CMP浆料粒度分析的难点在于必须在抛光过程中全浓度条件下快速测定平均颗粒直径和粒度分布,因为稀释可能导致浆料稳定性和粒度的变化(比如进一步的团聚或解聚),另外在稀释后的浆料中很难检测本来就极少量的团聚体。CPS-24000型纳米粒度分析仪是最新型的纳米粒度分析仪,它采用斯托克斯定律分析方法,V = D² (ρ P -ρ F) G / 18 η ,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量,因此粒径相差小至1%的颗粒都可以明显分辨出来。适用于极稀到高浓度的样品粒度测定,对团聚体的存在非常敏感。