形貌轮廓仪

KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果：1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics® 推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪，具有埃米级灵敏度，可用于超光滑表面的相移干涉测量，以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司，为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪，并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪，它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上，从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合，扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年，Zeta-200 发布，带有自动化载台，并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起，测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距，从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统，还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后，通过自动缺陷检测功能，Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类，如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台，并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术，为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形，从而影响器件的性能。因此，封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度，从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量，例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年，将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合，推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法，并搭配创新且易用的软件，用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案，用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率，推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量，对晶硅光伏的转化效率产生重要影响，因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要，因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案，可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺，该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化，从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式（HDR）为金属栅线工艺提供了测量解决方案，可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中，HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年，推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品，提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪，可以适用于多种应用场景，包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量，是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团，为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术，扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量，支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline® ，利用网络浏览器和强大的智能手机功能，使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据，包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其进行分析，并与同事共享测量结果。ProfilmOnline® 允许用户通过跨平台的任意设备，随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能，提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上，更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量，如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性（n、k 值）的测量方面，Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线，为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台，可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪，基于具有ZDot技术的Zeta-20设计，可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系！

随着器件尺寸不断缩小，表面翘曲度可能引发一些问题从而影响器件的正常功能。在半导体中，薄膜应力对半导体能带隙偏移、超导转变温度和磁各向异性等电子特性有直接影响。在器件制造过程中，监控因薄膜沉积而产生的应力至关重要。在薄膜层面，应力通常会影响薄膜的附着力并产生晶格缺陷和表面再构，从而限制厚层薄膜的生长。在器件层面，应力的形成很少会直接导致良率下降，而是会缩短产品使用寿命。使用寿命缩短会导致每年在产品服务和保修方面花费数百万美元，这是一个重大问题。结合成熟的应力计算理论模型与 KLA 探针式轮廓仪的精密测量，我们可以进行独立于材料与表面特性的精确薄膜应力测。背景应力无法直接测量，它是因薄膜沉积而产生的。薄膜沉积会导致基片弯曲并改变原始形状。基片的曲率半径可以通过测量基片翘曲度和挠度而获得。可以采用 G. Gerald Stoney 开发的用于测量薄膜应力的悬臂梁技术，通过比较薄膜沉积前后的曲率半径变化来估算应力：其中应力测量技术HRP® 和 Tencor® P 系列轮廓仪可在无需拼接的情况下测量衬底的整片直径，可提供基片翘曲度和挠度的详细数据。首先收集薄膜沉积前和薄膜沉积后的扫描图像，然后通过计算由于薄膜沉积而引起的基片曲率半径变化，即可计算应力。HRP 系列和 Tencor P 系列模型为用户提供两种应力计算算法：n 阶多项式和 13 点最小二乘拟合。前代模型仅提供一种方法：13 点最小二乘拟合。在多项式拟合程序中，用户可以指定使用 5 阶、6 阶或 7 阶多项式来计算曲率半径。n 阶多项式有 n+1 个系数：为了确定这些系数，考虑使用 3 阶多项式的示例：一共需要四个方程式来确定这些系数。可以简单地将以上方程式乘以 x3、x2、x 和 1（未知数的系数），生成这些方程式。生成的四个方程式如下：使用Crout法求解联立方程式，即可确定这四个系数，并获得将高度表示为位置函数的多项式。曲率半径由多项式的二阶导数确定。13 点最小二乘拟合法的步骤包括将局部数据拟合成弧线，并根据这些弧线的局部曲率计算平均曲率。由于这种方法多次使用相同的数据点，因此更易受到噪声和震动信号影响，可靠性不佳。最小二乘拟合算法中剔除了所收集数据中前 5% 和后 5% 的数据。其余数据被分为三个长度为 0.3L 的数据段，其中 L 为扫描长度。通过计算第 1~13 ，2~14直至N-12~N个点的局部曲率（其中 N 为数据段中数据点的总数），可确定局部的曲率半径。每个数据段的平均曲率是局部曲率的均值。局部曲率的计算方法需要 2 阶多项式（其中二阶导数用于计算曲率）。多项式的一般方程式如下：该方程式的期望值为：通过以下方程式将残差 (yi- &ycirc i) 平方和最小化：其中 n 为第一个数据点。这些方程式进一步简化为：然后，我们可以使用矩阵行列式或简单替代法求解系数的这些方程式，然后计算曲率。收集应力数据对于精确应力测量，使用针对应力配置的通用载台或应力载台非常重要。应力载台具有三个用于支撑样品的支撑销钉以及两个或三个用于辅助定位晶圆的定位销（有缺口的晶圆使用两个定位销，有平边的晶圆使用三个定位销）。需要注意的是，支撑销钉和定位销的位置需要根据样品大小进行调整。支撑销钉将样品保持在适中位置，通过均匀分布样品重量，防止 (a) 载台形状和 (b) 重力对晶圆形状产生影响。定位销确保样品被放置于一个可复现的位置，从而提高准确性、重复性和安全性。图 1 显示了用于 8 英寸（200 毫米）晶圆的应力定位载台。图：用于应力测量的通用载台，带有三个定位销（在载台外缘）和三个支撑销钉（在载台中部）。定位销和支撑销钉的位置可调整，以适应不同的晶圆尺寸。轮廓仪使用金刚石探针接触样品以收集形貌数据，沉积前后的数据收集采用相同的测试配方，以确保收集的数据具有相同的材料特性和数据分辨率。样品本征特性对于某些光学分析技术而言可能是个问题，而探针式轮廓仪的直接测量技术可以测量任何样品，不受样品特性的影响。应力测试配方的建立优化了数据采集，其关键参数包括扫描长度、探针施力、扫描速率、采样率和纵向量程。在应力测试配方中，用户还可以选择计算应力所用的算法工具。多项式拟合算法提供了最佳测量性，但也可以使用 13 点最小二乘拟合法来增强与先前应力测量技术的匹配度。图：用于应力测量的通用载台上的 200 毫米晶片。载台外围可以看到两个定位销，晶圆放置于三个支撑销钉（图中未显示）的顶部。建议的测量参数包括：-- 探针针尖半径 ≥ 2μm；-- 扫描长度应为晶圆总直径的 80%，扫描应通过晶圆中心；-- 探针施力为 2mg；-- 扫描速率为 1-5mm/s -- 采样率为 200Hz；-- 针尖纵向量程取决于晶片的翘曲度。如果实现不知道翘曲度，请从最大的纵向量程开始测量，以适应较大的翘曲度。如果已知翘曲度跨越的针尖纵向运动范围较小，则使用较小的纵向量程。应力测量准确性保障Tencor 和 HRP 探针式轮廓仪采用光学平晶，以确保载台在水平面无起伏地横向移动。为确保轮廓仪针尖在曲面上运动的准确性，可测试已知曲率半径的镜面，如下图所示。下表列出了与扫描长度函数相关的平整度规格，以及翘曲度和应力重复性。表：扫描平整度和重复性规格*扫描平整度和翘曲度重复性基于 15 次重复次数、2mm/s 扫描速度、2mg 力、200Hz、最大针尖纵向范围、在100mm 镜面上的 80mm 扫描长度和 在150mm 晶圆上的 120mm 扫描长度。图：标定半径为 20.13 ± 0.5m 的镜面测量结果。应力测量分辨率应力分辨率取决于三个参数：轮廓仪的纵向范围、衬底的弹性特性以及衬底和薄膜的厚度。对于 Tencor P 系列，针尖纵向范围取决于使用的扫描头（范围为 6.5μm-1000μm）。而 HRP 的纵向在 3.25μm 与 327μm 之间可变。无论选择哪个范围，垂直分辨率都是亚埃级。衬底的双轴弹性模量因所用衬底而异。通常该值在 1 x 1011Pa 与 5 x 1011Pa 之间变化。最后，薄膜和衬底厚度对于确定应力分辨率来说非常重要。衬底厚度的典型值约为数百微米，而薄膜厚度通常在 100&angst 与 2μm 之间，当然也可能有更厚的薄膜。下表列出了可以测得的应力值示例。表：一系列衬底的测定应力结论HRP 系列和 Tencor P 系列轮廓仪可提供有效的薄膜应力监控和测量方法。由于过高应力可能会导致半导体器件失灵，因此应力监控至关重要。轮廓仪使用接触式量测方法，让探针针尖持续接触样品表面进行扫描，无需拼接即可进行大范围扫描，可确保数据准确性和重复性。这种直接测量不受样品材料和光学特性的影响，得到的结果具有亚埃级的垂直分辨率。应力配方中配有两种不同算法来分析数据：13 点最小二乘拟合和高阶多项式拟合。根据薄膜沉积前后曲率半径的变化，使用 Stoney 方程式提供准确、可重复的薄膜应力测量结果。参考文献1. “Material Science of Thin Films”, Chapter 12, p 711-712, Milton Ohring, 2nd Ed., 2002.2. “Tencor P-11 Long Scan Profiler Operations”, KLA, 1996, section 11.3. Wafer Stress Application Option, Ch. 14.

近期，深圳市中图仪器股份有限公司（以下简称“中图仪器”）在尺寸精密测量领域再次展现其创新实力，连续发布了一系列新产品，包括Nano Step系列台阶仪、VT-X100共聚焦测量头、SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪以及CEM3000系列台式扫描电镜。这一系列新品的推出，不仅丰富了中图仪器的产品线，更为广大用户提供了更加精准、高效的测量解决方案。台阶仪Nano Step系列台阶仪 是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。该新品采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率；同时，集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。Nano Step系列台阶仪具备极强的应用场景适应性，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。共聚焦测量头VT-X100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头，基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成，主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。复合型光学3D表面轮廓仪SuperView WT3000复合型光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身，能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，可使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测。该新品可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。无论是超光滑还是粗糙、低反射率还是高反射率的物体表面，该新品都能轻松应对，能够精确测量从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等关键参数，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。台式扫描电镜 CEM3000系列台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备，可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。该系列电镜搭载卓越的电子光学系统，拥有优于4nm的空间分辨率，保证了高放大倍数下的清晰成像，能够满足纳米尺度的形貌观测需求。其用户友好性同样出色，无论是通过直观的操作界面还是智能化的自动程序，都能让用户轻松上手，一键获取理想图像，极大简化了操作流程。CEM3000系列涵盖CEM3000A（大样品仓型）和CEM3000B（抗振型）两款强化机型。CEM3000A在不牺牲整机外观尺寸的情况下，极大拓展了样品仓尺寸，支持大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。CEM3000B则配备有高性能复合减振系统，不仅显著缩短了抽放气时间，还有效隔离了外界振动干扰，保证了高倍数成像时的图像质量。此外，该系列电镜允许用户根据需求加装各类探头和附件，极大地扩展了其应用领域，使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域具备广泛应用潜力。2024年以来，中图仪器在几何量精密测量领域取得了显著进展，先后发布了多款新品，其中包括WD4000系列无图晶圆几何量测系统、Mizar Silver三坐标测量机，致力于为高端制造业提供全尺寸链精密测量仪器及设备。

KLA探针式轮廓仪的过去，现在，与未来。KLA Instruments&trade 探针式轮廓仪（也称台阶仪）提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性，满足客户的研发和生产要求。目前，KLA Instruments&trade 台阶仪包括专为研发助力的Alpha-Step® 系列D-500/D600桌面式台阶仪，工厂生产用Tencor® P-系列P-7，P-17，P-17 OF量产型台阶仪，还有自动化产线上的 HRP® 系列P-170和HRP-260全自动台阶仪。自1977年KLA首款商用探针式轮廓仪问世，经过四十多年的不断探索和技术创新，KLA取得了一个又一个突破，不断稳固自身在行业中的领导地位。1977Alpha-Step® 100 是Tencor 推出的首款台阶仪产品。其在台阶高度测量的准确性和重复性方面表现优异。凭借价格实惠、外形小巧和功能强大，很快就成为大多数半导体制造厂或晶圆厂重要的工具。1983Alpha-Step 200 发布，扫描速度比竞品快 2 倍，配备 CRT 显示器，能够自动测量、调平和计算。1987Alpha-Step 250 问世，灵敏度增强至 1 &angst ，增加了隔声外壳。1988Tencor P系列的P-1探针式轮廓仪实现了单次长度 200mm 扫描，且无需任何拼接。P-1 轮廓仪采用革 命性的全新设计，在扫描平台、光学和传感器技术方面进行了行业创新，提供无可匹敌的稳定性、灵敏度和重复性。该系统具有超平面扫描平台，能够单次扫描实现高达 200mm 的高分辨率，确定表面粗糙度、波纹度和薄膜应力特征。新平台也是 3D 扫描平台，增加了第三维度来表现表面形貌。该系统的特色是采用顶视光学系统来提供清晰的样品视图，不受传统倾斜侧视的扭曲影响。此外，该系统的传感器技术采用业界先进的线性可变差分电容器 (LVDC)，从而使电子分辨率达到亚埃级，并且转动惯量小，可实现低作用力控制并降低对噪声的敏感性。1991Tencor P2H 支持自动晶圆和磁盘机械手臂， 减少接触样品带来的污染。同年的Tencor P2 采用开放式框架，支持尺寸达 430mm x 430mm 的样品，同时Tencor FP2可扫描尺寸达 630mm x 630mm 的样品，用于平板行业。1994Tencor P-20 全自动探针式轮廓仪发布，增加了图案识别和 SECS/GEM，并且与现有的机械手臂相结合，实现了全自动化。Alpha-Step 500增加垂直量程至 1mm，并配备了全新高倍率光学器件和彩色摄像头。1996Tencor P-10、 P-11、 P-12 和 P-22 相继发布，产品采用最新的低作用力控制技术，延长垂直量程至1000µ m并增强环境隔离功能。Microhead II 增强线性可变差分电容器 (LVDC)，并增加低至 0.05mg的程式控制低作用力。它增加了通过动态调整枢轴上的作用力，确保在任何台阶高度下，样品表面都能够施加相同的力。此外，新传感器可支持高达 1000µ m 台阶高度。P-12 新增隔声罩和主动隔离台，不仅增强对环境噪声的隔离，还能够测量超光滑硬盘的粗糙度。P-22 在现有 P-20 机械手臂的基础上新增一个隔离台，实现自动晶圆传送、图案识别和 SECS/GEM 等全自动测量，从而为半导体行业提供整体解决方案， 提高其生产效率。1997Tencor P-30 将开放式晶圆盒机械臂替换为 SMIF 机械臂和系统的内置微环境， 以支持半导体行业新的洁净度要求。HRP-220 是在线表面量测的一大突破，配备了 P-22 的长扫描平台以及高分辨率压电平台，DuraSharp® 探针可实现精细的特征测量和分析。同年，Tencor Instruments 和 KLA Instruments 两家公司合并成立了 KLA-Tencor, Inc.，成为世界领先的半导体制造和相关行业的良率管理及工艺控制解决方案供应商之一。1998HRP-320 在HRP-220 的测量能力基础上扩展到 300mm 晶圆，是能够单次扫描测量 300mm 晶圆全直径的系统。1999HRP-240 和 HRP-340 在使用的便利性、产出和精度上有了重大改进。新增压电挠性平台设计，以尽量减少平面外的运动，扫描平面度 2x 在保持 90µ m x 90µ m 扫描区域和 1nm 分辨率的同时，比以前的设计有了很大的进步。该系统增加在线高倍和低倍光学器件，并利用距离传感器实现无接触自动聚焦，从而可允许快速、精确对焦，并通过减少探针的表面接触次数来延长其使用寿命。长扫描平台通过增加线性编码器来提高样品定位的准确性，而更细螺距的丝杠可实现更高的分辨率。通过增加数字信号处理器来管理所有平台控制，将计算机处理能力留给用户接口，从而改善系统的整体性能。新增浸渍模式（Dipping Mode&trade ）能够测量高深宽比的蚀刻深度特征。2001Tencor P-15 结合了 P-10 和 P-11 系统的功能，技术更加成熟，为单一平台上的研发和生产提供支持。2003Alpha-Step IQ 在 Alpha-Step 500 基础上新增 USB 电子器件和全新设计的软件，可以显著提供增强的扫描排序和数据分析能力。2007Tencor P-16+ 在-15 的基础上进行了改进：新的 USB 电子器件、更强大的软件以及 Apex 高级数据分析和报告撰写软件功能。2008Tencor P-6 是一台高性能探针式轮廓仪，在较小的平台上沿用了 P-16+ LVDC 传感器技术和扫描平台技术。HRP-250 和 HRP-350 仪器采用噪音更低的 LVDC 传感器技术、新的隔离系统（仅 HRP-350）和第二代 DuraSharp II 探针。可实现更小特征的测量和接近 2 倍的吞吐量。2009Ambios Technology 加入KLA-Tencor并发布 XP100 和 XP200，采用光学杠杆传感器技术，垂直量程1200µ m 并支持200mm晶圆样品。2010KLA-Tencor 发布了基于 Ambios Technology 平台的 Alpha-Step D-100 和 D-120，采用增强光学杠杆传感器技术， 显著改善了测量的稳定性。2013Tencor P-7 和 P-17 配备了新高分辨率彩色相机，并增强了对翘曲度和应力的测量。2014Alpha-Step D-500 和 D-600 仪器采用了与 P系列相同的高分辨率相机。增加了侧视图的梯形校正功能，并且进一步改善了测量的重复性。2016Tencor P-170结合了 P-17 与 HRP 机械手臂，是一款新的全自动探针式轮廓仪。同年，HRP系列的新机型HRP-260 也随后发布。新仪器在自动化晶圆处理方面有了重大的改进。增加了几何图案识别，提高了倾斜校正算法的准确性，并采用新方法进行自动灯光控制。机械手臂包含新电子器件，可支持碳化硅 (SiC) 和蓝宝石等透明样品以及硅、砷化镓 (GaAs) 和 AlTiC 等不透明样品的预对准。也支持卡盒内wafer探测和读取wafer ID.2019KLA Instruments&trade 全系列探针式轮廓仪Alpha-Step® 、Tencor® P- 和 HRP® ，移植软件平台至最新的Windows 10 OS。同时，新的测量和数据分析功能发布在新的软件平台中。2023KLA将继续探索的脚步，而探针式轮廓仪全线产品也将持续发展，为满足客户的需求不断努力创新。Keep Looking Ahead！

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智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2023-10-18 14:00 预算金额：155.00万元 采购单位：智能制造龙城实验室 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体；3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268

公司与上海理工大学分析实验室最近联合开发出在国内同行业中具有领先水平的白光轮廓仪。该轮廓仪属高精度产品，能对各种金属或非金属等物质（物体）的表面进行精确的轮廓测量，尤其可对集成电路及硅片进行精确测量，其分辨率可以达到纳米级程度。 白光轮廓仪的开发成功，对金属加工及开发金属新材料，以及对检测集成电路和硅片的质量等，均具有重要的意义。精科公司在与上海理工大学共同开发的同时，还自主创新开发出白光轮廓仪配套专用软件，更好地保护了企业的自主知识产权。 白光轮廓仪可广泛应用于工业、高等院校、科研等领域。

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2022-06-21 09:30 预算金额：350.00万元 采购单位：中国科学院空天信息创新研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目(不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513

一、项目基本情况项目编号：GZGK22P197A0608Z项目名称：广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：1,100,000.00元采购需求：合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额：1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求：1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人， 投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明） 副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的， 提供相应证明材料。3）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明） 。4）履行合同所必需的设备和专业技术能力：按投标（响应）文件格式填报设备及专业技术能力情况。5）参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录：参照投标（报价）函相关承诺格式内容。 重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定）2.落实政府采购政策需满足的资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以资格审查人员于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（或采购包） 投标（响应）。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商， 不得再参与本项目投标（响应）。 投标（报价） 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间： 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ，每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ，下午 12:00:00 至 23:59:59 （北京时间,法定节假日除外）地点：广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式：在线获取售价： 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 （北京时间）递交文件地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）开标地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标，请在投标前详细阅读供应商操作手册，手册获取网址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题，可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标，需要提前办理CA和电子签章，办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南，指南获取地址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金，供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/)，申请办理投标（响应）担保函、保险（保证）保函。本项目支持电子保函，可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：广东省科学院半导体研究所地 址：广州市天河区长兴路363号联系方式：020-610864202.采购代理机构信息名 称：广州市国科招标代理有限公司地 址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）联系方式：020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人：钟先生、苏先生电 话：020-38364802、020-87687651

html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 详细信息 浙江国际招投标有限公司关于浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目的公开招标公告 浙江省-杭州市-上城区 状态：公告 更新时间： 2024-09-08 招标文件: 附件1 项目概况 浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目招标项目的潜在投标人应在政府采购云平台（https://www.zcygov.cn/）获取（下载）招标文件，并于2024年09月29日 09:00（北京时间）前递交（上传）投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZJ-2470205-24 项目名称：浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 预算金额（元）：1200000 最高限价（元）：1200000 采购需求： 标项名称：浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 数量：1 预算金额（元）：1200000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：本项目为浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目，具体内容和要求详见采购文件第三部分。 备注： 合同履约期限：标项 1，详见采购文件第三部分。 本项目（是）接受联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：标项1：无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：/至2024年09月29日 ，每天上午00:00至12:00 ，下午12:00至23:59（北京时间，线上获取法定节假日均可，线下获取文件法定节假日除外） 地点（网址）：政府采购云平台（https://www.zcygov.cn/） 方式：供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文件） 售价（元）：0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2024年09月29日 09:00（北京时间） 投标地点（网址）：线上（请登录政采云平台上传投标文件） 开标时间：2024年09月29日 09:00 开标地点（网址）：线上（请登录政采云投标客户端开标大厅） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.《浙江省财政厅关于进一步发挥政府采购政策功能全力推动经济稳进提质的通知》（浙财采监（2022）3号）、《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》（浙财采监（2021）22号））、《浙江省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度助力扎实稳住经济的通知》（浙财采监（2022）8号）已分别于2022年1月29日、2022年2月1日和2022年7月1日开始实施，此前有关规定与上述文件内容不一致的，按上述文件要求执行。 2.根据《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》（浙财采监（2021）22号）文件关于“健全行政裁决机制”要求，鼓励供应商在线提起询问，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-询问列表:鼓励供应商在线提起质疑，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-质疑列表。质疑供应商对在线质疑答复不满意的，可在线提起投诉，路径为：浙江政府服务网-政府采购投诉处理-在线办理。 3.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日（公告期限届满后获取采购文件的，以公告期限届满之日为准）起7个工作日内，对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑，对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。 4.其他事项：（1）依据《政府采购质疑和投诉办法》第十条第二款规定，本项目要求投标人在法定质疑期内一次性提出针对同一采购程序环节的质疑。投标人在法定质疑期内多次提出针对同一采购程序环节的质疑的，采购人或采购代理机构只受理该投标人的第一次有效质疑。 （2）需要落实的政府采购政策：包括节约资源、保护环境、支持创新、促进中小企业发展等，详见采购文件的前附表第32条。 （3）电子招投标的说明：①电子招投标：本项目以数据电文形式，依托“政府采购云平台（www.zcygov.cn）”进行招投标活动，投标时不接受纸质投标文件；②投标准备：注册账号－－点击“商家入驻”，进行政府采购供应商资料填写；申领CA数字证书---申领流程详见“浙江政府采购网-下载专区－电子交易客户端-CA驱动和申领流程”；安装“政采云电子交易客户端”----前往“浙江政府采购网-下载专区－电子交易客户端”进行下载并安装；③采购文件的获取：使用账号登录或者使用CA登录政采云平台；进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，获取采购文件；④投标文件的制作：在“政采云电子交易客户端”中完成“填写基本信息”、“导入投标文件”、“标书关联”、“标书检查”、“电子签名”、“生成电子标书”等操作；⑤采购人、采购代理机构将依托政采云平台完成本项目的电子交易活动，平台不接受未按上述方式获取采购文件的供应商进行投标活动； ⑥对未按上述方式获取采购文件的供应商对该文件提出的质疑，采购人或采购代理机构将依据《政府采购质疑和投诉办法》第十一条规定不予受理；⑦投标时不提供采购文件纸质版；⑧投标文件的传输递交：投标人在投标截止时间前将加密的投标文件上传至政府采购云平台，还可以在投标截止时间前直接提交或者以快递方式递交备份投标文件1份。备份投标文件的制作、存储、密封详见采购文件前附表第17点—“备份投标文件的制作、存储、密封”；⑨投标文件的解密：投标人按照平台提示和采购文件的规定在半小时内完成在线解密。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件无法按时解密，投标供应商递交了备份投标文件的，以备份投标文件为依据，否则按照《浙江省政府采购项目电子交易管理暂行办法》第二十四条规定视为投标（响应）文件撤回。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件已按时解密的，备份投标文件自动失效。投标人仅提交备份投标文件，没有在电子交易平台传输递交投标文件的，投标无效；⑩具体操作指南：详见政采云平台“服务中心－帮助文档－项目采购－操作流程－电子招投标－政府采购项目电子交易管理操作指南－供应商”。 （4）本项目资格审查方式为资格后审。 （5）采购文件公告期限为本公告发布之日起5个工作日。 七、对本次采购提出询问、质疑、投诉，请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称：浙江省医疗器械检验研究院 地 址：杭州市钱塘区下沙25号大街379号 传 真： 项目联系人（询问）：何老师 项目联系方式（询问）：0571-87896539 质疑联系人：熊老师 质疑联系方式：0571-86002818 2.采购代理机构信息 名 称：浙江国际招投标有限公司 地 址：浙江省杭州市西湖区文三路90号东部软件园1号楼3楼 传 真：0571-88473430 项目联系人（询问）：周群峰、葛珍妮 项目联系方式（询问）：0571-81061804、0571-88081687 质疑联系人：曹涛涛 质疑联系方式：0571-81061821 3.同级政府采购监督管理部门 名 称：浙江省财政厅政府采购监管处、浙江省政府采购行政裁决服务中心（杭州） 地 址：杭州市上城区四季青街道新业路市民之家G03办公室（快递仅限ems或顺丰） 传 真：/ 联 系 人：朱女士、王女士 监督投诉电话：0571-85252453 政策咨询：何一平、冯华，0571-87058424、87055741 预算金额未达100万元的采购项目，由采购人处理采购争议。 潜在供应商 附件信息： 1-公开招标文件（光学轮廓仪0205-24）发布.doc 578.3K × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2024-09-29 09:00 预算金额：120.00万元 采购单位：浙江省医疗器械检验研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：浙江国际招投标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 浙江国际招投标有限公司关于浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目的公开招标公告 浙江省-杭州市-上城区 状态：公告 更新时间：2024-09-08 招标文件: 附件1 项目概况 浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目招标项目的潜在投标人应在政府采购云平台（https://www.zcygov.cn/）获取（下载）招标文件，并于2024年09月29日 09:00（北京时间）前递交（上传）投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZJ-2470205-24 项目名称：浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 预算金额（元）：1200000 最高限价（元）：1200000 采购需求： 标项名称：浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目 数量：1 预算金额（元）：1200000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：本项目为浙江省医疗器械检验研究院光学轮廓仪采购项目，具体内容和要求详见采购文件第三部分。 备注： 合同履约期限：标项 1，详见采购文件第三部分。 本项目（是）接受联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：标项1：无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：/至2024年09月29日 ，每天上午00:00至12:00 ，下午12:00至23:59（北京时间，线上获取法定节假日均可，线下获取文件法定节假日除外） 地点（网址）：政府采购云平台（https://www.zcygov.cn/） 方式：供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文件） 售价（元）：0 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2024年09月29日 09:00（北京时间） 投标地点（网址）：线上（请登录政采云平台上传投标文件） 开标时间：2024年09月29日 09:00 开标地点（网址）：线上（请登录政采云投标客户端开标大厅） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.《浙江省财政厅关于进一步发挥政府采购政策功能全力推动经济稳进提质的通知》（浙财采监（2022）3号）、《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》（浙财采监（2021）22号））、《浙江省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度助力扎实稳住经济的通知》（浙财采监（2022）8号）已分别于2022年1月29日、2022年2月1日和2022年7月1日开始实施，此前有关规定与上述文件内容不一致的，按上述文件要求执行。 2.根据《浙江省财政厅关于进一步促进政府采购公平竞争打造最优营商环境的通知》（浙财采监（2021）22号）文件关于“健全行政裁决机制”要求，鼓励供应商在线提起询问，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-询问列表:鼓励供应商在线提起质疑，路径为：政采云-项目采购-询问质疑投诉-质疑列表。质疑供应商对在线质疑答复不满意的，可在线提起投诉，路径为：浙江政府服务网-政府采购投诉处理-在线办理。 3.供应商认为采购文件使自己的权益受到损害的，可以自获取采购文件之日或者采购公告期限届满之日（公告期限届满后获取采购文件的，以公告期限届满之日为准）起7个工作日内，对采购文件需求的以书面形式向采购人提出质疑，对其他内容的以书面形式向采购人和采购代理机构提出质疑。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意或者采购人、采购代理机构未在规定的时间内作出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向同级政府采购监督管理部门投诉。质疑函范本、投诉书范本请到浙江政府采购网下载专区下载。 4.其他事项：（1）依据《政府采购质疑和投诉办法》第十条第二款规定，本项目要求投标人在法定质疑期内一次性提出针对同一采购程序环节的质疑。投标人在法定质疑期内多次提出针对同一采购程序环节的质疑的，采购人或采购代理机构只受理该投标人的第一次有效质疑。 （2）需要落实的政府采购政策：包括节约资源、保护环境、支持创新、促进中小企业发展等，详见采购文件的前附表第32条。 （3）电子招投标的说明：①电子招投标：本项目以数据电文形式，依托“政府采购云平台（www.zcygov.cn）”进行招投标活动，投标时不接受纸质投标文件；②投标准备：注册账号－－点击“商家入驻”，进行政府采购供应商资料填写；申领CA数字证书---申领流程详见“浙江政府采购网-下载专区－电子交易客户端-CA驱动和申领流程”；安装“政采云电子交易客户端”----前往“浙江政府采购网-下载专区－电子交易客户端”进行下载并安装；③采购文件的获取：使用账号登录或者使用CA登录政采云平台；进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，获取采购文件；④投标文件的制作：在“政采云电子交易客户端”中完成“填写基本信息”、“导入投标文件”、“标书关联”、“标书检查”、“电子签名”、“生成电子标书”等操作；⑤采购人、采购代理机构将依托政采云平台完成本项目的电子交易活动，平台不接受未按上述方式获取采购文件的供应商进行投标活动； ⑥对未按上述方式获取采购文件的供应商对该文件提出的质疑，采购人或采购代理机构将依据《政府采购质疑和投诉办法》第十一条规定不予受理；⑦投标时不提供采购文件纸质版；⑧投标文件的传输递交：投标人在投标截止时间前将加密的投标文件上传至政府采购云平台，还可以在投标截止时间前直接提交或者以快递方式递交备份投标文件1份。备份投标文件的制作、存储、密封详见采购文件前附表第17点—“备份投标文件的制作、存储、密封”；⑨投标文件的解密：投标人按照平台提示和采购文件的规定在半小时内完成在线解密。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件无法按时解密，投标供应商递交了备份投标文件的，以备份投标文件为依据，否则按照《浙江省政府采购项目电子交易管理暂行办法》第二十四条规定视为投标（响应）文件撤回。通过“政府采购云平台”上传递交的投标文件已按时解密的，备份投标文件自动失效。投标人仅提交备份投标文件，没有在电子交易平台传输递交投标文件的，投标无效；⑩具体操作指南：详见政采云平台“服务中心－帮助文档－项目采购－操作流程－电子招投标－政府采购项目电子交易管理操作指南－供应商”。 （4）本项目资格审查方式为资格后审。 （5）采购文件公告期限为本公告发布之日起5个工作日。 七、对本次采购提出询问、质疑、投诉，请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称：浙江省医疗器械检验研究院 地 址：杭州市钱塘区下沙25号大街379号 传 真： 项目联系人（询问）：何老师 项目联系方式（询问）：0571-87896539 质疑联系人：熊老师 质疑联系方式：0571-86002818 2.采购代理机构信息 名 称：浙江国际招投标有限公司 地 址：浙江省杭州市西湖区文三路90号东部软件园1号楼3楼 传 真：0571-88473430 项目联系人（询问）：周群峰、葛珍妮 项目联系方式（询问）：0571-81061804、0571-88081687 质疑联系人：曹涛涛 质疑联系方式：0571-81061821 3.同级政府采购监督管理部门 名 称：浙江省财政厅政府采购监管处、浙江省政府采购行政裁决服务中心（杭州） 地 址：杭州市上城区四季青街道新业路市民之家G03办公室（快递仅限ems或顺丰） 传 真：/ 联 系 人：朱女士、王女士 监督投诉电话：0571-85252453 政策咨询：何一平、冯华，0571-87058424、87055741 预算金额未达100万元的采购项目，由采购人处理采购争议。 潜在供应商 附件信息： 1-公开招标文件（光学轮廓仪0205-24）发布.doc 578.3K

自2014年起，国产12寸晶圆的量产问题得到解决，国产晶圆进入到一个飞速发展的时期中。晶圆作为芯片的载体，在当今科技时代起着至关重要的作用，小到遥控器、手机，大到航天领域，例如卫星等都离不开晶圆。那么晶圆的加工工艺是否达到标准决定了成品的优劣。今天笔者就为大家介绍Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆方面的测试应用。Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪（台阶仪）作为Dektak系列第十代产品，经过50多年的更新升级及技术创新，目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备，有着众多的用户群体并得到好评。①台阶高度重现性低于4Å②主流的LVDT传感器技术晶圆在制作电路的流程中，主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合，在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。光刻/沉积：光刻/沉积工艺中台阶高度的测试蚀刻：蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试抛光/研磨：抛光/研磨工艺中粗糙度的测试在以上测试中，台阶仪都能够快速的得到相应数据。

加利福尼亚州圣何塞，2024年 9 月 10 日 —— 布鲁克公司今日宣布推出 Dektak ProTM 探针式轮廓仪，这是行业领先的 Dektak® 产品线中的下一代轮廓仪。新的台式系统融合了超过 55年的创新成果，为半导体应用提供了高达200 毫米的全尺寸样品测量区域，并通过改善用户体验和测量精度缩短了获得结果的时间。Dektak Pro 的进步巩固了该品牌作为世界上最先进的探针式轮廓仪的地位，使其能够满足众多工业和研究市场当前和未来的研发、工艺开发以及QA/QC 需求。 “我们与 Dektak 工具有着悠久的历史。它们一直为我们的 MEMS 晶圆厂提供自动化和可靠的台阶轮廓测量，我们对此深信不疑，” 泰国微电子中心（TMEC）晶圆厂经理 Nithi Atthi 博士说，“新系统的技术进步有望提供更多的测量能力，以满足我们对 MEMS 计量要求日益严格的高深宽比微结构。” “Dektak 这个名字已经成为探针式轮廓测量的代名词，这是有充分理由的。每年都有数百台 Dektak 系统在全球安装，证明了业界对这项技术的持久需求。” 布鲁克摩擦学、探针和光学计量业务高级总监兼总经理 Samuel Lesko 补充道，“通过 Dektak Pro，我们在测量能力和操作简便性方面迈出了下一步，同时保持了 Dektak 众所周知的价值和可靠性，我非常期待看到我们的客户在未来几年中使用该系统的多种方式。”关于 Dektak Pro Dektak 探针式轮廓仪广泛应用于微电子、半导体、显示、太阳能、医疗和材料科学市场，是全球数百个生产、研究和故障分析中心必不可少的精密计量仪器。Dektak 系统用于二维轮廓测量和三维表面轮廓分析应用，可测量应力、纳米薄膜厚度和台阶高度，重复性优于 4 埃。新型 Dektak Pro 引入了台阶高度和应力测量升级，扩大了其应用范围。简化的自动台阶检测程序只需要更少的用户定义参数，以进行简洁分析，减少用户操作引起的变化。二维应力测量分析现在比以往任何时候都更可定制，允许用户定义区域并通过参数调整提高精度。新的自动定心和晶圆面成像功能还使晶圆翘曲的快速表征和三维应力分析成为可能。本文转载自布鲁克纳米表面仪器部公众号，原文链接https://mp.weixin.qq.com/s/41S0RkbhgeyFubbv1566kQ

中国仪器仪表的品牌展会－第18届多国仪器仪表学术会议暨展览会，于9月18至21日在上海光大会展中心开幕。我公司和国内外众多知名公司强势亮相于以“公共安全与科学仪器”为主题的比届展会，并分别参加了相关学术会议。 　　 　　展会期间，我公司产品UV765型紫外可见分光光度计和WGL型光电轮廓仪在2007年度“中国仪器仪表学会科学技术奖”颁奖仪式上荣获“最佳产品奖”。我公司总经理陈国余在仪式上代表获奖企业发言，表示要致力于发展科学仪器，为提高人们生活质量再作贡献。期间，成立了“中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会”，旨在推动新时期大力发展先进制造业之一－－科学仪器产业。陈国余总经理被聘为该委员会副主任委员。 　　作为国内唯一的能展示系列分析、天平、电化学、物理光学等仪器的参展商，我公司还重点参加了“2007年电化学分析仪器学术报告会”、“食品药品安全技术论坛”，并展出了最新的产品，包括UV765型紫外可见分光光度计的专题演示。展会中，中国仪器仪表学会领导专门到我公司展台参观、指导，并鼓励“上海精科”勇于竞争，勇于创新，更上一层楼。

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河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目-公开招标公告 河南省-郑州市-金水区 状态：公告 更新时间： 2024-08-21 项目概况 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目招标项目的潜在投标人应在河南省公共资源交易中心网站获取招标文件，并于2024年09月12日09时00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1、项目编号：豫财招标采购-2024-902 2、项目名称：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目 3、采购方式：公开招标 4、预算金额：27,000,000.00元 最高限价：27000000元 序号 包号 包名称 包预算（元） 包最高限价（元） 1豫政采(2)20241346-1 包1 12470000 12470000 2 豫政采(2)20241346-2 包2 14530000 14530000 5、采购需求（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 5.1采购货物名称及数量： 包1：双面对准紫外光刻系统1套、感应耦合等离子体深硅刻蚀机1套、离子束刻蚀机1套。 包2：反应离子刻蚀机1套、等离子体增强化学气相沉积系统1套、高真空电子束共沉积系统1套、半自动匀胶显影系统1套、湿法清洗系统1套、晶圆检查显微镜系统2套、晶圆划切系统1套、探针式轮廓仪1套。 5.2标包划分：本项目共划分2个标包； 5.3采购货物技术性能指标：具体参数详见招标文件第五章“采购需求” 5.4核心产品： 包1：双面对准紫外光刻系统 包2：等离子体增强化学气相沉积系统 5.5采购范围：采购货物的供货、运输、保险、装卸、安装、检测、调试、试运行、验收交付、培训、技术支持、售后保修及相关伴随服务； 5.6资金来源：财政资金，已落实； 5.7交货期： 包1：合同生效后15个月内完成供货、安装、调试完毕 包2：合同生效后12个月内完成供货、安装、调试完毕 5.8交货地点：采购人指定地点； 5.9质量要求：符合国家现行验收规范和标准，满足采购人的相关要求； 6、合同履行期限：自合同签订至质保期结束 7、本项目是否接受联合体投标：否 8、是否接受进口产品：是 9、是否专门面向中小企业：否 二、申请人资格要求： 1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2、落实政府采购政策满足的资格要求： 无 3、本项目的特定资格要求 无 三、获取招标文件 1.时间：2024年08月22日 至 2024年08月28日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外。） 2.地点：河南省公共资源交易中心网站 3.方式：登录《河南省公共资源交易中心-市场主体》凭CA数字证书下载投标项目所含全部资料 4.售价：0元 四、投标截止时间及地点 1.时间：2024年09月12日09时00分（北京时间） 2.地点：通过《河南省公共资源交易中心-市场主体》电子交易平台上传 五、开标时间及地点 1.时间：2024年09月12日09时00分（北京时间） 2.地点：河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-6 六、发布公告的媒介及招标公告期限 本次招标公告在《河南省政府采购网》、《中国政府采购网》、《河南省公共资源交易中心网》上发布， 招标公告期限为五个工作日 。 七、其他补充事宜 1.根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[2016]125号) 和豫财购【2016】15号的规定，采购人或采购代理机构应当在供应商递交投标文件或响应文件时查询供应商信用记录。查询时将查询网页、内容进行截图或拍照，以作证据留存，截图或拍照内容要完整清晰。对列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商，采购人、采购代理机构应当拒绝其参加政府采购活动。查询渠道：失信被执行人（查询网站“全国法院失信被执行人名单信息公布与查询”）重大税收违法失信主体（查询网站“信用中国”）、政府采购严重违法失信行为记录名单（查询网址“中国政府采购网”）。 2.本项目执行促进中小型企业发展政策（监狱企业、残疾人福利性企业视同小微企业）、强制采购节能产品、优先采购节能环保产品等政府采购政策。 3.招标代理费：按照计价格[2002]1980号、发改价格[2003]857号和发改价格[2011]534号文件的取费标准的60%由中标人以现金或转账的形式向采购代理机构缴纳。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1. 采购人信息 名称：河南省科学院 地址：郑州市郑东新区崇实里228号 联系人：何小波 联系方式：0371-65753601 2.采购代理机构信息（如有） 名称：信人建设管理有限公司 地址：河南省郑州市金水区文化路9号永和国际1702室 联系人：郭朋飞 赵琳杰 联系方式：18638282043 3.项目联系方式 项目联系人：郭朋飞 赵琳杰 联系方式：18638282043 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 $('.clickModel').click(function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：轮廓仪,物理气相沉积,原子层沉积 开标时间：2024-09-12 09:00 预算金额：2700.00万元 采购单位：河南省科学院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：信人建设管理有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目-公开招标公告 河南省-郑州市-金水区 状态：公告 更新时间： 2024-08-21 项目概况 河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目招标项目的潜在投标人应在河南省公共资源交易中心网站获取招标文件，并于2024年09月12日09时00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1、项目编号：豫财招标采购-2024-902 2、项目名称：河南省科学院中原量子谷仪器共享中心七期（第一批）建设项目 3、采购方式：公开招标 4、预算金额：27,000,000.00元 最高限价：27000000元 序号 包号 包名称 包预算（元） 包最高限价（元） 1 豫政采(2)20241346-1 包1 12470000 12470000 2 豫政采(2)20241346-2 包2 14530000 14530000 5、采购需求（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 5.1采购货物名称及数量： 包1：双面对准紫外光刻系统1套、感应耦合等离子体深硅刻蚀机1套、离子束刻蚀机1套。 包2：反应离子刻蚀机1套、等离子体增强化学气相沉积系统1套、高真空电子束共沉积系统1套、半自动匀胶显影系统1套、湿法清洗系统1套、晶圆检查显微镜系统2套、晶圆划切系统1套、探针式轮廓仪1套。 5.2标包划分：本项目共划分2个标包； 5.3采购货物技术性能指标：具体参数详见招标文件第五章“采购需求” 5.4核心产品： 包1：双面对准紫外光刻系统 包2：等离子体增强化学气相沉积系统 5.5采购范围：采购货物的供货、运输、保险、装卸、安装、检测、调试、试运行、验收交付、培训、技术支持、售后保修及相关伴随服务； 5.6资金来源：财政资金，已落实； 5.7交货期： 包1：合同生效后15个月内完成供货、安装、调试完毕 包2：合同生效后12个月内完成供货、安装、调试完毕 5.8交货地点：采购人指定地点； 5.9质量要求：符合国家现行验收规范和标准，满足采购人的相关要求； 6、合同履行期限：自合同签订至质保期结束 7、本项目是否接受联合体投标：否 8、是否接受进口产品：是 9、是否专门面向中小企业：否 二、申请人资格要求： 1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2、落实政府采购政策满足的资格要求： 无 3、本项目的特定资格要求 无 三、获取招标文件 1.时间：2024年08月22日 至 2024年08月28日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外。） 2.地点：河南省公共资源交易中心网站 3.方式：登录《河南省公共资源交易中心-市场主体》凭CA数字证书下载投标项目所含全部资料 4.售价：0元 四、投标截止时间及地点 1.时间：2024年09月12日09时00分（北京时间） 2.地点：通过《河南省公共资源交易中心-市场主体》电子交易平台上传 五、开标时间及地点 1.时间：2024年09月12日09时00分（北京时间） 2.地点：河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-6 六、发布公告的媒介及招标公告期限 本次招标公告在《河南省政府采购网》、《中国政府采购网》、《河南省公共资源交易中心网》上发布， 招标公告期限为五个工作日 。 七、其他补充事宜 1.根据《关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》(财库[2016]125号) 和豫财购【2016】15号的规定，采购人或采购代理机构应当在供应商递交投标文件或响应文件时查询供应商信用记录。查询时将查询网页、内容进行截图或拍照，以作证据留存，截图或拍照内容要完整清晰。对列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商，采购人、采购代理机构应当拒绝其参加政府采购活动。查询渠道：失信被执行人（查询网站“全国法院失信被执行人名单信息公布与查询”）重大税收违法失信主体（查询网站“信用中国”）、政府采购严重违法失信行为记录名单（查询网址“中国政府采购网”）。 2.本项目执行促进中小型企业发展政策（监狱企业、残疾人福利性企业视同小微企业）、强制采购节能产品、优先采购节能环保产品等政府采购政策。 3.招标代理费：按照计价格[2002]1980号、发改价格[2003]857号和发改价格[2011]534号文件的取费标准的60%由中标人以现金或转账的形式向采购代理机构缴纳。 八、凡对本次招标提出询问，请按照以下方式联系 1. 采购人信息 名称：河南省科学院 地址：郑州市郑东新区崇实里228号 联系人：何小波 联系方式：0371-65753601 2.采购代理机构信息（如有） 名称：信人建设管理有限公司 地址：河南省郑州市金水区文化路9号永和国际1702室 联系人：郭朋飞 赵琳杰 联系方式：18638282043 3.项目联系方式 项目联系人：郭朋飞 赵琳杰 联系方式：18638282043

2023年2月1日，在2023年美国西部光电展览会上，布鲁克公司宣布发布两款新的白光干涉测量(WLI)系统：ContourX-1000和NPFLEX-1000光学轮廓仪。这些落地平台能够更快、自动化地测量表面结构和粗糙度。新产品特有的新的一键式高级查找表面功能，具有自动对焦和自动照明功能，改善了用户体验并缩短获得结果的时间，消除了每次测量前手动注册表面的复杂性。结合自适应测量模式USI和引导式简化的VisionXpress界面，这种独特的功能可以在任何表面上以更高的吞吐量进行无损测量。ContourX-1000具有操作人员友好的自动化测量和分析配方，为半导体和光电加工、先进封装开发和医疗设备制造的大批量生产设施提供最准确和精确的计量。NPFLEX-1000具有大型龙门和旋转头设计，为汽车、医疗和大规模增材制造行业的精密加工QA/QC中大型零件的难定位提供了独特的测量解决方案。“自20世纪80年代以来，我一直在使用布鲁克光学轮廓技术，这些新系统是30多年发展的巅峰。”密歇根计量学创始人兼总裁Don Cohen说到，“通过我们新的WLI解决方案，这些功能得到了进一步提升，特别是考虑到非专业用户在几秒钟内获得高质量结果的可能性，而在普通系统上则需要几分钟。”关于ContourX-1000 3D光学轮廓仪ContourX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面ContourX-1000具有行业聚焦的布鲁克专利的尖端/倾斜头、自校准激光基准、集成模式识别和配方便携性。其通用扫描干涉测量法(USI)自适应测量模式自动确定最佳测量参数，并且引导式简化的VisionXpress界面使分析质量不受用户经验影响。这种独特的硬件和软件组合可以在最短的时间内获得最佳的测量结果，并为研发和制造带来最大的稳定性和工具对工具的匹配能力。关于NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面NPFLEX-1000集成了ContourX-1000的所有易用性优势，具有大尺寸龙门和坚固的桥架结构。NPFLEX-1000系统在物镜、旋转头和超长工作距离物镜下方具有300 mm的空间，可提供样品尺寸的极大灵活性。此外，通过折叠镜选件，可显著扩展高坡度表面通道。这种极端的可用性可在无与伦比的速度下实现，可在10秒内进行快速、自动化的测量和全面的分析，显著提高生产环境的吞吐量。

一、项目基本情况项目编号：JH22-210000-18483项目名称：购置激光全息表面粗糙度轮廓仪包组编号：001预算金额（元）：1,500,000.00最高限价（元）：1,500,000采购需求：查看合同履行期限：合同生效后4个月内到货并安装调试完毕且验收合格（具体以甲乙双方签订的合同为准）需落实的政府采购政策内容：促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚等相关政策等本项目（是/否）接受联合体投标：否二、供应商的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无,本项目允许进口产品投标且采购的设备满足《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第二款内容，故不具备专门面向中小企业采购的条件。3.本项目的特定资格要求：如果投标人所投产品为进口产品，须投标人提供制造商或国内总代理出具的销售授权书或产品销售代理证书。三、政府采购供应商入库须知参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。四、获取招标文件时间：2022年07月11日 08时00分至2022年07月18日 17时00分（北京时间，法定节假日除外）地点：线上获取方式：线上售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年08月02日 13时30分（北京时间）地点：辽宁轩宇工程管理有限公司（沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座801室）六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、质疑与投诉供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。八、其他补充事宜1.投标文件递交方式采用线上递交及现场备份文件递交同时执行并保持一致，参与本项目的供应商须自行办理好CA锁，如因供应商自身原因导致未线上递交投标文件的按照无效投标文件处理。具体操作流程详见辽宁政府采购相关通知。2.关于电子标评审的相关要求详见辽财采函〔2021〕363号“关于完善政府采购电子评审业务流程等有关事宜的通知”。电子文件报送截止时间同递交投标文件截止时间（即开标时间）,解密为30分钟。如供应商未按照规定的时限响应按照无效投标文件处理。3.请供应商自行准备笔记本电脑并下载好对应的CA认证证书带至开标现场进行电子解密（开标现场不提供wifi）。同时供应商须自行准备好备份投标文件于递交投标文件截止时间前递交至代理机构处，如未递交备份文件的按照投标无效处理，供应商仅提交备份文件的而没有进行网上递交的投标文件的，投标无效。关于具体的备份文件的格式、存储、密封要求详见招标文件。九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：辽宁省检验检测认证中心地 址：沈阳市皇姑区崇山西路7号联系方式：024-312662632.采购代理机构信息：名 称：辽宁轩宇工程管理有限公司地 址：沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座8楼联系方式：024-31918388-357邮箱地址：312353927@qq.com开户行：中国光大银行沈阳黄河大街支行账户名称：辽宁轩宇工程管理有限公司账号：364901880000244643.项目联系方式项目联系人：闫冠吉、刘甲峰电 话：024-31918388-357

一、项目基本情况项目编号：SDGP370300000202202000688项目名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目预算金额：本项目总预算为1448500.00元,共分1个包,其中包1包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备:1448500.00元。采购需求：①采购名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目；②采购内容：包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备；③质量要求：所有产品的生产、制造等各项技术标准，应当符合国家标准、各项规范要求和使用许可；④质保期：产品质保期自安装调试完毕并经验收合格之日起不少于24个月。合同履行期限：进口设备在合同签订后60日历天内交货并安装调试完毕；国产设备在合同签订后30日历天内交货并安装调试完毕。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无单独资格要求。采购文件落实政府采购政策，包括节能环保产品、小型和微型企业、监狱企业和残疾人福利性单位等政府采购政策。3.本项目的特定资格要求：1、具有加载统一社会信用代码的《营业执照》有效证件；2、未被列入信用中国网(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn) 等渠道信用记录失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单；3、投标人提供“政府采购供应商信用承诺书”的承诺函。三、获取招标文件时间：截止到2022年11月08日14时00分（北京时间）。地点：淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）招标文件获取方式： ①已在淄博市公共资源交易平台（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）注册的供应商，需要登录淄博市公共资源交易网网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示重新完善信息。完善后在登录新系统免费下载采购文件。②未注册的供应商请到淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:8082/）在网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示进行注册（注册类型：交易乙方）。咨询电话：0533-2270020、2270010、2270050，咨询时间：北京时间8：30-12：00，13：30-17：00（法定公休日、法定节假日除外）。技术咨询电话：400-998-0000。③为满足信息公开和供应商诚信体系建设需要，供应商还需同时在中国山东政府采购网（http://www.ccgp-shandong.gov.cn/）进行注册。未注册的供应商须登录中国山东政府采购网点击首页右侧“系统入口”模块的“供应商注册”进行注册。请各供应商自行查验，务必保证淄博市公共资源交易网与中国山东政府采购网的注册单位名称及统一社会信用代码信息一致。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点截止时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）投标文件递交方式： 将加密的电子投标文件在截止时间前通过淄博市公共资源交易网 “上传投标文件”栏目上传完成。①拟参加本项目的投标人须办理并取得数字证书（电子签章）后，方可加密生成及上传电子投标文件。请各投标人仔细阅读《数字证书办理注意事项及相关资料下载》（淄博公共资源交易网→办事指南→服务指南）并按照须知要求办理。②投标人可到淄博市公共资源交易中心一楼大厅办理数字证书，也可网上办理。山东CA（山东省数字证书认证管理有限公司）证书办理电话为400-607-8966，CFCA（中金金融认证中心有限公司）证书办理电话为0533-3590310。其他具体操作请参考“新点投标文件制作软件（淄博版）操作视频-采购类”（淄博市公共资源交易中心网站→办事指南→服务指南），技术咨询电话：400-998-0000。开标时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）地点：?网上开标大厅。请各供应商在开标前登录网上开标大厅（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/BidOpeningHall/bidopeninghallaction/hall/login）,在线准时参加开标活动并进行投标文件解密、答疑、澄清等。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜本项目采用网上开标模式。各投标人无需到达开标现场，请在开标时间截止前登录网上开标大厅，在线准时参加开标活动并进行报价文件解密等。网上开标等详细事宜见招标文件 “网上开标提示”模块。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：淄博市计量技术研究院地 址：淄博市张店区共青团西路98号联系人：陈杰联系方式：0533-23159562.采购代理机构信息名 称：山东和鑫盛工程咨询管理有限公司地 址：山东省淄博市张店区新村西路42号铂金商务大厦4层联系方式：0533-23088813.项目联系方式项目联系人：薛皎、吕丽媛电 话：0533-2308881

p 　　英国莱斯特，Taylor Hobson于8月16日推出了由Metrology 4.0软件驱动的新款表面粗糙度轮廓仪Form Talysurf sup & reg /sup PGI NOVUS。 它十分先进的系统，适用于表面，轮廓，三维和直径测量。 /p p style=" text-align:center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201808/insimg/69bd7829-e2d4-4ea4-8f4d-ec8ee0f643c2.jpg" title=" Form Talysurf& reg PGI NOVUS With Metrology 4.0 Software.jpg" / /p p strong PGI NOVUS系统背后的设计—将卓越与创新相结合 /strong /p p 　　创新技术是新型PGI NOVUS系统的核心。它配备了全新的双偏置规，使系统能够测量直径和角度，并以相同的速度分析正常和反向的表面光洁度，以获得最佳性能。PGI NOVUS是市场上十分精确，稳定和可重复的高精度测量系统。 /p p strong Metrology 4.0—支持制造业的现代软件 /strong /p p 　　Metrology 4.0软件是一个新的软件包，提供具有虚拟显示和实时控制的直观界面。它提供了对测量过程的一目了然的监控。实时模拟和真实的零件坐标使监控和控制达到了业界十分先进的水平。 /p p 　　“新型Form Talysurf sup & reg /sup PGI NOVUS在测量直径和轮廓方面带来了显着的改进，特别是采用新设计的计量器，可以在上下方向进行形状和表面测量，”Taylor Hobson的表面产品经理Greg Roper谈到。“PGI NOVUS计量器旨在为用户提供更大的测量灵活性。可以在单个系统上测量小型，中型和大型复杂零件。” /p p 　　“新软件的功能可确保通过屏幕上形象跟踪实时测量。有一系列不同模式可供使用，提供基本元素，如可记录零件编程，以及包括变量在内的可编程功能的高级工具箱。该功能允许为一组不同尺寸的零件创建一个程序，最大限度地降低操作员所需的工作量和培训水平，同时保持最高的测量精度，”Greg解释道。 /p p 　　此外，Taylor Hobson提供独特的选项，支持从实验室到车间的所有环境中的高精度测量。 有三种仪器加附件地选择可满足所有的应用要求。 /p p strong 主要应用： /strong /p p · 滚珠丝杠轴向测量—节圆直径两侧均可(PCD)。 /p p · 轴承—球形，滚轴和四点接触。 /p p · 燃料喷嘴—平直度和阀座倾角。 /p p · 多部分测量—使用单个程序。 /p p 　　Taylor Hobson在超精密测量仪器领域居于前列，产品广泛应用于光学，半导体，制造业和纳米技术等市场。它是阿美特克超精密技术部的一个分支，阿美特克是世界领先的电子仪器和机电设备制造商，年销售额达43亿美元。 /p

布鲁克公司纳米表面仪器部携ContourGT非接触式三维光学形貌仪参加2013年第15届中国光博会布鲁克公司纳米表面仪器在本届光博会上展出最新的ContourGT非接触式三维光学形貌仪，具有优异的抗噪声特性，能实现定标性测量的重复性和再现性，拥有业界最高垂直分辨率，适用于对各种复杂精密元器件形状的高精度质量管理工作，精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。 客户服务热线：010- 5833 3252 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K0，桌上型ContourGT-K1，中端型号ContourGT-X3，以及旗舰型号ContourGT-X8和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。 基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 客户服务热线：010- 5833 3252 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com

布鲁克公司纳米表面仪器部携ContourGT非接触式三维光学形貌仪参加2012年第14届中国光博会布鲁克公司纳米表面仪器在本届光博会上展出最新的ContourGT非接触式三维光学形貌仪，具有优异的抗噪声特性，能实现定标性测量的重复性和再现性，拥有业界最高垂直分辨率，适用于对各种复杂精密元器件形状的高精度质量管理工作，精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K0，桌上型ContourGT-K1，中端型号ContourGT-X3，以及旗舰型号ContourGT-X8和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。 基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 客户服务热线：400-890-5666 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com

自1988年首次在上海举办以来，SEMICON CHINA 已成为中国首要的半导体行业盛事之一，它囊括当今世界上半导体制造邻域主要的设备和材料厂商。SEMICON CHINA见证了中国半导体制造业茁壮成长，加速发展的历史，也将为中国半导体制造业未来的强盛壮大做出贡献。2021年3月17日，SEMICON CHINA 2021在上海新国际博览中心隆重召开。作为世界领先的分析仪器公司之一，布鲁克携其半导体解决方案亮相SEMICON CHINA 2021。布鲁克展台在此次布鲁克参展的产品中，一台台式全自动三维形貌计量的新品吸引了观众的目光。白光干涉仪 Contour X这款白光干涉仪Contour X（三维光学轮廓仪）是世界上最全面的快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以完全编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能最大程度地减少跟踪误差。据了解，Contour X-500满足计量要求，具有无与伦比Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪（WLI）落地式型号所有业界的优点。利用业界最先进的用户界面，CountourX-500可以直观地调用多种预设好的滤镜和分析工具。借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

近日，中科院自动化所研究员曾毅团队研究发现，从经典的到最先进的深度神经网络都难以像人一样具有较好的幻觉轮廓识别能力。相关研究成果发表于细胞出版社旗下期刊《模式》。神经网络和深度学习模型在过去十年中看似取得巨大成功，在许多给定的视觉任务中在指定方面超过了人类表现。然而，神经网络的性能仍然会随着各种图像扭曲和损坏而降低。一个非常极端的例子是对抗攻击，通过在图片上施加人眼难以察觉的微扰，能够使神经网络模型彻底失效。而人类的视觉系统在这些问题上具有高度鲁棒性，说明深度学习与生物视觉系统相比仍然存在根本性缺陷。为此，曾毅团队提出了一种名为交错光栅扭曲的图像干扰方法，作为量化神经网络模型幻觉轮廓感知能力的工具。结果表明，大多数预训练模型的表现接近随机。另外可以观测到当交错光栅之间的距离较小时，存在一些模型的结果与其他模型的分布有较显著的差别。他们最终发现，使用深度增强技术训练的模型相比其他模型能够显著增强模型对交错光栅扭曲数据集的识别。该研究还招募了24名人类受试者，以评估不同的参数设置下，人类的幻觉轮廓感知能力以及其对数字和图像识别的影响。研究发现，即使是当前最先进的深度学习算法在交错光栅效应的识别上也与人类水平相距甚远。论文第一作者、中科院自动化所工程师范津宇认为，该研究结合了认知科学和人工智能，提出了将传统机器视觉数据集转换成认知科学中的交错光栅幻觉图像，并首次对大量的公开预训练神经网络模型的幻觉轮廓感知能力的量化测量，从神经元动力学角度和行为学角度两个检验深度学习和神经网络模型对幻觉轮廓的感知。“这项研究从认知科学的角度检验和部分重新审视了当前看似成功的人工神经网络模型，并且证明人工神经网络模型与生物视觉处理过程仍然存在着很大差距，大脑运作的机理和智能的本质将继续启发人工智能，特别是神经网络的研究。”曾毅说。在他看来，要想从本质上取得突破，人工智能需要借鉴和受自然演化、脑与心智的启发，建立智能的理论体系，这样的人工智能才会有长远的未来。

2024一开年，科学仪器行业便迎面而来一大新政策。3月13日国务院印发《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》。其中明确了"推动符合条件的高校、职业院校(含技工院校)更新置换先进教学及科研技术设备，提升教学科研水平。”KLA Instruments&trade 作为仪器行业的优质提供商，我们将积极响应国家政策，助力设备更新与以旧换新行动，为行业专家、学术界和其他创新者提供值得信赖的量测技术，助力中国乃至世界实现科学技术上的突破性发展。探针式轮廓仪KLA Instruments&trade Alpha-Step，TencorP系列和HRP系列探针式台阶仪提供高精度的2D和3D表面形貌量测，可为您的研发和生产提供台阶高度、表面粗糙度、弯曲度和应力等测量，具有良好的稳定性和可靠性。光学轮廓仪我们丰富的光学轮廓仪系列产品涵盖多种光学测量技术，包含白光干涉技术，真彩色成像和ZDot&trade 点阵专利技术，我们可以帮助您找到满足您测量需求的正确解决方案。Profilm3D和Zeta光学轮廓仪可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。纳米压痕仪KLA Instruments&trade 的纳米压痕仪可对硬度、杨氏模量和其它力学性能进行精确测量。从发布市场上第一款纳米压痕仪，到将纳米压痕技术扩展到快速、高温和高应变速率测试中，我们一直在开发新的静态与动态测量方案，推动下一代纳米力学测试仪的发展。薄膜厚度仪我们就可以通过分析薄膜的反射光谱来测量薄膜的厚度，通过非可见光的测量，我们可以测量薄至1纳米或厚至3毫米的薄膜。测量结果可在几秒钟显示：薄膜厚度、颜色、折射率甚至是表面粗糙度。方块电阻测试仪KLA方块电阻测试仪能够满足各种测量需求，包括：金属薄膜及背面工艺层厚度测量，衬底电阻率，方块电阻，薄膜厚度或电阻率，薄层和体材料的导电率，等等。对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。Candela缺陷检测系统Candela系统对化合物半导体衬底（GaN，GaAs，InP，蓝宝石，SiC等）和硬盘驱动器上的各种关键缺陷进行检测和分类，保证生产过程中检测的高灵敏度和高效率。

p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 2019慕尼黑上海光博会已落下帷幕，会议吸引了26个国家，超过1177家展商，超过60000名激光、光电、光学行业的观众参与。展会吸引了众多仪器设备厂商参与，期间不少公司都携2019年新品或极具特色的亮点仪器亮相，涉及到的仪器设备包含波片检测仪、CO2探测仪、激光功率分析仪、激光干涉仪、闪测仪、光谱系统、光学轮廓仪等。仪器信息网对这些新品和亮点仪器进行了采访盘点，以飨读者。 br/ /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " （注：受限于时间和精力，本盘点仅为不完全汇总，疏漏之处，欢迎读者踊跃补充） /span /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong 波片检测仪 /strong /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/c4d1092c-30c7-451c-9885-caf8a9888335.jpg" title=" EW1000.JPG" alt=" EW1000.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 2em " strong EW1000波片检测仪 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " EW1000& nbsp 的生产商为北京量拓科技有限公司，仪器采用光学偏振调制的测量原理，专门用于波片的全面质量检测，适用于波片生产过程中的质量监控、质量终检、以及新型波片研发中的参数检测。包括波片相位延迟差检测、波片快慢轴方位角检测、波片快慢轴透过率检测等。EW1000利用光波进行非接触测量，对样品无任何破坏性，相位延迟差在0-360° ，测量速度为典型1.6s/波长。该仪器可明确区分快慢轴，避免混淆。仪器采用一键式操作，检测过程无需人工干预。据量拓科技相关负责人介绍，EW1000是全球首款波片检测仪，为公司2019年主打产品。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " span style=" color: rgb(0, 176, 240) " strong CO2探测仪 /strong /span /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/f8f3ab0e-ab16-4ba9-b6fe-39683f8663fe.jpg" title=" CO2探测仪.JPG" alt=" CO2探测仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 2em " strong 碳卫星高光谱与高空间分辨率CO2探测仪模型 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 该仪器由国家立项，由中科院长春光机所研发团队经6年研发而成，是我国首台航天高光谱温室气体探测仪器，解决了我国温室气体全球检测手段有无的问题。仪器采用超高分辨率光谱分光探测技术，光谱分辨率可以做到0.04nm；采用皮米量级精细光谱定标技术，光谱定标精度可达0.3pm，都处于国际先进水平。此外仪器还集成了复杂低温光学系统集成制造技术、空间双面铝基志向反射镜制备与应用技术和大面积全息衍射光栅制造等先进技术。该仪器还可应用于全球温室气体检测、碳循环研究、大气环境变化研究、气候变迁、全球植被光合生产力研究。据相关负责人介绍，相关技术也可移植到民用，用于大、小型无人机机载、手持拉曼等相关仪器设备的生产研发中。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 激光功率分析仪 /span /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/519f899e-ee00-433e-85af-9a53a2f250cc.jpg" title=" 图右：激光功率分析仪.JPG" alt=" 图右：激光功率分析仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong 图右：PowerMonitor激光功率分析仪 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 激光功率分析仪分析的对象主要是激光器，在激光加工领域有广泛应用，如大功率的激光切割、激光焊接、3D打印、飞机的零部件加工、船厂的焊接、汽车车门链接处的焊接等。PowerMonitor激光功率分析仪是东隆科技有限公司的最新款仪器，该仪器最大的特点是通过光学镀膜减少了激光本身对材料的损害，无需衰减（衰减会引入很多不可控的误差），即可直接测量。该仪器相比前代产品提升了结构的适配性，改变测试位置无需夹具，此外仪器还丰富了软件的模块化和智能化设计。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 闪测仪 /span /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/573f893f-1e80-440a-ab3b-9cca4b69ad21.jpg" title=" VX3000系列闪测仪.JPG" alt=" VX3000系列闪测仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong VX3000系列闪测仪 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 闪测仪主要用于测量小型零部件外观尺寸，客户主要集中在工业领域，在3C周边零部件产品的测量中有广泛应用，在中国拥有上亿元的市场容量。VX3000系列闪测仪是深圳市中图仪器股份有限公司于2019年1月份仪推出的新品仪器。该仪器最多可以同时测量99个样品，样品可任意放置，无需夹具定位。仪器具备自动对焦功能，不会因调整焦点而造成偏差，该仪器在CNC模式下可快速精确地进行批量测量，自动识别测量部位，只需一键即可获得准确一致的测量结果。仪器售价大概在30万左右。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 激光干涉仪 /span /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/4c57a604-eddc-40f7-bec4-74968dfd4f12.jpg" title=" IR5U 激光干涉仪.JPG" alt=" IR5U 激光干涉仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong IR5U激光干涉仪 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 2018年苹果、华为等手机制造商都推出了3D结构光人脸识别系统，该系统里面有一个孔是红外小孔，在市面上缺少相关的检测仪器。上海乾曜光学科技有限公司IR5U激光干涉仪的诞生即是瞄准了这一新发市场的需求，专门用来检测3D结构光小孔的平面度，仪器售价在20-30万之间。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 微型光谱系统 /span /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/a1bda451-7ee8-45d4-a684-286cf5a9e2ae.jpg" title=" 红雀.JPG" alt=" 红雀.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong 红雀系列RS超微型近红外光谱系统 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " 红雀系列RS超微型近红外光谱系统采用台湾超微光学股份有限公司独家专利的MEMS半导体微机电技术，重量仅40g，尺寸仅有40× 40× 18m3，是一款掌上智能光谱系统，可用于装配手持式拉曼光谱仪。该设备具备高增益（480）、低增益（500）两种信噪比模式，该系统波长范围从950-1700nm，分辨率为8-12nm，售价在4万-5万人民币左右。 /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/2a837f41-a7dd-4b41-bb4c-e3a67fa09b2d.jpg" title=" SMD光谱仪.JPG" alt=" SMD光谱仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /p p style=" text-align: center text-indent: 2em " strong SMD微型光谱系统 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " SMD微型光谱系统为滨松光子学商贸(中国)有限公司于2019年年初推出的新品微型光谱系统，相比于前代产品体积和成本控制进行了大幅度升级。Mini-spectromete采用MEMS方法，分析的波长范围是640nm-1050nm，频谱响应范围为256pixels。该仪器的尺寸为11.7× 4.0× 3.1mm3，重量仅为0.3g。据相关负责人透露，Mini-spectrometer微型光谱系统很有可能斩获号称“光电行业奥斯卡”的棱镜奖。 /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " strong span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 3D光学轮廓仪 /span /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong & nbsp img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/88d5c3ea-0d00-466b-a031-b3482ecaa547.jpg" title=" 非接触式3D光学轮廓仪.JPG" alt=" 非接触式3D光学轮廓仪.JPG" width=" 600" height=" 400" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 600px height: 400px " / /strong /p p style=" text-align: center text-indent: 0em " strong Sneox& nbsp 非接触式3D光学轮廓仪 /strong /p p style=" text-align: justify text-indent: 2em " Sneox 非接触式3D光学轮廓仪是SENSOFAR METROLOGY于2019年推出的新品仪器，主要用于微观三维表面形貌的表征：如微观高度、表面粗糙度等。在高精密加工、手机机壳、表面粗糙度测量、印刷电路板、微小电子电路的测量等方面应用很多。市面上不乏共聚焦设备、干涉设备，而SENSOFAR METROLOGY的3D光学轮廓仪为共聚焦、干涉、多焦面叠加三合一的设备，在减少客户在生产线上抽检时间成本的同时，还具有极高的性价比。相比于前代产品lynx，Sneox在共聚焦速度方面提升了原来的6-7倍，干涉速度提升了5倍，多焦面叠加的分辨能力和适应性量测更加宽广。 /p

p 　　8月27日，基恩士推出新款3D轮廓测量仪VR-5000。2016年，在“3D轮廓测量仪VR-3000系列”的基础上，基恩士推出功能增强的新品。同为VR系列，不同于2016年的产品，本次推出的新品被赋予全新的型号名称VR-5000。 /p p style=" text-align: center " 　　 img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/8ae61b3e-1640-4f4a-a601-ead5dfbad6e4.jpg" title=" 1.jpg" alt=" 1.jpg" / /p p 　　从基恩士公开的信息看，大范围进行3D测量的最快时间从4秒提高到了1秒。VR-5000搭载了“全自动设定功能”，完成自动对焦、自动设定测量区域、自动进行测量设定等工作，以消除直接导致测量失败的人为设定失误。基恩士在产品介绍中特别提到：“从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量，仪器的测量范围是以往的5倍。” /p p style=" text-align: center " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/9728e0c6-7a0d-4d0e-b0f4-4b85be5c2bd0.jpg" title=" 2.jpg" alt=" 2.jpg" / br/ 仪器的测量范围是以往的5倍 br/ /p

全息术是一种能够对光波前进行记录和重建的技术，自从 1948 年匈牙利-英国物理学家 Dennis Gabor 发明全息术以来，该技术不仅得到了显微学家，工程师，物理学家甚至艺术家等各领域的广泛关注，还使他获得了 1971 年的诺贝尔物理学奖。干涉术作为光学中另一个主要研究领域，是利用光波的叠加干涉来提取信息，其原理与全息术都是用整体的强度信息来记录光波的振幅和相位，虽然记录的方法有很大不同，但随着 20 世纪 90 年代，高采样密度的电子相机的出现，可用来记录数字全息图，则进一步增强了二者的联系。近日，针对全息术对表面形貌的干涉测量的发展的推动作用，来自美国 Zygo Corporation 的 Peter J. de Groot、 Leslie L. Deck，中国科学院上海光机所的 苏榕 以及德国斯图加特大学的 Wolfgang Osten 联合在 Light: Advanced Manufacturing 上发表了综述文章，题为“Contributions of holography to the advancement of interferometric measurements of surface topography”。本文回顾了包括相移干涉测量，载波条纹干涉，相干降噪，数字全息的斐索干涉仪，计算机生成全息图，震动、变形和粗糙表面形貌和使用三维传输方程的光学建模七个方面，从数据采集到三维成像的基本理论，说明了全息术和干涉测量的协同发展，这两个领域呈现出共同增强和改进的趋势。图1 全息术的两步过程图2 干涉术的两步过程相移干涉测量术 因为记录的光场的复振幅被锁定在强度图样中的共同基本原理，全息术和干涉测量术捕获波前信息也是一个常见的困难，用于表面形貌测量的现代干涉仪中，常用相移干涉测量术（PSI）来解决这个问题，PSI 的思路是通过记录除了它们之间的相移之外几乎相同的多个干涉图，以获取足够的信息来提取被测物体光的相位和强度。Dennis Gabor 早在 1950 年代搭建的全息干涉显微镜使用偏振光学隔离所需的波前，引入除相移外两个完全相同的全息图。如图3所示，Gabor 的正交显微镜使用了一个特殊的棱镜，在反射光和透射光之间引入了 π/2 的相移。因此，可以说，用于表面测量的 PSI 首先出现在全息术中，然后独立出现在干涉测量术中。PSI 现在被广泛用于光学测试和干涉显微镜，虽然许多因素促成了其发展，但其基本思想可以追溯到使用多个相移全息图进行波前合成的最早工作。图3 Gabor正交显微镜简化示意图载波条纹干涉测量术 通过使用角度足够大的参考波来分离 Gabor 全息图中的重叠图像，从而使全息图形成的重建真实图像和共轭图像在远场中变得可分离，是全息术的重大突破之一， 到 1970 年代，人们意识到传播波阵面的远场分离等价物可以在没有全息重建的情况下模拟干涉测量。这一概念在 1982 年武田 (Takeda) 的开创性工作中广受欢迎，他描述了用于结构光和表面形貌的干涉测量的载波条纹方法。载波条纹干涉测量术的基本原理源自通信理论和 Lohmann 对全息重建过程的傅里叶分析。到 2000 年代，计算机和相机技术已经足够先进，可以使用高横向分辨率的二维数字傅里叶变换进行实时数据处理，赋予了载波条纹干涉技术的新的生命。图4 从干涉图到最后的表面形貌地图的过程此外，在菲索干涉仪中，参考波和物体表面的相对倾斜会导致相机处出现密集的干涉条纹。如果仪器在离轴操作时，具有可控制或可补偿的像差，所以只需要对激光菲索系统的光机械硬件进行少量更改，就可以实现这种全息数据采集。因此，载波条纹干涉仪通常是提供机械相移的系统的选择。相干降噪 虽然可见光波段激光器的发明给全息术带来重要进展，然而，在全息术和干涉测量术中不使用激光的主要原因是，散斑效应和来自尘埃颗粒和额外的反射而产生的相干噪声。通过仔细清理光学表面只能很小部分的噪声，而围绕系统的光轴连续地旋转整个光源单元就可以解决这个问题。如果曝光时间很长，这种运动会增强所需的静态图样，同时平均化掉大部分相干噪声。常用的实现平均化的方式包括围绕光轴旋转光学元件、沿着照明光移动漫射器、用旋转元件改变照明光的入射方向，或在傅里叶平面中移动不同的掩模成像系统。激光在 1960 年代开始出现在不等路径光学装置中，最初为全息术开发以减少相干噪声的平均方法，被证明也可有效改善干涉测量的结果。图5中，是 Close 在 1972 年提出的一种基于脉冲红宝石激光器的便携式全息显微镜。显微镜记录了四个全息图，每个全息图都有一个独立的散斑图案，对应于棱镜的旋转位置，由全息图形成的四个图像不相干叠加以减少相干噪声和散斑粒度。图5 使用旋转楔形棱镜的相干降噪系统数字全息菲索干涉仪 Gabor 的背景和研究兴趣使他将全息术视为一种具有大景深的新型显微成像技术，使显微镜学家可以任意地检查图像的不同平面。记录后重新聚焦图像的能力仍然是全息术的决定性特征之一，使我们无需仔细地将物体成像到胶片或探测器上。它还可以记录测量体积，能够清晰地成像三维数据的横截面。而数字全息术使这种能力变得更具吸引力，其重新聚焦完全在计算机内实现。虽然数字重聚焦在数字全息显微镜中很常见，但它通常不被认为是表面形貌干涉测量的特征或能力。尽管如此，从前面对该方法的数学描述来看，在采集后以相同的方式重新聚焦常规干涉测量数据是完全可行的。随着数据密度的增加，人们对校正聚焦误差以保持干涉测量中的高横向分辨率感兴趣。图6 激光菲索干涉仪的聚焦机理与全息系统不同，传统干涉仪的布置方式是在数据采集之前将物体表面精确地聚焦到相机上。图 6 说明了一种简化的聚焦机制。聚焦通常是手动过程，涉及图像清晰度的主观确定。由于光学表面通常在设计上没有特征，因此常见的过程包括将直尺放置在尽可能靠近调整表面的位置并调整焦距，直到直尺看起来最锋利。繁琐的设置和人为错误的结合使得我们可以合理地断言，今天很少有干涉仪能够充分发挥其潜力，仅仅是因为聚焦错误。数字重新聚焦提供了使用软件解决此问题的机会。计算机产生全息图 早在 1960 年代后期，学者们就已经对波带片与计算机生成全息图 (CGH) 之间的类比有了很好的理解，这是因为在开发新的基于激光的不等径干涉仪来测试光学元件的表面形状的应用时，需要对具有非球面形状的透镜和反射镜进行精确测试。图7 计算的菲涅尔波带片图样和牛顿环（等效于单独的虚拟点光源产生的Gabor全息图）然而，干涉仪作为最好的空检测器，在比较形状几乎相同的物体和参考波前时能提供最高的精度和准确度，虽然有许多巧妙的方法可以使用反射和折射光学器件对特定种类的非球面进行空测试，但 CGH 可通过简单地改变不透明和透明区域的分布来显着增加解空间。CGH 空校正器的最吸引人的特点是波前构造的准确性在很大程度上取决于衍射区的平面内位置，而不是表面高度。因此，无需费力地将非球面参考表面抛光至纳米精度，而是可以在更宽松的尺度上从精密参考波来合成反射波前。图8 使用激光菲索干涉仪和计算机产生的全息图测试非球形表面的光学装置振动、变形和粗糙表面形貌 全息干涉测量术是全息术对干涉测量术最明显的贡献，从技术名称中就可以看出。这项发现的广泛应用引起了计量学家高度关注，包括用于通过全息术定量分析三维漫射物体的应力、应变、变形和整体轮廓的方法。全息干涉测量术的发现对干涉测量术的能力和可解释性产生了深远的影响，为了辨别这些联系，首先考虑在同一全息图的两次全息曝光中，倾斜一个平面物体。两个物体方向的强度图样的不相干叠加，调制了全息图中条纹的对比度，而当这个双曝光全息图用参考波重新照射，以合成来自物体的原始波前时，结果也是条纹图样。因此，我们看到传播波前的全息再现，可用于解调双曝光全息图中存在的非相干叠加的干涉图案，将对比度的变化转换为表示两次曝光之间差异的干涉条纹。由于全息图中这些叠加的图案相互不相干，它们可以在不同的时间、全息系统的组成部分的不同位置、甚至不同的波长等条件下生成，因此，该技术的应用范围十分广泛。图9 模拟平面的双曝光全息使用三维传输方程的光学建模 使用物体表面的二维复表示，对本质上是三维问题的传统建模，是假设所有表面点可以同时沿传播方向处于相同焦点位置。因此，这种二维近似的限制是表面高度变化相对于成像系统的景深必须很小。全息术影响了三维衍射理论的发展，进一步影响了干涉显微镜的评估和性能提升。光学仪器的许多特性可以使用传统的阿贝理论和傅里叶光学建模来理解，包括成像系统的空间带宽滤波特性。干涉仪的傅立叶光学模型的第一步，是将表面形貌的表示简化为限制在垂直于光轴的平面内的相位分布。但对于使用干涉测量术的表面形貌测量，这并不是一个具有挑战性的限制，因为普通的菲索干涉仪的景深大约为几毫米，表面高度测量范围可能为几十微米。因此，在高倍显微镜中采用三维方法的速度更快，特别是对于共聚焦显微镜，在高数值孔径下，表面形貌特征不能都在相对于景深的相同的焦点。然而，二维傅里叶光学的近似对于干涉显微镜来说是不够精确的，因为在高放大倍率下，仅几微米的高度变化，就会影响干涉条纹的清晰度和对比度。基于 Kirchhoff 近似推导出了 CSI 的三维图像形成和有效传递函数，其中均匀介质的表面可表示为连续的单层散射点。这种方法已被证明具有重要的实用价值，不仅可以用于理解测量误差的起源，是斜率、曲率和焦点的函数，还可以用于校正像差。本文总结 基于激光的全息术的出现带来了一系列快速的创新，这些创新从全息术发展到干涉测量术。虽然文中提到的七个方面无法完全概括全息术的贡献，但一个明显的趋势是全息术对用于表面形貌测量的干涉测量技术的影响正在不断增加， 这最终可能会导致全息术与通常不被认为是全息术的技术相融合，而应用光学计量的这种演变必将带来全新的解决方案。论文信息 de Groot et al. Light: Advanced Manufacturing (2022)3:7https://doi.org/10.37188/lam.2022.007本文撰稿： 刘子维（英国剑桥大学，博士后）

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 测量投影仪又称为光学投影检量仪或光学投影比较仪，为利用光学投射的原理，将被测工件之轮廓或表机投影至观察幕上，作测量或比对的一种测量仪器，可以高效地检测各种形状复杂工件的轮廓和表面形状。仪器信息网通过汇总2019年商品编码90314910的海关进出口数据，对2019年1月至11月轮廓投影仪的进出口贸易情况进行了简要盘点。 /p p 　　统计周期内，轮廓投影仪进口数量1591台，进口总额约1.77亿元(币种单位：人民币元RMB，以下同) 出口数量约11.79万台，出口总额约3400万元。从数量上看，我国轮廓投影仪出口数量要远远高于进口 从金额上看，呈现出反差，说明出口主要集中在轮廓投影仪中低端仪器市场；从均价上看，单台进口均价约是出口的400倍。 /p p 　　从数量上看，月度进口数量基本保持在100-200台 从金额上看，月进口总额基本保持在1000万-2000万区间。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/26742f9c-4405-49ae-821d-f60643533be5.jpg" title=" 2019年月度进口数量.png" alt=" 2019年月度进口数量.png" width=" 500" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度进口数量 单位：台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/a61bcc6c-f823-47cd-a065-2c0f63c894d3.jpg" title=" 2019年月度进口总额.png" alt=" 2019年月度进口总额.png" width=" 500" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度进口总额 单位：元 /p p 　　日本进口数量遥遥领先，进口数量占总进口数量59.2%，进口金额占总进口金额的69.43% 德国排第二，进口数量占总进口数量的24.7%，进口金额占总进口金额的15.27%。日本和德国占据了80%以上的轮廓投影仪进口市场份额。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/cc3d4406-b80c-4860-bd7e-b87583e0e279.jpg" title=" 2019年各国进口数量.png" alt=" 2019年各国进口数量.png" width=" 500" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国进口数量 单位：台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 315px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/5ac76254-fd90-45e4-b113-6e3a785789aa.jpg" title=" 2019年各国进口总额.png" alt=" 2019年各国进口总额.png" width=" 500" height=" 315" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国进口总额 单位：元 /p p span 　　 /span 2019年8月单月出口量8万余台，数量高居月第一，然而当月出口总额倒数第二，说明出口仪器主要是集中于中低端仪器。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 318px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/711aed5f-bb3d-4f05-ba85-2a1702898b73.jpg" title=" 2019年月度出口数量.png" alt=" 2019年月度出口数量.png" width=" 500" height=" 318" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度出口数量 单位：台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/f97c73f6-1e03-4fa8-afea-a1210266cbce.jpg" title=" 2019年月度出口总额.png" alt=" 2019年月度出口总额.png" width=" 500" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年月度出口数量 单位：元 /p p 　　从数量上看，最大的贸易出口国是日本，其次为马来西亚，分别占比34.7%、32.18% 从出口金额上看，美国排第一位，其次为台澎金马关税区、香港等。 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 309px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/24e00b9c-3472-468b-b0d3-d0d4d03864f6.jpg" title=" 2019年各国出口数量.png" alt=" 2019年各国出口数量.png" width=" 500" height=" 309" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国出口数量（前20） 单位：台 /p p style=" text-align: center " img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 303px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/202001/uepic/d9a2c205-1896-49e8-b639-e1671c27e664.jpg" title=" 2019年各国出口总额.png" alt=" 2019年各国出口总额.png" width=" 500" height=" 303" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 2019年各国出口总额（前30） 单位：元 /p p style=" text-align: center " 主要进出口企业 /p table border=" 0" cellpadding=" 0" cellspacing=" 0" style=" border-collapse:collapse " data-sort=" sortDisabled" align=" center" colgroup col width=" 72" style=" width:72px" / col width=" 273" style=" width:273px" / col width=" 166" style=" width:167px" / /colgroup tbody tr height=" 18" style=" height:18px" class=" firstRow" td height=" 18" colspan=" 3" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan=" 1" align=" center" valign=" middle" width=" 14" 主要出口企业 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 企业名称 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 年出口规模 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 欧姆龙(上海)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 重庆火星人科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 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0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 高屋希克斯电子(上海)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 精量电子（成都）有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 冲电气实业(深圳)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 上海田岛工具有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 科世达(上海)管理有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 出口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 美艾利尔(上海)诊断产品有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 500万~ 1000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" colspan=" 3" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " rowspan=" 1" align=" center" valign=" middle" width=" 14" 主要进口企业 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px" td height=" 18" style=" border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 企业名称 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 年进口规模 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 苏州紫翔电子科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 北京亦庄嘉里大通物流有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 161" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 乐金显示（中国）有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万 ~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 基恩士(中国)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 5000万~ 1亿美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 冲电气实业(深圳)有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 福州京东方光电科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 深圳市华星光电技术有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr tr height=" 18" style=" height:18px transition: all 0.3s ease 0s" td height=" 18" style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 进口 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px " align=" center" valign=" middle" 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 /td td style=" -webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0) min-height: 20px border: 1px solid rgb(0, 0, 0) padding: 5px word-break: break-all " align=" center" valign=" middle" width=" 14" 1000万~ 5000万美元 /td /tr /tbody /table p 　　从以上分析，可以看出，目前我国轮廓投影仪的进口市场相对稳定，进口仪器主要为中高端仪器 我国轮廓投影仪出口数量远远高于进口，但总体出口总额仅为进口的六分之一，说明出口中低端产品数量较多。 /p p br/ /p

p 　　 strong 腐蚀形貌常用表征方法 /strong /p p 　　在腐蚀研究和工程中，腐蚀形貌是判断各种腐蚀类型、评价腐蚀程度、研究腐蚀规律与特征的重要依据。腐蚀形貌表征最常用的方法便是宏观观察、扫描电子显微镜观察和金相显微镜观察等，这些方法容易受主观因素影响。 /p p 　　 strong 激光共聚焦扫描显微镜 /strong /p p 　　激光共聚焦扫描显微镜(LSCM)以激光作为光源，采用共轭成像原理，沿x、y方向逐点扫描试样表面，合成图像切片，再移动z周，采集多层切片，形成图像栈，将所有图像栈的信息进行合成，形成可以测量垂直高度和表面粗糙度及轮廓的三维表面形貌图像，是一种高敏感度与高分辨率的显微镜技术。 /p p 　　该技术已广泛应用于形态学、生理学、免疫学、遗传学等分子细胞生物学领域。由于采用激光共聚焦扫描显微镜表征腐蚀形貌具有较好的客观性，因此其在材料腐蚀中也有较好的应用前景。 /p p 　　 strong 试验材料 /strong /p p 　　试验试剂为乙醇、丙酮(分析纯，国药集团化学试剂有限公司)。试验钢为油田现场用N80钢管，其化学成分(质量分数)为：0.22%C，1.17%Mn，0.21%Si，0.003%S，0.010%P，0.036%Cr，0.021%Mo，0.028%Ni，0.018%V，0.012%Ti，0.019%Cu，0.006%Nb，余量Fe。 /p p 　　 strong 试验仪器 /strong /p p 　　红外碳硫分析仪，直读光谱仪，电子天平，M273A恒电位仪，扫描电镜，激光共聚焦扫描显微镜。 /p p 　　 strong 腐蚀试验 /strong /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " (1)全面腐蚀 /span /p p 　　将N80钢管加工成挂片试样，用350号金相试纸对试样进行打磨，然后再用丙酮除油和乙醇清洗，最后吹干。 /p p 　　依据标准ASTM G170-06(R2012)《实验室中对油田及炼油厂缓蚀剂评价及鉴定的标准指南》和SY/T 5405-1996《酸化用缓蚀剂性能试验方法及评价指标》，采用静态腐蚀挂片法对N80钢进行全面腐蚀试验。 /p p 　　试验在高温高压反应釜中进行。试验介质为15%(质量分数)的N,N& #39 -二醛基哌嗪缓蚀剂，试验温度90℃，试验时间为4h。试验后取出试样，逐步采用毛刷机械法和超声波酒精振荡清洗试样表面的缓蚀剂膜和腐蚀产物，然后烘干送检LSCM。同时，对试样进行宏观观察和扫描电镜观察。 /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " (2)沟槽腐蚀 /span /p p 　　将N80钢管加工成15mm× 5mm圆片试样，焊缝位于试样的中央，试验前采用350号金相砂纸打磨试样，再用丙酮除油和乙醇清洗，最后吹干，并采用光栅尺测量圆片尺寸。 /p p 　　依据标准Q/SY-TGRC 26-2011《ERW 钢管沟腐蚀实验室测试方法》，对N80钢进行沟槽腐蚀试验，得到沟槽腐蚀的试样。 /p p 　　试验采用电化学极化法(三电极体系)，在1000mL玻璃电解池(带石英窗口)内进行。试验介质为3.5%(质量分数)的NaCl溶液。饱和甘汞电极为参比电极，N80钢为工作电极，铂电极为辅助电极。 /p p 　　试验时对试样施加-550 mV的恒电位(相对于参比电极)，极化144h。试验后取出试样，逐步采用毛刷机械法和超声波酒精振荡清洗试样表面的腐蚀产物，然后烘干送检LSCM。同时，对试样进行宏观观察和扫描电镜观察。 /p p 　　 strong 结果与讨论 /strong /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 1 全面腐蚀 /span /p p 　　全面腐蚀试验后试样的宏观照片、扫描电镜图和LSCM图分别如图1—3所示。对比这三幅图可以看到：宏观和扫描电镜观察显示试样表面均匀腐蚀，无点蚀坑 LSCM观察显示，试样表面有两处点蚀坑，两处点蚀坑的直径分别为10.24，11.65μm，深度分别为13.78μm和19.83μm。由此可见，LSCM不仅可获得试样的表面三维图，还可客观迅速地找到局部腐蚀处，并可对局部腐蚀处进行简单测量处理。 /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/8531e939-7799-465b-a201-8006f8ee75f1.jpg" title=" 图1 全面腐蚀试验后试样的宏观照片.jpg" alt=" 图1 全面腐蚀试验后试样的宏观照片.jpg" / br/ br/ /strong strong 图1 全面腐蚀试验后试样的宏观照片 /strong /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/9fc9d4b0-37e5-4403-bc07-0e25c5a3291f.jpg" title=" 图2 全面腐蚀试验后试样的扫描电镜图.jpg" alt=" 图2 全面腐蚀试验后试样的扫描电镜图.jpg" width=" 378" height=" 406" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 378px height: 406px " / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图2 全面腐蚀试验后试样的扫描电镜图 /strong /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/c4ecb6b1-a0e5-4322-b1de-903eca0143be.jpg" title=" 图3 全面腐蚀试验后试样的激光共聚焦扫描显微镜表征图.jpg" alt=" 图3 全面腐蚀试验后试样的激光共聚焦扫描显微镜表征图.jpg" width=" 400" height=" 271" border=" 0" vspace=" 0" style=" width: 400px height: 271px " / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图3 全面腐蚀试验后试样的激光共聚焦扫描显微镜表征图 /strong /p p 　　 span style=" color: rgb(0, 176, 240) " 2 沟槽腐蚀 /span /p p 　　由于N80钢管为焊管，其母材与焊缝的显微组织不一样，在腐蚀环境中易产生电位差，使得焊缝熔合线处易出现深谷状的凹槽，如图4所示。沟槽腐蚀敏感系数α是判断焊管焊缝抗腐蚀的一个重要参数，其计算方法如式(1)所示。 /p p style=" text-align: center " img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/3507e746-8170-4721-a27d-d203442685a6.jpg" title=" 式（1）.png" alt=" 式（1）.png" / /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/613be5a5-5c15-45e0-a6d8-6ee416278e9d.jpg" title=" 图4 沟槽腐蚀试验后试样的宏观照片.jpg" alt=" 图4 沟槽腐蚀试验后试样的宏观照片.jpg" / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图4 沟槽腐蚀试验后试样的宏观照片 /strong /p p 　　式中：h1为原始表面和腐蚀后表面的高度差 h2为原始表面和点蚀坑坑底的高度差，如图5所示。h1和h2均取3次测量的平均值，当α& lt 1.3时，表示焊管焊缝对沟槽腐蚀不敏感 当α≥1.3时，表示焊管焊缝对沟槽腐蚀敏感，需采取措施减少沟槽腐蚀。 /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/8e59d50c-bea6-49da-8f6a-d2448171379f.jpg" title=" 图5 沟槽腐蚀试验参数测定.png" alt=" 图5 沟槽腐蚀试验参数测定.png" / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图5 沟槽腐蚀试验参数测定 /strong br/ /p p 　　沟槽腐蚀试验后试样的金相图和LSCM图分别如图6和图7所示。通过金相图和LSCM图得到参数h1和h2，并根据式(1)计算沟槽腐蚀敏感系数，结果如表1所示。 /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/75c010b6-db01-472f-ae3d-cff23f615d7c.jpg" title=" 图6 沟槽腐蚀试验后试样的金相图.jpg" alt=" 图6 沟槽腐蚀试验后试样的金相图.jpg" / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图6 沟槽腐蚀试验后试样的金相图 /strong /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/467f4cb3-f842-418c-af0d-e067c5e4ee20.jpg" title=" 图7 沟槽腐蚀试验后试样的LSCM图.jpg" alt=" 图7 沟槽腐蚀试验后试样的LSCM图.jpg" / /strong /p p style=" text-align: center " strong 图7 沟槽腐蚀试验后试样的LSCM图 /strong /p p style=" text-align: center " strong 表1 不同方法得到的沟槽腐蚀敏感系数 /strong /p p style=" text-align: center " strong img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201809/uepic/15d8299e-3916-4241-bf81-692270f87d04.jpg" title=" 表1 不同方法得到的沟槽腐蚀敏感系数.png" alt=" 表1 不同方法得到的沟槽腐蚀敏感系数.png" / /strong /p p 　　采用金相显微镜测h2和h1时，需根据主观判断找到3个深度最深的腐蚀坑，然后将其局部放大，并采用仪器标尺测量h2和h1 而采用LSCM测h2和h1时，沟底层处便是腐蚀坑深度，且测量标尺为LSCM自带，因此该方法更便捷、直观和客观，由此计算的α也更可靠。 br/ /p p 　　 strong 结论 /strong /p p 　　(1)激光共聚焦扫描显微镜表征腐蚀形貌以三维图方式显示，局部腐蚀处可一眼看到，更直观。 /p p 　　(2)用激光共聚焦扫描显微镜表征沟槽腐蚀，可以直观和客观地找到腐蚀坑深处，仪器自带标尺可直接测量坑深，数据测量更便捷，由此计算的敏感系数也更可靠。 /p

提供试用服务！主动隔振台TS-C30发布2020年广州市固润光电科技有限公司新推出了主动防震台TS-C30正式发布！提供样机试用和振动测试服务！ TS-C30系列是一款紧凑型动态隔振系统，由瑞士制造。拥有更小的体积，为研究人员操作精密仪器提供了更加灵活的空间搭配。此外，它也是Herz桌面隔震台中最经济的一款！此产品在1.2~300Hz频率范围内使用主动隔振技术，比传动被动隔振系统有更出色的隔振表现。为了让广大客户更加深入的了解它的出色性能。 此款产品适用于：- 原子力显微镜- 干涉测量- 轮廓测量- 3D轮廓仪- 表面轮廓仪- 纳米光子学 - 白光干涉仪- 三维表面形貌分析仪- 超景深显微镜- 激光干涉仪- 光镊应用- 超高速光通信 测量设备重量轻，底部表面积不大，重心低，以及微注射、膜片钳技术等对外界振动敏感的实验中的振动消除。 广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振、主动消磁和隔音箱十年！我司代理的AVI系列、TS系列主动隔振产品被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，并在许多项目中有出色的表现，取得了广大顾客的认同！此外我们拥有一支经验丰富技术团队，可以为客户提供设备的振动测试、试用服务、安装、调试、使用培训、维修、维护等一体式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！

第7届世界摩擦学大会在法国里昂举办，来自世界各个国家的一千多位学者参加会议。Ali Edmire 教授作大会开幕演讲，来自中国的学者采用了视频方式进行了会议交流。兰州化物所周峰研究员作大会主题报告，青岛理工大学郭峰教授作邀请报告。Rtec仪器作为主要赞助商参与大会协办，本次会议展出具备在线三维形貌功能的摩擦磨损试验机MFT-2000，并现场演示，受到参会学者的热烈咨询，现场还给参会学者们介绍了Rtec摩擦磨损试验机、材料表面性能综合测试平台、划痕仪、压痕仪、三维光学形貌仪、光学轮廓仪和微动试验机等产品。Rtec应用科学家与学者们热情交流最新的摩擦学测试技术。图丨大会主题报告现场图丨周峰研究员作主题报告图丨郭峰教授作邀请报告图丨Rtec在会议现场演示MFT-2000仪器图丨Rtec应用科学家与学者们交流最新的摩擦学测试技术

p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　布鲁克科学仪器业务分为三大集团，相比BIOSPIN集团的核磁共振/临床成像、CALID集团的质谱/光谱，BNANO集团下属纳米表面仪器(Bruker Nano Surfaces，简称BNS)部门在媒体的曝光度一直相对较少，略显“神秘”。 /span /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　2017年初，布鲁克收购纳米力学仪器制造商Hysitron(海思创)，将Hysitron纳米机械测试仪器添加到BNS部门中。加上BNS独有的AFM、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统等产品组合，以及连续多年的业绩攀升，布鲁克这个纳米表面仪器部门正向外界透露出难以忽视的创新实力。近日，仪器信息网采访了布鲁克纳米表面仪器部(BNS)中国区总经理邹海涛(以下简称‘Jeffrey’)，揭开布鲁克这个部门的神秘面纱，看其在中国本地如何“出奇制胜”。 /span /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " /span /p p style=" text-align: center" img src=" http://img1.17img.cn/17img/images/201712/insimg/ecdc5f26-14e0-4b85-bf20-4b6d9c790cba.jpg" title=" IMG_9042_副本_副本.jpg" / /p p style=" text-align: center " strong span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 布鲁克纳米表面仪器部(BNS)中国区总经理邹海涛 /span /strong /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 溯源：诞生于一场2.29亿美元收购 /strong /span /p p 　　于科学仪器企业而言，若想快速进入某一热点市场，收购无疑是一条快速通向“罗马”的捷径。在纳米表面仪器领域，布鲁克显然也尝到了“甜头”。 /p p 　　2010年，世界知名测量仪器和加工设备生产商Veeco宣布，将其测量仪器业务以2.29亿美元价格出售布鲁克。Veeco位于加州圣巴巴拉的原子力显微镜(AFM)业务，在亚利桑那州图森的光学工业计量(OIM)业务纷纷并入布鲁克，与布鲁克全球纳米仪器业务相结合，形成了BNS部门雏形。溯源梳理，这也可以说是布鲁克BNS部门最初的起点。 /p p 　　此后的几年间，布鲁克BNS部门又分别对Center for Tribology(一家纳米机械与摩擦测试仪器制造商)、Prairie Technologies及Vutara公司(提供应用于生命科学领域的高速先进的光学荧光显微镜，超分辨率荧光显微镜、多光子显微镜产品等技术的公司)、欧洲分子生物学实验室(EMBL)中拆分出来的Luxendo公司(开发出一种基于片光源荧光的低光敏活性系统)等几家企业实施并购。布鲁克BNS部门现已形成包括原子力显微镜、三维非接触式光学轮廓仪和探针式表面轮廓仪，表面摩擦等机械性能，纳米力学表征，生命科学高分辨荧光显微镜等内在的丰富产品线，为用户提供表面观测和测量领域的优质产品及服务。 /p p 　　据Jeffrey介绍，布鲁克BNS部门的定位始终是要给用户提供最佳产品及服务，因此所收购品牌，也都属行业领先。成立至今，BNS部门业绩保持连年攀升，营业收入和员工数量均呈翻倍增长，部门整体表现可圈可点。财报显示，布鲁克公司2017年度Q3营收4.356亿美元，增长11%。Jeffrey表示，BNS部门Q3业绩相比去年也增长了约7%。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 繁荣：原子力显微镜创新实力蒸蒸日上 /strong /span /p p 　　布鲁克BNS部门旗下纳米表面测量产品种类繁多、品类繁多，包含原子力显微镜、白光干涉仪、表面三维形貌仪、轮廓仪、纳米压痕仪等。其中，原子力显微镜(AFM)当属“招牌武器”。Jeffrey 给出了一组数据：“算上低端品牌，布鲁克AFM全球市场占有率在60%以上 如果仅按高端市场估算，布鲁克AFM市场占有率能达70%以上。” /p p 　　1986年摘得诺贝尔奖，90年代开始商品化生产，原子力显微镜产品真正的发展也就在这三十年间。原子力显微镜最初的商品化生产由美国Digital仪器公司完成，随后Digital被Veeco收购。Jeffrey指出：“早在2005年左右，Veeco在原子力显微镜的力学控制和探针技术就已达到顶峰。形貌学上的测量技术难以突破，仪器的分辨率也很难有本质上的提高，布鲁克因此决定‘另辟蹊径’，转向性能拓展和速度提升。” /p p 　　性能拓展方面，以布鲁克2016年发布的扫描电化学显微镜解决方案——PeakForce SECM& #8482 模块为例，产品通过创新探针设计，可以实现基于原子力显微镜的纳米级分辨率扫描电化学显微镜测量，进行纳米级横向分辨的同时还能获取形貌、电化学、电学和机械性能等图谱，在化学动力学，生物化学信号传导和环境化学等领域广泛应用。“布鲁克要做的就是跳出形貌，在扫描形貌的同时得到表面力学、电学等不同特性，便于用户在液体环境或外加环境等复杂体系中完成测量。” /p p 　　速度提升上，布鲁克Dimension FastScanTM原子力显微镜在不损失超高分辨率和仪器性能前提下，最大限度地提高了成像速度，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得数据的时间。Jeffrey指出：“以前AFM只能放一个很小的样品，现在我们把样品直接做到了8~12英寸，半导体的wafer放上即可测量，分辨丝毫没有影响。简化样品处理流程，缩短用户测量时间，这也是布鲁克提升AFM速度的方向之一。” /p p 　　由于看到生物方面的发展潜力，布鲁克近年还推出了一款BioScope Resolve生物型原子力显微镜，采用独有PeakForce Tapping技术，使研究者能够获得最高分辨率的生物成像和在每一像素点上皮牛级(pN)的力学测量和力谱分析。Jeffrey 回忆说：“起初，布鲁克在生物型AFM领域尚属‘小白’，短期内，从被动跟随，到如今的占据一定市场优势，布鲁克在生物型AFM上的尝试可谓大获成功。” /p p 　　据Jeffrey介绍，布鲁克原子力显微镜的客户多分布在科研和工业领域。科研和工业客户此前的占比是8:2，近年来随着半导体、智能手机、芯片等产业的崛起，及公司市场活动的增强，科研与工业用户占比已提升至7:3，工业用户名单上亦不乏英特尔、中芯国际、台积电、三星、华为这样的国际知名企业。下一步，布鲁克将持续关注科研领域，尤其是生命科学方向的展会与活动，同时在加强工业领域宣传投入，以扩大布鲁克AFM品牌影响力。 /p p 　　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 拓展：收购Hysitron 开拓全新业务增长点 /strong /span /p p 　　2017年初，布鲁克宣布收购纳米力学仪器制造商Hysitron(海思创)。该收购将Hysitron的创新纳米机械测试仪器添加到布鲁克现有的原子力显微镜(AFM)、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统的产品组合中，大大提高了布鲁克在纳米材料研究市场的领先地位。 /p p 　　谈到此次收购，Jeffrey 表示“在收购Hysitron之前，布鲁克也曾尝试过纳米压痕仪器的研发，但为尽快加入纳米力学市场，加上Hysitron独有的技术与产品，布鲁克高层最终还是决定采取收购。” /p p 　　布鲁克BNANO集团总裁Mark Munch在接受仪器信息网采访时曾表示，除纳米压痕和微压痕外，Hysitron的仪器产品还包括纳米摩擦学、纳米机械性能二维图谱、动态机械性能分析、原位SEM和TEM等纳米机械测试类仪器。这个收购给BNANO集团的纳米分析(BNA)和纳米表面(BNS)部门都带来了新的内容。如电镜联用等产品加入BNA，而独立系统的产品则加入了BNS部门。这项收购不仅契合公司发展，且为两个部门都“锦上添花”。 /p p 　　Hysitron原先在中国的仪器销售主要通过代理，自今年第二季度起，布鲁克停止了代理权，全权接过Hysitron销售服务的“大旗”。Jeffrey 说到：“第三季度，Hysitron整体销售额同比增长了30%，证明这个改变是良性的，并没有影响产品的客户体验和市场占有率。” /p p 　　此外，布鲁克美国工厂自收购后就着手进行AFM和纳米压痕仪联用方案的开发，测试工作目前已基本完成。2018年，布鲁克BNS部门还将为近千台原子力显微镜做改进升级，这也将成为明年业绩的一大增长点。 /p p 　 span style=" color: rgb(255, 0, 0) " strong 　本土化：科研、工业两大市场双管齐下 /strong /span /p p 　　早在上世纪90年代，Veeco的AFM等产品就通过代理进入中国市场，2003年整合中国公司后，才开展直销提供本地化服务。Veeco并入布鲁克后，BNS部门的人员数量也从最初的4个人壮大至30余人。尽管在本地没有研发团队，但BNS中国却建立了实力强劲的服务团队，工程师几乎都由国外留学归来PhD组成，在同行中团队堪称豪华。此外，BNS在中国还设置了专门的Customer Case Center，可为国内用户提供部分定制化产品及维护所需零部件，无需被动等待美国工厂的支援，这也是BNS中国本地化的一大特色。 /p p 　　历经多年的经营布局，布鲁克BNS在中国每年的销售总额已达3000万美元，占到部门总数四分之一，赶超欧洲、日本，在单数上甚至超越美国。Jeffrey解释说：“英国脱欧、美国政府削减预算，都加剧了欧美市场整体萎缩的态势。相比之下，中国市场近几年发展迅猛，BNS中国业绩正在走上坡路，布鲁克总部也越来越重视中国用户的需求。” /p p 　　刚刚结束的十九大，我国提出要加快建设创新型国家，在2035年实现经济实力、科技实力的大幅提升，跃身创新型国家前列，这就意味着国家将在科研领域大幅投入，给科学仪器行业释放利好信号。Jeffrey对此保持乐观：“在整体环境利好的大背景下，布鲁克BNS部门在中国的首要任务是保持市场占有率，关注国家重大政策走向，在某些热点领域先知先觉，与美国工厂配合开发一些更好的功能，使产品能够适应市场、服务客户。此外，面对潜力巨大的工业客户，BNS要做的还是加大宣传，提升布鲁克品牌的整体认知度。一方面关注科研领域的经费投入，另一方面关注工业用户技术进展，科研、工业双管齐下，协调共赢。” /p p 　　机遇与挑战并存，欧美市场一蹶不振，兴起势头十足的中国让外企们看到更多“摘果子”的机会，布鲁克在这方面也有了危机意识。Jeffrey 强调：“在策略的调整上，部分外企是相对保守的。但布鲁克不同，即使在2008年经济危机时，我们的人手都在增加，说明随着市场发展，BNS的人员配置是及时跟进的，这是我们区别于竞争对手的一大优势。“ /p p 　　此外，针对Hysitron的整合工作已经起步，随着产品整合及结构优化，未来对于布鲁克BNS部门触手可及。 /p p 　　 strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 后记 /span /strong /p p span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　　一直以来，受Veeco品牌影响，被布鲁克收购7年多以来，部分AFM用户对其产品的第一印象依旧为Veeco，而不是布鲁克BNS部门。此次受访，或是布鲁克BNS部门的又一次正名，亦或是整个布鲁克集团“One Bruker”发展战略的又一缩影。相信不久，“布鲁克”将成为BNS部门AFM、表面轮廓仪、摩擦学和机械测试系统、纳米机械测试仪器等产品品牌的代名词，而“Veeco”、“Hysitron”等也终将成为历史和记忆。 /span /p p style=" text-align: right " strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　 /span /strong span style=" font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai " 　撰稿编辑：韦东裕 /span /p