压电致动器

CEDRAT持有专利的APA?,放大型压电致动器，预装有机械放大的低电压压电陶瓷(MLA)。这种机械放大得益于一个不锈钢的椭圆形外壳，沿其短轴进行放大，沿其长轴使MLA发生形变。此外壳同时也能对MLA进行保护。它能提供更易于集成的机械接口。这种放大平衡张力架为MLA提供绝佳的预应力，在动力学应用中较其他传统的杠杆型致动器有更长的寿命和更好的性能。 CEDRAT的APATM致动器拥有良好的位移性能，性能超过了那些直接或双晶压电致动器 。 特点： · 偏心遮罩有增大位移量和硬度的作用 · 机械阻抗匹配和机电耦合性能良好 · 能在很广的频率范围内操作（包括谐振频率） · 压电致动器下的遮罩的弯曲程度考虑了放大器中合理的应力分布 参数： 位移范围：27.8um-1000um 闭环分辨率：0.28nm-10nm 响应时间：0.02ms-0.14ms 驱动电压低：150V 应用： 视光学: 光学透镜的定位，微扫描，天文学，聚焦定位，激光腔调谐，光纤的耦合和形变，FBG（光纤布拉格光栅）的形变，斩波器，干涉仪，PDP晶体切割，调制器等。 机械学: 工具定位，取放工具，金刚石车削，椭圆活塞加工，阻尼，动态控制，新一代超声波或声波振动，NDT，器件疲劳度监测等。 流体学: 比例阀，泵，测流技术，喷墨技术，注射器，液滴发生器，颗粒

CA45是一款独立的单通道放大器，装在一个RK12小机箱内。CA45连接到主电源（220/240 V交流，根据要求提供110V交流），为了使压电致动器获得高精度，CA45提供了所有必要的功能。 ? 可在开环状态下驱动压电致动器 ? 在开环或闭环状态下控制压电致动器，配有应变计（SG），并带有数字伺服控制器（UC45）。并可根据用户要求定制。参数单位CA45型号V- CA45备注-功能独立型电压放大板冷却自然对流式主电压[e]VAC230输出电压V-20/150静态电流mA2.0最大输入电流[a]A0.036最大输出功率(峰值)[a]VA4.50最大输出负载电容uF400控制输入电压V-1…7.5信噪比[k] dB85输出带宽[i]Hz61.6精度(SG)%0.1精度(ECS)%0.01PZT连接器LEMO ERN.00.250.CTL外部控制输入BNC/50Ohms输入阻抗kOhms10重量kg1.2尺寸mm12Fwide, 3H high

描述APA30μXS是目前最小的放大型压电致动器。质量仅有0.15gr，它可以被视为微型压电致动器。性能行程(μm): 42；阻滞力(N):3.3；共振频率(Hz): 4770；尺寸(mm): 3.9*8.6*5.0特点真空；非磁性状态标准描述APA 35XS是放大型压电致动器XS系列的中等行程和阻滞力的版本。性能行程(μm): 55；阻滞力(N):27；共振频率(Hz): 3883；尺寸(mm): 5.5*13.25*9状态标准描述APA 50XS是放大型压电致动器XS系列中行程最大和阻滞力最小的版本。性能行程(μm): 78；阻滞力(N):18；共振频率(Hz): 2700；尺寸(mm): 4.7*12.8*9.0特点非磁性；真空；特定界面状态标准

产品特性:通过CE认证，符合RoHS标准。容性负载：负载适应性强，可应用于阻性负载、感性负载，特别适合于容性负载，如压电陶瓷、压电式振动体等。频率调整：控制器的输出频率可以调整，方便用户找到振动体的最佳工作频率，以获得更平稳、安静、节能的送料效果。高精度自动稳压：内置数字稳压电路，可以自动消除由于电源电压波动造成的送料速度变化。可调缓启动：启动时，输出电压会从零开始逐渐增大到预设电压，以消除对振动盘的冲击。缓启动时间可数字预置。开关传感器料满/料空停机：支持NPN型传感器或PLC远程料满/料空停机控制。光电传感器料满/料空停机：支持光电对射传感器料满/料空停机控制。远程速度控制：可以直接使用外置的电位器、PLC或1～5V电压信号远程控制输出电压。直流控制输出：控制器可输出直流低压控制信号，以驱动电磁阀等设备与控制器协同工作。键盘锁定：长按开/关键以锁定所有按键，防止用户误操作。最大可输出电压设定：设定最大可调整电压防止用户误操作输出过大电压损坏振动设备。过压保护：当输入电压过高时,电源将自动关闭,以自我保护。数字过热保护：当控制器工作温度过高时将停止输出，以自我保护。过流保护：当控制器工作电流超过额定电流时将停止输出，以保护控制器及振动设备。可恢复短路保护：输出端发生短路时，控制器会停止输出，保险丝不会被熔断，以保护控制器及振动设备。输出端不再短路后，控制器通电即可再次正常工作。 尺寸和重量:尺寸：长190mm×宽53.6mm×高94.5mm重量：1050g（不含附件） 技术规格:包装清单:控制器*1说明书*1电源线（线长1.5米）*1输出线（线长1.5米）*1 选购附件:智能光电传感器（线长1.5米） 售后服务:三年质保，免费维修 控制器正面视图: 控制器底部视图: 控制器信号接口视图:

描述APA 230L是放大型压电致动器L系列中行程最小和阻滞力最大的版本。性能行程(μm): 236；阻滞力(N):1350；共振频率(Hz): 850；尺寸(mm): 85*145.3*16特点应变计；真空；非磁性；特定界面状态标准描述APA 500L是放大型压电致动器L系列中中等行程和阻滞力的版本。性能行程(μm): 500；阻滞力(N):570；共振频率(Hz): 460；尺寸(mm): 55*145*16特点应变计；真空；非磁性；特定界面状态标准描述APA 1000L是放大型压电致动器L系列中行程最大的版本。性能行程(μm): 900；阻滞力(N):373；共振频率(Hz): 290；尺寸(mm): 35*145*16特点应变计；真空；非磁性；特定界面状态标准

P-841预载压电陶瓷促动器应用领域静态和动态精密定位光纤定位激光调谐纳米技术适用于复杂真空应用压电陶瓷促动器无需润滑，不会造成磨损。全瓷绝缘PICMA促动器也不需要聚合物绝缘，因此非常适合真空应用。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

描述APA 40SM是放大型压电致动器SM系列中行程最小和阻滞力最大的版本。性能行程(μm): 52；阻滞力(N):194；共振频率(Hz): 4100；尺寸(mm): 15*27.2*11.50特点应变计；真空；非磁性；特定界面状态标准描述APA 60SM是放大型压电致动器SM系列中行程最大和阻滞力最小的版本。性能行程(μm): 80；阻滞力(N):110；共振频率(Hz): 2800；尺寸(mm): 13*26，9*11.5特点应变计；真空；非磁性；特定界面状态标准

描述APA 60XS是放大型压电致动器XS系列中行程最小和阻滞力最大的版本。性能行程(μm): 80；阻滞力(N):102；共振频率(Hz): 2860；尺寸(mm): 15*29.2*9.0特点应变计；非磁性；真空；高温；热补偿；特定界面状态标准描述APA 120S是放大型压电致动器S系列中行程最大和阻滞力最小的版本。性能行程(μm): 130；阻滞力(N):39；共振频率(Hz): 1300；尺寸(mm): 13*28.7*9.0特点应变计；非磁性；真空；高温；特定界面状态标准

描述APA 500XL是放大型压电致动器APATM XL系列中行程最小和阻滞力最大的版本。性能行程(μm): 600；阻滞力(N):1100；共振频率(Hz): 345；尺寸(mm): 82*214,3*24.50特点应变计；真空；高温；特定界面状态标准描述APA 1000XL是CEDRAT所有产品中最大的放大型压电致动器。性能行程(μm): 1050；阻滞力(N):745；共振频率(Hz): 210；尺寸(mm): 57*214.3*24.50特点应变计；真空；特定界面状态标准

P-882多层压电陶瓷促动器PICMA Stack多层压电陶瓷促动器，具有高可靠性工作电压为-20至120伏。陶瓷绝缘，无聚合物。耐湿。优异的温度稳定性。超高真空兼容至10-9百帕，无排气，耐高温。非常适用于动态操作。多种设计选择。封装版本用于喷溅水或油中的操作规格有所修改的定制设计用于高达200摄氏度的工作温度用于高达20安电流的特殊电极多种几何形状：内孔，圆形，矩形多个版本中的陶瓷或金属端件德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91

1. 概述压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号（压电晶体的正压电效应）。压电式加速度传感器具有结构简单、敏感件无源、无活动部件、刚度大、动态范围宽、频响宽、工作可靠、安装方便等一系列优点，目前已成为冲击振动测量技术中使用广泛的一种传感器。是被最为广泛使用的振动测量传感器压电式加速度传感器。FH131A20是一种内置了IEPE电路的低频高灵敏度压电式加速度计；它通过通过装在传感器内部的前置放大器将电荷型压电传感器输出的电荷转换成低阻抗的电压输出。IEPE 型传感器通常为二线输出形式，即采用恒流源供电；供电和信号使用同一根线。通常直流电部分在恒电流电源的输出端通过高通滤波器滤去。IEPE 型传感器的最大优点是测量信号质量好、噪声小、抗外界干扰能力强和远距离测量，特别是新型的数采系统很多已配备恒流源，因此，IEPE 传感器能与数采系统直接相连而不需要任何其它二次仪表。在振动测试中IEPE 传感器已逐渐取代传统的电荷输出型压电加速度计。FH131A20具有灵敏度高、刚度大、频响下限低等特点，广泛应用与航天、航空、交通、建筑、桥梁、工业监测、科研教学、计量等领域的振动冲击测量；特别适用于桥梁结构试验、建筑振动监测、地震检测、地面和基础振动监测等低震级、极低频振动领域。2. 技术指标 2.1. 测量范围 ：±0.25g（5%ms-2）2.2. 参考灵敏度： 20V/g（40Hz，1ms-2条件下）2.3. 最大横向灵敏度比： ＜5%2.4. 频响特性：0.05 ~ 200HZ （＜±10%）2.5. 自振频率：1.5kHz 2.6. 极性：正向（加速度方向从底部指向传感器）2.7. 激励电压：+18 ~ +28VDC 2.8. 激励电流：2 ~10 mA （恒流源）2.9. 偏置电压： 9-12VDC2.10. 动态范围： ±5Vp2.11. 输出电阻：＜100Ω2.12. 噪 声：＜3μVrms2.13. 分 辨 率：＜0.0000005mg2.14. 工作温度：-40℃~120℃2.15. 冲击极限： ±50g（不供电）2.16. 敏感结构：剪切2.17. 外壳材料：不锈钢；2.18. 敏 感 件：PZT-52.19. 安装螺纹： M52.20. 质 量：约820g2.21. 输出方式： 顶端BNC2.22. 体 积：φ55x58

产品描述压电陶瓷执行器能够在0 μm至200 μm甚至更高的运动范围内实现出色的性能，并产生高达1200N的输出力。PAL M14在非常紧凑的直径为M14mm外壳中提供了标称行程范围内的纳米分辨率和毫秒级的响应时间。M14系列促动器可以产生高达1200 N的力。在开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器壳体M14外螺纹完成的，移动端应避免弯矩载荷和侧向力。M14系列封装压电促动器的内部为压电直驱结构，因此，高度越高，位移将越大。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性。SGS采用全桥方式传感器，并且对温度不敏感，闭环装置可以用于开环或闭环控制。产品特性—负载: 1200 N—出力: 1200 N—高刚度—高谐振频率选配功能—可选择移动端为内螺纹、外螺纹、平头、球头—可选LEMO/ BNC输出端连接器及线缆长度—可选闭环(SGS) 位置反馈系统—可选热稳定性管理方式及各种移动端转接方式应用范围—模态分析—振动控制—材料测试—机械工业PAL M14系列外形尺寸订购信息 产品型号移动端形式传感器移动端转接形式（选配）电气连接线缆长度PAL..M14-S球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端SGS外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端BNC / LEMO1.5mPAL..M14球面端/平面端/内螺纹端/外螺纹端/外螺纹端转平面端/外螺纹端转球面端/内螺纹端转平面端/内螺纹端转球面端BNC / LEMO1.5m

产品描述“简易执行机构”系列是具有结合在弹性铰链机构中的压电元件的致动器。带有螺纹孔，易于固定和拆卸，简易执行机构内部无内置传感器，所以本产品开环操作时具有迟滞和蠕变特性。压电执行器通电后会收缩运动。采用机械放大结构设计，因此行程比单个压电元件长几倍。柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。高推拉力，大行程，紧凑的尺寸，亚纳米分辨率，亚毫秒级快速响应。机械放大式压电促动器是由不锈钢材质的外部椭圆框架将压电陶瓷的主轴变形沿短轴进行放大。这个椭圆形的框架也提供了压电陶瓷对拉力的抵抗。为客户提供了易于集成机械接口。此预应力和放大曲张框架给压电陶瓷施加预紧力保证其比传统的基于杠杆臂和弯曲支点的传统的机械式放大器，在动态应用下有更长的使用寿命和更好的性能。产品特性—轴向收缩运动—行程：1500μm—出力: 1300 N—位移放大式选配功能—可定制安装固定螺纹尺寸—可定制线缆长度—可定制闭环方式—可定制位移典型应用:• 光子学/集成光学 • 纳米级微调操作纳米定位 • 光纤拉伸 • 高速切换• 微扫描 • 激光腔调谐 • 测流技术 • 生物技术迟滞和蠕变特性：在开环操作中，具有滞后和蠕变现象 位移放大结构形式：行程比单个压电陶瓷大几倍

Thorlabs 压电陶瓷促动器，PC4WL光学仪器组件特性镀有环氧树脂，以防装卸不当及机械/化学污染共烧式设计将堆栈烧结成一个整体结构zui大位移从4.6 µ m到20.0 µ mzui大驱动电压150 V方形、方形带通孔、圆形或环形截面快速响应时间：谐振频率的1/3内部电极跨越整个有源横截面，堆栈上绝缘Thorlabs 共烧式压电陶瓷促动器由PZT层堆叠而成，这些叠层由跨越整个叠层表面区域的电极分隔开来。整个堆栈烧结成一个整体结构。这些压电促动器将电能转换为精确控制的机械位移，非常适合纳米或微米级中需要快速、精确改变位置的应用。共烧式压电堆栈的绝缘和导体设计不同于分立式压电堆栈。在共烧式压电堆栈中，少量的玻璃丝被精确位于堆栈的每一侧，因此每个内部电极都与带相反极性的外部电源电极绝缘。这种分隔使顺序层可以交替连接正极和负极(或施加偏压和接地)。对比分立式压电堆栈中使用的绝缘间隙，此设计具有更大的接触面积和活性PZT材料的百分比，这样助于降低内部应力。更多详细信息以及进一步比较两种压电堆栈绝缘方法的图解，请查看工作标签。这些多层装置非常适用于纳米和微米级定位。随着施加到促动器的电压从0 V上升到最大驱动电压，压电元件将纵向扩展。这些开环压电陶瓷促动器提供4.6 µ m至20.0 µ m的最大位移。压电陶瓷装置(比如这些促动器)存在迟滞现象，因此促动器的位移不仅仅取决于施加的电压。如需精确追踪促动器的位移，Thorlabs推荐带应变片的压电堆栈促动器。集成我们的PC4系列压电堆栈兼容半球端帽和尾帽，可最大限度地减少安装时的内部应力。为安装PC4系列压电陶瓷堆栈，并连接半球端帽和尾帽，我们建议使用固化温度低于80 °C(176 °F)的环氧树脂，比如我们的353NDPK或TS10环氧树脂或Loctite® Hysol® 9340。机械负载与压电陶瓷促动器连接时，将其居中于压电促动器的端面是很重要的，这可以避免可能会损坏促动器的扭矩。另外，压电陶瓷促动器应该连接外部负载，以使感应力沿着促动器的位移轴方向。如果将促动器集成到需要预载的设计中，我们建议预载不要超过规定夹持力的50%。压电陶瓷促动器的绿色引线必须连接到用于驱动促动器的电源的高电压端。请勿用反向偏置电压驱动压电陶瓷促动器，这样可能会损坏设备。压电陶瓷促动器不能在液体中或有yi燃气体或液体的地方使用，不能用有机溶剂进行清洗。注意：驱动后，压电元件充满电。直接连接绿线和白线存在产生放电、火花甚至故障的危险。我们建议在绿线和白线之间使用电阻(1 kΩ)以释放电荷。Thorlabs还提供75 V、100 V和150 V的压电陶瓷堆栈和芯片，包括5.2 µ m - 100.0 µ m行程的分立式压电陶瓷堆栈和0.7 - 3.6 µ m行程的压电陶瓷芯片，它们非常适合OEM应用。对于需要更大位移的应用，我们提供220 µ m - 2500 µ m行程的放大型压电促动器。

Thorlabs 压电陶瓷促动器 PK2FSF1光学仪器组件特性分立式压电陶瓷堆栈，挠性外壳预连导线，易于集成适用于开环实验装置适合OEM应用Thorlabs放大型压电陶瓷促动器由一个分立式压电陶瓷堆栈和一个挠性外壳安装座组合而成。挠性安装座起到杠杆臂的作用，用于放大单个分立式堆栈的自由行程位移。此组件可实现的位移明显大于压电堆栈的位移，同时保留了分立式堆栈的快速响应时间和低驱动电压范围。由于此位移由挠性安装座内的压电堆栈产生，因此，促动器不会受到反冲的影响。PK2F系列PK2F系列放大型压电促动器的驱动电压为0到75 V，包含U形金属保护盖和球形接触件，以便将负载安装在顶部。这些压电陶瓷促动器预连导线；连接红线的电极应该施加正偏压，连接黑线的电极应该接地。U形金属盖可保护压电堆栈和连接线。促动器外壳顶部有碳化钨球形接触件可以沿位移轴精密安装负载，并预防其他轴方向上不必要的应力。此外，它还带有两个M2.5螺孔，可提供简便且牢固的安装选项。每个堆栈的四个侧面都有一层绝缘的陶瓷层，可用作防潮层。与环氧树脂层相比，陶瓷层的防潮能力更佳。APF系列APF系列的驱动电压为-30到150 V，安装在带螺孔的开放式框架中，用于安装其他组件，因此非常适合OEM集成。这些压电陶瓷促动器预连导线。在一般使用条件下，连接黑线(APF503)或白线(APF705和APF710)的电极应该接地，而使用双极电源将-30 V到+150 V电压施加至红线。另外，如果双极电源不可用，可以通过将黑线或白线电压保持在+30 V，并将红线电压在0和+180 V之间变化来实现满行程的运动。挠性外壳的顶部和底部各具有一个螺纹安装孔，前面和后面各具有四个螺纹安装孔。将促动器集成到装置时，这些安装选项提供了灵活性，但请务必注意将负载与促动器的位移轴正确对准，以防引入角共振模式。注意：搭建装置时，请将每个压电装置的引线都绑在一起，以防止因静电放电造成压电陶瓷元件损坏。这些促动器可以使用MDT69xB和KPZ101开环控制器，以及MPZ601或BPC30x闭环控制器来驱动。这些控制器可以提供0到150 V的驱动电压，因此不能达到APF系列压电陶瓷促动器的满行程。请注意，这些促动器不包含应变计，因此使用闭环控制器时也不提供位置反馈信息。如需闭环反馈，请考虑我们带应变计的压电陶瓷促动器。有关这些压电陶瓷装置的集成应用指导、操作时的特别注意事项，以及在已知工作条件下估算其使用寿命的数据。Thorlabs也提供共烧式压电陶瓷堆栈，位移在4.6 µ m到20.0 µ m之间，其中一款带有内置应变片，可用于提供反馈。与PZT芯片粘合而成的分立式压电陶瓷堆栈不同，共烧式压电陶瓷堆栈通过烧结PZT芯片形成单片式结构。我们的压电陶瓷教程包含更多有关压电陶瓷堆栈设计和功能的信息。

产品描述PFV-600U/800U是长行程压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位及有长距离定位操作而设计的产品。PFV-600U/800U的应用范围包括：Z向移动，3D成像，自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使用。PFV-600U/800U本体由铝，钢和黄铜制成，闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。转接环可以轻松更换，以使每个物镜都适合PFV-600U/800U纳米定位器。可用的标准产品包括RMS，M25，M26，M27、M32等，也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力，可带动较大物镜的高动态定位和扫描。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。产品特性—位移：600~1100μm—螺纹尺寸：W0.8x1/36“至M32x0.75—适用于质量达300g物镜—超紧凑型长行程设计—高精度柔性铰链机械结构选配功能—可定制转接装置及固定方式—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择定制其它螺纹规格应用领域—倒置/正立显微镜—表面扫描和分析、AFM显微镜—生物技术（例如细胞扫描）—光束聚焦用于印刷过程—半导体测试设备 结构原理 叠堆形式 典型应用PFV-600U/800U系列技术参数

P-007 – P-056-PICA堆叠型压电陶瓷促动器工作电压为0至1000伏。使用寿命长，无降额。特定位移大。高力量。亚纳米级分辨率，微秒级响应。工作温度范围为-20至85摄氏度可用选项应变片传感器可实现位置稳定性压电陶瓷材料工作电压范围，位移，层厚度负载能力，力量生成几何形状：圆形、矩形机械接口：平面型、球型、金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石等。集成式压电检测器层特殊高/低温版本，温度传感器真空兼容型和无磁性版本超级严苛的长度公差应用领域工业和科研。用于高负载定位、精密机械/-加工、开关多年来，PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供产品质量的同时，PI更为用户提供创新的技术服务和解决方案。从精密加工到数字与模拟控制电路，从亚纳米级的电容位置传感器到PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得PI成为全球众多高科技企业、著名实验室的合作伙伴。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。

描述APA 100M是放大型压电致动器M系列中行程最小和阻滞力最大的版本。性能行程(μm): 110；阻滞力(N):184；共振频率(Hz): 1900；尺寸(mm): 25*55..1*9特点应变计；非磁性；真空；高温；特定界面状态标准描述APA 150M是放大型压电致动器M系列中中等行程和阻滞力的版本。性能行程(μm): 169；阻滞力(N):100；共振频率(Hz): 5300；尺寸(mm): 22*55.1*9特点应变计；非磁性；真空；高温；特定界面状态标准描述APA 150M是放大型压电致动器M系列中中等行程和阻滞力的版本。性能行程(μm): 169；阻滞力(N):100；共振频率(Hz): 5300；尺寸(mm): 22*55.1*9特点应变计；非磁性；真空；高温；特定界面状态标准描述APA400M是M系列的升级型号，比M系列具有更大的行程。性能行程(μm): 400；阻滞力(N):38；共振频率(Hz): 495；尺寸(mm): 13*48.4*11.5特点应变计；真空；高温；特定界面状态标准描述APA900M是M系列的升级型号，具有最大的行程。APA900M只适用于静态工作条件。性能行程(μm): 760；阻滞力(N):16；共振频率(Hz): 248；尺寸(mm): 10*49*11.5特点应变计；真空；特定界面状态标准

PDu100是业界最小、最轻的压电致动器驱动器。PDu100可驱动高达+/-100 V的双线压电致动器和弯曲器。PDu100还可驱动高至+100 V的三线压电弯曲器和堆叠致动器。应用包括电池供电的机器人、压电电机以及超低功率定位和操纵系统。+/-压电执行器和双线弯曲器的100V输出电压范围+堆叠执行器的100V输出电压范围三线弯曲机执行器的偏置电源峰值输出电流：100mA电源电压：3V至5.5V尺寸：12x13mm（0.5 x 0.5英寸）质量：0.5克（0.018盎司）

E63为小体积单通道开环低动态压电陶瓷控制器，USB上位机软件控制及供电。产品体积仅优盘大小，便于集成电路板控制器，适合开环小体积压电控制器的。供电供电输入电压5 V/ 500 mA静态功耗0.4w主控处理器32 bit/ 32 MHzD/A转换器12bitA/D转换器无通信接口USB驱动峰值电流43 mA平均电流2 mA放大器带宽700 Hz纹波8 mVpp（加载2.2 uF）保护工作温度范围0-50 ℃输出短路电流6 mA连接方式PZT连接器LEMO单芯通信连接器USB-A外观尺寸89*30*14 mm3重量52 g

产品描述PFR150系列超薄型XY（Z）多轴纳米定位压电平台，可用于与倒置显微镜的标准大范围纳米定位压电平台集成在一起。载物台具有较大的孔径，可容纳行业标准的样品架/微孔板、便于进行进行活细胞研究。PFR150系列为研究人员提供了对Z轴的快速，高精度控制，是反卷积，3D重建和共聚焦显微镜的理想选择；尤其适用于需要活细胞的应用。与其他仅移动一个物镜的压电聚焦设备不同，PFR150可以在载物框架位置使用，从而确保不失去共焦性。PFR150系列的闭环行程为80~200 μm，可与蔡司、尼康、奥林巴斯、莱卡等显微镜配合使用。其中压电平台，压电控制器和专接板均单独出售。可选的应变测量反馈闭环操作版本，采用高分辨率应变测量位置传感器，具有高精度和可重复的运动，也补偿压电陶瓷的蠕变特性，闭环装置可以用于开环或闭环控制。可选附件转接环，方便用户安装到指定设备中。产品特性—位移：80μm/150μm（闭环）—中空尺寸：83×93 mm—适用于质量达1000g样品扫描—嵌入型设计—并联结构设计具有高谐振频率选配功能—可定制转接装置—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度—可选配闭环(SGS) 位置反馈系—可选择定制其它固定方式及培养皿支架应用领域—超分辨率显微镜—表面扫描和分析、测量技术—筛选、生物技术—自动聚焦系统—共聚焦显微镜 结构原理 响应特性 典型应用PFR150-XYZ100U/200U系列技术参数

压电雨量传感器 主要通过GPRS等数据将终端信息以无线传输方式发送出去，可以实现降水量数据的自动监测、存储和传输实现无人值守，全天候自动监测。观测数据齐全，可根据实际需要自由选配。一、产品简介TH-Y6型压电雨量传感器 原理为发射连续变频超声波信号，通过测量相对相位来检测风速风向。与传统的超声波风速风向仪相比，我司产品克服了对高精度计时器的需求，避免了因传感器启动延时、解调电路延时、温度变化而造成的测量不准问题。TH-Y6型压电六要素传感器创新性地将气象标准六参数（环境温度、相对湿度、风速、风向、大气压力、压电雨量）通过一个高集成度结构来实现，可实现户外气象参数24小时连续在线监测，通过数字量通讯接口将六项参数一次性输出给用户。二、产品特点1、顶盖隐藏式超声波探头，避免雨雪堆积的干扰，避免自然风遮挡2、原理为发射连续变频超声波信号，通过测量相对相位来检测风速风向3、风速、风向、温度、湿度、大气压力、压电雨量六要素一体式4、采用先进的传感技术，实时测量，无启动风速☆5、抗干扰.能力强，具有看门狗电路,自动复位功能,保证系统稳定运行6、高集成度，无移动部件，零磨损7、免维护，无需现场校准8、采用ASA工程塑料室外应用常年不变色9、产品设计输出信号标配为RS485通讯接口（MODBUS协议）；可选配232、USB、以太网接口，支持数据实时读取☆10、可选配无线传输模块，最小传输间隔1分钟11、探头为卡扣式设计，解决了运输、安装过程松动不准的问题☆三、技术参数1、风速：0～60m/s（±0.1m/s）；2、风向：0～360°（±2°）；3、空气温度：-40-60℃（±0.3℃）；4、空气湿度：0-100%RH（±3%RH）；5、大气压力：300-1100hpa（±0.25%）；6、压电雨量：0-4mm/min（±4%）7、功率:1.08W四、产品尺寸图五、产品结构图六、注意事项1.传感器水平周围1米半径无遮挡，避免水滴飞溅影响2.传感器安装位置应避开强机械振动源3.传感器安装上方应为开阔区域，雨滴应直接滴落至传感器，应免二次滴落和连续水流冲击

压电雨量传感器TH-Y1采用压电动能式雨量监测，根据雨滴滴打的力度进行识别，从毛毛细雨到磅礴大雨均可监测。用于测量降雨量的传感器，其原理是利用压电元件的压电效应来测量降雨对传感器表面的冲击力。当雨滴落在传感器表面上时，会形成一个冲击力，这个冲击力会导致压电元件产生形变，从而产生电压信号。通过测量这个电压信号的大小，就可以推算出降雨量。一、产品概述压电雨量传感器本压电雨量传感器采用PVDF压电薄膜作为感雨器件，通过嵌入式AI神经网络分辨雨滴信号，避免因砂砾、灰尘、振动等干扰带来误触发。广泛应用于气象环境监测、水文水利综合监测站、交通道路监测、农林、风力发电等有关部门用来遥测降水量、降水强度、降水起止时间。用于防洪、供水调度、电站水库水情管理为目的水文自动测报系统、自动野外测报站等。二、功能特点1.一体化设计，外观精美2.无机械配件，无任何外露部件，可过滤树叶、尘土、虫子等环境因素所引入的相似信号3.测量精度高，量程宽，稳定性能好，低功耗，抗外界干扰能力强4.可全天候工作，不受天气变化的影响，精确到秒的降雨时长监测5.免维护，雨滴接触面为弧形设计结构，不存储雨水，6.安装后带有自动水平校准功能，无需现场校准7.体积小巧，携带、拆卸安装方便三、技术参数测量范围0-4mm/min测量精度≤±4%分辨率0.01mm采样频率＜1S通讯接口RS485通讯协议MODBUS电源DC12V功耗0.12W工作温度-40～85℃工作湿度0～100%RH四、产品尺寸图五、产品结构图 六、注意事项1.传感器水平周围1米半径无遮挡，避免水滴飞溅影响2.传感器安装位置应避开强机械振动源3.传感器安装上方应为开阔区域，雨滴应直接滴落至传感器，应免二次滴落和连续水流冲击

Product DescriptionThe PZT range of products are individual piezo actuators, ready to use in a variety of applications. In most cases, these items are in stock and can be delivered overnight. These low voltage multilayer actuators have variable cross sections and displacements up to 18 μm. These actuators are easily bonded together in larger stacks for greater displacement. For nanopositioning applications that require the integration of multi-layer piezo actuators into flexure guided motion stages, please refer to our products page, or our custom page. Also offered is a power amplifier for driving bare piezo actuators. Please contact our salespeople for details and specifications.Technical SpecificationsPZT1PZT2PZT3PZT4Length (mm)5102010Cross section (mm x mm)3.5x4.53.5x4.53.5x4.56.5x6.5Max Voltage (VDC)150150150150Displacement (μm)4.6±1.59.1±1.517.4±2.09.1±1.5Capacitance (μF ± 20%)0.100.180.350.75Resonant Freq. (kHz)27613869138Generated Force (N)200200200850Tensile Strength (N/m2)20202085Young' s Modulus (N/m2)4.4x10104.4x10104.4x10104.4x1010Temperature Range (°C)-25 to +85-25 to +85-25 to +85-25 to +85Related ProductsPA25 Amplifier

特点： 位移范围：40um-80um 闭环分辨率：0.4nm-0.8nm 响应时间：0.06ms-0.08ms 驱动电压更低

特点： 标准位移：8um 工作频率：27KHz 输入功率：15W

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势:硬式装载技术SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。主动惯性振动消除SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。串行设计与压电技术独特串行设计加上高强度压电专利技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。完全集成式的单平台设计SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点：STACIS专利技术主动惯性振动清除系统895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)隔振效率1Hz:40-70% 隔振效率经2Hi:90% 隔振效率＞3Hz:90-98%6个主动自由度安装容易，调试简单兼容所有设备内直的振动隔离系统电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W是否需要空气：非气浮系统CE与RoHS认证完全集成式的单平台设计可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运兼容SEM-lift系统SEM-Base VI 性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn' t change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 Hz内置控制器规格Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI性能曲线：1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)产品尺寸：现场图片：

压电雨量传感器 采用先进的PVDF压电薄膜技术，我们的压电雨量传感器能够准确测量降雨量，让你轻松掌握天气变化。无论是气象监测、环保数据收集，还是农业灌溉控制，它都能为你的项目提供可靠的数据支持。与我们一起，让科技改变生活！一、产品概述本压电雨量传感器采用PVDF压电薄膜作为感雨器件，通过嵌入式AI神经网络分辨雨滴信号，避免因砂砾、灰尘、振动等干扰带来误触发。广泛应用于气象环境监测、水文水利综合监测站、交通道路监测、农林、风力发电等有关部门用来遥测降水量、降水强度、降水起止时间。用于防洪、供水调度、电站水库水情管理为目的水文自动测报系统、自动野外测报站等。二、功能特点1.一体化设计，外观精美2.无机械配件，无任何外露部件，可过滤树叶、尘土、虫子等环境因素所引入的相似信号3.测量精度高，量程宽，稳定性能好，低功耗，抗外界干扰能力强4.可全天候工作，不受天气变化的影响，精确到秒的降雨时长监测5.免维护，雨滴接触面为弧形设计结构，不存储雨水，6.安装后带有自动水平校准功能，无需现场校准7.体积小巧，携带、拆卸安装方便三、技术参数测量范围0-4mm/min测量精度≤±4%分辨率0.01mm采样频率＜1S通讯接口RS485通讯协议MODBUS电源DC12V功耗0.12W工作温度-40～85℃工作湿度0～100%RH四、产品尺寸图五、产品结构图 六、注意事项1.传感器水平周围1米半径无遮挡，避免水滴飞溅影响2.传感器安装位置应避开强机械振动源3.传感器安装上方应为开阔区域，雨滴应直接滴落至传感器，应免二次滴落和连续水流冲击

压电雨量传感器 广泛应用于气象环境监测、水文水利综合监测站、交通道路监测、农林、风力发电等有关部门用来遥测降水量、降水强度、降水起止时间。一、产品概述压电雨量传感器 本压电雨量传感器采用PVDF压电薄膜作为感雨器件，通过嵌入式AI神经网络分辨雨滴信号，避免因砂砾、灰尘、振动等干扰带来误触发。压电雨量传感器 广泛应用于气象环境监测、水文水利综合监测站、交通道路监测、农林、风力发电等有关部门用来遥测降水量、降水强度、降水起止时间。用于防洪、供水调度、电站水库水情管理为目的水文自动测报系统、自动野外测报站等。二、功能特点1.一体化设计，外观精美2.无机械配件，无任何外露部件，可过滤树叶、尘土、虫子等环境因素所引入的相似信号3.测量精度高，量程宽，稳定性能好，低功耗，抗外界干扰.能力强4.可全天候工作，不受天气变化的影响，精确到秒的降雨时长监测5.免维护，雨滴接触面为弧形设计结构，不存储雨水，6.安装后带有自动水平校准功能，无需现场校准7.体积小巧，携带、拆卸安装方便三、技术参数测量范围0-4mm/min测量精度≤±4%分辨率0.01mm采样频率＜1S通讯接口RS485通讯协议MODBUS电源DC12V功耗0.12W工作温度-40～85℃工作湿度0～100%RH四、产品尺寸图五、产品结构图 六、注意事项1.传感器水平周围1米半径无遮挡，避免水滴飞溅影响2.传感器安装位置应避开强机械振动源3.传感器安装上方应为开阔区域，雨滴应直接滴落至传感器，应免二次滴落和连续水流冲击

该压电驱动电源功能是将微弱的外部模拟输入信号或计算机通过DA给出的模拟信号或其它的控制信号，通过功率驱动模块内部的电压与功率放大电路，将微弱的信号放大到能够满足对各类PZT的驱动要求或微动工作台等纳米定位机构的控制要求；功率驱动模块能够提供高的输出电压、功率、分辨率、精度、带宽、线性度、稳定度和较低的输出纹波、小的温度漂移等特性。它可以对高压PZT或纳米定位机构进行驱动，该模块可以静态和动态地对高压PZT或纳米定位机构进行驱动。前面板功能介绍1．电源上电指示灯(绿色) 可通过观察该指示灯来确认放大器是否处于通电状态， 常亮表示通电，熄灭表示断电。2．过流、短路报警指示灯+（红色） 例如一通道当输出端输出正电压发生过流或短路时， "﹢"向部分的指示灯被点亮。3．过流、短路报警指示灯-（红色） 例如一通道当输出端输出负电压发生过流或短路时， "-"向部分的指示灯被点亮。