脉前畸测干涉仪

瞬态(近红外)激光波前畸变检测干涉仪是将空间位相调制的共路剪切干涉技术与数字化波面高新计算技术相结合研制的新颖干涉系统，是浙江大学光电系现代光学仪器重点实验室、杨甬英等教授集多年基础、数年攻关完成的目前国内首台利用干涉方法仅需单幅干涉图就可以高分辨率检测各类高、低功率的脉冲激光、连续光波前畸变、检测各类高精度大口径精密表面的面形、动态检测各种流体的变化等。仪器抗噪、抗干扰性好特别适合于现场的实时检测。波前及面形的检测分辨率高，可高精度测量较大的波前畸变量，可以用于瞬态图象高速采集及检测。波前检测软件输出信息量丰富、可适用于不同波段的可见光、红外波段的检测。经权威单位与ZYGO干涉仪比对测试，近红外脉冲激光波前畸变检测的波前均方根已优于1/15波长。瞬态激光波前畸变检测干涉仪已达到国际先进、国内领先的先进水平。仪器技术指标：1、应用波长：从紫外、可见光至中远红外波段（波长可根据用户不同要求确定）；2、光束接收口径：F10mm ～用户任定口径；3、仪器精度及重复性：波前均方根优于1/15波长；4、测量范围：波前畸变检测量可达50 mm；5、可用于脉冲光、连续光、各类精密表面面形测量：测量脉冲激光的脉宽可达1ns；6、光学系统具有高激光损伤阈值；7、高分辨率数据采集系统:科学级CCD相机，空间分辨率至1024× 1024以上或用户定；8、仪器利用共路剪切干涉技术，抗振动性好,可放于任何工作台现场使用；9、光束波前诊断软件包：给出检测波前位相（可以是光束波前、面形或流体的形变等）的三维图形、等高图、波前畸变的PV 值、均方根值、波面梯度值等；给出表征光束能量分散度的Streh1比；光学系统象差的评价参数OTF和PSF；软件具有友好的图形工作界面，工作于Windows 2000以上平台，软件有各类数据图象及数据输出功能。应用范围：本仪器是动、静态皆可检测的系统，可应用于航空、航天、航海及国民经济诸多领域：1. 配备高速的CCD与图象转换系统，可以检测具有较大畸变、快速变化的气体折射率密度场、高速绕流流场，获取高速飞行体在各个瞬间状态的三维流场的相关参数。并且可以应用于流体显示技术、空气动力学方面的研究。2. 良好的抗振性特别适合于在车间、现场进行各类精密表面面形的分析测量、不同尺寸的光学元件、硅片、金属表面面形、非球面等各类元件的精密检测。3. 可以检测各类高能激光系统的静态、动态波前畸变，特别为1053nm的近红外脉冲波前检测提供一个高精度、高分辨率的检测结果。系统配备标准近红外光源，可以检测1053nm 波段的各类光学材料的透射特性参数。图2是系统软件输出界面。图3是已实际用于纳秒级高能脉冲波前检测的干涉图。图4是纳秒级高能脉冲波前重构的三维图。

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

高分辨率激光干涉仪所属类别： ? 光学/激光测量设备 ? 波前分析仪 所属品牌：法国Phasics公司 产品简介高分辨率激光干涉仪便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪！ 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点），3D显示等优点。 关键词：干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、干涉光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前分析仪、波前传感器、迈克尔逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪法国Phasics公司超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉专利技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点）、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围（500um）等优点。 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应、光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数（MTF）检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供最优化的数据支持。 产品特点：1、直接测量、无需标准件 图一、检测光路 2、高灵敏度（是普通白光干涉仪的8.4倍）、对振动不敏感 图二 与传统的干涉仪检测结果对比3、三维立体显示 图三、波前三维检测视图4、实时显示泽尼克系数 图四、多阶泽尼克显示界面5、传递函数（MTF）检测 图五、传递函数检测界面 干涉仪应用领域： ? 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测 ? 红外透镜检测? 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测? 光刻机物镜检测? 大口径高精度光学元器件检测? 透镜、镜头模组检测? 传递函数测量? 等离子体密度检测? 高功率激光自适应 产品系列： 相关产品 超高速液晶空间光调制器 PHASICS波前分析仪/波前传感器/波前相差仪/波前探测器

仪器简介： ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。 ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测 量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内， 一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携 性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接， 在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误 差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按 不同标准进行机床精度的评定和比较。 技术参数： 1.线性测量分辨率: 0.001&mu m 2.线性测量范围： 40m（或任选80m） 3.线性测量精度: ± 0.7ppm 4.最高测量速度： 60m/min 5.长期稳频精度： ± 0.05ppm 主要特点： ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

迈克尔逊型干涉仪 特性偏振相关耦合比（PDCR）的波动最小带有源混叠的集成平衡型信号探测指示光束输入（660纳米）以辅助对准包含干涉仪电源 迈克尔逊型INT-MST-1300B干涉仪组件设计用于波长范围在1250到1350纳米内，带有平衡探测装置的光学相干层析成像系统中。为了使用更快的扫描激光器，集成探测器的带宽已经增大到高达100MHz。该模块包括用于迈克尔逊干涉仪的光纤耦合网络，输出为参考臂和样品臂。内部所用的耦合器已经进行优化，具有平坦的波长响应和非常低的偏振相关耦合损耗。光纤的长度是与干涉仪的两臂均匹配，误差在0.2毫米以内，同时为了提高系统的坚固性和易用性，还配有FC/APC带角度的光纤适配器。为了抑制数字条纹信号中降低成像质量的混频的产生，集成的高增益的平衡型探测器（带宽100MHz）包含了一个有源的混叠滤波器。 为了支持将INT-MST-1300B对准到光学系统中，在组件中包含了一个660纳米指示激光器的附加输入，和一个专门设计的组合了扫描激光光源（1300纳米）和准直激光器（660纳米）的WDM耦合器。Item #INT-MSI-1300BOpticalInterferometer Wavelength Range1250 - 1350 nmFiber TypeSMF-28e+Input/Output PortFC/APCInsertion Loss*from 1300 nm IN to Sample Armand to Reference Arm Insertion Loss*from 660 nm IN to Probe4.5 dB MaxPath Length Difference0.2 mm MaxElectricalDetector Material/TypeInGaAs/PINTypical Responsivity Max1.0 A/WOutput Bandwidth (3 dB)DC - 100 MHzTransimpedance Gain100 kV/ASaturation Power**35 µ WMaximum Input Power**250 mWElectrical OutputSMADC Offset Power Supply± 12 V, 200 mA(PICO M8 con.)General Size4.72" x 3.15" x 0.827"(120 mm x 80 mm x 21 mm)* 包括输入和输出尾纤的接头损耗，在中心波长处测量。** 使用高阻抗负载，半值为50欧的阻抗，来测量相对输出功率的跨阻抗增益。图1显示了在时域OCT系统中的INT-MSI-1300B的示例装置。中心波长为1300纳米的输入宽带光源，通过一个环形器和宽带50/50熔融耦合器。来自干涉仪样品臂和参考臂的背反射光在50/50熔融耦合器中合束，产生干涉条纹，经过环形器和WDM耦合器后输入到平衡探测器。平衡探测器的输出信号被数据采集装置获取，经过处理后得到重建的OCT图像。图2描述了通过将参考臂的移动反射镜替换为固定式反射镜，IN-MSI-1300B如何集成到频域OCT系统中。图1: 在时域OCT设计中的INT-MSI-1300B的示意图图2: 在示例傅里叶域OCT设计中的INT-MSI-1300B的示意图干涉仪两臂的内部光纤长度匹配在0.2毫米以内，同时50/50熔融耦合器和平衡探测器的输入之间的光程也经过匹配，以获得最佳的噪声抑制（即最大的共模抑制比CMRR）。内部耦合器已经进行了优化，具有平坦的波长响应和非常低的PDCR（偏振相关耦合比），这使得探测信号几乎与输入的偏振变化无关。图3显示了在参考臂端和样品臂端输入功率的百分比。在1300纳米（中心波长）测量的两个端口的功率相等。图 3： INT-MSI-1300B在1300纳米测量的IN端口到样品臂和参考臂端口的耦合效率

剪切干涉仪 特性定性的光束准直测试，适用于直径为Ø 1-Ø 50毫米的光束磁性耦合可调设计，允许快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔SI系列剪切干涉仪可用于确定相干光束是否准直。该设计包括一个45度安装的楔形光学平板，和一块位于中间的带刻度参考线的散射屏。散射屏用于观察由光学平板的前后表面的菲涅尔反射产生的干涉条纹。如果光束已经准直，干涉条纹会平行于带刻度的参考线。除了准直度以外，干涉条纹还对球差、慧差和像散敏感。楔形光学平板是由未镀膜的紫外熔融硅。每个板尺寸的楔角优化到可接受光束尺寸的范围；详情请看规格标签。由于光在板上的入射角为45度，条纹图案的强度取决于极化光。当偏振垂直于入射面时会产生最大强度。为了观察到的干涉条纹，入射的光的相干长度必须长于由剪切板引起的光程长度的变化。规格标签的更多信息，请参阅下表脚注。构造剪切干涉仪由三部分组成一套：一个底座，一个带有楔形光学平板的板，和一个带有扩散屏幕的板。建立该干涉仪用4-40螺丝和六角键连接观察屏幕板与底座。楔形光学平板通过磁力夹持就位，使它能够很容易地换成带有不同楔形光学平板的板。该底座是由经阳极氧化处理的铝和带有安装Ø 1/2英寸接杆的螺纹孔组成。在楔形光学平板后面的底座上有一个孔，这样光可以毫无阻碍地穿过光学平板。右边的横截面图的说明剪切干涉仪的构造和光束传播。附件对与小直径光束，相应的干涉条纹图样也小，这样就不利于观测。对于这种情形，可以购买SIVS放大观察屏配件，它可以代替标准的散射观察屏，从而增大散射屏上条纹的尺寸。SIVS包括一个已安装的发散透镜和散射屏，这种屏适合观察直径为1至10毫米的光束。该板含有可以单独提供的楔形光学平板，使各种光束的尺寸可以用一个单一的底座单元测试。点击放大上图是UVFS在光正入射时的透过率曲线。其中UVFS样品未镀膜，厚度为1毫米，数据也包含表面反射。剪切干涉仪Zoom Click to Enlarge楔形光学平板通过三个磁块夹持就位。提供5种型号，用于光束直径从1到50毫米范围定性的确定光的准直性磁铁球将平板固定在底座上可用的光束直径刻在板上根据剪切板的不同，剪切干涉仪可用于直径小到1毫米，大到50毫米的入射光。剪切干涉仪产生的干涉图样对光束发散很敏感，因此可以用来定性的确定光是否准直。如右图所示，剪切板有三个钢球，以磁性吸附的方式固定在板的底面上。当采用不同直径的光束时，这种磁性保留机制易于更换不同的平板。兼容的平板和底座型号请查看规格标签。此外，底板的背面钻有通孔，因此可以使得透射光通过楔形光学平板继续毫无阻碍地传播。底板，散射屏和剪切板包装在一个铝制手提箱内。替换剪切板Zoom 提供5种型号，光束直径从1毫米到50毫米 剪切板兼容多种剪切干涉仪主体 磁性钢球将板固定在底座上 可用的光束直径刻在板上Thorlabs提供五种可交换的剪切板，这些剪切板设计用于1毫米到50毫米的入射光束直径。这些板的磁性耦合可调设计，使得剪切板能够准确的固定在剪切干涉仪上。同一底座兼容多种剪切板（关于兼容性的详情请看规格标签），因此如果用于特殊实验的光束直径变化时，剪切板很容易进行替换。带有不同楔形角的不同板可以提供不同大小的光束。配件Zoom 用于光束直径从1毫米到10毫米 增大散射板上的条纹尺寸用于光束直径从1毫米到10毫米增大散射板上的条纹尺寸SIVS配件有助于观察由小光束直径产生的条纹图样。通过用该配件替换SI035，SI050，SI100或SI254*上的标准散射板观察屏，干涉条纹的尺寸会增大，从而使得确定光是否准直变得更容易。SIVS带有两个1/16英寸的螺丝，因此可以固定在剪切干涉仪上。如果需要，SIVS的安装板可以单独购买（SITST）。SITST具有标准的Thorlabs的SM1 (1.035英寸-40)螺纹，与任意SM1螺纹组件兼容。

应用领域 工业计量检测，光学加工车间检测，各种工业生产及加工现场检测包括：通讯、航空航天、汽车制造和消费电子等。 动态环境下，测量各种光滑表面面形，包括光学平面玻璃、窗口玻璃、金属平面、陶瓷平面，凸凹球面等。帮助光学车间和其它工业加工现场，控制和提高各种元件的光滑表面精度和表面质量。 产品综述 通用组合水平式检测干涉仪（数字化动态分析系列）是一种使用动态分析方法的斐索型激光干涉仪。该干涉仪具备良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。这使得该干涉仪在传统相移技术无法进行测试的环境中，仍能提供精密可靠的计量检测，这种具有可模块化组合和低成本等特点的无损检检测干涉仪是工业加工现场检测需求的新方向。 性能参数◆材质均匀性◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制我们的客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

1. 产品概述用于SENTECH Instruments等离子系统的SENTECH SLI激光干涉仪端点监测器与聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿过等离子系统的顶部视口，并被样品反射。反射光照射到检测器上并测量强度。2. 主要功能与优势用于蚀刻和沉积工艺的自动激光终点检测使用SENTECH SLI激光干涉仪进行原位测量特别适用于监测透明层的终点检测、透明层界面的终点检测以及蚀刻不透明薄膜和在界面上停留的终点检测。多层模式顺序端点配方多终点配方包括 EPD 的多个条件，这些条件按顺序执行，从而可以在多层蚀刻过程中根据单个薄膜特性更改等离子体工艺参数。与SENTECH操作软件SIA集成的终点检测SENTECH SLI激光干涉仪可以与SENTECH操作软件SIA集成，用于特定的终点检测配方，通过使用简单的行业标准命令行直接参数化终点监测。3. 灵活性和模块化SENTECH SLI 激光干涉仪原位光学计量终点监测仪可与整个系列的 SENTECH 等离子蚀刻和沉积处理系统一起使用，它与穿过等离子系统顶部视口的聚焦相干激光束一起工作，然后被样品反射以准确测量强度。单独的照明 （LED） 和 CCD 摄像头用于观察样品和调整激光光斑。整个终点监视器由自动 x y 载物台移动，允许使用 SENTECH SIA 操作软件系统轻松进行点调整。使用 SENTECH SLI 激光干涉仪进行自动原位测量非常适合在蚀刻或生长透明层或层状结构时监测层厚度。

红外干涉仪 完美融合创新设计及尖端技术，M-Wave 339干涉仪是艺术级LUPI(不等光程激光干涉仪)，操作于3.39um/10.6um波长(或其他指定波长)，是用于测试中波红外成像组件/系统和光材料均匀性的理想仪器。 规格参数精确度 (未标定) 精确度 (已标定) 重复性基础设备孔径 扩束器孔径相机分辨率变焦镜头 采集模式 激光类型 波长*输出功率≥束偏振 0.01 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.004 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.001λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 25.4mm 直径101.6mm 直径640 x 512 像素1X to 6X相移HeNe3.39 μm、10.6um2 mW线性 包装尺寸系统光轴高度激光安全等级 重量 分析软件 744mm x 407mm x 275mm115mmCDRH IIIb激光产品3B类60 lbs (主机) ESDI Intelliwave LE-2 or Apre Reveal控制装置手动参考光倾斜电动激光功率衰减器电动6x连续变焦电动聚焦WFOV调整模式 / NFOV测量模式单一出厂设置参考臂反射器 (98%)配件/可选扩束镜 (75mm, 100mm, 150mm, 200mm)90度伸缩肘管电动控制项目的遥控器5轴镜片/窗口夹具高度调节器自动聚焦测量设备

中图仪器SJ6000激光干涉仪检测数控车床集光、机、电、计算机等技术于一体，它以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）激光干涉仪检测数控车床，支持手动或自动进行环境补偿。SJ6000激光干涉仪检测数控车床利用激光干涉现象来实现非接触式测量，适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。机床领域应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线，在可见和红外波段有多条，其中最强的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三条谱线。我们可以采取一些方法去抑制其中的两种，而使我们所需要的一种波长的激光得到输出。632.8nm（红光）因输出为可见波段的激光，实际应用较为广泛。 由于HeNe激光束具有单色性和方向性好,输出功率和波长能够控制得很稳定，并且结构简单、造价低廉等优点，因而广泛应用于精密计量、检测、准直、信息处理，以及医疗、光学实验等多个方面。 HeNe激光器是玻璃管状结构，玻璃是气密性非常优良的材料。HeNe激光器是一种小功率激光器，放电管长十几厘米的激光器输出功率为毫瓦上下，放电管长1~2m 的激光器输出功率可达几十至百毫瓦。HeNe激光器是放电激励的气体激光器的典型代表，它的工作过程、制造工艺和设计器件的方法对其他气体激光器都有参考意义。 单频激光干涉仪使用单频激光器、双纵模热稳频技术进行稳频。由于两纵模的频率间隔约为1GHz，超出了信号处理器的细分运算能力，故其中一个纵模的激光会由偏振片舍弃，测量过程中实际只使用通过偏振片的单纵模激光。最终采用零差干涉原理（调幅）进行测量。镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管参数： 真空波长/nm632.99出光功率/mW0.8最大功率漂移（8h）5%尺寸Φ*L/mm26*150出光模式TEM00腰斑直径2ω0/mm0.33发散角θ/mrad2.4起辉电压/V4000工作电压/V1000工作电流/mA3.5~4工作寿命/h20000 北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管，镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管产地为北京，属于国产激光器，激光器的参数、价格、型号、原理等信息欢迎该问北京镭测科技有限公司官方网站，镭测科技客服电话400-860-5168转5968，售前、售后均可联系。

λ/1000超高精度激光干涉仪!姓名：陈工(Jack) 电话： 邮箱：爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品，测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）检测及透射波前检测。产品参数：产品特点：测量光路示例：

GEMINI-2D 干涉仪NIREOS的GEMINI-2D将您的瞬态吸收光谱仪转变为最先进的二维电子光谱仪。GEMINI-2D是一款结构紧凑、超稳定的干涉仪，可产生两束极其稳定、相位锁定、平行的飞秒激光脉冲。特点：吸收线形状的泵浦-探针（准直）几何构型。高光通量：1厘米透明孔径，不用任何光栅或输入/输出狭缝。支持各种超快放大器和光参量放大器（OPA 或 NOPA)作为输入，波长范围覆盖紫外到近红外。扫描范围和光谱分辨率自由选择，用户可以先进行快速测量，初步了解光谱特点，然后延长数据采集时间，提高信噪比和光谱分辨率。坚固耐用，工厂装配和校准后可轻松集成到任何现有的泵浦探测设备中。得益于独特的common-path几何结构设计专利，它对振动不敏感，工作非常稳定。它能够保证脉冲延迟的可控性和重复性，精度优于1阿秒。结构紧凑：尺寸仅为18 cm x 18 cm。应用：二维电子光谱（2DES）参数：版本SL光谱范围400 nm – 2300 nm (标准版)400 nm – 2300 nm (标准版)250nm – 3500nm (极宽版)250nm – 3500nm (极宽版)对称版最长时延@λ=600nm-400 fs - +400 fs-1050 fs - +1050 fs非对称版最长时延@λ=600nm-100 fs - +700 fs-100 fs - +2 ps延时稳定性≤1阿秒≤1阿秒工作模式步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）尺寸长宽高：180mm x 180mm x 90mm长宽高：180mm x 180mm x 90mm重量2 kg2 kg二维电子光谱（2DES）是一种超快激光光谱技术，可以探测样品的电子、能量和空间分布 在选定的探测波长和固定的时间T2下，振荡瞬态信号是两个泵浦脉冲之间相对延迟T1的函数。Oscillating transient signal as a function of the relative delay T1 between the two pump pulses at a selected probe wavelengh and at a fixed population time T2.根据每个探针波长的T1函数进行傅里叶变换，就可以获得与探测波长和激发波长函数相关的二维谱图。A Forurier Transform ad a funcion of T1 for each probe wavelength allows one to retrieve the 2D maps ad a function of detection and exitation wavelengths.在三个不同布居时间T2(15 fs、45 fs和4000 fs)下，对Rhodospirillum Rubrum 样品的光收集（LH1）复合体测量得到的二维电子能谱测量的二维图。Bidimensional maps of 2D Electronic Spectroscopy measurements obtained on a Light Harvesting (LH1) complexo f a sample of Rhodospirillum Rubrum for three diferente populations time T2 (15 fs, 45 fs, 4000 fs).

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

激光干涉仪原理和方法:随着光通讯行业的飞速发展，特别是通讯行业手机、平板等对成像质量要求的不断提高，必须对手机面板摄像孔的光学玻璃的透射波前进行检测和分析。光学玻璃的透射波前是指一个标准的波形（平面波、球面波等）被透射或反射后的波形，它主要用于光学成像的像质评价。随着透射光学系统（如手机平板等摄像系统等）的成像质量要求越来越高，迫切需要高精度的光学玻璃透射波前的检测手段。高精度的检测方法主要是用干涉法检测波前畸变。 激光干涉仪其工作原理是将待测手机平板放于干涉仪的参考平面镜和标准反射镜中间，从标准参考镜反射的光和标准反射镜的光相干涉，干涉条纹则反映了手机面板摄像孔透射波前的好坏。技术参数硬件部分产品型号SDI-635-10PV产品名称激光干涉仪测试结构斐索型立式结构测试口径有效口径Ф10mm测试光源半导体激光光源（波长635nm）对准视场±0.5度标准镜面形精度λ/20标准配件1、激光干涉仪主机一台 2、10mm平面透射标准镜，λ/20 3、10mm平面透射反射镜，λ/20 4、手机面板测试平台（带XY固定） 5、移相控制器一台 6、移相干涉条纹分析软件一套 7、电脑、液晶显示器一套设备重量约16KG电源AC220V50HZ软件部分软件名称移相算法分析项目透过波前PV值、RMS值、干涉条纹数PV值测试重复性±0.039λ条纹数测试精度±0.5条测试时间1.5秒测试数据可存EXCEL

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。 此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。 您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。 为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。 激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。 Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。 现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。 XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。 技术参数：系统精度: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm 分辨率:0.001 um 最大测量速度:4.0m/sec 最高采样频率:50KHz 测量范围: 0 - 80 metres 预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

白光干涉仪概述Rtec 白光干涉仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。 3D光学轮廓仪组合l白光干涉仪l旋转盘共聚焦显微镜 l暗视野显微镜l明视野显微镜 主要平台规格 产品规格l标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）l标准转塔，电动转塔可选l垂直范围可达100mml倾斜阶段6度lXY平台分辨率0.1uml自动拼接楷模lSigma头 - 仅限白光干涉仪lLambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场 应用 ●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌 测试图像示例 DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑 金刚石 生物膜 微流体通道 聚合物涂层 墨痕 硬币 研磨垫 铝的失效痕迹 划痕 涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

上海瞬渺提供的全光纤全光纤迈克逊干涉仪（Fiber Michelson Interferometer）不但可以用来作为精密的测试测量仪器，还可以应用在精密的干涉传感系统。光纤干涉仪内部采用PZ1小尺寸光纤拉伸器（参见PZ1光纤拉伸器产品资料），内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。 全光纤迈克逊干涉仪标准产品的工作波长从1064nm到1550nm。每个光纤干涉仪都具有“零米”光路偏差的设计，用于方便用户根据不同的测试应用来改变光路延迟长度。标准产品的延迟光纤长度为50米，我们能够根据用户的实际要求提供各种定制的光纤干涉仪，请联系我们的销售人员。产品特点： 低插入损耗 零光路失配 BNC调制接口 裸光纤型光纤干涉仪可选（无封装）应用领域 激光器相位噪声测试 激光器频率噪声测试 干涉型光纤传感系统模拟 科研实验室应用技术指标参数单位指标产品型号MFI-10-50MFI-13-50MFI-15-50工作波长nm106413101550调制常数rad/V2.52.01.6两臂光路失配长度（无延迟）m0m0m0m两臂光路失陪长度偏差cm+/-10cm+/-10cm+/-10cm调制器接口BNCBNCBNC光纤类型HI-1060（或指定）SMF-28eSMF-28e光路接口FC/APCFC/APCFC/APC最大功率承受能力mW250250250封装尺寸(长x宽x高)mm260x160x90260x160x90260x160x90重量kg~2.7~2.7~2.7延迟光纤线圈指标可定制的延迟范围m0.5m ~1000m标准产品的延迟长度m50光纤连接器FC/APC应用举例1.激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。OPD-4000解调输出电压应用到PZ1光纤拉伸器的BNC接口上，作为PZ1光纤拉伸器的驱动电压。OPD-4000的相位解调输出可以选择数字信号输出或者模拟信号输出，数字信号输出通过PC进行后续处理，模拟信号通过信号分析仪进行分析。2. 激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。通过为PZ1型光纤拉伸器BNC接口提供控制电压保持其处于正交偏置（Quadrature Bias）。输出光信号由光接收机接收处理，输出信号进一步处理。3.光纤干涉仪传感器模拟输入光信号代表干涉型光纤传感器的光源。选择合适的延迟光纤线圈，延迟长度作为需要模拟的传感器的长度。输出光信号通过光接收器件到信号分析仪进行处理分析。订货信息：MFI-10-50： 1064nm光纤迈克逊干涉仪MFI-13-50： 1310nm光纤迈克逊干涉仪MFI-15-50： 1550nm光纤迈克逊干涉仪需要定制的光纤延迟长度或者其他的要求，请联系我们的销售人员。

上海瞬渺提供的全光纤全光纤迈克逊干涉仪（Fiber Michelson Interferometer）不但可以用来作为精密的测试测量仪器，还可以应用在精密的干涉传感系统。光纤干涉仪内部采用PZ1小尺寸光纤拉伸器（参见PZ1光纤拉伸器产品资料），内置的PZT通过前面板的BNC连接器驱动。 全光纤迈克逊干涉仪标准产品的工作波长从1064nm到1550nm。每个光纤干涉仪都具有“零米”光路偏差的设计，用于方便用户根据不同的测试应用来改变光路延迟长度。标准产品的延迟光纤长度为50米，我们能够根据用户的实际要求提供各种定制的光纤干涉仪，请联系我们的销售人员。产品特点： 低插入损耗 零光路失配 BNC调制接口 裸光纤型光纤干涉仪可选（无封装）应用领域 激光器相位噪声测试 激光器频率噪声测试 干涉型光纤传感系统模拟 科研实验室应用技术指标参数单位指标产品型号MFI-10-50MFI-13-50MFI-15-50工作波长nm106413101550调制常数rad/V2.52.01.6两臂光路失配长度（无延迟）m0m0m0m两臂光路失陪长度偏差cm+/-10cm+/-10cm+/-10cm调制器接口BNCBNCBNC光纤类型HI-1060（或指定）SMF-28eSMF-28e光路接口FC/APCFC/APCFC/APC最大功率承受能力mW250250250封装尺寸(长x宽x高)mm260x160x90260x160x90260x160x90重量kg~2.7~2.7~2.7延迟光纤线圈指标可定制的延迟范围m0.5m ~1000m标准产品的延迟长度m50光纤连接器FC/APC应用举例1.激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。OPD-4000解调输出电压应用到PZ1光纤拉伸器的BNC接口上，作为PZ1光纤拉伸器的驱动电压。OPD-4000的相位解调输出可以选择数字信号输出或者模拟信号输出，数字信号输出通过PC进行后续处理，模拟信号通过信号分析仪进行分析。2. 激光器相位/频率噪声测试被测试的激光器经过衰减器后输入到光纤干涉仪，干涉仪的光路失配（光路差）可以由用户选择采用或者控制延迟线圈（延迟线圈）来设定。通过为PZ1型光纤拉伸器BNC接口提供控制电压保持其处于正交偏置（Quadrature Bias）。输出光信号由光接收机接收处理，输出信号进一步处理。3.光纤干涉仪传感器模拟输入光信号代表干涉型光纤传感器的光源。选择合适的延迟光纤线圈，延迟长度作为需要模拟的传感器的长度。输出光信号通过光接收器件到信号分析仪进行处理分析。订货信息：MFI-10-50： 1064nm光纤迈克逊干涉仪MFI-13-50： 1310nm光纤迈克逊干涉仪MFI-15-50： 1550nm光纤迈克逊干涉仪需要定制的光纤延迟长度或者其他的要求，请联系我们的销售人员。

扫描法布里－珀罗干涉仪 特性分析连续光激光器光谱自由光谱范围1.5和10GHz精细常数高于150控制器可选Thorlabs的扫描法布里-珀罗(FP)干涉仪 经常用于检查连续激光器的光谱特性的精细结构。这些干涉仪的精细常数高于150，自由光谱范围(FSRs) 为1.5或10 GHz。共焦FP腔起到非常窄的带通滤光片的作用。通过用压电换能器调节FP腔的长度，可以调谐腔的透射波长，其中压电换能器由SA201控制器或具有相同功能的发生器驱动。透射光的强度用光电二极管测量，信号由SA201中的跨阻抗放大器（或等价的放大器）进行放大，然后通过示波器或数据采集卡进行显示或记录。准直FP干涉仪腔体的共焦设计使其对入射光的对准相对不太敏感。因此，通过将干涉仪安装在标准的可调镜座上（详细信息请参阅对准指南标签），FP干涉仪的光轴与入射光束的对准具有足够的精度。1) 控制器（BNC）至压电元件（粘贴上）电缆，FP干涉仪的不可移部分2) 光电二极管（SMA）至控制器（BNC）电缆，包含于FP干涉仪中3) 放大光电二极管输出（BNC）至示波器电缆，不包含4) 控制器触发输出（BNC）至示波器电缆，不包含5) 可选连接线，允许用户监测用于驱动压电换能器的信号SA201控制器产生重复扫描腔长所需的锯齿波或三角波电压，扫描长度为&lambda /4（或更多）以扫过干涉仪的一个自由频谱区（FSR）。SA201控制器也具有跨阻抗放大器，可用来放大FP干涉仪中光电二极管探测器的输出。强度信息用来测量共焦FP腔的透射光的强度。控制器也为示波器提供了触发信号，触发信号可以方便地在扫描开始或中途简便触发示波器。通过分开一个FSR来测量两个相同光谱特征的间隔时间，可以对示波器的时间轴进行精确校准（详细信息见法布里&mdash 珀罗教程标签中的图4及图5）。理论反射镜反射率及反射镜精细度表格文件包含了绘制上图所用的数据。扫描法布里－珀罗干涉仪：1.5GHz自由频谱区Zoom Item #SA200Free-Spectral Range (FSR)1.5 GHzFinesse200 (250 typ)Resolution7.5 MHzMax. Beam Diameter*600 µ mCavity Length50 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA200-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil)新型Ｂ系列具有扩展的工作波长范围共焦法布里－珀罗设计超稳定无热化因钢腔体扫描电压（5伏/FSR＠633纳米）Ø 2英寸安装法兰推荐安装座： KS2 或KC2扫描法布里－珀罗干涉仪：10GHz自由频谱区Zoom Item #SA210Free-Spectral Range (FSR)10 GHzFinesse150 (180 typ)Resolution67 MHzMax. Beam Diameter150 µ mCavity Length7.5 mmMirror SubstrateUV Fused Silica***FP腔体的入射孔径比最大光束直径大。但如果光束直径超过此规格，仪器的分辨率将会降低。**SA210-18B的反射镜基底为红外级熔融石英（Infrasil）。扫描法布里－珀罗干涉仪控制箱Zoom Photo Amplifier SpecificationsGain Steps0, 10, 20 dBTransimpedance Gain (Hi-Z)10, 100, or 1000 kV/ATransimpedance Gain (50 O)5, 50, or 500 kV/AOutput Voltage (Hi-Z)0 - 10 V (Min Range)Output Voltage (50 O)0 - 5 V (Min Range)Bandwidth250 kHzNoise (RMS)0.1 mV @ 10 kV/A0.2 mV @ 100 KV/A1.5 mV @ 1 MV/ATTL触发输出上升沿触发开始扫描下降沿触发中间点扫描扫描电压可调节直流偏置（扫描中点处的中央信号）扫描时间可调节（0.01－10秒）三角或锯齿形扫描电压互阻式增益放大器光电二极管输出可选择输入：交流100,115或230伏SA201专门设计通过产生高稳定性，低噪声的电压斜坡信号来控制Thorlabs公司的法布里－珀罗干涉仪。该斜坡信号用来扫描干涉仪腔体的两块反射镜的空间间隔。控制器有100,115或230V可选择的交流输入，提供了斜坡电压及扫描时间的调整，使用户可以选择扫描范围及速度，并提供偏压控制使示波器上的光谱向右或向左移动。Ramp SpecificationsWaveformSawtooth or TriangleOutput Voltage Range1 - 45 V (offset + amplitude)Offset Adj. Range0 - 15 VDCAmplitude Adj. Range1 - 30 VRisetime Adj. Range1X Sweep Exp. 0.01 - 0.1 s100X Sweep Exp. 1 - 10 sSweep Expansion1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100XSweep Scale Error± 0.5%Output Noise1 mVRMS (~6.6 mVPP)TriggerRamp Start or Midpoint输出触发器允许用户在斜坡波形的起始阶段或中间对示波器进行外触发。从中间点触发示波器的功能使得对线型进行放大更加方便；只需将感兴趣的光谱成分移至显示屏的中央并且增加范围的时基。不需要应用偏置将信号重新移至中间；增加的范围对感兴趣的点进行了扩充。控制器的另一个方便的特性是增加斜坡信号长度的校准过的放大能力，可放大1倍，2倍，5倍，10倍，20倍，50倍与100倍，这样就可以实现极宽范围的扫描时间。输出的TTL电平触发允许用户在斜坡信号的起始点或中间点对示波器进行外触发。SA201也含有用来监测腔体透射率的高精度光电探测器放大电路。放大器提供了可调节的互阻抗增益：10千，100千与1兆伏／安，用来驱动高阻抗负载，例如示波器。应用控制器的输出同步信号，可以用示波器来显示输入激光的光谱。探测器电路包括了消隐电路，用来消除光电二极管对锯齿波下降沿的响应。

拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型仪器介绍： WMG-1型迈克尔逊干涉仪是我公司新近研制开发的用于高等院校和科研所验证相关物理光学实验的仪器。该仪器采用平台式铸铁底座，有效地提高了仪器的稳定性。拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型可开设实验：观察点光源非定域干涉观察等倾干涉条纹观察等厚干涉条纹观察白光干涉现象测定光源或滤光片的波长（例：He-Ne激光、钠光）测定钠黄双线波长差测量透明介质薄片折射率测量透明气体折射率拓普迈克尔逊干涉仪WMG-1型规格参数： 动镜移动精度（微调）：0.0004mm 动镜移动精度（粗调）：0.01mm 动镜移动距离（微调）：1mm 动镜移动距离（粗调）：12mm 分束板和补偿板平面度：&le 1/20&lambda 激光输出功率：0.8-1mW 系统成套性： 迈克尔逊干涉仪主机 He-Ne激光器 一维可调升降底座等 可选附件： 低压钠灯 白光源 气室部件（气室、压力表、压气球） 法布里珀罗标准具

镭测科技推出的LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LS600单频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件

一、GPI系列激光干涉测量仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：1、平面和球面的面形检测2、平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差3、光学材料均匀性测量4、角锥角度和面形偏差测量5、精密盘片质量检验6、三平板绝对测量7、双球面绝对测量8、静态干涉条纹判断9、泽尼克多项式分析10、球面曲率半径测量二、GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光，光束扩展为1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直径，自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪，形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机，形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹，可以测量样品的表面面形和传输波面质量，样品为平面或球面。如果为非平面和非球面，则需通过加装补偿片等手段进行测量。GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件（最高可达 2048 X 2048），配合功能强大的MetroPro?软件可以获得高精确性和高质量的测量结果，其平面样品 PV绝对精度优于λ/100 ！三、球面样品 PV绝对精度优于λ/140！并能模拟样品表面面形，包括鲜明的，可旋转的3D彩色图像，可选的剖面图以及各种统计数字结果等。同时，针对用户的各种样品、各种要求，可以通过提供各种精密可选附件，配合功能强大的MetroProTM软件，为用户提供完美的技术解决方案并获得满意的测量结果。四、GPI－XP系统最大的特点就是其功能强大的MetroProTM软件系统。使用互动的窗口显示，在屏幕上同时提供仪器控制，表面面形模拟，测量数据的统计分析等功能。测量数据可以存在磁盘上，或传输至其它计算机作进一步处理或统计分析。也可以使用彩色打印机打印出MetroProTM高质量的数据图像。 Mesa―平面度测量仪。 ZYGO公司专为精密机械加工件和薄型光学元件的平面度测量而设计的一种干步测量仪器，其测量对象是粗糙度为2.5μm(Ra)和平面面形误差150μm(Pa)以下的零件，测量样品直径可达Ф96mm。Mesa同样采用功能强大的MetroProTM软件，可在5秒钟内完成测量和分析，并向用户提供零件的三维面形图和各类测量数据。

中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。在机床领域的应用 产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据； （5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）中图仪器激光干涉仪检测机床sj6000支持手动或自动进行环境补偿。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm 标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

激光干涉仪通用长度测量工具sj6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。动态测量应用基于时间的动态测量机器运动控制性能评价：1.运动控制器PID控制参数测试与设置2.高速运动后机器的稳定性测试与评价3.高性能运动控制器的微小步幅的测试振动监视1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工振动频率分析1.被测对象的振动频率分析2.FFT快速傅立叶变换分析基于距离的动态测量基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。 提供脉冲触发方式采集CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。产品特点1、激光干涉仪通用长度测量工具sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；2、以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；3、使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；4、配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；5、分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。在机床领域中的应用激光干涉仪通用长度测量工具sj6000是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。 1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。 4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。 激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。 如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。