蚀坑底部更加平整，有效支撑理论计算和模型建立 此外，HORIBA的辉光放电光谱仪还有多项专利技术为仪器性能改善、实际分析带来益处。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 多项专利技术 HORIBA辉光放电光谱仪优势明显 /strong /span /p p style=" text-align: center " img title=" 3.jpg" style=" width: 300px height: 357px " src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201708/insimg/142d7c83-5317-4315-aeb8-ffdf91597c79.jpg" width=" 300" vspace=" 0" hspace=" 0" height=" 357" border=" 0" / /p p 　　 strong 仪器信息网：HORIBA在辉光放电光谱仪方面的研发历史?目前主推的仪器类型? /strong /p p strong 　　武艳红： /strong 1984年HORIBA拥有了辉光放电光谱仪产线，从此踏上了辉光放电光谱仪不断改进、创新研发之路。。在过去的三十年间，HORIBA应用了17项专利技术以提高其性能，如高动态检测器、全自动脉冲式射频源、polyscan技术、超快速溅射、微分干涉测厚系统(DIP)等。现在辉光放电光谱仪可以分析含量ppm级以上元素随镀层深度的变化，深度分辨率小于1nm，可测深度200um。目前主推的仪器型号为GD-Profiler 2，最新技术有DIP深度测试附件等。 /p p 　　 strong 仪器信息网：HORIBA的辉光放电光谱仪器相比同类产品有哪些优势? /strong /p p strong 　　武艳红： /strong 相对于其它表面分析技术如SIMS、XPS、俄歇、能谱仪等，辉光放电光谱仪分析速度快、操作简单且无需超高真空(UHV)，良好的深度分辨率还可为扫描电镜剥蚀制备样品。 /p p 　　在同类竞争产品中，HORIBA的辉光放电光谱仪在光谱分辨率相同的情况下，能减小设备的焦长，可提高仪器的稳定性和光通量 采用两个真空泵维持辉光灯的气氛的稳定性，使其深度分辨率低于1nm HDD高动态检测器的线性动态范围可达10^9，当样品浓度从无到100%变化时不会饱和溢出，且无需手动设置电压 HORIBA作为全球光栅领导者，可根据设备特性改良光栅使其光谱分辨率和光谱响应达到当前最佳水平。 /p p 　　 strong 仪器信息网：HORIBA辉光放电光谱仪在中国的用户情况? /strong /p p strong 　　武艳红： /strong HORIBA辉光放电光谱仪目前主要应用于渗氮渗碳、镀锌钢板、LED芯片、太阳能光伏、金属镀层、半导体器件、彩涂板、微弧氧化陶瓷、表面处理等领域。中国对辉光放电光谱仪的接触历史比较短，客户主要集中于钢铁行业、高校研究所和半导体公司。代表客户如鞍钢、武钢、汕头大学、复旦大学、清华大学、原子能研究所、LED公司等。 /p p 　　 strong 仪器信息网：针对辉光放电光谱仪，HORIBA在市场方面的推广重点在哪里? /strong /p p strong 　　武艳红： /strong 从近年来用户的关注可以看出，目前主要的问题还是如何快速的让更多科研院所、半导体公司了解该技术。HORIBA每年都会投入大量的市场费用，用于技术交流会、会议赞助、网络讲堂、线下光谱学堂等，以便越来越多的人能够熟知辉光放电技术，并通过这个技术将自己的研究推向更高。 /p p 　　 strong span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 后记： /span /strong span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 今年8月份，由汕头大学等单位协办的“ a title=" " href=" http://www.instrument.com.cn/news/20170821/227131.shtml" target=" _blank" 2017年全国表面分析科学与技术应用学术会议 /a ”于8月10日-13日在在汕头大学召开。本届学术会议旨在推动我国表面分析科学及其应用技术的发展，促进国内外表面分析研究领域的专家学者交流，探讨表面分析技术与其它学科的共同发展，进一步拓展表面分析技术的应用领域。参加本届会议的代表约130多人，创历届之最，云集了国内外学术界的专业人士，除了来自国内的代表外，还有来自美国、德国、法国、日本、匈牙利、西班牙、新加坡及南非等的国外代表。 /span /p p span style=" font-family: 楷体,楷体_GB2312, SimKai " 　　大会开幕式由汕头大学王江涌教授主持，会议组织安排的六个大会报告既是各位专家对自己研究成果的精彩总结、也是对国内外近年来表面分析科学及其应用技术的高度概括，对广大年轻人的表面分析科学及其应用技术学习、成长和进一步凝练方向具有重要的指导意义，大会报告更是令大家开拓了新的视野。 /span /p

最近，中科院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心卓尚军、钱荣等人的课题组与英国质谱仪器公司（MSI）合作，将堆叠磁铁系统和辉光放电质谱仪（Autoconcept GD90-RF）的射频源耦合，在非导体样品中观察到了超过50%的信号强度增益。作者借助ANSYS，对这种显著信号增强现象的机理进行了分析，发现：振荡磁场的引入，扩展了电子的运动路径，增大了电子和中性粒子间的碰撞几率，从而提高了非导体样品的电离效率。同时，该现象在多种非导体样品中得以再现，表明该方法是一种简便、有效且具备一定普适性的方法。相关工作发表在国际权威学术期刊《Analytical Chemistry》上。 横向堆叠磁铁、横向块体磁铁、轴向块体磁铁耦合和无磁铁耦合情况下，Y2O3、BSO (Bi12SiO20)、BTN (Ba5.52La0.32Ti2Nb8O30)样品中的Y、Bi、Ba的射频放电信号对比。 用典型元素的信号强度表示的放电稳定性：采用经堆叠磁铁耦合的射频源，对(a)Y2O3、(b)BSO (Bi12SiO20)、(c)BTN (Ba5.52La0.32Ti2Nb8O30)样品进行溅射得到的测量结果。文章链接如下：http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.analchem.6b04884 文章摘要如下：A method for signal enhancement utilizing stacked magnets was introduced into high-resolution radio frequency glow discharge-mass spectrometry (rf-GD-MS) for significantly improved analysis of inorganic materials. Compared to the block magnet, the stacked magnets method was able to achieve 50–59% signal enhancement for typical elements in Y2O3, BSO, and BTN samples. The results indicated that signal was enhanced as the increase of discharge pressure from 1.3 to 8.0 mPa, the increase of rf-power from 10 to 50 W with a frequency of 13.56 MHz, the decrease of sample thickness, and the increase of number of stacked magnets. The possible mechanism for the signal enhancement was further probed using the software “Mechanical APDL (ANSYS) 14.0”. It was found that the distinct oscillated magnetic field distribution from the stacked magnets was responsible for signal enhancement, which could extend the movement trajectories of electrons and increase the collisions between the electrons and neutral particles to increase the ionization efficiency. Two NIST samples were used for the validation of the method, and the results suggested that relative errors were within 13% and detection limit for six transverse stacked magnets could reach as low as 0.0082 μg g–1. Additionally,the stability of the method was also studied. RSD within 15% of the elements in three nonconducting samples could be obtained during the sputtering process. Together, the results showed that the signal enhancement method with stacked magnets could offer great promises in providing a sensitive, stable, and facile solution foranalyzing the nonconducting materials.

p style=" text-indent: 2em text-align: justify line-height: 1.5em " 近日，《质谱学报》出版了由复旦大学杨芃原教授组织，全国多家质谱研制相关课题组参与撰写的“质谱仪器研制专辑”，专辑主要包含四极杆的离子光学和串联振荡技术 四极杆的导向装置、四极杆质量分辨自动调节技术、三重四极杆仪器开发平台以及三重四极杆质谱分析软件等硬软件技术 双线形离子阱间离子传输技术和静电轨道离子阱离子切向引入技术 小型飞行时间质谱和离子束诊断飞行时间质谱 复合离子源技术和激光后电离技术 以及集成了质谱技术的超宽波段光解离光谱系统和调控纳微尺度分子组装装置的研制等内容。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　仪器信息网授权对本专辑内容进行转载，以下为系列分享第二期，题为“ strong 用于低质荷比离子传输的射频四极杆导向装置的研制” /strong 的文章，作者贺飞耀，通讯作者为四川大学段忆翔教授。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　段忆翔教授，博士生导师，现任四川大学分析仪器研究中心主任，是四川大学分析仪器研究中心的创始人。科技部重大科学仪器设备开发专项项目负责人。自2010年8月回国至今，开发研制了系列激光诱导击穿光谱仪，基于等离子体的便携式光谱仪，质子转移反应质谱仪，离子迁移谱仪等多种分析测试仪器，已申请专利共计80余项，发表SCI论文200余篇。作为项目负责人承担多个国家、省部各种项目。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　其课题组主要的研究方向有： 新型质谱离子源与质谱技术、激光光谱分析技术、新型生物传感器及光纤传感技术、创新型分析仪器的研发等。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em " 　　离子传输系统是质谱仪的重要组成部分，主要作用是将离子高效率地传输到质量分析器。文章介绍课题组研制了一种用于质子转移反应飞行时间质谱（PTR-TOF-MS）系统的射频四极杆离子导向装置，四极杆长80mm，杆半径2.6mm，内切圆半径2.25mm，该装置可针对性地实现低质荷比挥发性有机化合物（VOC）离子的聚焦传输。利用SIMION8.1离子光学模拟平台对装置的运行环境进行仿真，然后在自行搭建的测试平台上对装置的工作条件，如气压、频率和电压幅值进行测试。结果表明，仿真和测试结果具有较好的一致性，装置的工作气压范围较宽，在0.2-0.3Pa时的传输效率最高；当频率为3-4MHz，电压幅值（Vp-p）为500V左右时，对丙酮、甲苯等低质荷比VOCs（& lt m/z 100）的传输效率接近76%，且离子束直径≤0.7mm。该装置结构简单、成本低、传输效率高，具有潜在的实用价值，有望应用于PTR-TOF MS系统。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.5em text-indent: 2em " 以下为全文： /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/55294ba3-ee3b-4a51-81b4-b3374bbcc574.jpg" title=" 2-1.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/356e51c7-46c5-4f46-8b8a-736f2d0b82f9.jpg" title=" 2-2.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/e67497d5-d30a-4397-bd61-d9d94f224799.jpg" title=" 2-3.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/9ab83c14-288b-4340-af4f-8777b1bfc213.jpg" title=" 2-4.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/81272aa9-5927-41fa-859d-e931819754da.jpg" title=" 2-5.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/2bb18278-c628-4143-a84c-4b8d6e5caf15.jpg" title=" 2-6.png" / /p p style=" text-align: center" img style=" " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202003/uepic/78d1ba65-cb14-452c-90a7-bcf34602c317.jpg" title=" 2-7.png" / /p p style=" text-align: right " span style=" font-size: 18px " strong 来源：《质谱学报》 /strong /span br/ /p

依据《中华人民共和国无线电管理条例》，第五章第二十七条，生产的无线电发射设备，其工作频率、频段和有关技术指标应当符合国家有关无线电管理的规定，并报国家无线电管理机构或者地方无线电管理机构备案。无线射频产品型号核准制度在中国是强制的认证制度。 　　频谱资源属于国家资源，因此每个国家对于无线射频产品的管理，也是强制性要求，除中国SRRC认证外，美国FCC认证，欧盟的R&TTE认证，是全球针对无线射频的主要法规要求。 　　如何让您的产品更顺利，更快捷的满足这些技术壁垒，迅速占有市场，特举办该研讨会，与各厂家共同发展。 　　【主要内容】 　　l 《中国无线电管理条例》法规解读以及有关新规定 　　l 中国无线电发射设备型号核准(SRRC)及测试规范 　　l 无线射频产品的美国FCC认证 　　l 无线射频产品的欧盟R&TTE认证 　　l 无线射频产品的其他地区(如巴西，日本，韩国，东南亚等地)认证要求 　　l 无线射频产品的模块认证 　　l 无线射频产品在船用产品，车用产品，飞机产品，及军品中的特殊要求 　　【适合对象】 　　电子企业技术研发人员、检测人员、质量控制人员、采购人员，相关部门领导 　　【举办单位】 　　l 广州广电计量检测股份有限公司 　　【演讲嘉宾/议题】 　　演讲题目： 　　无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求 　　演讲嘉宾： 　　吴煜民：GRGT电磁兼容检测中心中心总监，从事产品检测认证工作十余年，精通通信行业检测及认证， 　　在无线通信产品性能测试，射频测试，EMC测试，多国认证等业务领域拥有丰富经验。 　　【会议安排】 日期 2012年 7月26日（星期四） 时间 10:00-17:00 地点 成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室 议程 9:30-10:00 签到 10:00-12:00 无线电管理条例以及相关新规及中国无线电发射设备型号核准认证流程及测试要求 12:00-13:30 午饭 13:30-14:30 FCC认证及R&TTE认证等多国要求 14:30-15:00 茶歇、互动交流、答疑 15:00-15:30 无线射频产品的模块认证 15:30-15:40 茶歇 15:40-16:30 无线射频产品在船用产品，车用产品，飞机产品，及军品中的特殊要求 16:30-17:00 互动交流、答疑、 　　【费用】 A、听课免费(不办理相关证件) 　　　　 　　B、提供讲义教材 　　　　　　C、免费提供午餐 　　Registration form报名回执 课程名称：《无线射频产品SRRC、FCC、R&TTE认证等多国要求》 日期 2012年7月26日 公司名称： 公司地址： 联络人： 电话： 传真： E-mail： 参加人： 职位： 手机： E-mail： 参加人： 职位： 手机： E-mail： 请写下您感兴趣的问题，我们的专业讲师将在现场为您作详细解答 问题1： 问题2： 温馨提示：* 请将以上报名表于2012年7月22日前回传到我司，以便为您预留座位。 * 为方便签到，请携带您的名片入场。 * 会务组联系方式： 广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司 地址：成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室 联系人： 曾永 电话：028-66259369 传真：028-66259366 手机：13882274060 电邮：zengy@grg.net.cn　　* 为方便签到，请携带您的名片入场。 　　* 会务组联系方式：广州广电计量检测股份有限公司 成都分公司 　　地址：成都市高新西区西芯大道4号创新中心A219室 　　联系人： 曾永 　　电话：028-66259369 传真：028-66259366 　　手机：13882274060 　　电邮：zengy@grg.net.cn 　　交通指引：成都市永丰路45号 长盛帝都国际酒店 3楼会议室 　　交通路线： 84路 52路 92路 28路 11路 51路 408路

p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　2020年11月18日，国家重大仪器设备开发专项——“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”(2016YFF0100200)综合验收会议在北京举行。该项目自2016年立项，致力于推动我国自激式全固态ICP射频源国产化进程。 /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/a3c2aaa3-acc8-4702-84f3-925895b44734.jpg" title=" 1111.jpg" alt=" 1111.jpg" / /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　验收会议由科技部科技评估中心主持，以刘淑芬教授为组长的综合验收专家组分别对项目验收材料、项目目标完成情况、项目考核指标完成情况、项目成果应用推广和发挥作用、工程化与产业化情况等进行了验收。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　经过现场听取汇报、资料审查和质询，专家组就项目相关情况进行深入讨论，一致认为该项目整体符合验收要求，研究成果达到任务书中各项考核指标，完成工程化，实现了产业化，项目顺利通过综合验收。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　 strong 项目背景 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　本项目由聚光科技(杭州)股份有限公司牵头，旗下自孵化子公司杭州谱育科技发展有限公司(以下简称“谱育科技”)研发团队承担此次项目的仪器研发及产业化工作，该项目参与单位还有中国科学院微电子研究所、中国地质大学(武汉)、中国科学院上海硅酸盐研究所、北京海光仪器有限公司、北京普析通用仪器有限责任公司等。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　目前，元素检测及元素检测设备的需求在不断增大 国际上ICP-MS、ICP-OES技术也已比较成熟，在核心部件ICP射频源的研究上正往自激式全固态射频电源技术方向发展。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　国产相关仪器正处于起步阶段，在当前国际采用的主流核心技术上陷入瓶颈，竞争力较弱，导致国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本依靠进口，面临进口设备价格昂贵、维护费用高、周期长等问题，亟待进一步改进以提升竞争力，实现国产化! /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/0a967953-509f-4428-84c7-5971722f92bc.jpg" title=" 222222.jpg" alt=" 222222.jpg" / /p p style=" text-align: center line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　具有自主知识产权的自激式全固态ICP射频源 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源，将促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟，达到国外同等先进水平 同时实现国产化应用、本土化维护和成本降低，实现替代进口。这不仅能促进仪器企业降低成本的同时提高产品竞争力，也帮助提高国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场竞争力。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　 strong 课题内容 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　1、本项目重点开展射频源功率放大及锁相环设计、高精度的阻抗匹配网络设计、ICP射频源的控制系统设计、射频功率检测装置等研究，攻克关键技术 基于ICP用射频电源研制、ICP射频源工程化开发，完成设备开发。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　2、本项目基于ICP射频源，研制开发台式、在线、车载的ICP-OES和ICP-MS， 针对水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业的需求，建立适应国内的成熟应用模式，并建立年产能500台套ICP射频源的生产线。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　 strong 应用成果 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　研发团队经过多年技术攻关与创新，进行技术研究、设备开发并完成应用，实现产业化。 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　 strong 　技术研究 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　完成基于并行推挽的射频功率放大技术 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　完成基于数值寻优的自激式阻抗网络匹配 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　完成非定值阻抗下功率测量 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　完成基于复杂基质下快速匹配 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　& #8230 & #8230 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　 strong 产品开发 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　完成具有自主知识产权的 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　自激式全固态ICP射频源仪器开发 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　 strong 应用示范及产业化 /strong /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　在3个厂家4个型号国产ICP-OES、ICP-MS上进行应用 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　在环境水样、高盐、有机、地矿等样品进行应用验证并通过 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　形成1个自激式全固态ICP射频源的生产基地 /p p style=" text-align: justify line-height: 1.75em text-indent: 0em " 　　年产能力达到500台套以上，已经形成批量生产 /p p style=" text-align: center" img style=" width: 600px height: 415px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/b1e7d576-e68c-450b-bccc-b2095fa79713.jpg" title=" 44444444.jpg" width=" 600" height=" 415" border=" 0" vspace=" 0" alt=" 44444444.jpg" / /p p style=" text-align: center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 200px height: 200px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/71878879-5ea9-4a17-b8cc-4552ea90ea61.jpg" title=" 7000.jpg" alt=" 7000.jpg" width=" 200" height=" 200" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C319154.htm" target=" _blank" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong span style=" text-align: center " 谱育科技SUPEC 7000 电感耦合等离子体质谱仪 /span /strong /span /a /p p style=" text-align: center" img style=" max-width:100% max-height:100% " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/55962fdc-ab82-4425-a5c5-f67a337f5762.jpg" title=" 6500.jpg" alt=" 6500.jpg" / /p p style=" text-align: center " a href=" https://www.instrument.com.cn/netshow/C391682.htm" target=" _blank" span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong span style=" text-align: center " 聚光科技 EXPEC 6500新一代全谱ICP-OES /span /strong /span /a /p

中国科学技术大学郭光灿院士团队在基于里德堡原子的低频射频电场测量上取得重要进展。该团队史保森、丁冬生课题组利用非共振外差方法实现了基于里德堡原子的低频射频电场精密探测，相关成果以“Highly sensitive measurement of a MHz RF electric field with a Rydberg atom sensor”为题发表在国际应用物理期刊《Physical Review Applied》上。 　　里德堡原子由于其较大的电偶极矩和极化率等独特性质，在微波测量领域展现出巨大应用潜力。基于里德堡原子的量子传感器在测量精度﹑抗干扰性以及可朔源等方面有望超越传统微波接收系统，因此该研究方向受到广泛关注，例如：美国陆军研究室、桑迪亚国家实验室等开展了相关研究，并取得了重要进展[Physical Review Applied 13, 054034 (2020)，Physical Review Applied 15, 014047 (2021)]。尽管里德堡原子传感器在GHz高频微波频段探测取得了重要进展，但在MHz附近的低频波段却遇到困难，测量灵敏度较低，其主要原因在于低频电场与里德堡原子之间的耦合是一种弱的非共振相互作用，受限于光谱测量分辨率，人们难以测量微弱微波电场造成的扰动，这就限制了里德堡原子微波测量向低频波段的扩展。 　　在本工作中，研究团队基于AC Stark效应和非共振外差技术，通过引入一个本地振荡电场来放大系统对微弱信号电场的响应，最后通过测量探测光的电磁诱导透明光谱得到信号电场的强度。研究团队实现了对30-MHz微波电场(波长近10米)的高灵敏度测量，最小电场强度为37.3µV/cm，灵敏度为−65 dBm/Hz，动态范围超过65 dB。此外，研究团队还演示了1 kHz振幅调制(AM)信号的传输和接收：通过对探测光束信号进行解调，并分别方波和正弦波调制下提取初始调制信息，保真度均达到98%。图1 (a)里德堡态激发 (b)传感器示意图图2 (a)系统灵敏度 (b)和(c)AM解调信号演示 这项工作提高了MHz电场的原子传感器灵敏度，有助于原子电场传感技术的发展。该工作对里德堡原子传感器的在其他领域的应用，如远程通信、超视距雷达和射频识别(RFID)也有参考价值。 　　中科院量子信息重点实验室硕士研究生刘邦为本文的第一作者，丁冬生教授、史保森教授为本文的共同通讯作者。该成果得到了科技部、基金委、中科院、安徽省重大科技专项以及中国科学技术大学的资助。

第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”颁奖。 将一台手掌大小的长方形仪表盒子线头接上一段射频电路，仪表显示屏上随即出现电波图形… … 8月上旬，在杭州电子科技大学通信工程学院科协创新实验室内，一款由该院学生团队联合研发的便携式矢量网络分析仪进行应用演示。 “如果电波图形和被测试电路板上已绘制好的电波图形吻合，说明该射频电路发射性能优良，反之则说明该电路传输信号有问题。”该设备核心研发人员、杭电通信学院大三学生江逸宁介绍说，团队凭此在7月底落幕的第八届浙江省国际“互联网+”大学生创新创业大赛决赛中获得“金钥匙奖”，从而拿到这一赛事全国总决赛的入场券。 记者了解到，这一分析仪可用于检查信号发射状况，分析出基站天线、电缆接触状况等影响网络的变量，并进行修复，从而恢复基站正常功能。 射频电路的网络测试，具有广泛应用场景。比如当前在高校开展广泛的电子信息类学科竞赛，普遍要用到无线信号传递。通常智能车的通信模块、航模比赛的遥控装置等就要用到射频电路发射信号。 “在电子竞赛中深感现有市场上网络测试仪器使用起来不便或太贵，所以我们想自己研发性价比高、使用方便的网络测试仪，目标是使其成为射频微波领域的‘万用表’。”该项目主要负责人、杭电通信学院大三学生王来龙说。 “实验室用到的电子网络测试仪、基站维护领域的驻波仪等设备，通常价格不菲以及被国外垄断。”该团队指导老师、杭电通信学院教授张福洪说，他们鼓励学生研发推出具备类似功能甚至可实现部分替代的仪器。 据介绍，这一分析仪由学生团队通过自主设计核心电路优化仪器电路结构、使用国产全自主芯片以及提升机器学习方法研制而成，基于团队成员的快速锁相环、数模转换器等专利，使频率测量的效率大为提高，同时降低了生产成本。 “同学们从实践出发，学以致用，促进电子测试仪器的国有化，推动测量仪器进一步发展，是一次大胆而创新的尝试。”中国电子学会嵌入式系统专家委员会委员严义教授对此表示。

近年来我国各级医院都在努力通过改造医院软硬件条件，不断更新医疗诊断设备以提高提高医疗服务收入，因此对质量好、多功能的大中型器械医疗设备的需求也在持续增长。根据驰昂咨询(Sinotes)最新统计数据显示，2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模达119.8亿元人民币，同比增长21.1%。 　　 图1. 2007至2012年我国医用射频与核磁仪器市场规模与增长 　　射频与核磁仪器主要包括X射线设备、CT设备、MRI设备等。X射线设备由于市场普及度较高，在射频与核磁仪器市场上占有较大比重，而CT及MRI设备则是增长较快的射频与核磁仪器类别。 　　 图2. 2012年我国医用射频与核磁仪器市场份额

经中国材料与试验标准化委员会（以下简称：CSTM标准化委员会）审查，CSTM标准化委员会批准CSTM标准立项（详情见下表），特此公告。如有单位或个人愿意参与该标准项目的工作，请与项目牵头单位联系。立项公告详情请跳转至CSTM官网查看http://www.cstm.com.cn/channel/details/3-2-CSTMgonggao序号标准名称标准立项号1辉光放电质谱仪校准规范CSTM LX 0000 01319—20232止血材料用高岭土CSTM LX 0312 01320—20233石墨矿浮选柱CSTM LX 0312 01321—20234微晶玻璃生产用垃圾焚烧炉渣技术要求CSTM LX 0324 01322—20235空间材料原子氧、紫外辐照和热循环综合环境模拟试验方法CSTM LX 0404 01323—20236金属材料蠕变性能数据处理方法CSTM LX 5500 01324—20237锅炉热交换器用中温双牌号不锈钢无缝钢管CSTM LX 5500 01325—20238流体输送用中温双牌号不锈钢无缝钢管CSTM LX 5500 01326—20239承压设备用中温双牌号不锈钢钢板和钢带CSTM LX 5500 01327—202310承压设备用中温用双牌号不锈钢锻件CSTM LX 5500 01328—202311承压设备材料圆片氢脆试验方法 第1部分：通用要求CSTM LX 5500 01329.1—202312涂覆材料派瑞林C技术标准CSTM LX 5700 01330—202313航天器用均苯型聚酰亚胺薄膜技术要求CSTM LX 5700 01331—202314水泥生产企业碳排放数据信息化存证规范CSTM LX 9500 01332—202315高温合金 合金贫化层定量检测方法 能谱法和波谱法CSTM LX 9802 01333—202316内氧化深度或晶间腐蚀深度测定 金相法CSTM LX 9802 01334—202317锂电池正极材料 磁性异物含量测定 电感耦合等离子体发射光谱法CSTM LX 9803 01335—202318基于走航在线实时监测的大气重金属污染源解析技术指南CSTM LX 9803 01336—202319生物基塑料中PEF树脂含量的测定 核磁共振波谱法CSTM LX 9803 01337—202320海水电解制氢阳极 法拉第效率测定 在线-气相色谱法CSTM LX 9803 01338—202321碳材料 不同物相的含量测定 X射线粉末衍射法CSTM LX 9803 01339—202322石墨烯膜 导热系数的测定 激光闪射法CSTM LX 9803 01340—202323单晶高温合金 结构取向测试 电子背散射衍射法CSTM LX 9803 01341—202324钛铝合金 铝含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法CSTM LX 9803 01342—202325高温合金 铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法CSTM LX 9803 01343—2023

中国科学技术大学潘建伟、赵博等与中国科学院化学所白春礼小组合作，在超冷原子双原子分子混合气中首次实现三原子分子的相干合成。在该研究中，他们在钾原子和钠钾基态分子的Feshbach共振附近利用射频场将原子和双原子分子相干地合成了超冷三原子分子，向基于超冷原子分子的量子模拟和超冷量子化学的研究迈出了重要一步。2月10日，这一重要研究成果发表在国际权威学术期刊《自然》杂志上。图：从超冷原子和双原子分子混合气中利用射频场合成三原子分子的示意图量子计算和量子模拟具有强大的并行计算和模拟能力，不仅能够解决经典计算机无法处理的计算难题，还能有效揭示复杂物理系统的规律，从而为新能源开发、新材料设计等提供指导。量子计算研究的终极目标是构建通用型量子计算机，但实现这一目标需要制备大规模的量子纠缠并进行容错计算，仍然需要长期不懈的努力。当前量子计算的短期目标是发展专用型量子计算机，即专用量子模拟机，它能够在某些特定的问题上解决现有经典计算机无法解决的问题。例如，超冷原子分子量子模拟，利用高度可控的超冷量子气体来模拟复杂的难于计算的物理系统，可以对复杂系统进行精确的全方位的研究，因而在化学反应和新型材料设计中具有广泛的应用前景。超冷分子将为实现量子计算打开新的思路，并为量子模拟提供理想平台。但由于分子内部的振动转动能级非常复杂，通过直接冷却的方法来制备超冷分子非常困难。超冷原子技术的发展为制备超冷分子提供了一条新的途径。人们可以绕开直接冷却分子的困难，从超冷原子气中利用激光、电磁场等来合成分子。利用光从原子气中合成分子的研究可以追溯到上世纪八十年代。激光冷却原子技术的出现使得光合成双原子分子得以快速的发展，并在高精度光谱测量中取得了广泛的应用。在光合成双原子分子取得成功之后，人们开始思考能否利用量子调控技术从原子和双原子分子的混合气中合成三原子分子。在2006年发表的综述文章[Rev. Mod. Phys. 78，483, (2006)]中，美国国家标准局的Paul Julienne教授等人回顾了光合成双原子分子过去二十年的发展历史，并指出从原子和双原子分子的混合气中合成三原子分子是未来合成分子领域的一个重要研究方向。由于光合成的双原子分子气存在密度低、温度高等缺点，一直无法用来研究三原子分子的合成。后来随着超冷原子气中Feshbach共振技术的发展，利用磁场或射频场合成分子成为制备超冷双原子分子的主要技术手段。从超冷原子中制备的双原子分子具有相空间密度高、温度低等优点，并且可以用激光将其相干地转移到振动转动的基态。自2008年美国科学院院士Deborah Jin和叶军的联合实验小组制备了铷钾超冷基态分子以来，多种碱金属原子的双原子分子先后在其他实验室中被制备出来，并被广泛地应用于超冷化学和量子模拟的研究中。超冷基态分子的成功制备重新唤起了人们对合成三原子分子的研究兴趣。2015年，法国国家科学研究中心的Olivier Dulieu教授等在理论上分析了从原子双原子分子混合气中合成三原子分子的可行性 [Phys. Rev. Lett. 115, 073201 (2015)]。 但由于三原子分子的相互作用极其复杂，无法精确计算，因而理论上无法预测三原子分子的束缚态的能量以及散射态和束缚态的耦合强度。中国科学技术大学的研究小组在2019年首次观测到超低温下原子和双原子分子的Feshbach共振，相关成果发表于《科学》杂志 [Science 363, 261 (2019)]。在Feshbach共振附近，三原子分子束缚态的能量和散射态的能量趋于一致，同时散射态和束缚态之间的耦合被大幅度地共振增强。原子分子Feshbach共振的成功观测为合成三原子分子提供了新的机遇。但由于原子和分子的Feshbach共振非常复杂，理论上难以理解，能否和如何利用Feshbach共振来合成三原子分子依然是实验上的巨大挑战。在该项研究中，中国科学技术大学的研究小组和中科院化学所的研究小组合作，首次成功实现了利用射频场相干合成三原子分子。在实验中，他们从接近绝对零度的超冷原子混合气出发，制备了处于单一超精细态的钠钾基态分子。在钾原子和钠钾分子的Feshbach共振附近，通过射频场将原子分子的散射态和三原子分子的束缚态耦合在一起。他们成功地在钠钾分子的射频损失谱上观测到了射频合成三原子分子的信号，并测量了Feshbach共振附近三原子分子的束缚能。这一工作为量子模拟和超冷化学的研究开辟了一条新的道路。超冷三原子分子是模拟量子力学下三体问题的理想研究平台。三体问题极其复杂，即使经典的三体问题由于存在混沌效应也无法精确求解。在量子力学的约束下，三体问题变得更加难以捉摸。如何理解和描述量子力学下的三体问题一直都是少体物理中的一个重要难题。此外，超冷三原子分子可以用来实现超高精度的光谱测量，这为刻画复杂的三体相互作用势能面提供了重要的基准。由于计算势能面需要高精度地求解多电子薛定谔方程，超冷三原子分子的势能面也为量子化学中的电子结构问题提供了重要的信息。该研究工作得到了科技部、自然科学基金委、中科院、安徽省、上海市等单位的支持。论文链接： https://www.nature.com/articles/s41586-021-04297-2

2021年8月30日，在嘉盛半导体（苏州）有限公司举行了华兴源创5G射频测试系统交付仪式以及上海韦尔半导体股份有限公司、嘉盛半导体（苏州）有限公司、苏州华兴源创科技股份有限公司三方战略合作签约仪式。经过长达3年的潜心研究，由华兴源创自主研发的4台射频测试系统TS-1800，在韦尔半导体和嘉盛半导体大力支持下，顺利进入嘉盛半导体（苏州）有限公司的量产线用于韦尔半导体射频开关的测试。在中国大陆射频芯片封测产业，不得不提到嘉盛半导体苏州公司，全球超过一半的射频开关产品从这里完成封测。本次华兴源创交付的TS-1800射频测试系统，最核心的射频信号矢量信号收发仪板卡（VST）及射频矢量信号网络分析仪板卡（VNA）均为从底层架构完全自主研发，因此可以说是国内首台完全自主创新的5G射频测试系统。TS-1800设计的最高收发频率可达Sub6GHz，可满足所有5G射频开关(Switch)、低噪放大器（LNA）、功率放大器（PA）、滤波器（Filter）、射频调谐（Tuner）等射频前端芯片的测试，打破了国内在5G射频专用测试领域完全依赖进口设备和进口射频矢量板卡的局面。TS-1800射频测试系统的技术亮点主要有1.在硬件设计方面，TS800利用“高功率多频段复用技术”, HP Multi-band TM. 使客户在更换产品时，无需Loadboard硬件更换，只需控制切换即可实现不同的频段的高功率测试。这项技术区别于其他射频设备，实现轻松切换，进一步提高产能。2.在数据处理方面，TS1800 采用Auto-Detect 智能算法。这个强大的智能算法的成功应用，进一步提高测试精度，确保测量的稳定性和一致性。3.TS1800的优于分时系统利用双TX通道和双RX通道集成于一卡的优势实现低功率和高功率实时并行测试的技术，在测试时间上拥有竞争优势。4.高度集成的完全自主研发板卡在测试成本方面拥有天然的竞争优势。上海韦尔半导体股份有限公司董事副总经理纪刚代表公司出席了仪式。他表示韦尔半导体作为一家中国设计公司在保证芯片品质的基础上一直积极推进测试设备的国产化，目前公司的分立器件和模拟芯片的测试已经比较多的采用国产测试设备了，但其他产品的量产测试设备还是依靠海外测试供应商。2年多前豪威集团和华兴源创首先启动了合作，目前在其代工厂已采用华兴源创测试机加分选机的解决方案。经过2年多的不断改善，华兴源创的测试解决方案在效率、稳定性等多项关键指标上已经达到国际同类水平。今天交付的4台5G射频专用测试设备主要用于公司射频开关、LNA等前端芯片的测试，由于射频测试设备的技术门槛很高，截止目前我们基本上全部采用海外品牌测试机，此次首次采购数量不多，但意义重大。首先是韦尔半导体和华兴源创的战略合作又往前发展了一步，从一个品类变成了两个品类，其次今后韦尔半导体的射频前端芯片非常有机会能逐步通过采用高性价比的国产测试解决方案来提高产品竞争力。苏州华兴源创科技股份有限公司董事长陈文源出席了仪式，他表示：首先要感谢韦尔半导体和嘉盛半导体对华兴源创的信任和大力支持，因为公司作为半导体测试设备的新厂商，成败的关键因素之一就是一定要有几家下游铁杆客户不离不弃的陪跑。在韦尔半导体项目推进过程中接收端在高频5GHz范围左右扑捉小信号峰值的时候出现过数值不稳定现象，这是一个集硬件，算法，和信号完整性交织在一起的复杂问题。在韦尔半导体的信任和支持下我们工程师们历经约1个月的奋战，应用了严谨的鱼骨法问题解决方式，做了数十次DOE，终于找到原因，并用精巧的算法实现了稳定地抓取每一次数据的解决方案，这为今天的顺利交付奠定了扎实的基础。其次今天交付的设备，对于华兴源创只是万里长征开始的第一步，我们将持续投入研发，通过与海外同类畅销机型的对比以及从满足客户的各种需求出发，不断升级完善产品，希望在不久的将来，华兴源创的5G射频测试解决方案能成为国内射频芯片厂商乃至全球射频芯片厂商心目中的最佳测试解决方案。出席此次仪式的还有上海韦尔半导体股份有限公司运营总监蒋海林、生产运营高级总监褚彩萍、封装总监俞江彬、嘉盛半导体（苏州）有限公司总经理李操权、运营总监石岩、销售总监朱勤、测试总监向国平、苏州华兴源创科技股份有限公司运营中心长姚夏、董事会秘书朱辰、半导体事业部总监黄龙。华兴源创是行业领先的工业自动化测试设备与整线系统解决方案提供商，基于公司在电子、光学、声学、射频、机器视觉、机械自动化等多学科交叉融合的核心技术为客户提供从整机、系统、模块、SIP、芯片各个工艺节点的自动化测试设备。目前华兴源创产品已经服务于平板显示、半导体、可穿戴、新能源车等多个领域。

中国科学院微电子所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。 　　从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下，研发晶体管射频电源(13.56MHz)，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源，获得第七届国际发明展览会银奖。 　　经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。 　　目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。 　　产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。 　　产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD，EMC等测试)，年生产能力达3000台套，库房常年备有库存，可保证给客户随时发货。 　　产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。 　　射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，射频感应加热，医疗领域的消毒与理疗美容，常压等离子消毒清洗等领域。 　　中国科学院微电子研究所射频电源组网址：www.rf-power.net

【科学背景】记忆电阻器（memristor）是一种能够在电气应力作用下实现两个或多个非易失性电阻状态的设备，近年来被提出用于解决射频开关的挑战。这种效应最早在1960年代的硒铋合金中被报道，随后在包括金属氧化物和二维层状材料在内的许多其他材料中得到观察。通过改变材料的原子或电子结构，memristor能够实现不同的电阻状态，如高电阻态（HRS）和低电阻态（LRS）。尽管最初主要用于存储应用，memristor目前被提议用于数据加密、能效数据计算（如实现向量矩阵乘法引擎和人工神经网络的电子神经元）、以及射频数据传输开关等领域。针对射频应用，memristor的主要优势在于其非易失性，无需额外能量来维持其导电状态，与传统的p-i-n二极管开关相比，后者需要大量直流电流来维持其状态。最新的memristor技术基于相变材料，如GeTe或GeSbTe，通过控制加热器来实现晶态和非晶态之间的转变，从而切换设备的HRS和LRS。这些设备在50 GHz的频率下已有工业展示，并且在学术演示中能够达到高达109个循环的耐久性，但其集成到大型电路中需要精细的热设计，并可能引入不需要的寄生电容。针对RF mmWave应用的多层hBN memristor的开发，沙特阿卜杜拉国王科技大学Mario Lanza教授团队通过使用不同的电极材料展示了多个设备的射频性能和一致性行为。通过一种增强导电性的方法，作者成功地实现了RLRS低于10 Ω（最低可达4.5 Ω），并展示了2,000个循环的耐久性。作者的设备在高达260 GHz的频率下表现出低于2 dB的损耗和超过30 dB的隔离度，从等效电路模型中提取的截止频率为7 THz。此外，作者还报告了在120 GHz时串-并联配置中超过35 dB的隔离度的射频mmWave开关电路。【科学亮点】（1）首次开发了适用于射频毫米波（mmWave）应用的多层氮化硼（hBN）记忆电阻器。这些电阻器展示了在高达260 GHz频率下的射频性能，并通过不同电极材料验证了其稳定的行为。（2）通过采用一种新型的导电性增强方法，成功实现了低于10 Ω的低阻态电阻（RLRS），最低可达4.5 Ω。这种方法使得设备能够经受2,000个循环的使用测试，表现出良好的耐久性。（3）射频性能方面，这些设备展示了在频率高达260 GHz时低于2 dB的插入损耗和超过30 dB的隔离度。通过等效电路模型分析，提取的截止频率高达7 THz，显示出在超高频领域的潜力。（4）作者还报道了在120 GHz时串-并联配置中超过35 dB的隔离度的射频mmWave开关电路，突显了这些记忆电阻器在复杂电路中的实际应用潜力。【科学图文】图1： Au-hBN-Au器件的物理和直流特性。图2：通过脉冲写入-验证协议增强射频RF应用的低阻态low-resistance state，LRS性能。图3：Au–多层hBN–Au开关的毫米波性能。【科学结论】本文开发了多层氮化硼记忆电阻器作为射频毫米波应用中的关键组件。传统射频开关技术在高频率（如120 GHz）下存在插入损耗和隔离度方面的限制，而本研究通过精确控制低阻态电阻，利用脉冲偏置协议实现了9.3 ± 3.7 Ω的优异性能。这种方法不仅提高了射频开关的操作频率，还显著降低了信号传输过程中的能量损失。此外，作者展示了在21个设备中一致的双极性切换特性，证明了多层氮化硼在记忆电阻器中的可靠性和稳定性。这些成果不仅推动了射频毫米波技术的前沿，还为未来高速数据传输、增强现实和物联网等应用领域提供了新的解决方案。通过这些研究，作者不仅拓展了记忆电阻器在射频领域的应用潜力，还为探索更高频率、更低能耗的射频开关提供了有力支持。原文详情：Pazos, S., Shen, Y., Zhang, H. et al. Memristive circuits based on multilayer hexagonal boron nitride for millimetre-wave radiofrequency applications. Nat Electron (2024). https://doi.org/10.1038/s41928-024-01192-2

仪器信息网整理了中国政府采购网上各高校院所2022年4-12月光谱类仪器采购意向。据不完全统计，共23个高校院所将于4-12月拟采购光谱类仪器，总采购预算约7762万元。从采购数量上看，中国科学院大连化学物理研究所拟采购光谱类仪器数量最多，4-12月间拟采购7台（套）光谱类高校，2个高校院所4-12月间拟采购光谱类仪器3台（套），4个高校院所4-12月间拟采购光谱类仪器2台（套），16个高校院所4-12月间拟采购光谱类仪器1台（套）。详情见下表。各高校院所2022年4-12月拟采购光谱类仪器数量（不完全统计）采购单位采购台（套）数中国科学院大连化学物理研究所7中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所3中国科学技术大学3中山大学2中国科学院青海盐湖研究所2南京航空航天大学2北京化工大学2中国科学院新疆理化技术研究所1中国科学院物理研究所1中国科学院武汉岩土力学研究所1中国科学院深圳先进技术研究院1中国科学院上海硅酸盐研究所1中国科学院山西煤炭化学研究所1中国科学院南海海洋研究所1中国科学院金属研究所1中国科学院华南植物园1中国科学院福建物质结构研究所1中国科学院地球化学研究所1西北农林科技大学1四川大学1陕西师范大学1清华大学1暨南大学1总计37从仪器类型上看，涉及的光谱类仪器类别包括X射线荧光光谱仪、光谱椭偏仪、全光纤太赫兹时域光谱仪、低温强磁场电子拉曼光谱外耦合系统、全光谱傅立叶变换红外吸收光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、高精度地物光谱仪、高精度干涉光谱仪、红外光谱、辉光放电光谱仪、激光拉曼光谱仪、激光诱导击穿光谱原位测量系统宽光谱检测系统、镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）、宽频光谱测试系统、全光谱流式细胞仪、射频辉光放电光谱仪、水下水面光谱测量系统、微区光谱分析系统、无液氦变温光谱超导磁体系统、相干反斯托克斯拉曼光谱测温系统、原位拉曼光谱、圆偏振发光光谱仪、圆偏振荧光光谱仪、时间分辨光致荧光光谱系统、准原位光谱系统等。各高校院所2022年4-12月光谱类仪器采购意向序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期1清华大学宽频光谱测试系统A02100404光学式分析仪器详见项目详情2202022年5月2中国科学技术大学激光拉曼光谱仪A033499其他专用仪器仪表详见项目详情1852022年5月3中国科学技术大学红外傅里叶变换光谱仪系统A033499其他专用仪器仪表详见项目详情1602022年6月4中国科学技术大学高精度干涉光谱仪A0210399其他光学仪器详见项目详情1402022年9月5中山大学电子与信息工程学院光学超材料微区光谱多维表征系统采购项目A02100304光学测试仪器详见项目详情1502022年5月6中山大学电子与信息工程学院全光谱傅立叶变换红外吸收光谱仪采购项目A02100308红外仪器详见项目详情1852022年6月7四川大学脉冲电源+数据采集系统+静电电压表+（ICCD+光谱仪）等A033499其他专用仪器仪表详见项目详情6262022年4月8北京化工大学北京化工大学数理学院物理学部光谱椭偏仪采购项目A02100304光学测试仪器详见项目详情1302022年5月9北京化工大学北京化工大学数理学院物理学部全光纤太赫兹时域光谱仪采购项目A02100406波谱仪详见项目详情1002022年5月10暨南大学暨南大学光子技术研究院宽光谱检测系统采购项目A02120105光学仪器检测器具详见项目详情99.92022年4月11陕西师范大学圆偏振发光光谱仪A02100404光学式分析仪器详见项目详情2502022年5月12西北农林科技大学高精度地物光谱仪A02100307-光谱遥感仪器详见项目详情1102022年5月13南京航空航天大学微区光谱分析系统A02100304-光学测试仪器详见项目详情1102022年6月14南京航空航天大学相干反斯托克斯拉曼光谱测温系统A02100304-光学测试仪器详见项目详情2862022年4月15中国科学院武汉岩土力学研究所傅里叶红外光谱系统A02100404-光学式分析仪器详见项目详情1002022年6月16中国科学院大连化学物理研究所红外光谱仪A02100308详见项目详情1602022年4月17中国科学院大连化学物理研究所射频辉光放电光谱仪A02100406详见项目详情1502022年8月18中国科学院大连化学物理研究所无液氦变温光谱超导磁体系统A021099详见项目详情4402022年4月19中国科学院大连化学物理研究所无液氦变温光谱超导磁体系统A021099详见项目详情3602022年4月20中国科学院大连化学物理研究所原位拉曼光谱A02100309详见项目详情1602022年6月21中国科学院大连化学物理研究所红外光谱A02100308详见项目详情1202022年6月22中国科学院大连化学物理研究所X射线荧光光谱仪A02100405详见项目详情1752022年11月23中国科学院上海硅酸盐研究所辉光放电光谱仪A02100404光学式分析仪器详见项目详情2032022年6月24中国科学院福建物质结构研究所圆偏振荧光光谱仪A02100404光学式分析仪器详见项目详情2952022年5月25中国科学院山西煤炭化学研究所激光诱导击穿光谱原位测量系统A02100309激光仪器详见项目详情2202022年6月26中国科学院青海盐湖研究所傅立叶变换红外光谱仪A02100308详见项目详情2202022年4月27中国科学院地球化学研究所数字行星平台1：行星光谱数据地面验证系统A02100304光学测试仪器详见项目详情902022年6月28中国科学院南海海洋研究所水下水面光谱测量系统海洋声光仪器设备详见项目详情1072022年4月29中国科学院华南植物园X射线荧光光谱仪采购A02100405射线式分析仪器详见项目详情1902022年6月30中国科学院金属研究所拉曼光谱仪A02100304光学测试仪器详见项目详情3002022年6月31中国科学院新疆理化技术研究所中国科学院新疆理化技术研究所时间分辨光致荧光光谱系统采购项目A02110204半导体器件参数测量仪详见项目详情1732022年5月32中国科学院深圳先进技术研究院全光谱流式细胞仪A02100404光学式分析仪器详见项目详情3902022年5月33中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）A032199-其他电工、电子专用生产设备详见项目详情2502022年12月34中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体A032199-其他电工、电子专用生产设备详见项目详情235.942022年12月35中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所准原位光谱系统A032199-其他电工、电子专用生产设备详见项目详情3412022年12月36中国科学院青海盐湖研究所傅立叶变换红外光谱仪A02100308详见项目详情2202022年4月37中国科学院物理研究所低温强磁场电子拉曼光谱外耦合系统(2022预算17)A02100699详见项目详情1102022年6月

近日，国家药品监督管理局经审查，批准了上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的“一次性使用压力监测磁定位射频消融导管”创新产品注册申请。该产品由射频消融导管、连接尾线和尾线连接盒组成。其中导管主体包含高扭矩管身和可弯曲的头部，头部装有铂铱电极，1个头端电极和3个环形电极。该产品在医疗机构中与上海微创电生理医疗科技股份有限公司生产的三维心脏电生理标测系统和心脏射频消融仪配合使用，用于药物难治性、复发性、症状性阵发性房颤的治疗。该产品采用了基于应变片原理压力传感技术、磁场定位技术、头端多孔盐水灌注技术与三维电生理标测系统，可为房颤患者的治疗提供整体解决方案，是国产首个具有压力感知功能的心脏射频消融导管。与传统心脏类射频消融导管相比，该产品可以实时测量导管头端和心壁之间触点压力值，更好的辅助术者完成手术，有效防止术中导管与组织贴靠力过大造成蒸汽爆裂或过小引起消融不完全，可缩短医生学习曲线，达到更优的远期治疗成功率。该产品获批上市有利于该技术的临床应用推广和降低临床治疗费用，使更多房颤患者受益。药品监督管理部门将加强该产品上市后监管，保护患者用械安全。

2011年10月12日上午，北京豪威量科技有限公司在公司技术部举办了有关ICP光谱仪最新技术的讲座。公司的技术总监沈鹏飞专家作了标题为&ldquo ICP-2011：固态射频发生器原理和炬管轴向观测&rdquo 的精彩报告，在场参加培训的有公司相关人员及客户&mdash &mdash 北京麦戈龙科技有限公司的仪器使用人员。 技术讲座围绕着公司最新推出的国内最高水平ICP光谱仪&mdash &mdash 2011型ICP光谱仪，进行了六方面的介绍：1.RF发生器。2.匹配单元。3.控制单元。4.电源。5.计算机软件。6.冷锥。 2011型ICP已经推向市场，并取得良好反映。固态射频发生器大大提高了仪器稳定性，并使仪器体积更小，重量更轻。轴向观测炬管，是元素检测灵敏度至少提高5-10倍，并可以实现有机样品直接进样。

为满足半导体设备客户的需求，中科院射频电源组(www.rf-power.net)经过2个月的设计研发，于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)，此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议，模拟口通讯，脉冲调制，相位同步与移相等功能。 固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列) 　　中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。 　　从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下，研发晶体管射频电源(13.56MHz)，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源，获得第七届国际发明展览会银奖。 　　经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。 　　年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。 　　目前射频电源组，实行组长负责制，下设三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。 　　产品研发部：实行部长负责制，有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。 　　产品生产部：实行部长负责制，有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD，EMC等测试)，年生产能力达3000台套，库房常年备有库存，可保证给客户随时发货。 　　产品推广与售后服务部：实行部长负责制，有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。 　　射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，射频感应加热，医疗领域的消毒与理疗美容，常压等离子体消毒清洗等领域。 　　中国科学院微电子研究所射频电源组网址：www.rf-power.net

【科学背景】随着无线传感器网络在健康监测、环境监测和物联网（IoT）等应用中的重要性日益增加，如何有效供电成为一个关键问题。当前，许多传感器需要在难以接触的地方进行安装，例如用于空气质量、温度和湿度监测的传感器，这些传感器的电力需求通常无法依赖传统电池供给。因此，开发一种能够从环境中收集能量并转化为电力的技术成为了一个重要研究方向。在众多能源收集技术中，射频（RF）能量收集因其全天候可用、易于获取且可以与小型无线传感器网络集成的优点而备受关注。射频能量收集的关键挑战之一是如何在低功率条件下提高能量转换效率。尽管已有技术如肖特基二极管和隧道二极管在较高功率条件下表现出较高的效率，但在环境射频功率低于 -20 dBm 的情况下，这些技术的效率大幅降低，无法满足实际应用需求。此外，传统射频整流器面临热力学极限和高频寄生阻抗等问题，这些因素严重制约了其在低功率环境下的性能。为此，新加坡国立大学Hyunsoo Yang等科学家们致力于改进自旋整流器的性能。例如，作者的研究团队开发了一种新型的自旋整流器 rectenna，其在 -62 dBm 的射频功率下具有约 10,000 mV mW&minus 1 的高灵敏度，能够在弱且嘈杂的环境中有效收集射频能量。此外，作者还开发了一种基于片上共面波导的自旋整流器阵列，该阵列展示了约 34,500 mV mW&minus 1 的零偏灵敏度和 7.81% 的高效率。作者的研究解决了传统自旋整流器在低功率环境下效率低的问题，通过利用电压控制的磁各向异性（VCMA）驱动的自参量效应，显著提高了灵敏度和检测带宽。这一进展使得作者的自旋整流器可以在 -27 dBm 的低射频功率下为传感器提供无线供电，展现出良好的应用前景。【科学亮点】1. 实验首次展示了高灵敏度自旋整流器（SR）rectenna的应用：本文首次报道了一种具有高灵敏度的 SR rectenna，能够在 -62 dBm 的低射频功率下进行能量收集，达到约 10,000 mV mW&minus 1 的灵敏度。这种 SR rectenna 能够在弱且嘈杂的环境中有效捕获射频能量。2. 通过优化器件特性提升灵敏度：研究中指出，单个 SR 的灵敏度与其内在特性密切相关，包括垂直各向异性、器件几何形状和来自极化层的偶极场。这些因素共同定义了纳米磁体的能量景观，并促使低输入功率下的大角度磁化进动。此外，SR 的灵敏度还与磁隧道结（MTJ）的动态响应相关，尤其是零场隧道磁阻（TMR）和电压控制的磁各向异性（VCMA）系数对增强零偏置整流电压的作用。3. SR 阵列的自参量效应提升了性能：实验还显示了 SR 阵列在没有外部天线或匹配设置的情况下，通过 VCMA 驱动的自参量效应，增强了灵敏度和检测带宽。该 SR 阵列基础的能量收集模块（EHM）能够在 -27 dBm 的低射频功率下为商业传感器供电，展示了其在实际应用中的有效性和高效性。【科学图文】图1：利用自旋整流器Spin rectifiers，SRs的射频Radiofrequency，RF能量收集。图2： 自旋整流器SR整流天线的性能。图3： 宽带和谐振整流的调谐。图4：基于宽带低功率自旋整流器SR的能量收集器energy harvesting module，EHM。图5: 肖特基二极管、自旋整流器SR阵列和SR整流天线之间的整流性能比较。【科学启迪】本文的研究通过优化自旋整流器的设计，包括垂直各向异性和设备几何形状，研究成功实现了在极低射频功率下的高灵敏度检测。这表明，通过精细调控材料和结构特性，可以显著提高纳米尺度整流器的能量转换效率，从而扩展其在低功率环境下的应用范围。其次，本文引入了基于电压控制的磁各向异性（VCMA）的自参量效应，展示了在没有外部天线或匹配设置的情况下，如何通过自参量激发实现更高的灵敏度和更宽的检测带宽。这一发现不仅突破了传统射频整流器在低功率和复杂环境下的性能瓶颈，还为未来开发更高效的射频能量收集模块提供了新的思路。最后，本研究表明，基于自旋整流器的射频能量收集模块在实际应用中具有良好的性能，如在 -27 dBm 的低射频功率下为商业传感器供电。这表明这些整流器不仅具备高灵敏度和高效率，还具备良好的实际应用潜力，适合于未来无线传感器网络和物联网设备的集成与应用。原文详情：Sharma, R., Ngo, T., Raimondo, E. et al. Nanoscale spin rectifiers for harvesting ambient radiofrequency energy. Nat Electron (2024). https://doi.org/10.1038/s41928-024-01212-1

据报道，近日，深圳大学2022年牵头或参与申报全国重点实验室6项，其中牵头组建申报的“射频异质异构集成全国重点实验室”已获批立项建设。该实验室系深圳大学建校以来的首个全国重点实验室，也实现了深圳本土高校“零的突破”。据介绍，射频异质异构集成重点实验室经国家有关部委批准立项，由深圳大学牵头建设，上海交通大学和中兴通讯股份有限公司参与共建。实验室主任为深大校长、中国科学院院士毛军发。实验室将围绕射频异质异构集成的关键科学技术问题，开展系统深入的原创性、前瞻性基础研究和核心技术攻关，认识基本原理，掌握理论方法与核心技术，形成射频异质异构集成能力、平台和标准，研制一系列面向国家重大需求的射频异质异构集成电路系统。实验室的研究方向与内容为：耦合多物理场理论与设计方法学、射频异质异构集成工艺、可测性与测试表征、射频异质异构集成电路研制与应用。

Pickering Interfaces与Menlo Microsystems的合作将新的开关技术引入PXI射频多路复用开关，以显著地提高性能。2023年6月26日，于英国Clacton-on-sea。Pickering Interfaces公司作为生产用于电子测试及验证领域的信号开关与仿真解决方案的主要厂商，于今日发布了一款采用新的开关技术的PXI/PXIe射频多路复用开关模块新产品。新款基于MEMS的射频多路复用开关是无线通讯和半导体测试的理想选择，与传统 EMR(电磁继电器)开关相比，操作寿命大大延长(高达300倍)、切换速度更快(高达60倍)、带宽更高，射频功率处理能力更强。插入损耗也与EMR相当，并且远低于固态开关。 　　新产品家族基于Menlo Microsystems的Ideal Switch®构建。这是首款性能特性能够支持要求严苛的射频测试环境，比如半导体、消费者无线设备和各种S波段的应用(包括移动服务、卫星通讯和雷达)的商用MEMS组件。“Pickering多年来一直在密切关注MEMS(微机电系统)技术，”Pickering Interfaces的开关产品经理Steve Edwards说。“Menlo Micro凭借Ideal Switch成为第一家提供满足射频测试所需规格的量产MEMS开关的公司。” 　　Menlo Microsystems的创始人兼全球营销高级副总裁Chris Giovanniello指出：“我们与Pickering Interfaces的合作伙伴关系建立在专注于下一代射频产品和应用的五年合作之上。“现在，我们的 Ideal Switch 已被Pickering用来构建首批射频多路复用开关，我们期待进一步推进我们的创新技术的发展。” 　　40-878 (PXI)和42-878 (PXIe)是50Ω 4：1 射频多路复用开关。为了适应不同规模的测试应用，40/42-878系列提供单组、双组或四组多种规格选择，都仅占用一个PXI或 PXIe机箱插槽。用户可以灵活地选择机箱，最大程度地减少所需插槽的数量。40-878也可以在Pickering的所有LXI/USB模块化开关机箱中安装使用。因此，受PXI、LAN或USB控制的不同的开关解决方案具有相同水平的高性能。该模块提供SMB或MCX连接器，用户可以选择最适合其应用的接口。另外，Pickering还提供类型齐全的线缆解决方案。 　　Pickering的开关产品经理Steve Edwards对新产品作了说明：“40/42-878系列提供大于30亿次的操作寿命，远超基于EMR的解决方案(通常为1千万次操作)，最大程度地减少由于继电器损坏或需要维护造成的系统停机。仅50us的切换速度使得这些开关可以在EMR的一次切换时间内进行多次切换，因此最大程度地减短了测试周期时间，以及提高了系统吞吐量。快速切换的优点使得这款产品适用于类型广泛的各类应用。” 　　“另外，40/42-878提供4GHz的带宽(现有的EMR产品带宽为3GHz)，可以支持新的更高频率的测试要求，因此有助于延长测试系统的使用寿命。提高了带宽的同时也提高了射频承载功率，超过了EMR解决方案的10W功率。”Edwards说：“最后，与固态解决方案不同，40/42-878中使用的MEMS开关具有低插入损耗，在4GHz时通常小于1.4db —— 与EMR解决方案相当，但具有基于MEMS设计的所有优势。” 　　40/42-878系列随附驱动程序，可在所有主流的软件编程环境中使用。在操作系统方面，支持所有微软当前的Windows版本和主流的Linux版本，以及其他实时硬件在环(HiL)工具。另外，Pickering为所有模块提高三年质保。

5月7日，西安交通大学主持召开国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“高分辨辉光放电质谱仪研制与应用”项目启动暨实施方案论证会。会议采用线上线下结合的方式进行，科技部中国21世纪议程管理中心张望主管，项目咨询专家钱绍钧院士、陈洪渊院士、王海舟院士、李得天院士，以及特邀专家年夫顺研究员，项目专家组中国核学会李金英研究员，中国质谱学会理事长、中国计量科学研究院院长方向研究员，中科院生物物理研究所韩玉刚研究员，中国科学院大学束继年教授，中国仪器仪表学会分析仪器分会吴爱华秘书长等17位专家参会指导。西安交通大学副校长别朝红、科研院常务副院长黄忠德、电气工程学院副院长郝治国，科研院专项与科技开发处副处长李小虎、综合处副处长王庆琳，项目参与单位北方工业大学、广州禾信仪器股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、钢研纳克检测技术股份有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国计量科学研究院和西北核技术研究院相关负责人及研究骨干等50余人参加会议。科研院常务副院长黄忠德主持项目启动仪式。西安交通大学副校长别朝红代表学校感谢科技部长期以来对学校发展给予的支持，强调目前我国高端科学仪器受制于人，重大科学仪器的自主研发、国产化替代已十分紧迫，高分辨辉光放电质谱仪是关键材料领域所需的重要仪器设备，学校将全方位支持项目开展、保障项目顺利实施并取得突出成果，同时勉励项目组做好实施方案的论证和执行工作。科技部中国21世纪议程管理中心张望主管针对重点专项相关过程管理规范和流程、项目管理和实施、经费使用、变更事项报备及进展成果报送等提出了建议，希望项目组与各级主管部门高度重视，做好统筹协作，高标准完成项目目标。特邀专家年夫顺研究员希望项目组在加强科学研究的同时，重视仪器产品的成果转化工作，重视科研及技术指标的要求，同时作为总体专家组的成员，将做好项目的咨询服务和管理工作。科研院副处长王庆琳从技术、财务和档案管理三个方面介绍了项目综合绩效评价的管理政策及要求。中国核学会李金英研究员主持项目实施方案论证环节。项目负责人李志明教授对项目总体情况及实施方案进行汇报，主要包括项目概况及目标、项目主要研究内容、项目实施方案及进度安排、项目组织管理制度、项目成果呈现形式等，并向与会专家介绍了团队近期在磁质谱研发方面的进展和系列磁质谱国产化自主可控路线图。西北核技术研究院沈小攀副研究员、北方工业大学陈吉文教授、广州禾信仪器股份有限公司谭国斌高工、中国科学院上海硅酸盐研究所钱荣研究员、钢研纳克检测技术股份有限公司胡净宇教授依次对课题任务分解及实施方案进行了汇报。在听取了项目和课题实施方案汇报后，项目咨询专家陈洪渊院士、王海舟院士和李得天院士指出，该项目面向国家重大需求，聚焦高分辨磁质谱仪器研制的瓶颈问题，时间紧、任务重、难度大，尤其是高分辨双聚焦磁质谱带来的诸多技术挑战，项目组要充分预估项目实施的难度，合理规划时间安排。各课题组需做好任务衔接、紧密围绕项目目标开展工作，注重整机集成调试和工程化能力，加强产业化建设和国际专利标准布局，形成与国外仪器“扳手腕”的硬实力。专家组各位专家分别从不同角度对项目实施方案做了点评，充分肯定了项目关键科学问题定位的准确性、研究目标及方法的创新性与科学性、技术方案的可行性以及任务分工与研究进度安排的合理性，并针对项目技术方案的重难点、成果落地的部署方案、参与单位间协作、知识产权布局等角度提出了一系列具体建议。“高分辨辉光放电质谱仪研制与应用”项目面向国家在半导体、高纯稀土、深空探测晶体、航空航天用高温合金、高纯金属溅射靶材、特种涂层等领域杂质元素检测的重大需求，解决重点领域固体材料中痕量杂质元素准确分析的“卡脖子”问题。旨在研发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高分辨辉光放电质谱仪，开发相关软件和数据库，开展工程化和产业化推广，在半导体、高纯稀土、高温合金、高纯金属、绝缘体等材料领域中形成应用示范，为先进材料的设计、性能优化、高质量研发与高安全应用提供重要保障，将推动我国仪器科学技术发展，符合国家重大科学技术应用需求，具有里程碑意义。

项目概况一、项目基本情况项目编号：SDLR-SDU-2022-009（SDJDHF20220253-Z099）项目名称：山东大学辉光放电质谱仪采购项目预算金额：700.0000000 万元（人民币）采购需求：标包货物名称数量简要技术要求1辉光放电质谱仪 1台详见公告附件 合同履行期限：详见招标文件要求本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目；3.本项目的特定资格要求：无三、获取招标文件时间：2022年10月12日 至 2022年10月18日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：济南市历下区经十路12111号中润世纪锋1号楼21层方式：因疫情防控期间人员聚集易产生交叉感染，报名方式采用发送邮件报名，将营业执照副本、法定授权委托书或法定代表人证明、标书费汇款底单，将以上材料扫描为一个PDF文件，发至山东龙融招投标代理有限公司邮箱：sdlongrong@126.com，邮件名称命名为：投标人名称-项目名称，在邮件正文中注明所报公司全称、所报项目名称、项目编号、授权人姓名及联系方式，并电话通知招标代理查收（提交标书费须标明项目编号及公司名称，我公司开户银行：中国民生银行股份有限公司济南明湖支行，开户名：山东龙融招投标代理有限公司第一分公司，银行账号：157102632） 本项目实行资格后审，获取招标文件成功不代表资格后审通过。售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年11月02日 09点00分（北京时间）开标时间：2022年11月02日 09点00分（北京时间）地点：济南市历城区二环东路3966号东环国际广场A座20层会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1、本项目允许原装进口产品参加投标；2、 在“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）等网站中被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，不得参加本次政府采购活动；3、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；4、上传的技术指标附件仅作为参考，最终以招标文件中的技术指标为准。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：山东大学　　　　　地址：0531-88369797　　　　　　　　联系方式：王老师　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：山东龙融招投标代理有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：0531-58562236 17753351990　　　　　　　　　　　　联系方式：宫小寒 单长芹　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：宫小寒 单长芹电　话：　　0531-58562236 17753351990

在春光明媚的三月底，国内第一台新型辉光放电质谱仪（Thermo Scientific Element GD）在短短十天内顺利地完成了安装，调试和初步的培训，交付用户使用。 在金川镍钴研究设计院的领导的大力支持下，我们拟定在六月五号到六号两天借用研究设计院的设施和仪器，向广大关心辉光放电质谱仪的现状和发展的老师演示Thermo Scientific的新型辉光放电质谱仪（Element GD）。届时Element GD的设计者Dr. Rottman 和应用专家Dr. Hinrichs都会到场为大家介绍Element GD的研发，现状和应用，并演示仪器的操作。 金川镍钴研究设计院位于兰州市榆中和平开发区，离兰州市中心车程30分钟左右。欢迎各位老师踊跃参加。（会议交通费，食宿自理） 有意参加的老师请联系： 赛默飞世尔科技（上海）有限公司 尹松 电话：021-68654588（分机2183） 传真：021-64281793 手机：13816109156 Email: song.yin@thermofisher.com 期待着在兰州与各位老师再会。 祝好！ 赛默飞世尔科技（上海）有限公司

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目公开招标公告 广东省-广州市 状态：公告 更新时间： 2023-10-15 招标文件: 附件1 附件2 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目公开招标公告 2023年10月13日 17:36 公告概要： 公告信息： 采购项目名称 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 品目 货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/生物、医学样品制备设备,货物/设备/仪器仪表/光学仪器/显微镜 采购单位 中山大学 行政区域 广州市 公告时间 2023年10月13日 17:36 获取招标文件时间 2023年10月14日至2023年10月20日每日上午:9:00 至 12:00 下午:12:00 至 17:30（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥0 获取招标文件的地点 中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com） 开标时间 2023年11月03日 09:30 开标地点 在线开标。 预算金额 ￥13580.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 梁群燕/成思/夏芷莹 项目联系电话 020-87651688-162/139 采购单位 中山大学 采购单位地址 广州市新港西路135号 采购单位联系方式 郑老师 020－84115088 代理机构名称 采联国际招标采购集团有限公司 代理机构地址 广州市环市东路472号粤海大厦7、23楼 代理机构联系方式 成思/夏芷莹 020-87651688-162/139 附件： 附件1 中大招（货）[2023]201号_中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目（分项二）.pdf 附件2 中大招（货）[2023]201号_中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目（分项一）.pdf 项目概况 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）获取招标文件，并于2023年11月03日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：中大招（货）[2023]201号/CLF0123GZ09ZC12 项目名称：中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 预算金额：13580.000000 万元（人民币） 采购需求： 中山大学根据国家招投标法律法规和学校管理要求,拟以公开招标方式采购下列货物及其相关服务。1、招标采购项目内容及数量：分项一：生物制样设备，具体包含高压冷冻仪1台；自动投入冷冻仪1台；冷冻替代仪1台；冷冻超薄切片机1台，镀金镀碳仪1套；辉光放电仪2台；（本项目允许产自中华人民共和国关境外的进口货物投标；本项目不属于专门面向中小企业采购项目。本项目所属行业为工业。具体内容及要求详见公告附件招标文件）。分项二：冷冻电镜系统，具体包含冷冻双束系统1台；200 kV冷冻电镜系统1套；300kV冷冻电子断层成像系统1套；300kV高分辨冷冻电镜系统1套；120kV生物透射电镜系统1套（本项目允许产自中华人民共和国关境外的进口货物投标；本项目不属于专门面向中小企业采购项目。本项目所属行业为工业。具体内容及要求详见公告附件招标文件）。2、项目预算及经费 3.本项目的特定资格要求：（1）具备投标条件的中华人民共和国的法人或其它组织；（2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条相关规定；（3）投标人未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体” 、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间；（以代理机构于评标当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询结果为准，同时对信用信息查询记录进行存档。如相关失信记录已失效或查询不到，则必须出具其信用良好的承诺书原件扫描件）；（4）本项目不允许联合体投标。不接受中标备选方案。 三、获取招标文件 时间：2023年10月14日 至 2023年10月20日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30。（北京时间，法定节假日除外） 地点：中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com） 方式：详见“其他补充事宜”。 售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年11月03日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年11月03日 09点30分（北京时间） 地点：在线开标。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、招标文件获取方式：本项目以电子招投标形式进行，投标人可于中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）及代理机构网站（http://www.chinapsp.cn/）浏览招标公告，确认参与项目的合格投标人应登录中山大学智能电子采购系统，缴纳系统技术服务费400元/包组，在网上获取采购文件及其它招标资料。2、报名方式及时间：2023年10月14日 09:00:00至2023年10月20日 17:30:00；登录中山大学智能电子采购系统，在网上报名获取招标文件及资料，否则不能参与本项目的投标。本项目不需要现场报名确认，若报名期限届满后，获取招标文件的潜在投标人不足三家的，采购人将可能顺延报名期限并予公告。请各投标人留意网上公告，采购人不再另行通知。3、电子投标文件的递交：投标人须凭企业数字证书（GDCA）在提交投标文件截止时间前完成电子投标文件的上传，递交网址：https://www.zhizhengyun.com。无中山大学智能电子采购系统企业数字证书（CA）的投标人需按该平台电子认证的要求，提前办理企业数字证书（GDCA）。如果投标文件于递交投标文件截止时间未能上传完毕，该投标文件将视为无效投标文件。投标截止时间前未完成投标文件传输的，视为撤回投标文件。在递交投标文件截止时间前，投标人可以替换投标文件。4、提交投标文件截止时间、开标时间和地点（1）提交投标文件截止时间和开标时间：2023年11月03日 09:30:00 （北京时间）。（2）投标文件解密时间：2023年11月03日 09:30:00 至 2023年11月03日 10:00:00（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）。（3）解密完成后及时公布开标结果，投标人可登录中山大学智能电子采购系统查看开标情况。（4）开标地点：在线开标。5、招标公告期限为自发布公告之日起5个工作日， 2023年10月14日 09:00:00 至 2023年10月20日 17:30:00 止。6、本项目的发布、修改、澄清和补充通知将在中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）及代理机构网站（http://www.chinapsp.cn/）发布，敬请各投标人留意，采购人不再另行通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中山大学 地址：广州市新港西路135号 联系方式：郑老师 020－84115088 2.采购代理机构信息 名 称：采联国际招标采购集团有限公司 地 址：广州市环市东路472号粤海大厦7、23楼 联系方式：成思/夏芷莹 020-87651688-162/139 3.项目联系方式 项目联系人：梁群燕/成思/夏芷莹 电 话： 020-87651688-162/139 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：切片机,透射电镜,辉光放电光谱,电镜制样 开标时间：2023-11-03 09:30 预算金额：1.36亿元 采购单位：中山大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：采联国际招标采购集团有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目公开招标公告 广东省-广州市 状态：公告 更新时间： 2023-10-15 招标文件: 附件1 附件2 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目公开招标公告 2023年10月13日 17:36 公告概要： 公告信息： 采购项目名称 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 品目 货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/生物、医学样品制备设备,货物/设备/仪器仪表/光学仪器/显微镜 采购单位 中山大学 行政区域 广州市 公告时间 2023年10月13日 17:36 获取招标文件时间 2023年10月14日至2023年10月20日每日上午:9:00 至 12:00 下午:12:00 至 17:30（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥0获取招标文件的地点 中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com） 开标时间 2023年11月03日 09:30 开标地点 在线开标。 预算金额 ￥13580.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 梁群燕/成思/夏芷莹 项目联系电话 020-87651688-162/139 采购单位 中山大学 采购单位地址 广州市新港西路135号 采购单位联系方式 郑老师 020－84115088 代理机构名称 采联国际招标采购集团有限公司 代理机构地址 广州市环市东路472号粤海大厦7、23楼 代理机构联系方式 成思/夏芷莹 020-87651688-162/139 附件： 附件1 中大招（货）[2023]201号_中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目（分项二）.pdf 附件2 中大招（货）[2023]201号_中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目（分项一）.pdf 项目概况 中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）获取招标文件，并于2023年11月03日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：中大招（货）[2023]201号/CLF0123GZ09ZC12 项目名称：中山大学分析测试中心冷冻电镜系统及生物制样设备采购项目 预算金额：13580.000000 万元（人民币） 采购需求： 中山大学根据国家招投标法律法规和学校管理要求,拟以公开招标方式采购下列货物及其相关服务。1、招标采购项目内容及数量：分项一：生物制样设备，具体包含高压冷冻仪1台；自动投入冷冻仪1台；冷冻替代仪1台；冷冻超薄切片机1台，镀金镀碳仪1套；辉光放电仪2台；（本项目允许产自中华人民共和国关境外的进口货物投标；本项目不属于专门面向中小企业采购项目。本项目所属行业为工业。具体内容及要求详见公告附件招标文件）。分项二：冷冻电镜系统，具体包含冷冻双束系统1台；200 kV冷冻电镜系统1套；300kV冷冻电子断层成像系统1套；300kV高分辨冷冻电镜系统1套；120kV生物透射电镜系统1套（本项目允许产自中华人民共和国关境外的进口货物投标；本项目不属于专门面向中小企业采购项目。本项目所属行业为工业。具体内容及要求详见公告附件招标文件）。2、项目预算及经费 3.本项目的特定资格要求：（1）具备投标条件的中华人民共和国的法人或其它组织；（2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条相关规定；（3）投标人未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）“失信被执行人”、“重大税收违法失信主体” 、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间；（以代理机构于评标当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询结果为准，同时对信用信息查询记录进行存档。如相关失信记录已失效或查询不到，则必须出具其信用良好的承诺书原件扫描件）；（4）本项目不允许联合体投标。不接受中标备选方案。 三、获取招标文件 时间：2023年10月14日 至 2023年10月20日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30。（北京时间，法定节假日除外） 地点：中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com） 方式：详见“其他补充事宜”。 售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年11月03日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年11月03日 09点30分（北京时间） 地点：在线开标。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、招标文件获取方式：本项目以电子招投标形式进行，投标人可于中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）及代理机构网站（http://www.chinapsp.cn/）浏览招标公告，确认参与项目的合格投标人应登录中山大学智能电子采购系统，缴纳系统技术服务费400元/包组，在网上获取采购文件及其它招标资料。2、报名方式及时间：2023年10月14日 09:00:00至2023年10月20日 17:30:00；登录中山大学智能电子采购系统，在网上报名获取招标文件及资料，否则不能参与本项目的投标。本项目不需要现场报名确认，若报名期限届满后，获取招标文件的潜在投标人不足三家的，采购人将可能顺延报名期限并予公告。请各投标人留意网上公告，采购人不再另行通知。3、电子投标文件的递交：投标人须凭企业数字证书（GDCA）在提交投标文件截止时间前完成电子投标文件的上传，递交网址：https://www.zhizhengyun.com。无中山大学智能电子采购系统企业数字证书（CA）的投标人需按该平台电子认证的要求，提前办理企业数字证书（GDCA）。如果投标文件于递交投标文件截止时间未能上传完毕，该投标文件将视为无效投标文件。投标截止时间前未完成投标文件传输的，视为撤回投标文件。在递交投标文件截止时间前，投标人可以替换投标文件。4、提交投标文件截止时间、开标时间和地点（1）提交投标文件截止时间和开标时间：2023年11月03日 09:30:00 （北京时间）。（2）投标文件解密时间：2023年11月03日 09:30:00 至 2023年11月03日 10:00:00（如因系统原因无法正常解密，采购人可延长解密时间）。（3）解密完成后及时公布开标结果，投标人可登录中山大学智能电子采购系统查看开标情况。（4）开标地点：在线开标。5、招标公告期限为自发布公告之日起5个工作日， 2023年10月14日 09:00:00 至 2023年10月20日 17:30:00 止。6、本项目的发布、修改、澄清和补充通知将在中山大学智能电子采购系统（https://www.zhizhengyun.com）、中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）及代理机构网站（http://www.chinapsp.cn/）发布，敬请各投标人留意，采购人不再另行通知。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中山大学 地址：广州市新港西路135号 联系方式：郑老师 020－84115088 2.采购代理机构信息 名 称：采联国际招标采购集团有限公司 地 址：广州市环市东路472号粤海大厦7、23楼 联系方式：成思/夏芷莹 020-87651688-162/139 3.项目联系方式 项目联系人：梁群燕/成思/夏芷莹 电 话： 020-87651688-162/139

2016年11月18日，由聚光科技（杭州）科技股份有限公司（以下简称“聚光科技”）牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项“自激式全固态ICP射频源研制及产业化”项目开题会议在杭州顺利召开。浙江省科技厅乐斌、中科院电工研究所韩立所长助理、浙江大学金钦汉教授、浙经事务所徐永标教授、上海环境监测中心大气环境监测室段玉森主任、浙江地质矿产研究所胡勇平教授、中国科学院高能物理研究所刘宇研究员、杭州信雅达科技有限公司赖月林总经理、杭州电子科技大学程知群教授、浙江工业大学莫卫民教授等领导、项目专家成员以及合作单位相关负责人近22人出席会议。与会人员合影　　首先由项目承担单位聚光科技党委书记陈荧平致欢迎辞，随后浙江省科技厅乐斌对项目实施过程中几点要求及评价体系等方面发表重要讲话，并希望项目组进一步加强合作，祝愿聚光科技在后续项目的实施过程中取得圆满成功。 浙江省科技厅乐斌发表重要讲话　　中国地质大学（武汉）金星教授向各位领导及专家组就项目总体情况进行了介绍，本专项重点研制具有自主知识产权、达到国际一流水平的自激式全固态ICP射频源设备，在此基础上进行工程化、产业化，同时建立一条规模生产线，年产能达500台套，项目完成后3年内年销售量300台套以上，支持ICP类分析仪器销售500台套。 中国地质大学金星教授作项目介绍　　本专项将研制工作在27.12 MHz频率的自激式全固态ICP射频源，频率稳定度优于0.01%，功率稳定性优于0.1%，输出功率在0.6～1.7 kW之间连续可调。　　在应用开发方面，本项目针对ICP射频源在光谱和质谱中的应用，将研制的ICP源集成在国产ICP-OES和ICP-MS上，实测灵敏度、背景噪声、检出限和长短期稳定性等主要性能指标，并与采用进口ICP射频源的国产ICP-OES和ICP-MS进行横向比较，以验证本项目研制的ICP射频源的性能是否满足ICP-OES和ICP-MS的要求。形成的测试报告和应用示范效果，对于ICP射频源在国产ICP-MS中的推广应用将起到一个良好的带动作用。　　在产业化方面，本项目将依托产业化承担单位的基础，按照产品开发（IPD）流程进行产品开发，参考ISO 9001：2001质量标准进行管理，建立全面的ICP射频源产品质量管理体系、物料质量管理规范和产品订单履行规范，保证ICP射频源的小试、中试和规模生产顺利实施。建立相应质量管理体系，建设生产线，实现自激式全固态ICP射频源年销售量300台套以上。　　通过本项目的实施，将给国家带来巨大的经济社会效益。　　一、为环境、食品等行业的仪器设备提供核心部件，提升我国检测设备的研制和应用水平　　在水、土壤环境质量检测、水质重金属污染突发事件和食品重金属检测领域等行业，本项目研制成功的ICP源将为这些领域重金属检测设备ICP-OES和ICP-MS提供先进的核心部件，促进国产高端元素检测设备的技术成熟，保障检测行业的检测事业发展。先进的检测设备将大大提升水质、土壤环境的检测能力，促进环境安全和食品安全的总体控制。环境和食品安全保障手段的加强，必将提高人民的生活水平，从而产生巨大的社会效益。　　二、 促进元素检测技术水平的提高　　通过实施项目，我国元素检测设备和检测质量控制产品的研制水平将会有很大提高，必将进一步促进整个国产化元素检测关键设备的产业化、标准化、系列化，形成关键检测设备核心模块的产业化基地，促进国产元素检测设备的市场化推广。　　三、替代进口，节约外汇　　目前国内高端的ICP-OES和ICP-MS设备基本购买国外产品，市场被进口设备长期垄断，价格昂贵、仪器的维护费用高、周期长。本项目研制的具有我国自主知识产权的ICP射频源，技术指标达到国外同类产品水平，将极大的促进国产ICP-OES和ICP-MS在技术上成熟，达到国外同等先进水平，能够胜任国内元素检测各种复杂的应用环境；同时实现国产化应用、本土化维护和成本的降低，完全可替代进口产品，降低了成本，不仅促进仪器企业降低成本提高产品竞争力，也帮助国产ICP类分析仪器在整个元素检测仪器市场提高竞争力。　　四、拉动内需，促进就业　　本项目涉及光学、化学、机械加工、生物学、微加工、电子学、材料科学等多行业，能够促进ICP-OES和ICP-MS等分析仪器行业的进步，项目的实施将带动相关产业的发展，增加就业岗位。　　总之，通过本项目的实施，将实现具有自主知识产权的自激式全固态射频电源的国产化和产业化，将在杭州建立一条拥有年产能力500台套ICP射频源的生产线，并实现批量销售，项目完成后年销售量超过300台套。通过本项目研究成果的推广，将促进国产ICP-OES和ICP-MS等高端无机分析仪器的产业化，提升国产仪器的市场竞争力。　　随后，各仪器开发单位分别就各承担任务的总体目标、工作难点、技术路线、实施计划等方面进行了专题汇报，经过专家组多次提问及内部讨论，形成了专家意见，为项目的顺利实施奠定了坚实的基础。

项目编号：YNGH[2022]-291项目名称：昆明理工大学真空冶金国家工程实验室双聚焦辉光放电质谱仪设备购置（双一流23）预算金额（万元）：850最高限价（万元）：850采购需求：拟采购双聚焦辉光放电质谱仪1套合同履行期限：合同签订之日起180日历天（供应商在此期限内自报最短交货期）本项目（否）接受联合体投标。